特許7184773逐次浸透合成装置

発明の名称　逐次浸透合成装置

出願人　アーエスエム・イーぺー・ホールディング・ベスローテン・フェンノートシャップ　（識別番号 516317045）

　　　　特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7184773

公報発行日　2022年12月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7184773

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