特許 7185521 放電ランプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-11-29

(45)【発行日】2022-12-07

(54)【発明の名称】放電ランプ

(51)【国際特許分類】

   H01J 65/00 20060101AFI20221130BHJP

   H01J 61/35 20060101ALI20221130BHJP

【ＦＩ】

H01J65/00 E

H01J65/00 A

H01J61/35 F

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2018243103

(22)【出願日】2018-12-26

(65)【公開番号】P2020107424

(43)【公開日】2020-07-09

【審査請求日】2021-10-29

(73)【特許権者】

【識別番号】000128496

【氏名又は名称】株式会社オーク製作所

(72)【発明者】

【氏名】福田 剛士

(72)【発明者】

【氏名】両角 洋二

(72)【発明者】

【氏名】藤森 昭芳

(72)【発明者】

【氏名】金井 信夫

【審査官】右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－０５５９６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－０９０４５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ６５／００

Ｈ０１Ｊ ６１／３５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

放電用ガスが封入された放電容器と、前記放電容器の一部を溶着により覆う被覆管と、前記放電容器の径方向で対向する一対の電極とを有し、少なくとも一方の電極が前記放電容器の外周面と前記被覆管の内周面との間に埋設されている放電ランプにおいて、
前記放電容器の放電空間を囲む軸方向範囲の一部には、前記放電容器と前記被覆管とを溶着したことにより軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚く形成された異径部を有し、
前記放電容器の軸方向範囲の一部には、前記被覆管に覆われずに径方向に対して露出している露出部を有し、前記被覆管と前記異径部と前記露出部とによって連続する曲面を形成し、
前記被覆管の端部は、前記露出部に向かって径方向に薄くなるように形成し、前記被覆管の端部の内径は、前記被覆管の軸方向範囲の他の部分の内径と比較して大きく形成したことを特徴とする放電ランプ。

【請求項2】

前記異径部の最大外径は、前記被覆管の軸方向範囲の他の部分の外径と比較して大きく形成したことを特徴とする請求項１に記載の放電ランプ。

【請求項3】

前記異径部の最小内径は、前記放電容器の放電空間を囲む軸方向範囲の部分の外径と比較して小さく形成したことを特徴とする請求項１または２に記載の放電ランプ。

【請求項4】

前記異径部は、前記放電容器の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚くした部分に、前記被覆管の端部を溶着することにより形成したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の放電ランプ。

【請求項5】

前記被覆管と前記異径部と前記露出部は、紫外線を含む光に対して非透過性の被覆により覆われていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の放電ランプ。

【請求項6】

前記被覆管の軸方向範囲の少なくとも一部は、導電性の被覆により覆われていることを特徴とする請求項５に記載の放電ランプ。

【請求項7】

前記被覆管の軸方向範囲の少なくとも一部は、前記放電容器の外周面と前記被覆管の内周面との間に埋設されている電極に電気的に接続された給電線が接続された側において、絶縁性の被覆により覆われていることを特徴とする請求項６に記載の放電ランプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、誘電体バリア放電、あるいは容量結合型高周波放電によって放電発光するエキシマランプ、外部電極型蛍光ランプなどの無電極型放電ランプに関し、特に、放電容器の信頼性を向上した細径のエキシマランプに関する。

【背景技術】

【0002】

放電容器の中心軸と同軸状に内側管を有し、放電空間で生じた紫外線を内側管の内側に照射する二重管構造のエキシマランプであり、放電容器の対向する両側面に一対の電極を配置し、一方の電極を外側管の管壁内部に埋設し、他方の電極を外側管外表面に配設した構造を有するエキシマランプがある（特許文献１）。

【0003】

放電容器の外周面に被覆管を溶着により一体として形成され、一対の電極の少なくとも一方の電極が放電容器の外周面と被覆管の内周面との間に埋設されている放電ランプにおいて、放電容器の外側面の一部は外側被覆管に覆われずに露出している構造を有するエキシマランプがある（特許文献２）。

【0004】

このようなエキシマランプにおいては、被覆管を溶着により一体として形成するときに、被覆管の端部まで一体として溶着することは困難であった。そのため、特許文献１に記載のように、被覆管の端部を溶着しない構成とすると、被覆管の端部と放電容器との間にクサビ状空隙が形成される。

【0005】

このクサビ状空隙を起点としたランプ破損の原因となるおそれがあり、エキシマランプの信頼性が損なわれるという問題があった。また、このクサビ状空隙に対しては、コーティングによる膜が形成されず、この部分から放射された紫外線により不要なオゾンが生成されるという問題があった。

【0006】

このようなクサビ状空隙を無くすために、特許文献２に記載のように、被覆管の端部を放電容器の最大径部よりも小さく成るように溶着して放電容器と一体としていた。しかしながら、このように加工するときに被覆管の端部を加熱縮径させると、併せて放電容器が加熱変形することで所望なランプ性能が得られなく、エキシマランプの信頼性が損なわれるという問題があった。ここで、放電容器の変形をおそれて十分に加熱溶着させないと、微小なクサビ状空隙が残ってしまい、被覆管の端部付近を起点としたランプ破損や絶縁破壊（異常放電）の原因となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開２０１６－１４６２９５号公報

【文献】特開２０１８－０５５９６５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

上記問題点に鑑みて、この発明が解決しようとする課題は、外周面が被覆管に覆われている二重管構造を有するエキシマランプの放電容器の変形を防ぎながらも、ランプ破損や絶縁破壊の起点となる微小なクサビ状空隙を無くすために、十分に加熱して溶着できる放電容器としたエキシマランプを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明による放電ランプは、放電用ガスが封入された放電容器と、放電容器の一部を溶着により覆う被覆管と、放電容器の径方向で対向する一対の電極とを有し、少なくとも一方の電極が放電容器の外周面と被覆管の内周面との間に埋設されている放電ランプであって、放電容器の放電空間を囲む軸方向範囲の一部には、放電容器と被覆管とを一体とを溶着したことにより軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚く形成された異径部を有することにより、放電容器の変形を防ぎながらも、ランプ破損や絶縁破壊の起点となる微小なクサビ状空隙を無くすために、十分に加熱して溶着できる放電容器を有する放電ランプとすることができる。

【0010】

放電容器の軸方向範囲の一部には、被覆管に覆われずに径方向に対して露出している露出部を有し、被覆管と異径部と露出部とによって連続する曲面を形成したことにより、被覆管と異径部と露出部との間において、ランプ破損や絶縁破壊の起点となる微小なクサビ状空隙を無くした放電容器を有する放電ランプとすることができる。

【0011】

異径部の最大外径は、被覆管の軸方向範囲の他の部分の外径と比較して大きく形成したことで、放電容器の変形を防ぎながらも、十分に加熱溶着できる放電容器を有する放電ランプとすることができる。

【0012】

異径部の最小内径は、放電容器の放電空間を囲む軸方向範囲の部分の外径と比較して小さく形成したことで、放電容器の変形を防ぎながらも、十分に加熱溶着できる放電容器を有する放電ランプとすることができる。

【0013】

異径部は、放電容器の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚くした部分に、被覆管の端部を溶着することにより形成したことにより、放電容器の変形を防ぎながらも、十分に加熱溶着できる放電容器を有する放電ランプとすることができる。

【0014】

被覆管の端部は、露出部に向かって径方向に薄くなるように形成し、被覆管の端部の内径は、被覆管の軸方向範囲の他の部分の内径と比較して大きく形成したことにより、ランプ破損や絶縁破壊の起点となる微小なクサビ状空隙を無くした放電容器を有する放電ランプとすることができる。

【0015】

被覆管と異径部と露出部は、紫外線を含む光に対して非透過性の被膜により覆われていることにより、クサビ状空隙を無くした放電容器に紫外線非透過性の被膜を形成することで、オゾン生成を防いだ放電ランプとすることができる。

【0016】

被覆管の軸方向範囲の少なくとも一部は、導電性の被覆により覆われていることにより、外部電極を兼ねた紫外線非透過性の被膜を形成した放電ランプとすることができる。

【0017】

被覆管の軸方向範囲の少なくとも一部は、放電容器の外周面と被覆管の内周面との間に埋設されている電極に電気的に接続された給電線が接続された側において、絶縁性の被覆により覆われていることにより、埋設されている電極（内側電極）に電気的に接続された給電線と、導電性被覆（外側電極）との間での絶縁破壊（異常放電）を防止した放電ランプとすることができる。

【発明の効果】

【0018】

二重管構造を有するエキシマランプにおいて、被覆管の端部付近を起点としたランプ破損を防止することにより、信頼性が改善されたエキシマランプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】第１の実施形態であるエキシマランプの概略的外観図である。

【図2】第１の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。

【図3】第１の実施形態であるエキシマランプの径方向の概略的断面図である。

【図4】第２の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。

【図5】第２の実施形態であるエキシマランプの径方向の概略的断面図である。

【図6】第３の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、図１～図３を参照して第１の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図１は、エキシマランプの概略的外観図である。図２は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図であり、図３は、エキシマランプの径方向の概略的断面図である。

【0021】

図１～３において、放電ランプであるエキシマランプ１の放電容器１０は、石英ガラスなどの誘電材料からなる外側管１２の両端を溶融封止することにより、放電空間Ｓを形成する。

【0022】

放電容器１０の放電空間Ｓを囲む軸方向範囲の一部には、下記にて記載する被覆管２０と溶着する軸方向端部（露出部１３側の端部）側に溶着端部１２Ｂを設ける。溶着端部１２Ｂは、放電容器の軸方向範囲の他の部分と比較して内径を小さくすることで、放電容器の径方向に厚い部分であって、放電容器の内周面と連続する曲面を形成する。

【0023】

放電容器１０の外部と放電空間Ｓとを空間的に接続する導入管１５を設けて、放電容器１０（放電空間Ｓ）内を真空引きして不純物を除去する。その後、放電容器１０の内部に放電用ガスを封入して、導入管１５を加熱溶融することで放電容器１０内を気密封止する。

【0024】

放電空間Ｓには、Ｘｅなどの希ガス、もしくは希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが放電用ガスとして封入される。放電用ガスの封入圧は、例えば５ｋＰａ～１５０ｋＰａに定められる。本実施形態においては、放電用ガスとしてＸｅガスを封入した。

【0025】

被覆管２０は、放電容器１０の外径に導入管１５の高さを加えた最大外径のよりも大きい内径の石英ガラスからなる管状部材を同軸状に加熱縮径させることで、放電容器１０の一部である外側管１２の外周面と一体として溶着している。放電容器１０の他の軸方向範囲の一部は被覆管２０に覆われず、径方向に対して露出した露出部１３を形成している。

【0026】

ここで、被覆管２０と溶着する放電容器の軸方向端部である溶着端部１２Ｂと、被覆管の端部２０Ｂとを溶着させることにより異径部１６が形成される。放電容器の溶着端部１２Ｂは、放電容器１０（外側管１２）の軸方向範囲の他の部分と比較して内径が小さい（径方向に厚い）部分であるので、被覆管の端部２０Ｂを加熱縮径させるときに、放電容器１０（外側管１２）が加熱変形することを防止することができる。

【0027】

更に、異径部１６は、放電容器の溶着端部１２Ｂと被覆管の端部２０Ｂの形状に応じて、その内径や外径の径方向厚さが軸方向に沿って連続的に変化している部分である。その結果、被覆管２０と異径部１６と露出部１３とによって連続する曲面が形成される。このような連続する曲面を形成することで、被覆管の端部と放電容器との間にクサビ状空隙が形成されることを防止できる。

【0028】

被覆管２０と溶着する放電容器の溶着端部１２Ｂは、放電容器１０の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚くした部分であるので、放電容器の溶着端部１２Ｂと一体と成るように溶着することで、放電容器が加熱変形することを防いで、被覆管の端部と放電容器との間にクサビ状空隙が形成されることを防止できる。

【0029】

第１電極３１と第２電極３２は、モリブデン材からなる箔状の電極であり、被覆管２０を加熱縮径させて外側管１２と溶着して一体となることで、外側管１２の外周面と被覆管２０の内周面との間の管壁内部に埋設される。第１電極３１と第２電極３２の一方の端には、それぞれ第１給電線４１と第２給電線４２が電気的に接続され、被覆管２０の外部に取り出されている。他方の端は、完全に管壁内部に埋め込まれて終端している。

【0030】

第１給電線４１と第２給電線４２は、交流高電圧電源（図示せず）に電気的に接続されており、エキシマランプ１に電力が供給される。第１電極３１と第２電極３２が管壁内部に埋め込まれていることで、放電容器１０の外部であって、第１電極３１と第２電極３２との間で絶縁破壊することを防ぐ。

【0031】

ここで、放電容器の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚く（内径を小さく）形成した溶着端部（１２Ｂ）と被覆管の端部２０Ｂとを溶着させることにより、微小なクサビ状空隙が残留することが無いので、絶縁破壊の防止に対する信頼性を向上することができる。

【0032】

第１電極３１と第２電極３２との間に高周波高電圧が印加されると、誘電体（外側管１２）を介して、第１電極３１と第２電極３２とが対向しているランプ軸方向範囲（有効発光領域）の放電空間Ｓにて放電が発生する。放電によって生じた紫外線は、外側管１２と被覆管２０とを透過して、エキシマランプ１の外部に放出される。

【0033】

放電が発生すると、所定スペクトルのエキシマ光が放射される。例えば、放電用ガスがＸｅガスでは１７２ｎｍ、Ａｒガスでは１２６ｎｍ、Ｋｒガスでは１４６ｎｍ、ＡｒＢｒガスでは１６５ｎｍ、ＡｒＦガスでは１９３ｎｍ、ＫｒＣｌガスでは２２２ｎｍ、ＸｅＩガスでは２５３ｎｍ、ＸｅＣｌガスでは３０８ｎｍ、ＸｅＢｒガスでは２８３ｎｍ、ＫｒＢｒガスでは２０７ｎｍの波長を含む紫外線が放射される。

【0034】

このように、放電容器の放電空間を囲む軸方向範囲の一部には、放電容器と被覆管とを一体と成るように溶着したことにより、軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚く形成された異径部を有することで、放電容器の変形を防ぎながらも、ランプ破損や絶縁破壊の起点となる微小なクサビ状空隙を無くすために、十分に加熱溶着できる放電容器とした放電ランプを提供することができる。

【0035】

以下、図４と図５を参照して第２の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図４は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図であり、図５は、エキシマランプの径方向の概略的断面図である。

【0036】

図４と図５において、放電ランプであるエキシマランプ１０１の放電容器１１０は、石英ガラスなどの誘電材料からなる外側管１１２の両端を縮径して、石英ガラスなどの誘電材料からなる内側管１１１に対して封止部１１４Ａ，１１４Ｂにおいて溶融封止することにより、放電空間Ｓを形成する。内側管１１１の内側（中空部分）には、被照射体である内側流体（図示せず）が配設される。放電容器１１０の一部である外側管１１２には、大径部１１３Ａと小径部１１３Ｂを設ける。

【0037】

放電容器１１０（大径部１１３Ａ）の放電空間Ｓを囲む軸方向範囲の一部には、下記にて記載する被覆管１２０と溶着する部分であって、その小径部１１３Ｂ（露出部）側の端部である溶着端部１１２Ｂを設ける。溶着端部１１２Ｂは、大径部１１３Ａよりも更に外径を大きくすることで、放電容器の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚い部分であって、大径部１１３Ａと小径部１１３Ｂとで連続する曲面を形成する。

【0038】

小径部１１３Ｂには、放電容器の外部と放電空間Ｓとを空間的に接続する導入管１１５を設けて、放電容器１１０（放電空間Ｓ）内を真空引きして不純物を除去する。その後、放電容器１１０の内部に放電用ガスを封入して、導入管１１５を加熱溶融することで放電容器１１０内を気密封止する。

【0039】

被覆管１２０は、放電容器１１０の外径よりも大きい内径の石英ガラスからなる管状部材を、外側管１１２と同軸状に加熱縮径させることで、大径部１１３Ａの外周面の少なくとも一部に一体として溶着している。小径部１１３Ｂは被覆管１２０に覆われず、径方向に対して露出した露出部１１３を形成している。

【0040】

ここで、被覆管１２０と溶着する放電容器１１０の軸方向端部である溶着端部１１２Ｂと、被覆管の端部１２０Ｂとを溶着させることにより異径部１１６が形成される。放電容器の溶着端部１１２Ｂは、放電容器１１０（大径部１１３Ａ）の軸方向範囲の他の部分と比較して外径が大きい（径方向に厚い）部分であるので、被覆管の端部１２０Ｂを加熱縮径させるときに、放電容器１１０（大径部１１３Ａや小径部１１３Ｂ）が加熱変形することを防止することができる。

【0041】

異径部１１６は、放電容器の溶着端部１１２Ｂと被覆管の端部１２０Ｂの形状に応じて、その内径や外径や径方向厚さが軸方向に沿って連続的に変化している部分である。その結果、被覆管１２０と異径部１１６と小径部（露出部）１１３Ｂとによって連続する曲面が形成される。このような連続する曲面を形成することで、被覆管の端部と放電容器との間にクサビ状空隙が形成されることを防止できる。

【0042】

異径部１１６の外径は、外径が大きい部分である溶着端部１１２Ｂに対して、被覆管の端部１２０Ｂを溶着させるので、被覆管１２０の軸方向範囲の他の部分の外径と比較して大きく形成される。

【0043】

被覆管の端部１２０Ｂと溶着する放電容器の溶着端部１１２Ｂは、放電容器１１０（大径部１１３Ａや小径部１１３Ｂ）の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚くした部分であるので、放電容器の溶着端部１１２Ｂと一体と成るように溶着することで、放電容器が加熱変形することを防いで、被覆管の端部と放電容器との間にクサビ状空隙が形成されることを防止できる。

【0044】

更に、放電容器の溶着端部１１２Ｂと溶着した被覆管の端部１２０Ｂは、小径部１１３Ｂ（露出部）に向かって径方向に薄くなるように形成し、このときの被覆管の端部１２０Ｂの内径は被覆管の軸方向範囲の他の部分と比較して大きく形成することで、被覆管の端部と放電容器との溶着を強固にして、クサビ状空隙が形成されることを防止できる。

【0045】

内側電極１３１は、モリブデン材からなる箔状の電極である。内側電極１３１は、被覆管１２０を加熱縮径させて外側管１１２と一体となることで、外側管１１２の外周面と被覆管１２０の内周面との間の管壁内部に埋設される。内側電極１３１の一方の端には内側給電線１４１が電気的に接続され、被覆管１２０の外部に取り出されている。他方の端は、完全に被覆管１２０の管壁内部に埋め込まれて終端している。

【0046】

外側電極（図示せず）は、アルミニウム材からなる膜状の電極である。放電容器の小径部１１３Ｂにおいては、外側電極を設けない。放電容器の大径部１１３Ａにおいては、外側電極が被覆管１２０の全周にわたって設けられている。

【0047】

ここで、放電空間Ｓにて発生した放電から放射される紫外線を内側管１１１の内側（中空部分）に照射し、放電容器の外側には照射したくないときには、外側電極は、内側管１１１と溶着した封止部１１４Ｂ、外側管の小径部１１３Ｂ、導入管１１５、異径部１１６、被覆管１２０の全周にわたって設けることで、漏れ出た紫外線による不要なオゾンの生成などを防ぐことができる。

【0048】

内側給電線１４１が取り出されている部分からは隔離して外側電極を設けることで、外側電極と内側給電線１４１（内側電極１３１）との絶縁破壊を防ぐ。ここで、被覆管１２０の内側給電線１４１が外部に取出されている側に対して、更に絶縁性の被覆（絶縁チューブ１５０）により覆うことで、絶縁破壊を防ぐ効果を高めることができる。

【0049】

外側電極には、円周方向に巻き付けられた円筒状の給電部材１４３を介して外側給電線１４２が電気的に接続されている。給電部材１４３は、被覆管の軸方向範囲の他の部分と比較して大きく形成された被覆管の端部１２０Ｂと絶縁チューブ１５０との間に挟まれて配設していることで、軸方向に対して抜け落ちることを防止できる。

【0050】

内側給電線１４１と外側給電線１４２は、交流高電圧電源（図示せず）に電気的に接続されており、エキシマランプ１０１に電力が供給される。内側電極１３１が被覆管１２０により管壁内部に埋め込まれていることで、放電容器１１０の外部であって、内側電極１３１と外側電極との間で絶縁破壊することを防ぐ。

【0051】

ここで、放電容器（外側管の大径部１１３Ａ）の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚く（外径を大きく）形成した溶着端部１１２Ｂと被覆管の端部１２０Ｂとを溶着させることにより、微小なクサビ状空隙が残留することが無いので、絶縁破壊の防止に対する信頼性を向上することができる。

【0052】

内側電極１３１と外側電極との間に高周波高電圧が印加されると、誘電体（外側管１１２と被覆管１２０）を介して、内側電極１３１と外側電極とが対向しているランプ軸方向範囲（有効発光領域）の放電空間Ｓにて放電が発生する。放電によって生じた紫外線は、内側管１１１の内側（中空部分）に配設した、内側流体（第１の被照射体）に照射される。

【0053】

ここで、エキシマランプ１０１の外側電極の周方向の一部にスリット状の開口部を設けたり、網目状の開口部を有する外側電極を用いたりすることで、放電によって生じた紫外線は、外側管１１２と外側電極の開口部と被覆管１２０を透過して、エキシマランプの径方向外側に配設した外側流体（第２の被照射体）や点灯検知装置に照射してもよい。

【0054】

以下、図６を参照して第３の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図６は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図である。なお、第２の実施形態と共通する構成については説明を省略する。

【0055】

図６において、放電ランプであるエキシマランプ２０１の放電容器２１０の一部である外側管２１２には、大径部２１３Ａと小径部２１３Ｂを設ける。放電容器２１０（大径部２１３Ａ）の放電空間Ｓを囲む軸方向範囲の一部には、下記にて記載する被覆管２２０と溶着する部分であって、その小径部２１３Ｂ（露出部）側の端部である溶着端部２１２Ｂを設ける。溶着端部２１２Ｂは、大径部２１３Ａよりも内径を小さくし、小径部２１３Ｂよりも外径を大きくすることで、放電容器の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚い部分であって、大径部２１３Ａと小径部２１３Ｂとで連続する曲面を形成する。

【0056】

被覆管２２０と溶着する放電容器２１０の軸方向端部である溶着端部２１２Ｂと、被覆管の端部２２０Ｂとを溶着させることにより異径部２１６が形成される。放電容器の溶着端部２１２Ｂは、放電容器の小径部２１３Ｂと比較して外径が大きく、大径部２１３Ａと比較して内径が小さい（径方向に厚い）部分であるので、被覆管の端部２２０Ｂを加熱縮径させるときに、放電容器２１０（大径部２１３Ａや小径部２１３Ｂ）が加熱変形することを防止することができる。

【0057】

異径部２１６は、放電容器の溶着端部２１２Ｂと被覆管の端部２２０Ｂの形状に応じて、その内径や外径や径方向厚さが軸方向に沿って連続的に変化している部分である。その結果、被覆管２２０と異径部２１６と小径部（露出部）２１３Ｂとによって連続する曲面が形成される。このような連続する曲面を形成することで、被覆管の端部と放電容器との間にクサビ状空隙が形成されることを防止できる。

【0058】

被覆管の端部２２０Ｂと溶着する放電容器の溶着端部２１２Ｂは、放電容器２１０（大径部２１３Ａや小径部２１３Ｂ）の軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚くした部分であるので、放電容器の溶着端部２１２Ｂと一体と成るように溶着することで、放電容器が加熱変形することを防いで、被覆管の端部と放電容器との間にクサビ状空隙が形成されることを防止できる。

【0059】

その他で実施形態２と共通する構成は説明を省略するが、同様のエキシマランプを提供することができる。

【符号の説明】

【0060】

１、１０１、２０１ エキシマランプ
１０、１１０、２１０ 放電容器
１１１、２１１ 内側管
１２、１１２、２１２ 外側管
１３、１１３、２１３ 露出部
１１３Ａ、２１３Ａ 大径部
１１３Ｂ、２１３Ｂ 小径部
１１４Ａ、１１４Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ 封止部
１５、１１５、２１５ 導入管
１６、１１６、２１６ 異径部
２０、１２０、２２０ 被覆管
３１、１３１、２３１ 電極（内側電極、第１電極）
４１、１４１、２４１ 給電線（内側給電線、第１給電線）
４２、１４２ 給電線（外側給電線、第２給電線）
１５０、２５０ 絶縁チューブ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】