特許 7186563 振動アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-01

(45)【発行日】2022-12-09

(54)【発明の名称】振動アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   H02K 33/16 20060101AFI20221202BHJP

   B06B 1/04 20060101ALI20221202BHJP

【ＦＩ】

H02K33/16 A

B06B1/04 S

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2018177950

(22)【出願日】2018-09-21

(65)【公開番号】P2020054018

(43)【公開日】2020-04-02

【審査請求日】2021-06-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000112565

【氏名又は名称】フォスター電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100187322

【弁理士】

【氏名又は名称】前川 直輝

(74)【代理人】

【識別番号】100081259

【氏名又は名称】高山 道夫

(72)【発明者】

【氏名】千葉 雄介

(72)【発明者】

【氏名】岡崎 義一

【審査官】津久井 道夫

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第１９９９／０３９８４３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－０３０２５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０２Ｋ ３３／１６

Ｂ０６Ｂ １／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

筒状のケースと、
前記ケースの内部に設けられた電磁駆動部と、
前記電磁駆動部により振動可能な可動子と、
前記ケースの内部に前記可動子を支持する複数の腕部を有する板バネと、
前記ケースの内部で前記可動子の振動軸方向において前記板バネより前記ケース中央側に位置して、前記板バネの動きを規制するインナーガイドと、
を備え、
前記インナーガイドは、内縁が前記電磁駆動部の内面よりも前記可動子側に突出している
ことを特徴とする振動アクチュエータ。

【請求項2】

前記インナーガイドは、前記板バネの前記振動軸方向における動きを規制することを特徴とする請求項１に記載の振動アクチュエータ。

【請求項3】

前記インナーガイドは、前記板バネの前記振動軸方向に対して交差する方向における動きを規制することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動アクチュエータ。

【請求項4】

前記板バネの腕部は渦巻き形状をなし、
前記インナーガイドは、前記板バネの渦巻き形状に対応し前記振動軸方向を中心とした螺旋状の段差部を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。

【請求項5】

前記インナーガイドは、前記可動子の振動軸方向において前記電磁駆動部と前記板バネとの間に位置していることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。

【請求項6】

前記板バネは、前記可動子の一側端部を支持する第１板バネと、前記可動子の他側端部を支持する第２板バネと、を有し、
前記インナーガイドは、前記第１板バネの動きを規制する第１インナーガイドと、前記第２板バネの動きを規制する第２インナーガイドと、を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動アクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、携帯電話等の通信機器において、着信やアラームを人に知らせる方法として振動アクチュエータ（又は、振動モータ）を用いた振動による通知方法がある。そして、近年では、映画やゲーム、ＶＲ（Ｖｉｒｔｕａｌ Ｒｅａｌｉｔｙ：仮想現実）の分野においても、例えば、アクションシーンの演出効果や、プレーヤーに対するフィードバック手段の一つとして振動アクチュエータが用いられており、振動により人の触覚を刺激することによってリアリティを向上させている。

【0003】

振動アクチュエータは、振動発生源として機器に組み込む用途の製品が多く、省スペース性を重視して小型化が望まれている。振動アクチュエータは錘等を含む可動子を電気的に往復移動させる構造を有しており、外部からの衝撃により可動子が過剰に振幅する場合がある。それにより、例えば、落下等の衝撃によって振動アクチュエータの内部で可動子と他の部品が干渉し、各部品に変形や破損が生じる等して動作不良や異音を生じるおそれがある。特に、携帯電話やゲームコントローラ等に使用される場合は、落下等の衝撃を避けることは難しい。

【0004】

これに対して、可動子が振動アクチュエータのケースに衝突するときの衝撃を抑制するためのクッションを設けた振動アクチュエータが開示されている（特許文献１、特許文献２参照）。この技術によれば、可動子の振動方向における衝撃を抑えることが可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１５－７０７３０号公報

【文献】特表２０１６－５３８８２１号公報

【文献】実公昭６１－４５７４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１及び特許文献２にて開示されているクッションは、可動子の振動方向において可動子より外側に配置されている。具体的にはケース両端端面の内側に設けられている。このような構成では、ケース内にクッションを設けるためのスペースを確保する必要があるため、振動アクチュエータの大型化を招くという問題がある。

【0007】

また、特許文献１の振動アクチュエータは、可動子がガイドシャフトにより支持されていることから、可動子の移動は振動方向に規制されている。これに対して、特許文献２のように可動子が板バネ（いわゆる蝶ダンパ）で支持され、ガイドシャフトを有しない構造の振動アクチュエータでは（板バネの件としては特許文献３も参照）、ケースの径方向に衝撃が生じると可動子が径方向に移動してケース内側に接触するおそれがある。これに対して、ケースの径方向の内面にクッションを配置し、衝撃を低減しようすると、振動アクチュエータがさらに大型化するという問題が生じる。

【0008】

本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、振動アクチュエータの大型化を防ぎつつ、外部からの衝撃が生じた際の可動子の過剰振幅を防止し、部品同士の干渉による各部品の変形や破損を防止することができる振動アクチュエータを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記した目的を達成するために、筒状のケースと、前記ケースの内部に設けられた電磁駆動部と、前記電磁駆動部により振動可能な可動子と、前記ケースの内部に前記可動子を支持する複数の腕部を有する板バネと、前記ケースの内部で前記可動子の振動軸方向において前記板バネより前記ケース中央側に位置して、前記板バネの動きを規制するインナーガイドと、を備え、前記インナーガイドは、内縁が前記電磁駆動部の内面よりも前記可動子側に突出している。

【0010】

上述の振動アクチュエータにおいて、前記インナーガイドは、前記板バネの前記振動軸方向における動きを規制するものとしてもよい。

【0011】

また、上述の振動アクチュエータにおいて、前記インナーガイドは、前記板バネの前記振動軸方向に対して交差する方向における動きを規制するものとしてもよい。

【0012】

また、上述の振動アクチュエータにおいて、前記板バネの腕部は渦巻き形状をなし、前記インナーガイドは、前記板バネの渦巻き形状に対応し前記振動軸方向を中心とした螺旋状の段差部を有してもよい。

【0013】

また、上述の振動アクチュエータにおいて、前記インナーガイドは、前記可動子の振動軸方向において前記電磁駆動部と前記板バネとの間に位置していてもよい。

【0015】

また、上述の振動アクチュエータにおいて、前記板バネは、前記可動子の一側端部を支持する第１板バネと、前記可動子の他側端部を支持する第２板バネと、を有し、前記インナーガイドは、前記第１板バネの動きを規制する第１インナーガイドと、前記第２板バネの動きを規制する第２インナーガイドと、を有してもよい。

【発明の効果】

【0016】

上記手段を用いる本発明に係る振動アクチュエータによれば、振動アクチュエータの大型化を防ぎつつ、外部からの衝撃が生じた際の可動子の過剰振幅や部品同士の干渉を防止し、各部品の変形や破損を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の実施形態に係る振動アクチュエータの分解斜視図である。

【図2】（ａ）振動アクチュエータの第１カバーケース及び第１弾性部材を省いた状態の上面図、及び（ｂ）さらに第１ダンパを省いた状態の上面図である。

【図3】本発明の実施形態に係る振動アクチュエータの第１カバーケースを省いた斜視図である。

【図4】図２の切断線IV-IVおける断面図である。

【図5】（ａ）第１インナーガイドの斜視図、及び（ｂ）第１インナーガイドの上面図である。

【図6】振動アクチュエータの作動を説明する図である。

【図7】（ａ）可動子の振動軸方向一側への移動を規制している状態の断面図、（ｂ）可動子の振動軸方向他側への移動を規制している状態の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づき説明する。

【0019】

図１は本発明の実施形態に係る振動アクチュエータの分解斜視図、図２は（ａ）振動アクチュエータの第１カバーケース及び第１弾性部材を省いた状態の上面図及び（ｂ）さらに第１ダンパを省いた状態の上面図、図３は振動アクチュエータの斜視図、図４は振動アクチュエータの断面図、図５は（ａ）インナーガイドの斜視図、（ｂ）インナーガイドの上面図である。以下、これらの図に基づき振動アクチュエータの構成について説明する。

【0020】

振動アクチュエータ１は、主に、外殻をなすケース２と、当該ケース２内に設けられた電磁駆動部３と、当該電磁駆動部３により振動可能な可動子４と、当該可動子４の両端をそれぞれ弾性支持する第１支持ユニット５ａ及び第２支持ユニット５ｂと、当該第１支持ユニット５ａ及び第２支持ユニット５ｂの動きを規制する第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂと、から構成されている。当該振動アクチュエータ１は、例えば、携帯電話やスマートフォン等の携帯端末、ゲーム機のコントローラ等に搭載される。

【0021】

ケース２は、円筒状のケース本体１０の両開口端が第１カバーケース１１ａ及び第２カバーケース１１ｂにより閉じられている。ケース本体１０、第１カバーケース１１ａ、及び第２カバーケース１１ｂはそれぞれＡＢＳ等の樹脂からなる。ケース本体１０の外面には、図示しないリード線が接続されるターミナル１２が形成されている。

【0022】

電磁駆動部３は、ケース２の内部に配置された円筒状の軟磁性材料でなるヨーク２０と、ヨーク２０の内面にヨーク２０と電気的に絶縁された状態で取り付けられた第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂと、を有する。

【0023】

第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂはヨーク２０の内面に沿って巻回されている。当該第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂはそれぞれターミナル１２からの通電により磁場を発生可能である。

【0024】

可動子４は、第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂに包囲され、振動軸Ｏに沿って振動するよう配置されている。可動子４は、円板状のマグネット３０と、マグネット３０を挟むように配置された円板状の第１ポールピース３１ａ、第２ポールピース３１ｂと、マグネット３０、第１ポールピース３１ａ、第２ポールピース３１ｂを挟むように配置される第１マス（ウエイト、錘）３２ａ、第２マス（ウエイト、錘）３２ｂと、から構成されている。

【0025】

マグネット３０は着磁方向が振動軸Ｏ方向である。第１ポールピース３１ａ、第２ポールピース３１ｂは、軟磁性材料でなり、マグネット３０の磁気吸着力及び接着剤等により、マグネット３０に取り付けられている。第１マス３２ａと第２マス３２ｂは非磁性体からなり、それぞれ接着剤等により、第１ポールピース３１ａ、第２ポールピース３１ｂに取り付けられている。このため、可動子４を構成するマグネット３０、第１ポールピース３１ａ、第２ポールピース３１ｂ、第１マス３２ａ、第２マス３２ｂは一体化されている。なお、これらのマグネット３０、第１ポールピース３１ａ、第２ポールピース３１ｂ、第１マス３２ａ、第２マス３２ｂの一体化は、上述した磁気吸着力や接着剤による取り付けに限定されるものではない。ねじ止め等の機械的手段やその他の手段により固定することにより、一体化してもよい。第１マス３２ａ、第２マス３２ｂは、第１ポールピース３１ａ、第２ポールピース３１ｂとの当接面が平坦に形成されているが、この当接面と逆側の面は、振動軸Ｏを中心軸とし、その中心軸上の先端部３３ａ、３３ｂが最も外方に突出した螺旋形状に形成されている。

【0026】

このように構成された可動子４は、振動軸Ｏ方向における両端部、即ち第１マス３２ａ及び第２マス３２ｂのそれぞれの先端部３３ａ、３３ｂが第１支持ユニット５ａ及び第２支持ユニット５ｂにより支持されている。

【0027】

第１支持ユニット５ａは、第１ダンパ４０ａ（第１板バネ）と、当該第１ダンパ４０ａの一面に設けられた第１弾性部材４１ａと、から構成されている。

【0028】

図２（ａ）に示すように、第１ダンパ４０ａは、孔５０ａ（図４に図示）を有する支持部５１ａが中央部に形成されている。第１ダンパ４０ａは孔５０ａを通して可動子４と連結されている。詳しくは、孔５０ａに第１マス３２ａの先端部３３ａを挿通し、当該先端部３３ａが押し潰されることでかしめられている。なお、第１ダンパ４０ａと可動子４との固定手段はかしめに限定されるものではなく、ねじ止めや接着等の他の方法により固定（連結）することもできる。

【0029】

また第１ダンパ４０ａは、支持部５１ａから外周へ渦巻き状に延びる３つの腕部５２ａを有している。各腕部５２ａは振動軸Ｏの回りに１２０°ピッチで等間隔に形成されている。そして、各腕部５２ａの外周端はケース本体１０の内面に沿った環状の枠部５３ａに連結されている。当該枠部５３ａは、振動軸Ｏの回りに１２０°ピッチの位置にて、ケース本体１０の内面の３か所にて径方向内側に突出しているフランジ部１３ａ（図２（ｂ）に図示）にて連結されている。詳しくは、フランジ部１３ａから立設したボス部１４ａを第１ダンパ４０ａの枠部５３ａに形成された貫通孔に挿通した状態で、ボス部１４ａの先端を加熱・加圧し、押し潰すことでかしめている。枠部５３ａと第１ダンパ４０ａとの固定手段はかしめに限定されるものではなく、ねじ止めや接着等の他の方法により固定（連結）することもできる。

【0030】

第１ダンパ４０ａは、金属の一枚ないし複数枚の板バネで構成されており、例えば本実施形態ではステンレス（バネ材）の薄板を加工したものを使用している。第１ダンパ４０ａの材料は、金属に限らず樹脂や繊維を含む複合素材であってもよい。疲労に強く、可撓性に優れた材料が望ましい。

【0031】

このように構成された第１ダンパ４０ａは、振動軸Ｏ方向及び当該振動軸Ｏに垂直な径方向を含む交差方向において所定の範囲で弾性変形可能である。なお、この所定の範囲は、振動アクチュエータ１として通常に使用した場合の可動子４の振幅範囲に相当する。従って、当該所定の範囲は、少なくとも第１ダンパ４０ａがケース２に接触しない範囲であり、第１ダンパ４０ａの弾性変形の限界を超えない範囲である。

【0032】

第１弾性部材４１ａは、図３に示すように、第１ダンパ４０ａの支持部５１ａから各腕部５２ａの一定の範囲までの形状に沿った外形の板状をなし、第１ダンパ４０ａの一面に固定されている。詳しくは、第１弾性部材４１ａは、第１ダンパ４０ａ上に積層された、接着剤でなる第１接着層と、ＰＥ（ポリエチレン）でなるＰＥ層と、接着剤でなる第２接着層と、エラストマ（エラストマとしては、熱可塑性ポリウレタンエラストマー（ＴＰＵ）があるが限定するものではない）でなるエラストマ層とからなっている。そして、第１弾性部材４１ａの弾性変形（本実施形態では、ＰＥ層のずり変形、エラストマ層の曲げ変形）により、第１ダンパ４０ａの制振を行う。第１弾性部材４１ａと第１ダンパ４０ａとの固定手段は、上記の接着によるものに限定されず、樹脂製の第１弾性部材４１ａを第１ダンパ４０ａに熱溶着する等、その他の固定手段を用いてもよい。

【0033】

第２支持ユニット５ｂも、第１支持ユニット５ａと同様の構成をなしており、第２ダンパ４０ｂ（第２板バネ）及び第２弾性部材４１ｂを有している。なお、本実施形態において第２ダンパ４０ｂと第１ダンパ４０ａとが同一形状、同材料からなり、第２弾性部材４１ｂと第１弾性部材４１ａとが同一形状、同材料である。図４に示すように、第２ダンパ４０ｂの３つの腕部５２ｂは孔５０ｂが形成された支持部５１ｂから環状の枠部５３ｂまで延びている。そして、第２ダンパ４０ｂは、孔５０ｂに第２マス３２ｂの先端部３３ｂが挿入され押し潰してかしめられることで可動子４と連結されている。また、第２ダンパ４０ｂは、環状の枠部５３ｂがケース本体１０内面から突出している３つのフランジ部１３ｂと、枠部５３ｂに形成された貫通孔をフランジ部１３ｂのボス部１４ｂが挿通し押し潰されてかしめられることで連結されている。なお、第２ダンパ４０ｂの各腕部５２ｂの渦巻き方向は、第１ダンパ４０ａの各腕部５２ａの渦巻き方向と逆をなしている。これにより、振動時に可動子４は第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂから各々逆方向のトルクを受けるため、振動軸Ｏ方向に変位しても振動軸Ｏ回りに回転しない。

【0034】

（第１インナーガイド６ａ、第２インナーガイド６ｂ）
第１インナーガイド６ａは振動アクチュエータ１の振動軸Ｏ方向の一側であり、第１支持ユニット５ａよりも振動軸Ｏ方向の他側（ケース２中央側）に設けられている。第２インナーガイド６ｂは振動アクチュエータ１の振動軸Ｏ方向の他側であり、第２支持ユニット５ｂよりも振動軸Ｏ方向の一側（ケース２中央側）に設けられている。つまり、図４に示すように、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂは、ケース２内において第１支持ユニット５ａ及び第２支持ユニット５ｂよりも振動軸Ｏ方向中央側に設けられている。第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂは、例えばＡＢＳ等の樹脂で形成されている。ただし第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂの材料は樹脂に限定されるものでない。

【0035】

図２（ｂ）及び図５（ａ）、（ｂ）に示すように、第１インナーガイド６ａは、ケース本体１０の内面に沿った環状の枠部６０ａを有しており、その枠部６０ａの振動軸Ｏ回り１２０°ピッチの３か所に、ケース本体１０の径方向内側且つ振動軸Ｏ方向他側に向けて螺旋状に傾斜した段差部６１ａが形成されている。当該段差部６１ａの螺旋形状は、第１ダンパ４０ａの各腕部５２ａの渦巻き形状の外周側（基端側）の部分に沿った形状であり、且つ第１ダンパ４０ａが所定の範囲で弾性変形している際には各腕部５２ａに接触することなく、当該第１ダンパ４０ａの変形が所定の範囲を超えた際には各腕部５２ａと接触する間隔を有している。

【0036】

詳しくは、各段差部６１ａは、ケース本体１０の内面と平行な面をなす側壁６１ａｗと、当該側壁６１ａｗから径方向内側に延びる底部６１ａｂと、から構成されている。各底部６１ａｂの内縁は上面視においてケース本体１０の内面と同軸の内周円（同心円）を形成しており、各側壁６１ａｗはケース本体１０の内面側から当該内周円に向けた円弧状をなしている。第１ダンパ４０ａが振動軸Ｏの交差方向において所定の範囲を超えて変形した場合には側壁６１ａｗと接触することで当該交差方向の動きを規制し、第１ダンパ４０ａが振動軸Ｏ方向に所定の範囲を超えて変形した場合には底部６１ａｂと接触することで当該振動軸Ｏ方向の動きを規制する。

【0037】

また、各段差部６１ａには軽量化のための孔６２ａが形成されている。さらに、第１インナーガイド６ａの枠部６０ａの外周縁側にはケース本体１０の各フランジ部１３ａの形状に合わせて３か所に当該フランジ部１３ａの形状に沿った切欠部６３ａが形成されている。

【0038】

このように構成された第１インナーガイド６ａは、枠部６０ａが形成する内周円内を可動子４が振動軸Ｏ方向に進退移動可能である。また、当該枠部６０ａが形成する内周円の内縁は第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂよりも径方向内側に突出している。

【0039】

第２インナーガイド６ｂは第１インナーガイド６ａと同一形状であり、第２インナーガイド６ｂについても第１インナーガイド６ａと同様の構成をなしている。つまり、図５にてかっこ書きの符号で示すように、第１インナーガイド６ａと第２インナーガイド６ｂの各部は対応している。詳しくは第２インナーガイド６ｂは環状の枠部６０ｂを有しており、枠部６０ｂに側壁６１ｂｗと底部６１ｂｂを有する段差部６１ｂが形成されている。また、各段差部６１ｂには孔６２ｂが形成され、枠部６０ｂには切欠部６３ｂが形成されている。

【0040】

（作動）
以上のように構成された振動アクチュエータ１は、第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂに通電していない状態では、図４に示すように、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂで支持される可動子４は、第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂの中央に位置している。

【0041】

可動子４を振動させる際には、ターミナル１２を介して、第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂに、交互に逆極性の磁界を発生する向きに交流を通電させる。即ち、第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂの隣り合う部分に同極が発生するようになっている。

【0042】

例えば図６に示す極性の場合、可動子４には実線矢印Ａで示す振動軸Ｏ方向の他側（図６における下方）への推力が発生し、第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂへ流す電流を反転させれば、可動子４には点線矢印Ｂで示す振動軸Ｏ方向の一側（図６における上方）への推力が発生する。

【0043】

このように、第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂに交流を通電させれば、可動子４は第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂによる付勢力を両側から受けながら、振動軸Ｏに沿って振動する。

【0044】

ところで、可動子４に発生する推力は、基本的にはフレミングの左手の法則に基づいて与えられる推力に準じられる。本実施形態では、第１コイル２１ａ、第２コイル２１ｂがケース２に固定されているので、マグネット３０等が取り付けられた可動子４に第１コイル２１ａ、第２コイル２１ｂに発生する力の反力としての推力が発生する。

【0045】

よって、推力に寄与するのは、可動子４のマグネット３０の磁束の水平成分（マグネット３０の軸方向に直交する成分）である。そして、ヨーク２０はマグネット３０の磁束の水平成分を増大するものである。

【0046】

このように可動子４の通常の振動時は、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂは振動軸Ｏ方向及び径方向において所定の範囲で弾性変形し、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂに接触することはない。

【0047】

一方で、例えば振動アクチュエータ１を搭載した機器が落下した場合等で振動アクチュエータ１に外部から衝撃が加わると、可動子４が過剰な振幅で動き第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂが所定の範囲を超えた動きをすることがあるが、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂと接触することでこの動きが規制される。

【0048】

具体的には図７（ａ）に示すように、可動子４が振動軸Ｏ方向一側に過剰振幅し、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂが所定の範囲を超える動きをした場合、第２ダンパ４０ｂの腕部５３ｂが、第２インナーガイド６ｂの段差部６１ｂの底部６１ｂｂと接触する。これにより、可動子４がそれ以上振動軸Ｏ方向一側に移動することが規制され、可動子４はケース２（第１カバーケース１１ａ）と接触することが防止される。

【0049】

また、図７（ｂ）に示すように、可動子４が振動軸Ｏ方向他側に過剰振幅し、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂが所定の範囲を超える動きをした場合、第１ダンパ４０ａの腕部５２ａが、第１インナーガイド６ａの段差部６１ａの底部６１ａｂと接触する。これにより、可動子４がそれ以上振動軸Ｏ方向他側に移動することが規制され、可動子４はケース２（第２カバーケース１１ｂ）と接触することが防止される。

【0050】

図示しないが、ケース２に径方向の衝撃が加わった場合は、可動子４も径方向に移動する。このような場合に、可動子４が径方向に移動し、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂが径方向における所定の範囲を超える動きをすると、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂの腕部５２ａ，５２ｂが、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂの段差部６１ａ、６１ｂの側壁６１ａｗ、６１ｂｗと接触する。これにより、可動子４がそれ以上ケース２の径方向に移動することが規制され、可動子４はケース２と接触することが防止される。なお、必ずしも第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂの両方が、対応する第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂと接触する必要はなく、片方が接触しても同様の効果を奏する。

【0051】

このように本実施形態における振動アクチュエータ１によれば、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂが第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂの動きを規制することで、可動子４の過剰振幅を抑制することができる。また、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂは板バネで構成されているから、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂが第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂに接触した際には第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂが弾性変形し、衝撃を吸収できる。また、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂは第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂより振動軸Ｏ方向においてケース２の内側に設けられていることから、ケース２の大型化を防ぐことができる。これにより、振動アクチュエータ１の大型化を防ぎつつ、外部からの衝撃が生じた際の可動子４への衝撃を抑制することができる。

【0052】

特に、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂは、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂの振動軸Ｏ方向における動きを規制することで、可動子４の振動軸Ｏ方向の過剰振幅を抑制することができる。

【0053】

また、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂは、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂのケース２の径方向を含む振動軸Ｏの交差方向における動きを規制することで、可動子４の径方向の動きを抑制することができる。

【0054】

第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂは、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂの腕部５２ａ，５２ｂの渦巻き形状に対応し振動軸Ｏ方向を中心とした螺旋状の段差部６１ａ、６１ｂを有することで、第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂの形状に合わせて振動軸Ｏ方向及び振動軸Ｏの交差方向の動きを規制することができる。また、段差部６１ａ，６１ｂは、可動子４の振動時における各腕部５２ａ、５２ｂの形状に沿った底部６１ａｂ、６１ｂｂを有するので、腕部５２ａ、５２ｂと底部６１ａｂ、６１ｂｂとを面接触させることができ、衝撃を分散できる。

【0055】

また、第１インナーガイド６ａは振動軸Ｏ方向において電磁駆動部３と第１ダンパ（第１板バネ）４０ａとの間に、第２インナーガイド６ｂは振動軸Ｏ方向において電磁駆動部３と第２ダンパ（第２板バネ）４０ｂとの間に、それぞれ位置していることで、電磁駆動部３と第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂとの接触を防止できる。

【0056】

さらに、第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂは、枠部６０ａ、６０ｂの内周円の内縁が第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂよりも径方向内側（可動子４側）に突出していることで、第１コイル２１ａ及び第２コイル２１ｂとの接触をより確実に防止することができる。

【0057】

また、可動子４の両端を支持する第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂを設け、これに対応する第１インナーガイド６ａ及び第２インナーガイド６ｂによって振動軸Ｏ方向の一側方向と他側方向の規制をそれぞれ担当することで、インナーガイドの占有スペースを小さくでき、小型化することができる。

【0058】

以上で本発明の実施形態の説明を終えるが、本発明の態様はこの実施形態に限定されるものではない。

【0059】

例えば、上記実施形態では、可動子４を支持する第１支持ユニット５ａ及び第２支持ユニット５ｂは、渦巻き状の腕部５２ａ，５２ｂを有する第１ダンパ４０ａ及び第２ダンパ４０ｂを使用しているが、支持ユニットとしてはその他の板バネを用いてもよい。例えば、曲線だけでなく直線を組み合わせた変則的な渦巻き状、十字状や卍状の板バネを用いてもよい。この場合、インナーガイドも板バネの形状に沿った形状とする。

【0060】

また、上記実施形態では、第１支持ユニット５ａ及び第２支持ユニット５ｂは第１弾性部材４１ａ及び第２弾性部材４１ｂを有しているが、必ずしも弾性部材を有していなくてもよい。

【0061】

また、上記実施形態のケース２は円筒状をなしており、可動子４は略円柱状をなしているが、ケース及び可動子の形状はこれに限られるものではなく、多角形やその他の形状であってもよい。

【符号の説明】

【0062】

１ 振動アクチュエータ
２ ケース
３ 電磁駆動部
４ 可動子
５ａ 第１支持ユニット
５ｂ 第２支持ユニット
６ａ 第１インナーガイド
６ｂ 第２インナーガイド
４０ａ 第１ダンパ（板バネ、第１板バネ）
４０ｂ 第２ダンパ（板バネ、第２板バネ）
６１ａ、６１ｂ 段差部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】