特許7186722耐プラズマ性を有する樹脂組成物、及び、それを用いた静電チャック装置

発明の名称　耐プラズマ性を有する樹脂組成物、及び、それを用いた静電チャック装置

出願人　株式会社巴川製紙所　（識別番号 153591）

　　　　特許公開件数ランキング 2228 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1173 位（16件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7186722

公報発行日　2022年12月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7186722

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