特許7186751レジスト剥離方法、レジスト剥離装置、及び、前処理方法

発明の名称　レジスト剥離方法、レジスト剥離装置、及び、前処理方法

出願人　野村マイクロ・サイエンス株式会社　（識別番号 245531）

　　　　特許公開件数ランキング 2800 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 997 位（6件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人東北大学　（識別番号 504157024）

　　　　特許公開件数ランキング 323 位（59件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 177 位（93件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7186751

公報発行日　2022年12月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7186751

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