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公報発行日 2022年12月12
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前述したような実施例に係わるヒータモジュール、ヒータモジュールの製造方法、及びヒータモジュールを含むエアロゾル生成装置によれば、損失される熱を遮断することで、加熱対象物を迅速かつ安定して加熱することができる。
また、ヒータモジュール内部の一部を大気圧よりも低い圧力状態である真空状態に保持して熱損失を最小化することができ、加熱性能と安定性とが向上する。
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