特許7187124IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

単一のガス発生用電源を有するガス生成装置を用い、原料ガスから生成ガスを生成するガス生成方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

一方、要求されるオゾン発生量がユーザごとに異なる場合が多いというユーザ要求傾向がある。このユーザ要求傾向に対応すべく、比較的大きな最大出力電力Wmaxを有するオゾン用電源を採用するのが一般的であった。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示に係るガス生成方法は、ガス生成装置を用いたガス生成方法であって、前記ガス生成装置は、放電空間に誘電体バリア放電を発生させ、前記放電空間に供給した原料ガスから生成ガスを生成して外部に出力するガス発生器と、前記ガス発生器に交流電圧を付与する単一のガス発生用電源と、前記ガス発生器に入力される原料ガス流量を制御する流量制御機器と、前記ガス発生器内の圧力である内部圧力を自動制御する圧力制御機器と・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示によれば、ステップ(a)~(d)を含むリミット投入電力算出処理を実行することにより、目標ガス流量及び目標ガス濃度を満足する生成ガスの出力に適した必要最小限の電力値であるリミット投入電力を得ることができる。

したがって、本開示のガス生成方法に含まれるリミット投入電力算出処理の実行後、実制御処理の実行時に、ステップ(e)にて、単一のガス発生用電源の最大出力電力をリミット投入電力に設定することができる。ガス発生用電源の最小変動量は最大出力電力と正の相関があるため、実制御処理の実行時に、ガス発生用電源の最小変動量を低く抑えることができる。

その結果、本開示のガス生成方法は、ガス生成装置を用いて、生成ガスのガス濃度の変動量を低くして高精度なガス濃度制御を行うことができる効果を奏する。

加えて、本開示のガス生成方法に用いるガス生成装置は、単一のガス発生用電源を有する比較的簡単な構成であるため、ガス生成装置に関するコストの低減化を図ることができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 実施の形態であるオゾン生成方法で用いるオゾン生成装置の構成を示すブロック図である。
【図2】 実施の形態のオゾン生成方法に含まれるリミット投入電力算出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図3】 実施の形態のオゾン生成方法に含まれる実制御処理の処理手順を示すフローチャートである。

代表図 図1本件の代表的な図

1 オゾン発生器 2 オゾン用電源 3 MFC 4 APC 5 制御部 6 オゾン濃度モニタ 10 原料供給系 20 オゾン処理装置 22 リミット制御部 100 オゾン生成装置

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