特許7187186真空ポンプ、ステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システム

発明の名称　真空ポンプ、ステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システム

出願人　エドワーズ株式会社　（識別番号 508275939）

　　　　特許公開件数ランキング 1140 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1152 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7187186

公報発行日　2022年12月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7187186

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7187186「真空ポンプ、ステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録