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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-12-02
(45)【発行日】2022-12-12
(54)【発明の名称】ロードセル
(51)【国際特許分類】
   G01L 1/22 20060101AFI20221205BHJP
   G01L 3/10 20060101ALI20221205BHJP
   G01L 5/1627 20200101ALI20221205BHJP
【FI】
G01L1/22 F
G01L3/10 311
G01L5/1627
【請求項の数】 7
(21)【出願番号】P 2019043991
(22)【出願日】2019-03-11
(65)【公開番号】P2020148495
(43)【公開日】2020-09-17
【審査請求日】2022-02-03
(73)【特許権者】
【識別番号】000105659
【氏名又は名称】日本電産コパル電子株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001737
【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】遠藤 嵩幸
(72)【発明者】
【氏名】熊 四輩
(72)【発明者】
【氏名】大竹 ありさ
【審査官】公文代 康祐
(56)【参考文献】
【文献】特開2017-172983(JP,A)
【文献】特開2010-101678(JP,A)
【文献】特開2000-146716(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2003/0042050(US,A1)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G01L 1/22
G01L 3/10
G01L 5/1627
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の第1切り欠き部を有する円筒形の第1構造体と、
複数の第2切り欠き部を有し、前記第1構造体と同心状に配置された円筒形の第2構造体と、
前記第1構造体と前記第2構造体とを接続する第3構造体と、
歪センサが設けられ、第1端部が前記第1構造体の複数の前記第1切り欠き部にそれぞれ挿入され、第2端部が前記第2構造体の複数の前記第2切り欠き部に挿入される複数の起歪体と、
複数の前記第1切り欠き部内にそれぞれ圧入され、前記起歪体の前記第1端部を前記第1構造体に固定させる複数の第1ブロックと、
複数の前記第2切り欠き部内にそれぞれ圧入され、前記起歪体の前記第2端部を前記第2構造体に固定させる複数の第2ブロックと、
を具備することを特徴とするロードセル。
【請求項2】
前記第1ブロック及び前記第2ブロックの幅は、前記第1切り欠き部及び前記第2切り欠き部のそれぞれの幅より広いことを特徴とする請求項1記載のロードセル。
【請求項3】
前記第1ブロックのそれぞれと前記第2ブロックのそれぞれとの間に設けられた第1梁部をさらに具備することを特徴とする請求項2記載のロードセル。
【請求項4】
前記第2ブロックの相互間に設けられた第2梁部をさらに具備することを特徴とする請求項3記載のロードセル。
【請求項5】
前記第2梁部は、環状であり、前記第2構造体の外周に設けられることを特徴とする請求項4記載のロードセル。
【請求項6】
前記第2梁部は、環状であり、前記第2構造体の内周に設けられることを特徴とする請求項4記載のロードセル。
【請求項7】
前記第1ブロックのそれぞれと前記起歪体のそれぞれの前記第1端部との間、及び前記第2ブロックのそれぞれと前記起歪体のそれぞれの前記第2端部との間に設けられたばね座金をさらに具備することを特徴とする請求項2記載のロードセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、力やトルクを検出することが可能なロードセルに関する。
【背景技術】
【0002】
ロードセルは、例えば力を受ける起歪体と、起歪体に設けられた歪センサとしての歪ゲージと、起歪体が固定される構造体を用いて構成される(例えば特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開2017-172983号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
起歪体は、例えば構造体にボルトを用いて固定される。しかし、ロードセルの小型化に伴い、起歪体をボルトにより構造体に固定することが困難となっており、構造体に対する起歪体の位置を高精度に保持することが困難となっている。
【0005】
構造体に対して起歪体が高精度に固定されていない場合、歪ゲージにおいて、歪と電気抵抗の変化との比率としてのゲージファクタが小さくなり、例えば弱い力を正確に検出することが困難となるなどの問題がある。
【0006】
本実施形態は、起歪体を本体に対して高精度に固定することが可能なロードセルを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本実施形態のロードセルは、複数の第1切り欠き部を有する円筒形の第1構造体と、複数の第2切り欠き部を有し、前記第1構造体と同心状に配置された円筒形の第2構造体と、前記第1構造体と前記第2構造体とを接続する第3構造体と、歪センサが設けられ、第1端部が前記第1構造体の複数の前記第1切り欠き部にそれぞれ挿入され、第2端部が前記第2構造体の複数の前記第2切り欠き部に挿入される複数の起歪体と、複数の前記第1切り欠き部内にそれぞれ圧入され、前記起歪体の前記第1端部を前記第1構造体に固定させる複数の第1ブロックと、複数の前記第2切り欠き部内にそれぞれ圧入され、前記起歪体の前記第2端部を前記第2構造体に固定させる複数の第2ブロックと、を具備する。
【図面の簡単な説明】
【0008】
図1】第1実施形態に係るロードセルを示す平面図。
図2図1のII-II線に沿った断面図。
図3図1の一部を分解して示す斜視図。
図4】第1実施形態に適用される起歪体及び歪センサの一例を示す平面図。
図5】第2実施形態に係るロードセルを一部分解して示す斜視図。
図6】第3実施形態に係るロードセルを示す斜視図。
図7図6の一部を分解して示す斜視図。
図8】第4実施形態に係るロードセルを示す斜視図。
図9図8の一部を分解して示す斜視図。
図10】第5実施形態に係るロードセルを示す斜視図。
図11図10の一部を分解して示す斜視図。
図12】第6実施形態に係るロードセルを示す斜視図。
図13図12の一部を分解して示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。図面において、同一部分には、同一符号を付している。
【0010】
(第1実施形態)
図1乃至図3は、第1実施形態に係るロードセル10を示している。
ロードセル10は、本体としての第1構造体11、第2構造体12及び第3構造体13と、第1センサチップを構成する第1起歪体14、第2センサチップを構成する第2起歪体15、及び例えば2つの第1ブロック16a、16b、及び2つの第2ブロック17a、17bを具備している。
【0011】
第1構造体11、第2構造体12及び第3構造体13は、金属例えばステンレススチール(SUS)により一体的に構成されている。しかし、構造体の材料は、SUSに限定されるものではなく、鉄、アルミニウム、樹脂などの材料を使用することも可能である。
【0012】
第1構造体11及び第2構造体12は、例えば円筒であり、第2構造体12は、第1構造体11の内側で、第1構造体11と同心状に配置されている。すなわち、第1構造体11と第2構造体12は、中心軸を共有している。
【0013】
図2図3に示すように、第3構造体13は、第1構造体11と第2構造体12の軸心に沿った方向のほぼ中間部において、第1構造体11と第2構造体12とを接続する。第3構造体13は、弾性を有しており、第2構造体12は、第1構造体11に対して、軸心に沿った方向(図1、2に示す矢印Z方向)及び軸心回り方向(図2に示す矢印T方向)に移動可能とされている。
【0014】
第1構造体11は、直径方向に例えば2つの第1切り欠き部11a、11bを具備し、第2構造体12も、直径方向に例えば2つの第2切り欠き部12a、12bを具備している。第1切り欠き部11a、11b及び第2切り欠き部12a、12bは、例えば凹字状である。第1切り欠き部11a、11bにより、第1構造体11の内側と外側が連通され、第2切り欠き部12a、12bにより、第2構造体12の内側と外側が連通されている。
【0015】
第1起歪体14は、第1構造体11の第1切り欠き部11a内と、第2構造体12の第2切り欠き部12a内に挿入される。すなわち、第1起歪体14の第1端部は、第1切り欠き部11a内に配置され、第2端部は、第2切り欠き部12a内に配置される。
【0016】
第2起歪体15は、第1構造体11の第1切り欠き部11b内と、第2構造体12の第2切り欠き部12b内に挿入される。すなわち、第2起歪体15の第1端部は、第1切り欠き部11b内に配置され、第2端部は、第2切り欠き部12b内に配置される。
【0017】
第1起歪体14及び第2起歪体15は、例えばSUSにより構成されている。第1起歪体14及び第2起歪体15の厚みは、例えば第3構造体13の厚みより薄く、後述するように、第2構造体12が第1構造体11に対して移動した場合、変形可能とされている。
【0018】
第1構造体11の第1切り欠き部11a内には、第1ブロック16aが設けられ、第2構造体12の第2切り欠き部12a内には、第2ブロック17aが設けられる。さらに、第1構造体11の第1切り欠き部11b内には、第1ブロック16bが設けられ、第2構造体12の第2切り欠き部12b内には、第2ブロック17bが設けられる。
【0019】
第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bは、第1切り欠き部11a、11b及び第2切り欠き部12a、12bの形状に対応した例えば直方体であり、例えば第1構造体11、第2構造体12、第3構造体13と同様の材料、又は、硬質のゴムにより製造されている。
【0020】
図3に示すように、第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bの幅W1は、第1構造体11の第1切り欠き部11a、11b、及び第2構造体12の第2切り欠き部12a、12bの幅W2より僅かに広い(W1>W2)。このため、第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bは、第1切り欠き部11a、11b及び第2切り欠き部12a、12bにそれぞれ圧入される。
【0021】
第1起歪体14の第1端部は、第1ブロック16aにより第1切り欠き部11a内の例えば上面、すなわち第1構造体11に圧接される。第1起歪体14の第2端部は、第2ブロック17aにより第2切り欠き部12a内の例えば上面、すなわち第2構造体12に圧接される。
【0022】
第2起歪体15の第1端部は、第1ブロック16bにより第1切り欠き部11b内の例えば上面、すなわち第1構造体11に圧接される。第2起歪体15の第2端部は、第2ブロック17bにより第2切り欠き部12b内の例えば上面、すなわち第2構造体12に圧接される。
【0023】
第1切り欠き部11a、11b及び第2切り欠き部12a、12bの幅W2は、第1起歪体14及び第2起歪体15の幅W3とほぼ等しいか僅かに大きい(W2≧W3)。このため、第1、第2起歪体14、15は、第1切り欠き部11a、11b、及び第2切り欠き部12a、12b内において、第1構造体11及び第2構造体12の円周方向に移動しないように規制される。
【0024】
第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bの形状は、直方体に限らず、第1切り欠き部11a、22b、第2切り欠き部12a、12bに圧入可能で、第1、第2起歪体14、15の第1、第2端部に面接触又は線接触し、第1、第2端部を押圧可能な形状であればよい。
【0025】
図4は、第1起歪体14及び第2起歪体15の構成を概略的に示している。
第1起歪体14の表面には、歪センサ(歪ゲージ)としての例えば薄膜抵抗体R1、R2が配置され、第2起歪体15の表面には、歪センサとしての例えば薄膜抵抗体R3、R4が配置されている。薄膜抵抗体R1~R4は、第1、第2起歪体14、15において大きな歪が発生する位置に配置される。具体的には、薄膜抵抗体R1~R4は、第1、第2起歪体14、15の長手方向中央部より、第2構造体12側に配置される。
【0026】
薄膜抵抗体R1~R4は、例えば図示せぬホイートストンブリッジ回路を構成し、このブリッジ回路より、ロードセルの出力信号が出力される。
【0027】
図2に示すように、ロードセル10に外部から矢印Z方向の力が印加され、第1構造体11に対して第2構造体12が軸心に沿った方向に移動すると、第1起歪体14及び第2起歪体15が変形する。これにより、薄膜抵抗体R1~R4が圧縮又は伸張され、抵抗値が変化すると、ブリッジ回路から印加された力に応じた電気信号がセンサ出力として発生される。
【0028】
また、ロードセル10は、軸心回りに力が印加された場合、トルクセンサとしても機能する。
【0029】
(第1実施形態の効果)
第1実施形態によれば、第1構造体11は、第1切り欠き部11a、11bを有し、第2構造体12は、第2切り欠き部12a、12bを有し、第1起歪体14の第1端部は、第1切り欠き部11a内に圧入された第1ブロック16aにより、第1構造体11に密着して固定され、第2端部は、第2切り欠き部12a内に圧入された第2ブロック17aにより、第2構造体12に密着して固定される。また、第2起歪体15の第1端部は、第1切り欠き部11b内に圧入された第1ブロック16bにより、第1構造体11に密着して固定され、第2端部は、第2切り欠き部12b内に圧入された第2ブロック17bにより、第2構造体12に密着して固定されている。このため、ボルトを用いて起歪体を固定する場合に比べて、ロードセル10を小型化することが可能であり、第1構造体11及び第2構造体12が小型化された場合においても、第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bによって、第1起歪体14及び第2起歪体15を第1構造体11及び第2構造体12に確実且つ高精度に固定することができる。したがって、ロードセル10に弱い力が印加された場合においても、印加された力を高精度に検出することが可能である。
【0030】
また、本実施形態によれば、第1切り欠き部11a、11b内に第1ブロック16a、16bを圧入し、第2切り欠き部12a、12b内に第2ブロック17a、17bを圧入することにより、第1起歪体14及び第2起歪体15を第1構造体11及び第2構造体12に固定することができる。したがって、第1構造体11及び第2構造体12が小型化された場合においても、ボルトを用いる場合に比べて、製造が容易であり、製造コストを低廉化することが可能である。
【0031】
さらに、第1ブロック16a、16bは、第1切り欠き部11a、11b内に圧入され、第2ブロック17a、17bは、第2切り欠き部12a、12b内に圧入される。このため、第1ブロック16a、16bは第1切り欠き部11a、11b内に密着され、第2ブロック17a、17bは、第2切り欠き部12a、12b内に密着される。したがって、第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bは、第1切り欠き部11a、11b及び第2切り欠き部12a、12bを密閉するパッキンとして機能し、ロードセル10内に塵埃や水分が侵入することを防止できる。
【0032】
尚、本体を構成する第1構造体11及び第2構造体12は、円筒形に限定されるものではなく、例えば直方体であってもよい。この場合、第3構造体13は、第1構造体11及び第2構造体12を接続する構成であればよい。
【0033】
起歪体の数は、2つに限定されるものではなく、1つ又は、3つ以上であってもよい。
【0034】
起歪体に設けられる歪ゲージの数は、2つに限定されるものではなく、1つ又は4つでもよく、歪ゲージの種類は薄膜抵抗体に限定されるものではない。
【0035】
(第2実施形態)
図5は、第2実施形態に係るロードセル10の一部を分解して示している。
【0036】
第2実施形態において、第1ブロック16a、16bのそれぞれと第2ブロック17aのそれぞれとの間には、第1梁部18が設けられている。すなわち、第1ブロック16aと第2ブロック17aは、第1梁部18により接続され、第1ブロック16bと第2ブロック17bは、第1梁部18により接続されている。第1梁部18の材料は、第1ブロック16a、16b、第2ブロック17a、17bの材料と同様である。
【0037】
(第2実施形態の効果)
第2実施形態によっても、第1実施形態と同様に、第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bにより第1、第2起歪体14、15を高精度に固定することができる。
【0038】
しかも、第2実施形態によれば、第1ブロック16aと第2ブロック17aは、第1梁部18により接続され、第1ブロック16bと第2ブロック17bは、第1梁部18により接続されている。このため、印加された荷重により、第1構造体11と第2構造体12が相対的に移動した場合、第1梁部18によって、第1、第2起歪体14、15が軸回り方向に変形することを防止できる。したがって、印加された荷重を高精度に検出することが可能である。
【0039】
また、第1ブロック16a、16bと第2ブロック17a、17bとがそれぞれ第1梁部18により接続されているため、第1ブロック16aと第2ブロック17aを同時に第1切り欠き部11aと第2切り欠き部12aに装着することができ、第1ブロック16bと第2ブロック17bを同時に第1切り欠き部11bと第2切り欠き部12bに装着することができる。したがって、組み立て工数を削減することが可能である。
【0040】
しかも、第1梁部18により第1ブロック16a、16bと第2ブロック17a、17bとがそれぞれ接続されているため、第1ブロック16a及び第2ブロック17aと、第1切り欠き部11a及び第2切り欠き部12aの位置決めを容易、且つ正確に行うことが可能である。したがって、製品毎のばらつきを防止でき、品質を向上させることが可能である。
【0041】
さらに、第1梁部18により第1ブロック16a、16bと第2ブロック17a、17bとがそれぞれ接続されているため、第1ブロック16a、16bと第2ブロック17a、17bが分離されている場合に較べて、部品の管理を容易化することが可能である。
【0042】
(第3実施形態)
図6図7は、第3実施形態に係るロードセル10を示している。
【0043】
第3実施形態において、第1梁部18により接続された第1ブロック16a及び第2ブロック17aと、第1梁部18により接続された第1ブロック16b及び第2ブロック17bとは、さらに、第2梁部19により接続される。
【0044】
第2梁部19は、第2構造体12の直径に沿った直線状であり、第2ブロック17aと第2ブロック17bの間に設けられる。このため、第1ブロック16a、16bと第2ブロック17a、17bは、第1梁部18及び第2梁部19により一体化される。第2梁部19の材料は、第1梁部18の材料と同様である。
【0045】
(第3実施形態の効果)
第3実施形態によっても、第1、第2実施形態と同様に、第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bにより第1、第2起歪体14、15を高精度に固定することができる。
【0046】
しかも、第3実施形態によれば、第1梁部18により接続された第1ブロック16a及び第2ブロック17aと、第1梁部18により接続された第1ブロック16b及び第2ブロック17bは、第2梁部19により接続され、一体化されている。このため、第1ブロック16a、16bと第2ブロック17a、17bを、第1切り欠き部11a、11bと、第2切り欠き部12a、12bに一体的に装着することができる。したがって、第2実施形態に比べて一層、組み立てを容易化することができ、製品毎のばらつきを防止できる。
【0047】
また、第2実施形態に比べて一層、部品点数を削減することが可能であるため、部品の管理を容易化することが可能である。
【0048】
(第4実施形態)
図8図9は、第4実施形態に係るロードセルを示している。
第3実施形態において、第2梁部19は、直線状に形成されている。これに対して、第4実施形態において、第2梁部20は、環状に形成されている。
【0049】
図9に示すように、第2構造体12は、外周に沿って、段部12cを有しており、第2切り欠き部12d、12eは、段部12cに設けられている。この場合、第2切り欠き部12d、12eは、第2構造体12の内側と外側を連通していない。しかし、第1、第2起歪体14、15に接続された図示せぬ配線を第2構造体12の内側に引き出すため、第2構造体12の内側と外側が連通するように、第2切り欠き部12d、12eを形成してもよい。
【0050】
また、第2切り欠き部12d、12eの深さは、第1、第2起歪体14、15の厚みより例えば浅くされており、第1、第2起歪体14、15の表面が段部12cの表面から僅かに突出可能とされている。
【0051】
環状の第2梁部20の内径は、第2構造体12の外径より僅かに小さくされている。このため、第2梁部20は、第2構造体12に装着する場合、第2構造体12に対して圧入される。
【0052】
環状の第2梁部20は、第2構造体12の外側に圧入され、第1ブロック16a、16bは、第1切り欠き部11a、11bに圧入される。このため、第2梁部20及び第1ブロック16a、16bにより、第1、第2起歪体14、15が第1構造体11及び第2構造体12に確実に固定される。
【0053】
図9の破線内に示すように、環状の第2梁部20は、第2ブロック17a、17bを有していてもよい。この場合、第1、第2起歪体14、15は、第2ブロック17a、17bによっても第2構造体12に固定される。
【0054】
(第4実施形態の効果)
第4実施形態によっても、第1乃至3実施形態と同様に、第1ブロック16a、16b(及び第2ブロック17a、17b)、及び第2梁部20により第1、第2起歪体14、15を高精度に固定することができる。
【0055】
しかも、第4実施形態によれは、第1ブロック16a、16b(及び第2ブロック17a、17b)、及び第1梁部18は、環状の第2梁部20により接続され、一体化されている。このため、第1ブロック16a、16b(及び第2ブロック17a、17b)と環状の第2梁部20を、第1切り欠き部11a、11b(及び第2切り欠き部12a、12b)と第2構造体12に一体的に装着することができる。したがって、組み立てを容易化することができ、製品毎のばらつきを防止でき、品質を向上させることが可能である。
【0056】
また、環状の第2梁部20は、第2構造体12の外側に圧入されるため、第2構造体12の内側と外側を分離するパッキンとして機能する。このため、第1構造体11と第2構造体12との間に塵埃や水分が侵入することを防止でき、品質の劣化を防止することが可能である。
【0057】
(第5実施形態)
図10図11は、第5実施形態に係るロードセル10を示している。
第4実施形態において、環状の第2梁部20は、第2構造体12の外側に装着された。これに対して、第5実施形態において、環状の第2梁部30は、第2構造体12の内側に装着される。
【0058】
図11に示すように、第2構造体12は、内周に沿って、段部12fを有しており、第2切り欠き部12g、12hは、第2構造体12及び段部12fに設けられている。この場合、第2切り欠き部12g、12hは、第2構造体12の内側と外側を連通しており、第1、第2起歪体14、15に接続された図示せぬ配線を第2構造体12の内側に引き出すための通路として使用することもできる。
【0059】
また、第2切り欠き部12g、12hの深さは、第1、第2起歪体14、15の厚みと、環状の第2梁部30の厚みの合計とほぼ等しくされている。このため、第1、第2起歪体14、15を第2切り欠き部12b、12h内に装着した場合、第1、第2起歪体14、15の表面が段部12fの表面から僅かに突出される。第2切り欠き部12g、12hの幅W2は、第1、第2起歪体14、15の幅W3とほぼ等しいか僅かに大きい。このため、第1、第2起歪体14、15が第1、第2構造体11、12の周囲方向に移動することを規制できる。
【0060】
環状の第2梁部30は、第2ブロック17a、17bを接続するように配置されている。環状の第2梁部30の外径は、第2構造体12の内径より僅かに大きく、第2梁部30は、第2構造体12に装着する場合、第2構造体12に対して圧入される。
【0061】
環状の第2梁部30は、第2構造体12の内側に圧入され、第1ブロック16a、16bは、第1切り欠き部11a、11bに圧入され、第2ブロック17a、17bは、第2切り欠き部12g、12hに圧入される。このため、第1、第2起歪体14、15は、第1ブロック16a、16b、第2ブロック17a、17b、及び第2梁部20により、第1構造体11及び第2構造体12に確実に固定される。
【0062】
(第5実施形態の効果)
第5実施形態によっても、第1乃至第4実施形態と同様に、第1ブロック16a、16b、第2ブロック17a、17b、及び第2梁部30により第1、第2起歪体14、15を高精度に固定することができる。
【0063】
しかも、第5実施形態によれは、第1ブロック16a、16b、第2ブロック17a、17b、及び第1梁部18は、環状の第2梁部30により接続され、一体化されている。このため、第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bと環状の第2梁部30を、第1切り欠き部11a、11b、第2切り欠き部12a、12bと第2構造体12に一体的に装着することができる。したがって、組み立てを容易化することができ、製品毎のばらつきを防止でき、品質を向上させることが可能である。
【0064】
また、環状の第2梁部30は、第2構造体12の内側に圧入され、第2ブロック17a、17bは、第2切り欠き部12a、12bに圧入されるため、第2構造体12の内側と外側を分離するパッキンとして機能する。このため、第1構造体11と第2構造体12との間に塵埃や水分が侵入することを防止でき、品質の劣化を防止することが可能である。
【0065】
(第6実施形態)
図12図13は、第6実施形態に係るロードセルを示している。
第6実施形態は、第1実施形態を変形したものであり、図13に示すように、第1ブロック16a、16bと第1起歪体14との間、及び第2ブロック17a、17bと第2起歪体15との間にそれぞればね座金40が設けられている。
【0066】
第1ブロック16a、16bが第1切り欠き部11a、11bに圧入され、第2ブロック17a、17bが第2切り欠き部12a、12bに圧入された状態において、第1、第2起歪体14、15は、ばね座金40と第1ブロック16a、16bとにより、第1構造体11に固定され、ばね座金40と第2ブロック17a、17bとにより、第2構造体12に固定される。
【0067】
(第6実施形態の効果)
第6実施形態によっても、第1乃至第5実施形態と同様に、第1ブロック16a、16b及び第2ブロック17a、17bにより第1、第2起歪体14、15を高精度に固定することができる。
【0068】
しかも、第6実施形態によれば、第1ブロック16a、16bと第1起歪体14との間、及び第2ブロック17a、17bと第2起歪体15との間にそれぞればね座金40が設けられている。このため、ばね座金40の弾性により、第1、第2起歪体14、15を第1構造体11及び第2構造体12に対して強固に固定することが可能であり、振動に強いロードセルを構成することができる。
【0069】
尚、第6実施形態に係るばね座金40を第2乃至第5の実施形態に適用することも可能である。
【0070】
その他、本発明は上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【0071】
10…ロードセル、11…第1構造体、11a、11b…第1切り欠き部、12…第2構造体、12a、12b、12d、12e、12g、12h…第2切り欠き部、12c、12f…段部、13…第3構造体、14…第1起歪体、15…第2起歪体、16a、16b…第1ブロック、17a、17b…第2ブロック、18…第1梁部、19、20、30…第2梁部、40…ばね座金、R1~R4…薄膜抵抗体。
図1
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図13