特許 7188221 液晶パネル製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-05

(45)【発行日】2022-12-13

(54)【発明の名称】液晶パネル製造装置

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/1337 20060101AFI20221206BHJP

   G02F 1/13 20060101ALI20221206BHJP

【ＦＩ】

G02F1/1337

G02F1/13 101

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2019056647

(22)【出願日】2019-03-25

(65)【公開番号】P2020160136

(43)【公開日】2020-10-01

【審査請求日】2021-11-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000003757

【氏名又は名称】東芝ライテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤岡 純

(72)【発明者】

【氏名】加藤 剛雄

(72)【発明者】

【氏名】日野 弘喜

(72)【発明者】

【氏名】田内 亮彦

(72)【発明者】

【氏名】西原 隆史

【審査官】磯崎 忠昭

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－０９８３１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２２０６６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１４６８６５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－０８０１９９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｆ １／１３３７

Ｇ０２Ｆ １／１３

Ｇ０２Ｆ １／１３３４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

発光部と、前記発光部の両端に設けられる非発光部とを有し、光反応性物質を含有する被処理パネルに光を照射する複数の放電ランプと；
前記複数の放電ランプと前記被処理パネルとの間に配置されるシャッタと；
を具備し、
前記複数の放電ランプは、各放電ランプの直径Ｄ［ｍｍ］と径方向に隣り合う放電ランプ間のピッチｄ１［ｍｍ］とが１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有し、
前記シャッタは、１０００［ｍｍ／ｓ］以上の駆動速度で開閉する可動部を有し、
前記可動部は、複数の第１可動片と複数の第２可動片とを有し、
前記シャッタが開状態から閉状態に動作される場合、前記複数の第１可動片は第１方向に、前記複数の第２可動片は前記第１方向とは反対の第２方向に、それぞれ移動し、
前記シャッタが閉状態から開状態に動作される場合、前記複数の第１可動片は前記第２方向に、前記複数の第２可動片は前記第１方向に、それぞれ移動する、液晶パネル製造装置。

【請求項2】

前記複数の放電ランプは、
径方向に隣り合う放電ランプの発光部同士が２０［ｍｍ］以上１２０［ｍｍ］以下の範囲でオーバーラップするように千鳥配列されている、請求項１に記載の液晶パネル製造装置。

【請求項3】

前記被処理パネルは、液晶層と、前記液晶層を挟んで対向する一対の基板とを有し、
前記複数の放電ランプは、電圧を印加した前記液晶層に紫外線を照射する、請求項１または２に記載の液晶パネル製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、液晶パネル製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、光反応性物質を含有する液晶体を封入した被処理パネルに対する電圧の印加と紫外線の照射を並行することで、液晶体に含まれるモノマーの配向状態を制御する液晶パネル製造装置がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１１‐１４６３６３号公報

【文献】特開２００９‐２６６５７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、高性能な液晶パネルを製造するためには、照射性能を向上させて被処理パネルに対する紫外線の照射ムラを低減することが求められる。

【0005】

本発明が解決しようとする課題は、被処理パネルに対する紫外線の照射ムラを低減することができる液晶パネル製造装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

実施形態の液晶パネル製造装置は、複数の放電ランプとシャッタとを具備する。放電ランプは、発光部と、発光部の両端に設けられる非発光部とを有する。放電ランプは、光反応性物質を含有する被処理パネルに光を照射する。シャッタは、複数の放電ランプと被処理パネルとの間に配置される。複数の放電ランプは、各放電ランプの直径Ｄ［ｍｍ］と径方向に隣り合う放電ランプ間のピッチｄ１［ｍｍ］とが１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有する。シャッタは、１０００［ｍｍ／ｓ］以上の駆動速度で開閉する可動部を有する。可動部は、複数の第１可動片と複数の第２可動片とを有する。シャッタが開状態から閉状態に動作される場合、複数の第１可動片は第１方向に、複数の第２可動片は第１方向とは反対の第２方向に、それぞれ移動する。シャッタが閉状態から開状態に動作される場合、複数の第１可動片は第２方向に、複数の第２可動片は第１方向に、それぞれ移動する。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、被処理パネルに対する紫外線の照射ムラを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態に係る液晶パネル製造装置の側面図である。

【図2】実施形態に係る放電ランプの側面図である。

【図3】液晶パネルを模式的に示す断面図である。

【図4】実施形態に係るランプモジュールの模式図である。

【図5】配向分布を比較した結果を示す図である。

【図6】実施形態に係る液晶パネル製造装置が備えるシャッタの平面図である。

【図7】可動部が閉じたシャッタの平面図である。

【図8】シャッタの可動部が閉じた液晶パネル製造装置の側面図である。

【図9】可動部の駆動速度とパネル性能との関係を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下で説明する実施形態に係るランプモジュール４１は、複数の放電ランプ１を具備する。放電ランプ１は、発光部と、発光部の両端に設けられる非発光部１３とを有する。放電ランプ１は、光反応性物質を含有する被処理パネル６に光を照射する。複数の放電ランプ１は、各放電ランプの直径Ｄ［ｍｍ］と径方向に隣り合う放電ランプ１間のピッチｄ１［ｍｍ］とが１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有する。

【0010】

また、以下で説明する実施形態に係る複数の放電ランプ１は、径方向に隣り合う放電ランプ１の発光部同士が２０［ｍｍ］以上１２０［ｍｍ］以下の範囲でオーバーラップするように千鳥配列されている。

【0011】

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネル製造装置１００は、ランプモジュール４１とシャッタ６０とを具備する。シャッタ６０は、複数の放電ランプ１と被処理パネル６との間に配置される。シャッタ６０は、１０００［ｍｍ／ｓ］以上の駆動速度で開閉する可動部６７を有する。

【0012】

また、以下で説明する実施形態に係る被処理パネル６は、液晶層９と、液晶層９を挟んで対向する一対の基板７、８とを有し、複数の放電ランプ１は、電圧を印加した液晶層９に紫外線を照射する。

【0013】

以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下に示す各実施形態は、本発明が開示する技術を限定するものではない。また、以下に示す各実施形態及び各変形例は、矛盾しない範囲で適宜組合せることができる。また、各実施形態の説明において、同一構成には同一符号を付与して後出の説明を適宜省略する。

【0014】

［実施形態］
まず、図１を用いて実施形態に係る液晶パネル製造装置の概要について説明する。図１は、実施形態に係る液晶パネル製造装置の側面図である。

【0015】

なお、説明を分かりやすくするために、図１には、鉛直下向きを正方向とし、鉛直上向きを負方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、後出の説明に用いる他の図面でも示す場合がある。

【0016】

図１に示すように、実施形態に係る液晶パネル製造装置１００は、照射部４０と、ステージ部５０と、シャッタ６０とを有する。液晶パネル製造装置１００は、ステージ部５０に配置された被処理パネル６に紫外線を照射して液晶パネルを製造する装置である。

【0017】

照射部４０は、ランプモジュール４１と、点灯装置４２と、反射板４３とを有する。ランプモジュール４１は、複数の放電ランプ１を有する。放電ランプ１は、点灯装置４２を介して不図示の電源装置から供給された電力により、被処理パネル６の処理に適した波長の紫外線を放射する。ここで、図２を用いて放電ランプ１の構成例について説明する。

【0018】

図２は、実施形態に係る放電ランプの側面図である。図２に示すように、実施形態に係る放電ランプ１は、発光管１０と、一対の口金１１と、一対の接点１２と、一対の電極２０と、蛍光体３０とを有する。一対の電極２０は、発光管１０の長さ方向の両端部に設けられており、発光管１０を支持する一対の口金１１の端部に位置するピン状の一対の接点１２にそれぞれ接続されている。

【0019】

放電ランプ１は、例えば、管径Ｄ＝１５．５［ｍｍ］、発光長Ｌ１＝１６５０［ｍｍ］、管長Ｌ２＝１７００［ｍｍ］、全長Ｌ３＝１７１４．１［ｍｍ］の熱陰極蛍光ランプである。また、放電ランプ１の照度設定値は、例えば、０．５［ｍＷ/ｃｍ^２］（３１３［ｎｍ］）とすることができる。発光管１０は、石英（ＳｉＯ_２）を主成分とする硬質ガラスであり、接点１２を介した通電により生じた光を透過する。発光管１０は、発光部の一例である。一方、発光管１０の両端に配置された口金１１および接点１２を総称して、非発光部１３と称する場合がある。

【0020】

また、放電ランプ１は、蛍光体３０として、例えば、ストロンチウム（Ｓｒ）、マグネシウム（Ｍｇ）およびバリウム（Ｂａ）のうち、一以上を有するアルミン酸塩と、賦活剤としてのセリウム（Ｃｅ）とを含有する。具体的には、例えば、ＳｒＡｌ_１２Ｏ_１９：Ｃｅ（セリウム賦活アルミン酸ストロンチウム）または（ＭｇＳｒＢａ）Ａｌ_１１Ｏ_１９：Ｃｅを蛍光体３０として適用することができる。蛍光体３０は、例えば、発光管１０の内面に塗布されている。また、発光管１０の内部には、例えばアルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）等の希ガスを含む不活性ガスと、水銀とが封入されている。

【0021】

反射板４３は、放電ランプ１から放射される紫外線をステージ部５０に向かうように反射させることで、照射効率を高めるものである。図１に示した例では、反射板４３は、ランプモジュール４１の背面側（Ｚ軸負方向側）にのみ配置させたが、これに限らず、例えば、照射部４０やステージ部５０の内部に配置させてもよい。

【0022】

ステージ部５０は、ステージ５１と、リフトピン５２とを有する。ステージ５１は、所定の位置に載置された被処理パネル６に電圧を印加する。ステージ５１は、例えば、放熱性の高いアルミニウムを使用することができる。また、ステージサイズは、特に制限されないが、例えば、３０００［ｍｍ］（Ｘ軸方向）×３４００［ｍｍ］のステージ５１であってもよい。また、ステージ５１の表面にフッ素樹脂をコーティングすると、パネル交換後の迅速な除電が可能となり、液晶パネルを効率よく製造することができる。

【0023】

リフトピン５２は、載置された被処理パネル６を昇降させる昇降機であり、主として被処理パネル６の搬出入に使用される。具体的には、リフトピン５２は、不図示の搬出入口からステージ部５０に搬入された被処理パネル６を受け取る。また、リフトピン５２は、ステージ５１上に載置された紫外線照射後の被処理パネル６を浮上させ、不図示の搬送ロボットに受け渡す。

【0024】

上述したように、実施形態に係る放電ランプ１は、被処理パネル６の処理に適した波長の紫外線を放射することで液晶パネルを効率よく製造することができるものである。ここで、図３を用いて、被処理パネル６について説明する。

【0025】

図３は、液晶パネルを模式的に示す断面図である。図３に示す被処理パネル６は、一対の基板７、８と、基板７と基板８との間に設けられた液晶層９とを有する。

【0026】

基板７は、例えば、赤色、緑色、青色の光を透過するカラーフィルタ（図示しない）が基材上に配置され、保護膜でカラーフィルタが覆われてなるカラーフィルタ基板である。基板８は、液晶層９を挟んで基板７と対向するように設けられた対向基板であり、複数の電極がアレイ状に配置されている。

【0027】

液晶層９は、液晶組成物と光反応性物質としての重合性モノマーとを含む。液晶層９は、放電ランプ１から放射された特定の波長を有する紫外線を吸収することで重合性モノマーが重合し、ステージ５１上での電圧の印加によって配向を制御させた液晶組成物が安定化される。

【0028】

次に、実施形態に係るランプモジュール４１における複数の放電ランプ１の配置について説明する。図４は、実施形態に係るランプモジュールの模式図である。

【0029】

図４に示すように、複数の放電ランプ１は、天板４４に設けられたソケット（不図示）にそれぞれ装着されており、放電ランプ１の長さ方向がシャッタ６０の開閉方向であるＸ軸方向に沿うようにそれぞれ平行に配置されている。なお、天板４４は、反射板４３（図１参照）を兼ねてもよい。ソケットは、放電ランプ１を点灯させる点灯装置４２（図１参照）と電気的に接続されており、点灯装置４２よりソケットを介して放電ランプ１に電力が供給されることで、放電ランプ１が点灯する。放電ランプ１の点灯により、ステージ５１上に載置された被処理パネル６に向けて紫外線が照射される。

【0030】

また、複数の放電ランプ１は、径方向（Ｙ軸方向）に隣り合う放電ランプ１間のピッチｄ１［ｍｍ］が等間隔となるようにそれぞれ配置されている。具体的には、各放電ランプ１の直径Ｄ［ｍｍ］（図２参照）に対し、１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有するように配置される。ピッチｄ１［ｍｍ］を上記した範囲に規定することで、ステージ５１上に載置された被処理パネル６の全体にわたって紫外線の照射ムラを低減することができ、高性能な液晶パネルの製造が可能となる。

【0031】

一方、ピッチｄ１［ｍｍ］が１０Ｄを超えると、ランプモジュール４１から照射される紫外線の均斉度が低下する。また、ピッチｄ１［ｍｍ］が１０Ｄを超えると、単位面積当たりに配置される放電ランプ１の数が少なくなるため、所定の照度を満足できない。このため、高性能な液晶パネルの製造が困難となる。また、ピッチｄ１［ｍｍ］が１．１Ｄ未満とすると、径方向に隣り合う放電ランプ１の発光部（発光管１０）または非発光部１３とソケット（不図示）とが干渉する可能性が高く、現実的でない。

【0032】

また、ランプモジュール４１は、径方向に隣り合う放電ランプ１の発光部としての発光管１０同士が所定の寸法ｄ２［ｍｍ］だけオーバーラップするように千鳥配列される。寸法ｄ２［ｍｍ］は、ランプモジュール４１の長手方向（Ｘ軸方向）の均斉度に影響を及ぼす。具体的には、図４に示す寸法ｄ２［ｍｍ］が、例えば、２０［ｍｍ］以上１２０［ｍｍ］以下の範囲となるように配列されることにより、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラを低減することができ、高性能な液晶パネルの製造が可能となる。寸法ｄ２［ｍｍ］が２０［ｍｍ］未満だと、オーバーラップさせた部分の近傍において照度が相対的に低下し、均斉度が低下する。また、寸法ｄ２［ｍｍ］が１２０［ｍｍ］を超えると、オーバーラップさせた部分の近傍において照度が相対的に増大し、均斉度が低下する。この点につき、図５に示した例を用いて説明する。

【0033】

図５は、配向分布を比較した結果を示す図である。図５に示す例では、管径Ｄ＝１５．５［ｍｍ］、発光長Ｌ１＝１６５０［ｍｍ］の発光管１０を有する複数の放電ランプ１を、ピッチｄ１＝１９［ｍｍ］、寸法ｄ２＝１３０、６０、１０［ｍｍ］だけオーバーラップするように千鳥配列されたランプモジュール４１をそれぞれ作製し、配向分布を比較したものである。

【0034】

また、図５中、横軸の「測定ポイント［ｍｍ］」は、図４に記載されている寸法ｄ２のＸ軸方向に平行な中心を０［ｍｍ］と規定し、ランプ軸方向に沿って３００［ｍｍ］離れた箇所をそれぞれ３００［ｍｍ］、９００［ｍｍ］と規定したものである。また、縦軸の「３１３ｎｍ相対照度」とは、図４に記載のとおり、複数の放電ランプ１の配列が異なることによる照度分布に影響がない箇所、具体的にはＸ＝＋４５０［ｍｍ］、－４５０［ｍｍ］の照度値を基準に、規格化したものである。照度値は、照度計：ＵＶ－Ｍ０３Ａ（オーク製作所製）、センサ：ＵＶ－ＳＮ３１（オーク製作所製）で測定した値である。なお、Ｘ＝＋４５０［ｍｍ］、－４５０［ｍｍ］のポイントにおける照度値は同じであるが、Ｘ＝＋４５０［ｍｍ］とＸ＝－４５０［ｍｍ］のポイントにおける照度値が異なる場合は、おのおのの照度値を足し合わせた平均値を基準に規格化してもよい。

【0035】

図５に示すように、寸法ｄ２＝６０［ｍｍ］の場合には、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラが少なく、高性能な液晶パネルの製造が可能となる。一方、寸法ｄ２［ｍｍ］＝１０［ｍｍ］の場合には、測定ポイント＝－３００［ｍｍ］～３００［ｍｍ］付近において照度が相対的に低下し、均斉度が低下する。また、寸法ｄ２［ｍｍ］＝１３０［ｍｍ］の場合には、測定ポイント＝－４００［ｍｍ］～４００［ｍｍ］付近において照度が相対的に増大してしまい、均斉度が低下する。

【0036】

図１に戻り、液晶パネル製造装置１００についてさらに説明する。シャッタ６０は、照射部４０とステージ部５０との間に配置されており、ステージ部５０に搬入された被処理パネル６に対し、照射部４０から照射される紫外線の照射時間やタイミングを制御する。ここで、図６～図８を用いて、シャッタ６０についてさらに説明する。

【0037】

図６は、実施形態に係る液晶パネル製造装置が備えるシャッタの平面図である。図７は、可動部が閉じたシャッタの平面図である。図８は、シャッタの可動部が閉じた液晶パネル製造装置の側面図である。

【0038】

図６、図７に示すように、シャッタ６０は、固定部６２と、可動部６７と、駆動部６８とを有する。照射部４０から照射される紫外線は、開口６１を介してステージ部５０に向けて照射される。開口６１は、可動部６７が開くことによってシャッタ６０の中央に形成される。開口６１は、可動部６７の開閉方向であるＸ軸方向の寸法Ｘ１［ｍｍ］、固定部６２が延在するＹ軸方向の寸法Ｙ１［ｍｍ］を最大とする被処理パネル６に対し、照射部４０から放射される紫外線を均等に照射可能となるように設計される。具体的には、液晶パネル製造装置１００は、寸法Ｘ１＝２９７０［ｍｍ］、寸法Ｙ１＝３３７０［ｍｍ］となる被処理パネル６の加工が可能である。

【0039】

図７、図８に示すように、可動部６７は、可動片６３～６６を含む。また、駆動部６８は、可動片６３～６６の開閉を制御する一対の駆動ユニット６８ａ～６８ｄをそれぞれ有する。駆動ユニット６８ａ～６８ｄは、例えば、リニアモータその他の直動モータを有してもよい。不図示のシャッタ制御部により可動部６７が開→閉に動作されるとき、駆動ユニット６８ａ、６８ｂは可動片６３、６４をＸ軸正方向側にそれぞれ移動させ、駆動ユニット６８ｃ、６８ｄは可動片６５、６６をＸ軸負方向側にそれぞれ移動させる。また、可動部６７が閉→開に動作されるとき、駆動ユニット６８ａ、６８ｂは可動片６３、６４をＸ軸負方向側にそれぞれ移動させ、駆動ユニット６８ｃ、６８ｄは可動片６５、６６をＸ軸正方向側にそれぞれ移動させる。なお、駆動部６８は、回転モータの駆動を直線運動に変換する直動機構を有してもよい。

【0040】

上述のように、シャッタ６０は、ステージ部５０に搬入された被処理パネル６に対し、照射部４０から照射される紫外線の照射時間やタイミングを制御する。具体的には、図８に示すように、リフトピン５２が上昇した状態でステージ部５０に搬入された後、リフトピン５２の降下によってステージ５１上に載置された被処理パネル６は、所定の電圧印加が開始された後、照射部４０から被処理パネル６への紫外線照射が実施される。

【0041】

すなわち、照射部４０から被処理パネル６への紫外線照射は、駆動部６８による可動部６７の駆動速度を制御し、可動部６７の閉→開、開→閉の状態遷移に要する時間を低減することによって実現することができる。具体的には、液晶パネル製造装置１００は、シャッタ６０の可動部６７が、例えば１０００［ｍｍ／ｓ］以上、さらに１０００［ｍｍ／ｓ］以上２０００［ｍｍ／ｓ］以下の駆動速度で開閉するよう駆動部６８を制御すると、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラが低減する。ここで、「駆動速度」とは、可動部６７が閉→開、開→閉と状態遷移するのに要した駆動時間に基づいてそれぞれ算出された駆動速度を平均することで算出されたものである。なお、可動部６７が「開」または「閉」の状態を維持した時間については、駆動時間に含まれない。

【0042】

図９は、可動部の駆動速度とパネル性能との関係を示す図である。図９では、可動部６７の駆動速度を５００［ｍｍ／ｓ］～３０００［ｍｍ／ｓ］の間で変更させたときの被処理パネル６の状態を、シャッタ耐久性と並べて示したものである。図９中、「○」、「△」、「×」は、○＞△＞×の順で被処理パネル６の状態またはシャッタ６０の耐久性がよいことをそれぞれ示すものである。

【0043】

図９に示すように、可動部６７の駆動速度が１０００［ｍｍ／ｓ］以上だと、例えば図６に示す被処理パネル６は、可動部６７の駆動方向であるＸ軸方向の全体にわたって良好な液晶パネルが得られる。一方、可動部６７の駆動速度が１０００［ｍｍ／ｓ］未満（５００［ｍｍ／ｓ］、７００［ｍｍ／ｓ］）だと、可動部６７の駆動方向に照射ムラが生じ、所望する品質の液晶パネルが得られない場合がある。

【0044】

なお、可動部６７の駆動速度は、シャッタ６０の耐久性に影響する場合がある。図９に示すように、可動部６７の駆動速度が２０００［ｍｍ／ｓ］以下の場合には、シャッタ６０の耐久性に対する影響は認められないが、可動部６７の駆動速度が２０００［ｍｍ／ｓ］を超える（２５００［ｍｍ／ｓ］、３０００［ｍｍ／ｓ］）と、シャッタ６０の駆動部６８や可動部６７に経時劣化が生じやすくなる。

【0045】

上述したように、実施形態に係るランプモジュール４１は、複数の放電ランプ１を具備する。放電ランプ１は、発光部と、発光部の両端に設けられる非発光部１３とを有する。放電ランプ１は、光反応性物質を含有する被処理パネル６に光を照射する。複数の放電ランプ１は、各放電ランプの直径Ｄ［ｍｍ］と径方向に隣り合う放電ランプ１間のピッチｄ１［ｍｍ］とが１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有する。このため、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラを低減することができる。

【0046】

また、実施形態に係る複数の放電ランプ１は、径方向に隣り合う放電ランプ１の発光部同士が２０［ｍｍ］以上１２０［ｍｍ］以下の範囲でオーバーラップするように千鳥配列されている。このため、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラをさらに低減することができる。

【0047】

また、実施形態に係る液晶パネル製造装置１００は、ランプモジュール４１とシャッタ６０とを具備する。シャッタ６０は、複数の放電ランプ１と被処理パネル６との間に配置される。シャッタ６０は、１０００［ｍｍ／ｓ］以上の駆動速度で開閉する可動部６７を有する。このため、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラを低減することができる。

【0048】

なお、上記した実施形態では、放電ランプ１は、蛍光体３０として、ストロンチウム（Ｓｒ）、マグネシウム（Ｍｇ）およびバリウム（Ｂａ）のうち、一以上を有するアルミン酸塩を含有するとして説明されたが、これに限らず、蛍光体３０として、例えばＬａＰＯ_４：Ｃｅ（セリウム賦活リン酸ランタン）を適用してもよい。また、放電ランプ１として、熱陰極蛍光ランプに代えて、メタルハライドランプを使用してもよい。

【0049】

また、上記した実施形態では、シャッタ６０の可動部６７がＸ軸方向に沿って開閉するとして説明したが、これに限らず、Ｙ軸方向に沿って開閉してもよい。

【0050】

本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【符号の説明】

【0051】

１ 放電ランプ
６ 被処理パネル
７、８ 基板
９ 液晶層
１０ 発光管
２０ 電極
３０ 蛍光体
４０ 照射部
４１ ランプモジュール
５０ ステージ部
５１ ステージ
６０ シャッタ
６１ 開口
６７ 可動部
６８ 駆動部
１００ 液晶パネル製造装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】