(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-12-05
(45)【発行日】2022-12-13
(54)【発明の名称】搬送車システム
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20221206BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2021554819
(86)(22)【出願日】2020-07-27
(86)【国際出願番号】 JP2020028768
(87)【国際公開番号】W WO2021090542
(87)【国際公開日】2021-05-14
【審査請求日】2022-03-04
(31)【優先権主張番号】P 2019200737
(32)【優先日】2019-11-05
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000006297
【氏名又は名称】村田機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100176245
【弁理士】
【氏名又は名称】安田 亮輔
(74)【代理人】
【識別番号】100183081
【弁理士】
【氏名又は名称】岡▲崎▼ 大志
(72)【発明者】
【氏名】本告 陽一
【審査官】宮久保 博幸
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１６－０９６１９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６１－１９６８５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１５－５３３０２６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０５－３１０３２３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１５９９７５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
軌道と、前記軌道を走行して容器を搬送する搬送車であって、不活性ガスを貯留する貯留部を有し、前記容器の搬送中に前記貯留部から前記容器の内部に前記不活性ガスを供給する前記搬送車と、
前記軌道に沿って設けられ、前記搬送車の前記貯留部に前記不活性ガスを供給するガス供給装置と、を備える搬送車システム。
【請求項2】
前記貯留部に貯留されている前記不活性ガスの状態を監視し、前記不活性ガスの状態に基づいて前記貯留部への前記不活性ガスの供給が必要であるか否かを判定し、前記不活性ガスの供給が必要であると判定された場合に、前記搬送車を前記ガス供給装置が設けられた位置まで走行させるコントローラを更に備える、請求項１に記載の搬送車システム。【請求項3】
前記搬送車は、前記貯留部と接続され、前記不活性ガスを流通させるガス供給管と、
前記ガス供給管の先端に設けられ、前記容器の底面に設けられた注入口に接続されることにより、前記不活性ガスを前記容器の内部に供給するノズルと、
前記容器の前記底面を支持すると共に、前記容器の前記注入口に対応する位置に前記ノズルを固定可能な支持台と、を有する、請求項１又は２に記載の搬送車システム。
【請求項4】
前記搬送車は、前記容器の搬送中に前記容器が格納される本体部と、前記容器を吊り下げ可能とされ、前記本体部に対して昇降する昇降機構と、を更に有し、前記支持台は、少なくとも前記昇降機構による昇降動作時において、前記昇降機構及び前記昇降機構により吊り下げられた前記容器と干渉しない退避位置に退避可能に構成されている、請求項３に記載の搬送車システム。
【請求項5】
前記搬送車は、前記支持台を前記退避位置に退避させた状態で、前記昇降機構で前記容器を荷掴みして上昇させることにより、前記容器を前記本体部内に格納し、
前記容器が前記本体部内に格納された後に、前記支持台を前記退避位置から前記容器の下方に配置し、
前記支持台が前記容器の下方に配置された後に、前記容器が前記支持台上に載置されるように前記昇降機構を動作させる、請求項４に記載の搬送車システム。
【請求項6】
前記支持台は、前記容器の上下方向への移動を規制する規制部材を有する、請求項３～５のいずれか一項に記載の搬送車システム。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、搬送車システムに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造プロセス中における半導体基板の酸化を防止するために、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の容器内に窒素ガス等の不活性ガスを注入し、容器内の酸素を排除する仕組み（Ｎ２パージ）が知られている。
【0003】
特許文献１には、天井搬送車に保持されたＦＯＵＰに窒素ガスを供給する窒素ガス供給装置が設けられた物品搬送設備が開示されている。窒素ガス供給装置は、天井搬送車の走行経路に沿った位置に設けられている。
【0004】
特許文献２には、半導体素子等の搬送対象物を搬送する搬送車（ＡＧＶ）に窒素ガス貯蔵ボンベを設けた構成が開示されている。窒素ガス貯蔵ボンベは、搬送車内の搬送対象物の収納室に供給するための窒素ガスを貯蔵する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０１６－９６１９２号公報
【文献】特開昭６１－１９６８５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
特許文献１に記載された物品搬送設備では、窒素ガス供給装置が設けられたガス供給位置でしか、天井搬送車に保持されたＦＯＵＰへの窒素ガスの供給を行うことができない。このため、天井搬送車の走行時間が長い場合、天井搬送車の走行中にＦＯＵＰ内の窒素ガスが徐々に減少し、ＦＯＵＰ内の半導体基板が酸化してしまうおそれがある。一方、特許文献２に記載された構成では、搬送対象物の搬送中に窒素ガス貯蔵ボンベから収納室へと窒素ガスを供給できるが、窒素ガス貯蔵ボンベ内の窒素ガスが空にならないように、窒素ガス貯蔵ボンベの交換作業等を定期的に実施する必要がある。
【0007】
本開示の一側面は、搬送中の容器への不活性ガスの供給を効率的に維持することができる搬送車システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本開示の一側面に係る搬送車システムは、軌道と、軌道を走行して容器を搬送する搬送車であって、不活性ガスを貯留する貯留部を有し、容器の搬送中に貯留部から容器の内部に不活性ガスを供給する搬送車と、軌道に沿って設けられ、搬送車の貯留部に不活性ガスを供給するガス供給装置と、を備える。
【0009】
上記搬送車システムでは、搬送車は、搬送中の容器の内部に不活性ガスを供給するための貯留部を有している。これにより、容器の搬送中において、不活性ガスを継続的に容器内に供給することができ、容器内が不活性ガスで満たされた状態を適切に維持することができる。更に、上記搬送車システムでは、搬送車が走行する軌道に沿って、貯留部に不活性ガスを供給するガス供給装置が設けられている。これにより、搬送車が有する貯留部への不活性ガスの供給（補充）を容易且つ適切に行うことができる。例えば、貯留部内の不活性ガスが空になる前に、ガス供給装置が設けられた位置（ガス供給位置）まで搬送車を軌道に沿って走行させて不活性ガスを補充させることにより、貯留部に不活性ガスが貯留された状態を適切に維持することができる。以上により、上記搬送車システムによれば、搬送中の容器への不活性ガスの供給を効率的に維持することができる。
【0010】
上記搬送車システムは、貯留部に貯留されている不活性ガスの状態を監視し、不活性ガスの状態に基づいて貯留部への不活性ガスの供給が必要であるか否かを判定し、不活性ガスの供給が必要であると判定された場合に、搬送車をガス供給装置が設けられた位置まで走行させるコントローラを更に備えてもよい。上記構成によれば、コントローラによって、貯留部内の不活性ガスの状態監視と貯留部内への不活性ガスの補給とを自動化することができる。その結果、搬送車の貯留部内の不活性ガスが空になってしまうことが適切に防止される。
【0011】
搬送車は、貯留部と接続され、不活性ガスを流通させるガス供給管と、ガス供給管の先端に設けられ、容器の底面に設けられた注入口に接続されることにより、不活性ガスを容器の内部に供給するノズルと、容器の底面を支持すると共に、容器の注入口に対応する位置にノズルを固定可能な支持台と、を有してもよい。上記構成によれば、容器が支持台に支持されて容器の荷重が支持台に加えられることにより、容器の注入口と支持台に固定されるノズルとを密着させて接続することができる。これにより、貯留部内の不活性ガスを、安定した状態で、ガス供給管、ノズル、及び注入口を介して、容器内へと供給することができる。
【0012】
搬送車は、容器の搬送中に容器が格納される本体部と、容器を吊り下げ可能とされ、本体部に対して昇降する昇降機構と、を更に有し、支持台は、少なくとも昇降機構による昇降動作時において、昇降機構及び昇降機構により吊り下げられた容器と干渉しない退避位置に退避可能に構成されていてもよい。上記構成によれば、支持台が退避位置に退避可能に構成されていることにより、昇降機構による昇降動作を伴う容器の移載動作（荷掴み又は荷降ろし）を適切に行うことができる。
【0013】
搬送車は、支持台を退避位置に退避させた状態で、昇降機構で容器を荷掴みして上昇させることにより、容器を本体部内に格納し、容器が本体部内に格納された後に、支持台を退避位置から容器の下方に配置し、支持台が容器の下方に配置された後に、容器が支持台上に載置されるように昇降機構を動作させてもよい。上記構成によれば、昇降機構及び支持台の一連の動作を制御することにより、容器を荷掴みした後に当該容器内に貯留部からの不活性ガスを供給可能な状態へと円滑に移行させることができる。
【0014】
支持台は、容器の上下方向への移動を規制する規制部材を有してもよい。上記構成によれば、容器の搬送中（容器内への不活性ガスの供給中）において、容器が支持台に対して上方に飛び出すことが防止される。これにより、容器の注入口と支持台に固定されたノズルとの接続状態を安定化させることができる。
【発明の効果】
【0015】
本開示の一側面によれば、搬送中の容器への不活性ガスの供給を効率的に維持することができる搬送車システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、添付図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号が用いられ、重複する説明は省略される。
【0018】
図１は、一実施形態に係る天井搬送車システムを示す図である。図１に示されるように、天井搬送車システム１（搬送システム）は、走行レール２（軌道）と、天井搬送車３（搬送車）と、ガス供給装置４と、上位コントローラ５と、を備えている。走行レール２は、床面よりも高い位置（例えばクリーンルームの天井等）に設けられている。天井搬送車３は、走行レール２を走行する。天井搬送車３は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で、ＦＯＵＰ１０（容器）又はレチクルポッド等を搬送する。通常、天井搬送車システム１は、複数の天井搬送車３を備えているが、本実施形態では、一の天井搬送車３に着目して説明する。
【0019】
ＦＯＵＰ１０には、複数の半導体ウェハ等が収容される。ＦＯＵＰ１０は、天井搬送車３によって把持されるフランジ１０ａを有している。また、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂには、ＦＯＵＰ１０の内部（本実施形態では、複数の半導体ウェハが収容される収容室内）と外部とを連通する注入口１０ｃが設けられている。
【0020】
以下の説明では、説明の便宜上、走行レール２に沿った方向（図１の左右方向）をＸ軸方向とし、鉛直方向（図１の上下方向）をＺ軸方向とし、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の両方に直交する方向（図１の奥行方向）をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向は、天井搬送車３の走行方向でもある。Ｙ軸方向は、天井搬送車３の幅方向でもある。
【0021】
図１に示されるように、天井搬送車３は、本体部３１と、走行部３２と、昇降機構３３と、タンク３４（貯留部）と、ガス供給管３５と、コントローラ３６と、支持台３７と、を有している。図１は、ＦＯＵＰ１０の内部に不活性ガスを供給しながら当該ＦＯＵＰ１０を搬送する天井搬送車３を示している。
【0022】
本体部３１は、走行レール２の下方に位置している。走行部３２は、走行レール２に沿って走行する部材（例えばローラ等）である。本体部３１は、走行部３２に吊り下げられると共に支持されている。本体部３１の内側には、ＦＯＵＰ１０を格納するための格納空間Ｓが形成されている。本実施形態では一例として、本体部３１は、ＦＯＵＰ１０の前後方向（すなわち、Ｘ軸方向におけるＦＯＵＰ１０の両側）を覆う一対の壁部を有している。格納空間Ｓは当該一対の壁部に挟まれた空間である。
【0023】
昇降機構３３は、ＦＯＵＰ１０のフランジ１０ａを把持する把持部３３ａと、把持部３３ａに接続され、本体部３１に対して昇降する一又は複数（例えば４本）のベルト３３ｂと、を有している。昇降機構３３は、ベルト３３ｂの巻き上げ又は繰り出し等を行うことにより、把持部３３ａを昇降させる。これにより、把持部３３ａに保持されたＦＯＵＰ１０の昇降動作が実現される。
【0024】
タンク３４は、窒素ガス等の不活性ガスを貯留する。タンク３４は、例えば、圧縮された状態の不活性ガスを貯留するガスボンベ等である。タンク３４は、タンク３４内の不活性ガスを外部に排出するための排出口３４ａと、タンク３４内に不活性ガスを供給（補充）するための供給口３４ｂ（図３参照）と、を有している。
【0025】
ガス供給管３５は、タンク３４の排出口３４ａと接続され、タンク３４からの不活性ガスを流通させる中空管状部材である。ガス供給管３５のタンク３４側とは反対側の端部（先端）には、ノズル３５ａが設けられている。ノズル３５ａは、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと接続される。タンク３４の排出口３４ａから排出された不活性ガスは、ガス供給管３５、ノズル３５ａ、及び注入口１０ｃを介して、ＦＯＵＰ１０の内部へと供給される。ここで、ＦＯＵＰ１０の内部に充填された不活性ガスは、ＦＯＵＰ１０の微小な隙間等から徐々に外部に漏れていく。このため、ＦＯＵＰ１０の内部に不活性ガスが適切に充填された状態を保つためには、継続的に不活性ガスをＦＯＵＰ１０の内部に供給する必要がある。上述したガス供給管３５により、タンク３４からＦＯＵＰ１０へと不活性ガスが継続的に供給される。なお、ＦＯＵＰ１０には、注入口１０ｃとは別に、ＦＯＵＰ１０内のガス圧等を適切に調整するための図示しない排気口が設けられてもよい。
【0026】
コントローラ３６は、プロセッサ（例えばＣＰＵ等）及びメモリ（例えばＲＯＭ又はＲＡＭ等）等を有するコンピュータからなる電子制御ユニットである。コントローラ３６は、天井搬送車３の各種動作を制御する。コントローラ３６は、天井搬送車３に対して搬送指令（例えば荷掴み地点及び荷降ろし地点の情報を含む走行指令）を出力する上位コントローラ５と無線通信等によって通信可能とされている。
【0027】
コントローラ３６は、タンク３４に貯留されている不活性ガスの状態（例えば、ガス量（残量）、ガス圧等）を監視するセンサ等を有している。一例として、コントローラ３６は、タンク３４内の不活性ガスの状態に基づいて、タンク３４への不活性ガスの供給（補充）が必要であるか否かを判定する。例えば、コントローラ３６は、タンク３４内の不活性ガスのガス量及び／又はガス圧が、予め設定された閾値未満となったことを検知した場合に、タンク３４への不活性ガスの供給が必要であると判定する。
【0028】
タンク３４への不活性ガスの供給が必要であると判定された場合、コントローラ３６は、一例として、その旨を示す情報を上位コントローラ５に通知する。上位コントローラ５は、当該情報の通知元である天井搬送車３の位置、当該天井搬送車３の予定走行経路（例えば、当該天井搬送車３に割り付けられた搬送指令に応じた走行経路）等に基づいて最適なガス供給装置４を決定する。例えば、上位コントローラ５は、当該天井搬送車３の現在位置、或いは当該天井搬送車３の予定走行経路から最も近い位置にあるガス供給装置を、最適なガス供給装置４として決定する。上位コントローラ５は、決定されたガス供給装置４への走行指令を当該天井搬送車３のコントローラ３６へと通知する。そして、コントローラ３６は、当該ガス供給装置４が設けられた位置まで走行するように天井搬送車３の動作を制御する。
【0029】
なお、コントローラ３６と上位コントローラ５との役割分担は、上記形態に限られない。上記例では、コントローラ３６がタンク３４への不活性ガスの供給が必要であるか否かを判定したが、上記判定は上位コントローラ５によって行われてもよい。例えば、コントローラ３６が、タンク３４内の不活性ガスのガス量及び／又はガス圧の情報を上位コントローラ５に通知し、上位コントローラ５が、当該情報に基づいて上記判定を行ってもよい。また、上記例では、コントローラ３６及び上位コントローラ５によってガス供給装置４への走行制御が実現されたが、上述した上位コントローラ５の機能は、コントローラ３６に搭載されてもよい。すなわち、天井搬送車３に搭載されたコントローラ３６が、上述した制御を自律的に行ってもよい。この場合、上位コントローラ５は省略され得る。
【0030】
支持台３７は、ＦＯＵＰ１０の搬送中（すなわち、ＦＯＵＰ１０への不活性ガスの供給中）において、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂを支持するための部材である。一例として、支持台３７は、平板状に形成されている。支持台３７は、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃに対応する位置にノズル３５ａを固定可能に構成されている。本実施形態では一例として、支持台３７には、Ｚ軸方向から見て注入口１０ｃと重なる位置において、ガス供給管３５の先端部（すなわち、ノズル３５ａが設けられた部分）を挿通させて固定する挿通孔３７ａが形成されている。これにより、挿通孔３７ａに挿通及び固定されたノズル３５ａは、Ｚ軸方向にＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと対向する位置に配置される。そして、ＦＯＵＰ１０が支持台３７上に載置され、ＦＯＵＰ１０の荷重が支持台３７に加えられることにより、注入口１０ｃがノズル３５ａと密着し、注入口１０ｃとノズル３５ａとが接続される。
【0031】
図１に示されるように、支持台３７は、ＦＯＵＰ１０の搬送中において、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂを支持するための支持位置（すなわち、ＦＯＵＰ１０及び昇降機構３３の下方の位置であり、Ｚ軸方向から見てＦＯＵＰ１０と重なる位置）に配置される。ここで、仮に支持台３７が支持位置に固定されていると、昇降機構３３の昇降動作時において、支持台３７が昇降機構３３又は昇降機構３３により吊り下げられたＦＯＵＰ１０と干渉してしまう。そこで、支持台３７は、昇降機構３３による昇降動作時において、昇降機構３３又はＦＯＵＰ１０と干渉しない退避位置に退避可能に構成されている。すなわち、支持台３７は、搬送中のＦＯＵＰ１０の底面１０ｂを支持するために支持位置に配置される支持状態と、昇降機構３３の昇降動作を妨げないように退避位置に配置される退避状態とを切り替え可能に構成されている。
【0032】
例えば、支持台３７は、天井搬送車３の走行方向（Ｘ軸方向）又は幅方向（Ｙ軸方向）にスライド可能に構成され得る。この場合、支持位置からＸ軸方向又はＹ軸方向にスライドさせられた位置（Ｚ軸方向から見て昇降機構３３及びＦＯＵＰ１０と重ならない位置）が、上述した退避位置となる。この場合、支持台３７を水平方向にスライド移動させることにより、支持状態と退避状態とを切り換えることができる。ただし、支持位置と退避位置との間の支持台３７の移動の態様、及び退避位置は、上記形態に限られない。例えば、支持台３７は、Ｘ軸又はＹ軸周りに回動可能に構成されてもよい。この場合、支持台３７は、退避状態において、ＸＺ平面又はＹＺ平面に沿った状態で、格納空間Ｓの側方に配置され得る。また、支持台３７は、折り畳み式に構成されてもよい。この場合、支持台３７は、退避状態において、支持台３７が折り畳まれた状態で格納空間Ｓの側方に配置されてもよい。また、ノズル３５ａは、少なくとも支持状態において支持台３７に固定されるように構成されていればよく、退避状態においては、ノズル３５ａは支持台３７から取り外されていてもよい。
【0033】
図２に示されるように、支持台３７は、支持台３７に対するＦＯＵＰ１０の移動を規制するためのロック機構３８を備えている。ロック機構３８は、ＦＯＵＰ１０の鉛直方向（Ｚ軸方向）への移動を規制する爪部３８ａ（規制部材）と、ＦＯＵＰ１０の水平方向（Ｘ軸方向又はＹ軸方向）への移動を規制するピン３８ｂと、を有している。
【0034】
一例として、ＦＯＵＰ１０は、上述した底面１０ｂを含み、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に突出する底面フランジ１０ｄを有している。また、爪部３８ａは、鉤状に形成されており、底面フランジ１０ｄの端部の上面及び側面に当接する。図２に示されるように、爪部３８ａと支持台３７とに底面フランジ１０ｄが挟み込まれることにより、底面フランジ１０ｄが支持台３７に対して上方に飛び出してしまうこと（すなわち、ＦＯＵＰ１０の鉛直方向への移動）が規制される。爪部３８ａは、例えば、支持台３７にＦＯＵＰ１０が載置されたこと（ＦＯＵＰ１０の荷重が加わったこと）を検知して、図２に示されるロック状態に移行するように構成されている。また、爪部３８ａは、荷降ろし時等において昇降機構３３による昇降動作が実行される際には、例えばコントローラ３６からの解除信号に基づいて、支持台３７を退避状態に移行するためにロック状態を解除するように構成されている。
【0035】
なお、爪部３８ａは、１箇所に設けられてもよいし、複数箇所に設けられてもよい。例えば、爪部３８ａは、Ｚ軸方向から見て、略矩形状の支持台３７の対角線上に位置する２箇所に設けられてもよいし、支持台３７の四隅に設けられてもよい。このように爪部３８ａが複数箇所に設けられる場合には、爪部３８ａによってＦＯＵＰ１０の水平方向への移動も規制される。
【0036】
また、通常、ＦＯＵＰ１０の底面フランジ１０ｄには、複数（例えば３箇所）の位置決め孔１０ｅが設けられている。ここで、ピン３８ｂは、当該位置決め孔１０ｅに対応する位置に設けられている。すなわち、ピン３８ｂは、ＦＯＵＰ１０が支持台３７に載置された状態において、位置決め孔１０ｅに挿通される。支持台３７に対するＦＯＵＰ１０の水平方向の移動は、このようなピン３８ｂによっても規制される。
【0037】
ガス供給装置４は、天井搬送車３のタンク３４に不活性ガスを供給するための装置である。ガス供給装置４は、走行レール２に沿った天井搬送車３の走行を妨げないように、走行レール２に沿って設けられている。ガス供給装置４は、走行レール２に取り付けられてもよいし、走行レール２の近傍に配置された別部材（例えば、天井等）に取り付けられてもよい。天井搬送車システム１において、１つのガス供給装置４が設けられてもよいし、複数のガス供給装置４が設けられてもよい。
【0038】
ガス供給装置４は、天井搬送車３に供給するための不活性ガスを貯留しており、走行レール２の所定の位置（本実施形態では、ガス供給装置４の下方の位置）に位置する天井搬送車３のタンク３４に対して、当該不活性ガスを供給可能に構成されている。すなわち、ガス供給装置４は、天井搬送車３に不活性ガスを供給するためのステーションとして機能する。以下の説明において、上記所定の位置のことを「ガス供給位置」という。
【0039】
図３は、ガス供給装置４から天井搬送車３に不活性ガスを供給している状態を示す図である。すなわち、天井搬送車３がガス供給位置に停止した状態で、ガス供給装置４が当該天井搬送車３のタンク３４に不活性ガスを供給している。一例として、ガス供給装置４は、供給源（不図示）からの不活性ガスを流通させるガス供給管４ａを有している。そして、ガス供給装置４は、天井搬送車３がガス供給位置に停止したことを検知すると、ガス供給管４ａの動作を制御し、ガス供給管４ａの接続口（先端部）をタンク３４の供給口３４ｂに接続する。これにより、ガス供給装置４の供給源からの不活性ガスが、ガス供給管４ａ及び供給口３４ｂを介して、タンク３４に供給される。なお、図３は、ＦＯＵＰ１０を搬送していない天井搬送車３を例示しているが、ガス供給装置４は、ＦＯＵＰ１０を搬送中の天井搬送車３に対して、不活性ガスを供給してもよい。
【0040】
ガス供給装置４から天井搬送車３のタンク３４への不活性ガスの供給処理は、例えば以下のようにして行われる。すなわち、ガス供給装置４は、ガス供給位置に停止した天井搬送車３のコントローラ３６から、必要なガス供給量の情報を含む供給要求信号を受信する。そして、ガス供給装置４は、当該供給要求信号を受信したことをトリガとして、上述したガス供給動作（すなわち、供給口３４ｂへのガス供給管４ａの接続、及び不活性ガスの供給）を実行する。そして、ガス供給装置４は、上記ガス供給量の供給が完了すると、ガス供給の完了をコントローラ３６に通知すると共に、ガス供給管４ａとタンク３４の供給口３４ｂとの接続を解除する。これにより、天井搬送車３は、ガス供給装置４との接続が解除され、走行レール２に沿って移動可能となる。
【0041】
次に、図４に示されるフローチャートを参照して、天井搬送車システム１の動作の一例について説明する。図４に示されるように、天井搬送車３のコントローラ３６は、継続的に、タンク３４内の不活性ガスの状態（本実施形態では一例として、ガス量及びガス圧）を監視する（ステップＳ１）。そして、コントローラ３６は、タンク３４内のガス量及びガス圧が予め設定された閾値以上である間（ステップＳ１：ＹＥＳ）は、上記監視を継続しつつ、上位コントローラ５からの指示に基づいて走行レール２の走行及びＦＯＵＰ１０の搬送動作を実行する。
【0042】
一方、コントローラ３６は、タンク３４内のガス量及びガス圧が閾値未満となったことを検知すると（ステップＳ１：ＮＯ）、ガス供給装置４（すなわち、ガス供給装置４からのガス供給を受けるためのガス供給位置）への走行制御を行う（ステップＳ２）。上述したように、本実施形態では、コントローラ３６が、上位コントローラ５に対して、タンク３４への不活性ガスの供給が必要である旨を通知し、その後の上位コントローラ５からの指示に基づいて、指定されたガス供給位置へと天井搬送車３を走行させる。続いて、天井搬送車３がガス供給位置に到着した後、上述した不活性ガスの供給処理が行われる（ステップＳ３）。
【0043】
次に、図５に示されるフローチャートを参照して、ＦＯＵＰ１０を荷掴みしてから荷降ろしするまでの天井搬送車３（コントローラ３６）の動作の一例について説明する。ここでは、天井搬送車３の下方に位置するＦＯＵＰ１０を荷掴みする場合について説明する。まず、コントローラ３６は、支持台３７が退避状態となっているか否か（すなわち、支持台３７が退避位置に位置するか否か）を確認する（ステップＳ１１）。支持台３７が退避状態となっている場合（ステップＳ１１：ＹＥＳ）には、ステップＳ１３に進む。一方、支持台３７が退避状態になっていない場合（ステップＳ１１：ＮＯ）、すなわち支持台３７が支持位置（昇降機構３３の下方）に位置する場合、支持台３７を退避位置へと退避させる（ステップＳ１２）。これにより、天井搬送車３の下方に位置するＦＯＵＰ１０を荷掴みするために昇降機構３３を下降させることが可能となる。なお、上記のステップＳ１１及びＳ１２の処理は、安全を期すための処理であり、必須の処理ではない。具体的には、前回の荷降ろし処理が正常に完了している場合、支持台３７は退避状態であることが保証される。従って、前回の荷降ろし処理が正常に完了していることが確認できている場合等には、ステップＳ１１及びＳ１２の処理は省略されてもよい。
【0044】
続いて、コントローラ３６は、移載対象となるＦＯＵＰ１０の荷掴み処理を実行する（ステップＳ１３）。具体的には、コントローラ３６は、ベルト３３ｂを繰り出すことにより昇降機構３３を下降させ、把持部３３ａに移載対象となるＦＯＵＰ１０のフランジ１０ａを把持させる（図６（Ａ）参照）。そして、コントローラ３６は、ベルト３３ｂを巻き上げることにより昇降機構３３を上昇させ、ＦＯＵＰ１０を格納空間Ｓ内に格納する（図６（Ｂ）参照）。
【0045】
続いて、コントローラ３６は、支持台３７を支持状態に移行させ（図７（Ａ）参照）、ＦＯＵＰ１０を支持台３７上に載置する（図７（Ｂ）参照）（ステップＳ１４）。図７（Ａ）に示されるように支持台３７が支持位置に配置された後、ベルト３３ｂが繰り出されることにより昇降機構３３が下降させられる。これにより、図７（Ｂ）に示されるように、ＦＯＵＰ１０の荷重が支持台３７に加えられる。すなわち、支持台３７によってＦＯＵＰ１０の底面１０ｂが支持される。このとき、支持台３７に対してＦＯＵＰ１０の荷重を適切に預けるために、把持部３３ａによるフランジ１０ａの把持を解除してもよい。これにより、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと支持台３７に固定されたノズル３５ａとが接続される。また、このとき、図２に示されるように、ＦＯＵＰ１０の底面フランジ１０ｄは、ロック機構３８によってロックされる。
【0046】
続いて、ガス供給管３５、ノズル３５ａ、及び注入口１０ｃを介して、タンク３４に貯留されている不活性ガスのＦＯＵＰ１０内への供給が開始される（ステップＳ１５）。その後、ＦＯＵＰ１０の移載処理が必要となるまで（ステップＳ１６：ＮＯ）、天井搬送車３は、タンク３４からＦＯＵＰ１０内への不活性ガスの供給を行いつつ、走行レール２を走行する。コントローラ３６は、例えば天井搬送車３がＦＯＵＰ１０の荷降ろし位置（或いは荷降ろし位置から所定距離以内の位置）まで移動したことを検知すると、ＦＯＵＰ１０の移載処理（荷降ろし処理）が必要になったと判定する（ステップＳ１６：ＹＥＳ）。そして、コントローラ３６は、ＦＯＵＰ１０の荷降ろし処理を実行するために、タンク３４からＦＯＵＰ１０内への不活性ガスの供給を停止し（ステップＳ１７）、支持台３７を退避状態（すなわち、図６（Ｂ）に示される状態）に移行させる（ステップＳ１８）。続いて、コントローラ３６は、ＦＯＵＰ１０の荷降ろし処理を実行する。具体的には、コントローラ３６は、ベルト３３ｂを繰り出すことにより昇降機構３３を下降させ、ＦＯＵＰ１０を保管棚等の荷降ろし位置に載置した後に把持部３３ａによるフランジ１０ａの把持を解除する。これにより、ＦＯＵＰ１０の荷降ろし処理が完了する。
【0047】
以上説明した天井搬送車システム１では、天井搬送車３は、搬送中のＦＯＵＰ１０の内部に不活性ガスを供給するためのタンク３４を有している。これにより、ＦＯＵＰ１０の搬送中において、不活性ガスを継続的にＦＯＵＰ１０内に供給することができ、ＦＯＵＰ１０内が不活性ガスで満たされた状態を適切に維持することができる。更に、天井搬送車システム１では、天井搬送車３が走行する走行レール２に沿って、タンク３４に不活性ガスを供給するガス供給装置４が設けられている。これにより、天井搬送車３が有するタンク３４への不活性ガスの供給（補充）を容易且つ適切に行うことができる。例えば、タンク３４内の不活性ガスが空になる前に、ガス供給装置４が設けられた位置（ガス供給位置）まで天井搬送車３を走行レール２に沿って走行させて不活性ガスを補充させることにより、タンク３４に不活性ガスが貯留された状態を適切に維持することができる。以上により、天井搬送車システム１によれば、搬送中のＦＯＵＰ１０への不活性ガスの供給を効率的に維持することができる。
【0048】
また、天井搬送車システム１は、コントローラ（本実施形態では、コントローラ３６及び上位コントローラ５）を備えている。コントローラは、タンク３４に貯留されている不活性ガスの状態を監視し、不活性ガスの状態に基づいてタンク３４への不活性ガスの供給が必要であるか否かを判定し、不活性ガスの供給が必要であると判定された場合に、天井搬送車３をガス供給位置まで走行させる。上記構成によれば、コントローラによって、タンク３４内の不活性ガスの状態監視とタンク３４内への不活性ガスの補給とを自動化することができる。その結果、天井搬送車３のタンク３４内の不活性ガスが空になってしまうことが適切に防止される。すなわち、上記構成によれば、人手によって天井搬送車３のタンク３４内の不活性ガスの残量等をチェックしたり、タンク３４を交換したりする手間を削減しつつ、タンク３４内のガス不足の発生を適切に防止することができる。
【0049】
また、天井搬送車３は、タンク３４と接続され、不活性ガスを流通させるガス供給管３５と、ガス供給管３５の先端に設けられ、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂに設けられた注入口１０ｃに接続されることにより、不活性ガスをＦＯＵＰ１０の内部に供給するノズル３５ａと、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂを支持すると共に、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃに対応する位置にノズル３５ａを固定可能な支持台３７と、を有する。上記構成によれば、ＦＯＵＰ１０が支持台３７に支持されてＦＯＵＰ１０の荷重が支持台３７に加えられることにより、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと支持台３７に固定されるノズル３５ａとを密着させて接続することができる。これにより、タンク３４内の不活性ガスを、安定した状態で、ガス供給管３５、ノズル３５ａ、及び注入口１０ｃを介して、ＦＯＵＰ１０内へと供給することができる。
【0050】
また、天井搬送車３は、ＦＯＵＰ１０の搬送中にＦＯＵＰ１０が格納される本体部３１と、ＦＯＵＰ１０を吊り下げ可能とされ、本体部３１に対して昇降する昇降機構３３と、を有している。支持台３７は、少なくとも昇降機構３３による昇降動作時において、昇降機構３３及び昇降機構３３により吊り下げられたＦＯＵＰ１０と干渉しない退避位置に退避可能に構成されている。上記構成によれば、支持台３７が退避位置に退避可能に構成されていることにより、昇降機構３３による昇降動作を伴うＦＯＵＰ１０の移載動作（荷掴み又は荷降ろし）を適切に行うことができる。
【0051】
また、天井搬送車３は、支持台３７を退避位置に退避させた状態で、昇降機構３３でＦＯＵＰ１０を荷掴みして上昇させることにより、ＦＯＵＰ１０を本体部３１内に格納する（図５のステップＳ１１～Ｓ１３）。そして、天井搬送車３は、ＦＯＵＰ１０が本体部３１内に格納された後に、支持台３７を退避位置からＦＯＵＰ１０の下方（すなわち支持位置）に配置し（図７（Ａ）参照）、支持台３７がＦＯＵＰ１０の下方に配置された後に、ＦＯＵＰ１０が支持台３７上に載置されるように昇降機構３３を動作させる（図７（Ｂ）参照）。上記構成によれば、昇降機構３３及び支持台３７の一連の動作を制御することにより、ＦＯＵＰ１０を荷掴みした後に当該ＦＯＵＰ１０内にタンク３４からの不活性ガスを供給可能な状態へと円滑に移行させることができる。
【0052】
また、支持台３７は、ＦＯＵＰ１０の上下方向への移動を規制する爪部３８ａを有する。上記構成によれば、ＦＯＵＰ１０の搬送中（ＦＯＵＰ１０内への不活性ガスの供給中）において、ＦＯＵＰ１０が支持台３７に対して上方に飛び出すことが防止される。これにより、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと支持台３７に固定されたノズル３５ａとの接続状態を安定化させることができる。
【0053】
以上、本開示の好適な実施形態について詳細に説明されたが、本開示は上記実施形態に限定されない。例えば、搬送指令（第１地点から第２地点までのＦＯＵＰ１０の搬送）を天井搬送車３に割り付ける上位コントローラ５は、天井搬送車３のタンク３４内の不活性ガスの状態（ガス量及び／又はガス圧等）に基づいて、種々の搬送制御を行うことができる。例えば、上位コントローラ５は、天井搬送車システム１内に配置された複数の天井搬送車３の各々のタンク３４内の不活性ガスの残量と搬送指令に係る搬送距離とに基づいて、搬送指令の割付先となる天井搬送車３を決定してもよい。例えば、上位コントローラ５は、ＦＯＵＰ１０の搬送中に不活性ガスが空にならない程度のガス量を貯留しているタンク３４を有する天井搬送車３を、搬送指令の割付先として決定してもよい。この場合、ＦＯＵＰ１０の搬送中にタンク３４内の不活性ガスが空になることを防止し、ＦＯＵＰ１０内の半導体ウェハの酸化を適切に防止することができる。なお、上述したとおり、ＦＯＵＰ１０の搬送中であっても、ガス供給装置４によってタンク３４内に不活性ガスを供給することは可能であるが、その場合、ガス供給処理の時間だけ、ＦＯＵＰ１０の搬送処理が遅れることになる。従って、上述した割付制御によれば、ＦＯＵＰ１０の搬送中にガス供給装置４からの不活性ガスの供給を行う必要がなくなるため、ＦＯＵＰ１０の搬送が遅れてしまうことを防止することができる。
【0054】
また、上記実施形態では、昇降機構３３によって上下方向にＦＯＵＰ１０を移載する天井搬送車３を例示したが、天井搬送車３は、ＦＯＵＰ１０を水平方向（Ｙ軸方向）に移載可能に構成されてもよい。また、このように天井搬送車３が横移載専用の台車である場合、ＦＯＵＰ１０の移載動作時（荷掴み又は荷降ろし時）において、必ずしも、支持台３７を退避させる必要はない。すなわち、支持台３７は、上述した支持位置に固定された部材であってもよい。
【0055】
また、上記実施形態では、搬送車システムの一例として、複数の天井搬送車（Overhead transport vehicle）を含む天井搬送車システム１について説明したが、搬送車システムにおける搬送車は、軌道を走行する車両であればよく、例えば地上に設けられたレールを走行する地上搬送車であってもよい。
【符号の説明】
【0056】
１…天井搬送車システム（搬送車システム）、２…走行レール（軌道）、３…天井搬送車（搬送車）、４…ガス供給装置、５…上位コントローラ（コントローラ）、１０…ＦＯＵＰ（容器）、１０ｂ…底面、１０ｃ…注入口、３１…本体部、３３…昇降機構、３４…タンク（貯留部）、３５ａ…ノズル、３６…コントローラ、３７…支持台、３８ａ…爪部（規制部材）。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】