(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-12-06
(45)【発行日】2022-12-14
(54)【発明の名称】光学顕微鏡の画像コントラスト増強
(51)【国際特許分類】
G01N 21/41 20060101AFI20221207BHJP
G02B 21/00 20060101ALI20221207BHJP
【FI】
G01N21/41 101
G02B21/00
(21)【出願番号】P 2019565010
(86)(22)【出願日】2018-05-22
(86)【国際出願番号】 AU2018050496
(87)【国際公開番号】W WO2018213881
(87)【国際公開日】2018-11-29
【審査請求日】2021-05-14
(32)【優先日】2017-05-22
(33)【優先権主張国・地域又は機関】AU
(73)【特許権者】
【識別番号】518326205
【氏名又は名称】ラ トローブ ユニバーシティ
【氏名又は名称原語表記】LA TROBE UNIVERSITY
(74)【代理人】
【識別番号】100145403
【氏名又は名称】山尾 憲人
(74)【代理人】
【識別番号】100189555
【氏名又は名称】徳山 英浩
(74)【代理人】
【識別番号】100100479
【氏名又は名称】竹内 三喜夫
(72)【発明者】
【氏名】エウジェニュ・バラウル
(72)【発明者】
【氏名】ブライアン・アビー
【審査官】小澤 瞬
(56)【参考文献】
【文献】特開2015-012128(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2014/0131559(US,A1)
【文献】特開2009-222401(JP,A)
【文献】特表2007-501391(JP,A)
【文献】特開2011-252928(JP,A)
【文献】特開2012-159792(JP,A)
【文献】特開2011-053151(JP,A)
【文献】特開2016-212126(JP,A)
【文献】特表2007-538264(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2008/0252894(US,A1)
【文献】特開2007-192806(JP,A)
【文献】特開2010-009025(JP,A)
【文献】特開2009-223123(JP,A)
【文献】特開2001-133618(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G01J 1/00 - G01J 1/60
G01J 11/00
G01N 21/00 - G01N 21/01
G01N 21/17 - G01N 21/83
G02B 19/00 - G02B 21/00
G02B 21/06 - G02B 21/36
JSTPlus/JMEDPlus/JST7580(JDreamIII)
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
光学顕微鏡内の物体の画像コントラストを増強する方法であって、
・物体をサンプルホルダのプラズモン層の上で支持するステップであって、該プラズモン層は、物体に近接するサブミクロン構造の周期的アレイを画定する、ステップと、
・サンプルホルダを光に露出するステップであって、
光の第1部分が、(i)プラズモン層を通過するが、物体を通過しないか、あるいは、(ii)プラズモン層および物体の第1セクションを通過するようにし、
光の第2部分が、プラズモン層および物体の少なくとも第2セクションを通過するようにし、
光は、
プラズモン層
および物体と相互作用し、
透過光の第1部分は、1つ以上の第1表面プラズモン共鳴ピークによって特徴付けられ、
透過光の第2部分は、物体がプラズモン層内を伝搬するプラズモンに影響を与える結果として、第1表面プラズモン共鳴ピークから波長シフトした、1つ以上の第2表面プラズモン共鳴によって特徴付けられる、ステップと、
・透過光の第1部分および第2部分から物体の
増強された光学画像を構築し、これにより物体を空間的に分解可能にするステップと、を含む方法。
【請求項2】
画像を解析して物体を空間的に分解することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
【請求項3】
光は、200nm~900nmの範囲の複数の波長を有する、請求項1または2に記載の方法。
【請求項4】
第1および第2表面プラズモン共鳴ピークの少なくとも一方は、300nm~800nmの範囲の波長でピーク強度を有する、請求項1~3のいずれかに記載の方法。
【請求項5】
サブミクロン構造は、200nm~500nmの範囲のサブミクロン構造間の間隔を備えた周期的アレイ状に配置される、請求項1~4のいずれかに記載の方法。
【請求項6】
サブミクロン構造は、50nm~300nmの範囲の最大寸法を有する、請求項1~5のいずれかに記載の方法。
【請求項7】
サブミクロン構造は、プラズモン層を通るアパーチャである、請求項1~6のいずれかに記載の方法。
【請求項8】
アパーチャは、円、トーラス、楕円、十字形、および複数の交差する細長いアームを含む形状のいずれか1つ以上として成形される、請求項7に記載の方法。
【請求項9】
近接する細長いアーム間の角度は、30°~90°の範囲である、請求項8に記載の方法。
【請求項10】
サンプルホルダおよび物体を、偏光した光に露出することをさらに含む、請求項1~9のいずれかに記載の方法。
【請求項11】
偏光した光は、アパーチャの周期的アレイの第1軸に対して第1偏光角で直線偏光しており、周期的アレイは、第1軸に沿ったサブミクロン構造の第1間隔を有し、第1間隔は、第2軸に沿ったサブミクロン構造の第2間隔とは異なり、第2軸は、第1軸に対してある角度で配向している、請求項10に記載の方法。
【請求項12】
第1軸に対して第2偏光角で直線偏光した光にサンプルホルダおよび物体を露出することをさらに含む、請求項11に記載の方法。
【請求項13】
該方法は、光学顕微鏡を用いて実施する、請求項1~12のいずれかに記載の方法。
【請求項14】
プラズモン層は、Al,Ag,Au,Ni,PtおよびPdのいずれかから選択される1つ以上の金属から形成される、請求項1~13のいずれかに記載の方法。
【請求項15】
プラズモン層は、20nm~300nmの範囲の厚さを有する、請求項1~14のいずれかに記載の方法。
【請求項16】
サンプルホルダは、プラズモン層のための機械的支持を提供するために、プラズモン層の第1表面の少なくとも一部に接続された基板を含む、請求項1~15のいずれかに記載の方法。
【請求項17】
基板は、光学的に透明であり、そのため基板を通る光透過率がゼロより大きく、基板は第1表面を化学的に隔離する、請求項16に記載の方法。
【請求項18】
サンプルホルダは、プラズモン層を隔離するために、プラズモン層の第2側に結合された光学的に透明な保護層を含む、請求項1~17のいずれかに記載の方法。
【請求項19】
光学的に透明な保護層は、150nm未満の厚さを有する、請求項18に記載の方法。
【請求項20】
光学的に透明な保護層は、80nm未満の厚さを有する、請求項18に記載の方法。
【請求項21】
光学的に透明な保護層は、酸化シリコン、窒化シリコン、透明金属酸化物およびポリマーのいずれか1つ以上を含む、請求項18~20のいずれかに記載の方法。
【請求項22】
物体は、均一な厚さ及び/又は密度を含むか、あるいは、物体は、不均一な厚さ及び/又は密度を含む、請求項1~21のいずれかに記載の方法。
【請求項23】
光学顕微鏡
内の画像コントラストを増強する際に使用するためのサンプルホルダであって、
サブミクロン構造の周期的アレイを画定するプラズモン層を含み、
サンプルホルダは、
物体を支持する場合、サブミクロン構造の周期的アレイが物体に近接するように物体を支持し、
光がプラズモン層を透過できるようにし、光は、
プラズモン層
および物体と相互作用し、透過光からのスペクトルは、
1つ以上の第1表面プラズモン共鳴ピークによって特徴付けられる第1部分と、
物体がプラズモン層内を伝搬するプラズモンに影響を与える結果として、第1表面プラズモン共鳴ピークから波長シフトした、1つ以上の第2表面プラズモン共鳴によって特徴付けられる第2部分とを含み、
これにより透過光から物体の
増強された光学画像を構築し、物体を該画像から空間的に分解可能にするように構成される、サンプルホルダ。
【請求項24】
プラズモン層は、300nm~800nmの範囲の波長でピーク強度を備えた少なくとも1つの表面プラズモン共鳴ピークを生成するように構成される、請求項23に記載のサンプルホルダ。
【請求項25】
サブミクロン構造は、200nm~500nmの範囲のサブミクロン構造間の間隔を備えた周期的アレイ状に配置される、請求項23または24に記載のサンプルホルダ。
【請求項26】
サブミクロン構造は、50nm~300nmの範囲の最大寸法を有する、請求項23~24のいずれかに記載のサンプルホルダ。
【請求項27】
サブミクロン構造は、プラズモン層を通るアパーチャである、請求項23~25のいずれかに記載のサンプルホルダ。
【請求項28】
アパーチャは、円、トーラス、楕円、十字形、および複数の交差する細長いアームを含む形状のいずれか1つ以上として成形される、請求項
27に記載のサンプルホルダ。
【請求項29】
近接する細長いアーム間の角度は、30°~90°の範囲である、請求項28に記載のサンプルホルダ。
【請求項30】
プラズモン層は、Al,Ag,Au,Ni,PtおよびPdのいずれかから選択される1つ以上の金属から形成される、請求項23~29のいずれかに記載のサンプルホルダ。
【請求項31】
プラズモン層は、20nm~300nmの範囲の厚さを有する、請求項23~30のいずれかに記載のサンプルホルダ。
【請求項32】
プラズモン層のための機械的支持を提供するために、プラズモン層の第1表面の少なくとも一部に接続された基板をさらに含む、請求項23~31のいずれかに記載のサンプルホルダ。
【請求項33】
基板を通る光透過率がゼロより大きく、基板は第1表面を化学的に隔離する、請求項32に記載のサンプルホルダ。
【請求項34】
プラズモン層を隔離するために、プラズモン層の第2側上に光学的に透明な保護層をさらに含む、請求項23~33のいずれかに記載のサンプルホルダ。
【請求項35】
光学的に透明な保護層は、150nm未満の厚さを有する、請求項34に記載のサンプルホルダ。
【請求項36】
光学的に透明な保護層は、80nm未満の厚さを有する、請求項34に記載のサンプルホルダ。
【請求項37】
光学的に透明な保護層は、酸化シリコン、窒化シリコン、透明金属酸化物およびポリマーのいずれか1つ以上を含む、請求項34~36のいずれかに記載のサンプルホルダ。
【請求項38】
光学顕微鏡で使用される場合に請求項1~22のいずれかに記載の方法を実施する、請求項23~37のいずれかに記載のサンプルホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、一般に、光学顕微鏡法のための方法、デバイスおよび機器に関する。より詳細には、本開示は、光学顕微鏡内のサンプルの画像コントラストを増強するための方法、デバイスおよび機器に関する。
【背景技術】
【0002】
17世紀のレーベンフックによる生物学への光学顕微鏡の応用は、生命科学において重要な瞬間であった。それ以来、位相差顕微鏡の導入など、顕微鏡の継続的な開発が行われ、通常は光をあまり散乱したり吸収したりせず、透明に見える生体細胞を研究することが可能になった。位相差顕微鏡法は、試料を通る光路長の変動を利用しており、これは、材料の屈折率および厚さの両方の関数である。適切な設定では、異なる光路長の光線間の干渉により、建設的干渉および相殺的干渉が発生し、サンプルの位相情報が光の振幅の変化として見えるようになる。
【0003】
その偉大な成功にも拘らず、位相差顕微鏡法は、疑似の量の光が撮像物体のエッジを越えて見える、いわゆる「ハロー(halo)」効果など、アーチファクト(人工物)の潜在的な導入を含む多くの短所を有する。従って、ハロー効果は、位相差顕微鏡の空間分解能を事実上減少させる。
【0004】
光学顕微鏡のコントラストを増強するために使用される他の関連技術は、ジョルジュ・ノマルスキーによって開発された微分干渉コントラスト(DIC)イメージングである。DICは、波面剪断方向の偏光依存の変化率を干渉と組み合わせて使用し、サンプル内の光路長差を増強する。多くの位相差顕微鏡法とは異なり、DICは、回折ハローアーチファクトを含まない。この方法は、構造化された表面に似た擬似3D画像を出力するが、サンプルのトポロジー(位相幾何)の正確な表現ではない。
【0005】
位相差顕微鏡法とDIC手法の両方は、従来の光学顕微鏡の設定への変更を必要とし、経験豊富なユーザが画像情報を適切に解釈する必要がある。これらの手法の欠点は、従来の顕微鏡法と比較して空間分解能が減少することがあり、得られる画像はアーチファクトを含むことがあることである。
【0006】
現代の顕微鏡を支える光学システムは、非常に高い開口数のレンズを使用することによって、高い空間分解能でサンプルを撮像することが可能である。しかしながら、生命科学にとって、画像コントラストおよび特異性(specificity)の問題は、光と弱く相互作用する試料のイメージングにとって依然として根本的な課題である。これは、多くの細胞および組織サンプルを含む。従来の明視野顕微鏡において、入射光とサンプルの相互作用、光学システムの品質、および検出器の効率がコントラストを決定付ける。これは、コントラストが撮像試料の固有の特性ではなく、撮像システムの固有の特性であることを意味する。
【0007】
光学顕微鏡法において、画像コントラストは、位相情報、光路長の勾配(gradient)、サンプルの染色または蛍光標識(labelling)を用いて増強できる。特に位相コントラストイメージングは、光との相互作用が弱すぎて従来の顕微鏡を用いて検出できないサンプル構造(feature)のコントラストを増強するために使用される主要な手法の1つになった。
【0008】
位相コントラストまたはDICイメージングが利用できないか、またはアーチファクトが生じる場合、染色が通常使用され、コントラストを増加させる。この場合、試料に導入された色素による光吸収の結果として、画像コントラストが増強される。この手法の欠点は、サンプル損傷の可能性、アーチファクトの導入、および生体サンプルを撮像する能力がないことである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
従って、従来の光学設定を用いて、未染色の蛍光フリーのサンプルを撮像するための、高コントラストでラベルフリーの撮像手法を開発するニーズがある。
【0010】
本明細書に含まれている文書、行為、材料、デバイス、物品などの議論は、これらの事項の何れかまたは全ては、先行技術の基礎の一部を形成するという自認として解釈すべきではなく、本願の各請求項の優先日前に存在しているような本開示に関連する分野での共通の一般的な知識であり、あるいは、関連性ありと見做されるか、または当業者によって組み合わされたと合理的に予想されると理解されるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0011】
本開示の第1態様において、物体を撮像する方法が提供される。該方法は、
物体をサンプルホルダのプラズモン層の上で支持するステップであって、プラズモン層は、物体に近接するサブミクロン構造の周期的アレイを画定する、ステップと、
サンプルホルダを光に露出するステップであって、
光の第1部分が、プラズモン層を通過するが、物体を通過しないか、あるいは、プラズモン層および物体の第1セクションを通過するようにし、
光の第2部分が、プラズモン層および物体の少なくとも第2セクションを通過するようにし、
光は、少なくともプラズモン層と相互作用し、
透過光の第1部分は、1つ以上の第1表面プラズモン共鳴ピークによって特徴付けられ、
透過光の第2部分は、物体がプラズモン層内を伝搬するプラズモンに影響を与える結果として、第1表面プラズモン共鳴ピークから波長シフトした、1つ以上の第2表面プラズモン共鳴によって特徴付けられる、ステップと、
透過光の第1部分および第2部分から物体の画像を構築し、これにより物体を空間的に分解可能にするステップと、を含む。
【0012】
幾つかの実施形態において、該方法はさらに、画像を解析して物体を空間的に分解することを含む。
【0013】
光は、200nm~900nmの範囲の複数の波長を有してもよい。幾つかの実施形態において、第1および第2表面プラズモン共鳴ピークの少なくとも一方は、300nm~800nmの範囲の波長でピーク強度を有する。
【0014】
サブミクロン構造は、200nm~500nmの範囲のサブミクロン構造間の間隔を備えた周期的アレイ状に配置されてもよい。サブミクロン構造は、50nm~300nmの範囲の最大寸法を有してもよい。
【0015】
幾つかの実施形態において、サブミクロン構造は、プラズモン層を通るアパーチャ(開口)である。アパーチャは、円、トーラス、楕円、十字形、および複数の交差する細長いアームを含む形状のいずれか1つ以上として成形してもよい。近接する細長いアーム間の角度は、30°~90°の範囲である。
【0016】
該方法はさらに、サンプルホルダおよび物体を、偏光した光に露出することを含んでもよい。
【0017】
更なる実施形態において、偏光した光は、アパーチャの周期的アレイの第1軸に対して第1偏光角で直線偏光しており、周期的アレイは、第1軸に沿ったサブミクロン構造の第1間隔を有し、これは、第2軸に沿ったサブミクロン構造の第2間隔とは異なり、第2軸は、第1軸に対してある角度で配向している。該方法はさらに、第1軸に対して第2偏光角で直線偏光した光にサンプルホルダおよび物体を露出することを含んでもよい。
【0018】
幾つかの実施形態において、該方法は、光学顕微鏡を用いて実施される。
【0019】
プラズモン層は、Al,Ag,Au,Ni,PtおよびPdのいずれかから選択される1つ以上の金属から形成してもよい。プラズモン層は、20nm~300nmの範囲の厚さを有してもよい。
【0020】
サンプルホルダは、プラズモン層のための機械的支持を提供するために、プラズモン層の第1表面の少なくとも一部に接続された基板を含む。基板は、光学的に透明でもよく、そのため基板を通る光透過率がゼロより大きく、基板は第1表面を化学的に隔離する。
【0021】
幾つかの実施形態において、サンプルホルダは、プラズモン層を隔離するためにプラズモン層の第2側に結合された光学的に透明な保護層を含む。光学的に透明な保護層は、150nm未満の厚さを有してもよい。幾つかの実施形態において、光学的に透明な保護層は、80nm未満の厚さを有してもよい。光学的に透明な保護層は、酸化シリコン、窒化シリコン、透明金属酸化物およびポリマーのいずれか1つ以上を含んでもよい。
【0022】
本開示の第2態様において、光学顕微鏡で使用するためのサンプルホルダが提供される。サンプルホルダは、サブミクロン構造の周期的アレイを画定するプラズモン層を含み、
サンプルホルダおよびプラズモン層は、
物体を支持する場合、サブミクロン構造のアレイが物体に近接するように物体を支持し、
光がプラズモン層を透過できるようにし、光は、少なくともプラズモン層と相互作用し、透過光からのスペクトルは、
1つ以上の第1表面プラズモン共鳴ピークによって特徴付けられる第1部分と、
物体がプラズモン層内を伝搬するプラズモンに影響を与える結果として、第1表面プラズモン共鳴ピークから波長シフトした、1つ以上の第2表面プラズモン共鳴によって特徴付けられる第2部分とを含み、
これにより透過光から物体の画像を構築し、物体を該画像から空間的に分解可能にするように構成される。
【0023】
プラズモン層は、300nm~800nmの範囲の波長でピーク強度を備えた少なくとも1つの表面プラズモン共鳴ピークを生成するように構成してもよい。
【0024】
サブミクロン構造は、200nm~500nmの範囲のサブミクロン構造間の間隔を備えた周期的アレイ状に配置されてもよい。サブミクロン構造は、50nm~300nmの範囲の最大寸法を有してもよい。
【0025】
幾つかの実施形態において、サブミクロン構造は、プラズモン層を通るアパーチャ(開口)である。アパーチャは、円、トーラス、楕円、十字形、および複数の交差する細長いアームを含む形状のいずれか1つ以上として成形してもよい。近接する細長いアーム間の角度は、30°~90°の範囲である。
【0026】
プラズモン層は、Al,Ag,Au,Ni,PtおよびPdのいずれかから選択される1つ以上の金属から形成してもよい。プラズモン層は、20nm~300nmの範囲の厚さを有してもよい。
【0027】
サンプルホルダは、プラズモン層のための機械的支持を提供するために、プラズモン層の第1表面の少なくとも一部に接続された基板を含む。基板は、光学的に透明でもよく、そのため基板を通る光透過率がゼロより大きく、基板は第1表面を化学的に隔離する。
【0028】
幾つかの実施形態において、サンプルホルダは、プラズモン層を隔離するために、プラズモン層の第2側に結合された光学的に透明な保護層を含む。光学的に透明な保護層は、150nm未満の厚さを有してもよい。幾つかの実施形態において、光学的に透明な保護層は、80nm未満の厚さを有してもよい。光学的に透明な保護層は、酸化シリコン、窒化シリコン、透明金属酸化物およびポリマーのいずれか1つ以上を含んでもよい。
【0029】
本開示の第3態様において、光学顕微鏡で使用される場合に第1態様に係る方法を実施する、第2態様の請求項の実施形態のいずれか1つに係るサンプルホルダが提供される。
【0030】
本明細書全体を通して、言葉「備える、含む(comprise)」、または「含む(comprises)」または「含む(comprising)」などの変形は、記述した要素、整数またはステップ、または要素のグループ、整数またはステップの包含を意味し、他の要素、整数またはステップ、または要素のグループ、整数またはステップの除外を意味しないと理解される。
【図面の簡単な説明】
【0031】
実施形態は、一例として以下に簡単に説明される添付図面を参照して、さらに詳細に後述する。
【0032】
【
図1a】幾つかの実施形態に係る、撮像物体を支持するためのサンプルホルダの側面断面図である。
【
図1b】
図1aのサンプルホルダのあるセクションの上面図であり、挿入画像が、サンプルホルダのプラズモン層のサブミクロン構造またはアパーチャのアレイの拡大図を示す。
【
図2】表面プラズモン共鳴ピークを含むスペクトルのプロットである。
【
図3】幾つかの実施形態に係るサンプルホルダのあるセクションの上面図である。
【
図4】幾つかの実施形態に係るサンプルホルダの側面図である。
【
図5】幾つかの実施形態に係る、物体を撮像する方法のフローチャートである。
【
図6a】一実施形態に係るサンプルホルダ上に支持された物体の上面明視野顕微鏡画像である。
【
図6b】従来の顕微鏡スライド上に支持された
図6aの物体の上面明視野顕微鏡画像である。
【
図7a】幾つかの実施形態に係る、物体を支持するサンプルホルダの側面断面図であり、光の第1部分を示す。
【
図7b】
図7aのサンプルホルダおよび物体の側面断面図であり、光の第2部分を示す。
【
図8a】一実施形態に係るサンプルホルダ上に支持された物体の0°直線偏光した光を用いた上面明視野顕微鏡画像である。
【
図8b】一実施形態に係る
図8aのサンプルホルダ上に支持された物体の90°直線偏光した光を用いた上面明視野顕微鏡画像である。
【
図9a】一実施形態に係るサンプルホルダ上に支持されたミエリン鞘(myelin sheath)の0°直線偏光した光を用いた明視野顕微鏡画像、および画像の一部の拡大画像である。
【
図9b】
図9aのサンプルホルダ上の
図9aに示した同じミエリン鞘の90°直線偏光した光を用いた明視野顕微鏡画像、および画像の一部の拡大画像である。
【
図10a】一実施形態に係るサンプルホルダ上に支持されたイオン注入薄膜の明視野顕微鏡画像である。
【
図10b】従来の顕微鏡スライド上に支持されたイオン注入薄膜の明視野顕微鏡画像である。
【
図11a】一実施形態に係るサンプルホルダ上に支持された子房(plant ovary)の断面の明視野顕微鏡画像である。
【
図11b】従来の顕微鏡スライド上に支持された子房の断面の明視野顕微鏡画像である。
【発明を実施するための形態】
【0033】
本開示は、一般に、光学顕微鏡法のための方法、デバイスおよび機器に関する。より詳細には、本開示は、光学顕微鏡内のサンプルの画像コントラストを増強するための方法、デバイスおよび機器に関する。
【0034】
幾つかの実施形態は、例えば、顕微鏡スライドなど、変更したサンプルホルダを用いる顕微鏡法のための方法およびデバイスに関する。これらの方法およびデバイスは、染色または蛍光マーカーを使用することなく、構造を空間的に分解可能にしつつ、著しい画像コントラスト増強を好都合に提供できる。
【0035】
図1aと
図1bを参照して、顕微鏡(図示せず)で使用するためのサンプルホルダ100が提供される。サンプルホルダ100は、サブミクロンサイズの構造124の周期的アレイ122を画定するプラズモン層120を含み、サンプルホルダ100およびプラズモン層120は、サブミクロン構造124のアレイ122が物体140に近接するように、物体140を支持するように構成される。
【0036】
幾つかの実施形態において、サンプルホルダ100は、サブミクロンサイズの構造124の周期的アレイ122を画定するプラズモン層120を備え、サンプルホルダ100は、プラズモン層120のサブミクロン構造124のアレイ122が物体140に近接するように、物体140を支持するように構成される。例えば、プラズモン層120は、物体140を支持するように構成してもよい。
【0037】
幾つかの実施形態において、プラズモン層120の少なくとも一部は、自立型フィルムまたは自己支持型フィルムであり、サンプルホルダ100は、プラズモン層120の他の部分を支持するフレームを含んでもよい。
【0038】
光源152が、サンプルホルダ100を露出する光150を生成するために使用される。サンプルホルダ100およびプラズモン層120は、プラズモン層120に入射する光150がサンプルホルダ100およびプラズモン層120を透過できるように構成され、そのため透過光160は、1つ以上の固有の表面プラズモン共鳴ピーク220を備えたスペクトル200(
図2A)によって特徴付けられる。透過光160の得られるスペクトル200は、より詳しく後述するように、サンプルホルダ100及び/又はプラズモン層120の特性に特徴的である1つ以上の固有の表面プラズモン共鳴ピーク220を示すことができる。
【0039】
幾つかの実施形態において、サンプルホルダ100は、プラズモン層120に入射する光150がサンプルホルダ100およびプラズモン層120を透過可能にするように構成される。例えば、サンプルホルダ100は、より詳しく後述するように、ウインドウまたはアパーチャを画定するフレーム、あるいは光学的に透明な基板410を含んでもよい。
【0040】
入射光150は、プラズモン層120が延在する水平面(不図示)に対して垂直な長手方向Zに伝搬できる。
【0041】
周期的アレイ122は、例えば、三角形、長方形または正方形のアレイでもよい。三角形の周期的アレイは、六角形アレイの外観を与えることがある。各サブミクロン構造124間の間隔は、必要に応じて200nm~500nmの範囲である。
【0042】
幾つかの実施形態において、サブミクロン構造124は、プラズモン層120を通るアパーチャである。アパーチャは、50nm~300nmの範囲の最大開口を有してもよい。アパーチャは、円、楕円、トーラス、正方形、長方形、十字形、多角形のいずれか1つ以上として成形してもよい。例えば、
図1bの挿入画像のスケールバー191は300nmでもよく、円形アパーチャは160nmの直径を有してもよい。
【0043】
アパーチャ124のアレイ122は、集束イオンビーム、フォトリソグラフィおよび化学エッチング、または電子ビームリソグラフィおよび化学エッチング、またはテンプレートを用いたナノインプリント方式の技術のいずれか1つを用いて、プラズモン層120に形成できる。
【0044】
サブ波長ナノスケールのアパーチャの周期的アレイを通る光伝搬は、異常光透過(Extraordinary Optical Transmission)によって説明できる。異常光透過は、アパーチャのサイズに等しいか、それより長い入射光150の波長で発生することがある。この現象は、プラズモン層120での表面プラズモンポラリトン伝搬によって説明できる。
【0045】
サブミクロン構造124はまた、粗い表面、ナノ粒子、柱(pillar)および格子(grating)も含んでもよい。サブミクロン構造は、光150の波長より小さいか、それに等しい距離だけ隔離及び/又は分離してもよい。サブミクロン構造124のサイズに等しいか、これより長い波長を備えた入射光150は、より詳しく後述するように、プラズモン層120での表面プラズモンポラリトンの伝搬を導くことができる。
【0046】
図2に示すスペクトル200は、透過光160の強度が透過光160の波長λにどのように依存するかを示す。各固有表面プラズモン共鳴ピーク220は、共鳴波長λP222によって定義され得る。表面プラズモン共鳴ピーク220の共鳴波長λ
P222は、固有の表面プラズモン共鳴ピーク220の最大強度に対応する波長と考えてもよい。代替として、表面プラズモン共鳴ピーク220の共鳴波長λ
P222は、固有の表面プラズモン共鳴ピーク220の最大強度の半分である波長間の中心波長でもよい。
【0047】
固有の表面プラズモン共鳴ピーク220は、入射光150と、プラズモン層120の表面125,126での自由電子の集団振動との共鳴相互作用の結果である。これは、伝搬励起または、表面プラズモンポラリトンとして知られる表面プラズモンを導く。表面プラズモンポラリトンの共鳴波長λP222(および個々の共鳴周波数)は、プラズモン層120の表面組成および構造に強く依存する。
【0048】
固有の表面プラズモン共鳴ピーク220の波長は、サンプルホルダパラメータ、例えば、プラズモン層120の誘電率、アレイ122およびサブミクロン構造またはアパーチャ124の構成などにも依存し得る。例えば、アパーチャの間隔およびサイズ(さらに後述する)は、固有の共鳴ピーク220の波長に影響を与え得る。従って、固有の共鳴ピーク220は、サンプルホルダ100及び/又はプラズモン層120の構成に特徴的である。
【0049】
幾つかの実施形態において、プラズモン層120は、200nm~900nmの範囲の波長を備えた少なくとも1つの固有のプラズモン共鳴ピーク220を生成するように構成される。従って、透過光160の少なくとも幾つかは可視であり、可視スペクトルの波長を含むためである。
【0050】
プラズモン層120の誘電率は、特定の材料からプラズモン層120を形成することによって予め決定できる。幾つかの実施形態において、プラズモン層120は、Al,Ag,Au,Ni,PtおよびPdのグループから選択される1つ以上の金属から形成される。プラズモン層120は、20~300nmの範囲の厚さを有してもよい。入射光150の幾つかは、使用する材料および光の波長に応じて、プラズモン層120を直接透過することがある。これは、プラズモン層120によって提供される画像コントラスト増強を減少させる背景光に寄与することがあるため、望ましくない場合がある。
【0051】
プラズモン層120が金属から形成される場合、金属プラズモン層120は、物理的堆積方法、例えば、以下に限定されないが、スパッタリング、熱蒸着または電子ビーム蒸着などを用いて、基板(後述する透明基板410など)上に堆積してもよい。
【0052】
表面プラズモンポラリトンの電磁場はまた、プラズモン層120の表面126の外側におよびこれを超えて存在する。表面126に垂直な電磁場の成分は、
図1に示すように、プラズモンの表面126に垂直な方向Zに指数関数的に減衰する。その結果、プラズモン層120に近接する近傍での環境は、表面プラズモンポラリトン、固有の共鳴ピーク220、および共鳴波長λ
P222の生成にも影響を与えることができる。表面プラズモンポラリトンは、例えば、プラズモン層120内のサブミクロン構造124のアレイ122に近接する環境の屈折率または誘電率の差に対して敏感である。
【0053】
図1aに示すように、プラズモン層120は、第1表面125および第2表面126を画定する。第2表面126は、第1表面125の裏面でもよい。第1表面125および第2表面126は、プラズモン層120の主面(major surface)でもよい。各表面125,126に近接する環境の誘電率が異なる場合、プラズモン層120を透過した光からのスペクトル200は、第1表面125においてプラズモンを発生する光に対応する他の固有の表面プラズモン共鳴ピーク221も含んでもよい。
【0054】
物体140はまた、物体140がプラズモン層120に近接して配置される場合、表面プラズモン伝搬に影響を与えることができる。プラズモン層120での表面プラズモン伝搬に影響を与えるように、物体140がプラズモン層120に充分に近い場合、プラズモン層120および物体140を透過する光170は、第2スペクトル230(
図2)によって特徴付けられる。例えば、プラズモン層120での表面プラズモンポラリトンによって発生する電磁場は、プラズモン層120から離れる方向Zに指数関数的な減衰を示す。従って、物体140は、プラズモン層120での表面プラズモン伝搬にさらに影響を与えることがあり、さらにより少ない程度でプラズモン層120から影響を与えることがある。一例として、金属製である物体140は、第2表面から最大100nmまで離れていても、プラズモン層120での表面プラズモン伝搬および表面プラズモン共鳴ピーク220,221に検出可能なように影響を与えることがある。
【0055】
図2に示すように、第2スペクトル230は、物体140がプラズモン層120内を伝搬する表面プラズモンに影響を与える結果として、固有の表面プラズモン共鳴ピーク220から波長シフトした1つ以上の第2表面プラズモン共鳴ピーク240を含む。
【0056】
第2表面プラズモン共鳴ピーク240は、固有の表面プラズモン共鳴ピーク220と比較してより低い強度を有することがある。
【0057】
第1表面125でプラズモンを発生する光に対応する固有の表面プラズモン共鳴ピーク221の光の強度も、物体140が第2表面126に近接して配置される結果として増加することがある。
【0058】
物体140(
図1a)の画像180が、透過光160,170から構築できる。理由は、透過光160の第1部分のスペクトル220は、透過光170の第2部分のスペクトル230と異なることがあるためである。スペクトル200,230間のこの相違は、画像コントラストとして現れる。画像180の構築は、より詳細に後述する。
【0059】
図3を参照して、幾つかの実施形態において、プラズモン層120,320は、十字形のアパーチャ324の周期的アレイを画定する。アパーチャ324は、中央アパーチャ326から延びる複数の交差する細長いアーム325を画定する形状として記述できる。各アーム325は、近接するアーム325間にある角度が存在するように配向している。近接するアーム325間の角度は、必要に応じて30°~90°の範囲である。幾つかの実施形態において、アパーチャ324が十字形として成形された場合、角度は90°でもよい。アパーチャ324が8つの細長いアームを含む実施形態において、角度は45°でもよい。アパーチャ324は、100nm~300nmの範囲の最大開口を有する。例えば、図示したスケールバー390は300nmでもよく、十字形の最大開口は160nmでもよい。好都合には、十字形のアパーチャ324は、円形アパーチャから得られる表面プラズモン共鳴ピーク220,221,240よりも鋭い表面プラズモン共鳴ピーク220,221,240を生成できる。これにより、より大きな画像コントラストが得られ、従って、表面プラズモン共鳴ピーク220,221,240の幅よりも少ない小さな波長シフトをもたらす物体140に対する検出感度が得られることがある。例えば、10nm未満の厚さである物体または、類似の屈折率を有する物体のセクションは、小さな波長シフトをもたらすことがある。
【0060】
アパーチャ324の周期的アレイは、第2軸Yに沿った第2間隔Bとは異なる第1軸Xに沿った第1間隔Aを有してもよい。従って、周期的アレイは、非対称アレイとして記述できる。第2軸は、第1軸に対してある角度で配向している。該角度は、例えば、30°~90°の範囲でもよい。幾つかの実施形態において、周期的アレイは長方形アレイである。一実施形態において、第1間隔Aは400nmであり、第2間隔Bは350nmである。
【0061】
図4を参照して、幾つかの実施形態において、サンプルホルダ100,400はまた、プラズモン層120,420の機械的支持を提供するために、プラズモン層120,420の第1表面125,425に接続された光学的に透明な基板410を含む。光学的に透明な基板410は、光150が、これを通過してプラズモン層120,420まで0パーセントより大きい光透過(例えば、透過率)で通過可能にする。光学的に透明な基板410は、プラズモン層120,420内で伝搬表面プラズモンを生成するのに充分な光を透過させる。幾つかの実施形態において、基板410を通る光透過率は少なくとも50%である。
【0062】
基板410は、二酸化シリコン系ガラス、石英(quartz)、サファイア、透明金属酸化物、またはポリマーのうちの1つから選択された材料から形成してもよい。
【0063】
幾つかの実施形態において、基板410は、プラズモン層120,420の第1表面125,425を露出させるウインドウ(不図示)を画定してもよく、光150がウインドウを通過してプラズモン層120,420と相互作用することを可能にする。これらの実施形態において、基板410は、必ずしも光学的に透明な材料から形成される必要はなく、基板410は、必ずしも光150に露出される必要はない。従って、基板410は、プラズモン層120,420の第1表面425の少なくとも一部に接続してもよい。
【0064】
サンプルホルダ100,400は、従来の光学顕微鏡での撮像のために容易に使用できるように成形してもよい。サンプルホルダ100,400は、例えば、顕微鏡スライドの形態を成してもよい。
【0065】
幾つかの実施形態において、サンプルホルダ100,400はさらに、プラズモン層120,420の第2表面126,426に連結または結合された光学的に透明な保護層430を含む。光学的に透明な保護層430は、光160,170がそこを通過して、プラズモン層120,420を化学的に隔離する。このことは、好都合にはプラズモン層120,420を保護するのに役立ち、サンプルホルダ100,400を洗浄および再利用することを可能にする。光学的に透明な保護層430は、表面プラズモン共鳴ピーク220の少なくとも1つの光がそこを通過することを可能にする。
【0066】
光学的に透明な保護層430は、シリコン系酸化物(例えば、SiO2)、シリコン窒化物(例えば、Si3N4)、透明金属酸化物、およびポリマーのうちのいずれか1つ以上を含んでもよい。光学的に透明な保護層430は、均一な薄膜を生成するための半導体産業で日常的に使用されるコーティング方法で形成できる。例えば、光学的に透明な保護層430は、「スピンオンガラス」である水素シルセスキオキサンなどの液体前駆体から形成してもよい。この技術では、液体前駆体は、プラズモン層120,420上に堆積され、その後、サンプルホルダ100,400が急速に回転して、液体前駆体は均一な薄膜を形成する。そして、液体前駆体は、電子ビーム、UV光および加熱の1つ以上を用いて硬化される。代替として、光学的に透明な保護層430は、化学気相堆積法を用いて堆積してもよい。光学的に透明な保護層430は、一般に、プラズモン層120,420上に形成することがある自然酸化物を含まない。
【0067】
幾つかの実施形態において、光学的に透明な保護層430は、約150nm未満の厚さを有する。光学的に透明な保護層430が厚いほど、耐摩耗性が大きくなる。しかしながら、前述のように、表面プラズモンの電場は指数関数的に減衰する。従って、表面プラズモン生成に対する物体140の影響は、物体140が表面126から遠くなるほど減少する。従って、より厚い光学的に透明な層430では、波長シフトおよび画像コントラストがより低くなることがある。光学的に透明な保護層430は、0.5nm~150nmの範囲の厚さを有してもよい。アモルファス二酸化シリコンから形成された光学的に透明な保護層430では、その厚さは、可視スペクトルにおいて増強された画像コントラストを生成するために80nm未満でもよい。
【0068】
幾つかの実施形態において、サンプルホルダ100,400は、サンプルホルダへの物体140の接着を促進するために、該技術分野で知られた任意の従来の方法を用いて処理してもよい。幾つかの例では、これは、接着剤、透過性保護フィルム、プラズマ処理または紫外光露出のいずれか1つ以上を使用することを含んでもよい。
【0069】
図5を参照して、幾つかの実施形態に係る、物体500を撮像する方法が示される。方法500は、510において、サンプルホルダ100,400(
図1aと
図4)のプラズモン層120,420上で物体140(
図1a)を支持することを含むかまたは備える。上述のように、プラズモン層120,420は、物体140が支持される場合、物体140に近接するように配置されたサブミクロン構造124の周期的アレイ122を画定する。
【0070】
方法500はまた、520において、サンプルホルダ100,400を光150に露出することを含み、光の第1部分160がプラズモン層120,420を通過するが、物体140を通過せず、そして、光の第2部分170がサンプルホルダ100,400および物体140を通過する。光の第1部分160は、プラズモン層120,420と相互作用し、光の第1部分160は、1つ以上の固有の(第1)表面プラズモン共鳴ピーク220によって特徴付けられる。光の第2部分170は、プラズモン層120,420および物体140の少なくとも一部と相互作用し、物体140がプラズモン層120,420内を伝搬するプラズモンに影響を与える結果として、固有の表面プラズモン共鳴ピーク220から波長シフトした1つ以上の第2表面プラズモン共鳴ピーク240によって特徴付けられる。
【0071】
従って、プラズモン層120,420を光150に露出することによって、表面プラズモン共鳴の結果として、伝搬する表面プラズモンがプラズモン層120,420に生成される。
【0072】
方法はさらに、530において、透過光の第1部分160および第2部分170から物体140の画像180を構築することを含み、これにより物体140を空間的に分解可能にする。物体140は、画像から空間的に分解できる。理由は、物体140を通る透過光170は波長シフトしているため、プラズモン層120を通過したが、物体140を通過していない透過光160とは異なるように見えるためである。従って、透過光160から由来する画像180の第1領域182と、透過光170から由来する画像180の第2領域184との間で画像コントラストが生成される。
【0073】
図7a~
図7bを参照して、幾つかの実施形態において、不均一な物体740が撮像できる。物体140の異なる構造も画像180から空間的に分解できる。これらの実施形態における光の第1部分760は、プラズモン層720および物体740の第1セクション741を通過する。光の第2部分770は、プラズモン層720および物体740の第2セクション742を透過する。物体740の第1セクション741および第2セクション742が表面プラズモン共鳴に異なるように影響を与える場合、これは、異なる表面プラズモン共鳴ピーク220,221,240(
図2)をもたらし、従って、光の第1部分760と光の第2部分770との間の画像コントラストは、物体の異なる構造を空間的に分解可能にする。
【0074】
幾つかの実施形態において、物体740は、プラズモン層720によって画定される周期的アレイ(不図示)を完全にカバーしてもよい。幾つかの実施形態において、物体740は、プラズモン層720によって画定される周期的アレイ(不図示)を部分的にのみカバーしてもよい。
【0075】
幾つかの実施形態において、画像180(
図1a)の構築は、例えば、光学顕微鏡で使用されるようなレンズを用いて、第1部分160および第2部分170からの透過光を画像平面(不図示)に投影することを含んでもよい。画像平面は、カメラまたは人間の眼などのセンサまたは検出器に設置してもよい。好都合には、物体140の画像180は、従来の光学顕微鏡法で使用される明視野撮像モードで構築できる。従って、特殊なサンプル調製、例えば、染色、特殊な顕微鏡、特殊な顕微鏡コンポーネント、または特殊な画像解析などは、画像コントラスト増強を提供するために必要とされない。好都合には、画像180は、広い視野を用いて取得できるため、物体140を走査して大きな領域に渡って画像を生成する必要がない。イメージングシステムが画像180内の関心のある構造を光学的に分解できるのであれば、アレイ122および撮像物体140のサイズに制限はない。
【0076】
透過光160,170が可視の波長範囲内にある場合、画像コントラストは、色のコントラストとして現れることがある。幾つかの実施形態において、方法500は、画像180を解析することも含んでもよい。例えば、透過光160,170はまたフィルタリング処理して、画像コントラストが強度コントラストとして現れるようしてもよい。このフィルタリング処理は、画像処理ソフトウェアを用いて画像180のスペクトルを解析することによって実施できる。
【0077】
また、画像解析は、共鳴波長または物体140からの波長シフトを決定するために使用できる。これにより、物体140の未知のパラメータの計算を決定することが可能になる。例えば、物体140の誘電率が既知である場合、エバネッセント長範囲(例えば、最大400nm)よりも小さければ、波長シフトを使用して物体140の厚さを決定できる。
【0078】
幾つかの実施形態において、物体140の画像180は、プラズモン層120,420を、波長λのフィルタリングなしの範囲を含む入射光150に露出することによって取得できる。入射光150は、例えば、白色光源と見なされる光源152によって生成してもよい。代替として、画像180は、プラズモン層120,420を単色の入射光150に露出することによって取得できる。
【0079】
好都合には、フィルタリングなしの光を用いた撮像は、波長λ
m223の単色光または波長λ
m223に近い狭帯域光の使用と比較して、増強された画像コントラストを提供できる。例えば、
図2を参照して、波長シフトしたスペクトル230に見られるように、物体140からの透過光170の強度は、プラズモン層120,420を通過しただけの透過光160の強度と同じである。従って、波長λ
mの光を用いて撮像を実施した場合、画像180において物体140から画像コントラストは観察されない。
【0080】
しかしながら、共鳴波長λP222を用いて撮像を実施し、スペクトル200に類似した強度の他の共鳴ピークが存在しない場合、プラズモン共鳴ピーク220の波長シフトは、強度の変化を生じさせ、画像のコントラストを示す領域を生成する。
【0081】
透過光170は、物体140との相互作用、例えば、散乱、分散、吸収などによっても影響を受けることがある。従って、より厚い物体は、従来の顕微鏡法のように、より低い強度で光170を通過させることがある。しかしながら、物体140がプラズモン層120,420で発生した表面プラズモンポラリトンと相互作用することに起因した波長シフトの結果として、画像コントラストが増強される。従って、プラズモン効果、散乱、分散、吸収の組合せに起因して波長シフトしたより低い強度の透過光170により、より厚い物体は、増加した画像コントラストを生成できる。
【0082】
しかしながら、波長シフトは、光と物体の相互作用、例えば、散乱、分散、吸収などから独立していることがある。これにより、好都合には、光と弱く相互作用し、それ以外に透明であるか、または従来の光学顕微鏡法を用いて観察するのが非常に困難である物体140の撮像が可能になる。言い換えれば、方法500は、色の変化を利用して、画像コントラスト増強を達成する。
【0083】
幾つかの実施形態において、方法500はさらに、512において第1偏光角での直線偏光した光150をさらに含む。方法500はまた、サンプルホルダ100,400(プラズモン層320,820を含む)および物体140,840を直線偏光光150に露出することを含んでもよい(
図8aと
図8bを参照)。ここで説明するように、プラズモン層320は、第2軸に沿った第2間隔Bとは異なる第1軸に沿った第1間隔Aを有するアパーチャ124,324の周期的アレイを画定し、第2軸は、第1軸に対してある角度で配向している。光は、第1軸に対して第1偏光角で直線偏光しており、サンプルホルダ100,400および物体140,840を第1偏光角の直線偏光光150に露出することから構成される画像180,880が記録できる。そして、方法500は、サンプルホルダ100,400および物体140,840を、第1軸に対して第2偏光角で直線偏光した光150に露出することによって繰り返してもよい。第2偏光角は、例えば、第2軸と整列してもよい。第2偏光角の直線偏光光150への露出から構築される画像180,882(
図8b)も記録できる。
【0084】
好都合には、プラズモン層320,820および物体140,840を含むサンプルホルダ100,400を第1軸に対して異なる偏光角で直線偏光した光150に露出することから構成される画像180,880,882は、異なる波長シフトが画像コントラスト条件をもたらすことに起因して、異なる画像180,880,882を生成できる。例えば、
図8aにおいて0°直線偏光光を用いて画像880の領域841に見られる物体140,840は、オレンジ色に見える。しかしながら、
図8bにおいて90°直線偏光光を用いて画像882の領域845に見られる同じ物体140,840は、黄色に見える。従って、方法500を使用して、従来の光学撮像方法からは容易に取得できない追加情報を物体140から好都合に取得できる。画像コントラストに対する偏光角変化の影響は、次第に厚くなる物体842,843ではそれほど顕著ではない。
【0085】
異なる偏光角で得られた異なる画像880,882は、第1間隔Aが第2間隔Bと異なるため、プラズモン層120,420,820および物体140,840と相互作用する偏光光から異なって生じる。偏光角が第1軸と整列する場合、表面プラズモン共鳴は、第2間隔Bに依存する。偏光角が第2軸と整列する場合、表面プラズモン共鳴は、第1間隔Aに依存する。第1軸と第2軸の間で配向した偏光角は、第1間隔Aと第2間隔Bの両方に依存する。
【0086】
幾つかの実施形態において、方法500はさらに、円偏光または楕円偏光の光150がサンプルホルダ100,400および物体140,840を露出することをさらに含む。サブミクロン構造124,324のアレイは、偏光が右回りか左回りか(時計回りまたは反時計回り)に応じて、異なる表面プラズモン共鳴を生成するように構成できる。
【0087】
例示の実施形態において、サンプルホルダ400は、約150nm厚の銀層から形成されたプラズモン層420を備えた従来のガラス顕微鏡スライドから形成された光学的に透明な基板410を含む。プラズモン層420は、約200nmだけ分離された直径約160nmの円形アパーチャの周期的な三角形アレイを画定する。サンプルホルダ400はさらに、約10nm厚のアモルファス二酸化シリコンの光学的に透明な保護層430を含む。この構成において、サンプルホルダ400を通過した透過光160からのスペクトル200は、約500nm(緑色光)の共鳴波長を備えた可視スペクトルでの固有の表面プラズモン共鳴ピーク220を含む。明視野構成の光学顕微鏡においてサンプルホルダ400を用いて方法500を実施すると、約3nm厚のPt/C材料の層からなる物体640が、適正な画像コントラストを生成し、それが容易に認識できることが観察された(
図6a)。しかしながら、領域641において単純なガラス顕微鏡スライド上で見られる同じ物体640は、従来の明視野光学顕微鏡法を用いて容易に観察できなかった(
図6b)。
【0088】
図6aはまた、次第に厚くなる物体642が、より大きな波長シフトに起因してより大きな画像コントラストを示すことを示す。物体642は、約8nm、約13nmおよび約19nmの厚さを有する。
図6bは、領域643において見られるものとガラススライド上の同じ物体642は、より大きい画像コントラストを示すが、画像コントラストは、サンプルホルダ400上で観察されるほど大きくないことを示す。
【0089】
図9aは、ミエリン鞘の明視野顕微鏡画像である。画像は、0°直線偏光光で物体500を撮像する方法の実施形態を用いて取得した。
図9bは、90°直線偏光光で方法500を用いて
図9aと同じ領域の明視野顕微鏡画像である。
【0090】
図10aは、幾つかの離間した領域に渡ってイオン注入された薄膜の上面図を示す明視野顕微鏡画像である。
図10bは、従来の顕微鏡スライド上に支持された幾つかの離間した領域に渡ってイオン注入された薄膜の従来の明視野顕微鏡画像である。
【0091】
図11aは、物体500を撮像する方法の実施形態を用いて得られた子房の断面の明視野顕微鏡画像である。
図11bは、従来の顕微鏡スライド上に支持された子房の断面の従来の明視野顕微鏡画像である。
【0092】
本開示の広い一般的範囲から逸脱することなく、上述した実施形態に対して多数の変形及び/又は変更を行ってもよいことは、当業者によって理解されるよう。従って、本実施形態は、全ての点で例示的かつ非限定的であると見做すべきである。