(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-12-07
(45)【発行日】2022-12-15
(54)【発明の名称】シート貼付方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/301 20060101AFI20221208BHJP
H01L 21/683 20060101ALI20221208BHJP
【ＦＩ】
H01L21/78 M
H01L21/68 N
H01L21/78 Q
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2018122437
(22)【出願日】2018-06-27
(65)【公開番号】P2020004828
(43)【公開日】2020-01-09
【審査請求日】2021-04-20
(73)【特許権者】
【識別番号】000102980
【氏名又は名称】リンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100120592
【弁理士】
【氏名又は名称】山崎 崇裕
(74)【代理人】
【識別番号】100184712
【弁理士】
【氏名又は名称】扇原 梢伸
(74)【代理人】
【識別番号】100192223
【弁理士】
【氏名又は名称】加久田 典子
(72)【発明者】
【氏名】杉下 芳昭
【審査官】渡井 高広
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１２－２２２３０８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１３－５４３２６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－０３３６３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－１８４５０４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
Ｈ０１Ｌ ２１／６８３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性粒子が添加されている第１接着シートを被着体の第１面に貼付するシート貼付工程と、前記被着体の第２面が表出した状態で前記第１接着シートが貼付された前記被着体を支持するウエハ支持工程と、
第２接着シートを支持し、当該第２接着シートの接着面を前記ウエハ支持工程で支持した前記被着体の前記第２面に対向させて配置する第２接着シート支持工程と、
前記被着体の前記第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付する押圧工程を実施し、
前記押圧工程において、前記第１接着シートに前記エネルギーを付与して前記膨張性粒子を膨張させることで、前記第１接着シートに貼付されている前記被着体を変位させて当該被着体の第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付するとともに、前記第１接着シートと前記被着体との接着面積を低減させて当該第１接着シートの前記被着体に対する接着力を低減させることを特徴とするシート貼付方法。
【請求項2】
所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性粒子が添加されている第１接着シートが予め第１面に貼付されている被着体を用意する工程と、前記被着体の第２面が表出した状態で前記第１接着シートが貼付された前記被着体を支持するウエハ支持工程と、
第２接着シートを支持し、当該第２接着シートの接着面を前記ウエハ支持工程で支持した前記被着体の前記第２面に対向させて配置する第２接着シート支持工程と、
前記被着体の前記第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付する押圧工程とを実施し、
前記押圧工程において、前記第１接着シートに前記エネルギーを付与して前記膨張性粒子を膨張させることで、前記第１接着シートに貼付されている前記被着体を変位させて当該被着体の第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付するとともに、前記第１接着シートと前記被着体との接着面積を低減させて当該第１接着シートの前記被着体に対する接着力を低減させることを特徴とするシート貼付方法。
【請求項3】
前記押圧工程の前段にて、前記被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を前記被着体に形成する改質部形成工程を実施し、前記押圧工程において、前記第１接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記膨張性粒子を膨張させることで、前記第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記改質部を起点として亀裂を形成して個片化し、前記被着体を個片体とした状態で前記第２接着シートに押圧して貼付するとともに、前記第１接着シート部分と前記個片体との接着面積を低減させて当該第１接着シート部分の前記個片体に対する接着力を低減させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付方法。
【請求項4】
改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が予め形成された被着体を用意する工程を実施し、前記押圧工程において、前記第１接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記膨張性粒子を膨張させることで、前記第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記改質部を起点として亀裂を形成して個片化し、前記被着体を個片体とした状態で前記第２接着シートに押圧して貼付するとともに、前記第１接着シート部分と前記個片体との接着面積を低減させて当該第１接着シート部分の前記個片体に対する接着力を低減させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付方法。
【請求項5】
所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性粒子が添加されている第１接着シートが予め第１面に貼付され、且つ、改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が予め形成された被着体を用意する工程を実施し、前記被着体の第２面が表出した状態で前記第１接着シートが貼付された前記被着体を支持するウエハ支持工程と、
第２接着シートを支持し、当該第２接着シートの接着面を前記ウエハ支持工程で支持した前記被着体の前記第２面に対向させて配置する第２接着シート支持工程と、
前記被着体の前記第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付する押圧工程を実施し、
前記押圧工程において、前記第１接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記膨張性粒子を膨張させることで、前記第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記改質部を起点として亀裂を形成して個片化し、前記被着体を個片体とした状態で前記第２接着シートに押圧して貼付するとともに、前記第１接着シート部分と前記個片体との接着面積を低減させて当該第１接着シート部分の前記個片体に対する接着力を低減させることを特徴とするシート貼付方法。
【請求項6】
前記改質部は、第１方向に沿う第１改質部と、当該第１方向に交差する第２方向に沿う第２改質部とを含み、前記押圧工程では、前記エネルギーを付与した位置に、当該エネルギーの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域を形成し、当該ライン状付与領域を前記第１方向と平行となるように移動させる第１押圧工程と、当該ライン状付与領域を前記第２方向と平行となるように移動させる第２押圧工程とを実施することを特徴とする請求項３乃至請求項５のいずれかに記載のシート貼付方法。
【請求項7】
前記膨張性粒子は、所定の第１エネルギーで膨張する第１膨張性粒子と、当該第１エネルギーと異なる所定の第２エネルギーで膨張する第２膨張性粒子とを有し、前記押圧工程では、前記第１接着シートに前記第１エネルギーを付与する第１エネルギー付与工程と、前記第１接着シートに前記第２エネルギーを付与する第２エネルギー付与工程とを実施することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のシート貼付方法。
【請求項8】
前記押圧工程で変位される前の被着体部分が変位することを抑制する変位抑制工程を実施することを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れかに記載のシート貼付方法。
【請求項9】
前記第２接着シートに貼付された前記被着体から前記第１接着シートを剥離するシート剥離工程を実施することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、シート貼付方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、第１面に第１接着シートが貼付された被着体の第２面に第２接着シートを貼付するシート貼付方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１２－２２２３０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の転写方法（シート貼付方法）では、第１接着シートＳ１（第１接着シート）としてウェハＷ（被着体）との接着力が強力なものが採用された場合、第１面Ｗ１（第１面）に第１接着シートが貼付された被着体の第２面Ｗ２（第２面）に第２接着シートＳ２（第２接着シート）を貼付し、当該被着体から第１接着シートを剥離する所謂転写工程を行う際、第１接着シートと被着体との接着力を低減させる接着力低減工程を独立して行わなければならない。従って、転写工程を含む被着体の処理工程が長期化するという不都合を発生する。
【0005】
本発明の目的は、転写工程を含む被着体の処理工程が長期化することを防止することができるシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、押圧工程において、被着体を第２接着シートの接着面に押圧して貼付するとともに、第１接着シートの被着体に対する接着力を低減させるので、第１接着シートと被着体との接着力を低減させる接着力低減工程を独立して行わなくてもよく、転写工程を含む被着体の処理工程が長期化することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【0010】
本発明のシート貼付方法は、所定のエネルギーとしての赤外線ＩＲが付与されることで膨張する膨張性粒子ＳＧが添加されている第１接着シートＡＳ１を被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦの第１面ＷＦ１に貼付するシート貼付工程ＰＣ１と、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２が表出した状態で第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを支持するウエハ支持工程ＰＣ２と、ウエハＷＦに改質部ＭＴを形成し、当該改質部ＭＴで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰをウエハＷＦに形成する改質部形成工程ＰＣ３と、第２接着シートＡＳ２を支持し、当該第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａをウエハ支持工程ＰＣ２で支持した被着体ＷＦの第２面ＷＦ２に対向させて配置する第２接着シート支持工程ＰＣ４と、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する押圧工程ＰＣ５と、第２接着シートＡＳ２に貼付されたウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離するシート剥離工程ＰＣ６とを実施する。
なお、本実施形態では、第１接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳ１と接着剤層ＡＬ１とを備え、当該接着剤層ＡＬ１のみに膨張性粒子ＳＧが添加されたものが採用されている。
なお、本実施形態では、第１接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳ１と接着剤層ＡＬ１とを備え、当該接着剤層ＡＬ１のみに膨張性粒子ＳＧが添加されたものが採用されている。
【0011】
シート貼付工程ＰＣ１は、図１（Ａ）に示すように、押圧手段としての押圧ローラ１１で第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦの第１面ＷＦ１に押圧して貼付する。このシート貼付工程ＰＣ１では、押圧ローラ１１とウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で他方を移動させたり、それら両方を移動させたりしてウエハＷＦに第１接着シートＡＳ１を貼付することができる。ウエハＷＦは、第１面ＷＦ１および第２面ＷＦ２のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されており、第１接着シートＡＳ１は、そのようなウエハＷＦにおける回路が形成された面に貼付されてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されてもよい。
【0012】
ウエハ支持工程ＰＣ２は、図１（Ｂ）に示すように、ウエハ支持手段としての支持テーブル２１で、第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを当該第１接着シートＡＳ１側から支持する。
【0013】
改質部形成工程ＰＣ３は、図１（Ｃ）に示すように、改質部形成手段としてのレーザ照射機３１でウエハＷＦに複数の改質部ＭＴを形成する。この改質部形成工程ＰＣ３では、レーザ照射機３１とウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で他方をＹ軸方向に移動させたり、それら両方をＹ軸方向に移動させたりして、図１（Ｃ－１）に示すように、第１方向としてのＹ軸方向に沿う第１改質部ＭＴＹを形成する第１改質部形成工程ＰＣ３１と、レーザ照射機３１とウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で他方をＸ軸方向に移動させたり、それら両方をＸ軸方向に移動させたりして、図１（Ｃ－２）に示すように、Ｙ軸方向に交差する第２方向としてのＸ軸方向に沿う第２改質部ＭＴＸを形成する第２改質部形成工程ＰＣ３２とを実施し、第１改質部ＭＴＹと第２改質部ＭＴＸとで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰを形成するようになっている。
【0014】
第２接着シート支持工程ＰＣ４は、図１（Ｄ）に示すように、第２接着シート支持手段としての支持テーブル４１で、第２接着シートＡＳ２を構成する基材シートＢＳ２および接着剤層ＡＬ２のうち基材シートＢＳ２側から当該第２接着シートＡＳ２を支持する。なお、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａは、接着剤層ＡＬ２における基材シートＢＳ２が積層された面の反対側の面である。
【0015】
押圧工程ＰＣ５は、図１（Ｅ）に示すように、赤外線ＩＲを発光する発光源５１Ａと、当該発光源５１Ａで発光した赤外線ＩＲを集光させる集光板５１Ｂとで構成されたエネルギー付与手段５１を用い、第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、当該赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧを膨張させることで、第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに貼付されている個片化予定領域ＷＦＰを変位させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成して個片化し、ウエハＷＦを個片体としてのチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させる。この押圧工程ＰＣ５では、赤外線ＩＲは、エネルギー付与手段５１と、ウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で他方を移動させたり、それら両方を移動させたりして接着剤層ＡＬ１に赤外線ＩＲを付与することができる。
本実施形態では、押圧工程ＰＣ５は、赤外線ＩＲを付与した位置に、当該赤外線ＩＲの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域ＬＧを形成し、図１（Ｅ－１）に示すように、当該ライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行となるように移動させる第１押圧工程ＰＣ５１と、図１（Ｅ－２）に示すように、当該ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させる第２押圧工程ＰＣ５２とを実施し、ウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１の接着剤層ＡＬ１に当該赤外線ＩＲを付与することで、接着剤層ＡＬ１に添加されている膨張性粒子ＳＧを膨張させる。
第１押圧工程ＰＣ５１では、図１（Ｅ－１）に示すように、Ｙ軸方向に沿うライン状付与領域ＬＧを左方から右方に向けて移動させる。すると、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧが次々に膨張し、接着剤層ＡＬ１に無数の凸部ＣＶが形成される。これにより、ウエハＷＦは、左方から右方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第１改質部ＭＴＹが起点となってＹ軸方向に延びる亀裂ＣＫＹが形成され、Ｙ軸方向に延びる複数の短冊状ウエハＷＦＳとなる。そして、それら短冊状ウエハＷＦＳは、複数の凸部ＣＶによって、第１接着シート部分ＡＳ１Ｐとの接着面積が低減し、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに対する接着力が低減する。このとき、エネルギー付与手段５１は、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている個々の膨張性粒子ＳＧが完全に膨張しないように、または、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧ全てが膨張しないように赤外線ＩＲを照射する。
本実施形態では、押圧工程ＰＣ５は、赤外線ＩＲを付与した位置に、当該赤外線ＩＲの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域ＬＧを形成し、図１（Ｅ－１）に示すように、当該ライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行となるように移動させる第１押圧工程ＰＣ５１と、図１（Ｅ－２）に示すように、当該ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させる第２押圧工程ＰＣ５２とを実施し、ウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１の接着剤層ＡＬ１に当該赤外線ＩＲを付与することで、接着剤層ＡＬ１に添加されている膨張性粒子ＳＧを膨張させる。
第１押圧工程ＰＣ５１では、図１（Ｅ－１）に示すように、Ｙ軸方向に沿うライン状付与領域ＬＧを左方から右方に向けて移動させる。すると、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧが次々に膨張し、接着剤層ＡＬ１に無数の凸部ＣＶが形成される。これにより、ウエハＷＦは、左方から右方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第１改質部ＭＴＹが起点となってＹ軸方向に延びる亀裂ＣＫＹが形成され、Ｙ軸方向に延びる複数の短冊状ウエハＷＦＳとなる。そして、それら短冊状ウエハＷＦＳは、複数の凸部ＣＶによって、第１接着シート部分ＡＳ１Ｐとの接着面積が低減し、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに対する接着力が低減する。このとき、エネルギー付与手段５１は、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている個々の膨張性粒子ＳＧが完全に膨張しないように、または、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧ全てが膨張しないように赤外線ＩＲを照射する。
【0016】
次いで、エネルギー付与手段５１をＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させ、当該エネルギー付与手段５１が形成したライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させた後、第２押圧工程ＰＣ５２が実施される。
第２押圧工程ＰＣ５２では、支持テーブル４１で支持した第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦの第２面ＷＦ２に接近させ、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に対向させて配置した後、図１（Ｅ－２）に示すように、Ｘ軸方向に沿うライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦの後方から前方に向けて移動させる。すると、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている個々の膨張性粒子ＳＧが次々にさらに大きく膨張し、または、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧのさらに多くが膨張し、接着剤層ＡＬ１に形成された無数の凸部ＣＶが拡大する。これにより、短冊状ウエハＷＦＳは、後方から前方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第２改質部ＭＴＸが起点となってＸ軸方向に延びる亀裂ＣＫＸが形成され、当該亀裂ＣＫＸと先に形成されていた亀裂ＣＫＹとで複数のチップＣＰとなる。そして、それらチップＣＰは、複数の凸部ＣＶによって、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧されて貼付されるとともに、第１接着シート部分ＡＳ１Ｐとの接着面積がさらに低減し、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに対する接着力がさらに低減する。
第１接着シートＡＳ１は、無数の凸部ＣＶによってチップＣＰとの接着領域が減少するので、当該チップＣＰとの接着力が減少し、第１接着シートＡＳ１としてチップＣＰ（ウエハＷＦ）との接着力が強力なものが採用された場合にでも、チップＣＰを簡単に第１接着シートＡＳ１から取り外すことができるようになる。
第２押圧工程ＰＣ５２では、支持テーブル４１で支持した第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦの第２面ＷＦ２に接近させ、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に対向させて配置した後、図１（Ｅ－２）に示すように、Ｘ軸方向に沿うライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦの後方から前方に向けて移動させる。すると、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている個々の膨張性粒子ＳＧが次々にさらに大きく膨張し、または、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧのさらに多くが膨張し、接着剤層ＡＬ１に形成された無数の凸部ＣＶが拡大する。これにより、短冊状ウエハＷＦＳは、後方から前方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第２改質部ＭＴＸが起点となってＸ軸方向に延びる亀裂ＣＫＸが形成され、当該亀裂ＣＫＸと先に形成されていた亀裂ＣＫＹとで複数のチップＣＰとなる。そして、それらチップＣＰは、複数の凸部ＣＶによって、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧されて貼付されるとともに、第１接着シート部分ＡＳ１Ｐとの接着面積がさらに低減し、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに対する接着力がさらに低減する。
第１接着シートＡＳ１は、無数の凸部ＣＶによってチップＣＰとの接着領域が減少するので、当該チップＣＰとの接着力が減少し、第１接着シートＡＳ１としてチップＣＰ（ウエハＷＦ）との接着力が強力なものが採用された場合にでも、チップＣＰを簡単に第１接着シートＡＳ１から取り外すことができるようになる。
【0017】
シート剥離工程ＰＣ６は、図１（Ｆ）に示すように、剥離手段としての剥離ローラ６１に掛け回された保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１に貼付しながら、当該第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦの第１面ＷＦ１から剥離する。このシート剥離工程ＰＣ６では、剥離ローラ６１と、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が貼付されたウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で、他方を例えばＸ軸方向に移動させたり、それらを相互に例えばＸ軸方向内で反対方向に移動させたりしてウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離することができる。
【0018】
以上のような実施形態によれば、押圧工程ＰＣ５において、ウエハＷＦを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シートＡＳ１のウエハＷＦに対する接着力を低減させるので、第１接着シートＡＳ１とウエハＷＦとの接着力を低減させる接着力低減工程を独立して行わなくてもよく、転写工程を含むウエハＷＦの処理工程が長期化することを防止することができる。
【0019】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート貼付工程は、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性粒子が添加されている第１接着シートを被着体の第１面に貼付する工程であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【0020】
シート貼付工程ＰＣ１は、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって第１接着シートＡＳ１を保持可能な保持部材で当該第１接着シートＡＳ１を吸着保持し、当該保持部材で保持した第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦの第１面ＷＦ１に押圧して貼付するシート貼付装置の他、公知のシート貼付装置や人手によって第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦの第１面ＷＦ１に押圧して貼付ししてもよい。
第１接着シートＡＳ１が予め第１面ＷＦ１に貼付されているウエハＷＦを用意する工程を実施する場合や、第１接着シートＡＳ１が予め第１面ＷＦ１に貼付され、且つ、改質部ＭＴが予め形成されているウエハＷＦを用意する工程を実施する場合、本発明のシート貼付方法においてシート貼付工程ＰＣ１は実施しなくてもよい。
第１接着シートＡＳ１が予め第１面ＷＦ１に貼付されているウエハＷＦを用意する工程を実施する場合や、第１接着シートＡＳ１が予め第１面ＷＦ１に貼付され、且つ、改質部ＭＴが予め形成されているウエハＷＦを用意する工程を実施する場合、本発明のシート貼付方法においてシート貼付工程ＰＣ１は実施しなくてもよい。
【0021】
ウエハ支持工程ＰＣ２は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段（支持手段）を有する支持テーブル２１で第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを保持してもよいし、ウエハＷＦの外側またはウエハＷＦを囲むようにリングフレームや額縁等のフレーム部材を支持し、押圧工程ＰＣ５においてウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する際、フレーム部材も第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよく、この場合、フレーム部材には、第１接着シートＡＳ１が貼付されていてもよいし、貼付されていなくてもよく、フレーム部材に第１接着シートＡＳ１が貼付されている場合には、ウエハＷＦと同様にして、押圧工程ＰＣ５において膨張性粒子ＳＧの膨張によって当該フレーム部材を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、フレーム部材に第１接着シートＡＳ１が貼付されていない場合には、押圧工程ＰＣ５において第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に接近させた際、当該第２接着シートＡＳ２をフレーム部材に押圧して貼付してもよい。
【0022】
改質部形成工程ＰＣ３は、シート貼付工程ＰＣ１の前段で実施されてもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行な１本はたは複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行でない１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に不等間隔な複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に平行または平行でない複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に交差しない複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に直交または斜交する複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、曲線状または折線状の１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよく、そのような改質部ＭＴによって形成される個片化予定領域ＷＦＰやチップＣＰの形状は、円形、楕円形、三角形または四角形以上の多角形等、どのような形状でもよいし、第１、第２方向以外に、その他の１または２以上の方向それぞれに１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよく、この場合、押圧工程は、第１、第２押圧工程ＰＣ５１、ＰＣ５２以外に、その他の１または２以上の押圧工程を実施してもよい。
改質部形成手段は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等の付与によって、ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、ウエハＷＦを脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して改質部ＭＴを形成してもよく、このような改質部ＭＴは、膨張性粒子ＳＧの膨張によって被着体を個片化して個片体を形成することができればどのようなものでもよい。
改質部ＭＴが予め形成されているウエハＷＦを用意する工程を実施する場合や、第１接着シートＡＳ１が予め第１面ＷＦ１に貼付され、且つ、改質部ＭＴが予め形成されているウエハＷＦを用意する工程を実施する場合、本発明のシート貼付方法において改質部形成工程ＰＣ３は実施しなくてもよい。
改質部形成手段は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等の付与によって、ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、ウエハＷＦを脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して改質部ＭＴを形成してもよく、このような改質部ＭＴは、膨張性粒子ＳＧの膨張によって被着体を個片化して個片体を形成することができればどのようなものでもよい。
改質部ＭＴが予め形成されているウエハＷＦを用意する工程を実施する場合や、第１接着シートＡＳ１が予め第１面ＷＦ１に貼付され、且つ、改質部ＭＴが予め形成されているウエハＷＦを用意する工程を実施する場合、本発明のシート貼付方法において改質部形成工程ＰＣ３は実施しなくてもよい。
【0023】
第２接着シート支持工程ＰＣ４は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段（支持手段）を有する支持テーブル４１で第２接着シートＡＳ２を保持してもよいし、リングフレームや額縁等のフレーム部材が貼付された第２接着シートＡＳ２を保持してもよいし、例えば、シート貼付工程ＰＣ１、ウエハ支持工程ＰＣ２または改質部形成工程ＰＣ３の前段等、押圧工程ＰＣ５の前段であればどの段階で実施してもよいし、第２押圧工程ＰＣ５２を実施する場合、第１押圧工程ＰＣ５１と当該第２押圧工程ＰＣ５２との間で実施してもよいし、第２接着シートＡＳ２接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に対向させて配置する際、当該第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に当接させてもよいし、当接させなくてもよい。
【0024】
押圧工程ＰＣ５は、図２（Ａ）に示すように、第１改質部ＭＴＹまたは第２改質部ＭＴＸに斜交するライン状付与領域ＬＧ（不図示）をウエハＷＦの一端から他端に向けて移動させることで、第１、第２改質部ＭＴＹ、ＭＴＸの両方を起点として亀裂ＣＫＹ、ＣＫＸを同時に形成して個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させたりしてもよい。この場合、第１改質部ＭＴＹまたは第２改質部ＭＴＸに斜交するライン状付与領域ＬＧの傾斜角度は、例えば、１度、５度、１０度、４５度、６０度、８９度等、どのような角度でもよい。
押圧工程ＰＣ５は、図２（Ｂ）に示すように、第１接着シートＡＳ１全体に一括で赤外線ＩＲを付与可能な発光源５２Ａと、当該発光源５２Ａで発光した赤外線ＩＲを反射させる反射板５２Ｂと、反射板５２Ｂの上部の開口部５２Ｃを開閉可能な開閉板５２Ｄとで構成されたエネルギー付与手段５２を採用し、以下の第１押圧工程ＰＣ５３と第２押圧工程ＰＣ５４とを実施してもよい。
第１押圧工程ＰＣ５３は、開口部５２Ｃを開閉板５２Ｄで全閉にした状態から当該開閉板５２Ｄを左方から右方に向けて徐々に移動させ、図２（Ｂ－１）に示すように、左方から右方に向けて次々に亀裂ＣＫＹを形成し、Ｙ軸方向に延びる短冊状ウエハＷＦＳを形成する。次いで、エネルギー付与手段５２をＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させた後、第２押圧工程ＰＣ５４が実施される。第２押圧工程ＰＣ５４は、開口部５２Ｃを開閉板５２Ｄで全閉にした状態から当該開閉板５２Ｄを後方から前方に向けて徐々に移動させ、図２（Ｂ－２）に示すように、後方から前方に向けて次々に亀裂ＣＫＸを形成し、亀裂ＣＫＸと亀裂ＣＫＹとでチップＣＰを形成して個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させる。この場合、開閉板５２Ｄの代わりに、図２（Ｃ－１）、（Ｃ－２）に示すように、発光源５２Ａが発光した赤外線ＩＲでライン状付与領域ＬＧを形成するスリット５２Ｅを備えた移動板５２Ｆを採用してもよい。なお、スリット５２Ｅには、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
押圧工程ＰＣ５は、例えば、赤外線ＩＲの付与領域が点状となる点状付与領域を形成して第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与したり、個片化予定領域ＷＦＰ（チップＣＰ）の平面形状に対応した面状付与領域または、個片化予定領域ＷＦＰ（チップＣＰ）の平面形状に対応していない面状付与領域を形成して第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、個片化予定領域ＷＦＰを変位させて個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、当該１つまたは複数の区画に対応する第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させてもよい。
押圧工程ＰＣ５は、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを照射する時間を任意に決定することができるし、発光源５１Ａ、５２Ａとして、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりして、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを照射してもよいし、エネルギー付与手段としてレーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与するものを採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりして、被着体に所定のエネルギーを付与してもよく、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮してエネルギー付与手段を任意に決定することができるし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものの場合、当該所定のエネルギーを被着体側から付与してもよいし、第１接着シートＡＳ１側から付与してもよいし、被着体側と第１接着シートＡＳ１側との両方から付与してもよい。
エネルギー付与手段５１、５２は、集光板５１Ｂや反射板５２Ｂがなくてもよいし、集光板５１Ｂの代わりにまたは集光板５１Ｂと併用し、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
押圧工程ＰＣ５は、ウエハＷＦを個片化することなく、当該ウエハＷＦを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。すなわち、押圧工程ＰＣ５は、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを付与して膨張性粒子ＳＧを膨張させることで、第１接着シートＡＳ１に貼付されているウエハＷＦを変位させて当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シートＡＳ１とウエハＷＦとの接着面積を低減させて当該第１接着シートＡＳ１のウエハＷＦに対する接着力を低減させる。この場合、本発明のシート貼付方法において、改質部形成工程ＰＣ３は実施しなくてもよいし、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々に赤外線ＩＲを付与してもよいし、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々に赤外線ＩＲを付与しなくてもよい。
押圧工程ＰＣ５は、図２（Ｂ）に示すように、第１接着シートＡＳ１全体に一括で赤外線ＩＲを付与可能な発光源５２Ａと、当該発光源５２Ａで発光した赤外線ＩＲを反射させる反射板５２Ｂと、反射板５２Ｂの上部の開口部５２Ｃを開閉可能な開閉板５２Ｄとで構成されたエネルギー付与手段５２を採用し、以下の第１押圧工程ＰＣ５３と第２押圧工程ＰＣ５４とを実施してもよい。
第１押圧工程ＰＣ５３は、開口部５２Ｃを開閉板５２Ｄで全閉にした状態から当該開閉板５２Ｄを左方から右方に向けて徐々に移動させ、図２（Ｂ－１）に示すように、左方から右方に向けて次々に亀裂ＣＫＹを形成し、Ｙ軸方向に延びる短冊状ウエハＷＦＳを形成する。次いで、エネルギー付与手段５２をＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させた後、第２押圧工程ＰＣ５４が実施される。第２押圧工程ＰＣ５４は、開口部５２Ｃを開閉板５２Ｄで全閉にした状態から当該開閉板５２Ｄを後方から前方に向けて徐々に移動させ、図２（Ｂ－２）に示すように、後方から前方に向けて次々に亀裂ＣＫＸを形成し、亀裂ＣＫＸと亀裂ＣＫＹとでチップＣＰを形成して個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させる。この場合、開閉板５２Ｄの代わりに、図２（Ｃ－１）、（Ｃ－２）に示すように、発光源５２Ａが発光した赤外線ＩＲでライン状付与領域ＬＧを形成するスリット５２Ｅを備えた移動板５２Ｆを採用してもよい。なお、スリット５２Ｅには、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
押圧工程ＰＣ５は、例えば、赤外線ＩＲの付与領域が点状となる点状付与領域を形成して第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与したり、個片化予定領域ＷＦＰ（チップＣＰ）の平面形状に対応した面状付与領域または、個片化予定領域ＷＦＰ（チップＣＰ）の平面形状に対応していない面状付与領域を形成して第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、個片化予定領域ＷＦＰを変位させて個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、当該１つまたは複数の区画に対応する第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させてもよい。
押圧工程ＰＣ５は、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを照射する時間を任意に決定することができるし、発光源５１Ａ、５２Ａとして、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりして、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを照射してもよいし、エネルギー付与手段としてレーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与するものを採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりして、被着体に所定のエネルギーを付与してもよく、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮してエネルギー付与手段を任意に決定することができるし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものの場合、当該所定のエネルギーを被着体側から付与してもよいし、第１接着シートＡＳ１側から付与してもよいし、被着体側と第１接着シートＡＳ１側との両方から付与してもよい。
エネルギー付与手段５１、５２は、集光板５１Ｂや反射板５２Ｂがなくてもよいし、集光板５１Ｂの代わりにまたは集光板５１Ｂと併用し、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
押圧工程ＰＣ５は、ウエハＷＦを個片化することなく、当該ウエハＷＦを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。すなわち、押圧工程ＰＣ５は、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを付与して膨張性粒子ＳＧを膨張させることで、第１接着シートＡＳ１に貼付されているウエハＷＦを変位させて当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シートＡＳ１とウエハＷＦとの接着面積を低減させて当該第１接着シートＡＳ１のウエハＷＦに対する接着力を低減させる。この場合、本発明のシート貼付方法において、改質部形成工程ＰＣ３は実施しなくてもよいし、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々に赤外線ＩＲを付与してもよいし、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々に赤外線ＩＲを付与しなくてもよい。
【0025】
シート剥離工程ＰＣ６は、保持手段として、帯状または枚葉の剥離用テープＰＴを採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第１接着シートＡＳ１を保持し、当該保持部材で保持した第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦから離間させて剥離するシート剥離装置の他、公知のシート剥離装置や人手によってウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離してもよいし、本発明のシート貼付方法において実施しなくてもよい。
【0026】
例えば、膨張性粒子ＳＧが、所定の第１エネルギーとしての８０℃の熱で膨張する図示しない第１膨張性粒子と、当該第１エネルギーと異なる所定の第２エネルギーとしての１２０℃の熱で膨張する図示しない第２膨張性粒子とを有し、押圧工程ＰＣ５では、第１接着シートＡＳ１に８０℃の熱を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成する第１エネルギー付与工程と、第１接着シートＡＳ１に１２０℃の熱を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成する第２エネルギー付与工程とを実施し、個片化予定領域ＷＦＰを変位させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成して個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させてもよい。この場合、第１エネルギーや第２エネルギーは、何度の熱でもよいし、膨張性粒子ＳＧが、第１、第２エネルギー以外の他の温度の熱で膨張する他の膨張性粒子を有する場合、他の温度の熱を付与する押圧工程をその分増やすことができる。
また、膨張性粒子ＳＧとして、第１エネルギーとしての赤外線で膨張する図示しない第１膨張性粒子と、第２エネルギーとしての紫外線で膨張する図示しない第２膨張性粒子とが添加されている第１接着シートＡＳ１を採用し、押圧工程ＰＣ５では、第１エネルギー付与工程で赤外線を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成し、第２エネルギー付与工程で紫外線を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、個片化予定領域ＷＦＰを変位させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成して個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させてもよい。なお、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせは、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等、第１接着シートＡＳ１に添加されている図示しない第１、第２膨張性粒子の組み合わせによってどのような組み合わせでもよいし、第１、第２エネルギー以外の他のエネルギーで膨張する他の膨張性粒子が添加されている第１接着シートＡＳ１が採用された場合、当該他のエネルギーを付与する押圧工程をその分増やすこともできる。
さらに、第１接着シートＡＳ１として、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を所定のエネルギーとして膨張する膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、押圧工程ＰＣ５は、それら膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該膨張性粒子ＳＧを膨張させ、ウエハＷＦを変位させて当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シートＡ１とウエハＷＦとの接着面積を低減させて当該第１接着シートＡＳ１のウエハＷＦに対する接着力を低減させたり、個片化予定領域ＷＦＰを変位させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成して個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させたりしてもよい。
第１押圧工程ＰＣ５１またはＰＣ５３から第２押圧工程ＰＣ５２またはＰＣ５４に移る際、停止しているエネルギー付与手段５１、５２に対してウエハＷＦをＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させてもよいし、エネルギー付与手段５１、５２とウエハＷＦとが相対的にＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動するようにそれら両方を回転移動させてもよい。
また、膨張性粒子ＳＧとして、第１エネルギーとしての赤外線で膨張する図示しない第１膨張性粒子と、第２エネルギーとしての紫外線で膨張する図示しない第２膨張性粒子とが添加されている第１接着シートＡＳ１を採用し、押圧工程ＰＣ５では、第１エネルギー付与工程で赤外線を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成し、第２エネルギー付与工程で紫外線を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、個片化予定領域ＷＦＰを変位させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成して個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させてもよい。なお、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせは、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等、第１接着シートＡＳ１に添加されている図示しない第１、第２膨張性粒子の組み合わせによってどのような組み合わせでもよいし、第１、第２エネルギー以外の他のエネルギーで膨張する他の膨張性粒子が添加されている第１接着シートＡＳ１が採用された場合、当該他のエネルギーを付与する押圧工程をその分増やすこともできる。
さらに、第１接着シートＡＳ１として、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を所定のエネルギーとして膨張する膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、押圧工程ＰＣ５は、それら膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該膨張性粒子ＳＧを膨張させ、ウエハＷＦを変位させて当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シートＡ１とウエハＷＦとの接着面積を低減させて当該第１接着シートＡＳ１のウエハＷＦに対する接着力を低減させたり、個片化予定領域ＷＦＰを変位させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成して個片化し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するとともに、第１接着シート部分ＡＳ１ＰとチップＣＰとの接着面積を低減させて当該第１接着シート部分ＡＳ１ＰのチップＣＰに対する接着力を低減させたりしてもよい。
第１押圧工程ＰＣ５１またはＰＣ５３から第２押圧工程ＰＣ５２またはＰＣ５４に移る際、停止しているエネルギー付与手段５１、５２に対してウエハＷＦをＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させてもよいし、エネルギー付与手段５１、５２とウエハＷＦとが相対的にＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動するようにそれら両方を回転移動させてもよい。
【0027】
第１接着シートＡＳ１は、当該第１接着シートＡＳ１を構成する基材シートＢＳ１のみに膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との両方に膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との中間に中間層が存在し、当該中間層、接着剤層ＡＬ１および基材シートＢＳ１のうち少なくとも１つまたは少なくとも２つに膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との両方に膨張性粒子ＳＧが添加されている場合や、中間層、接着剤層ＡＬ１および基材シートＢＳ１のうち少なくとも２つに膨張性粒子ＳＧが添加されている場合、それら膨張性粒子ＳＧは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよい。
個片体は、チップＣＰに限らず、例えば、短冊状ウエハＷＦＳでもよく、この場合の個片化予定領域は、第１改質部ＭＴＹとウエハＷＦの外縁とで囲繞された領域となり、押圧工程ＰＣ５において第２押圧工程ＰＣ５２やＰＣ５４を実施しなくてもよい。
被着体が予め短冊状ウエハＷＦＳのようなものであれば、押圧工程ＰＣ５において第２押圧工程ＰＣ５２またはＰＣ５４のみを実施してチップＣＰを形成してもよい。
個片化予定領域ＷＦＰは、改質部ＭＴとウエハＷＦの外縁とで囲繞されたものでもよく、このような個片化予定領域ＷＦＰから形成されるチップＣＰは、例えば、Ｘ軸と平行な１つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される略扇状のものや、Ｘ軸と平行な２つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される形状のもの等、どのような形状のものでもよい。
膨張性粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７－７３２３６、特開２０１３－１５９７４３、特開２０１２－１６７１５１、特開２００１－１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３－４７３２１、特開２００７－２５４５８０、特開２０１１－２１２５２８、特開２００３－２６１８４２等で開示されている膨張性粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６－５３１１５、特開平７－２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
ウエハＷＦは、第１面ＷＦ１および第２面ＷＦ２の両方に回路が形成されていなくてもよい。
個片体は、チップＣＰに限らず、例えば、短冊状ウエハＷＦＳでもよく、この場合の個片化予定領域は、第１改質部ＭＴＹとウエハＷＦの外縁とで囲繞された領域となり、押圧工程ＰＣ５において第２押圧工程ＰＣ５２やＰＣ５４を実施しなくてもよい。
被着体が予め短冊状ウエハＷＦＳのようなものであれば、押圧工程ＰＣ５において第２押圧工程ＰＣ５２またはＰＣ５４のみを実施してチップＣＰを形成してもよい。
個片化予定領域ＷＦＰは、改質部ＭＴとウエハＷＦの外縁とで囲繞されたものでもよく、このような個片化予定領域ＷＦＰから形成されるチップＣＰは、例えば、Ｘ軸と平行な１つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される略扇状のものや、Ｘ軸と平行な２つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される形状のもの等、どのような形状のものでもよい。
膨張性粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７－７３２３６、特開２０１３－１５９７４３、特開２０１２－１６７１５１、特開２００１－１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３－４７３２１、特開２００７－２５４５８０、特開２０１１－２１２５２８、特開２００３－２６１８４２等で開示されている膨張性粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６－５３１１５、特開平７－２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
ウエハＷＦは、第１面ＷＦ１および第２面ＷＦ２の両方に回路が形成されていなくてもよい。
【0028】
本発明のシート貼付方法では、押圧工程ＰＣ５で変位される前のウエハＷＦ部分が変位することを抑制する変位抑制工程を実施してもよい。この変位抑制工程は、図１（Ｅ）中二点鎖線で示すように、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板ＨＰを配置させることで、変位する個片化予定領域ＷＦＰに追従し、隣接する個片化予定領域ＷＦＰも一緒に変位して改質部ＭＴが亀裂ＣＫとなることが抑制されることを防止することができる。なお、このような変位抑制工程では、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板ＨＰを当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、気体の吹き付けにより、変位される前のウエハＷＦが変位することを抑制したり、プーリとベルトとで、変位される前のウエハＷＦが変位することを抑制したりする他の構成を採用してもよい。
押圧工程ＰＣ５において膨張性粒子ＳＧが膨張した際、第１接着シートＡＳ１が変位してしまうことで個片化予定領域ＷＦＰが変位しなくなることを防止するために、当該押圧工程ＰＣ５の前段で、第１接着シートＡＳ１の変位を防止するシート支持工程を実施してもよい。このようなシート支持工程は、例えば、保持面を備えた保持プレート（保持部材）で第１接着シートＡＳ１を基材シートＢＳ１側から吸着保持したり、基材シートＢＳ１側に鉄板や硝子板等の板状部材（保持部材）を貼付したりして、基材シートＢＳ１を面で保持するようにすればよい。なお、保持プレートや板状部材は、被着体が所定のエネルギーを透過不可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過可能なもので構成すればよいし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過不可能なもので構成してもよいし、透過可能なもので構成してもよい。また、第１接着シートＡＳ１が、膨張性粒子ＳＧが膨張した際、変位しない程度の剛性を備えていれば、シート支持工程は実施しなくてもよいし、実施してもよい。
本発明のシート貼付方法では、シート貼付工程ＰＣ１、ウエハ支持工程ＰＣ２、改質部形成工程ＰＣ３、第２接着シート支持工程ＰＣ４、押圧工程ＰＣ５またはシート剥離工程ＰＣ６の前段等で、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する研削（研磨）工程を実施してもよいし、シート剥離工程ＰＣ６の後段で、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する研削（研磨）工程を実施してもよいし、シート剥離工程ＰＣ６の後段で、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２から取り外す取外し工程を実施してもよいし、第２接着シートＡＳ２から取り外したチップＣＰを基板や載置台等の他の部材に接着する接着工程を実施してもよい。
押圧工程ＰＣ５において膨張性粒子ＳＧが膨張した際、第１接着シートＡＳ１が変位してしまうことで個片化予定領域ＷＦＰが変位しなくなることを防止するために、当該押圧工程ＰＣ５の前段で、第１接着シートＡＳ１の変位を防止するシート支持工程を実施してもよい。このようなシート支持工程は、例えば、保持面を備えた保持プレート（保持部材）で第１接着シートＡＳ１を基材シートＢＳ１側から吸着保持したり、基材シートＢＳ１側に鉄板や硝子板等の板状部材（保持部材）を貼付したりして、基材シートＢＳ１を面で保持するようにすればよい。なお、保持プレートや板状部材は、被着体が所定のエネルギーを透過不可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過可能なもので構成すればよいし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過不可能なもので構成してもよいし、透過可能なもので構成してもよい。また、第１接着シートＡＳ１が、膨張性粒子ＳＧが膨張した際、変位しない程度の剛性を備えていれば、シート支持工程は実施しなくてもよいし、実施してもよい。
本発明のシート貼付方法では、シート貼付工程ＰＣ１、ウエハ支持工程ＰＣ２、改質部形成工程ＰＣ３、第２接着シート支持工程ＰＣ４、押圧工程ＰＣ５またはシート剥離工程ＰＣ６の前段等で、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する研削（研磨）工程を実施してもよいし、シート剥離工程ＰＣ６の後段で、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する研削（研磨）工程を実施してもよいし、シート剥離工程ＰＣ６の後段で、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２から取り外す取外し工程を実施してもよいし、第２接着シートＡＳ２から取り外したチップＣＰを基板や載置台等の他の部材に接着する接着工程を実施してもよい。
【0029】
本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層ＡＬ１、ＡＬ２だけの単層のもの、基材シートＢＳ１（ＢＳ２）と接着剤層ＡＬ１（ＡＬ２）との間に中間層を有するもの、基材シートＢＳ１、ＢＳ２の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳ１、ＢＳ２を接着剤層ＡＬ１、ＡＬ２から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【0030】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【0031】
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ１Ｐ…第１接着シート部分
ＡＳ２Ａ…接着面
ＣＫ…亀裂
ＣＰ…半導体チップ（個片体）
ＩＲ…赤外線（エネルギー）
ＬＧ…ライン状付与領域
ＭＴ…改質部
ＭＴＸ…第２改質部
ＭＴＹ…第１改質部
ＰＣ１…シート貼付工程
ＰＣ２…ウエハ支持工程
ＰＣ３…改質部形成工程
ＰＣ４…第２接着シート支持工程
ＰＣ５…押圧工程
ＰＣ５１、ＰＣ５３…第１押圧工程
ＰＣ５２、ＰＣ５４…第２押圧工程
ＰＣ６…シート剥離工程
ＳＧ…膨張性粒子
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦＰ…個片化予定領域
ＷＦ１…第１面
ＷＦ２…第２面
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ１Ｐ…第１接着シート部分
ＡＳ２Ａ…接着面
ＣＫ…亀裂
ＣＰ…半導体チップ（個片体）
ＩＲ…赤外線（エネルギー）
ＬＧ…ライン状付与領域
ＭＴ…改質部
ＭＴＸ…第２改質部
ＭＴＹ…第１改質部
ＰＣ１…シート貼付工程
ＰＣ２…ウエハ支持工程
ＰＣ３…改質部形成工程
ＰＣ４…第２接着シート支持工程
ＰＣ５…押圧工程
ＰＣ５１、ＰＣ５３…第１押圧工程
ＰＣ５２、ＰＣ５４…第２押圧工程
ＰＣ６…シート剥離工程
ＳＧ…膨張性粒子
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦＰ…個片化予定領域
ＷＦ１…第１面
ＷＦ２…第２面
【図1】
【図2】
