(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-12-07
(45)【発行日】2022-12-15
(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20221208BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20221208BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
H01L21/78 M
H01L21/78 V
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2018122438
(22)【出願日】2018-06-27
(65)【公開番号】P2020004829
(43)【公開日】2020-01-09
【審査請求日】2021-04-20
(73)【特許権者】
【識別番号】000102980
【氏名又は名称】リンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100120592
【弁理士】
【氏名又は名称】山崎 崇裕
(74)【代理人】
【識別番号】100184712
【弁理士】
【氏名又は名称】扇原 梢伸
(74)【代理人】
【識別番号】100192223
【弁理士】
【氏名又は名称】加久田 典子
(72)【発明者】
【氏名】杉下 芳昭
【審査官】渡井 高広
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１２－２２２３０８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１３－５４３２６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－０３３６３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－１８４５０４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６８３
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１面に第１接着シートが貼付された被着体の第２面に第２接着シートを貼付するシート貼付装置において、前記被着体の前記第２面が表出した状態で前記第１接着シートが貼付された前記被着体を支持する第１支持手段と、
前記第２接着シートを支持し、当該第２接着シートの接着面を前記第１支持手段で支持した前記被着体の前記第２面に対向させて配置する第２支持手段と、
前記被着体の前記第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記第１接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性粒子が添加されており、
前記押圧手段は、前記第１接着シートに前記エネルギーを付与して前記膨張性粒子を膨張させることで、前記第１接着シートに貼付されている前記被着体を変位させて当該被着体の前記第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項2】
前記被着体と押圧手段とを相対移動させる移動手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項3】
前記被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を前記被着体に形成する改質部形成手段を備え、前記押圧手段は、前記第１接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記膨張性粒子を膨張させ、当該第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて個片化し、前記被着体を個片体とした状態で前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項4】
前記被着体には、改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が予め形成されており、前記押圧手段は、前記第１接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記膨張性粒子を膨張させ、当該第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて個片化し、前記被着体を個片体とした状態で前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項5】
前記被着体と押圧手段とを相対移動させる移動手段を備えていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のシート貼付装置。
【請求項6】
前記改質部は、第１方向に沿う第１改質部と、当該第１方向に交差する第２方向に沿う第２改質部とを含み、前記押圧手段は、前記エネルギーを付与した位置に、当該エネルギーの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域を形成し、
前記移動手段は、前記ライン状付与領域を前記第１方向と平行となるように移動させ、さらに、前記ライン状付与領域を前記第２方向と平行となるように移動させることを特徴とする請求項５に記載のシート貼付装置。
【請求項7】
前記膨張性粒子は、第１エネルギーで膨張する第１膨張性粒子と、第２エネルギーで膨張する第２膨張性粒子とを有し、前記押圧手段は、前記第１エネルギーを付与する第１押圧手段と、前記第２エネルギーを付与する第２押圧手段とを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項8】
前記押圧手段によって変位される前の被着体部分が変位することを抑制する変位抑制手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項9】
前記第２接着シートに貼付された前記被着体から前記第１接着シートを剥離するシート剥離手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項10】
第１面に第１接着シートが貼付された被着体の第２面に第２接着シートを貼付するシート貼付方法において、前記被着体の前記第２面が表出した状態で前記第１接着シートが貼付された前記被着体を支持する第１支持工程と、
前記第２接着シートを支持し、当該第２接着シートの接着面を前記第１支持工程で支持した前記被着体の前記第２面に対向させて配置する第２支持工程と、
前記被着体の前記第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付する押圧工程とを実施し、
前記第１接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性粒子が添加されており、
前記押圧工程では、前記第１接着シートに前記エネルギーを付与して前記膨張性粒子を膨張させることで、前記第１接着シートに貼付されている前記被着体を変位させて当該被着体の前記第２面を前記第２接着シートの接着面に押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、第１面に第１接着シートが貼付された被着体の第２面に、第２接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１２－２２２３０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の転写装置（シート貼付装置）では、第１シート支持手段３（第１支持手段）で支持した第１接着シートＳ１（第１接着シート）を介して、押圧手段４（押圧手段）でウェハＷ（被着体）を第２接着シートＳ２（第２接着シート）に押圧して貼付するため、第１接着シートに張力が付与される。このように第１接着シートに張力が付与されると、当該第１接着シートが破損したり、当該第１接着シートが第１リングフレームＲＬ１や第１支持手段等から外れたりするといった不具合が起り、被着体を所望の状態で第２接着シートに貼付できなくなるという不都合を発生する。
【0005】
本発明の目的は、被着体に貼付された第１接着シートに張力を極力付与することなく当該被着体を第２接着シートに貼付することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、第１接着シートに添加されている膨張性粒子を膨張させることで、被着体を第２接着シートの接着面に押圧して貼付するので、被着体に貼付された第１接着シートに張力を極力付与することなく被着体を第２接着シートに貼付することができる。
また、被着体に個片化予定領域が形成されれば、当該個片化予定領域から個片体を形成し、形成した個片体を第２接着シートに貼付することができる。
さらに、移動手段を備えれば、変位させたい個片化予定領域に押圧手段を移動させて個片体を形成し、形成した個片体を第２接着シートに貼付したり、被着体や個片体と、第２接着シートＡＳ２との間に介在する空気を追い出しながらそれらを貼付したりすることができる。
また、移動手段が、ライン状付与領域を第１方向と平行となるように移動させ、さらに、ライン状付与領域を第２方向と平行となるように移動させるように構成すれば、例えば、第１方向に沿う２つの辺と、第２方向に沿う２つの辺とで囲まれた四角形の個片体を形成し、形成した個片体を第２接着シートに貼付することができる。
さらに、押圧手段が、第１エネルギーを付与する第１押圧手段と、第２エネルギーを付与する第２押圧手段とを備えていれば、第１エネルギーで膨張する第１膨張性粒子と、第２エネルギーで膨張する第２膨張性粒子とを時間差をもって膨張させ、被着体を第２接着シートに貼付することができる。
また、変位抑制手段を備えれば、変位する個片化予定領域と共に、隣接する個片化予定領域も一緒に変位し、改質部を起点とした亀裂の形成ができなくなることを防止することができる。
さらに、第２接着シートに貼付された被着体から第１接着シートを剥離すれば、当該被着体を第１接着シートから第２接着シートに転写することができる。
また、被着体に個片化予定領域が形成されれば、当該個片化予定領域から個片体を形成し、形成した個片体を第２接着シートに貼付することができる。
さらに、移動手段を備えれば、変位させたい個片化予定領域に押圧手段を移動させて個片体を形成し、形成した個片体を第２接着シートに貼付したり、被着体や個片体と、第２接着シートＡＳ２との間に介在する空気を追い出しながらそれらを貼付したりすることができる。
また、移動手段が、ライン状付与領域を第１方向と平行となるように移動させ、さらに、ライン状付与領域を第２方向と平行となるように移動させるように構成すれば、例えば、第１方向に沿う２つの辺と、第２方向に沿う２つの辺とで囲まれた四角形の個片体を形成し、形成した個片体を第２接着シートに貼付することができる。
さらに、押圧手段が、第１エネルギーを付与する第１押圧手段と、第２エネルギーを付与する第２押圧手段とを備えていれば、第１エネルギーで膨張する第１膨張性粒子と、第２エネルギーで膨張する第２膨張性粒子とを時間差をもって膨張させ、被着体を第２接着シートに貼付することができる。
また、変位抑制手段を備えれば、変位する個片化予定領域と共に、隣接する個片化予定領域も一緒に変位し、改質部を起点とした亀裂の形成ができなくなることを防止することができる。
さらに、第２接着シートに貼付された被着体から第１接着シートを剥離すれば、当該被着体を第１接着シートから第２接着シートに転写することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】（Ａ）は、本発明の実施形態に係るシート貼付装置の説明図。（Ｂ）、（Ｃ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【図2】（Ａ）～（Ｄ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【図3】（Ａ）～（Ｃ）は、本発明の変形例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【0010】
本発明のシート貼付装置ＥＡは、第１面ＷＦ１に第１接着シートＡＳ１が貼付された被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦの第２面ＷＦ２に第２接着シートＡＳ２を貼付する装置であって、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２が表出した状態で第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを支持する第１支持手段１０と、ウエハＷＦに改質部ＭＴを形成し、当該改質部ＭＴで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰをウエハＷＦに形成する改質部形成手段２０と、第２接着シートＡＳ２を支持し、当該第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａを第１支持手段１０で支持したウエハＷＦの第２面ＷＦ２に対向させて配置する第２支持手段３０と、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する押圧手段４０と、ウエハＷＦと押圧手段４０とを相対移動させる移動手段５０と、押圧手段４０によって変位される前のウエハＷＦ部分が変位することを抑制する変位抑制手段６０と、第２接着シートＡＳ２に貼付されたウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離するシート剥離手段７０とを備えている。
第１接着シートＡＳ１は、所定のエネルギーとしての赤外線ＩＲが付与されることで膨張する膨張性粒子ＳＧが添加されている。なお、本実施形態では、第１接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳ１と接着剤層ＡＬ１とで構成され、当該接着剤層ＡＬ１のみに膨張性粒子ＳＧが添加されたものが採用されている。また、第２接着シートＡＳ２は、基材シートＢＳ２と接着剤層ＡＬ２とで構成されたものが採用されており、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａは、接着剤層ＡＬ２における基材シートＢＳ２が積層された面の反対側の面である。
第１接着シートＡＳ１は、所定のエネルギーとしての赤外線ＩＲが付与されることで膨張する膨張性粒子ＳＧが添加されている。なお、本実施形態では、第１接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳ１と接着剤層ＡＬ１とで構成され、当該接着剤層ＡＬ１のみに膨張性粒子ＳＧが添加されたものが採用されている。また、第２接着シートＡＳ２は、基材シートＢＳ２と接着剤層ＡＬ２とで構成されたものが採用されており、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａは、接着剤層ＡＬ２における基材シートＢＳ２が積層された面の反対側の面である。
【0011】
第１支持手段１０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面１１Ａを有し、赤外線ＩＲを透過可能な第１支持テーブル１１を備えている。
【0012】
改質部形成手段２０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム２１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット２１と、多関節ロボット２１の先端アーム２１Ａが嵌り込み、当該多関節ロボット２１に保持されるレーザ保持部２２Ａを有するレーザ用ブラケット２２と、レーザ用ブラケット２２に支持され、ウエハＷＦにレーザＬＳを照射し、改質部ＭＴを形成するレーザ照射機２３とを備え、第１方向としてのＹ軸方向に沿う第１改質部ＭＴＹと、Ｙ軸方向に交差する第２方向としてのＸ軸方向に沿う第２改質部ＭＴＸとを形成し、第１改質部ＭＴＹと第２改質部ＭＴＸとで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰを形成するように構成されている。なお、多関節ロボット２１は、例えば、特開２０１６－８１９７４に例示されている多関節ロボット１１１等が例示できる。
【0013】
第２支持手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１と、その出力軸３１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面３２Ａを有する第２支持テーブル３２とを備えている。
【0014】
押圧手段４０は、移動手段５０に支持された光源ボックス４１と、光源ボックス４１内に支持され、赤外線ＩＲを発光する発光源４２と、当該発光源４２で発光した赤外線ＩＲを集光させる集光板４３とを備え、赤外線ＩＲを付与した位置に、当該赤外線ＩＲの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域ＬＧ（図２（Ａ）、（Ｂ）参照）を形成するようになっている。そして、押圧手段４０は、第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、当該赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐ（図２（Ａ）、（Ｂ）参照）に添加されている膨張性粒子ＳＧを膨張させ、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに貼付されている個片化予定領域ＷＦＰを変位させて個片化し、ウエハＷＦを個片体としてのチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する。
【0015】
移動手段５０は、駆動機器としての回動モータ５１と、その出力軸５１Ａに支持され、光源ボックス４１をそのスライダ５２Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ５２とを備え、押圧手段４０が形成したライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行となるように移動させ、さらに、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させるようになっている。
【0016】
変位抑制手段６０は、改質部形成手段２０と共用される多関節ロボット２１と、多関節ロボット２１の先端アーム２１Ａが嵌り込み、当該多関節ロボット２１に保持される押え板保持部６１Ａを有する押え板６１とを備えている。
【0017】
シート剥離手段７０は、保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ７１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ７２と、駆動機器としての直動モータ７３の出力軸７３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ７４と、駆動機器としての回動モータ７５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ７５Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ７５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、ピンチローラ７５Ｂとの間に存在する剥離用テープＰＴに常に所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ７６と、そのスライダ７７Ａで第２支持手段３０を支持する駆動機器としてのリニアモータ７７とを備えている。
【0018】
以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットや接着シート供給装置等の図示しないシート供給手段が、図１（Ａ）に示すように、第２接着シートＡＳ２を第２支持テーブル３２の支持面３２Ａに当接させると、第２支持手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面３２Ａでの第２接着シートＡＳ２の吸着保持を開始する。その後、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、第１接着シートＡＳ１を支持面１１Ａ側にして当該第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを第１支持テーブル１１上に載置すると、第１支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面１１Ａでの第１接着シートＡＳ１の吸着保持を開始する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットや接着シート供給装置等の図示しないシート供給手段が、図１（Ａ）に示すように、第２接着シートＡＳ２を第２支持テーブル３２の支持面３２Ａに当接させると、第２支持手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面３２Ａでの第２接着シートＡＳ２の吸着保持を開始する。その後、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、第１接着シートＡＳ１を支持面１１Ａ側にして当該第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを第１支持テーブル１１上に載置すると、第１支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面１１Ａでの第１接着シートＡＳ１の吸着保持を開始する。
【0019】
次に、改質部形成手段２０が多関節ロボット２１およびレーザ照射機２３を駆動し、レーザ照射機２３を前後方向に移動させ、図１（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦに第１改質部ＭＴＹを形成した後、レーザ照射機２３を左右方向に移動させ、図１（Ｃ）に示すように、ウエハＷＦに第２改質部ＭＴＸを形成し、個片化予定領域ＷＦＰを形成する。そして、改質部形成手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、レーザ照射機２３を初期位置に復帰させた後、先端アーム２１Ａをレーザ保持部２２Ａから抜き取り、当該先端アーム２１Ａを押え板保持部６１Ａに嵌め込み、多関節ロボット２１で押え板６１を保持する。
【0020】
次いで、押圧手段４０および移動手段５０が発光源４２およびリニアモータ５２を駆動し、Ｙ軸方向に延びるライン状付与領域ＬＧを形成した後、図２（Ａ）に示すように、光源ボックス４１を左方から右方に向けて移動させ、ライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行な状態で移動させる。すると、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧが同図に示すように次々に膨張し、接着剤層ＡＬ１に無数の凸部ＣＶが形成される。これにより、ウエハＷＦは、左方から右方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第１改質部ＭＴＹが起点となってＹ軸方向に延びる亀裂ＣＫＹが形成され、Ｙ軸方向に延びる短冊状ウエハＷＦＳとなる。
なお、本実施形態では、上記のようにして亀裂ＣＫＹを形成する際、押圧手段４０は、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている個々の膨張性粒子ＳＧが完全に膨張しないように、または、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧ全てが膨張しないように赤外線ＩＲを照射するようになっている。また、上記のようにして亀裂ＣＫＹを形成する際、変位抑制手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板６１を配置させ、改質部ＭＴを起点とした亀裂ＣＫの形成ができなくなることを防止する。
なお、本実施形態では、上記のようにして亀裂ＣＫＹを形成する際、押圧手段４０は、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている個々の膨張性粒子ＳＧが完全に膨張しないように、または、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧ全てが膨張しないように赤外線ＩＲを照射するようになっている。また、上記のようにして亀裂ＣＫＹを形成する際、変位抑制手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板６１を配置させ、改質部ＭＴを起点とした亀裂ＣＫの形成ができなくなることを防止する。
【0021】
その後、光源ボックス４１がウエハＷＦの右端部の右方所定位置に到達すると、押圧手段４０および移動手段５０が発光源４２およびリニアモータ５２の駆動を停止した後、移動手段５０が回動モータ５１を駆動し、押圧手段４０をＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させる。次に、第２支持手段３０が直動モータ３１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、短冊状ウエハＷＦＳの上面すなわちウエハＷＦの第２面ＷＦ２に、第２支持テーブル３２で支持している第２接着シートＡＳ２を接近させ、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に対向させて配置する。
【0022】
そして、押圧手段４０および移動手段５０が発光源４２およびリニアモータ５２を駆動し、Ｘ軸方向に延びるライン状付与領域ＬＧを形成した後、図２（Ｂ）に示すように、光源ボックス４１を後方から前方に向けて移動させ、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行な状態で移動させる。すると、同図に示すように、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている個々の膨張性粒子ＳＧが次々にさらに大きく膨張し、または、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている膨張性粒子ＳＧのさらに多くが膨張し、接着剤層ＡＬ１に形成されていた無数の凸部ＣＶが拡大する。これにより、短冊状ウエハＷＦＳは、後方から前方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第２改質部ＭＴＸが起点となってＸ軸方向に延びる亀裂ＣＫＸが形成され、当該亀裂ＣＫＸと先に形成されていた亀裂ＣＫＹとで複数のチップＣＰとなり、第２接着シートＡＳ２の接着剤層ＡＬ２に押圧されて貼付される。このときも、変位抑制手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰを押え板６１で押さえておく。
【0023】
次いで、光源ボックス４１がウエハＷＦの前端部の前方所定位置に到達すると、押圧手段４０が発光源４２の駆動を停止した後、移動手段５０が回動モータ５１およびリニアモータ５２を駆動し、光源ボックス４１を初期位置に復帰させる。その後、変位抑制手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、押え板６１を初期位置に復帰させた後、先端アーム２１Ａを押え板保持部６１Ａから抜き取り、初期位置に復帰させておいたレーザ用ブラケット２２のレーザ保持部２２Ａに先端アーム２１Ａを嵌め込み、多関節ロボット２１でレーザ照射機２３を保持し、各アームを初期位置に復帰させる。
【0024】
次に、第１支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１１Ａでの第１接着シートＡＳ１の吸着保持を解除した後、第２支持手段３０が直動モータ３１を駆動し、第２支持テーブル３２を上昇させ、第１面ＷＦ１および第２面ＷＦ２に第１接着シートＡＳ１および第２接着シートＡＳ２が貼付されたチップＣＰ（ウエハＷＦ）を所定の高さ位置にまで持ち上げる。そして、シート剥離手段７０がリニアモータ７７を駆動し、第２支持テーブル３２を右方へ搬送し、図２（Ｃ）に示すように、第１接着シートＡＳ１の右端部が剥離ローラ７４の最上端部直上に到達すると、リニアモータ７７の駆動を停止する。次いで、シート剥離手段７０が直動モータ７３を駆動し、図２（Ｃ）中二点鎖線で示すように、剥離ローラ７４を上昇させて剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１の右端部に貼付する。その後、シート剥離手段７０がリニアモータ７７および回動モータ７５Ａを駆動し、図２（Ｄ）に示すように、第２支持テーブル３２を右方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用テープＰＴを回収ローラ７６で回収することで、チップＣＰ（ウエハＷＦ）から第１接着シートＡＳ１を剥離する。このとき、接着剤層ＡＬ１に形成された無数の凸部ＣＶによって、接着剤層ＡＬ１とチップＣＰとの接着面積が低減し、当該チップＣＰに対する第１接着シートＡＳ１の接着力が低減しているので、剥離される第１接着シートＡＳ１と共にチップＣＰが第２接着シートＡＳ２から剥離されるリスクは低減される。第１接着シートＡＳ１全体がチップＣＰから剥離されると、シート剥離手段７０が直動モータ７３を駆動し、剥離ローラ７４を初期位置に復帰させた後、回動モータ７５Ａの駆動を停止する。
【0025】
次に、第２接着シートＡＳ２を介してチップＣＰを保持した第２支持テーブル３２が剥離ローラ７４の右方所定位置に到達すると、シート剥離手段７０がリニアモータ７７の駆動を停止する。そして、使用者または、ピックアップ装置や保持装置等の図示しないチップ搬送手段が、全てのチップＣＰまたは所定数のチップＣＰを第２接着シートＡＳ２から取り外し、当該チップＣＰを別の工程に搬送すると、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない除去手段が第２接着シートＡＳ２を支持する。次いで、第２支持手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面３２Ａでの第２接着シートＡＳ２の吸着保持を解除すると、使用者または図示しない除去手段が支持面３２Ａから第２接着シートＡＳ２を除去する。その後、シート剥離手段７０がリニアモータ７７を駆動し、第２支持テーブル３２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【0026】
以上のような実施形態によれば、第１接着シートＡＳ１に添加されている膨張性粒子ＳＧを膨張させることで、ウエハＷＦを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付するので、ウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１に張力を極力付与することなくウエハＷＦを第２接着シートＡＳ２に貼付することができる。
【0027】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１支持手段は、被着体の第２面が表出した状態で第１接着シートが貼付された被着体を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【0028】
第１支持手段１０は、保持手段が備わっていなくてもよいし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものであれば、第１支持テーブル１１として当該所定のエネルギーを透過不可能なもので構成してもよいし、透過可能なもので構成してもよい。
第１支持手段１０は、ウエハＷＦの外側またはウエハＷＦを囲むようにリングフレームや額縁等のフレーム部材を支持し、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する際、フレーム部材も第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよく、この場合、フレーム部材には、第１接着シートＡＳ１が貼付されていてもよいし、貼付されていなくてもよく、フレーム部材に第１接着シートＡＳ１が貼付されている場合には、ウエハＷＦと同様にして、膨張性粒子ＳＧの膨張によって当該フレーム部材を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、フレーム部材に第１接着シートＡＳ１が貼付されていない場合には、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に接近させた際、当該第２接着シートＡＳ２をフレーム部材に押圧して貼付してもよい。
第１支持手段１０は、ウエハＷＦの外側またはウエハＷＦを囲むようにリングフレームや額縁等のフレーム部材を支持し、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する際、フレーム部材も第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよく、この場合、フレーム部材には、第１接着シートＡＳ１が貼付されていてもよいし、貼付されていなくてもよく、フレーム部材に第１接着シートＡＳ１が貼付されている場合には、ウエハＷＦと同様にして、膨張性粒子ＳＧの膨張によって当該フレーム部材を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、フレーム部材に第１接着シートＡＳ１が貼付されていない場合には、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に接近させた際、当該第２接着シートＡＳ２をフレーム部材に押圧して貼付してもよい。
【0029】
改質部形成手段２０は、レーザ照射機２３を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦを移動させて当該ウエハＷＦに改質部ＭＴを形成してもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行な１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行でない１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に等間隔または不等間隔な複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に平行または平行でない複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に交差しない複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に直交または斜交する複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、第１、第２方向以外に、その他の１または２以上の方向それぞれに１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、曲線状または折線状の１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよく、そのような改質部ＭＴによって形成される個片化予定領域ＷＦＰやチップＣＰの形状は、円形、楕円形、三角形または四角形以上の多角形等、どのような形状でもよい。
改質部形成手段２０は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等の付与によって、ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、ウエハＷＦを脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して改質部ＭＴを形成してもよく、このような改質部ＭＴは、膨張性粒子ＳＧの膨張を外力とし、被着体を個片化して個片体を形成することができればどのようなものでもよい。
改質部形成手段２０は、変位抑制手段６０と共用することのない駆動機器でレーザ照射機２３を保持して移動させる構成でもよいし、ウエハＷＦに改質部ＭＴが形成され、当該改質部ＭＴで囲繞または当該改質部ＭＴとウエハＷＦの外縁とで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰが予め形成されている場合や、ウエハＷＦを個片化させずに当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２に第２接着シートＡＳ２を貼付する場合、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよいし、備わっていてもよい。
改質部形成手段２０は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等の付与によって、ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、ウエハＷＦを脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して改質部ＭＴを形成してもよく、このような改質部ＭＴは、膨張性粒子ＳＧの膨張を外力とし、被着体を個片化して個片体を形成することができればどのようなものでもよい。
改質部形成手段２０は、変位抑制手段６０と共用することのない駆動機器でレーザ照射機２３を保持して移動させる構成でもよいし、ウエハＷＦに改質部ＭＴが形成され、当該改質部ＭＴで囲繞または当該改質部ＭＴとウエハＷＦの外縁とで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰが予め形成されている場合や、ウエハＷＦを個片化させずに当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２に第２接着シートＡＳ２を貼付する場合、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよいし、備わっていてもよい。
【0030】
第２支持手段３０は、当該第２支持テーブル３２で支持している第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦの第２面ＷＦ２に対向させて配置する際、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２ＡをウエハＷＦＳの第２面ＷＦ２に当接させてもよいし当接させなくてもよいし、第１支持手段１０が支持面１１Ａでの第１接着シートＡＳ１の吸着保持を解除することなく、第２支持テーブル３２を上昇させるだけで、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離させることができる場合、シート剥離手段として機能することができるし、第１支持手段１０で支持したウエハＷＦの第２面ＷＦ２と、第２支持手段３０で支持した第２接着シートＡＳ２との間隔が、押圧手段４０によって膨張性粒子ＳＧを膨張させるだけで、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付することができる位の間隔であれば、直動モータ３１がなくてもよい。
第２支持手段３０は、フレーム部材が貼付された第２接着シートＡＳ２を保持してもよいし、直動モータ３１の代わりに多関節ロボット２１で第２支持テーブル３２を支持してもよく、多関節ロボット２１で第２支持テーブル３２を支持する場合、シート剥離手段７０は、リニアモータ７７を採用することなく、多関節ロボット２１を駆動し、第２支持テーブル３２と剥離ローラ７４等とを相対移動させ、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離してもよいし、例えば、図１のシート貼付装置ＥＡを上下反転した構成とした場合、保持手段が備わっていなくてもよい。
第２支持手段３０は、フレーム部材が貼付された第２接着シートＡＳ２を保持してもよいし、直動モータ３１の代わりに多関節ロボット２１で第２支持テーブル３２を支持してもよく、多関節ロボット２１で第２支持テーブル３２を支持する場合、シート剥離手段７０は、リニアモータ７７を採用することなく、多関節ロボット２１を駆動し、第２支持テーブル３２と剥離ローラ７４等とを相対移動させ、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離してもよいし、例えば、図１のシート貼付装置ＥＡを上下反転した構成とした場合、保持手段が備わっていなくてもよい。
【0031】
押圧手段４０は、図３（Ａ）に示すように、第１接着シートＡＳ１全体に一括で赤外線ＩＲを付与可能な発光源４４と、当該発光源４４で発光した赤外線ＩＲを反射させる反射板４５と、反射板４５の上部の開口部４５Ａを開閉可能な開閉板４６とで構成してもよい。この場合、発光源４４を駆動して赤外線ＩＲを発光し、開口部４５Ａを開閉板４６で全閉にした状態から当該開閉板４６を左方から右方に向けて徐々に移動させ、図３（Ａ－１）に示すように、左方から右方に向けて次々に亀裂ＣＫＹを形成し、Ｙ軸方向に延びる短冊状ウエハＷＦＳを形成する。次いで、開口部４５Ａを開閉板４６で全閉にした後、押圧手段４０をＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させる。その後、開閉板４６を後方から前方に向けて徐々に移動させ、図３（Ａ－２）に示すように、後方から前方に向けて次々に亀裂ＣＫＸを形成し、亀裂ＣＫＸと亀裂ＣＫＹとでチップＣＰを形成し、ウエハＷＦをチップＣＰとした状態で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
押圧手段４０は、開閉板４６の代わりに、図３（Ｂ－１）、（Ｂ－２）に示すように、発光源４４が発光した赤外線ＩＲでライン状付与領域ＬＧを形成するスリット４７Ａを備えた移動板４７を採用してもよいし、スリット４７Ａには、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよいし、開閉板４６や移動板４７を例えば第１支持テーブル１１側に設けてもよい。
押圧手段４０は、集光板４３や反射板４５がなくてもよいし、集光板４３の代わりにまたは集光板４３と併用し、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよいし、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを照射する時間を任意に決定することができるし、発光源４２、４４として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよいし、エネルギーとしてレーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与するものを採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよく、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意の構成を採用することができるし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なもの場合、第２支持手段３０および第２接着シートＡＳ２に所定のエネルギーを透過可能なものを採用し、第２支持手段３０、第２接着シートＡＳ２および被着体を透過させて第１接着シートＡＳ１に所定のエネルギーを付与してもよいし、被着体側と第１接着シートＡＳ１側との両方から所定のエネルギーを付与してもよい。
押圧手段４０は、前記実施形態では、ライン状付与領域ＬＧを形成して第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付したが、赤外線ＩＲの付与領域が点状となる点状付与領域を形成し、第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与したり、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応した面状付与領域または、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応していない面状付与領域を形成して第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与したりして、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、例えば、任意の位置の個片化予定領域ＷＦＰの１つまたは複数の区画に対応する第１接着シート部分ＡＳ１Ｐだけに赤外線ＩＲを付与し、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに貼付されている１つまたは複数の区画からなる個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、ウエハＷＦの中央部から放射方向に向かって、部分的に第１接着シートＡＳ１に対して赤外線ＩＲを付与し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
押圧手段４０は、ウエハＷＦを個片化することなく、当該ウエハＷＦを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧してもよい。すなわち、押圧手段４０は、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを付与して膨張性粒子ＳＧを膨張させることで、第１接着シートＡＳ１に貼付されているウエハＷＦを変位させて当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
押圧手段４０は、第１接着シートＡＳ１全体に一括で赤外線ＩＲを付与し、チップＣＰやウエハＷＦ全体を一括で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよく、この場合、移動手段５０は本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
押圧手段４０は、開閉板４６の代わりに、図３（Ｂ－１）、（Ｂ－２）に示すように、発光源４４が発光した赤外線ＩＲでライン状付与領域ＬＧを形成するスリット４７Ａを備えた移動板４７を採用してもよいし、スリット４７Ａには、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよいし、開閉板４６や移動板４７を例えば第１支持テーブル１１側に設けてもよい。
押圧手段４０は、集光板４３や反射板４５がなくてもよいし、集光板４３の代わりにまたは集光板４３と併用し、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよいし、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを照射する時間を任意に決定することができるし、発光源４２、４４として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよいし、エネルギーとしてレーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与するものを採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよく、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意の構成を採用することができるし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なもの場合、第２支持手段３０および第２接着シートＡＳ２に所定のエネルギーを透過可能なものを採用し、第２支持手段３０、第２接着シートＡＳ２および被着体を透過させて第１接着シートＡＳ１に所定のエネルギーを付与してもよいし、被着体側と第１接着シートＡＳ１側との両方から所定のエネルギーを付与してもよい。
押圧手段４０は、前記実施形態では、ライン状付与領域ＬＧを形成して第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付したが、赤外線ＩＲの付与領域が点状となる点状付与領域を形成し、第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与したり、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応した面状付与領域または、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応していない面状付与領域を形成して第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与したりして、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、例えば、任意の位置の個片化予定領域ＷＦＰの１つまたは複数の区画に対応する第１接着シート部分ＡＳ１Ｐだけに赤外線ＩＲを付与し、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに貼付されている１つまたは複数の区画からなる個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、ウエハＷＦの中央部から放射方向に向かって、部分的に第１接着シートＡＳ１に対して赤外線ＩＲを付与し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
押圧手段４０は、ウエハＷＦを個片化することなく、当該ウエハＷＦを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧してもよい。すなわち、押圧手段４０は、第１接着シートＡＳ１に赤外線ＩＲを付与して膨張性粒子ＳＧを膨張させることで、第１接着シートＡＳ１に貼付されているウエハＷＦを変位させて当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
押圧手段４０は、第１接着シートＡＳ１全体に一括で赤外線ＩＲを付与し、チップＣＰやウエハＷＦ全体を一括で第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよく、この場合、移動手段５０は本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
【0032】
移動手段５０は、図３（Ｃ）に示すように、第１改質部ＭＴＹおよび第２改質部ＭＴＸに斜交するライン状付与領域ＬＧ（不図示）をウエハＷＦの一端から他端に向けて移動させることで、第１、第２改質部ＭＴＹ、ＭＴＸの両方を起点として亀裂ＣＫＹ、ＣＫＸを同時に形成し、それによって形成されたチップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい（図３（Ｃ）には、ウエハＷＦに貼付されている第１接着シートＡＳ１は不図示）。なお、この場合の斜交角度は、例えば、Ｘ軸やＹ軸に対して１度、５度、１０度、４５度、６０度、８９度等、どのような角度でもよい。
移動手段５０は、押圧手段４０を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦを移動させ、押圧手段４０に対してウエハＷＦをＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させてもよい。
移動手段５０は、押圧手段４０を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦおよび第２接着シートＡＳ２を移動させ、ライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行となるように移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸やＹ軸方向と平行とならないように移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦの右方から左方に向けて移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦの前方から後方に向けて移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦのその他の方向から別の方向に向けて移動させたりして、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、ウエハＷＦに改質部ＭＴが形成されていない場合でも、押圧手段４０を移動させ、当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を一端から他端に向けて徐々に第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。このように、チップＣＰやウエハＷＦの第２面ＷＦ２を一端から他端に向けて徐々に第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付すれば、チップＣＰやウエハＷＦの第２面ＷＦ２と、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａとの間に気泡ができることを防止することができる。
移動手段５０は、押圧手段４０およびウエハＷＦの少なくとも一方をＸＹ平面内で上面視時計回転方向に９０度回転移動させてもよいし、押圧手段４０およびウエハＷＦの少なくとも一方をＸＹ平面内で上面視時計回転方向に９０度以下または９０度以上回転移動させてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡを構成する構成物として備わっていてもよいし、他の装置で押圧手段４０およびウエハＷＦの少なくとも一方を移動させて当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する場合、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよいし、例えば、ウエハＷＦの１箇所だけに個片化予定領域ＷＦＰが形成されており、押圧手段４０がこの個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応または対応していない面状付与領域を形成し、第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与して、１つのチップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する場合等においても、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
移動手段５０は、押圧手段４０を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦを移動させ、押圧手段４０に対してウエハＷＦをＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させてもよい。
移動手段５０は、押圧手段４０を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦおよび第２接着シートＡＳ２を移動させ、ライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行となるように移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸やＹ軸方向と平行とならないように移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦの右方から左方に向けて移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦの前方から後方に向けて移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦのその他の方向から別の方向に向けて移動させたりして、ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよいし、ウエハＷＦに改質部ＭＴが形成されていない場合でも、押圧手段４０を移動させ、当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を一端から他端に向けて徐々に第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。このように、チップＣＰやウエハＷＦの第２面ＷＦ２を一端から他端に向けて徐々に第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付すれば、チップＣＰやウエハＷＦの第２面ＷＦ２と、第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａとの間に気泡ができることを防止することができる。
移動手段５０は、押圧手段４０およびウエハＷＦの少なくとも一方をＸＹ平面内で上面視時計回転方向に９０度回転移動させてもよいし、押圧手段４０およびウエハＷＦの少なくとも一方をＸＹ平面内で上面視時計回転方向に９０度以下または９０度以上回転移動させてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡを構成する構成物として備わっていてもよいし、他の装置で押圧手段４０およびウエハＷＦの少なくとも一方を移動させて当該ウエハＷＦの第２面ＷＦ２を第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する場合、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよいし、例えば、ウエハＷＦの１箇所だけに個片化予定領域ＷＦＰが形成されており、押圧手段４０がこの個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応または対応していない面状付与領域を形成し、第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与して、１つのチップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付する場合等においても、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
【0033】
変位抑制手段６０は、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板６１を当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、気体の吹き付けにより、押圧手段４０によって変位される前のウエハＷＦ部分が変位することを抑制したり、プーリとベルトとで押圧手段４０によって変位される前のウエハＷＦ部分が変位することを抑制したりする他の構成を採用してもよいし、改質部形成手段２０と共用することのない駆動機器で押え板６１を保持して移動させる構成でもよいし、押え板６１を一方向（例えば左右方向）に移動させる駆動機器と、他の押え板を他方向（例えば前後方向）に移動させる別の駆動機器とを採用してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
【0034】
シート剥離手段７０は、第２支持テーブル３２を移動させることなくまたは、移動させつつ、剥離ローラ７４等を移動させてウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離してもよいし、保持手段として、帯状または枚葉の剥離用テープＰＴを採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第１接着シートＡＳ１を保持し、当該保持部材で保持した第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦから離間させて剥離する構成等どのような構成でもよいし、例えば、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の接着力低減エネルギーによって、接着剤層ＡＬ１の接着力が低減するものを採用してもよい。この場合、接着力低減エネルギーを照射する接着力低減エネルギー付与手段を採用し、第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦから剥離する前段で、当該第１接着シートＡＳ１に接着力低減エネルギーを照射するようにすればよい。
シート剥離手段７０は、例えば、第１支持手段１０が支持面１１Ａでの第１接着シートＡＳ１の吸着保持を解除することなく、第２支持手段３０が第２支持テーブル３２を上昇させるだけで、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離させることができる場合や、他の装置でウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離する場合や、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離しない場合等において、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
シート剥離手段７０は、例えば、第１支持手段１０が支持面１１Ａでの第１接着シートＡＳ１の吸着保持を解除することなく、第２支持手段３０が第２支持テーブル３２を上昇させるだけで、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離させることができる場合や、他の装置でウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離する場合や、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離しない場合等において、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
【0035】
例えば、膨張性粒子ＳＧが、第１エネルギーとしての８０℃の熱エネルギーで膨張する図示しない第１膨張性粒子と、第２エネルギーとしての１２０℃の熱エネルギーで膨張する図示しない第２膨張性粒子とを有し、押圧手段４０が、８０℃の熱エネルギーを付与する図示しない第１押圧手段と、１２０℃の熱エネルギーを付与する図示しない第２押圧手段とを備えていてもよい。この場合、上記実施形態と同様の動作で、押圧手段４０が、８０℃の熱エネルギーを付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成した後、１２０℃の熱エネルギーを付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付することができる。なお、第１エネルギーや第２エネルギーは、何度の熱エネルギーでもよいし、膨張性粒子ＳＧが、第１、第２エネルギー以外の他の温度の熱エネルギーで膨張する他の膨張性粒子を有する場合、押圧手段４０は、他の温度の熱エネルギーを付与する他の押圧手段を増設することができる。
また、膨張性粒子ＳＧとして、第１エネルギーとしての赤外線で膨張する図示しない第１膨張性粒子と、第２エネルギーとしての紫外線で膨張する図示しない第２膨張性粒子とが添加されている第１接着シートＡＳ１を採用し、押圧手段４０が、赤外線を付与する図示しない第１押圧手段と、紫外線を付与する図示しない第２押圧手段とを備えていてもよい。この場合、上記実施形態と同様の動作で、押圧手段４０が、赤外線を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成した後、紫外線を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。なお、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせは、以外の他のエネルギーで膨張する他の膨張性粒子が添加されている第１接着シートＡＳ１が採用された場合、当該他のエネルギーを付与する他の押圧手段を増設することができる。
さらに、前記実施形態では、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々にライン状付与領域ＬＧを移動させたが、改質部ＭＴが形成されている位置のみにライン状付与領域ＬＧが位置するように押圧手段４０を移動させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したり、発光源４２、４４を消灯させておき、改質部ＭＴが形成されている位置にライン状付与領域ＬＧが位置するように押圧手段４０やスリット４７Ａを移動させてから発光源４２、４４を駆動し、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したりしてもよい。
また、第１接着シートＡＳ１として、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を所定のエネルギーとして膨張する膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、押圧手段４０は、それら膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該膨張性粒子ＳＧを膨張させ、第１接着シートＡＳ１に貼付されているウエハＷＦやチップＣＰを変位させてそれらを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧できればどのような構成のものでもよい。
シート貼付装置ＥＡは、第２接着シートＡＳ２からチップＣＰやウエハＷＦを取り外すことなく、搬送手段や使用者が第２接着シートＡＳ２ごとチップＣＰやウエハＷＦを別の工程に搬送するものいでもよい。
また、膨張性粒子ＳＧとして、第１エネルギーとしての赤外線で膨張する図示しない第１膨張性粒子と、第２エネルギーとしての紫外線で膨張する図示しない第２膨張性粒子とが添加されている第１接着シートＡＳ１を採用し、押圧手段４０が、赤外線を付与する図示しない第１押圧手段と、紫外線を付与する図示しない第２押圧手段とを備えていてもよい。この場合、上記実施形態と同様の動作で、押圧手段４０が、赤外線を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成した後、紫外線を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。なお、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせは、以外の他のエネルギーで膨張する他の膨張性粒子が添加されている第１接着シートＡＳ１が採用された場合、当該他のエネルギーを付与する他の押圧手段を増設することができる。
さらに、前記実施形態では、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々にライン状付与領域ＬＧを移動させたが、改質部ＭＴが形成されている位置のみにライン状付与領域ＬＧが位置するように押圧手段４０を移動させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したり、発光源４２、４４を消灯させておき、改質部ＭＴが形成されている位置にライン状付与領域ＬＧが位置するように押圧手段４０やスリット４７Ａを移動させてから発光源４２、４４を駆動し、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したりしてもよい。
また、第１接着シートＡＳ１として、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を所定のエネルギーとして膨張する膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、押圧手段４０は、それら膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該膨張性粒子ＳＧを膨張させ、第１接着シートＡＳ１に貼付されているウエハＷＦやチップＣＰを変位させてそれらを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧できればどのような構成のものでもよい。
シート貼付装置ＥＡは、第２接着シートＡＳ２からチップＣＰやウエハＷＦを取り外すことなく、搬送手段や使用者が第２接着シートＡＳ２ごとチップＣＰやウエハＷＦを別の工程に搬送するものいでもよい。
【0036】
第１接着シートＡＳ１は、当該第１接着シートＡＳ１を構成する基材シートＢＳ１のみに膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との両方に膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との中間に１または複数の中間層が存在し、当該中間層、接着剤層ＡＬ１および基材シートＢＳ１のうち少なくとも１つまたは少なくとも２つに膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、ウエハＷＦにおける回路が形成された面に貼付されてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との両方に膨張性粒子ＳＧが添加されている場合や、中間層、接着剤層ＡＬ１および基材シートＢＳ１のうち少なくとも２つに膨張性粒子ＳＧが添加されている場合、それら膨張性粒子ＳＧは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよい。
ウエハＷＦは、他方の面ＷＦ２に、予めその他の接着シートが貼付されていてもよく、当該他の接着シートを介して第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧されて貼付されてもよいし、このような他の接着シートを適宜剥離する公知のシート剥離手段を採用してもよい。
個片体は、チップＣＰに限らず、例えば、短冊状ウエハＷＦＳでもよく、この場合の個片化予定領域は、第１改質部ＭＴＹとウエハＷＦの外縁とで囲繞された領域となり、移動手段５０は、押圧手段４０が形成したライン状付与領域ＬＧを１つの方向（例えばＹ軸、Ｘ軸またはその他の方向）にだけ移動させ、短冊状ウエハＷＦＳを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
被着体が予め短冊状ウエハＷＦＳのようなものであれば、移動手段５０は、押圧手段４０が形成したライン状付与領域ＬＧを１つの方向（例えばＹ軸、Ｘ軸またはその他の方向）にだけ移動させ、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
個片化予定領域ＷＦＰは、改質部ＭＴとウエハＷＦの外縁とで囲繞されたものでもよく、このような個片化予定領域ＷＦＰから形成されるチップＣＰは、例えば、Ｘ軸と平行な１つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される略扇状のものや、Ｘ軸と平行な２つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される形状のもの等、どのような形状のものでもよい。
膨張性粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７－７３２３６、特開２０１３－１５９７４３、特開２０１２－１６７１５１、特開２００１－１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３－４７３２１、特開２００７－２５４５８０、特開２０１１－２１２５２８、特開２００３－２６１８４２等で開示されている膨張性粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６－５３１１５、特開平７－２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
ウエハＷＦは、第１面および第２面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよい。
第１接着シートＡＳ１は、無数の凸部ＣＶが形成されることで、チップＣＰとの接着領域が減少して当該チップＣＰとの接着力が減少してもよいし、チップＣＰとの接着力が減少しなくてもよい。
ウエハＷＦは、他方の面ＷＦ２に、予めその他の接着シートが貼付されていてもよく、当該他の接着シートを介して第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧されて貼付されてもよいし、このような他の接着シートを適宜剥離する公知のシート剥離手段を採用してもよい。
個片体は、チップＣＰに限らず、例えば、短冊状ウエハＷＦＳでもよく、この場合の個片化予定領域は、第１改質部ＭＴＹとウエハＷＦの外縁とで囲繞された領域となり、移動手段５０は、押圧手段４０が形成したライン状付与領域ＬＧを１つの方向（例えばＹ軸、Ｘ軸またはその他の方向）にだけ移動させ、短冊状ウエハＷＦＳを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
被着体が予め短冊状ウエハＷＦＳのようなものであれば、移動手段５０は、押圧手段４０が形成したライン状付与領域ＬＧを１つの方向（例えばＹ軸、Ｘ軸またはその他の方向）にだけ移動させ、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａに押圧して貼付してもよい。
個片化予定領域ＷＦＰは、改質部ＭＴとウエハＷＦの外縁とで囲繞されたものでもよく、このような個片化予定領域ＷＦＰから形成されるチップＣＰは、例えば、Ｘ軸と平行な１つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される略扇状のものや、Ｘ軸と平行な２つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される形状のもの等、どのような形状のものでもよい。
膨張性粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７－７３２３６、特開２０１３－１５９７４３、特開２０１２－１６７１５１、特開２００１－１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３－４７３２１、特開２００７－２５４５８０、特開２０１１－２１２５２８、特開２００３－２６１８４２等で開示されている膨張性粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６－５３１１５、特開平７－２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
ウエハＷＦは、第１面および第２面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよい。
第１接着シートＡＳ１は、無数の凸部ＣＶが形成されることで、チップＣＰとの接着領域が減少して当該チップＣＰとの接着力が減少してもよいし、チップＣＰとの接着力が減少しなくてもよい。
【0037】
本発明のシート貼付装置ＥＡは、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する公知の研削（研磨）手段が備わっていてもよいし、チップＣＰを第２接着シートＡＳ２から取り外す公知のピックアップ手段が備わっていてもよいし、第２接着シートＡＳ２から取り外したチップＣＰを基板や載置台等の他の部材に接着する公知の接着手段が備わっていてもよい。
【0038】
本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層ＡＬ１、ＡＬ２だけの単層のもの、基材シートＢＳ１、ＢＳ２と接着剤層ＡＬ１、ＡＬ２との間に中間層を有するもの、基材シートＢＳ１、ＢＳ２の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳ１、ＢＳ２を接着剤層ＡＬ１、ＡＬ２から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【0039】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【0040】
ＥＡ…シート貼付装置
１０…第１支持手段
２０…改質部形成手段
３０…第２支持手段
４０…押圧手段
５０…移動手段
６０…変位抑制手段
７０…シート剥離手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ２Ａ…接着面
ＡＳ１Ｐ…第１接着シート部分
ＣＰ…半導体チップ（個片体）
ＩＲ…赤外線（エネルギー）
ＬＧ…ライン状付与領域
ＭＴ…改質部
ＭＴＸ…第２改質部
ＭＴＹ…第１改質部
ＳＧ…膨張性粒子
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦ１…第１面
ＷＦ２…第２面
ＷＦＰ…個片化予定領域
１０…第１支持手段
２０…改質部形成手段
３０…第２支持手段
４０…押圧手段
５０…移動手段
６０…変位抑制手段
７０…シート剥離手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ２Ａ…接着面
ＡＳ１Ｐ…第１接着シート部分
ＣＰ…半導体チップ（個片体）
ＩＲ…赤外線（エネルギー）
ＬＧ…ライン状付与領域
ＭＴ…改質部
ＭＴＸ…第２改質部
ＭＴＹ…第１改質部
ＳＧ…膨張性粒子
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦ１…第１面
ＷＦ２…第２面
ＷＦＰ…個片化予定領域
【図1】
【図2】
【図3】
