特許 7192682 検査システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-12

(45)【発行日】2022-12-20

(54)【発明の名称】検査システム

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20221213BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04 551D

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019124590

(22)【出願日】2019-07-03

(65)【公開番号】P2021011326

(43)【公開日】2021-02-04

【審査請求日】2021-11-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】小川 大介

(72)【発明者】

【氏名】矢嶋 翼

【審査官】八板 直人

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－４７７４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－８６０１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１６４３３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－３３７３４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１６／００１６７６３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１４－３３１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ １／００－１／１３３；１／１４－１／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

Ｇ０１Ｂ １１／００－１１／３０

Ｂ６６Ｃ １３／００－１５／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品搬送車が昇降自在に備える昇降部の傾斜状態を検出する検出部を備えた検査システムであって、
前記昇降部は、基準面を有し、
前記検出部は、第１撮像装置と第２撮像装置とを備え、
前記昇降部が規定の設定昇降位置にある状態における前記基準面の位置を設定基準面位置として、
前記第１撮像装置の光軸である第１光軸と前記第２撮像装置の光軸である第２光軸とが交差する交点が、前記設定基準面位置に対応する位置となり、且つ、前記第１光軸及び前記第２光軸が前記基準面に沿う方向となるように、前記第１撮像装置及び前記第２撮像装置が設置され、
前記検出部は、前記第１撮像装置及び前記第２撮像装置によって撮像された前記基準面の画像に基づいて、前記昇降部の傾斜方向及び傾斜角度を検出する、検査システム。

【請求項2】

前記検出部は、前記第１撮像装置によって撮像された第１画像に含まれる前記基準面のエッジの傾きに基づいて、前記第１光軸に直交する方向である第１方向における前記昇降部の傾斜角度を検出し、前記第２撮像装置によって撮像された第２画像に含まれる前記基準面のエッジの傾きに基づいて、前記第２光軸に直交する方向である第２方向における前記昇降部の傾斜角度を検出する、請求項１に記載の検査システム。

【請求項3】

前記第１撮像装置に対向する側から前記交点に向けて投光する第１投光装置と、前記第２撮像装置に対向する側から前記交点に向けて投光する第２投光装置と、を更に備える、請求項１又は２に記載の検査システム。

【請求項4】

前記基準面に対向する側から投光する第３投光装置を更に備える、請求項１又は２に記載の検査システム。

【請求項5】

前記第１撮像装置及び前記第２撮像装置は、前記第１光軸と前記第２光軸とが直交するように設置されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の検査システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、物品搬送車が昇降自在に備える昇降部の傾斜状態を検出する検出部を備えた検査システムに関する。

【背景技術】

【0002】

このような検査システムとして、例えば、特開２０１７－０９５２６１号公報（特許文献１）に記載されたものが知られている。以下、背景技術の説明において、かっこ書きの符号又は名称は、先行技術文献における符号又は名称とする。この特許文献１に記載の検査システムは、検査用治具（Ｗｂ）に角度センサ（８）を備え、その検査用治具（Ｗｂ）を昇降部（昇降体２２）に支持させることで、角度センサ（８）によって昇降部（２２）の傾斜方向及び傾斜角度を検出するように構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－０９５２６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１の検査システムでは、検査用治具（Ｗｂ）を昇降部（２２）に支持させる構成であるため、複数の物品搬送車（１）の昇降部（２２）の傾斜を検査する場合には、検査用治具（Ｗｂ）を複数の物品搬送車（１）の間で移動させる必要がある。つまり、各物品搬送車（１）においての昇降部（２２）の傾斜状態を検出する場合は、昇降部（２２）に検査用治具（Ｗｂ）を支持させた後に昇降部（２２）の傾斜方向及び傾斜角度を検出し、その後、昇降部（２２）から検査用治具（Ｗｂ）を降ろす必要がある。そのため、昇降部（２２）の傾斜状態の検査を効率的に行うことが難しい場合があった。

【0005】

そこで、昇降部の傾斜状態の検査を効率的に行うことができる検査システムの実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記に鑑みた、検査システムの特徴構成は、物品搬送車が昇降自在に備える昇降部の傾斜状態を検出する検出部を備え、
前記昇降部は、基準面を有し、前記検出部は、第１撮像装置と第２撮像装置とを備え、前記昇降部が規定の設定昇降位置にある状態における前記基準面の位置を設定基準面位置として、前記第１撮像装置の光軸である第１光軸と前記第２撮像装置の光軸である第２光軸とが交差する交点が、前記設定基準面位置に対応する位置となり、且つ、前記第１光軸及び前記第２光軸が前記基準面に沿う方向となるように、前記第１撮像装置及び前記第２撮像装置が設置され、前記検出部は、前記第１撮像装置及び前記第２撮像装置によって撮像された前記基準面の画像に基づいて、前記昇降部の傾斜方向及び傾斜角度を検出する点にある。

【0007】

この特徴構成によれば、第１撮像装置及び第２撮像装置によって交差する２方向から撮像した昇降部の基準面の画像に基づいて、昇降部の傾斜状態を検出するため、昇降部の傾斜方向及び傾斜角度を適切に検出することができる。また、この特徴構成によれば、物品搬送車の昇降部を規定の設定昇降位置に移動させ、その状態で、第１撮像装置及び第２撮像装置によって昇降部を撮像することで、昇降部の傾斜状態を検出することができるため、検出用治具等を昇降部に支持させる必要がない。そのため、複数の物品搬送車の昇降部の傾斜状態を検査する場合であっても、検査用治具等を複数の物品搬送車の間で移動させる必要がなく、昇降部の傾斜状態の検査を効率的に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】物品搬送設備の平面図

【図2】物品搬送車及び処理装置の側面図

【図3】物品搬送車及び検査システムの斜視図

【図4】検査システムの制御ブロック図

【図5】検査制御のフローチャート

【図6】幅方向第２側から見た設定基準面位置の基準面を示した図

【図7】延在方向第２側から見た設定基準面位置の基準面を示した図

【図8】幅方向第２側から見た設定基準面位置の基準面を示した図

【図9】延在方向第２側から見た設定基準面位置の基準面を示した図

【図10】別の実施形態の検査システムの側面図

【発明を実施するための形態】

【0009】

１．実施形態
検査システムを備えた物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。図１に示すように、物品搬送設備には、天井近くを走行経路Ｌに沿って走行して物品としての容器Ｗを搬送する物品搬送車１と、容器Ｗに収容されている基板に対して処理を行う処理装置２と、その処理装置２に隣接する状態で床面上に設置された搬送対象箇所としての支持台３と、検査システム４と、が設けられている。尚、本実施形態では、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を容器Ｗ（物品）としている。

【0010】

以下、図２及び図３に示すように、走行経路Ｌに沿って設置されているレール５が延在する延在方向Ｘの一方側を延在方向第１側Ｘ１と称し、その反対側を延在方向第２側Ｘ２と称する。また、図３に示すように、上下方向Ｚに沿う上下方向視で延在方向Ｘに対して直交する方向を幅方向Ｙと称し、幅方向Ｙの一方側を幅方向第１側Ｙ１と称し、その反対側を幅方向第２側Ｙ２と称する。尚、本例では、物品搬送車１は、延在方向第２側Ｘ２から延在方向第１側Ｘ１に向けて一方向に走行する。

【0011】

図２及び図３に示すように、物品搬送車１は、レール５上をそのレール５に沿って走行する走行部６と、容器Ｗを吊り下げ状態で支持する昇降部７と、昇降部７を上下方向Ｚに移動させる昇降装置８（図３参照）とを備えている。このように、物品搬送車１は、昇降部７を昇降自在に備えている。

【0012】

走行部６は、第１走行ユニット６Ａと、この第１走行ユニット６Ａに対して延在方向第２側Ｘ２に位置する第２走行ユニット６Ｂと、を備えている。図３に示すように、第１走行ユニット６Ａは、レール５上を転動する一対の車輪１１と、一対の車輪１１を回転させる走行用モータ１２と、を備えている。また、第２走行ユニット６Ｂは、第１走行ユニット６Ａと同様に、一対の車輪１１と走行用モータ１２とを備えている。

【0013】

図２に示すように、昇降装置８は、巻回体１４と、巻回体１４に巻回されて先端部に昇降部７が連結されている巻き取りベルト１５と、巻回体１４を回転駆動させる昇降用モータ１６と、を備えている。昇降装置８は、昇降用モータ１６の駆動により、巻回体１４を正方向に回転させて巻き取りベルト１５を繰り出すことで昇降部７を下降させ、巻回体１４を逆方向に回転させて巻き取りベルト１５を巻き取ることで昇降部７を上昇させるように構成されている。

【0014】

昇降部７は、水平方向に沿って互いに接近又は離間する方向に移動自在な一対の把持爪１８と、一対の把持爪１８の夫々を互いに接近又は離間する方向に移動させる把持用モータ１９と、把持用モータ１９を収容する筐体２０と、を備えている。昇降部７は、把持用モータ１９の駆動により一対の把持爪１８を互いに接近又は離間する方向に移動させることで、一対の把持爪１８によって容器Ｗを把持する状態と、一対の把持爪１８による容器Ｗに対する把持を解除する状態と、に状態移行するように構成されている。そして、図３に示すように、昇降部７は、基準面Ｆを有している。本実施形態では、筐体２０が、直方体形状に形成されており、この筐体２０の上方側を向く面（上面）を基準面Ｆとしている。

【0015】

次に、検査システム４について説明する。検査システム４によって物品搬送車１の昇降部７の傾斜状態を検出する場合、検査システム４は、図３に示すように、物品搬送車１の走行部６が規定の設定走行位置に停止し、昇降部７の昇降方向の位置が規定の設定昇降位置にある状態で、昇降部７の傾斜状態を検出する。このように、物品搬送車１が規定の設定走行位置にあり、且つ、昇降部７が規定の設定昇降位置にある状態における基準面Ｆの位置を設定基準面位置Ｖとしている。昇降部７が延在方向Ｘ及び幅方向Ｙの何れにも傾いていない正常な状態では、設定基準面位置Ｖにある基準面Ｆは水平な姿勢となる。

【0016】

図３及び図４に示すように、検査システム４は、物品搬送車１が備える昇降部７の傾斜状態を検出する検出部２２を備えている。本実施形態では、検出部２２は、第１撮像装置２３と、第２撮像装置２４と、第１投光装置２５と、第２投光装置２６と、制御部２７（図４参照）と、を備えている。

【0017】

第１撮像装置２３及び第２撮像装置２４は、第１撮像装置２３の光軸である第１光軸Ｌ１と第２撮像装置２４の光軸である第２光軸Ｌ２とが交差する交点Ｐが、設定基準面位置Ｖに対応する位置となり、且つ、第１光軸Ｌ１及び第２光軸Ｌ２が基準面Ｆに沿う方向となるように設置されている。ここで、設定基準面位置Ｖに対応する位置は、理想的な設定基準面位置Ｖ（本実施形態では、基準面Ｆが予め設定された高さにあり且つ水平な姿勢となっている状態における基準面Ｆの位置）からずれた場合でも撮像装置の撮像範囲内に収まるように設定される。詳しくは、想定される昇降部７の傾き状態を考慮して、理想的な設定基準面位置Ｖにある基準面Ｆに対して、規定の距離範囲内（例えば、±１５ｃｍ以下の範囲内）の位置に設定されている。本実施形態では、理想的な設定基準面位置Ｖの基準面Ｆに交点Ｐが合致するように設定されている。なお、ここでの基準面Ｆの位置は、基準面Ｆの中における基準となる位置（点）であり、例えば基準面Ｆの重心位置とすることができる。すなわち、本実施形態では、第１光軸Ｌ１と第２光軸Ｌ２との交点Ｐが、基準面Ｆの基準位置（例えば重心位置）と合致するように設定されている。また、基準面Ｆに沿う方向は、理想的な設定基準面位置Ｖの基準面Ｆに沿う方向に対して、規定の角度範囲内（例えば、±１０°以下）の角度に設定されている。本実施形態では、理想的な設定基準面位置Ｖの基準面Ｆと同じ角度とするべく水平方向に設定されている。

【0018】

本実施形態では、第１撮像装置２３は、設定基準面位置Ｖに対して幅方向第２側Ｙ２に配置され、幅方向第１側Ｙ１を向いて撮像するように設置されている。また、第２撮像装置２４は、設定基準面位置Ｖに対して延在方向第２側Ｘ２に配置され、延在方向第１側Ｘ１を向いて撮像するように設置されている。そして、第１撮像装置２３の第１光軸Ｌ１は、幅方向Ｙに沿うように配置されている。また、第２撮像装置２４の第２光軸Ｌ２は、延在方向Ｘに沿うように配置されている。更に本実施形態では、第１撮像装置２３及び第２撮像装置２４は、第１光軸Ｌ１と第２光軸Ｌ２とが直交するように設置されている。

【0019】

また、本実施形態では、第１投光装置２５は、第１撮像装置２３に対向する側から交点Ｐに向けて投光するように設置されている。本実施形態では、第１投光装置２５は、設定基準面位置Ｖに対して幅方向第１側Ｙ１に配置され、幅方向第２側Ｙ２に向けて投光するように設置されている。そして、図６及び図８に示すように、第１投光装置２５は、基準面Ｆが設定基準面位置Ｖにある状態において、第１投光装置２５の投光範囲である第１投光範囲Ａ１の上下方向Ｚの幅内に基準面Ｆが位置するように投光する。説明を加えると、図６に示すように、基準面Ｆが設定基準面位置Ｖにあり、且つ、基準面Ｆが幅方向第１側Ｙ１（図６における紙面奥側）へ向かうに従って下方へ向かうように傾斜している状態では、基準面Ｆにおける幅方向第２側Ｙ２（図６における紙面手前側）のエッジＥが、第１投光装置２５から投光された光と、当該光が昇降部７により遮られてできる影との境界として、第１撮像装置２３に撮像される。また、図８に示すように、基準面Ｆが設定基準面位置Ｖにあり、且つ、基準面Ｆが幅方向第２側Ｙ２（図８における紙面手前側）へ向かうに従って下方へ向かうように傾斜している状態では、基準面Ｆにおける幅方向第１側Ｙ１（図８における紙面奥側）のエッジＥが、第１投光装置２５から投光された光と、当該光が昇降部７により遮られてできる影との境界として、第１撮像装置２３に撮像される。

【0020】

第２投光装置２６は、第２撮像装置２４に対向する側から交点Ｐに向けて投光するように設置されている。本実施形態では、第２投光装置２６は、設定基準面位置Ｖに対して延在方向第１側Ｘ１に配置され、延在方向第２側Ｘ２に向けて投光するように設置されている。そして、第２投光装置２６は、基準面Ｆが設定基準面位置Ｖにある状態において、第２投光装置２６の投光範囲である第２投光範囲Ａ２の上下方向Ｚの幅内に基準面Ｆが位置するように投光する。説明を加えると、図７に示すように、基準面Ｆが設定基準面位置Ｖにあり、且つ、基準面Ｆが延在方向第１側Ｘ１（図７における紙面奥側）へ向かうに従って下方へ向かうように傾斜している状態では、基準面Ｆにおける延在方向第２側Ｘ２（図７における紙面手前側）のエッジＥが、第２投光装置２６から投光された光と、当該光が昇降部７により遮られてできる影との境界として、第２撮像装置２４に撮像される。また、図９に示すように、基準面Ｆが設定基準面位置Ｖにあり、且つ、基準面Ｆが延在方向第２側Ｘ２（図９における紙面手前側）へ向かうに従って下方へ向かうように傾斜している状態では、基準面Ｆにおける延在方向第１側Ｘ１（図９における紙面奥側）のエッジＥが、第２投光装置２６から投光された光と、当該光が昇降部７により遮られてできる影との境界として、第２撮像装置２４に撮像される。

【0021】

制御部２７は、第１撮像制御と第２撮像制御と検出制御とを実行する。第１撮像制御では、制御部２７は、第１撮像装置２３によって基準面Ｆを撮像するように第１撮像装置２３を制御する。また本実施形態では、制御部２７は、更に、第１撮像制御において、第１投光装置２５により基準面Ｆに向けて光を照射するように第１投光装置２５を制御する。第２撮像制御では、制御部２７は、第２撮像装置２４によって基準面Ｆを撮像するように第２撮像装置２４を制御する。また本実施形態では、制御部２７は、更に、第２撮像制御において、第２投光装置２６により基準面Ｆに向けて光を照射するように第２投光装置２６を制御する。なお、本実施形態では、制御部２７は、第１撮像制御と第２撮像制御とを同時に行う。これにより、検査システム４による検査の所要時間の短縮を図ることができる。検出制御では、制御部２７は、第１撮像装置２３及び第２撮像装置２４によって撮像された基準面Ｆの画像に基づいて、昇降部７の傾斜方向及び傾斜角度を検出する。

【0022】

本実施形態では、検出制御において、制御部２７は、第１撮像装置２３によって撮像された第１画像に含まれる基準面ＦのエッジＥの傾きに基づいて、延在方向Ｘ（第１光軸Ｌ１に直交する第１方向に相当）における、昇降部７の傾斜角度θ１及び傾斜方向を検出する。説明を加えると、検出制御では、制御部２７は、第１画像に含まれるエッジＥの傾きに基づいて、延在方向Ｘにおける水平に対する傾斜角度θ１及び傾斜方向を検出する。ここで、傾斜方向とは、延在方向Ｘのいずれの側に傾いて傾斜しているかのことであり、具体的には、延在方向第１側Ｘ１が延在方向第２側Ｘ２よりも上下方向Ｚにおける上であるか下であるかのことである。なお、傾斜角度θ１を正負の向きを有する角度情報とすることで、傾斜角度θ１の情報に傾斜方向の情報が含まれるようにしてもよい。

【0023】

また、検出制御において、制御部２７は、第２撮像装置２４によって撮像された第２画像に含まれる基準面ＦのエッジＥの傾きに基づいて、幅方向Ｙ（第２光軸Ｌ２に直交する第２方向に相当）における昇降部７の傾斜角度θ２及び傾斜方向を検出する。説明を加えると、検出制御では、制御部２７は、第２画像に含まれるエッジＥの傾きに基づいて、幅方向Ｙにおける水平に対する傾斜角度θ２及び傾斜方向を検出する。ここで、傾斜方向とは、幅方向Ｙのいずれの側に傾いて傾斜しているかのことであり、具体的には、幅方向第１側Ｙ１が幅方向第２側Ｙ２よりも上下方向Ｚにおける上であるか下であるかのことである。なお、傾斜角度θ２を正負の向きを有する角度情報とすることで、傾斜角度θ２の情報に傾斜方向の情報が含まれるようにしてもよい。

【0024】

そして、検出制御において、制御部２７は、延在方向Ｘにおける水平に対する傾斜角度θ１及び傾斜方向、及び、幅方向Ｙにおける水平に対する傾斜角度θ２及び傾斜方向に基づいて、昇降部７の三次元的な傾斜方向及び傾斜角度を検出する。ここでは、制御部２７は、延在方向Ｘにおける傾斜角度θ１及び傾斜方向と、幅方向Ｙにおける傾斜角度θ２及び傾斜方向と、延在方向Ｘ（第１方向）と幅方向Ｙ（第２方向）との関係（相対角度、ここでは９０°）とに基づいて、昇降部７の三次元的な傾斜方向及び傾斜角度を演算により求める。

【0025】

次に、図５に示す検査制御のフローチャートに基づいて、制御部２７の制御について説明する。尚、物品搬送車１、又は、物品搬送車１を制御する制御装置は、物品搬送車１の走行部６が規定の設定走行位置に停止し、物品搬送車１の昇降部７が規定の設定昇降位置に停止した状態で、検査システム４に向けて、準備完了信号を送信するように構成されている。

【0026】

制御部２７は、準備完了信号を受信した場合（Ｓ１：Ｙｅｓ）に、第１撮像制御を実行して第１画像を取得すると共に、第２撮像制御を実行して第２画像を取得する（Ｓ２）。なお、制御部２７は、準備完了信号を受信するまでは（Ｓ１：Ｎｏ）、そのまま待機する。そして、第１撮像制御及び第２撮像制御の実行後、検出制御を実行する（Ｓ３）。上記のとおり、検出制御では、第１画像に基づいて延在方向Ｘにおける基準面Ｆの傾斜角度θ１及び傾斜方向を検出し、第２画像に基づいて幅方向Ｙにおける基準面Ｆの傾斜角度θ２及び傾斜方向を検出し、これらに基づいて、昇降部７の傾斜方向及び傾斜角度を検出する（Ｓ３）。尚、制御部２７は、第１撮像制御及び第２撮像制御が完了した後に、物品搬送車１、又は、物品搬送車１を制御する制御装置に向けて、検査完了を示す検査完了信号を送信する。これにより、昇降部７の昇降及び物品搬送車１の走行が再開可能となる。

【0027】

２．その他の実施形態
次に、この検査システム４のその他の実施形態について説明する。

【0028】

（１）上記の実施形態では、基準面Ｆが筐体２０の上面である構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。基準面Ｆは、昇降部７における筐体２０の上面以外の面としてもよく、例えば、筐体２０の下面や側面を基準面Ｆとしてもよく、また、把持爪１８の下面を基準面Ｆとしてもよい。但し、いずれの場合でも、基準面Ｆとされる面は、平面或いは平面状の面であることが望ましい。

【0029】

（２）上記の実施形態では、検出部２２が、基準面ＦのエッジＥの傾きに基づいて傾斜角度を検出する構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、基準面Ｆに角度検出用の印や図形を設け、検出部２２が、第１撮像装置２３及び第２撮像装置２４によって撮像された基準面Ｆ上の印や図形の位置及び角度に基づいて傾斜角度及び傾斜方向を検出する構成としてもよい。

【0030】

（３）上記の実施形態では、検査システム４に第１投光装置２５と第２投光装置２６とを備える構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。検査システム４に備える投光装置の数は適宜変更してもよい。例えば、基準面Ｆに対向する側から投光するように第３投光装置２８を設けてもよい。例えば、図１０に示すように、筐体２０の下面を基準面Ｆとして、その基準面Ｆに対向する下方側から投光するように第３投光装置２８を設けてもよい。或いは、筐体２０の１つの側面を基準面Ｆとして、その基準面Ｆに対向する側方側から投光するように第３投光装置２８を設けてもよい。また、検査システム４が、これらの投光装置を備えない構成としてもよい。

【0031】

（４）上記の実施形態では、第１撮像装置２３及び第２撮像装置２４を、第１光軸Ｌ１と第２光軸Ｌ２とが直交するように設置する構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、第１撮像装置２３及び第２撮像装置２４を、第１光軸Ｌ１と第２光軸Ｌ２とが４５°や１２０°等、９０°以外の角度で交差するように設置してもよい。

【0032】

（５）上記の実施形態では、第１光軸Ｌ１と第２光軸Ｌ２とが交差する交点Ｐが、理想的な設定基準面位置Ｖにある基準面Ｆの基準位置に合致する構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。交点Ｐは、設定基準面位置Ｖに対応する位置にあればよく、例えば、交点Ｐが、第１光軸Ｌ１及び第２光軸Ｌ２に対して直交する方向（上記の実施形態では上下方向Ｚ）において、理想的な設定基準面位置Ｖにある基準面Ｆに対して、上述した規定の距離範囲内に設定された設定距離だけ離れた位置にある構成としてもよい。また上記の実施形態では、基準面Ｆの基準位置を、基準面Ｆの重心位置としたが、これに限定されず、例えば、基準面Ｆの基準位置を、基準面Ｆの隅部等、基準面Ｆの中における他の位置に設定してもよい。

【0033】

（６）上記の実施形態では、第１光軸Ｌ１及び第２光軸Ｌ２の双方が水平面に沿う方向である構成を例として説明した。これは、基準面Ｆが正常な状態で水平面に沿う面であるからである。しかし、このような構成に限定されない。例えば、第１光軸Ｌ１及び第２光軸Ｌ２のいずれか一方が上下方向Ｚに沿う構成であってもよい。基準面Ｆが上下方向Ｚに沿う面である場合には、このような構成とすると好適である。或いは、第１光軸Ｌ１及び第２光軸Ｌ２の一方又は双方が、水平面に対して傾斜した構成であってもよい。第１光軸Ｌ１及び第２光軸Ｌ２の方向は、基準面Ｆの方向に応じて設定されると好適である。

【0034】

（７）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0035】

３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した検査システムの概要について説明する。

【0036】

検査システムは、物品搬送車が昇降自在に備える昇降部の傾斜状態を検出する検出部を備え、
前記昇降部は、基準面を有し、前記検出部は、第１撮像装置と第２撮像装置とを備え、前記昇降部が規定の設定昇降位置にある状態における前記基準面の位置を設定基準面位置として、前記第１撮像装置の光軸である第１光軸と前記第２撮像装置の光軸である第２光軸とが交差する交点が、前記設定基準面位置に対応する位置となり、且つ、前記第１光軸及び前記第２光軸が前記基準面に沿う方向となるように、前記第１撮像装置及び前記第２撮像装置が設置され、前記検出部は、前記第１撮像装置及び前記第２撮像装置によって撮像された前記基準面の画像に基づいて、前記昇降部の傾斜方向及び傾斜角度を検出する。

【0037】

本構成によれば、第１撮像装置及び第２撮像装置によって交差する２方向から撮像した昇降部の基準面の画像に基づいて、昇降部の傾斜状態を検出するため、昇降部の傾斜方向及び傾斜角度を適切に検出することができる。また、この特徴構成によれば、物品搬送車の昇降部を規定の設定昇降位置に移動させ、その状態で、第１撮像装置及び第２撮像装置によって昇降部を撮像することで、昇降部の傾斜状態を検出することができるため、検出用治具等を昇降部に支持させる必要がない。そのため、複数の物品搬送車の昇降部の傾斜状態を検査する場合であっても、検査用治具等を複数の物品搬送車の間で移動させる必要がなく、昇降部の傾斜状態の検査を効率的に行うことができる。

【0038】

ここで、前記検出部は、前記第１撮像装置によって撮像された第１画像に含まれる前記基準面のエッジの傾きに基づいて、前記第１光軸に直交する方向である第１方向における前記昇降部の傾斜角度を検出し、前記第２撮像装置によって撮像された第２画像に含まれる前記基準面のエッジの傾きに基づいて、前記第２光軸に直交する方向である第２方向における前記昇降部の傾斜角度を検出すると好適である。

【0039】

本構成によれば、第１撮像装置及び第２撮像装置のそれぞれにより撮像される基準面のエッジの傾きに基づいて、第１方向における昇降部の傾斜角度と、第２方向における昇降部の傾斜角度と、の双方を検出することができる。そのため、昇降体の傾斜方向及び傾斜角度をより適切に検出することができる。

【0040】

また、前記第１撮像装置に対向する側から前記交点に向けて投光する第１投光装置と、前記第２撮像装置に対向する側から前記交点に向けて投光する第２投光装置と、を更に備えると好適である。

【0041】

本構成によれば、第１撮像装置から見て、第１投光装置によって基準面の周囲が照らされるため、第１撮像装置によって基準面とそれ以外との境界を判別し易い画像を撮影することができる。また、第２撮像装置から見て、第２投光装置によって基準面の周囲が照らされるため、第２撮像装置によって基準面とそれ以外との境界を判別し易い画像を撮影することができる。そのため、昇降体の傾斜方向及び傾斜角度より適切に検出することができる。

【0042】

また、前記基準面に対向する側から投光する第３投光装置を更に備えると好適である。

【0043】

本構成によれば、第３投光装置によって基準面が当該基準面に対向する側から照らされるため、第１撮像装置及び第２撮像装置によって基準面とそれ以外との境界を判別し易い画像を撮影することができる。そのため、昇降体の傾斜方向及び傾斜角度より適切に検出することができる。

【0044】

また、前記第１撮像装置及び前記第２撮像装置は、前記第１光軸と前記第２光軸とが直交するように設置されていると好適である。

【0045】

本構成によれば、第１撮像装置が撮像した画像に基づいて昇降部の傾斜角度を検出する方向と、第２撮像装置が撮像した画像に基づいて昇降部の傾斜角度を検出する方向と、が直交するため、これらの画像に基づいて昇降部の傾斜方向及び傾斜角度を求める場合の演算処理を簡略化し易くなる。

【産業上の利用可能性】

【0046】

本開示に係る技術は、物品搬送車が昇降自在に備える昇降部の傾斜状態を検出する検出部を備えた検査システムに利用することができる。

【符号の説明】

【0047】

１：物品搬送車
４：検査システム
７：昇降部
２２：検出部
２３：第１撮像装置
２４：第２撮像装置
２５：第１投光装置
２６：第２投光装置
２８：第３投光装置
Ｅ：エッジ
Ｆ：基準面
Ｌ１：第１光軸
Ｌ２：第２光軸
Ｐ：交点
Ｖ：設定基準面位置
Ｘ：延在方向（第１方向）
Ｙ：幅方向（第２方向）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】