特許7192757エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法並びにＸ線検出センサ

発明の名称　エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法並びにＸ線検出センサ

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 880 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 425 位（20件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7192757

公報発行日　2022年12月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7192757

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