特許 7192814出願番号 特願 2020-43006
基板加工方法および構造体
出願人 株式会社村田製作所（識別番号 6231）
2026年 特許公開件数ランキング 57位 333件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 35位 437件（※）
公報発行日 2022年12月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7192814 ログイン済みの方はこのURLへ
［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。
※ 共同出願を含む
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。 ログインはこちら ログイン・ユーザー登録
技術分野
基板をレーザ加工する基板加工方法およびその方法によって作製された構造体
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献１に記載された基板加工方法の場合、キャリアシートの材料によっては、レーザ光によってキャリアシートが熱変形し、個別基板とキャリアシートが部分的に離れる可能性がある。このような状態でキャリアシートを搬送すると、その搬送中に個別基板がキャリアシートから脱落する可能性がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
技術的課題を解決するために、本発明の一態様によれば、
基板をレーザ加工する基板加工方法であって、
キャリアシート上に紫外線吸収層を設け、
前記紫外線吸収層上に接着層を設け、
前記接着層上に前記基板を配置し、
前記接着層と接触する表面に対して反対側の前記基板の表面に紫外線レーザ光を照射し、前記基板を貫通する溝を形成する、基板加工方法が提供される。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、キャリアシート上で基板をレーザ加工する場合において、レーザ光によるキャリアシートの熱変形を抑制することができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)
この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一実施の形態に係る基板加工方法におけるレーザ加工実行前の集合基板を示す断面図
【図2】
レーザ加工実行後の集合基板を示す断面図
【図3】
比較例の基板加工方法における、レーザ加工実行後の集合基板の断面図
代表図 図1本件の代表的な図
１０ 基板（集合基板）
１０ａ 表面
１２ キャリアシート
１４ 紫外線吸収層
１６ 接着層
Ｌ レーザ光（紫外線レーザ光）
全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録
［広告欄］
ログインすれば広告は減ります
ログインすれば広告は減ります