特許 7193971 基板保持装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-13

(45)【発行日】2022-12-21

(54)【発明の名称】基板保持装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20221214BHJP

   B25J 15/00 20060101ALI20221214BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 D

B25J15/00 Z

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2018189767

(22)【出願日】2018-10-05

(65)【公開番号】P2020061400

(43)【公開日】2020-04-16

【審査請求日】2021-09-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000000974

【氏名又は名称】川崎重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000556

【氏名又は名称】特許業務法人 有古特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】福島 崇行

【審査官】渡井 高広

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－１３０２５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０９１２７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６３－０７９３４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６３－１０５３３４（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ １５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

各基板の間隔を最小間隔である第１ピッチ又は最大間隔である第２ピッチに変更する基板保持装置であって、
複数の基板保持体と、
前記複数の基板保持体の各々に対応して各前記基板保持体を一方向に並ぶように支持する支持部と、
複数の前記支持部のうち前記一方向の一方側の端に配置された支持部に接続され、当該支持部を前記一方向の一方側および他方側に移動させる駆動装置と、を備え、
前記端に配置された支持部が前記駆動装置により前記一方向の一方側に移動された場合には、一の前記支持部に隣り合う他の前記支持部は、前記一の支持部と前記他の支持部との間隔が前記第２ピッチになった際に前記一の支持部に引っ張られて移動するように構成されており、
前記端に配置された支持部が前記駆動装置により前記一方向の他方側に移動された場合には、前記他の前記支持部は、前記一の支持部と前記他の支持部との間隔が前記第１ピッチになった際に前記一の支持部に押下されて移動するように構成されている、基板保持装置。

【請求項2】

前記一の支持部には係合部が設けられ、
前記端に配置された支持部が前記駆動装置により前記一方向の一方側に移動される際には、前記他の支持部は、前記一の支持部と前記他の支持部との間隔が前記第２ピッチになった際に前記一の支持部の前記係合部が前記他の支持部に係合することで前記移動を行うように構成されている、請求項１に記載の基板保持装置。

【請求項3】

前記一の支持部の前記係合部は、前記一方向の一方側に移動する際に前記他の支持部に引っ掛かるフック状に形成されており、
前記一の支持部と共に前記他の支持部を挟む別の前記一の支持部には、前記一の支持部が前記一方向の他方側に移動する際の干渉を回避するための切り欠きが設けられている、請求項２に記載の基板保持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シリコンウェハ等の基板を保持する基板保持装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体等の処理工程においてシリコンウェハ等の複数の基板がその厚み方向に所定の第１ピッチで並ぶように収納されているフープから、これらの基板を第２ピッチで収納するボートに移送することができる基板保持装置が知られている（例えば特許文献１参照）。前後の処理工程における必要性から第２ピッチは第１ピッチと異なるものであり、上記基板保持装置は基板の移送の際に、ピッチを変更して移送するように構成されている。

【0003】

特許文献１の基板保持装置においては、５枚の基板の間隔を変更するピッチ変換機構部３が設けられている。詳細には、基板を保持するエンドエフェクタの一端にエンドエフェクタ取付用板がそれぞれ取り付けられており、各エンドエフェクタ取付用板はピッチ変換用シリンダに連結されている。このような構成において、ピッチ変換用シリンダの伸縮動作によって、エンドエフェクタ取付用板を基板の厚み方向に往復動させることができるので、エンドエフェクタの間隔、つまり基板のピッチが変更されるようになっている。なお、ピッチは広ピッチおよび狭ピッチの２段階に変更される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００６－３１３８６５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記特許文献１の基板保持装置では、５枚の基板のピッチを変更することはできるものの、例えば１０枚や２０枚の基板のピッチを変更しようとする場合、それを実現する駆動力を上記ピッチ変換用シリンダのみに担わせる必要がある。そのため、ピッチ変換用シリンダの大きさが著しくなってしまい、構造が複雑化すると共に重量が上昇し、コストも上がる。

【0006】

そこで、本発明は、コンパクトに構成され、低コスト化を実現することができる基板保持装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の基板保持装置は、各基板の間隔を最小間隔である第１ピッチ又は最大間隔である第２ピッチに変更する基板保持装置であって、複数の基板保持体と、前記複数の基板保持体の各々に対応して各前記基板保持体を一方向に並ぶように支持する支持部と、複数の前記支持部のうち前記一方向の一方側の端に配置された支持部に接続され、当該支持部を前記一方向の一方側および他方側に移動させる駆動装置と、を備え、前記端に配置された支持部が前記駆動装置により前記一方向の一方側に移動された場合には、一の前記支持部に隣り合う他の前記支持部は、前記一の支持部と前記他の支持部との間隔が前記第２ピッチになった際に前記一の支持部に引っ張られて移動するように構成されており、前記端に配置された支持部が前記駆動装置により前記一方向の他方側に移動された場合には、前記他の前記支持部は、前記一の支持部と前記他の支持部との間隔が前記第１ピッチになった際に前記一の支持部に押下されて移動するように構成されているものである。

【0008】

本発明に従えば、前記端に配置された支持部が駆動装置により一方向の一方側に移動された場合には、一の支持部に隣り合う他の支持部を、一の支持部と他の支持部との間隔が第２ピッチになった際に一の支持部に引っ張らせて移動させることができる。具体例を挙げると、駆動装置により１番上の支持部が上昇すると、そのフックが２番目の支持部に引っ掛かるので２つの支持部が一緒に上昇し出す。２番目の支持部が上昇すると、そのフックが３番目の支持部に引っ掛かり３つの支持部が一緒に上昇し出す。このように次々と下段の支持部が連鎖して上昇し、最終的には全ての支持部のピッチが第２ピッチ（最大間隔）となる。

【0009】

一方、前記端に配置された支持部が駆動装置により一方向の他方側に移動される場合には、他の前記支持部を、一の支持部と他の支持部との間隔が前記第１ピッチになった際に一の支持部に押下させて移動させることができる。具体例を挙げると、駆動装置により１番上の支持部が下降すると、２番目の支持部に接触して当該２番目の支持部を押下するため、２番目の支持部も下降する。そして、２番目の支持部が下降すると、３番目の支持部に接触して当該３番目の支持部を押下するため、３番目の支持部も下降する。このように次々と下段の支持部が連鎖して下降し、最終的には全ての支持部のピッチが第１ピッチ（最小間隔）となる。

【0010】

以上の構成によって、複数の支持部のピッチを変更するための駆動力を１つの駆動装置にのみ担わせる必要がなくなる。これによって、駆動装置の大型化を回避することができる。これに伴って、基板保持装置をコンパクトに構成することができ、当該基板保持装置の低コスト化を実現することが可能となる。

【0011】

上記発明において、前記一の支持部には係合部が設けられ、前記端に配置された支持部が前記駆動装置により前記一方向の一方側に移動される際には、前記他の支持部は、前記一の支持部と前記他の支持部との間隔が前記第２ピッチになった際に前記一の支持部の前記係合部が前記他の支持部に係合することで前記移動を行うように構成されていてもよい。

【0012】

上記構成に従えば、簡易な構成により、各支持部を連鎖させて一方向の一方側および他方側に移動させることが可能となる。

【0013】

上記発明において、前記一の支持部の前記係合部は、前記一方向の一方側に移動する際に前記他の支持部に引っ掛かるフック状に形成されており、前記一の支持部と共に前記他の支持部を挟む別の前記一の支持部には、前記一の支持部が前記一方向の他方側に移動する際の干渉を回避するための切り欠きが設けられていることが好ましい。

【0014】

上記構成に従えば、上記切り欠きが設けられていることで、一の支持部が一方向の他方側に移動する際に、上記別の一の支持部に対する干渉が生じることを防止することができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、コンパクトに構成され、低コスト化を実現することができる基板保持装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の一実施形態に係る基板保持装置を含む基板搬送システムの構成を示す図である。

【図2】各基板保持体を支持する各支持部の構成を示す斜視図である。

【図3】（ａ）は各支持部の間隔が第２ピッチとなった状態を示す図であり、（ｂ）は各支持部の間隔が第１ピッチとなった状態を示す図である。

【図4】基板を把持するための構成を示す斜視図である。

【図5】各支持部の変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の一実施形態に係る基板保持装置について図面を参照して説明する。以下に説明する基板保持装置は、本発明の一実施形態に過ぎない。従って、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除および変更が可能である。

【0018】

図１は基板保持装置１００を含む基板搬送システム１の構成を示す図である。

【0019】

基板搬送システム１において搬送される基板としては、半導体ウエハ、半導体プロセスによって処理される薄型ディスプレイ（液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等）用のガラス基板が例示される。半導体ウエハとして、シリコンウェハ、シリコンカーバイドウェハ、サファイアウェハ等が例示される。

【0020】

基板搬送システム１は、基板を搬送するものであれば特に限定されない。基板搬送システム１は、例えば、半導体製造ラインにおいてシリコンウェハ基板をフープ２からボート３に搬送するものである。本実施形態の基板搬送システム１は、フープ２に収納されている円形の基板を搬出し、この基板をボート３に搬入する。フープ２には基板の搬入搬出を行うための開口部２ａが形成され、ボート３にも基板の搬入搬出を行うための開口部３ａが形成されている。フープ２およびボート３は、これらの開口部２ａ，３ａが互いに対向するように配置されている。フープ２は、基板がピッチＰ１で鉛直方向に並ぶように当該基板を収納する。ボート３は、基板が第１ピッチＰ１よりも小さいピッチＰ２で鉛直方向に並ぶように当該基板を収納する。

【0021】

基板搬送システム１は、先端に基板保持装置１００が取り付けられ、フープ２に収納されている基板をボート３に移送するロボット４と、このロボット４を昇降させる昇降台５と、基板保持装置１００を含むロボット４および昇降台５を制御する図略の制御部とを備えている。

【0022】

ロボット４は、例えば産業用ロボットであり、このアームの先端部に基板保持装置１００が装着されている。本実施形態において、ロボット４は、いわゆる水平多関節式ロボットであり、水平面内においてそのアームが動作する。ロボット４は、周知の水平多関節式ロボットで構成することができるため、これ以上の説明を省略する。

【0023】

基板保持装置１００は、図２に示すように、上下方向（一方向）に並べられた５つの基板保持体１０ａ～１０ｅと、これらの基板保持体１０ａ～１０ｅの基端部を支持する支持機構１２とを備えている。なお、以下では、便宜上、基板保持体１０ａ～１０ｅの基端部側から先端側に向かう方向を前方と記載し、その反対方向を後方と記載する。

【0024】

基板保持体１０ａ～１０ｅは、板状に形成され、前側が開口するＵ字状に形成されている。但し、基板保持体１０ａ～１０ｅの形状はこれに限定されるものではない。また、基板保持体１０ａ～１０ｅの基端部には切り欠き１１が設けられている。さらに、基板保持体１０ａ～１０ｅの上面には、当該上面に固定され、後述の可動保持部材２４（図４）と共に基板を把持する２つの固定保持部材（図略）が設けられている。可動保持部材２４および固定保持部材は周知なものであるため、これ以上の説明を省略する。

【0025】

支持機構１２は、上述の通り基板保持体１０ａ～１０ｅを支持すると共に、各基板保持体１０ａ～１０ｅが並ぶ方向（つまり上下方向）の基板保持体１０ａ～１０ｅの各間隔を変更するものである。本実施形態では、基板保持体１０ａ～１０ｅの各間隔は、最終的には、最小間隔である第１ピッチおよび最大間隔である第２ピッチの何れかに変更される。

【0026】

支持機構１２は、基板保持体１０ａ～１０ｅの各々に対応して設けられて基板保持体を支持する支持部５０ａ～５０ｅと、上段に位置する支持部５０ｅに接続されて当該支持部５０ｅを上下方向に移動させる駆動ベルト２３と、駆動ベルト２３を移動可能に支持する一対の駆動軸２２（図２下方の駆動軸は図略）とを有している。詳細は後で述べるが、駆動ベルト２３により支持部５０ｅが上下方向に移動すると、これに伴って、支持部５０ｄ～５０ａも上下方向に移動するようになっている。一対の駆動軸２２のうち上記図略の駆動軸には当該駆動軸を回転させるための駆動モータ（図略）が連結されている。駆動モータの動作により一対の駆動軸２２が回転して駆動ベルト２３が回るようになっており、これにより支持部５０ｅが上下方向に移動する。駆動軸２２、駆動ベルト２３および上記駆動モータが駆動装置に相当する。また、支持部５０ｅの側方には駆動軸２２を回転可能に支持する支持壁２０が設けられている。この支持壁２０には、支持部５０ｅの上限位置を規制するための一対のガイド２１が設けられている。

【0027】

支持部５０ａ～５０ｅは、厚板状に形成され、基板保持体１０ａ～１０ｅの延在方向と平行に延在するように配置されている。支持部５０ａ～５０ｅの後端には、フック状に形成された係合部５１ａ～５１ｅが設けられている。係合部５１ａ～５１ｅの本体部分は上下方向に延在し、爪部分は前方に突出している。

【0028】

また、各係合部の配置については、係合部同士の干渉を防止するため、以下のように設定されている。すなわち、係合部５１ｄは係合部５１ｅに対して前後方向と直交する方向の一方側にずれて配置され、同様に、係合部５１ｃは係合部５１ｄに対して前後方向と直交する方向の一方側にずれて配置されている。一方、係合部５１ｂは係合部５１ｃに対して前後方向と直交する方向の他方側にずれて配置、つまり係合部５１ｂは係合部５１ｅの直下に配置されている。また、係合部５１ａは係合部５１ｂに対して前後方向と直交する方向の一方側にずれて配置されている。

【0029】

また、支持部５０ｄの後端の少なくとも一部は、係合部５１ｅの爪部分の上面が支持部５０ｄの下面に当接可能な位置（係合可能な位置）まで延在している。以下同様に、支持部５０ｃの後端の少なくとも一部は、係合部５１ｄの爪部分の上面が支持部５０ｃの下面に当接可能な位置まで延在している。支持部５０ｂの後端の少なくとも一部は、係合部５１ｃの爪部分の上面が支持部５０ｂの下面に当接可能な位置まで延在している。支持部５０ａの後端の少なくとも一部は、係合部５１ｂの爪部分の上面が支持部５０ａの下面に当接可能な位置まで延在している。なお、一の支持部の係合部が係合するものが他の支持部に相当する。例えば、支持部５０ｄは、支持部５０ｅの係合部５１ｅが係合するので、一の支持部である支持部５０ｅに対する他の支持部であるが、それだけではなく、当該支持部５０ｄの係合部５１ｄが支持部５０ｃに係合するので、他の支持部である支持部５０ｃに対しては、一の支持部ということになる。

【0030】

ここで、支持部５０ｃの後端には、支持部５０ｅの係合部５１ｅが下方に移動する際の干渉を回避するための切り欠き５２ｅが設けられている。以下同様に、支持部５０ｂの後端には、支持部５０ｄの係合部５１ｄが下方に移動する際の干渉を回避するための切り欠き５２ｄが設けられている。支持部５０ａの後端には、支持部５０ｃの係合部５１ｃが下方に移動する際の干渉を回避するための切り欠き５２ｃが設けられている。

【0031】

以上のような構成において、基板保持体１０ａ～１０ｅの各間隔を第２ピッチ（最大間隔）に設定する場合には、駆動ベルト２３により支持部５０ｅを上方に移動させる。これにより、一の支持部と他の支持部とは、一の支持部と他の支持部との間隔を第１ピッチ（最小間隔）から第２ピッチの間で変化させながら最終的に第２ピッチとなる位置まで移動する。詳細には、駆動ベルト２３の動作により支持部５０ｅが上方に動き出すと、その途中で支持部５０ｅの係合部５１ｅが支持部５０ｄの後端に係合するため、支持部５０ｄも上昇する。そして、支持部５０ｄが動き出すと、支持部５０ｄの係合部５１ｄが支持部５０ｃの後端に係合するため、支持部５０ｃも上昇する。同様にして、支持部５０ｂ，５０ａも上昇する。以上の次第で、図３（ａ）に示すように、次々と支持部が連鎖して上昇する構成になっており、最終的には全ての基板保持体の間隔が第２ピッチとなる。

【0032】

これに対して、基板保持体１０ａ～１０ｅの各間隔を第１ピッチに設定する場合には、駆動ベルト２３により支持部５０ｅを下方に移動させる。これにより、一の支持部と他の支持部とは、一の支持部と他の支持部との間隔を第１ピッチから第２ピッチの間で変化させながら最終的に第１ピッチとなる位置まで移動する。詳細には、駆動ベルト２３の動作により支持部５０ｅが下方に動き出すと、その途中で支持部５０ｅが支持部５０ｄに接触して当該支持部５０ｄを押下するため、支持部５０ｄも下降する。そして、支持部５０ｄが動き出すと、支持部５０ｄが支持部５０ｃに接触して当該支持部５０ｃを押下するため、支持部５０ｃも下降する。同様にして、支持部５０ｂ，５０ａも下降する。以上の次第で、図３（ｂ）に示すように、次々と支持部が連鎖して下降する構成になっており、最終的には全ての基板保持体の間隔が第１ピッチとなる。

【0033】

続いて、基板の把持および基板の把持を解放する構成について説明する。

【0034】

基板保持装置１００は、図４に示すように、可動体１６、付勢部材１８、および押し戻し部材６０を備えている。可動体１６は、前後方向に延びる棒状の本体部１６ａと、この本体部１６ａに設けられて本体部１６ａが延びる方向と直交する方向に延びる棒状のレバー部１６ｂとを有している。支持部５０ａ～５０ｅには、可動体１６の本体部１６ａを案内するガイド溝５７が形成されている。このガイド溝５７は各支持部の前端から内側に向けて当該支持部の肉厚部分が切り欠かれて形成されている。

【0035】

本体部１６ａの後端部はガイド溝５７内に配置され、本体部１６ａはガイド溝５７に案内されて基板を把持する位置に向かう方向、および基板を把持する位置から離れる方向に移動する。本体部１６ａの前端は可動保持部材２４の後端に取り付けられている。これにより、可動保持部材２４は可動体１６と共に前後方向に移動するようになっている。また、レバー部１６ｂは、後述するように押し戻し部材６０によって後方に押し戻される。

【0036】

付勢部材１８は可動体１６を前方に向けて付勢する。これにより、可動保持部材２４が基板に接触してこの基板を押圧把持する。付勢機構１８としては、例えば圧縮コイルを用いることができる。なお、この場合、押し戻し部材６０は切り欠き１１内においてレバー部１６ｂに接触しない位置に退避される。

【0037】

支持部５０ａ～５０ｅは、レバー部１６ｂの移動を規制するストッパ６を備えている。ストッパ６は、支持部５０ａ～５０ｅの前面から前方に突出するように側面視Ｌ字状に形成され、レバー部１６ｂと当接するように配設される。このような構成において、基板保持体上に基板が配置されていない場合には、可動体１６は、基板を把持する位置よりもさらに前方に移動し、レバー部１６ｂがストッパ６に当接するため、可動体１６のそれ以上の前方への移動が規制されている。

【0038】

一方、基板の把持を解放する場合は次の通りである。押し戻し部材６０は、シリンダ等のアクチュエータの動作によって切り欠き１１内において前後方向に移動可能に構成されている。アクチュエータの動作により押し戻し部材６０が後方に移動することで、当該押し戻し部材６０がレバー部１６ｂに当接し、その後レバー部１６ｂが付勢部材１８の付勢力に抗して後方に移動する。これに伴って、可動保持部材２４が後方に移動することで、基板の把持が解放される。

【0039】

以上のように、本実施形態の基板保持装置１００によれば、駆動ベルト２３により１段目の支持部５０ｅが上昇すると、その係合部５１ｅが２段目の支持部５０ｄに引っ掛かるので２つの支持部５０ｅ，５０ｄが一緒に上昇し出す。さらに１段目の支持部５０ｅを上昇させると２段目の支持部５０ｄの係合部５１ｄが３段目の支持部５０ｃに引っ掛かり３つの支持部５０ｅ，５０ｄ，５０ｃが一緒に上昇し出す。このように次々と下段の支持部が連鎖して上昇し、最終的には全ての支持部の間隔が第２ピッチとなる。

【0040】

一方、駆動ベルト２３により１段目の支持部５０ｅが下降すると、１段目の支持部５０ｅが２段目の支持部５０ｄに接触して当該２段目の支持部５０ｄを押下するため、２段目の支持部５０ｄも下降する。そして、２段目の支持部５０ｄが下降すると、２段目の支持部５０ｄが３段目の支持部５０ｃに接触して当該３段目の支持部５０ｃを押下するため、３段目の支持部５０ｃも下降する。このように次々と下段の支持部が連鎖して下降し、最終的には全ての支持部の間隔が第１ピッチとなる。

【0041】

このような構成によって、複数の支持部のピッチを変更するための駆動力を１つの駆動装置にのみ担わせる必要がなくなるため、当該駆動装置の大型化を回避することができる。これに伴って、基板保持装置１００をコンパクトに構成でき、当該基板保持装置１００の低コスト化を実現することができる。

【0042】

（他の実施形態）
図５は支持部の変形例を示す図である。図５に示すように、支持部７０ｅ，７０ｄ，７０ｃは、他の部分よりも厚みのある押下部７１ｅ，７１ｄ，７１ｃをそれらの後端に備えている。隣り合う押下部同士は、紐などで構成される接続部材７２により連結されている。押下部同士が接触している状態で、接続部材７２は弛みを有している。つまり、押下部が移動すると、接続部材７２の上下方向（一方向）における長さが変化するようになっている。なお、図５では３段の支持部を例示しているが、支持部の段数はこれに限られるものではない。

【0043】

このような構成において、駆動ベルト２３により上段の支持部７０ｅが上昇すると、支持部７０ｄが接続部材７２を介して引っ張られて上昇する。支持部７０ｄが上昇すると、支持部７０ｃが接続部材７２を介して引っ張られて上昇する。このように、一の支持部と他の支持部との間隔が第１ピッチと第２ピッチとの間で変化しながら、次々と下段の支持部が連鎖して上昇し、最終的には全ての支持部の間隔が第２ピッチとなるようになっている。一方、駆動ベルト２３により上段の支持部７０ｅが下降すると、支持部７０ｄが支持部７０ｅの押下部７１ｅに押下されて下降する。支持部７０ｄが下降すると、支持部７０ｃが支持部７０ｄの押下部７１ｄに押下されて下降する。このように、一の支持部と他の支持部との間隔が第１ピッチと第２ピッチとの間で変化しながら、次々と下段の支持部が連鎖して下降し、最終的には全ての支持部の間隔が第１ピッチとなるようになっている。

【0044】

このような構成によって、上記実施形態と同様に、複数の支持部のピッチを変更するための駆動力を１つの駆動装置にのみ担わせる必要がなくなるため、当該駆動装置の大型化を回避することができる。これに伴って、基板保持装置１００をコンパクトに構成でき、当該基板保持装置１００の低コスト化を実現することができる。

【0045】

この他にも、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で次のような種々の変形も可能である。

【0046】

上記実施形態では、基板保持体の段数、つまり支持部の段数を５段（支持部５０ａ～５０ｅ）として構成したが、段数はこれに限定されるものではなく、例えば１０段や２０段の支持部を設けて構成してもよい。

【0047】

また、上記実施形態では、上段の支持部５０ｅを上下方向に移動させる駆動装置として、駆動ベルト２３を用いたが、駆動装置の構成はこれに限定されるものではなく、例えばシリンダ等の他の駆動装置を採用してもよい。

【0048】

さらに、上記実施形態では、Ｕ字状に形成された基板保持体を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば矩形状に形成された基板保持体や円形状に形成された基板保持体を採用することができる。

【符号の説明】

【0049】

１０ａ～１０ｅ 基板保持体
２２ 駆動軸
２３ 駆動ベルト
５０ａ～５０ｅ 支持部
５１ａ～５１ｅ 係合部
５２ｃ，５２ｄ，５２ｅ 切り欠き
７０ｃ～７０ｅ 支持部
７２ 接続部材
１００ 基板保持装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】