特許7194053イオン生成装置およびイオン注入装置

発明の名称　イオン生成装置およびイオン注入装置

出願人　株式会社ＳＥＮ　（識別番号 183196）

　　　　特許公開件数ランキング 4822 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7194053

公報発行日　2022年12月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7194053

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