特許 7194630出願番号 特願 2019-69234
モデルガス応答特性検査装置及びモデルガス応答特性検査方法
出願人 日本碍子株式会社（識別番号 4064）
2026年 特許公開件数ランキング 255位 101件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 112位 172件（※）
公報発行日 2022年12月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7194630 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
モデルガス応答特性検査装置及びモデルガス応答特性検査方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ところで、ＮＯｘセンサ等のガスセンサの動特性評価には、応答測定が必要である。応答測定は排気ガス中のＮＯｘ濃度の変化とセンサの出力の追随性を評価する測定である。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の第１の態様は、検査対象が装着されたチャンバに、モデルガス生成装置から所定のモデルガスを供給して前記検査対象の応答特性を検査するモデルガス応答特性検査装置であって、前記モデルガス生成装置は、複数のガス供給源と、各前記ガス供給源に対応して接続された複数の開閉器と、各前記ガス供給源に対応して接続され、それぞれ流量が異なる複数の流量固定ノズルと、複数の前記ガス供給源からの複数種のガスを混合す・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明に係るモデルガス応答特性検査装置及びモデルガス応答特性検査方法によれば、目的のガス濃度以外の環境変化なしに、当該目的のガス濃度の変化を短時間に起こすことができ、ガスセンサ等の動特性を検査する上で好適である。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本モデルガス応答特性検査装置及びモデルガス応答特性検査方法に供されるセンサ素子の一例を示す断面図である。
【図2】
本モデルガス応答特性検査装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図3】
比較例に係るモデルガス応答特性検査装置を示すブロック図である。
【図4】
流量調整器（マスフローコントローラ）の流量による精度の違いを示すグラフである。
【図5】
比較例に係るモデルガス応答特性検査装置を使用した場合の設定濃度に対する各ガスの濃度精度誤差、混合ガスの精度誤差を示す表１である。
【図6】
実施例に係るモデルガス応答特性検査装置を使用した場合の設定濃度に対する各ガスの濃度精度誤差、混合ガスの精度誤差を示す表２である。
【図7】
実施例、比較例１及び２によるガスセンサの応答性能検査の評価結果を示す表３である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０…検査装置
１２…ガスセンサ
１４…センサ素子
１００…チャンバ
１０２…モデルガス生成装置
１０４Ａ…第１ガス供給源
１０４Ｂ…第２ガス供給源
１０４Ｃ…第３ガス供給源
１０６ａ～１０６ｄ…第１開閉器
１０８ａ～１０８ｄ…第２開閉器
１１０ａ～１１０ｄ…第３開閉器
１１２ａ～１１２ｄ…第１流量固定ノズル
１１４ａ～１１４ｄ…第２流量固定ノズル
１１６ａ～１１６ｄ…第３流量固定ノズル
１２０…混合器
１２２…流量固定ノズル
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