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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-12-15
(45)【発行日】2022-12-23
(54)【発明の名称】環境試験室、及び、空気調和システム
(51)【国際特許分類】
G01N 17/00 20060101AFI20221216BHJP
F24F 13/02 20060101ALI20221216BHJP
【ＦＩ】
G01N17/00
F24F13/02 D
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2018198731
(22)【出願日】2018-10-22
(65)【公開番号】P2020067306
(43)【公開日】2020-04-30
【審査請求日】2021-06-22
(73)【特許権者】
【識別番号】595145050
【氏名又は名称】株式会社日立プラントサービス
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】田中 真
(72)【発明者】
【氏名】杉谷 悟
(72)【発明者】
【氏名】山田 剛史
【審査官】原 泰造
(56)【参考文献】
【文献】特開平０３－０７５５４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６１－０８９４２８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－２９４６６４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－００３１０７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ １７／００
Ｆ２４Ｆ １３／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口と、
前記供給口に対向配置され、前記空調空気が排出される排出口と、
前記供給口と前記排出口との間に配置され、前記空調空気が通る流路部と、
前記流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部と、
前記流路部の側壁面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する整流部材と、を備え、
前記流路部の側壁面と前記整流部材は、前記供給口から前記排出口に向かって流れる前記空調空気の気流方向と平行になるように配置され、
前記整流部材は、展開及び収納が可能なカーテンで構成され、
前記流路部の天井面には、前記カーテンを吊るす吊下げ部材をはめ込んで滑らせるカーテンレールが設けられ、
前記流路部の床面には、前記カーテンを固定するフック部が設けられている
ことを特徴とする環境試験室。
【請求項2】
所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口と、
前記供給口に対向配置され、前記空調空気が排出される排出口と、
前記供給口と前記排出口との間に配置され、前記空調空気が通る流路部と、
前記流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部と、
前記流路部の側壁面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する整流部材と、を備え、
前記流路部の側壁面と前記整流部材は、前記供給口から前記排出口に向かって流れる前記空調空気の気流方向と平行になるように配置され、
前記流路部の天井面と前記設置部との間に配置された別の整流部材を備え、
前記別の整流部材は、前記空調空気の気流方向と平行になるように配置されており、
前記別の整流部材の素材として、輻射断熱材が用いられている
ことを特徴とする環境試験室。
【請求項3】
請求項２に記載の環境試験室において、前記別の整流部材は、板状の物で構成されており、スペーサを介して前記流路部の天井面に取り付けられている
ことを特徴とする環境試験室。
【請求項4】
請求項２に記載の環境試験室において、前記別の整流部材は、布状の物で構成されており、吊下げ固定部材によって前記流路部の天井面に取り付けられている
ことを特徴とする環境試験室。
【請求項5】
所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口と、
前記供給口に対向配置され、前記空調空気が排出される排出口と、
前記供給口と前記排出口との間に配置され、前記空調空気が通る流路部と、
前記流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部と、
前記流路部の側壁面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する整流部材と、を備え、
前記流路部の側壁面と前記整流部材は、前記供給口から前記排出口に向かって流れる前記空調空気の気流方向と平行になるように配置され、
前記整流部材は、前記設置部の両側壁面と天井面とを囲むように、正面視で逆Ｕ時状に配置されている
ことを特徴とする環境試験室。
【請求項6】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の環境試験室において、前記整流部材の上端部と前記流路部の天井面との間、及び、前記整流部材の下端部と前記流路部の床面との間に、隙間が設けられている
ことを特徴とする環境試験室。
【請求項7】
請求項２乃至請求項５のいずれか一項に記載の環境試験室において、前記整流部材は、展開及び収納が可能なカーテンで構成されている
ことを特徴とする環境試験室。
【請求項8】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の環境試験室において、前記整流部材の素材として、輻射断熱材が用いられている
ことを特徴とする環境試験室。
【請求項9】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の環境試験室と、前記環境試験室の排出口から排出された空調空気を前記環境試験室の供給口に戻す循環流路と、
前記循環流路に設けられ、前記空調空気を送風する送風機と、
前記循環流路に設けられ、前記空調空気を加熱するヒータと、
前記環境試験室の供給口付近に設けられ、前記空調空気を予め設定された設定空気温度まで加熱する蓄熱体と、を備える
ことを特徴とする空気調和システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、環境試験室、及び、空気調和システムに関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、天文観測のための光学機器は、レンズの表面形状や構造体寸法についてナノメートル（ｎｍ）オーダーの高精度な測定が必要である。その測定方法として、レーザー干渉計等の光学測定機器による光学測定が一般に用いられる。
【0003】
しかしながら、大気圧環境下でレーザー干渉計を使用する場合に、大気の温度や湿度、圧力等のゆらぎによるばらつきが測定に影響を与えることが知られている（例えば、非特許文献１参照）。そのため、高精度な光学測定を行う際は、光路空間を真空にして、大気の温度や湿度、圧力等のゆらぎの影響を無くした状態で測定することが一般的である（例えば、非特許文献２参照）。
【0004】
また、大気圧環境下で高精度な測定を行うために、空調制御によって測定環境を安定化させることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。光学機器の測定では、例えば特許文献１に記載された局所空間を環境試験室とし、測定対象物（試験対象）や光学測定機器を環境試験室に設置して光学測定を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００７－００３１０７号公報
【非特許文献】
【0006】
【文献】赤津利雄著「精密位置決め用変位センサーの現状と問題点」、掲載誌「光学」、第２２巻第６号、掲載ページ３２９～３３４、１９９３年６月
【文献】寺田聡一著「長さ標準：レーザー測長における真空および大気の影響」、掲載誌「Journal of the Vacuum Society of Japan」、第５２巻第６号、掲載ページ３４７～３５０、２００９年７月１５日
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
大気（空気）の温度や湿度、圧力等にゆらぎがあると、空気の屈折率が変動して、光学測定のばらつきが発生する可能性がある。従来の環境試験室は、高精度な光学測定を行うために、大気の温度や湿度、圧力等のゆらぎを抑制すること（つまり、大気を安定化させること）を考慮するものであった。しかしながら、本発明の発明者は、大気の温度や湿度、圧力等でなく、環境試験室内に設置される測定対象物（試験対象）や光学測定機器に温度のゆらぎがあると、これらの表面形状や構造体寸法が変動して、光学測定のばらつきが発生する可能性があることを解明した。そして、従来の環境試験室は、測定対象物や光学測定機器の温度のゆらぎを抑制することを考慮していないものであった。このような従来の環境試験室は、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことが困難であった。なお、測定対象物や光学測定機器の温度のゆらぎは、例えば、環境試験室の内部の熱対流からの熱伝達や、壁や床からの放射熱によって発生する。
【0008】
例えば、環境試験室の周囲の温度が空調空気の設定温度より低い場合に、環境試験室の壁面の温度は空調空気の温度より低くなる。また、例えば、環境試験室の周囲の温度が空調空気の設定温度より高い場合に、環境試験室の壁面の温度は空調空気の温度より高くなる。これらの温度差によって、環境試験室の内部で熱対流が発生する可能性がある。従来の環境試験室は、その熱対流を考慮した構成になっていなかった。その熱対流温度は、空調空気の温度と違っている。そのため、従来の環境試験室は、熱対流が測定対象物（試験対象）や光学測定機器を設置している空間に侵入することで、測定対象物や光学測定機器の温度が変化するため、光学測定のばらつきが発生する可能性があった。また、測定対象物や光学測定機器は、空調空気の設定温度と同じ温度になることが期待されるが、前記の状況では測定対象物や光学測定機器と環境試験室の壁面の間には温度差が生じ、測定対象物や光学測定機器と環境試験室の壁面の間で放射熱による熱の授受が発生する。その結果、環境試験室周囲の温度変化によって測定対象物や光学測定機器の温度が変化するため、光学測定のばらつきが増大する可能性があった。従来の環境試験室は、測定対象物や光学測定機器の表面形状や構造体寸法が変動しないように、測定対象物や光学測定機器の温度を安定化させることについては考慮されていない。そのため、このような従来の環境試験室は、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことが困難であった。
【0009】
本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、大気圧環境下で高精度な光学測定を可能にすることを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
前記目的を達成するため、本発明は、環境試験室であって、所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口と、前記供給口に対向配置され、前記空調空気が排出される排出口と、前記供給口と前記排出口との間に配置され、前記空調空気が通る流路部と、前記流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部と、前記流路部の側壁面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する整流部材と、を備え、前記流路部の側壁面と前記整流部材は、前記供給口から前記排出口に向かって流れる前記空調空気の気流方向と平行になるように配置され、前記整流部材は、展開及び収納が可能なカーテンで構成され、前記流路部の天井面には、前記カーテンを吊るす吊下げ部材をはめ込んで滑らせるカーテンレールが設けられ、前記流路部の床面には、前記カーテンを固定するフック部が設けられている構成とする。
その他の手段は、後記する。
その他の手段は、後記する。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】実施形態１に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成図である。
【図2】実施形態１に係る環境試験室の構成図である。
【図3】実施形態１に係る環境試験室の内部で発生する熱対流の説明図である。
【図4】比較例の環境試験室の構成図である。
【図5】比較例の環境試験室の内部で発生する熱対流の説明図である。
【図6】環境試験室内における測定対象物の配置例を示す説明図である。
【図7】光学測定のばらつきの要因を示す説明図である。
【図8】実施形態２に係る環境試験室の構成図（１）である。
【図9】実施形態２に係る環境試験室の構成図（２）である。
【図10A】カーテンを吊るす吊下げ部材とカーテンレールの構成図である。
【図10B】吊下げ部材の構成図である。
【図10C】吊下げ部材の変形例の構成図である。
【図10D】吊下げ部材の別の変形例の構成図である。
【図11A】カーテンを固定するフック部とゴムバンドの構成図である。
【図11B】フック部の構成図である。
【図11C】ゴムバンドの構成図である。
【図12A】第１変形例の環境試験室の構成図（１）である。
【図12B】第１変形例の環境試験室の構成図（２）である。
【図13】第２変形例の環境試験室の構成図である。
【図14】第３変形例の環境試験室の構成図である。
【図15】第４変形例の環境試験室の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」と称する）について詳細に説明する。なお、各図は、本発明を十分に理解できる程度に、概略的に示してあるに過ぎない。よって、本発明は、図示例のみに限定されるものではない。また、各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。
【0014】
［実施形態１］
＜環境試験室を含む空気調和システム全体の構成＞
以下、図１を参照して、本実施形態１に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成について説明する。図１は、本実施形態１に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成図である。
＜環境試験室を含む空気調和システム全体の構成＞
以下、図１を参照して、本実施形態１に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成について説明する。図１は、本実施形態１に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成図である。
【0015】
図１に示すように、空気調和システム１は、除湿部３、乾燥空気調温部４、乾燥空気加熱部５、循環流路６、送風機４１、ヒータ５１，５４、蓄熱体５５等を備えている。空気調和システム１は、循環流路６を介して環境試験室２の排出口２ｏｕｔから排出される空気を空気調和して環境試験室２の供給口２ｉｎに戻し、システム内で空調空気を循環させる。
【0016】
除湿部３は、デシカント空調機３０等の除湿機を備え、環境試験室２から排出される空気に外気を混合した空気を除湿して得られる乾燥空気を乾燥空気調温部４へ送気する。乾燥空気調温部４は、除湿部３から送気される乾燥空気を環境試験室２の内部の設定空気温度よりもやや低い温度に調温し、乾燥空気加熱部５へ送気する。乾燥空気加熱部５は、環境試験室２の内部の設定空気温度まで加熱して環境試験室２内に送気する。
【0017】
ここで、環境試験室２内は、断熱パネル等からなる外壁によって外気から遮断されている。環境試験室２には、空気調和システム１で空気調和された空気のみが供給される。そして、環境試験室２内の中央付近には、光学測定の測定対象物やレーザー干渉計等の光学測定機器を設置する設置部１０２が設けられている。設置部１０２には、防振架台２１等が設置されており、その防振架台２１上には、測定対象物や光学測定機器が載置される。環境試験室２の詳細については、「環境試験室の構成」の章で説明する。
【0018】
空気調和システム１の乾燥空気加熱部５は、通常、環境試験室２の特定の側面全体に分布して設置され、乾燥空気加熱部５から送気された空気は、環境試験室２の中を、乾燥空気加熱部５を設置した側面からそれに対向する側面に向かって流れ、その大半が除湿部３側へ排出され、空気調和システム１内を還流するとともに、一部が外気へ排出される。なお、外気への排気ダクトには、その排出量を調節するバルブ２３が設けられている。
【0019】
除湿部３は、デシカント空調機３０を主な構成要素として備え、環境試験室２から排出された空気及び外気がそれぞれクーラ３１，３４で除湿に適した温度に冷却された上で混合されて、デシカント空調機３０に供給される。クーラ３１，３４の出口には、それぞれ温度センサ３２，３５が設けられており、制御装置（図中ではＰＩＤと記載）３３，３６は、温度センサ３２，３５により得られる温度が所定の除湿に適した温度となるようにクーラ３１，３４をそれぞれ制御する。
【0020】
デシカント空調機３０に供給される空気すなわち除湿対象の空気をクーラ３１，３４により冷却することは、除湿対象の空気を除湿に適した温度にするというだけでなく、プレ除湿をするという意味を有している。とくに、外気は湿度が高いので、クーラ３４でプレ除湿をしておくことにより、デシカント空調機３０での除湿の負担を軽減することができる。
【0021】
なお、図１では、環境試験室２から排出された空気及び外気は、それぞれクーラ３１，３４で冷却された後に混合されているが、環境試験室２から排出された空気及び外気を先に混合して、１つのクーラで冷却するようにしてもよい。
【0022】
デシカント空調機３０に供給された空気（除湿対象の空気）は、送風機３０２により送気され、水分吸着物質が保持されたデシカントロータ３０１の中を通過、除湿される。ここで、デシカントロータ３０１の中に保持される水分吸着物質としては、高分子吸着剤、シリカゲル、ゼオライト等、低温時に水分を吸着し、高温時に水分を放出する高温再生型の水分吸着物質が用いられる。
【0023】
デシカントロータ３０１は、円筒形状をしており、円筒の軸を中心にして、例えば図１に示す矢印の方向に回転する。ここで、除湿対象の空気の大半は、回転するデシカントロータ３０１の領域Ａの部分を通過、除湿され、乾燥空気となって乾燥空気調温部４側へ送気される。また、除湿対象の空気の一部は、デシカントロータ３０１の領域Ｃの部分を通過し、ヒータ３０４により加熱された後、再びデシカントロータ３０１に戻り領域Ｂの部分を通過する。このとき、デシカントロータ３０１の領域Ｂの部分に保持されている水分吸着物質は、加熱された空気に曝されることとなるので、水分吸着能力を回復する。一方で、領域Ｂの部分を通過した空気は、水分を多く含むこととなるので、送風機３０３を介して、除湿部３（空気調和システム１）の外に排気される。
【0024】
デシカントロータ３０１は、領域Ａ→領域Ｂ→領域Ｃ→領域Ａ→…の方向に回転する。ここで、領域Ａの部分は、クーラ３１，３４により冷却された除湿対象の空気が通過し、領域Ｂの部分は、ヒータ３０４により加熱された空気が通過する。そのため、デシカントロータ３０１の回転とともに、その中に保持されている水分吸着物質は、領域Ａの部分で水分を吸着するが、領域Ｂの部分で吸着していた水分を放出し、水分吸着能力を回復する。
【0025】
また、冷却された除湿対象の空気の一部は、領域Ｃの部分を通過する。このとき、領域Ｂの部分で加熱された水分吸着物質は、冷却されるとともに、領域Ｃの部分を通過した空気は加熱される。したがって、ヒータ３０４における加熱に必要なエネルギーを節減することができる。
【0026】
デシカントロータ３０１の領域Ａの部分を通過した空気は、温度が上昇する。そこで、領域Ａの部分を通過した空気は、クーラ３７により環境試験室２から排出された空気とほぼ同程度の温度まで冷却される。このとき、クーラ３７の出口には温度センサ３８が設けられており、クーラ３７を通過した空気は、制御装置３９により一定温度を保つように制御される。
【0027】
ところで、本実施形態では、環境試験室２から排出される空気のすべてが除湿部３へ供
給されるのではなく、その一部は、バイパスダクト１５を通過、すなわち、除湿部３をバイパスして乾燥空気調温部４へ流れるようにされている。こうすることにより、環境試験室２から排出される空気のうち、環境試験室２で発生した湿度上昇分を除去するのに必要な空気量のみを除湿部３へ流すことが可能になる。少なくとも空気調和システム１の作動が開始され一定の時間が経過した後は、環境試験室２で発生する湿度の上昇はわずかとなる。したがって、環境試験室２から排出される空気のうち一部をバイパスダクト１５側へ流すことにより、デシカントロータ３０１の除湿負担を低減することができ、さらには、デシカントロータ３０１の小型化にもつながる。
給されるのではなく、その一部は、バイパスダクト１５を通過、すなわち、除湿部３をバイパスして乾燥空気調温部４へ流れるようにされている。こうすることにより、環境試験室２から排出される空気のうち、環境試験室２で発生した湿度上昇分を除去するのに必要な空気量のみを除湿部３へ流すことが可能になる。少なくとも空気調和システム１の作動が開始され一定の時間が経過した後は、環境試験室２で発生する湿度の上昇はわずかとなる。したがって、環境試験室２から排出される空気のうち一部をバイパスダクト１５側へ流すことにより、デシカントロータ３０１の除湿負担を低減することができ、さらには、デシカントロータ３０１の小型化にもつながる。
【0028】
なお、除湿部３へ供給される空気量及び除湿部３をバイパスさせる空気量は、それぞれバルブ１１，１３の開度制御によって調整することができる。また、当然ながら、バイパスダクト１５を設けないで、環境試験室２から排出される空気をすべて除湿部３へ供給するものとしてもよい。
【0029】
なお、デシカント空調機３０から排出される空気の湿度は、デシカントロータ３０１の領域Ｂの部分の温度、つまり、ヒータ３０４の加熱強度、デシカントロータ３０１の回転速度、送風機３０２の風量等の調整により適宜設定することができる。
【0030】
また、本実施形態では、除湿部３は、デシカント空調機３０により除湿をするものとしたが、除湿手段は、デシカント空調機３０に限定されず、冷却と過熱を繰り返す方法等で除湿するものであってもよい。
【0031】
次に、乾燥空気調温部４は、冷水を冷媒とするクーラ４２、チラー４３、冷却された冷水を加熱するヒータ４８等を含んで構成される。除湿部３から送気されてくる乾燥空気は、クーラ４２によって環境試験室２の内部の設定空気温度よりも低い温度に調温された上、乾燥空気加熱部５へ送気される。
【0032】
ここで、クーラ４２は、冷却ダクト４０内に設けられ、冷媒である冷水（以下、冷媒水という）が通流するコイル状の配管により構成される。このとき、冷水コイルを通流する冷媒水は、ヒータ４８で加熱されることにより、所定の冷媒水の目標温度に調温される。そして、送風機４１を介して除湿部３から送気されてくる乾燥空気は、この冷水コイルに接触することによって冷却され、所定の乾燥空気の目標温度（環境試験室２の内部の設定空気温度よりもやや低い温度）に調温される。
【0033】
ここで、冷媒水を通流させる配管の途中には、ヒータ４８の他にタンク４７が設けられている。タンク４７は、冷媒水を一時貯留することにより、この冷媒水の温度の安定させる役割を果たす。
【0034】
したがって、ヒータ４８には、温度変動の小さい冷媒水が供給される。そして、その温度変動の小さい冷媒水は、制御装置６１，６２で制御されたヒータ４８によって加熱され、クーラ４２に送水される。このとき、制御装置６１は、冷却ダクト４０の出口に設けられた温度センサ６３から得られる空気温度を、予め設定された目標空気温度と比較し、その差分量に基づいてヒータ４８の出口における冷媒水の目標温度を演算する。さらに、制御装置６２は、ヒータ４８の出口に設けられた温度センサ４９から得られる冷媒水の温度
を、制御装置６１で演算された冷媒水の目標温度と比較し、その差分量に基づいてヒータ４８の発熱強度を制御する。
を、制御装置６１で演算された冷媒水の目標温度と比較し、その差分量に基づいてヒータ４８の発熱強度を制御する。
【0035】
乾燥空気加熱部５は、ヒータ５１，５４、蓄熱体５５、温度センサ５２，５６、制御装置５３，５７等を備えて構成される。乾燥空気調温部４から供給される乾燥空気は、ヒータ５１を通過することで所定の温度に加熱され、さらに、環境試験室２の側面に設けられたヒータ５４及び蓄熱体５５を通過することで、予め設定された環境試験室２内の設定空気温度まで加熱される。
【0036】
ここで、ヒータ５１の加熱強度は、その出口に設けられた温度センサ５２により得られる温度が一定となるように制御装置５３によって制御される。同様に、ヒータ５４の加熱強度は、蓄熱体５５からの出口である環境試験室２の天井部に設けられた温度センサ５２により得られる温度が環境試験室２内の設定空気温度と同じになるように制御装置５７によって制御される。
【0037】
環境試験室２の供給口２ｉｎには、ヒータ５４及び蓄熱体５５が複数セット設けられている。したがって、環境試験室２内へは、一定の温度に保たれた乾燥空気がほぼ均一に供給されるので、環境試験室２内の空気温度も均一化される。
【0038】
ヒータ５４の下流側に設けられる蓄熱体５５は、空気の通路となる多数の孔部を備えた多孔通路部材によって構成される。蓄熱体５５は、孔部を通過する空気の温度が自身の温度よりも高ければ、熱を吸収し、低ければ、熱を放出する。そのため、蓄熱体５５は、温度が変動しにくいものが好ましく、通常は、熱容量が大きい材料、また熱伝導率がよい材料（例えば、銅やアルミニウム等の金属）を用いて構成される。したがって、蓄熱体５５の孔部を通過して環境試験室２内に送気される乾燥空気の温度変動を効果的に抑制することができる。
【0039】
【0040】
図２は、本実施形態１に係る環境試験室２の構成図であり、斜め上方向から見た環境試験室２の構成を示している。図３は、本実施形態１に係る環境試験室２の内部で発生する熱対流の説明図であり、背面方向から見た環境試験室２の内部の状況を示している。一方、図４は、比較例の環境試験室２Ｚの構成図であり、斜め上方向から見た環境試験室２Ｚの構成を示している。図５は、比較例の環境試験室２Ｚの内部で発生する熱対流の説明図であり、背面方向から見た環境試験室２Ｚの内部の状況を示している。
【0041】
本実施形態に係る環境試験室２（図２及び図３参照）は、後記する整流部材１０３（図２及び図３参照）を備えた試験室である。これに対して、比較例の環境試験室２Ｚ（図４及び図５）は、後記する整流部材１０３（図２及び図３）を備えていない試験室である。
【0042】
図２に示すように、本実施形態に係る環境試験室２は、６面体状の形状を呈しており、供給口２ｉｎと、排出口２ｏｕｔと、流路部１０１と、設置部１０２と、整流部材１０３と、を備えている。
【0043】
供給口２ｉｎは、空調空気が供給される開口部である。供給口２ｉｎは、６面体状の形状を呈する環境試験室２における任意の面の全面に設けられている。供給口２ｉｎには、ほぼ均一な所定風速でかつほぼ均一な所定温度の空調空気が供給される。排出口２ｏｕｔは、空調空気が排出される開口部である。排出口２ｏｕｔは、環境試験室２における供給口２ｉｎに対向する面の全面に配置されている。流路部１０１は、環境試験室２の内部の空調空気が通る部位である。流路部１０１は、供給口２ｉｎと排出口２ｏｕｔとの間に配置されている。設置部１０２は、光学測定の測定対象物ＴＧ（試験対象）やレーザー干渉計等の光学測定機器が設置される場所である。設置部１０２は、流路部１０１の中央付近に配置されている。
【0044】
整流部材１０３は、設置部１０２が設けられている空間（以下、「測定対象空間」と称する）とその外側の空間との間を仕切るとともに、流路部１０１内を流れる空調空気の気流を整流する部材である。ここでは、整流部材１０３が板状の物で構成されているものとして説明する。整流部材１０３は、設置部１０２の両横に１つずつ、合計２つ配置されている。整流部材１０３は、奥行き方向に延在するように、横方向において流路部１０１の側壁面１０１ｓと設置部１０２との間に配置されている。整流部材１０３は、紐等の図示せぬ部材で流路部１０１の天井面１０１ｔ（図３参照）や床面１０１ｂ（図３参照）に固定されている。
【0045】
流路部１０１の側壁面１０１ｓと整流部材１０３は、供給口２ｉｎから排出口２ｏｕｔに向かって流れる空調空気の気流方向と平行になるように配置されている。このような本実施形態に係る環境試験室２は、任意の壁の全面を均一に空調空気を吹き出す供給口２ｉｎとし、流路部１０１の側壁面１０１ｓと整流部材１０３とで空調空気を整流する。これにより、供給口２ｉｎから環境試験室２内に供給された空調空気は、整流部材１０３で整流されて排出口２ｏｕｔに向かってほぼ真っ直ぐに進行し、排出口２ｏｕｔから循環流路６（図１参照）に排出される（矢印Ａａｉｒ参照）。このような本実施形態に係る環境試験室２は、測定対象物ＴＧや光学測定機器への意図せぬ熱の伝達が発生して、測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度が変動しないように、空調空気の気流をコントロールすることができる。
【0046】
ところで、例えば、図３に示すように、環境試験室２の周囲の温度が空調空気の設定温度より低い場合に、環境試験室２の壁面の温度は空調空気の温度より低くなる。その温度差によって、環境試験室２の内部で熱対流が発生する可能性がある。その熱対流は、環境試験室２の下側から回り込んで設置部１０２に進入しようとする。そして、その熱対流の温度は、空調空気の温度と違っている。そのため、熱対流が設置部１０２に進入してしまうと、熱対流から測定対象物ＴＧや光学測定機器に熱が伝達して、測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度が変動する可能性がある。
【0047】
なお、例えば、図３に示す例とは逆に、環境試験室２の周囲の温度が空調空気の設定温度より高い場合に、環境試験室２の壁面の温度は空調空気の温度より高くなる。その温度差によっても、環境試験室２の内部で熱対流が発生する可能性がある。その熱対流は、図３に示す例とは逆向きに、環境試験室２の上側から回り込んで設置部１０２に進入しようとする。この場合も、熱対流の温度は、空調空気の温度と違っている。そのため、熱対流が設置部１０２に進入してしまうと、熱対流から測定対象物ＴＧや光学測定機器に熱が伝達して、測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度が変動する可能性がある。
【0048】
そこで、本実施形態に係る環境試験室２は、内部に、その設置部１０２への熱対流の侵入を抑制するための部材として、整流部材１０３を備えている。このような本実施形態に係る環境試験室２は、整流部材１０３で熱対流が設置部１０２に進入することを抑制することができる（矢印Ａ１１参照）。したがって、本実施形態に係る環境試験室２は、設置部１０２に熱対流が到達しないため、設置部１０２に設置された測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度を一定に保つことができる。その結果、本実施形態に係る環境試験室２は、大気圧環境下で高精度な光学測定を可能にすることができる。
【0049】
これに対して、図４及び図５に示すように、比較例の環境試験室２Ｚは、整流部材１０３（図２及び図３）を備えていない。そのため、図５に示すように、比較例の環境試験室２Ｚでは、熱対流が回り込んで設置部１０２に進入しようとする（矢印Ａ２１参照）。その熱対流の温度は、空調空気の温度と違っている。そのため、熱対流が設置部１０２に進入してしまうと、熱対流から測定対象物ＴＧや光学測定機器に熱が伝達して、測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度が変動する可能性がある。したがって、比較例の環境試験室２Ｚは、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことが困難である。よって、本実施形態に係る環境試験室２は、比較例の環境試験室２Ｚよりも気圧環境下で高精度な光学測定に適した構成になっている。
【0050】
＜環境試験室内における測定対象物の配置例＞
以下、図６を参照して、本実施形態に係る環境試験室２内における測定対象物ＴＧの配置例について説明する。図６は、環境試験室２内における測定対象物ＴＧの配置例を示す説明図である。ただし、図６に示す例は、一例に過ぎず、使用する光学測定機器の種類や配置位置等を運用に応じて適宜変更することができる。
以下、図６を参照して、本実施形態に係る環境試験室２内における測定対象物ＴＧの配置例について説明する。図６は、環境試験室２内における測定対象物ＴＧの配置例を示す説明図である。ただし、図６に示す例は、一例に過ぎず、使用する光学測定機器の種類や配置位置等を運用に応じて適宜変更することができる。
【0051】
図６に示すように、環境試験室２内の設置部１０２には、防振架台２１が設置されており、その防振架台２１上には、測定対象物ＴＧや、位相シフト干渉計４０１、マイケルソン干渉計４０２が載置されている。
【0052】
図６に示す例では、位相シフト干渉計４０１は、例えば、架台２２ａに載置され、測定対象物ＴＧの上方に配置されている。測定対象物ＴＧは、架台２２ｂに載置され、位相シフト干渉計４０１の下方に配置されている。架台２２ａにはリフレクタ４０３が取り付けられ、架台２２ｂにはセンサヘッド４０４が取り付けられている。センサヘッド４０４はマイケルソン干渉計４０２に接続されている。位相シフト干渉計４０１は、測定対象物ＴＧに向けて光４０５ａを照射して測定対象物ＴＧの表面形状を測定する。また、マイケルソン干渉計４０２は、センサヘッド４０４からリフレクタ４０３に向けて照射され反射された光４０５ｂでセンサヘッド４０４とリフレクタ４０３との間の距離の変位量を測定する。
【0053】
＜光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因＞
本実施形態に係る環境試験室２は、光学測定のばらつきを抑制するためのものである。その光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因としては、例えば、図７に示す要因が存在する。以下、図７を参照して、光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因について説明する。図７は、光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因を示す説明図である。
本実施形態に係る環境試験室２は、光学測定のばらつきを抑制するためのものである。その光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因としては、例えば、図７に示す要因が存在する。以下、図７を参照して、光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因について説明する。図７は、光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因を示す説明図である。
【0054】
図７に示すように、光学測定のばらつき（ＲＳ１）に影響を及ぼす要因としては、建屋（ＳＹＳ１）と、空調設備（ＳＹＳ２）と、測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）等がある。また、空調設備（ＳＹＳ２）の中には、光路空間（空気）（ＳＹＳ３）がある。これらの要因の具体的な内訳は以下の通りである。
【0055】
建屋（ＳＹＳ１）の要因としては、設置環境温度（Ｆａ１１）と、壁／床温度（壁／床の断熱性能）（Ｆａ１２）と、設置環境振動（Ｆａ１３）と、床振動（Ｆａ１４）等がある。
空調設備（ＳＹＳ２）の要因としては、設備振動（Ｆａ２１）と、空調騒音（Ｆａ２２）と、供給空気温度（Ｆａ２３）と、室内気流（Ｆａ２４）と、室内圧力（大気圧）（Ｆａ２５）と、供給空気湿度（Ｆａ２６）と、室内湿分負荷（Ｆａ２７）等がある。
光路空間（空気）（ＳＹＳ３）の要因としては、気流による温度拡散（Ｆａ３１）と、温度変化（Ｆａ３２）と、圧力変化（Ｆａ３３）と、湿度変化（Ｆａ３４）と、光路空間の屈折率変化（Ｆａ３５）等がある。
測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）の要因としては、装置の発熱（Ｆａ４１）と、熱伝導（Ｆａ４２）と、放射熱（Ｆａ４３）と、熱伝達（Ｆａ４４）と、外力（Ｆａ４５）と、温度変化（Ｆａ４６）と、形状寸法変動（Ｆａ４７）と、水分吸着（Ｆａ４８）等がある。
空調設備（ＳＹＳ２）の要因としては、設備振動（Ｆａ２１）と、空調騒音（Ｆａ２２）と、供給空気温度（Ｆａ２３）と、室内気流（Ｆａ２４）と、室内圧力（大気圧）（Ｆａ２５）と、供給空気湿度（Ｆａ２６）と、室内湿分負荷（Ｆａ２７）等がある。
光路空間（空気）（ＳＹＳ３）の要因としては、気流による温度拡散（Ｆａ３１）と、温度変化（Ｆａ３２）と、圧力変化（Ｆａ３３）と、湿度変化（Ｆａ３４）と、光路空間の屈折率変化（Ｆａ３５）等がある。
測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）の要因としては、装置の発熱（Ｆａ４１）と、熱伝導（Ｆａ４２）と、放射熱（Ｆａ４３）と、熱伝達（Ｆａ４４）と、外力（Ｆａ４５）と、温度変化（Ｆａ４６）と、形状寸法変動（Ｆａ４７）と、水分吸着（Ｆａ４８）等がある。
【0056】
これらの要因は、例えば図７に示す矢印の関係で影響を及ぼし合う。なお、前記した「熱伝導（Ｆａ４２）」は固体物質を介して伝わる熱の移動を意味している。また、「放射熱（Ｆａ４３）」は固体物質の表面から放射される熱の移動を意味している。また、「熱伝達（Ｆａ４４）」は空気を介して伝わる熱の移動を意味している。
【0057】
本実施形態に係る環境試験室２は、整流部材１０３によって「気流による温度拡散（Ｆａ３１）」の要因を抑制（低減）する。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、以下の（ａ）ルートと（ｂ）ルートによる「光学測定のばらつき（ＲＳ１）」に対する影響を低減することができる。
（ａ）壁／床温度（Ｆａ１２）→気流による温度拡散（Ｆａ３１）→温度変化（Ｆａ３２）→光路空間の屈折率変化（Ｆａ３５）。
（ｂ）壁／床温度（Ｆａ１２）→気流による温度拡散（Ｆａ３１）→熱伝達（Ｆａ４４）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
（ａ）壁／床温度（Ｆａ１２）→気流による温度拡散（Ｆａ３１）→温度変化（Ｆａ３２）→光路空間の屈折率変化（Ｆａ３５）。
（ｂ）壁／床温度（Ｆａ１２）→気流による温度拡散（Ｆａ３１）→熱伝達（Ｆａ４４）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
【0058】
また、本実施形態に係る環境試験室２は、整流部材１０３によって「放射熱（Ｆａ４３）」の要因による測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）の「温度変化（Ｆａ４６）」の要因への影響を抑制（低減）する。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、以下の（ｃ）ルートによる「光学測定のばらつき（ＲＳ１）」に対する影響を低減することができる。
（ｃ）壁／床温度（Ｆａ１２）→放射熱（Ｆａ４３）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
（ｃ）壁／床温度（Ｆａ１２）→放射熱（Ｆａ４３）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
【0059】
このような本実施形態に係る環境試験室２は、相対的に、以下の（ｄ）ルートによる「光学測定のばらつき（ＲＳ１）」に対する影響を強化（向上）させることができる。その結果、測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）の温度の安定化を図ることができる。
（ｄ）供給空気温度（Ｆａ２３）→熱伝達（Ｆａ４４）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
（ｄ）供給空気温度（Ｆａ２３）→熱伝達（Ｆａ４４）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
【0060】
＜本実施形態に係る環境試験室についての補足＞
本実施形態に係る環境試験室２は、以下の点が考慮されている。
本実施形態に係る環境試験室２は、設置部１０２の空間全体の熱分布が±０．５℃以内に収まることが好ましい。そこで、本実施形態に係る環境試験室２は、好ましくは、熱容量が少ない素材を整流部材１０３に用いるとよい。例えば、整流部材１０３の熱容量は、２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であるとよい。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、周囲の温度に整流部材１０３を早く馴染ませることができるため、測定対象空間（設置部１０２が設けられている空間）内の熱分布を低い値に収束させ易くすることができる。その結果、本実施形態に係る環境試験室２は、設置部１０２の空間全体の熱分布を±０．５℃以内に収め易くすることができる。なお、設置部１０２の空間全体の熱分布が±０．５℃以内に収まると、最終的には、設置部１０２に設置された測定対象物ＴＧや光学測定機器の熱分布も±０．５℃以内に収まる。
本実施形態に係る環境試験室２は、以下の点が考慮されている。
本実施形態に係る環境試験室２は、設置部１０２の空間全体の熱分布が±０．５℃以内に収まることが好ましい。そこで、本実施形態に係る環境試験室２は、好ましくは、熱容量が少ない素材を整流部材１０３に用いるとよい。例えば、整流部材１０３の熱容量は、２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であるとよい。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、周囲の温度に整流部材１０３を早く馴染ませることができるため、測定対象空間（設置部１０２が設けられている空間）内の熱分布を低い値に収束させ易くすることができる。その結果、本実施形態に係る環境試験室２は、設置部１０２の空間全体の熱分布を±０．５℃以内に収め易くすることができる。なお、設置部１０２の空間全体の熱分布が±０．５℃以内に収まると、最終的には、設置部１０２に設置された測定対象物ＴＧや光学測定機器の熱分布も±０．５℃以内に収まる。
【0061】
なお、整流部材１０３の熱容量を２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下とする根拠は以下の通りである。すなわち、整流部材１０３の熱伝達率が例えば標準的な５（Ｗ／ｍ２・Ｋ）と想定すると、整流部材１０３の熱容量が２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であれば、整流部材１０３の時定数は４００（ｓ）以下となる。これは、測定対象物ＴＧが天文観測に用いる光学機器である場合において、測定対象物ＴＧやその測定に用いる光学測定機器に要求される時定数よりも十分に（例えば、１桁程度）小さい。そのため、整流部材１０３の熱容量が２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であれば、整流部材１０３は、測定対象物ＴＧや光学測定機器よりも早く空調空気の温度に近づき、測定の妨げにならない。そのため、整流部材１０３の熱容量は２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であることが好ましい。
【0062】
また、図３に示すように、整流部材１０３は、好ましくは、素材として、鏡面反射面Ｆ１１と拡散反射面Ｆ１２とを有する輻射断熱材が用いられているとよい。そして、整流部材１０３は、流路部１０１（環境試験室２）の側壁面１０１ｓとの対向面が鏡面反射面Ｆ１１となり、非対向面が拡散反射面Ｆ１２となるように、設置されるとよい。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、側壁面１０１ｓから設置部１０２に置かれた測定対象物ＴＧへの放射熱による熱伝達を抑制することができる。このような本実施形態に係る環境試験室２は、整流部材１０３よりも内側の温度をほぼ同じにすることができる。そのため、本実施形態に係る環境試験室２は、測定対象空間内の熱分布を小さい値に収束させ易くすることができる。その結果、本実施形態に係る環境試験室２は、さらに、設置部１０２の空間全体の熱分布を±０．５℃以内に収め易くすることができる。
【0063】
なお、本実施形態に係る環境試験室２は、任意に設けられた支持箇所でのみ整流部材１０３が流路部１０１の天井面１０１ｔと下端部１０３ｂとに支持され、支持箇所以外の箇所では支持されない構造になっている。つまり、図３に示すように、本実施形態に係る環境試験室２は、支持箇所以外の箇所では、整流部材１０３の上端部１０３ｔと流路部１０１の天井面１０１ｔとの間に、若干の隙間１０９ｔが設けられた構造になっている。また、本実施形態に係る環境試験室２は、支持箇所以外の箇所では、整流部材１０３の下端部１０３ｂと流路部１０１の床面１０１ｂとの間に、若干の隙間１０９ｂが設けられた構造になっている。これは、流路部１０１（環境試験室２）の天井面１０１ｔと床面１０１ｂに対する整流部材１０３の接触面積を小さくして、流路部１０１（環境試験室２）から整流部材１０３に伝わる熱伝導量をできるだけ低減するとともに、整流部材１０３の温度の変動を抑制するためである。
【0064】
隙間１０９ｔと隙間１０９ｂのサイズは、好ましくは、それぞれ、環境試験室２の内部空間の高さに対して１％程度であるとよい。したがって、環境試験室２は、環境試験室２の内部空間の高さに対して９８％程度の高さの整流部材１０３がその上下に隙間１０９ｔと隙間１０９ｂを開けて設けられた構造になっているとよい。なお、環境試験室２の内部空間の横幅と高さと奥行きは、それぞれ、例えば、数メートル（ｍ）から十数メートル（ｍ）程度である。
【0065】
一般に、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うためには、設置部１０２を通過する空調空気の温度や湿度を安定させて、空調空気の屈折率を安定させることや、測定対象物ＴＧの温度を安定させて、測定対象物ＴＧの熱膨張による変形を抑制することが重要である。これらについて、環境試験室２の外部から供給される空調空気の温度及び湿度は、ヒータ５１，５４、蓄熱体５５等（図１参照）によって安定させることができる。しかしながら、設置部１０２を通過する空調空気の温度や湿度は、周囲の側壁面１０１ｓや床面からの温度拡散や、測定対象物ＴＧと空調空気との間に温度差がある場合に測定対象物ＴＧからの温度拡散の影響を受けて変動する。そのため、設置部１０２の温度を安定化させるためには、環境試験室２は、単に空調空気の速度を制御するだけでなく、側壁面１０１ｓや床面等の周囲環境からの温度拡散を防止することや、測定対象物ＴＧと空調空気との間の温度差を抑制することが好ましい。
【0066】
測定対象物ＴＧの温度を安定させる方法として、ヒータや冷却ジャケット等による加熱／冷却制御が考えられるが、本実施形態では一定温度に制御した空調空気との熱伝達により測定対象物ＴＧの温度を平準化する（ならす）方法を採用するものとする。この方法は、測定対象物ＴＧからの発熱量がない場合、もしくはごく小さい場合に有効である。また、この方法は、利点として、時間経過とともに確実に温度が安定することや、局所的な加熱／冷却と異なり、測定対象物ＴＧ内の温度分布を小さくすることができること、測定対象物ＴＧと空調空気との間の温度差を小さくすることができ、設置部１０２を通過する空調空気の温度を安定化させることができること等がある。
【0067】
本実施形態１に係る環境試験室２は、側壁面１０１ｓや床面からの温度の対流拡散を小さくするために、側壁面１０１ｓや床面に対して垂直方向の速度成分が小さくなるように、流路部１０１内の気流の速度が設定される。環境試験室２は、任意の面の全面に供給口２ｉｎが設けられ、供給口２ｉｎの対向面の全面に排出口２ｏｕｔが設けられている。供給口２ｉｎには、ほぼ均一な所定風速でかつほぼ均一な所定温度の空調空気が供給される。その空調空気の気流は、環境試験室２の内部に形成された流路部１０１の側壁面１０１ｓや床面に対して平行に進行する。そのため、流路部１０１内では概略一方向の気流が形成される。この気流は、供給口２ｉｎ及び排出口２ｏｕｔが設けられていない側壁面や床面に対して垂直方向の速度成分が小さいため、側壁面や床面からの温度の対流拡散が小さい。また、この気流は、測定対象物に対して均一に当たり、かつ測定対象物ＴＧの周囲であまり滞留しない。この気流は、測定対象物ＴＧの全体に均一に熱伝達を行うため、測定対象物ＴＧの全体に温度を平準化する点で有効である。
【0068】
また、本実施形態１に係る環境試験室２は、側壁面１０１ｓと環境試験室２の中央付近に設けられた設置部１０２との間に、気流方向に平行な整流部材１０３を備えている。側壁面１０１ｓと空調空気の間に温度差があると、熱対流が生じるが、本実施形態１に係る環境試験室２は、整流部材１０３により設置部１０２内への熱対流の侵入を防止することができる。また、本実施形態１に係る環境試験室２は、整流部材１０３で、測定対象物ＴＧの周囲の気流が測定対象物ＴＧから離れて拡散することを防止し、測定対象物ＴＧと空調空気との熱伝達を促進する機能を得ることができる。
【0069】
なお、整流部材１０３は、空調空気の温度に近い温度となることが望ましい。そのため、壁や床から整流部材１０３への熱伝導が少なく、かつ整流部材１０３の熱容量が小さい方がよい。
【0070】
また、測定対象物ＴＧの温度は、環境試験室２の壁面や床面からの輻射熱の影響も受ける。そこで整流部材１０３は、環境試験室２の壁面側を鏡面反射面Ｆ１１とした輻射断熱素材で構成することが望ましい。整流部材１０３を輻射断熱素材で構成することで、環境試験室２の壁面からの輻射熱の影響を低減でき、測定対象物ＴＧと空調空気との温度差を小さくすることができる。その結果、環境試験室２の壁面の温度変動に伴う測定対象物ＴＧの温度変動を抑制することができる。
【0071】
このような整流部材１０３の温度は、空調空気の温度に近い方が望ましいので、環境試験室２の壁面との対向面を鏡面反射面Ｆ１１にすることが好ましい。なお、環境試験室２内でレーザー干渉計等の光学測定機器を使用する場合に、レーザー光の乱反射が発生する可能性がある。そのため、整流部材１０３の測定対象物ＴＧ側の面は、拡散反射面Ｆ１２にすることが好ましい。
【0072】
本実施形態１に係る環境試験室２は、測定空間の空気屈折率、測定対象物の温度を安定させることができ、大気圧環境下で、高精度な光学測定が可能な測定対象物の設置環境を提供できる。
【0073】
以上の通り、本実施形態１に係る環境試験室２によれば、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことができる。
【0074】
［実施形態２］
実施形態１に係る環境試験室２（図２参照）の整流部材１０３は、板状の物で構成されている。これに対し、本実施形態２では、整流部材が布状のカーテン１０３Ａで構成された環境試験室２Ａを提供する。
実施形態１に係る環境試験室２（図２参照）の整流部材１０３は、板状の物で構成されている。これに対し、本実施形態２では、整流部材が布状のカーテン１０３Ａで構成された環境試験室２Ａを提供する。
【0075】
【0076】
【0077】
カーテン１０３Ａは、矢印Ａ１０３Ａの方向に展開及び収納が可能な構成になっている。そのため、本実施形態２に係る環境試験室２Ａは、実施形態１に係る環境試験室２（図２参照）よりも、設置部１０２への測定対象物ＴＧや光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。
【0078】
図９に示すように、本実施形態２に係る環境試験室２Ａでは、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、整流部材であるカーテン１０３Ａの上端部１０３ｔと流路部１０１の天井面１０１ｔとの間に、若干の隙間１０９ｔが設けられている。また、整流部材であるカーテン１０３Ａの下端部１０３ｂと流路部１０１の床面１０１ｂとの間に、若干の隙間１０９ｂが設けられている。これは、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、流路部１０１（環境試験室２）の天井面１０１ｔと床面１０１ｂに対するカーテン１０３Ａの接触面積を小さくして、流路部１０１（環境試験室２）からカーテン１０３Ａに伝わる熱伝導量をできるだけ低減するとともに、整流部材１０３の温度の変動を抑制するためである。なお、カーテン１０３Ａは、矢印Ａ１０３Ａ（図８参照）の方向に展開及び収納ができるように、緩く固定されていればよい。
【0079】
図１０Ａ乃至図１０Ｄに示すように、このようなカーテン１０３Ａは、上側が吊下げ部材１５１で吊下げられた構成になっているとよい。また、図１１Ａ乃至図１１Ｃに示すように、カーテン１０３Ａは、下側がフック部１６１等で固定された構成になっているとよい。
【0080】
図１０Ａは、カーテン１０３Ａを吊るす吊下げ部材１５１とカーテンレール１５２の構成図である。図１０Ｂは、吊下げ部材１５１の構成図である。図１０Ｃは、吊下げ部材１５１の変形例の構成図である。図１０Ｄは、吊下げ部材１５１の別の変形例の構成図である。図１１Ａは、カーテン１０３Ａを固定するフック部１６１とゴムバンド１６２の構成図である。図１１Ｂは、フック部１６１の構成図である。図１１Ｃは、ゴムバンド１６２の構成図である。
【0081】
図１０Ａに示すように、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の天井面１０１ｔには、カーテン１０３Ａを吊るす吊下げ部材１５１をはめ込んで滑らせるカーテンレール１５２が設けられている。流路部１０１（環境試験室２Ａ）の天井パネル１０１ｔｏｐには、支持鋼材１５３が取り付けられている。その支持鋼材１５３には、ボルト（又はビス）１５５によってブラケット１５４が取り付けられている。カーテンレール１５２は、そのブラケット１５４によって固定支持されている。
【0082】
カーテンレール１５２は、吊下げ部材１５１を走行自在に支持している。図１０Ａ及び図１０Ｂに示す例では、吊下げ部材１５１は、カーテン１０３Ａの上端部付近に設けられた孔に係合するリング状の支持部１５１ａと、カーテンレール１５２を走行するランナー１５１ｂと、を有している。図１０Ａに示すように、吊下げ部材１５１によって吊下げられたカーテン１０３Ａの上端部は、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の天井面１０１ｔから隙間１０９ｔだけ離れた位置に配置されている。
【0083】
カーテンレール１５２は、例えば、アルミニウム合金等で構成されているとよい。支持鋼材１５３やブラケット１５４、ボルト（又はビス）１５５等は、例えば、ステンレス材等で構成されているとよい。
【0084】
なお、吊下げ部材１５１の支持部１５１ａは、例えば、図１０Ｃに示す支持部１５１ａａや図１０Ｄに示す支持部１５１ａｂのように変形してもよい。図１０Ｃに示す支持部１５１ａａは、バネによって一部が開閉可能な構造になっている。図１０Ｄに示す支持部１５１ａｂは、取り外し可能なネジとシャフトによって一部が開閉可能な構造になっている。
【0085】
図１１Ａに示すように、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の床面１０１ｂには、カーテン１０３Ａを固定するフック部１６１が設けられている。カーテン１０３Ａの下端部とフック部１６１には、孔部が設けられている。双方の孔部にゴムバンド１６２が通されることで、カーテン１０３Ａの下端部がフック部１６１に固定される。図１１Ｂに示すように、フック部１６１は、矢印方向に移動可能な埋め込み型の構造になっているとよい。これにより、フック部１６１は、カーテン１０３Ａを固定する場合にだけ床面１０１ｂから引き出して使用し、それ以外の場合に床面１０１ｂに収納することができる。図１１Ｃは、未使用時のゴムバンド１６２の構成を示している。図１１Ａに示すように、ゴムバンド１６２でフック部１６１に固定されたカーテン１０３Ａの下端部は、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の床面１０１ｂから隙間１０９ｂだけ離れた位置に配置されている。カーテン１０３Ａは、カーテン１０３Ａ自体の重量や、カーテン１０３Ａに取り付けられる図示せぬ金具の重量、ゴムバンド１６２の収縮力等で上下方向に展開する。そのカーテン１０３Ａの上下方向の展開量に応じて、隙間１０９ｂの間隔が変化する。そのため、環境試験室２Ａは、隙間１０９ｂをカーテン１０３Ａで塞ぐようにすることもできる。
【0086】
図９に示すように、カーテン１０３Ａは、実施形態１の整流部材１０３と同様に、素材として、鏡面反射面Ｆ１１と拡散反射面Ｆ１２とを有する輻射断熱材が用いられているとよい。そして、カーテン１０３Ａは、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の側壁面１０１ｓとの対向面が鏡面反射面Ｆ１１となり、非対向面が拡散反射面Ｆ１２となるように、設置されるとよい。これにより、本実施形態に係る環境試験室２Ａは、カーテン１０３Ａよりも外側の空間の温度がその内側の空間（測定対象空間）に伝達されることを抑制することができる。
【0087】
本実施形態２では、環境試験室２Ａの整流部材がカーテン１０３Ａで構成されている。このような環境試験室２Ａは、中央付近に設けられた設置部１０２に測定対象物ＴＧを搬入する際に、カーテン１０３Ａを展開（移動）したり収納したりすることができる。そのため、設置部１０２への測定対象物ＴＧや光学測定機器の搬入を容易化することができる。
【0088】
以上の通り、本実施形態２に係る環境試験室２Ａによれば、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことができる。
しかも、本実施形態２に係る環境試験室２Ａによれば、実施形態１に係る環境試験室２に比べて、設置部１０２への測定対象物ＴＧや光学測定機器の搬入を容易化することができる。
しかも、本実施形態２に係る環境試験室２Ａによれば、実施形態１に係る環境試験室２に比べて、設置部１０２への測定対象物ＴＧや光学測定機器の搬入を容易化することができる。
【0089】
本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は、本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、実施形態の構成の一部を他の構成に置き換えることが可能であり、また、実施形態の構成に他の構成を加えることも可能である。また、各構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【0090】
［変形例］
例えば、前記した実施形態１に係る環境試験室２は、以下の第１乃至第４の変形例のように変形することができる。なお、ここでは説明しないが、実施形態２に係る環境試験室２Ａも、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、以下の第１乃至第４の変形例のように変形することができる。
例えば、前記した実施形態１に係る環境試験室２は、以下の第１乃至第４の変形例のように変形することができる。なお、ここでは説明しないが、実施形態２に係る環境試験室２Ａも、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、以下の第１乃至第４の変形例のように変形することができる。
【0091】
（第１の変形例）
図１２Ａ及び図１２Ｂは、第１変形例の環境試験室２Ｂの構成図である。図１２Ａは、第１変形例の環境試験室２Ｂ全体の構成を示しており、図１２Ｂは、図１２Ａの領域Ｒ１１の構成を拡大して示している。
図１２Ａ及び図１２Ｂは、第１変形例の環境試験室２Ｂの構成図である。図１２Ａは、第１変形例の環境試験室２Ｂ全体の構成を示しており、図１２Ｂは、図１２Ａの領域Ｒ１１の構成を拡大して示している。
【0092】
図１２Ａに示すように、第１変形例の環境試験室２Ｂは、実施形態１に係る環境試験室２（図３参照）と比較すると、流路部１０１の天井面１０１ｔと設置部１０２との間に、板材２０１を備えている点で相違する。板材２０１は、板状の物で構成された、整流部材１０３とは別の整流部材である。図１２Ｂに示すように、板材２０１は、スペーサ２０２を介して流路部１０１の天井面１０１ｔに取り付けられている。板材２０１は、その横幅が２つの整流部材１０３の間隔よりも長くなっており、２つの整流部材１０３の上に配置されている。
【0093】
板材２０１は、空調空気の気流方向と平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第１変形例の環境試験室２Ｂは、天井面１０１ｔからの輻射熱も断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
【0094】
（第２の変形例）
図１３は、第２変形例の環境試験室２Ｃの構成図である。図１３に示すように、第２変形例の環境試験室２Ｃは、第１変形例の環境試験室２Ｂ（図１２Ａ参照）と比較すると、板材２０１の代わりに、板材２０１ａを備えている点で相違する。板材２０１ａは、板材２０１（図１２Ａ参照）と同様の機能を有する部材である。板材２０１ａは、その横幅が２つの整流部材１０３の間隔よりも短くなっており、２つの整流部材１０３の間に配置されている。
図１３は、第２変形例の環境試験室２Ｃの構成図である。図１３に示すように、第２変形例の環境試験室２Ｃは、第１変形例の環境試験室２Ｂ（図１２Ａ参照）と比較すると、板材２０１の代わりに、板材２０１ａを備えている点で相違する。板材２０１ａは、板材２０１（図１２Ａ参照）と同様の機能を有する部材である。板材２０１ａは、その横幅が２つの整流部材１０３の間隔よりも短くなっており、２つの整流部材１０３の間に配置されている。
【0095】
板材２０１ａは、第１変形例の板材２０１（図１２Ａ参照）と同様に、空調空気の気流方向と平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第２変形例の環境試験室２Ｃは、第１変形例の環境試験室２Ｂ（図１２Ａ参照）と同様に、天井面１０１ｔからの輻射熱も断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
【0096】
（第３の変形例）
図１４は、第３変形例の環境試験室２Ｄの構成図である。図１４に示すように、第３変形例の環境試験室２Ｄは、実施形態１に係る環境試験室２（図３参照）と比較すると、整流部材１０３の代わりに、布材２０１ｂを備えている点で相違する。布材２０１ｂは、整流部材１０３と同様の機能を有する別の整流部材である。布材２０１ｂは、吊下げ固定部材２０３によって流路部１０１の天井面１０１ｔに取り付けられており、設置部１０２の両側壁面と天井面とを囲むように配置されている。布材２０１ｂは、空調空気の気流方向と略平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第３変形例の環境試験室２Ｄは、側壁面１０１ｓからの輻射熱と天井面１０１ｔからの輻射熱とを断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
図１４は、第３変形例の環境試験室２Ｄの構成図である。図１４に示すように、第３変形例の環境試験室２Ｄは、実施形態１に係る環境試験室２（図３参照）と比較すると、整流部材１０３の代わりに、布材２０１ｂを備えている点で相違する。布材２０１ｂは、整流部材１０３と同様の機能を有する別の整流部材である。布材２０１ｂは、吊下げ固定部材２０３によって流路部１０１の天井面１０１ｔに取り付けられており、設置部１０２の両側壁面と天井面とを囲むように配置されている。布材２０１ｂは、空調空気の気流方向と略平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第３変形例の環境試験室２Ｄは、側壁面１０１ｓからの輻射熱と天井面１０１ｔからの輻射熱とを断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
【0097】
（第４の変形例）
図１５は、第４変形例の環境試験室２Ｅの構成図である。図１５に示すように、第４変形例の環境試験室２Ｅは、実施形態１に係る環境試験室２（図３参照）と比較すると、整流部材１０３の形状が変更されている点で相違する。すなわち、第４変形例の環境試験室２Ｅでは、整流部材１０３は、設置部１０２の両側壁面と天井面とを囲むように、正面視で逆Ｕ時状に配置されている。整流部材１０３は、空調空気の気流方向と略平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第４変形例の環境試験室２Ｅは、側壁面１０１ｓからの輻射熱と天井面１０１ｔからの輻射熱とを断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
図１５は、第４変形例の環境試験室２Ｅの構成図である。図１５に示すように、第４変形例の環境試験室２Ｅは、実施形態１に係る環境試験室２（図３参照）と比較すると、整流部材１０３の形状が変更されている点で相違する。すなわち、第４変形例の環境試験室２Ｅでは、整流部材１０３は、設置部１０２の両側壁面と天井面とを囲むように、正面視で逆Ｕ時状に配置されている。整流部材１０３は、空調空気の気流方向と略平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第４変形例の環境試験室２Ｅは、側壁面１０１ｓからの輻射熱と天井面１０１ｔからの輻射熱とを断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
【符号の説明】
【0098】
１ 空気調和システム
２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ，２Ｅ 環境試験室
２ｉｎ 供給口
２ｏｕｔ 排出口
３ 除湿部（除湿手段）
４ 乾燥空気調温部（乾燥空気調温手段）
５ 乾燥空気加熱部（乾燥空気加熱手段）
６ 循環流路
１１～１４ バルブ
１５ バイパスダクト
２１ 防振架台
２２ａ，２２ｂ 架台
２３ バルブ
３０ デシカント空調機
３１，３４，３７ クーラ
３２，３５，３８ 温度センサ
３３，３６，３９ 制御装置
３０１ デシカントロータ
３０２，３０３ 送風機
３０４ ヒータ
４０ 冷却ダクト
４１ 送風機
４２ クーラ（乾燥空気冷却手段）
４３ チラー（冷媒冷却手段）
４７ タンク
４８ ヒータ（冷媒加熱手段）
４９，６３ 温度センサ
６１，６２ 制御装置
５１，５４ ヒータ
５２，５６ 温度センサ
５３，５７ 制御装置
５５ 蓄熱体
１０１ 流路部
１０１ｂ 床面
１０１ｔ 天井面
１０１ｔｏｐ 天井パネル
１０１ｓ 側壁面
１０２ 設置部
１０３ 整流部材
１０３Ａ カーテン（整流部材）
１０３ｂ 下端部
１０３ｔ 上端部
１０９ｂ，１０９ｔ 隙間
１５１ 吊下げ部材
１５１ａ，１５１ａａ，１５１ａｂ 支持部
１５１ｂ ランナー
１５２ カーテンレール
１５３ 支持鋼材
１５４ ブラケット
１５５ ボルト（又はビス）
１６１ フック部
１６２ ゴムバンド
２０１，２０１ａ 板材（別の整流部材）
２０１ｂ 布材（別の整流部材）
２０２ スペーサ
２０３ 吊下げ固定部材
４０１ 位相シフト干渉計（レーザー干渉計）
４０２ マイケルソン干渉計
４０３ リフレクタ
４０４ センサヘッド
４０５ａ，４０５ｂ 光
Ｆ１１ 鏡面反射面
Ｆ１２ 拡散反射面
ＴＧ 測定対象物
２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ，２Ｅ 環境試験室
２ｉｎ 供給口
２ｏｕｔ 排出口
３ 除湿部（除湿手段）
４ 乾燥空気調温部（乾燥空気調温手段）
５ 乾燥空気加熱部（乾燥空気加熱手段）
６ 循環流路
１１～１４ バルブ
１５ バイパスダクト
２１ 防振架台
２２ａ，２２ｂ 架台
２３ バルブ
３０ デシカント空調機
３１，３４，３７ クーラ
３２，３５，３８ 温度センサ
３３，３６，３９ 制御装置
３０１ デシカントロータ
３０２，３０３ 送風機
３０４ ヒータ
４０ 冷却ダクト
４１ 送風機
４２ クーラ（乾燥空気冷却手段）
４３ チラー（冷媒冷却手段）
４７ タンク
４８ ヒータ（冷媒加熱手段）
４９，６３ 温度センサ
６１，６２ 制御装置
５１，５４ ヒータ
５２，５６ 温度センサ
５３，５７ 制御装置
５５ 蓄熱体
１０１ 流路部
１０１ｂ 床面
１０１ｔ 天井面
１０１ｔｏｐ 天井パネル
１０１ｓ 側壁面
１０２ 設置部
１０３ 整流部材
１０３Ａ カーテン（整流部材）
１０３ｂ 下端部
１０３ｔ 上端部
１０９ｂ，１０９ｔ 隙間
１５１ 吊下げ部材
１５１ａ，１５１ａａ，１５１ａｂ 支持部
１５１ｂ ランナー
１５２ カーテンレール
１５３ 支持鋼材
１５４ ブラケット
１５５ ボルト（又はビス）
１６１ フック部
１６２ ゴムバンド
２０１，２０１ａ 板材（別の整流部材）
２０１ｂ 布材（別の整流部材）
２０２ スペーサ
２０３ 吊下げ固定部材
４０１ 位相シフト干渉計（レーザー干渉計）
４０２ マイケルソン干渉計
４０３ リフレクタ
４０４ センサヘッド
４０５ａ，４０５ｂ 光
Ｆ１１ 鏡面反射面
Ｆ１２ 拡散反射面
ＴＧ 測定対象物
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図10D】
【図11A】
【図11B】
【図11C】
【図12A】
【図12B】
【図13】
【図14】
【図15】