技術分野
光学素子の作製方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ビームスプリッタなどの光学素子を構成するために、吸収のない接合方法が必要とされている。理想的には、この方法を用いて、光学接着接合で見られることが多い散乱損失も吸収損失も示さない光学素子を構成でき、この方法を、熱に敏感な材料および多孔性薄膜と共に使用しうるだろう。更に、この方法によって構成された素子は、現在利用できる技術より耐久性が高いものとなるだろう。本発明は、これらの要求に取り組むものである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
化学接着剤を必要としない光学素子の構成方法を記載する。方法は、以下の工程を含む:第1の表面を有する第1の光学基体、および、第2の表面を有する第2の光学基体を取得する工程と、第1の光学基体の第1の表面に、または、第2の光学基体の第2の表面に、または、両方に、水を塗布する工程と、第1の光学基体の第1の表面を、第2の光学基体の第2の表面に隣接させて、第1の光学基体を第2の光学基体に固定する工程と、・・・ 続きを
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本明細書に記載の処理を示す概略図である。
【図2】
SiO2-SiO2界面での化学結合を示す概略図である。
【図3】
CaF2-CaF2界面での化学結合を示す概略図である。
【図4】
SiO2-CaF2界面での化学結合を示す概略図である。
【図5】
CaF2表面上の、F-SiO2で封止された薄膜積層部(GdF3/AlF3)の断面の走査電子顕微鏡画像(SEM)を示す。
【図6】
本明細書に記載の処理を用いた2つのSiO2基体の化学接合を示す写真を示す。
【図7】
本明細書に記載の処理を用いた2つのCaF2基体の化学接合を示す写真を示す。
【図8】
厚さが、各々、3.3mm、3.1mm、および、3.3mmの、市販の溶融シリカHPFS(登録商標)8655、8650、および、7980(コーニング社)のVUVおよびDUVスペクトル透過率を示す。
【図9A】
193nmにおける、CaF2系50%:50%無偏光キューブビームスプリッタの透過および反射スペクトルを示す。
【図9B】
193nmにおける、SiO2系50%:50%無偏光キューブビームスプリッタの透過および反射スペクトルを示す。
100 水の層
110 第1の光学基体
115 第1の表面
120 第2の光学基体
125 第2の表面
130、140 固定装置
150 前段階光学素子
210、220、310、320、410、420 光学基体
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