特許 7195410 被覆工具及びこれを備えた切削工具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-15

(45)【発行日】2022-12-23

(54)【発明の名称】被覆工具及びこれを備えた切削工具

(51)【国際特許分類】

   B23B 27/14 20060101AFI20221216BHJP

   C23C 14/06 20060101ALI20221216BHJP

【ＦＩ】

B23B27/14 A

C23C14/06 A

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2021509512

(86)(22)【出願日】2020-03-25

(86)【国際出願番号】 JP2020013363

(87)【国際公開番号】W WO2020196631

(87)【国際公開日】2020-10-01

【審査請求日】2021-09-24

(31)【優先権主張番号】P 2019060829

(32)【優先日】2019-03-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006633

【氏名又は名称】京セラ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003029

【氏名又は名称】弁理士法人ブナ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山▲崎▼ 剛

【審査官】亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１０／００７９５８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１１／０１６４８８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００９－２０３４８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／１４６７１１（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｂ ２７／１４

Ｃ２３Ｃ １４／０６

Ｂ２３Ｃ ５／１６

Ｂ２３Ｐ １５／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備え、
該被覆層は、周期表４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、ＹおよびＭｎの中から選ばれた少なくとも１種の元素と、Ｃ、ＮおよびＯの中から選ばれた少なくとも１種の元素とからなる立方晶結晶を含有し、
前記立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布（１１１）は、
最大ピークが５０°以上の領域に存在し、
前記最大ピークにおける強度をＩｍａｘとしたとき、前記最大ピークの０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅が、２０°以上であり、
９０°における強度が、０．７８Ｉｍａｘ以上であって、
前記Ｘ線強度分布（１１１）は、９０°における強度が、０．９Ｉｍａｘ以上である、被覆工具。

【請求項2】

前記被覆層は、前記立方晶結晶の（２００）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布（２００）が、
第１ピークと、
該第１ピークよりも高角度に位置する第２ピークと、
さらに、前記第１ピークおよび前記第２ピークの間に、前記第１ピークおよび前記第２ピークよりも強度が低い谷部とを有する、請求項１に記載の被覆工具。

【請求項3】

前記被覆層は、前記第１ピークが１５°～３０°の間に位置し、前記第２ピークが６０°～７５°の間に位置する、請求項２に記載の被覆工具。

【請求項4】

基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備え、
該被覆層は、周期表４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、ＹおよびＭｎの中から選ばれた少なくとも１種の元素と、Ｃ、ＮおよびＯの中から選ばれた少なくとも１種の元素とからなる立方晶結晶を含有し、
前記立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布（１１１）は、
最大ピークが５０°以上の領域に存在し、
前記最大ピークにおける強度をＩｍａｘとしたとき、前記最大ピークの０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅が、２０°以上であり、
９０°における強度が、０．７８Ｉｍａｘ以上であって、
前記被覆層は、前記立方晶結晶の（２００）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布（２００）が、
第１ピークと、
該第１ピークよりも高角度に位置する第２ピークと、
さらに、前記第１ピークおよび前記第２ピークの間に、前記第１ピークおよび前記第２ピークよりも強度が低い谷部とを有する、被覆工具。

【請求項5】

前記被覆層は、前記第１ピークが１５°～３０°の間に位置し、前記第２ピークが６０°～７５°の間に位置する、請求項４に記載の被覆工具。

【請求項6】

前記被覆層は、前記立方晶結晶としてＡｌＴｉＮ結晶を含有するＡｌＴｉＮ層を有する、請求項１～５のいずれかに記載の被覆工具。

【請求項7】

基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備え、
該被覆層は、周期表４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、ＹおよびＭｎの中から選ばれた少なくとも１種の元素と、Ｃ、ＮおよびＯの中から選ばれた少なくとも１種の元素とからなる立方晶結晶を含有し、
前記立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布（１１１）は、
最大ピークが５０°以上の領域に存在し、
前記最大ピークにおける強度をＩｍａｘとしたとき、前記最大ピークの０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅が、２０°以上であり、
９０°における強度が、０．７８Ｉｍａｘ以上であって、
前記被覆層は、前記立方晶結晶としてＡｌＴｉＮ結晶を含有するＡｌＴｉＮ層を有する、被覆工具。

【請求項8】

前記被覆層は、前記立方晶結晶としてＡｌＣｒＮ結晶を含有するＡｌＣｒＮ層を有する、請求項６又は７に記載の被覆工具。

【請求項9】

前記被覆層は、複数の前記ＡｌＴｉＮ層および複数の前記ＡｌＣｒＮ層を有し、前記ＡｌＴｉＮ層と前記ＡｌＣｒＮ層とが交互に位置する、請求項８に記載の被覆工具。

【請求項10】

基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備え、
該被覆層は、周期表４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、ＹおよびＭｎの中から選ばれた少なくとも１種の元素と、Ｃ、ＮおよびＯの中から選ばれた少なくとも１種の元素とからなる立方晶結晶を含有し、
前記立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布（１１１）は、
最大ピークが５０°以上の領域に存在し、
前記最大ピークにおける強度をＩｍａｘとしたとき、前記最大ピークの０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅が、２０°以上であり、
９０°における強度が、０．７８Ｉｍａｘ以上であって、
前記被覆層は、前記立方晶結晶としてＡｌＣｒＮ結晶を含有するＡｌＣｒＮ層を有する、被覆工具。

【請求項11】

前記Ｘ線強度分布（１１１）は、前記最大ピークの０．９Ｉｍａｘにおけるピーク幅が、１５°以上である、請求項１～１０のいずれかに記載の被覆工具。

【請求項12】

前記Ｘ線強度分布（１１１）は、１５°以下における強度が０．６Ｉｍａｘ未満である、請求項１～１１のいずれかに記載の被覆工具。

【請求項13】

前記基体は、炭化タングステン及びコバルトを含有する請求項１～１２のいずれかに記載の被覆工具。

【請求項14】

第１端から第２端に向かって延び、前記第１端側にポケットを有するホルダと、
前記ポケットに位置する請求項１～１３のいずれかに記載の被覆工具と、
を備えた切削工具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、切削加工において用いられる被覆工具及びこれを備えた切削工具に関する。

【背景技術】

【0002】

旋削加工及び転削加工のような切削加工に用いられる被覆工具としては、例えば特許文献１に記載されているような基材の表面に被膜を被覆した切削工具用被覆部材が知られている。特許文献１に記載の被覆工具においては、工具基体を被覆する硬質膜が立方晶の金属化合物からなっている。そして、この金属化合物の（１１１）面および（２００）面を、基体の表面に対して、それぞれ所定の角度で傾けることで、被覆工具の耐摩耗性が高くなることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１１／０１６４８８

【発明の概要】

【0004】

本開示の一例の被覆工具は、基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備える。該被覆層は、周期表４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、ＹおよびＭｎの中から選ばれた少なくとも１種の元素と、Ｃ、ＮおよびＯの中から選ばれた少なくとも１種の元素とからなる立方晶結晶を含有する。前記立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布（１１１）は、最大ピークが５０°以上の領域に存在する。前記最大ピークにおける強度をＩｍａｘとしたとき、前記最大ピークの０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅が、２０°以上であり、９０°における強度が、０．７８Ｉｍａｘ以上である。前記Ｘ線強度分布（１１１）は、９０°における強度が、０．９Ｉｍａｘ以上である。本開示の切削工具は、第１端から第２端に向かって延び、前記第１端側にポケットを有するホルダと、前記ポケットに位置する上述の記載の被覆工具と、を備える。

【図面の簡単な説明】

【0005】

【図1】図１は、本開示の被覆工具の一例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示す被覆工具におけるＡ－Ａ断面の断面図である。

【図3】図３（ａ）は、図２に示す領域Ｂ１における拡大図である。図３（ｂ）は、図２に示す領域Ｂ１における他の形態の拡大図である。

【図4】図４は、本開示の被覆工具の被覆層における立方晶の結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布の一例である。

【図5】図５は、比較例の被覆工具の被覆層における立方晶の結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布の一例である。

【図6】図６は、比較例の被覆工具の被覆層における立方晶の結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布の一例である。

【図7】図７は、本開示の被覆工具の被覆層における立方晶結晶の（２００）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布の一例である。

【図8】図８は、本開示の切削工具の一例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0006】

＜被覆工具＞
以下、本開示の被覆工具について、図面を用いて詳細に説明する。但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、実施形態を説明する上で必要な主要部材のみを簡略化して示したものである。したがって、本開示の被覆工具は、参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。また、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各部材の寸法比率などを忠実に表したものではない。これらの点は、後述する切削工具においても同様である。

【0007】

本開示の被覆工具１は、四角板形状であって、四角形の第１面３（図１における上面）と、第２面５（図１における側面）と、第１面３及び第２面５が交わる稜線の少なくとも一部に位置する切刃７とを有している。また、本実施形態の被覆工具１は、四角形の第３面８（図１における下面）をさらに有している。

【0008】

本開示の被覆工具１においては、第１面３の外周の全体が切刃７となっていてもよいが、被覆工具１はこのような構成に限定されるものではない。例えば、四角形の第１面３における一辺のみ、若しくは、部分的に切刃７を有するものであってもよい。

【0009】

第１面３は、少なくとも一部にすくい面領域３ａを有しており、第１面３における切刃７に沿った領域がすくい面領域３ａとなっていてもよい。第２面５は、少なくとも一部に逃げ面領域５ａを有しており、第２面５における切刃７に沿った領域が逃げ面領域５ａとなっていてもよい。このような構成によれば、すくい面領域３ａ及び逃げ面領域５ａが交わる部分に切刃７が位置していると言い換えてもよい。

【0010】

図１では、第１面３におけるすくい面領域３ａと、それ以外の領域との境界を一点鎖線で示している。また、第２面５における逃げ面領域５ａと、それ以外の領域との境界を一点鎖線で示している。図１においては、第１面３及び第２面５が交わる稜線の全てが切刃７である例を示しているため、第１面３において上記境界を示す一点鎖線は環状となっている。

【0011】

被覆工具１の大きさは特に限定されるものではないが、例えば、第１面３の一辺の長さは、３～２０ｍｍとしてもよい。また、第１面３から第１面３の反対側に位置する第３面８までの高さは、５～２０ｍｍ程度としてもよい。

【0012】

本開示の被覆工具１は、図１及び図２に示すように、四角板形状の基体９と、この基体９の表面を被覆する被覆層１１とを備えている。被覆層１１は、基体９の表面の全体を覆っていてもよく、また、一部のみを覆っていてもよい。被覆層１１が基体９の一部のみを被覆しているときには、被覆層１１は、基体９の上の少なくとも一部に位置しているとも言うことができる。

【0013】

被覆層１１の厚みは、例えば、０．１～１０μｍ程度としてもよい。なお、被覆層１１の厚みは一定であっても、場所によって異なっていてもよい。

【0014】

本開示の被覆工具１は、図３（ａ）に示すように、基体９の表面に、被覆層１１を備える。被覆層１１は、周期表４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、ＹおよびＭｎの中から選ばれた少なくとも１種の元素と、Ｃ、ＮおよびＯの中から選ばれた少なくとも１種の元素とからなる立方晶結晶を含有する。立方晶結晶は、例えば、ＡｌＴｉＮやＡｌＣｒＮ、ＴｉＮなどである。ＴｉＡｌＮ結晶は、ＴｉＮ結晶にＡｌが固溶した結晶である。

【0015】

これらの立方晶結晶は、高い硬度と優れた耐摩耗性を有することから、被覆工具１の被覆層１１に好適に用いられるものである。

【0016】

本開示の被覆工具１は、被覆層１１における立方晶結晶の配向を制御することで、被覆工具１の耐久性を向上させたものである。被覆層１１に含まれる立方晶結晶は、（１１１）面を有している。基体９の表面に対する被覆層１１の立方晶結晶における（１１１）面の傾き角度を、Ｘ線回折装置を用いて測定することで、立方晶結晶の配向性を評価することができる。

【0017】

立方晶結晶における（１１１）面の配向性は、図４に示すように正極点図のＸ線強度分布（１１１）で評価することができる。

【0018】

例えば、立方晶結晶の（１１１）面の正極点図のα軸の０～９０°の範囲におけるＸ線強度分布において５０°の位置にピークがあるとき、基体９の表面に対して、（１１１）面が５０°傾いている立方晶結晶の数が多いことになる。

【0019】

本開示の被覆工具１における被覆層１１は、図４に示すように、立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸の０°～９０°の範囲におけるＸ線強度分布（１１１）は、最大ピークが５０°以上の領域に存在する。この最大ピークにおける強度をＩｍａｘとしたとき、最大ピークの０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅が、２０°以上である。

【0020】

言い換えると、Ｘ線強度分布（１１１）における最大ピークは、高角度側に存在し、かつ、０．８Ｉｍａｘ以上の強度が２０°以上の広い範囲に存在している。

【0021】

また、本開示の被覆工具１は、９０°における強度が、０．７８Ｉｍａｘ以上である。本開示の被覆工具１は、９０°においても、高い強度を有している。

【0022】

このような構成を有することから、本開示の被覆工具１は、耐久性に優れる。

【0023】

被覆膜１１は、０．８Ｉｍａｘ（１１１）以上のピークが２５°以上の範囲に存在していてもよい。このような構成を有すると、被覆工具は耐久性に優れる。

【0024】

また、本開示の被覆工具１において、Ｘ線強度分布（１１１）は、最大ピークの０．９Ｉｍａｘにおけるピーク幅が、１５°以上である。このような構成を有すると、高いＸ線強度を有する領域が高角度側に広く存在するため、被覆工具１は耐久性に優れる。

【0025】

また、本開示の被覆工具１において、Ｘ線強度分布（１１１）は、９０°におけるピーク強度が、０．９Ｉｍａｘ以上であってもよい。このような構成を有すると、９０°という高角度においても、立方晶結晶の（１１１）面の配向性が高いため、被覆工具１は耐久性に優れる。

【0026】

また、本開示の被覆工具１において、Ｘ線強度分布（１１１）は、１５°以下の領域におけるピーク強度が０．６Ｉｍａｘ未満であってもよい。このような構成を有すると、低角度側における（１１１）面の配向性が低くなり、相対的に高角度側における（１１１）面の配向強度が高いため、被覆工具１は耐久性に優れる。

【0027】

また、図７に示すように、被覆層１１は、立方晶結晶の（２００）面に関する正極点図のα軸の０～９０°の範囲におけるＸ線強度分布が、第１ピークと、この第１ピークよりも高角度に位置する第２ピークとを有し、さらに、第１ピークおよび第２ピークの間に第１ピークおよび第２ピークのＸ線強度よりもＸ線強度が低い谷部を有していてもよい。

【0028】

このように、立方晶結晶の（２００）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布が、０°～９０°の間に第１ピークおよび第２ピークを有すると、耐久性に優れた被覆工具１となる。

【0029】

また、図７に示すように、被覆層１１は、立方晶結晶の（２００）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布は、１５°～３０°の間に第１ピークを有し、６０°～７５°の間に第２ピークを有していてもよい。このような構成を有する場合、被覆層１１の硬度、剥離荷重が大きくなる。

【0030】

被覆工具１の特性は、例えば、硬度や、スクラッチ試験により測定する剥離荷重で評価することができる。被覆工具１の耐久性は、硬度と剥離荷重の影響を受ける。いずれか一方だけが高くとも被覆工具１は、高い耐久性を有するものとならない。本開示の被覆工具１は、硬度と剥離荷重のバランスがよく、耐久性に優れている。

【0031】

被覆層１１は、立方晶結晶としてＡｌＴｉＮ結晶を含有するＡｌＴｉＮ層１３を備えていてもよい。ＡｌＴｉＮ層１３は、アルミニウムの含有比率がチタンの含有比率よりも高くてもよい。また、ＡｌＴｉＮ層１３は、チタンの含有比率がアルミニウムの含有比率よりも高くてもよい。また、ＡｌＴｉＮ層１３は、アルミニウム及びチタンに加えて、クロムをさらに含有していてもよい。但し、クロム成分と比較してアルミニウム及びチタンのそれぞれの含有比率の合計が高い。ＡｌＴｉＮ層１３におけるクロムの含有比率は、例えば、０．１～２０％としてもよい。なお、上記における「含有比率」とは、原子比での含有比率を示している。

【0032】

また、被覆層１１は、立方晶結晶として、ＡｌＣｒＮ結晶を含有するＡｌＣｒＮ層を有していてもよい。

【0033】

また、図３（ｂ）に示すように、本開示の被覆工具１は、ＡｌＴｉＮ層１３に加えて、ＡｌＣｒＮ結晶を含有するＡｌＣｒＮ層１５を有していてもよい。また、ＡｌＴｉＮ層１３およびＡｌＣｒＮ層１５はそれぞれ複数積層されていてもよい。積層の順は、逆でもよく、相互に複数のＡｌＴｉＮ層１３とＡｌＣｒＮ層１５とを積層されていてもよい。

【0034】

ＡｌＣｒＮ層１５は、アルミニウム及びクロムのみによって構成されていてもよいが、アルミニウム及びクロムに加えて、Ｓｉ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｖ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｔｉ及びＷなどの金属成分を含有していてもよい。但し、ＡｌＣｒＮ層１５では、上記の金属成分と比較してアルミニウム及びクロムのそれぞれの含有比率の合計が高い。アルミニウムの含有比率は、例えば、２０～６０％としてもよい。また、クロムの含有比率は、例えば、４０～８０％にしてもよい。

【0035】

被覆工具１が、複数のＡｌＣｒＮ層１５を有する場合、それぞれのＡｌＣｒＮ層１５において、アルミニウムの含有比率がクロムの含有比率よりも高くてもよく、また、複数のＡｌＣｒＮ層１５のそれぞれにおいて、クロムの含有比率がアルミニウムの含有比率よりも高くてもよい。

【0036】

また、ＡｌＣｒＮ層１５は、アルミニウム及びクロムを含む金属成分のみによって構成されていてもよいが、アルミニウム及びクロムは、単独またはいずれも含む、窒化物、炭化物又は炭窒化物であってもよい。

【0037】

ＡｌＴｉＮ層１３及びＡｌＣｒＮ層１５の組成は、例えば、エネルギー分散型Ｘ線分光分析法（ＥＤＳ）又はＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）などによって測定することが可能である。

【0038】

ＡｌＴｉＮ層１３及びＡｌＣｒＮ層１５の積層数は、特定の値に限定されるものではない。ＡｌＴｉＮ層１３及びＡｌＣｒＮ層１５の数は、例えば、２～５００としてもよい。

【0039】

被覆層１１は、ＡｌＴｉＮ層１３を有すると耐欠損性が高くなる。また、被覆層１１は、ＡｌＣｒＮ層１５を有すると耐摩耗性が高くなる。被覆層１１は、複数のＡｌＴｉＮ層１３及び複数のＡｌＣｒＮ層１５が交互に位置する構成とすると、被覆層１１の全体としての強度が高くなる。

【0040】

なお、複数のＡｌＴｉＮ層１３及び複数のＡｌＣｒＮ層１５のそれぞれの厚みが厚く、且つ、複数のＡｌＴｉＮ層１３及び複数のＡｌＣｒＮ層１５の数が少ない場合よりも、複数のＡｌＴｉＮ層１３及び複数のＡｌＣｒＮ層１５のそれぞれの厚みが薄く、且つ、複数のＡｌＴｉＮ層１３及び複数のＡｌＣｒＮ層１５の数が多い場合の方が、被覆層１１の全体としての強度が高い。

【0041】

ＡｌＴｉＮ層１３及びＡｌＣｒＮ層１５の厚みは、特定の値に限定されるものではないが、例えば、それぞれ５ｎｍ～１００ｎｍに設定できる。なお、複数のＡｌＴｉＮ層１３及び複数のＡｌＣｒＮ層１５の厚みは、一定であっても、互いに異なっていてもよい。

【0042】

なお、本開示の被覆工具１は、図１に示すように四角板形状であるが、被覆工具１の形状としてはこのような形状に限定されるものではない。例えば、第１面３及び第３面８が四角形ではなく、三角形、六角形又は円形などであっても何ら問題ない。

【0043】

本開示の被覆工具１は、図１に示すように、例えば、貫通孔１７を有していてもよい。貫通孔１７は、第１面３から第１面３の反対側に位置する第３面８にかけて形成されており、これらの面において開口している。貫通孔１７は、被覆工具１をホルダに保持する際に、ネジ又はクランプ部材などを取り付けるために用いることが可能である。なお、貫通孔１７は、第２面５における互いに反対側に位置する領域において開口する構成であっても何ら問題ない。

【0044】

基体９の材質としては、例えば、超硬合金、サーメット及びセラミックスなどの無機材料が挙げられる。超硬合金の組成としては、例えば、ＷＣ（炭化タングステン）－Ｃｏ、ＷＣ－ＴｉＣ（炭化チタン）－Ｃｏ及びＷＣ－ＴｉＣ－ＴａＣ（炭化タンタル）－Ｃｏなどが挙げられる。ここで、ＷＣ、ＴｉＣ及びＴａＣは硬質粒子であり、Ｃｏは結合相である。また、サーメットは、セラミック成分に金属を複合させた焼結複合材料である。具体的には、サーメットとして、ＴｉＣ又はＴｉＮ（窒化チタン）を主成分とした化合物などが挙げられる。なお、基体９の材質としては、これらに限定されるものではない。

【0045】

被覆層１１は、例えば、物理蒸着（ＰＶＤ）法などを用いることによって、基体９の上に位置させることが可能である。例えば、貫通孔１７の内周面で基体９を保持した状態で上記の蒸着法を利用して被覆層１１を形成する場合には、貫通孔１７の内周面を除く基体９の表面の全体を覆うように被覆層１１を位置させることができる。

【0046】

物理蒸着法としては、例えば、イオンプレーティング法及びスパッタリング法などが挙げられる。一例として、イオンプレーティング法で作製する場合には、下記の方法によって被覆層１１を作製することができる。

【0047】

第１の手順として、周期律表４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、ＹおよびＭｎの中から選ばれた少なくとも１種の元素を含有する金属ターゲット、複合化した合金ターゲット又は焼結体ターゲットを準備する。金属源である上記のターゲットをアーク放電又はグロー放電などによって蒸発させてイオン化する。イオン化したターゲットを、窒素源の窒素（Ｎ_２）ガス、炭素源のメタン（ＣＨ_４）ガス又はアセチレン（Ｃ_２Ｈ_２）ガスなどと反応させるとともに、基体９の表面に蒸着させる。以上の手順によって、例えば、ＡｌＴｉＮ層やＡｌＣｒＮ層などの立方晶の被覆層１１を形成することが可能である。被覆層１１は、単層であっても、積層膜であってもよい。

【0048】

交互積層にする場合には、第２の手順として、周期表４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、ＹおよびＭｎの中から選ばれた少なくとも１種の元素を含有する金属ターゲット、複合化した合金ターゲット又は焼結体ターゲットを準備する。金属源である上記のターゲットをアーク放電又はグロー放電などによって蒸発させてイオン化する。イオン化したターゲットを、窒素源の窒素（Ｎ_２）ガス、炭素源のメタン（ＣＨ_４）ガス又はアセチレン（Ｃ_２Ｈ_２）ガスなどと反応させるとともに、基体９の表面に蒸着させる。以上の手順によって例えば、ＡｌＴｉＮ層１３と、ＡｌＣｒＮ層１５を積層した被覆層１１を形成することが可能である。

【0049】

上記の第１の手順及び第２の手順を交互に繰り返すことによって、複数のＡｌＴｉＮ層１３及び複数のＡｌＣｒＮ層１５が交互に積層された構成の被覆層１１を形成することが可能である。なお、まず第２の手順を行った後に第１の手順を行ってもよい。また、単層のみを設けてもよい。

【0050】

本開示の被覆工具１を得るには、上記の第１および第２の手順において、基体の温度を３００～６００℃とし、圧力を２．０～６．０Ｐａとし、基体に直流バイアス電圧を－５５Ｖ～－９５Ｖを印可して、アーク放電電流を１２０～１８０Ａとするとよい。

【0051】

成膜条件のうち、直流バイアス電圧を変化させると、０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅、０．９Ｉｍａｘにおけるピーク幅、９０°における強度を変化させることができる。

【0052】

直流バイアス電圧は、６０Ｖ以上、９０Ｖ以下としてもよい。また、直流バイアス電圧は、６５Ｖ以上、８５Ｖ以下としてもよい。このような成膜条件とすると、０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅、０．９Ｉｍａｘにおけるピーク幅が広い、また、９０°における強度が高い。

【0053】

＜切削工具＞
次に、本開示の切削工具について図面を用いて説明する。

【0054】

本開示の切削工具１０１は、図８に示すように、例えば、第１端（図８における上端）から第２端（図８における下端）に向かって延びる棒状体である。切削工具１０１は、図８に示すように、第１端側（先端側）にポケット１０３を有するホルダ１０５と、ポケット１０３に位置する上記の被覆工具１とを備えている。切削工具１０１は、被覆工具１を備えているため、長期に渡り安定した切削加工を行うことができる。

【0055】

ポケット１０３は、被覆工具１が装着される部分であり、ホルダ１０５の下面に対して平行な着座面と、着座面に対して傾斜する拘束側面とを有している。また、ポケット１０３は、ホルダ１０５の第１端側において開口している。

【0056】

ポケット１０３には被覆工具１が位置している。このとき、被覆工具１の下面がポケット１０３に直接に接していてもよく、また、被覆工具１とポケット１０３との間にシート（不図示）が挟まれていてもよい。

【0057】

被覆工具１は、第１面３及び第２面５が交わる稜線における切刃７として用いられる部分の少なくとも一部がホルダ１０５から外方に突出するようにホルダ１０５に装着される。本実施形態においては、被覆工具１は、固定ネジ１０７によって、ホルダ１０５に装着されている。すなわち、被覆工具１の貫通孔１７に固定ネジ１０７を挿入し、この固定ネジ１０７の先端をポケット１０３に形成されたネジ孔（不図示）に挿入してネジ部同士を螺合させることによって、被覆工具１がホルダ１０５に装着されている。

【0058】

ホルダ１０５の材質としては、鋼、鋳鉄などを用いることができる。これらの部材の中で靱性の高い鋼を用いてもよい。

【0059】

本実施形態においては、いわゆる旋削加工に用いられる切削工具を例示している。旋削加工としては、例えば、内径加工、外径加工及び溝入れ加工などが挙げられる。なお、切削工具としては旋削加工に用いられるものに限定されない。例えば、転削加工に用いられる切削工具に上記の実施形態の被覆工具１を用いてもよい。

【実施例】

【0060】

ＷＣ－Ｃｏ系の超硬合金の表面に、厚みが約１５ｎｍのＡｌＴｉＮ層と、厚みが約１５ｎｍのＡｌＣｒＮ層とを交互に積層して、約５μｍの厚みの被覆膜を形成した。被覆膜の形成にあたり、基体の温度は、５５０℃とし、圧力は、４．０Ｐａとした。基体に直流バイアス電圧－３５Ｖ、－５５Ｖ、－１１５Ｖを印可して、アーク放電電流は、ＡｌＴｉＮ層の成膜時は１６０Ａとし、ＡｌＣｒＮ層の成膜時には１４０Ａとした。なお、直流バイアス電流－３５Ｖ、－１１５Ｖの例は、比較例である。

【0061】

図４に、直流バイアス電圧を－５５Ｖとして得られた試料Ｎｏ．１の被覆膜の立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布を示す。図５に、直流バイアス電圧を－３５Ｖとして得られた試料Ｎｏ．２の被覆膜の立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布を示す。図６に、直流バイアス電圧を－１１５Ｖとして得られた試料Ｎｏ．３の被覆膜の立方晶結晶の（１１１）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布を示す。また、図７に直流バイアス電圧を－５５Ｖとして得られた試料Ｎｏ．１の被覆膜の立方晶結晶の（２００）面に関する正極点図のα軸のＸ線強度分布を示す。

【0062】

Ｘ線強度分布の測定条件は以下の通りとした。なお、試料面法線が入射線と回折線で決まる平面上にあるとき、α角を９０°とする。α角が９０°のとき、正極点図上では中心の点となる。

【0063】

・ 平板コリメータ
・ 走査方法：同心円
・ β走査範囲：０～３６０°/２．５°ピッチ
・ θ固定角度：ＡｌＴｉＮ結晶の（１１１）面の回折角度は３６．０°から３８．０°までの間で回折強度が最も高くなる角度とする。ＡｌＴｉＮ結晶の（２００）面の回折角度は４２．０°から４４．０°までの間で回折強度が最も高くなる角度とする。

【0064】

・ α走査範囲：０～９０°/２．５°ステップ
・ ターゲット：ＣｕＫα、電圧：４５ｋＶ、電流：４０ｍＡ
また、剥離荷重は、スクラッチ試験機にて荷重範囲０～１００Ｎとして、剥離が生じた荷重を測定した。

【0065】

【表1】

【0066】

表１に試料Ｎｏ．１～３の被覆膜の立方晶結晶の（１１１）面の最大ピークの角度、０．８Ｉｍａｘにおけるピーク幅、０．９Ｉｍａｘにおけるピーク幅、９０°における強度を示す。

【0067】

本開示の被覆工具である試料Ｎｏ．１は、剥離荷重が大きく、硬度も優れていた。

【符号の説明】

【0068】

１・・・被覆工具
３・・・第１面、すくい面
５・・・第２面、逃げ面
７・・・切刃
９・・・基体
１１・・・被覆層
１３・・・ＡｌＴｉＮ層
１５・・・ＡｌＣｒＮ層
１７・・・貫通孔
１０１・・・切削工具
１０３・・・ポケット
１０５・・・ホルダ
１０７・・・固定ネジ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】