発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、作業室内上側の左右側面と背面に仕切り板を設けることにより、作業室内の層流を保証できる高風速、例えば０．４５ｍ／ｓ相当のダウンフロー気流を保持できる。

また、作業室内前方上側に仕切りを備えることにより、作業室内の層流を保証できる高風速、例えば０．４５ｍ／ｓ相当のダウンフロー気流を保持できる。

また、装置の稼働による発塵を外部に漏らすことなく清浄度を確保でき、かつ、作業室内内から作業者側に漏洩することを防止する安全キャビネットを提供できる。

さらに、前面シャッター作業室側内面の清浄空気と、作業室内前方上側の仕切りの内面の清浄空気の２層の清浄空気により、強力なエアバリアを形成することができ、装置の稼働や人の作業によるコンタミネーションを抑制できる。

した以外の課題、構成および効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。