特許 7196454 テーブル装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-19

(45)【発行日】2022-12-27

(54)【発明の名称】テーブル装置

(51)【国際特許分類】

   G12B 5/00 20060101AFI20221220BHJP

【ＦＩ】

G12B5/00 T

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2018151865

(22)【出願日】2018-08-10

(65)【公開番号】P2020027026

(43)【公開日】2020-02-20

【審査請求日】2021-07-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】倉持 尚史

(72)【発明者】

【氏名】古川 秀樹

(72)【発明者】

【氏名】杉田 澄雄

【審査官】榮永 雅夫

(56)【参考文献】

【文献】登録実用新案第３２０５６３５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】再公表特許第２００８／０７５６１６（ＪＰ，Ａ１）

【文献】特開平１１－６３１６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１９８７３９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ１２Ｂ ５／００

Ｂ２３Ｑ １／００ － １／７６

Ｇ０３Ｆ ７／２０ － ７／２４

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

Ｆ１６Ｃ ２９／００ － ３１／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、
前記板状部材の前記第１面と対向する第１基板と、
前記板状部材を介して前記第１基板と対向する第２基板と、
前記第１空間に設けられ、前記第１基板を移動させる移動機構と、
前記第２基板と前記第２面との間に設けられ、前記第２基板を移動可能に支持する支持部と、を備え、
前記第１基板において、前記第１面と対向する面には、第１極性が前記第１面と対向する第１引力発生部と、前記第１極性とは異なる第２極性が前記第１面と対向する第２引力発生部とが２つずつ設けられ、
前記第２基板において、前記第２面と対向する面には、前記板状部材を介して前記第２極性が前記第１引力発生部と対向する第３引力発生部と、前記板状部材を介して前記第１極性が前記第２引力発生部と対向する第４引力発生部とが２つずつ設けられ、
一方の前記第１引力発生部と、他方の前記第１引力発生部と、一方の前記第２引力発生部と、他方の前記第２引力発生部とを結んで得られる四角形において、対向する辺の中点を結んだ仮想線同士の交点を第１対称点とした場合、一方の前記第１引力発生部と、他方の前記第１引力発生部とは、前記第１対称点に対して点対称に配置され、一方の前記第２引力発生部と、他方の前記第２引力発生部とは、前記第１対称点に対して点対称に配置されており、
一方の前記第３引力発生部と、他方の前記第３引力発生部と、一方の前記第４引力発生部と、他方の前記第４引力発生部とを結んで得られる四角形において、対向する辺の中点を結んだ仮想線同士の交点を第２対称点とした場合、一方の前記第３引力発生部と、他方の前記第３引力発生部とは、前記第２対称点に対して点対称に配置され、一方の前記第４引力発生部と、他方の前記第４引力発生部とは、前記第２対称点に対して点対称に配置されている、
テーブル装置。

【請求項2】

前記第１引力発生部と、前記第２引力発生部と、前記第３引力発生部と、前記第４引力発生部とは、それぞれ、磁石である、
請求項１に記載のテーブル装置。

【請求項3】

前記第１基板及び前記第２基板は、矩形形状であり、
一方の前記第１引力発生部及び他方の前記第１引力発生部と、一方の前記第２引力発生部及び他方の前記第２引力発生部とは、それぞれ、前記第１基板において、対向する各辺の中点を結んだ線上に線対称となるように配置され、
一方の前記第３引力発生部及び他方の前記第３引力発生部と、一方の前記第４引力発生部及び他方の前記第４引力発生部とは、それぞれ、前記第２基板において、対向する各辺の中点を結んだ線上に線対称となるように配置されている、
請求項１または２に記載のテーブル装置。

【請求項4】

前記第１基板及び前記第２基板は、矩形形状であり、
一方の前記第１引力発生部と、他方の前記第１引力発生部とは、前記第１基板において、一方の前記第２引力発生部と、他方の前記第２引力発生部とに対し、対向する各辺の中点を結んだ線に対し非線対称に配置され、
一方の前記第１引力発生部及び他方の前記第１引力発生部と、一方の前記第２引力発生部及び他方の前記第２引力発生部とは、それぞれ、前記各辺の中点を結んだ線の交点を対称点として点対称に配置され、
一方の前記第３引力発生部と、他方の前記第３引力発生部とは、前記第２基板において、一方の前記第４引力発生部と、他方の前記第４引力発生部とに対し、対向する各辺の中点を結んだ線に対し非線対称に配置され、
一方の前記第３引力発生部及び他方の前記第３引力発生部と、一方の前記第４引力発生部及び他方の前記第４引力発生部とは、それぞれ、前記各辺の中点を結んだ線の交点を対称点として点対称に配置されている、
請求項１または２に記載のテーブル装置。

【請求項5】

前記第１基板及び前記第２基板は、矩形形状であり、
一方の前記第１引力発生部と、他方の前記第１引力発生部とは、前記第１基板において、一方の前記第２引力発生部と、他方の前記第２引力発生部とに対して、対向する各辺の中点を結んだ線に対し線対称に配置され、
一方の前記第１引力発生部及び他方の前記第１引力発生部と、一方の前記第２引力発生部及び他方の前記第２引力発生部とは、それぞれ、前記各辺の中点を結んだ線の交点を対称点として点対称に配置され、
一方の前記第３引力発生部と、他方の前記第３引力発生部とは、前記第２基板において、一方の前記第４引力発生部と、他方の前記第４引力発生部とに対し、対向する各辺の中点を結んだ線に対し線対称に配置され、
一方の前記第３引力発生部及び他方の前記第３引力発生部と、一方の前記第４引力発生部及び他方の前記第４引力発生部とは、それぞれ、前記各辺の中点を結んだ線の交点を対称点として点対称に配置されている、
請求項１または２に記載のテーブル装置。

【請求項6】

前記第１引力発生部と、前記第２引力発生部と、前記第３引力発生部と、前記第４引力発生部は、それぞれ、耐食層で覆われている、
請求項１から５のいずれか１項に記載のテーブル装置。

【請求項7】

前記支持部は、前記第２基板に固定されたハウジングと、
前記ハウジングの内部に、回転可能に設けられたボールと、を有する、
請求項１から６のいずれか１項に記載のテーブル装置。

【請求項8】

前記板状部材及び前記第２基板は、耐熱材料である、
請求項１から７のいずれか１項に記載のテーブル装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テーブル装置に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送装置、工作機械又は半導体製造装置には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内で、テーブルをスライド移動させて位置決めするテーブル装置が用いられる。特許文献１には、ステージと、ステージの両サイドに設けられた固定子移動ユニットと、ステージと連結された移動型固定子とを有するステージ装置が開示されている。

【0003】

特許文献１では、固定子移動ユニットにコイルが配置され、移動型固定子に磁石が配置される。コイルと磁石との間に発生する引力により、固定子移動ユニットの移動に伴って移動型固定子及びステージが移動する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開平１１－２８７８８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

テーブル装置は、真空雰囲気や、特殊ガス雰囲気のプロセス室内や、クリーン環境等で用いられる場合がある。特許文献１において、例えば、移動機構などが設けられる第１空間と、対象物の検査を行う第２空間とが板状部材などで区切られている場合、第２空間にスライドを設置する際に、第１空間のテーブルの位置を目視することができない問題が発生する。この場合、第２空間にテーブルを正しい向きで配置したとしても、第１空間のテーブルと、第２空間のテーブルとの位置関係がずれるおそれがある。

【0006】

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、第２空間のテーブルが、第１空間のテーブルに対して正しい位置に取り付けられているか否かを容易に判断することのできるテーブル装置を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の目的を達成するため、本発明の一態様に係るテーブル装置は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、前記板状部材の前記第１面と対向する第１基板と、前記板状部材を介して前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１空間に設けられ、前記第１基板を移動させる移動機構と、前記第２基板と前記第２面との間に設けられ、前記第２基板を移動可能に支持する支持部と、を備え、前記第１基板において、前記第１面と対向する面には、第１極性が前記第１面と対向する第１引力発生部と、前記第１極性とは異なる第２極性が前記第１面と対向する第２引力発生部とが設けられ、前記第２基板において、前記第２面と対向する面には、前記板状部材を介して前記第２極性が前記第１引力発生部と対向する第３引力発生部と、前記板状部材を介して前記第１極性が前記第２引力発生部と対向する第４引力発生部が設けられている。

【0008】

これにより、第１基板の引力発生部と、第２基板の引力発生部とが対向して正しく配置されていない場合、第２空間のテーブルが、本来の姿勢とは異なった姿勢で設置されることとなる。したがって、作業者などは、第２空間のテーブルが正しく取り付けられていないことを容易に把握することができる。

【0009】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１引力発生部と、前記第２引力発生部と、前記第３引力発生部と、前記第４引力発生部とは、それぞれ、磁石である。これにより、第１引力発生部から第４引力発生部を動作させるための駆動回路や配線などを設ける必要がなく、第１基板及び第２基板の構成を簡便にできる。

【0010】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１引力発生部と、前記第２引力発生部と、前記第３引力発生部と、前記第４引力発生部とは、２つずつ設けられており、一方の前記第１引力発生部と、他方の前記第１引力発生部と、一方の前記第２引力発生部と、他方の前記第２引力発生部とを結んで得られる四角形において、対向する辺の中点を結んだ仮想線同士の交点を第１対称点として場合、一方の前記第１引力発生部と、他方の前記第１引力発生部とは、前記第１対称点に対して点対称に配置され、一方の前記第２引力発生部と、他方の前記第２引力発生部とは、前記第１対称点に対して点対称に配置されており、一方の前記第３引力発生部と、他方の前記第３引力発生部と、一方の前記第４引力発生部と、他方の前記第４引力発生部とを結んで得られる四角形において、対向する辺の中点を結んだ仮想線同士の交点を第２対称点として場合、一方の前記第３引力発生部と、他方の前記第３引力発生部とは、前記第２対称点に対して点対称に配置され、一方の前記第４引力発生部と、他方の前記第４引力発生部とは、前記第２対称点に対して点対称に配置されている。これにより、第１基板及び第２基板のヨーイング方向のモーメント剛性を確保することができる。

【0011】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板及び前記第２基板は、矩形形状であり、一方の前記第１引力発生部及び他方の前記第１引力発生部と、一方の前記第２引力発生部及び他方の前記第２引力発生部とは、それぞれ、前記第１基板において、対向する各辺の中点を結んだ線上に線対称となるように配置され、一方の前記第３引力発生部及び他方の前記第３引力発生部と、一方の前記第４引力発生部及び他方の前記第４引力発生部とは、それぞれ、前記第２基板において、対向する各辺の中点を結んだ線上に線対称となるように配置されている。これにより、第１基板及び第２基板のヨーイング方向のモーメント剛性を確保することができる。

【0012】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板及び前記第２基板は、矩形形状であり、一方の前記第１引力発生部と、他方の前記第１引力発生部とは、前記第１基板において、一方の前記第２引力発生部と、他方の前記第２引力発生部とに対し、対向する各辺の中点を結んだ線に対し非線対称に配置され、一方の前記第１引力発生部及び他方の前記第１引力発生部と、一方の前記第２引力発生部及び他方の前記第２引力発生部とは、それぞれ、前記各辺の中点を結んだ線の交点を対称点として点対称に配置され、一方の前記第３引力発生部と、他方の前記第３引力発生部とは、前記第２基板において、一方の前記第４引力発生部と、他方の前記第４引力発生部とに対し、対向する各辺の中点を結んだ線に対し非線対称に配置され、一方の前記第３引力発生部及び他方の前記第３引力発生部と、一方の前記第４引力発生部及び他方の前記第４引力発生部とは、それぞれ、前記各辺の中点を結んだ線の交点を対称点として点対称に配置されている。これにより、第１基板及び第２基板のヨーイング方向のモーメント剛性を確保することができる。

【0013】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板及び前記第２基板は、矩形形状であり、一方の前記第１引力発生部と、他方の前記第１引力発生部とは、前記第１基板において、一方の前記第２引力発生部と、他方の前記第２引力発生部とに対して、対向する各辺の中点を結んだ線に対し線対称に配置され、一方の前記第１引力発生部及び他方の前記第１引力発生部と、一方の前記第２引力発生部及び他方の前記第２引力発生部とは、それぞれ、前記各辺の中点を結んだ線の交点を対称点として点対称に配置され、一方の前記第３引力発生部と、他方の前記第３引力発生部とは、前記第２基板において、一方の前記第４引力発生部と、他方の前記第４引力発生部とに対し、対向する各辺の中点を結んだ線に対し線対称に配置され、一方の前記第３引力発生部及び他方の前記第３引力発生部と、一方の前記第４引力発生部及び他方の前記第４引力発生部とは、それぞれ、前記各辺の中点を結んだ線の交点を対称点として点対称に配置されている。これにより、第１基板及び第２基板のヨーイング方向のモーメント剛性を確保することができる。

【0014】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１引力発生部と、前記第２引力発生部と、前記第３引力発生部と、前記第４引力発生部は、それぞれ、耐食層で覆われている。これにより、耐食性を確保し、腐食性を有するガスを使用するガス滅菌を行うことができるので、テーブル装置を滅菌環境で使用することができる。

【0015】

テーブル装置の望ましい態様として、前記支持部は、前記第２基板に固定されたハウジングと、前記ハウジングの内部に、回転可能に設けられたボールと、を有する。これにより、ボールの回転により、第２基板は、第１基板の移動に伴って第２空間を移動する。また、支持部の構成が簡便であり、第２基板の構成も簡便にできる。

【0016】

テーブル装置の望ましい態様として、前記板状部材及び前記第２基板は、耐熱材料である。これによれば、板状部材及び第２基板に、高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより容易に滅菌処理を施すことができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、第１空間のテーブルが、第２空間のテーブルに対して正しい位置に取り付けられているか否かを容易に判断することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、本発明の各実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。

【図2】図２は、図１におけるＡ－Ａ断面図である。

【図3】図３は、本発明の第１実施形態に係る第１基板の平面図である。

【図4】図４は、本発明の第１実施形態に係る第２基板の平面図である。

【図5】図５は、本発明の第１実施形態に係る引力発生部を配置する場所を説明するための図である。

【図6】図６は、本発明の第１実施形態に係る第１基板と、第２基板との姿勢がずれた様子の一例を示す図である。

【図7】図７は、本発明の各実施形態に係る第２移動機構の一例を示す側面図である。

【図8】図８は、本発明の第２実施形態に係る第１基板の平面図である。

【図9】図９は、本発明の第２実施形態に係る第２基板の平面図である。

【図10】図１０は、本発明の第２実施形態に係る引力発生部を配置する場所を説明するための図である。

【図11】図１１は、本発明の第２実施形態に係る第１基板と、第２基板との姿勢がずれた様子の一例を示す図である。

【図12】図１２は、本発明の第３実施形態に係る第１基板の平面図である。

【図13】図１３は、本発明の第３実施形態に係る第２基板の平面図である。

【図14】図１４は、本発明の第３実施形態に係る引力発生部を配置する方法を説明するための図である。

【図15】図１５は、本発明の第３実施形態に係る第１基板と、第２基板との姿勢がずれた様子の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

【0020】

図１は、本発明の各実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。図２は、図１におけるＡ－Ａ断面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る第１基板の平面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る第２実施形態に係る第２基板の平面図である。

【0021】

[第１実施形態]
図１に示すように、テーブル装置１は、筐体２と、第１テーブル３と、第２テーブル４と、第１移動機構６と、第２移動機構７とを含む。第１テーブル３、第１移動機構６及び第２移動機構７は、筐体２の内側の第１空間Ｐに設けられる。第２テーブル４は、筐体２の外側の第２空間Ｒに設けられる。第２空間Ｒは、特定の環境を維持し、操作対象物の位置決めや、加工、検査等を行うための空間である。第２空間Ｒは、作業に適した特定の環境を維持できる空間であればよい。第２空間Ｒは、真空、減圧、ガス置換（減圧又は陽圧）、温度の異なる空間、クリーン環境、異物環境等の様々な環境に適用可能である。例えば、テーブル装置１は、細胞等のサンプルの採取や各種検査等を行うバイオ用途に用いられる。この場合、第２空間Ｒはクリーン環境であり、第２空間Ｒ内の第２テーブル４は、高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより滅菌処理が施される。

【0022】

筐体２は、板状部材２１を含む。板状部材２１は、筐体２の側面に対して垂直な方向に延出する板状の部材であり、筐体２と一体に設けられる。第１空間Ｐと第２空間Ｒとは板状部材２１によって区切られている。本実施形態では、板状部材２１は非磁性体であり、非磁性ステンレス等が用いられる。非磁性ステンレスとして、合金オーステナイト系ステンレス（例えばＳＵＳ３１６等）が挙げられる。

【0023】

なお、本実施形態において、水平面内の一方向をＸ方向とし、水平面内においてＸ方向と交差する方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと交差する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。板状部材２１は、Ｘ方向とＹ方向とが成す平面と平行となっている。

【0024】

図２に示すように、板状部材２１は、第１面２１ａと、第１面２１ａと反対側の第２面２１ｂとを有する。第１空間Ｐは、第１面２１ａ側の空間である。第２空間Ｒは、第２面２１ｂ側の空間である。板状部材２１によって、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが分離されている。板状部材２１は、第１空間Ｐと第２空間Ｒとを連通する孔部等が設けられていない連続した板状の部材である。板状部材２１には、少なくとも第１テーブル３及び第２テーブル４の可動範囲と重なる領域で連続しており、孔部等が設けられていない。これにより、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により発生する異物を含む気体が、第１空間Ｐから第２空間Ｒに流入することを抑制できる。したがって、第２空間Ｒの環境を維持することができる。

【0025】

第１テーブル３は、第１基板３１と、第１引力発生部３２と、第１支持部３４と、を含む。第１基板３１は、第１主面３１ａと、第１主面３１ａと反対側の第２主面３１ｂとを有する板状の部材である。第１基板３１の第１主面３１ａは、板状部材２１の第１面２１ａと離隔して対向する。第１基板３１の第２主面３１ｂは、第２移動機構７の連結部７７と連結される。第１基板３１は、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により、板状部材２１の第１面２１ａと平行な面内を移動する。

【0026】

第１引力発生部３２と、第１支持部３４とは、第１基板３１の第１主面３１ａに設けられる。言い換えると、第１引力発生部３２と、第１支持部３４とは、第１基板３１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、第１引力発生部３２は、例えば、磁石であり、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。第１引力発生部３２は、Ｓ極が第１主面３１ａに接している。具体的には後述するが、図３に示すように、第１主面３１ａには、第１引力発生部３２の他に、Ｎ極が第１主面３１ａに接している第２引力発生部３３が配置されている。

【0027】

第１支持部３４は、ハウジング３４１と、ボール３４２とを含む。ハウジング３４１は第１基板３１に固定される。ボール３４２は、ハウジング３４１の凹部内に回転可能に設けられている。ボール３４２は、板状部材２１の第１面２１ａと接している。第１支持部３４は、例えば、ボールローラであり、ボール３４２の回転により、第１基板３１は、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能になっている。第１支持部３４が設けられているため、第１引力発生部３２が板状部材２１に接触することを抑制でき、第１基板３１がスムーズに移動できる。

【0028】

図３に示すように、第１基板３１は、平面視で矩形状である。なお、図３は、第１基板３１の第１主面３１ａ側から見たときの平面図である。第１基板３１は、第１側面３１ｃ、第２側面３１ｄ、第３側面３１ｅ及び第４側面３１ｆを有する。第１側面３１ｃ、第２側面３１ｄ、第３側面３１ｅ及び第４側面３１ｆは、第１主面３１ａと第２主面３１ｂとの間の面である。第１側面３１ｃは、第２側面３１ｄと対向する。第３側面３１ｅは、第１側面３１ｃと第２側面３１ｄとの間の面であり、第４側面３１ｆと対向する。

【0029】

第１支持部３４は、第１基板３１の第１主面３１ａの４隅のそれぞれに設けられる。第１基板３１の第１主面３１ａには、２つの第１引力発生部３２１、３２２と、２つの第２引力発生部３３１、３３２とが設けられる。この場合、第１引力発生部３２１、３２２はＳ極が第１主面３１ａに接しており、第２引力発生部３３１、３３２はＮ極が第１主面３１ａに接している。ここで、第３側面３１ｅのＸ方向の中点と、第４側面３１ｆのＸ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ１とする。第１側面３１ｃのＹ方向の中点と、第２側面３１ｄのＹ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ２とする。第１引力発生部３２１、３２２は、仮想線Ｂ１と重なる位置であって、第１主面３１ａの外縁に設けられる。また、第２引力発生部３３１、３３２は、仮想線Ｂ２と重なる位置であって、第１主面３１ａの外縁に設けられる。なお、各引力発生部の引力と、板状部材２１の剛性とが適切に設定されていれば、第１支持部３４は、必ずしも設ける必要はない。

【0030】

図２に示すように、第２テーブル４は、第２基板４１と、第３引力発生部４２と、第２支持部４４と、を含む。第２基板４１は、第３主面４１ａと、第３主面４１ａと反対側の第４主面４１ｂとを有する板状の部材である。第２基板４１の第４主面４１ｂは、板状部材２１の第２面２１ｂと離隔して対向する。つまり、第２基板４１は、板状部材２１を介して第１基板３１と対向する。第２基板４１の第３主面４１ａは、操作対象物が載置される面である。

【0031】

第３引力発生部４２と、第２支持部４４とは、第２基板４１の第４主面４１ｂに設けられる。言い換えると、第３引力発生部４２と、第２支持部４４とは、第２基板４１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、第３引力発生部４２は、磁石であり、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。第３引力発生部４２は、Ｎ極が第４主面４１ｂに接している。具体的には後述するが、図４に示すように、第４主面４１ｂには、第３引力発生部４２の他に、Ｓ極が第４主面４１ｂに接している第４引力発生部４３が配置されている。

【0032】

第３引力発生部４２は、板状部材２１を介して第１引力発生部３２と対向する。すなわち、第３引力発生部４２は、Ｚ方向から見たときに、第１引力発生部３２と重なる位置に配置される。第３引力発生部４２は第１引力発生部３２と異なる極が対向するように配置される。図２に示す例では、第３引力発生部４２のＳ極と、第１引力発生部３２のＮ極が対向する。これにより、第１引力発生部３２と第３引力発生部４２との間には、引力Ｆ１が発生する。すなわち、第２基板４１には、第１基板３１に向かう方向の引力Ｆ１が作用する。これにより、第２基板４１は、第１基板３１の移動に追従して、板状部材２１の第２面２１ｂに沿って移動可能となっている。また、図３及び図４から明らかなように、第４引力発生部４３は、板状部材を介して第２引力発生部３３と対向する。すなわち、第４引力発生部４３は、Ｚ方向から見たときに、第２引力発生部３３と重なる位置に配置される。これにより、第２引力発生部３３と第４引力発生部４３との間には、引力が発生する。

【0033】

第２支持部４４は、ハウジング４４１と、ボール４４２とを含む。第２支持部４４は、第１支持部３４と同様の構成であり、例えば、ボールローラである。第２支持部４４は、第２基板４１を、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能に支持する。また、第２支持部４４が設けられているため、第３引力発生部４２が板状部材２１に接触することを抑制できる。このため、第２基板４１は、第１基板３１の移動に追従してスムーズに移動できる。

【0034】

図４に示すように、第２基板４１は、平面視で矩形状である。なお、図４は、第２基板４１の第４主面４１ｂ側から見たときの平面図であり、図２から明らかなように、第２テーブル４が取り付けられたときは、図４をひっくり返した状態で図３に示す第１基板３１と対向する。第２基板４１は、第５側面４１ｃ、第６側面４１ｄ、第７側面４１ｅ及び第８側面４１ｆを有する。第５側面４１ｃ、第６側面４１ｄ、第７側面４１ｅ及び第８側面４１ｆは、第３主面４１ａと第４主面４１ｂとの間の面である。第５側面４１ｃは、第６側面４１ｄと対向する。第７側面４１ｅは、第５側面４１ｃと第６側面４１ｄとの間の面であり、第８側面４１ｆと対向する。

【0035】

第２支持部４４の配置は、図３に示す第１支持部３４の配置と同様である。すなわち、第２支持部４４は、第２基板４１の第４主面４１ｂの４隅のそれぞれに設けられる。これにより、４つの第２支持部４４は、それぞれ、第１支持部３４と重なる位置に設けられる。

【0036】

第２基板４１の第４主面４１ｂには、２つの第３引力発生部４２１、４２２と、２つの第４引力発生部４３１、４３２とが設けられる。この場合、第３引力発生部４２１、４２２はＮ極が第４主面４１ｂに接しており、第４引力発生部４３１、４３２はＳ極が第４主面４１ｂに接している。ここで、第７側面４１ｅのＸ方向の中点と、第８側面４１ｆのＸ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ３とする。第５側面４１ｃのＹ方向の中点と、第６側面４１ｄのＹ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ４とする。第３引力発生部４２１、４２２は、仮想線Ｂ３と重なる位置であって、第４主面４１ｂの外縁に設けられる。また、第４引力発生部４３１、４３２は、仮想線Ｂ４と重なる位置であって、第４主面４１ｂの外縁に設けられる。すなわち、第３引力発生部４２１、４２２は、それぞれ、図３に図示の第１引力発生部３２１、３２２と重なる位置に設けられる。そして、第４引力発生部４３１、４３２は、それぞれ、図３に図示の第２引力発生部３３１、３３２と重なる位置に設けられる。

【0037】

図５を用いて、第１テーブル３に各引力発生部を配置する方法を、より具体的に説明する。図５は、第１テーブル３に各引力発生部を配置する方法を説明するための図である。なお、第２テーブル４に各引力発生部を配置する方法については、第１テーブル３の場合と同様なので、説明は省略する。

【0038】

図５に示すように、第２引力発生部３３１と、第１引力発生部３２１とを結ぶ仮想線の中点をＰ１とする。第１引力発生部３２１と、第２引力発生部３３２とを結ぶ仮想線の交点をＰ２とする。第２引力発生部３３２と、第１引力発生部３２２とを結ぶ仮想線の中点をＰ３とする。第１引力発生部３２２と、第２引力発生部３３１とを結ぶ仮想線の中点をＰ４とする。そして、点Ｐ１と点Ｐ３とを結ぶ仮想線と、点Ｐ２と点Ｐ４とを結ぶ仮想線との交点を対称点Ｓ１とする。

【0039】

この場合、第１実施形態では、第１引力発生部３２１と、第１引力発生部３２２とを、対称点Ｓ１に対し、点対称となるように配置する。また、第１実施形態では、第２引力発生部３３１と、第２引力発生部３３２とは、対称点Ｓ１に対し、点対称となるように配置する。

【0040】

第１実施形態では、上述のとおり各引力発生部を配置することによって、第１テーブル３及び第２テーブル４のヨーイング方向のモーメント剛性を確保することができる。

【0041】

図６は、第２テーブル４が正しく設置されなかった場合の様子の一例を示す図である。図６に示すように、本実施形態では、第２テーブル４が正しく設置されなかった場合、例えば、第２引力発生部３３１と、第４引力発生部４３１が重なっていても、第３引力発生部４２２と、第１引力発生部３２１とが重なっている。この場合、第２テーブル４は、正常に取り付けられた場合とは、異なる姿勢で取り付けられることとなる。これにより、本実施形態では、作業者などは、第２テーブル４が正しく設置されていないことを、目視のみで容易に把握することができる。

【0042】

再び図１を参照する。筐体２のうち、少なくとも板状部材２１は、耐熱性及び耐食性に優れた材料が用いられる。これにより、板状部材２１も容易に滅菌処理を施すことができる。第２テーブル４及び筐体２は、テーブル装置１から容易に取り外すことができる。このため、第２テーブル４及び筐体２を、テーブル装置１から取り外して高温蒸気滅菌装置や乾熱滅菌装置に入れることで滅菌を行うことができる。この場合、板状部材２１を含む筐体２の全体に耐熱性及び耐食性に優れた材料が用いられる。また、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが筐体２によって分離されているため、例えばガスを注入して第２空間Ｒのみ滅菌することができる。

【0043】

図１に示す第１移動機構６及び第２移動機構７は、ＸＹステージである。第１移動機構６と第２移動機構７とは、同様の構成を有する。以下の説明については、第２移動機構７を例に挙げる。第２移動機構７の説明は、第１移動機構６の説明にも適用できる。

【0044】

図７は、第２移動機構７の構成の一例を示す側面図である。図７に示すように、第２移動機構７は、モータ７１と、ボールねじ７３と、ナット７６と、筐体７４とを含むボールねじ機構である。第２移動機構７は、モータ７１から伝達された回転駆動力を、ボールねじ７３の軸方向に沿った方向の運動に変換して第１基板３１に伝達する駆動伝達部である。

【0045】

ボールねじ７３と、ナット７６とは、筐体７４の内部に組み込まれる。ボールねじ７３は、ナット７６を貫通する。ボールねじ７３は、筐体７４に回転可能に支持されており、ボールねじ７３の一端側は、シャフト７２を介してモータ７１と連結される。これにより、モータ７１の出力が、ボールねじ７３に伝達され、ボールねじ７３が回転可能になっている。

【0046】

ナット７６は、ガイドレール７５に沿った方向に移動可能に設けられる。また、ナット７６は、ガイドレール７５に組み込まれることにより、回転が規制される。これにより、ナット７６は、ボールねじ７３の回転により軸方向に移動する。ナット７６は、ボールねじ７３の回転方向に応じて移動方向が切り換えられる。

【0047】

連結部７７は、ナット７６と第１基板３１とを連結する部材であり、ナット７６の移動とともに軸方向に移動可能となっている。連結部７７の厚さや平面形状を適宜変更することで、第１基板３１の平面形状や高さ位置を変更する場合であっても、第１基板３１とナット７６とを良好に連結できる。

【0048】

以上のような構成により、第２移動機構７は、モータ７１の回転駆動がボールねじ７３に伝達されると、ナット７６とともに第１基板３１が軸方向に移動する。図１に示すように、第１移動機構６には第２移動機構７が移動可能に固定されている。第１移動機構６の動作により、第２移動機構７及び第１テーブル３はＸ方向に移動可能となっている。第２移動機構７の動作により、第１テーブル３はＹ方向に移動可能となっている。このようにして、第１テーブル３は、板状部材２１と平行な平面を移動できる。

【0049】

第１移動機構６及び第２移動機構７の構成はあくまで一例であり、本発明を限定するものではない。第１移動機構６及び第２移動機構７は、第１基板３１を含む第１テーブル３を移動させることができる構成であればよい。第１移動機構６及び第２移動機構７としては、この他、種々の移動機構を用いることができ、例えば、リニアモータを用いる移動機構等も用いることができる。

【0050】

[第２実施形態]
図８と、図９とを用いて、本発明の第２実施形態に係る各引力発生部の配置について説明する。図８は、本発明の第２実施形態に係る第１基板の平面図である。図９は、本発明の第２実施形態に係る第２基板の平面図である。なお、第２実施形態の各引力発生部配置以外の構造は、第１実施形態と同様なので、説明は省略する。

【0051】

図８に示すように、第２実施形態では、第１テーブル３Ａの第１基板３１Ａにおいて、仮想線Ｂ１と、仮想線Ｂ２との交点を対称点Ｓ２とする。この場合、第２実施形態では、第１引力発生部３２１Ａと、第１引力発生部３２２Ａとは、対称点Ｓ２に対し、点対称に配置される。第１引力発生部３２１Ａと、第２引力発生部３３１Ａとは、仮想線Ｂ２に対し、非線対称に配置される。第１引力発生部３２１Ａと、第２引力発生部３３２Ａとは、仮想線Ｂ１に対し、非線対称に配置される。

【0052】

第１引力発生部３２２Ａと、第２引力発生部３３１Ａとは、仮想線Ｂ１に対し、非線対称に配置される。第１引力発生部３２２Ａと、第２引力発生部３３２Ａとは、仮想線Ｂ２に対し、非線対称に配置される。

【0053】

第２引力発生部３３１Ａと、第２引力発生部３３２Ａとは、対称点Ｓ２に対し、点対称に配置される。すなわち、第２実施形態では、各引力発生部は、第２引力発生部３３１Ａ、第１引力発生部３２１Ａ、第２引力発生部３３２Ａ、第１引力発生部３２２Ａ、第２引力発生部３３１Ａの順に結ぶ線が平行四辺形となるように配置される。

【0054】

図９に示すように、第２テーブル４Ａの第２基板４１Ａにおいて、第２実施形態では、仮想線Ｂ３と、仮想線Ｂ４との交点を対称点Ｓ３とする。この場合、第２実施形態では、第３引力発生部４２１Ａと、第３引力発生部４２２Ａとは、対称点Ｓ３に対し、点対称に配置される。第３引力発生部４２１Ａと、第４引力発生部４３１Ａとは、仮想線Ｂ４に対し、非線対称に配置される。第３引力発生部４２１Ａと、第４引力発生部４３２Ａとは、仮想線Ｂ３に対し、非線対称に配置される。

【0055】

第３引力発生部４２２Ａと、第４引力発生部４３１Ａとは、仮想線Ｂ３に対し、非線対称に配置される。第３引力発生部４２２Ａと、第４引力発生部４３２Ａとは、仮想線Ｂ４に対し、非線対称に配置される。

【0056】

第４引力発生部４３１Ａと、第４引力発生部４３２Ａとは、対称点Ｓ３に対し、点対称に配置される。すなわち、第２実施形態では、第４引力発生部４３１Ａ、第３引力発生部４２１Ａ、第４引力発生部４３２Ａ、第３引力発生部４２２Ａ、第４引力発生部４３１Ａの順に結ぶ線が平行四辺形となるように配置する。

【0057】

図１０を用いて、第１テーブル３Ａに各引力発生部を配置する方法を、より具体的に説明する。図１０は、第１テーブル３Ａに各引力発生部を配置する方法を説明するための図である。なお、第２テーブル４Ａに各引力発生部を配置する方法については、第１テーブル３Ａの場合と同様なので、説明は省略する。

【0058】

図１０に示すように、第２引力発生部３３１Ａと、第１引力発生部３２１Ａとを結ぶ仮想線の中点をＰ１とする。第１引力発生部３２１Ａと、第２引力発生部３３２Ａとを結ぶ仮想線の交点をＰ２とする。第２引力発生部３３２Ａと、第１引力発生部３２２Ａとを結ぶ仮想線の中点をＰ３とする。第１引力発生部３２２Ａと、第２引力発生部３３１Ａとを結ぶ仮想線の中点をＰ４とする。そして、点Ｐ１と点Ｐ３とを結ぶ仮想線と、点Ｐ２と点Ｐ４とを結ぶ仮想線との交点を対称点Ｓ４とする。

【0059】

この場合、第２実施形態では、第１引力発生部３２１Ａと、第１引力発生部３２２Ａとを、対称点Ｓ４に対し、点対称となるように配置する。また、第２実施形態では、第２引力発生部３３１Ａと、第２引力発生部３３２Ａとを、対称点Ｓ４に対し、点対称となるように配置する。

【0060】

第２実施形態では、上述のとおり各引力発生部を配置することによって、第１テーブル３Ａ及び第２テーブル４Ａのヨーイング方向のモーメント剛性を確保することができる。

【0061】

図１１は、第２テーブル４Ａが正しく設置されなかった場合の様子の一例を示す図である。図１１に示すように、第２実施形態では、例えば、第１引力発生部３２１Ａと、第３引力発生部４２１Ａとが正しく重なっていたとしても、第２テーブル４Ａが正常に取り付けられた場合とは、異なる姿勢で取り付けられることがある。これにより、本実施形態では、作業者などは、第２テーブル４Ａが正しく設置されていないことを、目視のみで容易に把握することができる。

【0062】

[第３実施形態]
図１２と、図１３とを用いて、本発明の第３実施形態に係る各引力発生部の配置について説明する。図１２は、本発明の第３実施形態に係る第１基板の平面図である。図１３は、本発明の第３実施形態に係る第２基板の平面図である。なお、第３実施形態の各引力発生部配置以外の構造は、第１実施形態と同様なので、説明は省略する。

【0063】

図１２に示すように、第１テーブル３Ｂの第１基板３１Ｂにおいて、第３実施形態では、仮想線Ｂ１と、仮想線Ｂ２との交点を対称点Ｓ５とする。

【0064】

第３実施形態では、第１引力発生部３２１Ｂと、第１引力発生部３２２Ｂとは、対称点Ｓ５に対し、点対称に配置される。第１引力発生部３２１Ｂと、第２引力発生部３３１Ｂとは、仮想線Ｂ２に対し、線対称に配置される。第１引力発生部３２１Ｂと、第２引力発生部３３２Ｂとは、仮想線Ｂ１に対し、線対称に配置される。

【0065】

第１引力発生部３２２Ｂと、第２引力発生部３３１Ｂとは、仮想線Ｂ１に対し、線対称となるように配置される。第１引力発生部３２２Ｂと、第２引力発生部３３２Ｂとは、仮想線Ｂ２に対し、線対称となるように配置される。

【0066】

第２引力発生部３３１Ｂと、第２引力発生部３３２Ｂとは、対称点Ｓ５に対し、点対称に配置される。

【0067】

図１３に示すように、第２テーブル４Ｂの第２基板４１Ｂにおいて、第３実施形態では、仮想線Ｂ３と、仮想線Ｂ４との交点を対称点Ｓ６とする。

【0068】

第３実施形態では、第３引力発生部４２１Ｂと、第３引力発生部４２２Ｂとは、対称点Ｓ６に対し、点対称に配置される。第３引力発生部４２１Ｂと、第４引力発生部４３１Ｂとは、仮想線Ｂ４に対し、線対称に配置される。第３引力発生部４２１Ｂと、第４引力発生部４３２Ｂとは、仮想線Ｂ３に対し、線対称に配置される。

【0069】

第３引力発生部４２２Ｂと、第４引力発生部４３１Ｂとは、仮想線Ｂ３に対し、線対称に配置される。第３引力発生部４２２Ｂと、第４引力発生部４３２Ｂとは仮想線Ｂ４に対し、線対称に配置される。

【0070】

第４引力発生部４３１Ｂと、第４引力発生部４３２Ｂとは、対称点Ｓ６に対し、点対称に配置される。

【0071】

図１４を用いて、第１テーブル３Ｂに各引力発生部を配置する方法を、より具体的に説明する。図１４は、第１テーブル３Ｂに各引力発生部を配置する方法を説明するための図である。なお、第２テーブル４Ｂに各引力発生部を配置する方法については、第１テーブル３Ｂの場合と同様なので、説明は省略する。

【0072】

図１４に示すように、第２引力発生部３３１Ｂと、第１引力発生部３２１Ｂとを結ぶ仮想線の中点をＰ１とする。第１引力発生部３２１Ｂと、第２引力発生部３３２Ｂとを結ぶ仮想線の交点をＰ２とする。第２引力発生部３３２Ｂと、第１引力発生部３２２Ｂとを結ぶ仮想線の中点をＰ３とする。第１引力発生部３２２Ｂと、第２引力発生部３３１Ｂとを結ぶ仮想線の中点をＰ４とする。そして、点Ｐ１と点Ｐ３とを結ぶ仮想線と、点Ｐ２と点Ｐ４とを結ぶ仮想線との交点を対称点Ｓ７とする。

【0073】

この場合、第３実施形態では、第１引力発生部３２１Ｂと、第１引力発生部３２２Ｂとを、対称点Ｓ７に対し、点対称となるように配置する。また、第３実施形態では、第２引力発生部３３１Ｂと、第２引力発生部３３２Ｂとを、対称点Ｓ７に対し、点対称となるように配置する。

【0074】

第３実施形態では、上述のように各引力発生部を配置することによって、第１テーブル３Ｂ及び第２テーブル４Ｂのヨーイング方向のモーメント剛性を確保することができる。

【0075】

図１５は、第２テーブル４Ｂが正しく設置されなかった場合の様子の一例を示す図である。図１５に示すように、本実施形態では、例えば、第１引力発生部３２１Ｂと、第３引力発生部４２１Ｂとが正しく重なっていたとしても、第２テーブル４Ｂが正常に取り付けられた場合とは、異なる姿勢で取り付けられることがある。これにより、本実施形態では、作業者などは、第２テーブル４Ｂが正しく設置されていないことを、目視のみで容易に把握することができる。

【0076】

上述の本発明の各実施形態では、各引力発生部には、腐食を防止するために耐食層で覆われていることが好ましい。例えば、各引力発生部は、フッ素でコーティングされていることが好ましい。また、各実施形態の第１支持部３４及び第２支持部４４は、例えば、ステンレス製の材料から構成されており、その表面にはフッ素油焼付け膜を形成する処理が施されていることが好ましい。その他の部材には、オーステナイト系のステンレス（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６など）を用いることが好ましい。これにより、耐食性を確保し、腐食性を有するガスを使用するガス滅菌処理を施すことができる。したがって、各実施形態において、テーブル装置１を滅菌環境で使用することができる。各実施形態において、耐食性とは、例えば、生理食塩水や、腐食性を有するガスへの耐性を示す。耐食性の強さは、テーブル装置１を使用する目的に応じて、適宜設定可能である。テーブル装置１を構成する各部材に耐食性を付与するために、ＰＥＥＫ（Poly Ether Ether Ketone：ポリエーテルエーテルケトン）や、フッ素樹脂などの高い耐食性を有する樹脂を使用してもよい。また、各部材は、ＳＵＪ２(高炭素クロム軸受鋼鋼材)などの鋼にフッ素油焼付け膜を形成する処理を施した構成としてもよい。

【0077】

また、上述したとおり、本発明の各実施形態では、各引力発生部は磁石である。このため、各引力発生部を駆動させるための駆動回路や配線を設ける必要がなく、第１基板３１及び第２基板４１の構成を簡便にできる。つまり、第２空間Ｒには、第２基板４１を移動させるための移動機構、駆動回路、配線等を設ける必要がない。また、各引力発生部に耐熱ネオジム磁石を用いる場合には、耐熱温度は１５０℃程度ある。そして、第２基板４１と、第３引力発生部４２１と、４２２と、第４引力発生部４３１、４３２と、第２支持部４４とに耐熱性に優れた材料が用いられる。このため、テーブル装置１を、例えば、バイオ用途などのクリーン環境で使用する場合、第２テーブル４を高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより容易に滅菌処理を施すことができる。

【0078】

なお、各実施形態において、各引力発生部は磁石であるが、これに限定されない。例えば、各引力発生部は、コイルとヨークとを含む構成であってもよい。この場合、コイルに流れる電流を変化させることで、各引力発生部とそれに対抗する引力発生部との間に引力を発生させることができる。

【符号の説明】

【0079】

１ テーブル装置
２ 筐体
２１ 板状部材
２１ａ 第１面
２１ｂ 第２面
３，３Ａ，３Ｂ 第１テーブル
３１，３１Ａ，３１Ｂ 第１基板
３１ａ 第１主面
３１ｂ 第２主面
３２，３２１，３２２，３２１Ａ，３２２Ａ，３２１Ｂ，３２２Ｂ 第１引力発生部
３３，３３１，３３２，３３１Ａ，３３２Ａ，３３１Ｂ，３３２Ｂ 第２引力発生部
３４ 第１支持部
４，４Ａ ４Ｂ 第２テーブル
４１，４１Ａ，４１Ｂ 第２基板
４１ａ 第３主面
４１ｂ 第４主面
４２，４２１，４２２，４２１Ａ，４２２Ａ，４２１Ｂ，４２２Ｂ 第３引力発生部
４３，４３１，４３２，４３１Ａ，４３２Ａ，４３１Ｂ，４３２Ｂ 第４引力発生部
４４ 第２支持部
６ 第１移動機構
７ 第２移動機構
７７ 連結部
Ｐ 第１空間
Ｒ 第２空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】