特許7196763IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

ターボ分子ポンプおよび質量分析装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献１に記載のターボ分子ポンプは第２の例であり、第１チャンバに接続された第１吸気口と、第２チャンバに接続された第２吸気口を有する。このターボ分子ポンプは、第１吸気口と同軸に配置されている同一ロータ軸に２つのタービン段を備え、上流側の第１タービン段の直上に第１吸気口が設けられた縦型のターボ分子ポンプである。第２チャンバに接続される第２吸気口は第１吸気口と並列配置され、第１タービン段と第２タービン段との間のポンプハウジング側面に形成された開口と、配管部によって連通している。そのため、配管部のコンダクタンスの影響を受けて第２吸気口における排気速度が抑えられてしまうという課題があった。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の好ましい態様によるターボ分子ポンプは、フランジ部、第１ケーシング部および第２ケーシング部を有するポンプケーシングと、前記フランジ部に並設された第１吸気口および第２吸気口と、前記第１ケーシング部に設けられた第１収容空間であって、前記第１吸気口に対応する第１領域、および前記第２吸気口に対応する第２領域を含む第１収容空間と、前記第２ケーシング部に設けられた第２収容空間と、前記第１収容空間の・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、二つの吸気口を有する縦型のターボ分子ポンプにおいて、第２吸気口の排気速度の向上を図ることができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、本発明に係るターボ分子ポンプの一実施の形態を示す図である。
【図2】 図２は、ポンプケーシングの断面図である。
【図3】 図３（ａ）は図２のＡ矢視図、図３（ｂ）は図２のＢ－Ｂ断面図を示す図である。
【図4】 図４は、図２のＣ－Ｃ断面図である。
【図5】 図５は、比較例を示す図である。
【図6】 図６は、第１ステータ部の構成とポンプケーシング内での配置とを説明する図である。
【図7】 図７は、第１ポンプステージにおける逆流の影響を説明する図である。
【図8】 図８は、ステータ翼とスペーサとの関係を説明する図である。
【図9】 図９は、変形例１を示す図である。
【図10】 図１０は、変形例２を示す図である。
【図11】 図１１は、ガスクロマトグラフ質量分析装置の基本構成を示す模式図である。
【図12】 図１２は、誘導結合プラズマ質量分析装置の基本構成を示す模式図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１…ターボ分子ポンプ、１０…ポンプケーシング、２１…第１ポンプロータ部、３１…第１ステータ部、３４…排気通路部、７０…ガスクロマトグラフ質量分析装置、７２…イオン送出部、７３，８４…質量分析部、８０…誘導結合プラズマ質量分析装置、１０１…第１吸気口、１０２…第２吸気口、１０３…フランジ部、１０３Ｋ…隔壁、１０４…第１ケーシング部、１０４Ｓ…第１収容空間、１０４Ｓ１，１０４Ｓ２，１１４Ｓ１，１１４Ｓ２…領域、１０５…第２ケーシング部、１０５Ｓ…第２収容空間、２１１…ロータ翼段、３１１…ステータ翼段、３１２ａ～３１２ｄ，３１３ａ～３１３ｃ，３１４ａ～３１４ｃ…スペーサ、３１５…遮蔽部材、７４１，７４２，８２３，８３２，８４３…差動排気室、３１２１…嵌合部、３１２２…把持部、ＰＳ１…第１ポンプステージ、ＰＳ２…第２ポンプステージ

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