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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-12-19
(45)【発行日】2022-12-27
(54)【発明の名称】Ｘ線管及びＸ線管の製造方法
(51)【国際特許分類】
H01J 35/06 20060101AFI20221220BHJP
【ＦＩ】
H01J35/06 E
H01J35/06 D
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2017003524
(22)【出願日】2017-01-12
(65)【公開番号】P2018113185
(43)【公開日】2018-07-19
【審査請求日】2019-12-13
【審判番号】
【審判請求日】2021-11-05
(73)【特許権者】
【識別番号】503382542
【氏名又は名称】キヤノン電子管デバイス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001737
【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】熊抱 広之
(72)【発明者】
【氏名】齋藤 友伸
(72)【発明者】
【氏名】阿武 秀郎
【合議体】
【審判長】加々美 一恵
【審判官】山村 浩
【審判官】吉野 三寛
(56)【参考文献】
【文献】特開平２－２６０３５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－３１７６４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－１６６０７４（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開平１－１６４６５７（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開平１－１４６２３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭６１－４３４５（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開平８－２４１６８５（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１０／００４０２０１（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
H01F 7/18
H01J35/00-35/32
H01R43/027-43/28
H05G 1/00-2/00
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
電子を放出するコイルと、前記コイルから先端部まで延長し、前記先端部に角部を有する脚部とを備えるフィラメントと、隙間を有し、前記隙間が開口する開口部と前記開口部と反対側の前記隙間の端部に位置する底部とを有する支持端子と、前記フィラメントと前記支持端子とを収容し、前記支持端子が接続されている陰極カップとを備える陰極を備え、前記支持端子は、前記隙間内で突出し、前記脚部の前記先端部より前記底部側に位置し、前記脚部の前記角部に接合されている凸部を備える、Ｘ線管。
【請求項2】
前記凸部は、前記底部から離間している、請求項１に記載のＸ線管。
【請求項3】
前記凸部は、第１凸部と、前記第１凸部と対向する第２凸部を備え、前記第１凸部と前記第２凸部とは、前記脚部の径よりも小さい距離で離間している、請求項１に記載のＸ線管。
【請求項4】
前記凸部は、第１凸部と、前記第１凸部と対向する第２凸部を備え、前記第１凸部と前記第２凸部とは、接合されている、請求項１に記載のＸ線管。
【請求項5】
前記支持端子の外面は、第１外面部分と、前記先端部を間に挟んで前記第１外面部分の反対側に位置する第２外面部分とを有し、
前記支持端子は、前記第１外面部分に形成されている第１窪みと、前記第２外面部分に形成されている第２窪みとを備えている、請求項１に記載のＸ線管。
【請求項6】
前記支持端子の前記隙間内の内面は、第１内面部分と、前記先端部を間に挟んで前記第１内面部分の反対側に位置する第２内面部分と、前記先端部よりも前記コイル側に位置する前記脚部の第１部に圧着されている第３内面部分と、該第３内面部分と対向し前記第１部に圧着されている第４内面部分とを備えている、請求項５に記載のＸ線管。
【請求項7】
前記支持端子の前記隙間内の内面は、第１内面部分と、前記先端部を間に挟んで前記第１内面部分の反対側に位置する第２内面部分と、前記先端部よりも前記コイル側に位置する前記脚部の第１部に接合されている第３内面部分と、該第３内面部分と対向し前記第１部に接合されている第４内面部分とを備えている、請求項５に記載のＸ線管。
【請求項8】
前記支持端子の前記外面は、第３外面部分と、前記第１部を間に挟んで前記第３外面部分の反対側に位置する第４外面部分とを有し、
前記支持端子は、前記第３外面部分に形成されている第３窪みと、前記第４外面部分に形成されている第４窪みとを備えている、請求項６又は７に記載のＸ線管。
【請求項9】
前記支持端子は、鉄、鉄を主成分とする合金、ニオブ、ニオブを主成分とする合金、モリブデン、又は、モリブデンを主成分とする合金で形成されている、請求項１乃至８のいずれか１に記載のＸ線管。
【請求項10】
前記フィラメントは、タングステン又はタングステンを主成分とする合金で形成されている、請求項１乃至８のいずれか１に記載のＸ線管。
【請求項11】
電子を放出するコイルと、前記コイルから先端部まで延長し、前記先端部に角部を有する脚部とを備えるフィラメントと、隙間を有し、前記隙間が開口する開口部と前記開口部と反対側の前記隙間の端部に位置する底部とを有する支持端子と、前記フィラメントと前記支持端子とを収容し、前記支持端子が接続されている容器とを備える陰極を備えるＸ線管に適用される製造方法であって、前記脚部の前記先端部を前記支持端子の前記隙間に挿入し、
前記先端部を前記隙間に挿入した後、一対の電極によって、前記支持端子の外面の第１外面部分と、前記脚部の前記角部を間に挟んで前記第１外面部分の反対側に位置する前記支持端子の前記外面の第２外面部分とに圧力を加えながら電流を供給し、
前記一対の電極によって、前記第１外面部分と前記第２外面部分とに圧力を加えながら電流を供給することで、前記隙間内で前記支持端子の内面の第１内面部分と該第１内面部分と対向する前記内面の第２内面部分とを前記角部に押し当て、前記支持端子に、前記隙間内で突出し前記脚部の前記先端部より前記底部側に位置し前記脚部の前記角部に接合された凸部を形成する、Ｘ線管の製造方法。
【請求項12】
前記一対の電極によって、前記支持端子の前記外面の第３外面部分と、前記先端部よりも前記コイル側に位置する前記脚部の第１部を間に挟んで前記第３外面部分の反対側に位置する前記支持端子の前記外面の第４外面部分とに圧力を加え、前記一対の電極によって、前記第３外面部分と前記第４外面部分とに圧力を加えることで、前記隙間内で前記支持端子の前記内面の第３内面部分と該第３内面部分と対向する前記内面の第４内面部分とを前記第１部に押し当て、前記第３内面部分と前記第４内面部分とを前記第１部に圧着する、請求項１１に記載のＸ線管の製造方法。
【請求項13】
前記一対の電極によって、前記支持端子の前記外面の第３外面部分と、前記先端部よりも前記コイル側に位置する前記脚部の第１部を間に挟んで前記第３外面部分の反対側に位置する前記支持端子の前記外面の第４外面部分とに圧力を加えながら電流を供給し、前記一対の電極によって、前記第３外面部分と前記第４外面部分とに圧力を加えながら電流を供給することで、前記隙間内で前記支持端子の前記内面の第３内面部分と該第３内面部分と対向する前記内面の第４内面部分とを前記第１部に押し当て、前記第３内面部分と前記第４内面部分とを前記第１部に接合する、請求項１１に記載のＸ線管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
実施形態は、Ｘ線管及びＸ線管の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
Ｘ線管は、真空雰囲気の真空外囲器内に、電子を放出する陰極と、放出された電子が衝突することでＸ線を放射する陽極ターゲットとを備えている。陰極は、電子放出源と、電子放出源を収容する陰極カップとを備えている。電子放出源は、電子を放出するフィラメントと、フィラメントを支持する支持端子とで構成されている。フィラメントは、陰極カップと電気的に絶縁するように設けられている。フィラメントは、溶接等によって支持端子に接合されている。
【0003】
フィラメントは、流れる電流により生じる熱で加熱され、電子（熱電子）を陽極ターゲットに放出する。電子の放出に伴って繰り返し加熱されることで、フィラメントと支持端子との接合部分の強度が低下する。したがって、フィラメントは、支持端子との接合部分からずれる可能性がある。フィラメントがずれることで、陽極ターゲット上の電子の焦点の位置がずれる可能性がある。また、フィラメントが陰極カップに接触する可能性がある（フィラメントタッチ）。フィラメントが陰極カップに接触した場合、フィラメントに電流が流れなくなり得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開平８－２４１６８５号公報
【文献】特開２００５－３０２３６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明の実施形態は、このような点に鑑みなされたもので、陰極のフィラメントのずれを防止できるＸ線管及びＸ線管の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の実施形態に係るＸ線管は、電子を放出するコイルと、前記コイルから先端部まで延長し、前記先端部に角部を有する脚部とを備えるフィラメントと、隙間を有し、前記隙間が開口する開口部と前記開口部と反対側の前記隙間の端部に位置する底部とを有する支持端子と、前記フィラメントと前記支持端子とを収容し、前記支持端子が接続されている陰極カップとを備える陰極を備え、前記支持端子は、前記隙間内で突出し、前記脚部の前記先端部より前記底部側に位置し、前記脚部の前記角部に接合されている凸部を備える。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図5】図５（ａ）は、第１端子部及び第２端子部の断面がそれぞれ矩形形状に形成されている支持端子の一例を示す断面図であり、図５（ｂ）は、第１端子部及び第２端子部の断面の一部がそれぞれ脚部の形状に沿って形成されている支持端子の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、図面を参照して実施形態について説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係るＸ線管１の一例を示す模式図である。第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び、第３方向Ｚは、互いに直交している。
Ｘ線管１は、真空外囲器１０と、陽極構体２０と、陰極構体３０とを備えている。真空外囲器１０は、例えば、ガラス製のガラスバルブで形成されている。真空外囲器１０は、真空雰囲気に維持されている内部に、陽極構体２０と、陰極構体３０とを含む。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係るＸ線管１の一例を示す模式図である。第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び、第３方向Ｚは、互いに直交している。
Ｘ線管１は、真空外囲器１０と、陽極構体２０と、陰極構体３０とを備えている。真空外囲器１０は、例えば、ガラス製のガラスバルブで形成されている。真空外囲器１０は、真空雰囲気に維持されている内部に、陽極構体２０と、陰極構体３０とを含む。
【0009】
陽極構体２０は、略傘状の陽極ターゲット（ターゲットディスク）２１と、回転機構２３とを備えている。陽極ターゲット２１は、傘状の略円板形状に形成されている。陽極ターゲット２１は、傘状に形成された表面に、電子（電子ビーム）が衝撃することでＸ線を放射する。陽極ターゲット２１は、回転機構２３によって支持されている。陽極ターゲット２１は、回転機構２３の回転に従って回転する。陽極ターゲット２１は、Ｘ線を放射するターゲット層と、ターゲット層を支持するターゲット基体とから構成されている。ターゲット層は、例えば、タングステンで形成されている。ターゲット基体は、例えば、モリブデン合金（ＴＺＭ）で形成されている。また、図示しないステータコイルが、真空外囲器１０の外側に配設されている。このステータコイルは、電源（図示せず）から電流を供給されることにより磁場を発生させ、発生させた磁場により回転機構２３を駆動させる。
【0010】
陰極構体３０は、陰極３１と、陰極支持部３３とを備えている。陰極３１は、真空外囲器１０内で、陽極ターゲット２１に対向している。陰極３１は、高電圧が印加されることで電子（電子ビーム）を陽極ターゲット２１に向けて放出する。
【0011】
図２は、陰極３１の正面図の一例を示す図である。図２には、第３方向ＺからＸ－Ｙ平面を見た場合の陰極３１が示されている。
陰極３１は、陰極カップ（収束電極）３１０と、電子を放出する少なくとも１つの電子放出源、例えば、２つの電子放出源３２１Ｒ、３２１Ｌとを備えている。
陰極カップ３１０は、電子放出源から放出される電子を制御する。例えば、陰極カップ３１０は、電流が供給されることで、電子放出源３２１Ｒ及び電子放出源３２１Ｌから放出される電子を陽極ターゲット２１上の焦点に収束させる。図２に示した例では、陰極カップ３１０には、電子放出源を収容する２つの溝部３３１Ｒ、３３１Ｌが形成されている。電子放出源３２１Ｒ及び電子放出源３２１Ｌは、それぞれ、溝部３３１Ｒ及び溝部３３１Ｌの底部の収納溝内に設けられている。電子放出源３２１Ｒ及び電子放出源３２１Ｌは、それぞれ、陽極ターゲット２１に向かって電子を放出する。
陰極３１は、陰極カップ（収束電極）３１０と、電子を放出する少なくとも１つの電子放出源、例えば、２つの電子放出源３２１Ｒ、３２１Ｌとを備えている。
陰極カップ３１０は、電子放出源から放出される電子を制御する。例えば、陰極カップ３１０は、電流が供給されることで、電子放出源３２１Ｒ及び電子放出源３２１Ｌから放出される電子を陽極ターゲット２１上の焦点に収束させる。図２に示した例では、陰極カップ３１０には、電子放出源を収容する２つの溝部３３１Ｒ、３３１Ｌが形成されている。電子放出源３２１Ｒ及び電子放出源３２１Ｌは、それぞれ、溝部３３１Ｒ及び溝部３３１Ｌの底部の収納溝内に設けられている。電子放出源３２１Ｒ及び電子放出源３２１Ｌは、それぞれ、陽極ターゲット２１に向かって電子を放出する。
【0012】
図３は、陰極３１の一部の構造を示す部分断面図である。図３は、第１方向ＸからＹ－Ｚ平面を見た場合の陰極３１の部分断面図を示している。図３には、図２に示したＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って切断した陰極カップ３１０の一部の断面と、電子放出源３２１Ｒとが模式的に示されている。説明の便宜上、図３には、電子放出源３２１Ｒのみを示しているが、電子放出源３２１Ｌにも同等の構成が適用できる。以下で、電子放出源３２１Ｒを用いて説明するが、電子放出源３２１Ｌにも電子放出源３２１Ｒと同じ説明ができる。
【0013】
陰極カップ３１０の溝部３３１Ｒには、孔ＨＬ１１と孔ＨＬ１２とが形成されている。図３に示すように、孔ＨＬ１１と孔ＨＬ１２とは、離間している。孔ＨＬ１１及び孔ＨＬ１２は、それぞれ、第３方向Ｚに延長している。筒部ＴＢ１１及び筒部ＴＢ１２は、それぞれ、孔ＨＬ１１及び孔ＨＬ１２内にカシメやろう付け等の方法により設けられている。筒部ＴＢ１１、ＴＢ１２は、絶縁性の材料で円筒形状に形成されている。スリーブＳＬ１１及びスリーブＳＬ１２は、それぞれ、筒部ＴＢ１１及び筒部ＴＢ１２内にカシメやろう付け等の方法により設置されている。スリーブＳＬ１１、ＳＬ１２は、円筒形状に形成されている。
【0014】
電子放出源３２１Ｒは、フィラメントＦＬ１と、一対の支持端子（ターミナル、又はアンカー部）４０１Ｆ、４０１Ｂとを備えている。フィラメントＦＬ１は、コイル部Ｃ１と、コイル部Ｃ１から延長する一対の脚部ＬＧ１１、ＬＧ１２とを備えている。フィラメントＦＬ１は、例えば、タングステン又はタングステンを主成分とする合金で形成されている。コイル部Ｃ１は、電流が供給されることで加熱され、電子（熱電子）を放出する。コイル部Ｃ１は、陰極カップ３１０の溝部３３１Ｒの内側の表面から離間している。図３に示した例では、コイル部Ｃ１は、溝部３３１Ｒの底面に平行に設けられ、第２方向Ｙに延長している。脚部ＬＧ１１は、コイル部Ｃ１の一端部から一方向、例えば、孔ＨＬ１１内に向かって第３方向Ｚに延長している。脚部ＬＧ１２は、脚部ＬＧ１１と反対側に位置するコイル部Ｃ１の他端部から一方向、例えば、孔ＨＬ１２内に向かって第３方向Ｚに延長している。脚部ＬＧ１１、ＬＧ１２は、棒状、例えば、円柱形状に形成されている。脚部ＬＧ１１及び脚部ＬＧ１２は、それぞれ、支持端子４０１Ｆ及び支持端子４０１Ｂにより支持されている。支持端子４０１Ｆ及び支持端子４０１Ｂは、図示しない電源から供給される電流をフィラメントＦＬ１のコイル部Ｃ１に通電する。支持端子４０１Ｆ及び支持端子４０１Ｂは、例えば、鉄、鉄を主成分とする合金、ニオブ、又は、ニオブを主成分とする合金で形成されている。支持端子４０１Ｆ及び支持端子４０１Ｂは、それぞれ、スリーブＳＬ１１及びスリーブＳＬ１２に固定されている。支持端子４０１Ｆ及び支持端子４０１Ｂは、それぞれ、スリーブＳＬ１１及びスリーブＳＬ１２を介して、筒部ＴＢ１１及び筒部ＴＢ１２により陰極カップ３１０と電気的に絶縁されている。つまり、電子放出源３２１Ｒは、陰極カップ３１０と電気的に絶縁されている。
【0015】
図４は、図３に示したＩＶ－ＩＶに沿って切断した電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図４には、第２方向ＹからＸ－Ｚ平面を見た場合の電子放出源３２１Ｒの断面の一例を示している。図４において、電子放出源３２１Ｒ以外の陰極３１の構造については省略している。説明の便宜上、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１及び支持端子４０１Ｆの構成のみを示しているが、脚部ＬＧ１２及び支持端子４０１Ｂにも同等の構成が適用できる。したがって、以下では脚部ＬＧ１１及び支持端子４０１Ｆを用いて説明するが、脚部ＬＧ１２及び支持端子４０１Ｂにも脚部ＬＧ１１及び支持端子４０１Ｆと同じ説明ができる。図４（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図４（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
【0016】
支持端子４０１Ｆは、隙間（スリット）ＣＬ１１が形成されている。図４（ａ）に示す例では、支持端子４０１Ｆは、隙間ＣＬ１１がＹ－Ｚ平面に水平に形成されている。すなわち、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面に水平に隙間ＣＬ１１が形成されている。隙間ＣＬ１１は、一方向に向かって開口する開口部ＡＰ１を有している。以下で、隙間ＣＬ１１を基点として、支持端子４０１Ｆの一方の部分を第１端子部４１Ｆａと称し、もう一方の部分を第２端子部４１Ｆｂと称する。支持端子４０１Ｆにおいて、開口部ＡＰ１の方向を開口部側と称する。開口部側と反対方向の隙間ＣＬ１１の端部に位置する支持端子４０１Ｆの一部を底部と称する。支持端子４０１Ｆにおいて、底部の方向を底部側と称する。また、第１方向Ｘにおいて、隙間ＣＬ１１に向かう方向を内側と称し、内側と反対方向を外側と称する。第１端子部４１Ｆａの内側の表面を内面ＩＮ１と称し、第１端子部４１Ｆａの外側の表面を外面ＯＵ１と称する。第２端子部４１Ｆｂの内側の表面を内面ＩＮ２と称し、第２端子部４１Ｆｂの外側の表面を外面ＯＵ２と称する。なお、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面、例えば、Ｙ－Ｚ平面に水平に隙間ＣＬ１１が形成されていなくとも良い。例えば、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面、例えば、Ｙ―Ｚ平面に対して斜めに隙間ＣＬ１１が形成されていても良い。外面ＯＵ２は、外面ＯＵ１と隙間ＣＬ１１を間に挟んで反対側に位置する。また、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して斜めに設けられていても良い。
【0017】
支持端子４０１Ｆは、外側の表面で対となる窪みを備えている。図４（ａ）に示す例では、支持端子４０１Ｆは、一対の窪み４１２、４１４を備えている。窪み４１２及び窪み４１４は、それぞれ、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に形成されている。窪み４１２は、隙間ＣＬ１１を間に挟んで窪み４１４に対向している。脚部ＬＧ１１は、コイル部Ｃ１からコイル部Ｃ１と反対側の端部（以下、先端部と称する）ＴＰ１１まで延長している。図４（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、隙間ＣＬ１１で窪み４１２と窪み４１４との間に位置している。
【0018】
支持端子４０１Ｆは、隙間ＣＬ１１内で突出する凸部を備えている。図４（ｂ）に示す例では、支持端子４０１Ｆは、隙間ＣＬ１１内で対向する２つの凸部ＰＲ１、ＰＲ２を有している。凸部ＰＲ１は、支持端子４０１Ｆの第１端子部４１Ｆａの内面ＩＮ１が内側に突出して形成されている。凸部ＰＲ１と同様に、凸部ＰＲ２は、支持端子４０１Ｆの第２端子部４１Ｆｂの内面ＩＮ２が内側に突出して形成されている。図４（ｂ）に示す例では、凸部ＰＲ１と凸部ＰＲ２とは、第１方向Ｘにおいて、隙間ＣＬ１１の幅ＩＮＴよりも小さい距離で離間している。例えば、凸部ＰＲ１と凸部ＰＲ２とは、脚部ＬＧ１１の径（又は、第１方向Ｘの幅）ＬＤ１よりも小さい距離で離間している。また、凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２は、第３方向Ｚにおいて、底部ＢＴ１から開口部側に離間している。なお、凸部ＰＲ１と凸部ＰＲ２とは、離間しているとしたが、接触（圧接、圧着）していても良いし、接合（溶接）されていても良い。また、凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２は、異なる形状であっても良い。例えば、凸部ＰＲ１は、凸部ＰＲ２よりも内側に突出していても良い。例えば、凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２の少なくとも一方が、対向する内面に接触していても良いし、接合されていても良い。
【0019】
脚部ＬＧ１１は、先端部ＴＰ１１に角部を有している。脚部ＬＧ１１は、先端部ＴＰ１１の角部が凸部ＰＲ１、ＰＲ２及び内面ＩＮ１、ＩＮ２に固定されている。ここで、角部は、２つ以上の平面及び線が角度を有して交差する部分である。角部において、２つ以上の平面及び線が角度を有して交差する交点を “角”と称する場合もある。例えば、角部は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の底面から側面に亘る部分である。以下で、説明の便宜上、脚部ＬＧ１１の角部において、内面ＩＮ１側を角部ＣＰ１と称し、内面ＩＮ２側を角部ＣＰ２と称する。図４（ｂ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１は、接合部ＣＮ１を介して、凸部ＰＲ１及び第１端子部４１Ｆａの内面ＩＮ１に固定されている。角部ＣＰ１と同様に、角部ＣＰ２は、接合部ＣＮ２を介して、凸部ＰＲ２及び第２端子部４１Ｆｂの内面ＩＮ２に固定されている。このとき、例えば、凸部ＰＲ１は、先端部ＴＰ１１よりも底部側に位置し、角部ＣＰ１の底面側に接合されている。凸部ＰＲ１と同様に、凸部ＰＲ２は、先端部ＴＰ１１よりも底部側に位置し、角部ＣＰ２の底面側に接合されている。内面ＩＮ１は、角部ＣＰ１の側面側に接合されている。内面ＩＮ２は、角部ＣＰ２の側面側に接合されている。なお、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１は、接合部ＣＮ１を介して、少なくとも凸部ＰＲ１及び第１端子部４１Ｆａの内面ＩＮ１のいずれか一方に固定されていれば良い。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２は、接合部ＣＮ２を介して、少なくとも凸部ＰＲ２及び第２端子部４１Ｆｂの内面ＩＮ２のいずれか一方に固定されていれば良い。
【0020】
接合部ＣＮ１及び接合部ＣＮ２は、それぞれ、導電性の金属部材で形成されている。例えば、接合部ＣＮ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１（及び凸部ＰＲ１）との内の少なくとも１つが溶融して形成されている。接合部ＣＮ２は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２（及び凸部ＰＲ２）との内の少なくとも１つが溶融して形成されている。図４（ｂ）に図示した例では、接合部ＣＮ１と接合部ＣＮ２は、互いに離間している。なお、接合部ＣＮ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１（及び凸部ＰＲ１）との内の少なくとも１つと一体で形成されていても良い。接合部ＣＮ２は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２（及び凸部ＰＲ２）との内の少なくとも１つと一体で形成されていても良い。
【0021】
図２５は、比較例の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図２５には、図４と同様に、第２方向ＹからＸ－Ｚ平面を見た場合の電子放出源３２１Ｒの断面の一例を示している。図２５に示す比較例の電子放出源３２１Ｒは、図４に示した本実施形態の電子放出源３２１Ｒとほぼ同等の構成であるため、本実施形態の電子放出源３２１Ｒと同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。図２５（ａ）は、比較例の電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図２５（ｂ）は、比較例の脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１の一例の断面の拡大図である。
【0022】
図２５（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１が、窪み４１２と窪み４１４との間に位置している。固定部ＡＡ１１は、先端部ＴＰ１１よりもコイル部Ｃ１側に位置する脚部ＬＧ１１の部分である。そのため、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、隙間ＣＬ１１において、窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲よりも底部側に位置している。
【0023】
図２５（ｂ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１は、接合部ＡＤ１を介して内面ＩＮ１に固定され、且つ接合部ＡＤ２を介して内面ＩＮ２に固定されている。接合部ＡＤ１は、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１との内の少なくとも一方が溶融して形成されている。接合部ＡＤ２は、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２との内の少なくとも一方が溶融して形成されている。接合部ＡＤ１及び接合部ＡＤ２は、それぞれ、導電性の金属部材で形成されている。なお、接合部ＡＤ１は、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１及び支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１の内の少なくとも一方と一体で形成されていても良い。接合部ＡＤ２は、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１及び支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２の内の少なくとも一方と一体で形成されていても良い。
【0024】
比較例において、支持端子４０１Ｆは、製造時に、溶接、例えば、抵抗溶接（スポット溶接）により脚部ＬＧ１１に圧接（又は、圧着）される。抵抗溶接は、複数の被溶接材を重ね、重ねた複数の被溶接材の溶接する部分を一対の電極で挟み、一対の電極により溶接する部分に圧力を加えながら電流を供給し、電流を供給することによって溶接する部分の接触抵抗に発生するジュール熱で溶融接合させる接合方法である。抵抗溶接により支持端子４０１Ｆを脚部ＬＧ１１に接合する場合、支持端子４０１Ｆは、一対の電極により外側から固定部ＡＡ１１の位置に対応する部分を挟まれ、この部分に力が加えられ、電流が供給される。支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２は、それぞれ、一対の電極により加えられた力により脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１に向かって突出し、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１に押し当てられる。このとき、例えば、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２は、それぞれ、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１に線接触する。この場合、一対の電極により支持端子４０１Ｆに加えられた力は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２がそれぞれ脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１と線接触している部分で分散する。すなわち、この線接触している部分に生じる応力が小さくなる。そのため、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２が、それぞれ、脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１に十分に圧着されない。そのため、一対の電極により供給された電流は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２が脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１に線接触している部分で分散する。すなわち、この線接触している部分の電流密度が、小さくなる。そのため、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２と脚部ＬＧ１１の固定部ＡＡ１１とは、十分な強度で接合されない可能性がある。
【0025】
一方、本実施形態において、支持端子４０１Ｆは、製造時に、溶接、例えば、抵抗溶接により脚部ＬＧ１１に接合（溶接）される。抵抗溶接により支持端子４０１Ｆが脚部ＬＧ１１に接合される場合、支持端子４０１Ｆは、一対の電極により外側から脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の位置に対応する部分を挟まれ、この部分に力が加えられ、電流が供給される。支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２は、それぞれ、一対の電極により加えられた力により脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に向かって突出し、角部ＣＰ１、ＣＰ２に押し当てられる。このとき、例えば、内面ＩＮ１は、角部ＣＰ１の角に押し当てられ、角部ＣＰ１を覆うように塑性変形する。内面ＩＮ１と同様に、内面ＩＮ２は、角部ＣＰ２の角に押し当てられ、角部ＣＰ２を覆うように塑性変形する。このとき、内面ＩＮ１が塑性変形することで、凸部ＰＲ１が底部側に形成される。内面ＩＮ２が塑性変形することで、凸部ＰＲ２が形成される。この場合、一対の電極により支持端子４０１Ｆに加えられた力は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２が先端部ＴＰ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２の角とそれぞれ接触する部分に集中する。すなわち、この接触している部分に生じる応力が大きくなる。そのため、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２が、それぞれ、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２に十分に圧着する。つまり、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２は、それぞれ、線接触する場合と比較して脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２の狭い範囲で十分に圧着する。そのため、一対の電極により供給された電流は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２が先端部ＴＰ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２に接触している部分に集中して流れる。すなわち、この接触している部分の電流密度が、大きくなる。そのため、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２（及び凸部ＰＲ１、ＰＲ２）と脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２とは、十分な強度で接合され得る。
【0026】
図５は、図４に示したＶ－Ｖに沿って切断した支持端子４０１Ｆの一部の構造のいくつかの例を示す断面図である。図５には、第３方向ＺからＸ－Ｙ平面を見た場合の支持端子４０１Ｆの断面のいくつかの例を示している。図５（ａ）は、第１端子部４１Ｆａ及び第２端子部４１Ｆｂの断面がそれぞれ半円形状に形成されている支持端子４０１Ｆの一例を示す断面図である。図５（ｂ）は、第１端子部４１Ｆａ及び第２端子部４１Ｆｂの断面がそれぞれ扇形状に形成されている支持端子４０１Ｆの一例を示す断面図である。
【0027】
図５（ａ）に示す例では、支持端子４０１Ｆの第１端子部４１Ｆａ及び第２端子部４１Ｆｂの断面は、それぞれ、半円形状に形成されている。支持端子４０１Ｆの第１端子部４１Ｆａ及び第２端子部４１Ｆｂは、脚部ＬＧ１１を間に挟んで対向している。図５（ａ）に示す例では、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面に垂直な方向、例えば、脚部ＬＧ１１の第１方向Ｘへの脚部ＬＧ１１のずれ等を防止できる。図５（ｂ）に示す例では、支持端子４０１Ｆの第１端子部４１Ｆａ及び第２端子部４１Ｆｂの断面は、それぞれ、扇形状に形成されている。支持端子４０１Ｆの第１端子部４１Ｆａの内面ＩＮ１の一部と、第２端子部４１Ｆｂの内面ＩＮ２の一部とは、それぞれ、脚部ＬＧ１１の外周形状に沿ってアーチ状に形成されている。支持端子４０１Ｆにおいて、アーチ状に形成されていない内面ＩＮ１の一部と内面ＩＮ２の一部とは、平行に対向している。また、アーチ状に形成されていない内面ＩＮ１の一部と内面ＩＮ２の一部とは、脚部ＬＧ１１の径ＬＤ１よりも小さい距離で離間している。支持端子４０１Ｆの第１端子部４１Ｆａ及び第２端子部４１Ｆｂは、脚部ＬＧ１１を挟んで対向している。脚部ＬＧ１１は、アーチ状に形成されている内面ＩＮ１の一部及び第２端子部４１Ｆｂの内面ＩＮ２の一部の間に位置している。図５（ｂ）に示す例では、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面に垂直な方向、例えば、第１方向Ｘへの脚部ＬＧ１１のずれ等を防止できる。加えて、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面に水平な方向、例えば、第２方向Ｙへの脚部ＬＧ１１のずれ等も防止できる。図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す支持端子４０１Ｆの断面形状は、一例であり、これ以外の断面形状であっても良い。例えば、支持端子４０１Ｆの断面は、矩形形状に形成されていても良い。また、支持端子４０１Ｆの断面において、隙間ＣＬ１１が斜めに形成されていても良い。
【0028】
以下で、図６乃至図８を参照して、本実施形態に係る電子放出源３２１Ｒの製造方法の一例について説明する。説明の便宜上、以下で、脚部ＬＧ１１及び支持端子４０１Ｆを用いて製造方法を説明するが、脚部ＬＧ１２及び支持端子４０１Ｂにも脚部ＬＧ１１及び支持端子４０１Ｆと同じ製造方法が適用できる。また、電子放出源３２１Ｒの製造方法のみについて説明するが、電子放出源３２１Ｌにも電子放出源３２１Ｌの製造方法と同じ製造方法が適用できる。
【0029】
図６は、フィラメントＦＬ１と、支持端子４０１Ｆとが設置されている治具ＪＧの一例を示す断面図である。治具ＪＧは、台座ＰＥＤと、電極ＥＬと、支持板ＳＢと、を備えている。以下で、台座ＰＥＤ側を下（下側）と称し、支持板ＳＢ側を上（上側）と称する。台座ＰＥＤは、表面ＳＦ１上に対象物を設置する。電極ＥＬは、台座ＰＥＤの表面ＳＦ１から上方向に特定の距離離れた位置に設けられている。電極ＥＬは、対となる少なくとも一対の電極、例えば、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２を含む。一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２とは、対向して設けられている。一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、台座ＰＥＤの表面ＳＦ１に対して平行な方向に可動する。また、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、それぞれ、図示しない正電源及び負電源に接続されている。そのため、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２には、電源から電圧が印加されることで電流が供給される。支持板ＳＢは、平板形状に形成されている。支持板ＳＢは、貫通孔ＳＨが形成されている。支持板ＳＢは、台座ＰＥＤの表面ＳＦ１から上方向に任意の距離離れた位置に設置されている。例えば、支持板ＳＢは、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１が一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２の間に位置するように設置されている。なお、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、台座ＰＥＤに対して上下に可動可能に構成されていても良い。また、治具ＪＧにおいて、台座ＰＥＤは、上下に可動可能に構成されていても良い。
【0030】
図６に示すように、支持端子４０１Ｆは、台座ＰＥＤの表面ＳＦ１上に設置される。フィラメントＦＬ１は、支持板ＳＢに設置される。フィラメントＦＬ１が支持板ＳＢに設置された場合、コイル部Ｃ１は、支持板ＳＢの表面ＳＦ２で支持されている。脚部ＬＧ１１は、支持板ＳＢの貫通孔ＳＨを挿入されている。このとき、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２の間に位置している。例えば、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２は、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２の間に位置している。例えば、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、支持端子４０１Ｆの底部ＢＴ１から開口部側に離間している。この場合、先端部ＴＰ１１が支持端子４０１の底部ＢＴ１から離間していることで、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２により支持端子４０１Ｆと脚部ＬＧ１１とを効率的に圧着することができる。
【0031】
図７は、電極ＥＬにより力を加えられている支持端子４０１Ｆの一例を示す断面図である。図７（ａ）は、治具ＪＧに設置されているフィラメントＦＬ１と支持端子４０１Ｆとを示す断面図である。図７（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の断面の拡大図である。
図７（ａ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、支持端子４０１Ｆを両側から挟み、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に力を加える。電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２には、窪み４１２及び窪み４１４が、それぞれ、形成される。
図７（ａ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、支持端子４０１Ｆを両側から挟み、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に力を加える。電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２には、窪み４１２及び窪み４１４が、それぞれ、形成される。
【0032】
図７（ｂ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２から加えられた力により、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２は、それぞれ、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に向かって突出し、角部ＣＰ１及び角部ＣＰ２の角に押し当てられる。そのため、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１の角に応力が集中することにより、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１は、角部ＣＰ１を覆うように塑性変形する。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２の角に応力が集中することにより、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２は、角部ＣＰ２を覆うように塑性変形する。支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２が塑性変形することで、凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２が、それぞれ、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１よりも底部側に形成される。そのため、凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２は、脚部ＬＧ１１のずれ、例えば、隙間ＣＬ１１での底部側へのずれ等を防止できる。
【0033】
図８は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に接合された支持端子４０１Ｆを示す断面図である。図８（ａ）は、治具ＪＧに設置されたフィラメントＦＬ１及び支持端子４０１Ｆを模式的に示す断面図である。図８（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の断面の拡大図である。
図８（ａ）に示す例では、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に圧力を加えながら電流を供給する。このとき、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２及び凸部ＰＲ１、ＰＲ２と脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２との間に十分な電流密度で電流が流れる。そのため、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１との間に溶接に十分なジュール熱が生じる。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２との間に溶接に十分なジュール熱が生じる。そのため、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１を覆うように、角部ＣＰ１に溶融接合される。また、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２を覆うように、角部ＣＰ２に溶融接合される。例えば、図８（ｂ）に示すように、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１との間には、接合部ＣＮ１が、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１を覆うように形成される。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ２及び内面ＩＮ２との間には、接合部ＣＮ２が、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２を覆うように形成される。接合部ＣＮ１は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１や脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１の内の少なくとも１つが溶融して形成される。接合部ＣＮ２は、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ２及び内面ＩＮ２や脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２の内の少なくとも１つが溶融して形成される。このように、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、角部ＣＰ１を覆っているために、十分な強度で接合される。支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２は、角部ＣＰ２を覆っているために、十分な強度で接合される。そのため、支持端子４０１Ｆは、脚部ＬＧ１１のずれ、例えば、隙間ＣＬ１１での開口部側へのずれ等を防止できる。
図８（ａ）に示す例では、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に圧力を加えながら電流を供給する。このとき、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１、ＩＮ２及び凸部ＰＲ１、ＰＲ２と脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２との間に十分な電流密度で電流が流れる。そのため、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１との間に溶接に十分なジュール熱が生じる。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２との間に溶接に十分なジュール熱が生じる。そのため、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１を覆うように、角部ＣＰ１に溶融接合される。また、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２を覆うように、角部ＣＰ２に溶融接合される。例えば、図８（ｂ）に示すように、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１との間には、接合部ＣＮ１が、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１を覆うように形成される。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ２及び内面ＩＮ２との間には、接合部ＣＮ２が、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２を覆うように形成される。接合部ＣＮ１は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１や脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１の内の少なくとも１つが溶融して形成される。接合部ＣＮ２は、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ２及び内面ＩＮ２や脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２の内の少なくとも１つが溶融して形成される。このように、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、角部ＣＰ１を覆っているために、十分な強度で接合される。支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２は、角部ＣＰ２を覆っているために、十分な強度で接合される。そのため、支持端子４０１Ｆは、脚部ＬＧ１１のずれ、例えば、隙間ＣＬ１１での開口部側へのずれ等を防止できる。
【0034】
図９は、本実施形態に係るＸ線管１の電子放出源３２１Ｒの製造方法の一例のフローチャートである。
はじめに、支持端子４０１Ｆが、治具ＪＧに設置される（Ｓ９０１）。フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１が、支持端子４０１Ｆの隙間ＣＬ１１に挿入される（Ｓ９０２）。このとき、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２により溶接可能な位置に位置している。
はじめに、支持端子４０１Ｆが、治具ＪＧに設置される（Ｓ９０１）。フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１が、支持端子４０１Ｆの隙間ＣＬ１１に挿入される（Ｓ９０２）。このとき、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２により溶接可能な位置に位置している。
【0035】
支持端子４０１Ｆは、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２により、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に圧接（圧着）される（Ｓ９０３）。このとき、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２に加えられた力により、内面ＩＮ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１の角に押し当てられ、角部ＣＰ１を覆うように塑性変形する。また、内面ＩＮ２は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２の角に押し当てられ、角部ＣＰ２を覆うように塑性変形する。このとき、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２に加えられた力により、凸部ＰＲ１が、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１が隙間ＣＬ１１の内側に突出し、脚部ＬＧ１１の先端よりも底部側に形成される。凸部ＰＲ２は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２が隙間ＣＬ１１の内側に突出し、脚部ＬＧ１１の先端よりも底部側に形成される。
【0036】
この状態で、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２により、支持端子４０１Ｆは、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に溶接される（Ｓ９０４）。このとき、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２から供給された電流により発生した熱で、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１に溶融接合する。一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２から供給された電流により発生した熱で、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２に溶融接合する。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１に固定される。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２に固定される。支持端子４０１Ｆ及び脚部ＬＧ１１と同様に、脚部ＬＧ１２の角部が、支持端子４０１Ｂの内面に固定される。その後、電子放出源３２１Ｒの製造工程が終了する。
【0037】
本実施形態によれば、Ｘ線管１は、陰極３１において、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１及びＣＰ２が、それぞれ、接合部ＣＮ１及びＣＮ２を介して、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１と内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２とに固定されている。製造時に、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２は、それぞれ、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２で支持端子４０１Ｆに加えられた力が脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１及び角部ＣＰ２の角に集中するために、角部ＣＰ１及びＣＰ２の角で塑性変形し、角部ＣＰ１及びＣＰ２を覆うように変形する。このとき、内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２がそれぞれ塑性変形することで、凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２が、それぞれ、形成される。支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１と内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２とは、それぞれ、角部ＣＰ１及び角部ＣＰ２に十分な強度で接合される。そのため、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の脚部、例えば、脚部ＬＧ１１のずれを防止できる。その結果、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の陰極カップ３１０への接触等を防止できる。
【0038】
次に、変形例および他の実施形態に係るＸ線管及びＸ線管の製造方法について説明する。以下に説明する変形例および他の実施形態において、前述した第１実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略あるいは簡略化し、第１実施形態と異なる部分を中心に詳細に説明する。
【0039】
（変形例１）
第１実施形態の変形例１のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２が隙間ＣＬ１１で窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲以外に位置している点が第１実施形態のＸ線管１と相違する。
第１実施形態の変形例１のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２が隙間ＣＬ１１で窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲以外に位置している点が第１実施形態のＸ線管１と相違する。
【0040】
図１０は、第１実施形態の変形例１に係るＸ線管１の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１０において、窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲の開口部側の境界位置を位置ＵＰとし、底部側の境界位置を位置ＢＰとする。図１０（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図１０（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、支持端子４０１Ｆにおいて、一対の電極で挟まれた範囲（窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲）より、開口部側に位置している。図１０（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、隙間ＣＬ１１において、位置ＵＰの付近に位置している。
脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、支持端子４０１Ｆにおいて、一対の電極で挟まれた範囲（窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲）より、開口部側に位置している。図１０（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、隙間ＣＬ１１において、位置ＵＰの付近に位置している。
【0041】
図１０（ｂ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２は、窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲よりも開口部側に位置している。例えば、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２は、位置ＵＰよりも開口部側に位置している。凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２は、それぞれ、図４に示した凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２よりも長く形成されている。この場合でも、十分な電流密度で電流が供給されることで、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１に十分な強度で接合される。また、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２も、脚部ＬＧ１２の角部ＣＰ２に十分な強度で接合される。
【0042】
図１１は、第１実施形態のＸ線管１に係る変形例１の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１１において、窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲の開口部側の境界位置を位置ＵＰとし、底部側の境界位置を位置ＢＰとする。図１１（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図１１（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、支持端子４０１Ｆにおいて、窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲で底部側に位置している。図１１（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、隙間ＣＬ１１において、位置ＢＰの付近に位置している。
脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、支持端子４０１Ｆにおいて、窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲で底部側に位置している。図１１（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、隙間ＣＬ１１において、位置ＢＰの付近に位置している。
【0043】
図１１（ｂ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２の一部は、窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲よりも底部側に位置している。例えば、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２の一部は、位置ＢＰよりも底部側に位置している。凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２は、それぞれ、図４に示した凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２よりも短く形成されている。この場合でも、十分な電流密度で電流が供給されることで、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１に十分な強度で接合される。また、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２も、脚部ＬＧ１２の角部ＣＰ２に十分な強度で接合される。
【0044】
変形例１によれば、Ｘ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１ＲのフィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１、ＣＰ２が隙間ＣＬ１１で窪み４１２及び窪み４１４で挟まれた範囲以外に位置している。この場合でも、十分な電流密度で電流が供給されることで、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１に十分な強度で接合される。また、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２も、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２に十分な強度で接合される。そのため、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の脚部、例えば、脚部ＬＧ１１のずれを防止できる。
【0045】
（変形例２）
第１実施形態の変形例２のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ１と凸部ＰＲ２とが接合されている点が前述のＸ線管１と相違する。
第１実施形態の変形例２のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ１と凸部ＰＲ２とが接合されている点が前述のＸ線管１と相違する。
【0046】
図１２は、第１実施形態の変形例２に係るＸ線管の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１２（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図１２（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
図１２（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、隙間ＣＬ１１で窪み１２及び窪み４１４の間に位置している。図１２（ｂ）に示す例では、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ１と凸部ＰＲ２とは接合されている。また、接合部ＣＮ１と接合部ＣＮ２とは、脚部ＬＧ１１の底面と凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２との間で接合されている。脚部ＬＧ１１は、凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２と接合される範囲が前述の実施形態の脚部ＬＧ１１よりも大きくなる。脚部ＬＧ１１と内面ＩＮ１、ＩＮ２及び凸部ＰＲ１、ＰＲ２とは、接合部ＣＮ１及び接合部ＣＮ２を介して十分な強度で接合される。
図１２（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、隙間ＣＬ１１で窪み１２及び窪み４１４の間に位置している。図１２（ｂ）に示す例では、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ１と凸部ＰＲ２とは接合されている。また、接合部ＣＮ１と接合部ＣＮ２とは、脚部ＬＧ１１の底面と凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２との間で接合されている。脚部ＬＧ１１は、凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２と接合される範囲が前述の実施形態の脚部ＬＧ１１よりも大きくなる。脚部ＬＧ１１と内面ＩＮ１、ＩＮ２及び凸部ＰＲ１、ＰＲ２とは、接合部ＣＮ１及び接合部ＣＮ２を介して十分な強度で接合される。
【0047】
変形例２によれば、Ｘ線管１は、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ１と凸部ＰＲ２とが接合されている。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１は、接合部ＣＮ１を介して凸部ＰＲ１及び内面ＩＮ１に接合されている。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２は、接合部ＣＮ２を介して凸部ＰＲ１及び内面ＩＮ２に接合されている。接合部ＣＮ１と接合部ＣＮ２とは、脚部ＬＧ１１の底面と凸部ＰＲ１及び凸部ＰＲ２との間で接合されている。そのため、脚部ＬＧ１１と内面ＩＮ１、ＩＮ２及び凸部ＰＲ１、ＰＲ２とは、接合部ＣＮ１及び接合部ＣＮ２を介して十分な強度で接合される。したがって、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の脚部、例えば、脚部ＬＧ１１のずれを防止できる。
【0048】
（変形例３）
第１実施形態の変形例３のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２が平面状に形成されている点が前述のＸ線管１と相違する。
図１３は、第１実施形態の変形例３に係るＸ線管の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１３（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図１３（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
第１実施形態の変形例３のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２が平面状に形成されている点が前述のＸ線管１と相違する。
図１３は、第１実施形態の変形例３に係るＸ線管の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１３（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図１３（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
【0049】
図１３（ａ）に示す例では、支持端子４０１Ｆは、外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２が平面状に形成されている。図１３（ｂ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１は、接合部ＣＮ１を介して、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ１及び内面ＩＮ１に固定されている。また、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２は、接合部ＣＮ２を介して、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ２及び内面ＩＮ２に固定されている。
【0050】
変形例３によれば、Ｘ線管１は、支持端子４０１Ｆの外側の表面が平面状に形成されている。この場合でも、十分な電流密度で電流が供給されることで、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１に十分な強度で接合される。また、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２も、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２に十分な強度で接合される。そのため、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の脚部、例えば、脚部ＬＧ１１のずれを防止できる。
【0051】
（変形例４）
第１実施形態の変形例４のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、支持端子４０１Ｆの向きが前述のＸ線管１と相違する。
図１４は、第１実施形態の変形例４に係るＸ線管１の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１４には、第２方向ＹからＸ－Ｚ平面を見た場合の電子放出源３２１Ｒの断面の一例を示している。図１４に示す例では、支持端子４０１Ｆは、隙間ＣＬ１１がＸ－Ｚ平面に水平に設けられている。すなわち、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面に垂直に隙間ＣＬ１１が設けられている。例えば、図１４に示す支持端子４０１Ｆは、図４に示す支持端子４０１Ｆを第３方向Ｚに延長する軸周りに９０度回転させて設けられている。なお、図１４に示す支持端子４０１Ｆは、図４に示す支持端子４０１Ｆを第２方向Ｙに延長する軸周りに９０度以外で回転させて設けられていても良い。
第１実施形態の変形例４のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、支持端子４０１Ｆの向きが前述のＸ線管１と相違する。
図１４は、第１実施形態の変形例４に係るＸ線管１の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１４には、第２方向ＹからＸ－Ｚ平面を見た場合の電子放出源３２１Ｒの断面の一例を示している。図１４に示す例では、支持端子４０１Ｆは、隙間ＣＬ１１がＸ－Ｚ平面に水平に設けられている。すなわち、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面に垂直に隙間ＣＬ１１が設けられている。例えば、図１４に示す支持端子４０１Ｆは、図４に示す支持端子４０１Ｆを第３方向Ｚに延長する軸周りに９０度回転させて設けられている。なお、図１４に示す支持端子４０１Ｆは、図４に示す支持端子４０１Ｆを第２方向Ｙに延長する軸周りに９０度以外で回転させて設けられていても良い。
【0052】
図１５は、図１４に示したＸＶ－ＸＶに沿って切断した支持端子４０１Ｆの一部の構造のいくつかの例を示す断面図である。図１５には、第３方向ＺからＸ－Ｙ平面を見た場合の支持端子４０１Ｆの断面のいくつかの例を示している。図１５（ａ）は、第１端子部４１Ｆａ及び第２端子部４１Ｆｂの断面がそれぞれ半円形状に形成されている支持端子４０１Ｆの一例を示す断面図である。図１５（ｂ）は、第１端子部４１Ｆａ及び第２端子部４１Ｆｂの断面がそれぞれ扇形状に形成されている支持端子４０１Ｆの一例を示す断面図である。
【0053】
図１５（ａ）に示す支持端子４０１Ｆの断面は、図５（ａ）に示す支持端子４０１Ｆの断面を第３方向Ｚに延長する軸周りに９０度回転させた構造である。図１５（ｂ）に示す支持端子４０１Ｆの断面は、図５（ｂ）に示す支持端子４０１Ｆの断面を第２方向Ｙに延長する軸周りに９０度回転させた構造である。図１５（ａ）及び図１５（ｂ）に示した支持端子４０１Ｆの断面形状は、一例であり、これ以外の断面形状であっても良い。例えば、支持端子４０１Ｆの断面は、矩形形状に形成されていても良い。
【0054】
変形例４によれば、Ｘ線管１において、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面に垂直に隙間ＣＬ１１が形成されている。そのため、支持端子４０１Ｆは、フィラメントＦＬ１に対して水平な平面に水平な方向、例えば、第２方向Ｙへの脚部ＬＧ１１のずれ等を防止できる。
【0055】
（変形例５）
第１実施形態の変形例５のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆの内面との間に中間部材ＩＭを備えている点が前述のＸ線管１と相違する。
図１６は、第１実施形態の変形例５に係るＸ線管１の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１６（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図１６（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
第１実施形態の変形例５のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆの内面との間に中間部材ＩＭを備えている点が前述のＸ線管１と相違する。
図１６は、第１実施形態の変形例５に係るＸ線管１の電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図１６（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図１６（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
【0056】
図１６（ａ）に示す例では、電子放出源３２１Ｒは、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆの内面との間に中間部材ＩＭを備えている。支持端子４０１Ｆは、例えば、モリブデン、又はモリブデンを主成分とする合金で形成されている。中間部材ＩＭは、例えば、プラチナ、又はプラチナを主成分とする合金で形成されている。なお、中間部材ＩＭは、例えば、箔、又はメッキで形成されている。
【0057】
図１６（ｂ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１は、接合部ＣＮ１を介して、凸部ＰＲ１及び内面ＩＮ１に固定されている。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２は、接合部ＣＮ２を介して、凸部ＰＲ２及び内面ＩＮ２に固定されている。例えば、接合部ＣＮ１は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１（及び凸部ＰＲ１）と中間部材ＩＭとの内の少なくとも１つが溶融して形成されている。接合部ＣＮ２は、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２（及び凸部ＰＲ２）と中間部材ＩＭとの内の少なくとも１つが溶融して形成されている。図１６（ｂ）に示した例では、中間部材ＩＭは、支持端子４０１Ｆの内面と脚部ＬＧ１１との間の隙間ＣＬ１１において、接合部ＣＮ１、ＣＮ２よりも開口部側に設けられている。なお、中間部材ＩＭは、接合部ＣＮ１、ＣＮ２内に含まれていれば良い。そのため、例えば、図１６（ｂ）に示すように、中間部材ＩＭは、支持端子４０１Ｆの内面と脚部ＬＧ１１との間の隙間ＣＬ１１において、接合部ＣＮ１、ＣＮ２よりも開口部側に設けられていなくとも良い。
【0058】
以下で、図１７乃至図１９を参照して、変形例５に係る電子放出源３２１Ｒの製造方法の一例について説明する。
図１７は、フィラメントＦＬ１と、支持端子４０１Ｆとが設置されている治具ＪＧの一例を示す断面図である。
図１７に示すように、支持端子４０１Ｆは、台座ＰＥＤの表面ＳＦ１上に設置される。このとき、脚部ＬＧ１１は、少なくとも先端部ＴＰ１１に中間部材ＩＭを備えている。脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２の間に位置している。
図１７は、フィラメントＦＬ１と、支持端子４０１Ｆとが設置されている治具ＪＧの一例を示す断面図である。
図１７に示すように、支持端子４０１Ｆは、台座ＰＥＤの表面ＳＦ１上に設置される。このとき、脚部ＬＧ１１は、少なくとも先端部ＴＰ１１に中間部材ＩＭを備えている。脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２の間に位置している。
【0059】
図１８は、電極ＥＬにより力を加えられている支持端子４０１Ｆの一例を示す断面図である。図１８（ａ）は、治具ＪＧに設置されているフィラメントＦＬ１と支持端子４０１Ｆとを示す断面図である。図１８（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の断面の拡大図である。
図１８（ａ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、支持端子４０１を両側から挟み、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に力を加える。電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２には、窪み４１２及び窪み４１４がそれぞれ形成される。
図１８（ａ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、支持端子４０１を両側から挟み、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に力を加える。電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２には、窪み４１２及び窪み４１４がそれぞれ形成される。
【0060】
図１８（ｂ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２から加えられた力により、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２は、それぞれ、中間部材ＩＭを介して、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に向かって突出し、角部ＣＰ１及びＣＰ２の角に押し当てられる。そのため、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１の角に応力が集中することにより、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１は、中間部材ＩＭを介して、角部ＣＰ１を覆うように塑性変形する。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２の角に応力が集中することにより、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２は、中間部材ＩＭを介して、角部ＣＰ２を覆うように塑性変形する。
【0061】
図１９は、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１に接合された支持端子４０１Ｆを示す断面図である。図１９（ａ）は、治具ＪＧに設置されたフィラメントＦＬ１及び支持端子４０１Ｆを模式的に示す断面図である。図１９（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の断面の拡大図である。
図１９（ａ）に示す例では、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、中間部材ＩＭを介して、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１を覆うように、角部ＣＰ１に溶融接合される。また、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２は、中間部材ＩＭを介して、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２を覆うように、角部ＣＰ２に溶融接合される。例えば、図１９（ｂ）に示すように、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１との間には、接合部ＣＮ１が、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１を覆うように形成される。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの内面２及び凸部ＰＲ２との間には、接合部ＣＮ２が、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２を覆うように形成される。接合部ＣＮ１は、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ１及び内面ＩＮ１、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１や、中間部材ＩＭの内の少なくとも１つが溶融して形成される。接合部ＣＮ２は、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ２及び内面ＩＮ２、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２や、中間部材ＩＭの内の少なくとも１つが溶融して形成されている。このように、脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆの内面との間に中間部材ＩＭが備えられていることで、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆとの溶接性が改善される。
図１９（ａ）に示す例では、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１は、中間部材ＩＭを介して、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１を覆うように、角部ＣＰ１に溶融接合される。また、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２及び凸部ＰＲ２は、中間部材ＩＭを介して、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２を覆うように、角部ＣＰ２に溶融接合される。例えば、図１９（ｂ）に示すように、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び凸部ＰＲ１との間には、接合部ＣＮ１が、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１を覆うように形成される。脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２と支持端子４０１Ｆの内面２及び凸部ＰＲ２との間には、接合部ＣＮ２が、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２を覆うように形成される。接合部ＣＮ１は、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ１及び内面ＩＮ１、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ１や、中間部材ＩＭの内の少なくとも１つが溶融して形成される。接合部ＣＮ２は、支持端子４０１Ｆの凸部ＰＲ２及び内面ＩＮ２、脚部ＬＧ１１の角部ＣＰ２や、中間部材ＩＭの内の少なくとも１つが溶融して形成されている。このように、脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆの内面との間に中間部材ＩＭが備えられていることで、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆとの溶接性が改善される。
【0062】
変形例５によれば、Ｘ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆの内面との間に中間部材ＩＭを備えている。そのため、Ｘ線管１は、製造時に、脚部ＬＧ１１と支持端子４０１Ｆの内面との溶接性が改善される。
【0063】
（変形例６）
第１実施形態の変形例６のＸ線管１は、電子放出部、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、支持端子４０１Ｆの断面形状が前述のＸ線管１と相違する。
図２０は、第１実施形態の変形例６に係るＸ線管１の支持端子４０１Ｆの一部の構造の一例を示す断面図である。図２０には、第３方向ＺからＸ－Ｙ平面を見た場合の支持端子４０１Ｆの断面の一例を示している。図２０には、支持端子４０１Ｆの断面の第１方向Ｘの幅の中心ＣＮＴ１を示している。図２０では、中心ＣＮＴ１を基点として、支持端子４０１Ｆの一方の部分を第１端子部４１Ｆａとし、もう一方の部分を第２端子部４１Ｆｂとする。図２０に示す例では、支持端子４０１Ｆの断面は、円形形状の隙間ＣＬ１１が形成されている。図２０に示す支持端子４０１Ｆの断面では、隙間ＣＬ１１が外側まで延長していない。図２０に示す支持端子４０１Ｆの断面は、一例であり、これ以外の断面であっても良い。
第１実施形態の変形例６のＸ線管１は、電子放出部、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、支持端子４０１Ｆの断面形状が前述のＸ線管１と相違する。
図２０は、第１実施形態の変形例６に係るＸ線管１の支持端子４０１Ｆの一部の構造の一例を示す断面図である。図２０には、第３方向ＺからＸ－Ｙ平面を見た場合の支持端子４０１Ｆの断面の一例を示している。図２０には、支持端子４０１Ｆの断面の第１方向Ｘの幅の中心ＣＮＴ１を示している。図２０では、中心ＣＮＴ１を基点として、支持端子４０１Ｆの一方の部分を第１端子部４１Ｆａとし、もう一方の部分を第２端子部４１Ｆｂとする。図２０に示す例では、支持端子４０１Ｆの断面は、円形形状の隙間ＣＬ１１が形成されている。図２０に示す支持端子４０１Ｆの断面では、隙間ＣＬ１１が外側まで延長していない。図２０に示す支持端子４０１Ｆの断面は、一例であり、これ以外の断面であっても良い。
【0064】
変形例６によれば、Ｘ線管１において、支持端子４０１Ｆの断面は、円形形状の隙間ＣＬ１１が形成されている。そのため、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の脚部、例えば、脚部ＬＧ１１の全方向へのずれを防止できる。
【0065】
（第２実施形態）
第２実施形態のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１が複数の部分で支持端子４０１Ｆに接合されている点が前述のＸ線管１と相違する。
図２１は、第２実施形態に係る電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図２１（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図２１（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
第２実施形態のＸ線管１は、電子放出源、例えば、電子放出源３２１Ｒにおいて、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１が複数の部分で支持端子４０１Ｆに接合されている点が前述のＸ線管１と相違する。
図２１は、第２実施形態に係る電子放出源３２１Ｒの構造の一例を示す断面図である。図２１（ａ）は、電子放出源３２１Ｒの一例の断面の拡大図である。図２１（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の一例の断面の拡大図である。
【0066】
図２１（ａ）に示す例では、支持端子４０１Ｆは、一対の窪み４１２、４１４と、一対の窪み４１６、４１８とを備えている。窪み４１６及び窪み４１８は、それぞれ、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に形成されている。窪み４１６は、窪み４１２よりも開口部側の外面ＯＵ１に形成されている。窪み４１８は、窪み４１４より開口部側の外面ＯＵ２に形成されている。窪み４１６は、隙間ＣＬ１１を間に挟んで窪み４１８に対向している。図２１（ａ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１が、隙間ＣＬ１１で窪み４１６と窪み４１８との間に位置している。脚部ＬＧ１１において、支持部ＳＰ１１は、先端部ＴＰ１１よりもコイル部Ｃ１側に位置している。
【0067】
図２１（ｂ）に示す例では、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１は、接合部ＷＥ１を介して内面ＩＮ１に固定され、且つ接合部ＷＥ２を介して内面ＩＮ２に固定されている。接合部ＷＥ１は、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１との内の少なくとも一方が溶融して形成されている。接合部ＷＥ２は、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２との内の少なくとも一方が溶融して形成されている。接合部ＷＥ１及び接合部ＷＥ２は、それぞれ、導電性の金属部材で形成されている。なお、接合部ＷＥ１は、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１及び支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１の内の少なくとも一方と一体で形成されていても良い。接合部ＷＥ２は、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１及び支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２の内の少なくとも一方と一体で形成されていても良い。
【0068】
以下、図２２及び図２３を参照して、本実施形態に係る電子放出源３２１Ｒの製造方法の一例について説明する。
はじめに、支持端子４０１Ｆは、台座ＰＥＤの表面ＳＦ１上に設置される。フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２の間に位置している。脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１と支持端子４０１Ｆとを接合する工程は、図６乃至図８で説明した工程と同等であるので説明を省略する。
はじめに、支持端子４０１Ｆは、台座ＰＥＤの表面ＳＦ１上に設置される。フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１は、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２の間に位置している。脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１と支持端子４０１Ｆとを接合する工程は、図６乃至図８で説明した工程と同等であるので説明を省略する。
【0069】
図２２は、電極ＥＬにより力を加えられている支持端子４０１Ｆの一例を示す断面図である。図２２（ａ）は、治具ＪＧに設置されているフィラメントＦＬ１と支持端子４０１Ｆとを示す断面図である。図２２（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１の断面の拡大図である。
図２２（ａ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、支持端子４０１Ｆを両側から挟み、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に力を加える。電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ３には、窪み４１６及び窪み４１８が、それぞれ、形成される。
図２２（ａ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２は、支持端子４０１Ｆを両側から挟み、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に力を加える。電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ３には、窪み４１６及び窪み４１８が、それぞれ、形成される。
【0070】
図２２（ｂ）に示すように、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２から加えられた力により、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２は、それぞれ、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１に向かって突出し、支持部ＳＰ１１に押し当てられる。このとき、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２は、それぞれ、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１に線接触する。
【0071】
図２３は、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１に接合された支持端子４０１Ｆを示す断面図である。図２３（ａ）は、治具ＪＧに設置されたフィラメントＦＬ１及び支持端子４０１Ｆを模式的に示す断面図である。図２３（ｂ）は、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１の断面の拡大図である。
【0072】
図２３（ａ）に示す例では、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２は、支持端子４０１Ｆの外面ＯＵ１及び外面ＯＵ２に圧力を加えながら電流を供給する。このとき、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２は、それぞれ、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１に溶融接合される。例えば、図２３（ｂ）に示すように、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１との間には、接合部ＷＥ１が、形成される。脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１と支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２との間には、接合部ＷＥ２が、形成される。接合部ＷＥ１は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１や脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１の内の少なくとも１つが溶融して形成される。接合部ＷＥ２は、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ２や脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１の内の少なくとも１つが溶融して形成される。
【0073】
図２４は、本実施形態に係るＸ線管１の電子放出源３２１Ｒの製造方法の一例のフローチャートである。図２４のフローチャートにおいて、図９のフローチャートと同等の処理については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を簡略化又は省略する。
はじめに、支持端子４０１Ｆが、治具ＪＧに設置され（Ｓ９０１）、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１が、支持端子４０１Ｆの隙間ＣＬ１１に挿入される（Ｓ９０２）。支持端子４０１Ｆは、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に圧接（圧着）される（Ｓ９０３）。
この状態で、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２により、支持端子４０１Ｆは、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に溶接される（Ｓ９０４）。
はじめに、支持端子４０１Ｆが、治具ＪＧに設置され（Ｓ９０１）、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１が、支持端子４０１Ｆの隙間ＣＬ１１に挿入される（Ｓ９０２）。支持端子４０１Ｆは、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に圧接（圧着）される（Ｓ９０３）。
この状態で、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２により、支持端子４０１Ｆは、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に溶接される（Ｓ９０４）。
【0074】
さらに、支持端子４０１Ｆは、一対の電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により、脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１よりも上側（コイル部Ｃ１側）に圧接（圧着）される（Ｓ２５０１）。このとき、内面ＩＮ１及びＩＮ２は、それぞれ、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２に加えられた力により電極ＥＬ１及び電極ＥＬ２により支持部ＳＰ１１に押し当てられながら、一対の電極ＥＬ１及びＥＬ２により供給される電流により支持部ＳＰ１１に溶接される（Ｓ２５０２）。なお、図２４に示したフローチャートでは、支持端子４０１Ｆが脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１に圧接される処理が、支持端子４０１Ｆが脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１の上側に圧接される処理よりも前に実行されているが、この処理よりも後に実行されても良い。また、図２４に示したフローチャートで、Ｓ２５０１の圧着工程の後、Ｓ２５０２の溶接工程を省略しても良い。
【0075】
第２実施形態によれば、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１の先端部ＴＰ１１と支持部ＳＰ１１とで支持端子４０１Ｆに接合されている。そのため、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の脚部、例えば、脚部ＬＧ１１のずれを防止できる。その結果、Ｘ線管１は、フィラメントＦＬ１の陰極カップ３１０への接触等を防止できる。
【0076】
なお、第２実施形態において、フィラメントＦＬ１の脚部ＬＧ１１は、支持端子４０１Ｆと２ヶ所で固定されているように記載したが、２ヶ所以上で固定されていても良い。また、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１は、接合部ＷＥ１及び接合部ＷＥ２を介して、支持端子４０１Ｆの内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２に固定されていなくとも良い。例えば、脚部ＬＧ１１の支持部ＳＰ１１は、突出した内面ＩＮ１及び内面ＩＮ２により挟まれて支持（圧接又は圧着）されていても良い。これは、図２４に示したフローチャートで、Ｓ２５０１の圧着工程の後、Ｓ２５０２の溶接工程を省略した場合に対応する。
【0077】
なお、この発明は、上記実施形態そのものに限定されるものでなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具現化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【符号の説明】
【0078】
１…Ｘ線管、１０…真空外囲器、２０…陽極構体、２１…陽極ターゲット、２３…回転機構、３０…陰極構体、３１…陰極、３３…陰極支持部、３１０…陰極カップ、３２１Ｒ、３２１Ｌ…電子放出源、４０１Ｆ、４０１Ｂ…支持端子、ＦＬ１…フィラメント。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】