特許 7199587 弾性部材および弾性装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-22

(45)【発行日】2023-01-05

(54)【発明の名称】弾性部材および弾性装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 23/40 20060101AFI20221223BHJP

   F16F 1/02 20060101ALI20221223BHJP

   F16F 1/32 20060101ALI20221223BHJP

【ＦＩ】

H01L23/40 E

F16F1/02 Z

F16F1/32

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2022089903

(22)【出願日】2022-06-01

【審査請求日】2022-06-01

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000176833

【氏名又は名称】三菱製鋼株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】光井 泰弘

(72)【発明者】

【氏名】帖佐 智彦

(72)【発明者】

【氏名】広兼 徹

【審査官】佐藤 靖史

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１３／１２２２１５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】実開昭５２－０７４９５３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】実開平０７－０２５５３３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平１１－２８８６４１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２３／４０

Ｆ１６Ｆ １／０２

Ｆ１６Ｆ １／３２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状の弾性部材であって、
平面上に並べて設けられた複数の皿ばねと、
前記平面上、且つ、前記複数の皿ばねの周囲において、前記複数の皿ばねと一体に設けられ、前記複数の皿ばねを支持する支持部と
を備え、
前記支持部は、
枠状の基部を有し、当該基部の枠内で、前記複数の皿ばねを保持する
ことを特徴とする弾性部材。

【請求項2】

前記基部は、
長方形の枠状を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の弾性部材。

【請求項3】

前記複数の皿ばねは、
前記支持部の前記基部の枠内において、前記基部の長手方向に沿って並べて設けられている
ことを特徴とする請求項２に記載の弾性部材。

【請求項4】

板状の弾性部材であって、
平面上に並べて設けられた複数の皿ばねと、
前記平面上、且つ、前記複数の皿ばねの周囲において、前記複数の皿ばねと一体に設けられ、前記複数の皿ばねを支持する支持部と
を備え、
前記支持部は、
直線状の基部を有し、当該基部の両外側で、前記複数の皿ばねを保持する
ことを特徴とすることを特徴とする弾性部材。

【請求項5】

前記複数の皿ばねは、
前記支持部の前記基部の両外側において、前記基部の長手方向に沿って並べて設けられている
ことを特徴とする請求項４に記載の弾性部材。

【請求項6】

互いに重ねて設けられる、２つの、請求項１から５のいずれか一項に記載の弾性部材を備える
ことを特徴とする弾性装置。

【請求項7】

２つの前記弾性部材のうちの一方の前記弾性部材が備える複数の皿ばねの各々の頂部と、２つの前記弾性部材のうちの他方の前記弾性部材が備える複数の皿ばねの各々の頂部とが互いに対向するように、２つの前記弾性部材が互いに重ねて設けられる
ことを特徴とする請求項６に記載の弾性装置。

【請求項8】

２つの前記弾性部材の間に配置される中間板を備える
ことを特徴とする請求項７に記載の弾性装置。

【請求項9】

２つの前記弾性部材のうちの一方の前記弾性部材が備える複数の皿ばねの各々の頂部と、２つの前記弾性部材のうちの他方の前記弾性部材が備える複数の皿ばねの各々の頂部とが同じ向きになるように、２つの前記弾性部材が互いに重ねて設けられる
ことを特徴とする請求項６に記載の弾性装置。

【請求項10】

２つの前記弾性部材の間に配置される中間板を備える
ことを特徴とする請求項９に記載の弾性装置。

【請求項11】

変位量が０から第１の値となるまでの第１の荷重特性と、
変位量が前記第１の値から第２の値となるまでの第２の荷重特性と
を有し、
前記第１の荷重特性は、前記第２の荷重特性よりも、荷重の増加率が大きい
ことを特徴とする請求項６に記載の弾性装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、弾性部材および弾性装置に関する。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、半導体装置において、半導体モジュールを、ヒートシンクとばね性を有する押さえ板との間で挟み込むことにより、半導体モジュールの放熱面をヒートシンクに押し当てた状態で、半導体モジュールをヒートシンクに固定する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１３－１１０２４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１の技術は、単なる薄い金属板を押さえ板として用いているため、ヒートシンクに対して、半導体モジュールを強く押し上げることができない。このため、特許文献１の技術は、半導体モジュールにガタツキが生じたり、半導体モジュールの冷却効率が低下したりする虞がある。

【0005】

また、近年、半導体モジュール等の各種デバイスの小型化を実現するために、狭い隙間内に配置可能であり、且つ、高荷重を付与することが可能な弾性部材が求められているが、特許文献１の押さえ板では、狭い隙間内に配置できたとしても、高荷重を付与することができない。

【0006】

本発明は、上述した課題を解決するため、狭い隙間内で高荷重を付与することが可能な弾性部材を提供できるようにすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決するために、一実施形態に係る弾性部材は、板状の弾性部材であって、平面上に並べて設けられた複数の皿ばねと、平面上、且つ、複数の皿ばねの周囲において、複数の皿ばねと一体に設けられ、複数の皿ばねを支持する支持部とを備える。

【発明の効果】

【0008】

一実施形態に係る弾性部材によれば、狭い隙間内で高荷重を付与することが可能な弾性部材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】一実施形態に係る弾性装置の分解斜視図

【図2】一実施形態に係る弾性装置の一部拡大側面図

【図3】一実施形態に係る弾性装置の他の構成例を示す分解斜視図

【図4】一実施形態に係る弾性装置の他の構成例を示す一部拡大側面図である。

【図5】一実施形態に係る弾性装置の荷重特性の解析結果を示す表

【図6】一実施形態に係る弾性装置の荷重特性の解析結果を示すグラフ

【図7】一実施形態に係る弾性部材の一使用例を示す図

【図8】一実施形態に係る弾性部材の一変形例を示す図

【図9】一実施形態に係る弾性装置の一変形例を示す図

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。

【0011】

（弾性装置１０の構成）
図１は、一実施形態に係る弾性装置１０の分解斜視図である。図２は、一実施形態に係る弾性装置１０の一部拡大側面図である。

【0012】

図１に示すように、一実施形態に係る弾性装置１０は、全体的に薄型且つ平面状を有する。弾性装置１０は、２枚の弾性部材１００（弾性部材１００－１，１００－２）と、中間板２０とを備える。弾性装置１０は、２枚の弾性部材１００の間に中間板２０が挟み込まれた積層構造を有する。なお、２枚の弾性部材１００は、互いに同一の部品であるが、互いに表裏が反転した状態で用いられている。

【0013】

なお、本実施形態では、便宜上、弾性装置１０の厚さ方向を上下方向（Ｚ軸方向）とし、弾性装置１０の長手方向を左右方向（Ｘ軸方向）とし、弾性装置１０の短手方向を前後方向（Ｙ軸方向）とする。

【0014】

弾性部材１００は、平面視にて、左右方向（Ｘ軸方向）を長手方向とする長方形状の外形状を有する、金属製且つ平板状の部材である。弾性部材１００は、複数の皿ばね１１０と、支持部１２０とを有する。

【0015】

複数の皿ばね１１０は、支持部１２０の基部１２１の枠内、且つ、同一平面上において、左右方向（Ｘ軸方向）に一列に並べて設けられている。

【0016】

皿ばね１１０は、中央に円形の開口部１１１を有し、且つ、上下方向（Ｚ軸方向）に弾性を有する、円盤状の部材である。皿ばね１１０は、外周部から内周部に向かうにつれて徐々に上下方向（Ｚ軸方向）に隆起した形状を有する。すなわち、皿ばね１１０は、中央に頂部を有する、円錐台形状を有する。これにより、皿ばね１１０は、その頂部（すなわち、開口部１１１が設けられている中央部）が押圧されることによって上下幅が小さくなるように、上下方向（Ｚ軸方向）に弾性変形可能である。また、皿ばね１１０は、自身の弾性力によって、当該皿ばね１１０が押し当てられる対象物に対して、高荷重を付与することができる。

【0017】

なお、皿ばね１１０の数および配置は、図１に示すものに限らない。例えば、図１に示す例では、弾性部材１００は、６個の皿ばね１１０を有する。但し、これに限らず、弾性部材１００は、５個以下、または、７個以上の皿ばね１１０を有してもよい。また、図１に示す例では、弾性部材１００は、複数の皿ばね１１０が、一列で長手方向（Ｘ軸方向）に並べて設けられているが、これに限らず、弾性部材１００は、複数の皿ばね１１０が、複数列で長手方向（Ｘ軸方向）に並べて設けられてもよい。

【0018】

また、図１に示す例では、弾性部材１００は、複数の皿ばね１１０が、一直線上に並べて設けられているが、これに限らず、弾性部材１００は、隣り合う２つの皿ばね１１０が、短手方向（Ｙ軸方向）にオフセットして配置されてもよい。この場合、弾性部材１００は、長手方向（Ｘ軸方向）におけるより短い範囲内に、同数の皿ばね１１０を配置することが可能となる。

【0019】

支持部１２０は、平板状且つ矩形枠状の部分である。支持部１２０は、複数の皿ばね１１０と同一平面上、かつ、複数の皿ばね１１０の周囲において、複数の皿ばね１１０と一体に設けられ、複数の皿ばね１１０を支持する。支持部１２０は、枠状の基部１２１を有し、当該基部１２１の枠内で、複数の皿ばね１１０を支持する。具体的には、支持部１２０は、基部１２１の枠内において、複数の皿ばね１１０の各々に対し、基部１２１と皿ばね１１０とを連結する連結部１２２を有する。図１に示す例では、支持部１２０は、皿ばね１１０を基部１２１のＹ軸正側の部分に連結する連結部１２２と、皿ばね１１０を基部１２１のＹ軸負側の部分に連結する連結部１２２とが、左右方向（Ｘ軸方向）に交互に設けられている。

【0020】

なお、図１に示す例では、基部１２１は、左右方向（Ｘ軸方向）を長手方向とする長方形の枠状を有する。但し、これに限らず、基部１２１は、長方形以外の形状（例えば、正方形、円形、等）の枠状を有してもよい。また、基部１２１は、枠状以外の形状（例えば、直線状）を有してもよい。

【0021】

弾性部材１００は、任意の金属素材（例えば、ステンレス）が用いられて形成される。なお、弾性部材１００は、１枚の金属板をプレス加工することにより、複数の皿ばね１１０および支持部１２０を有するものに、一括して形成可能である。例えば、本実施形態では、弾性部材１００は、一例として、厚さ０．５［ｍｍ］のステンレス板がプレス加工されることによって、複数の皿ばね１１０および支持部１２０を有するものに、一括して形成されている。また、１枚の金属板をプレス加工することにより、複数の弾性部材１００を一括して製造することも可能である。

【0022】

中間板２０は、平面視にて、左右方向（Ｘ軸方向）を長手方向とする長方形状を有する、平板状の部材である。中間板２０は、任意の金属素材（例えば、ステンレス）が用いられて形成される。

【0023】

図１および図２に示すように、弾性装置１０は、上側（Ｚ軸正側）に設けられている弾性部材１００－１が、全ての皿ばね１１０の頂部が下向きとなるように配置される。一方、弾性装置１０は、下側（Ｚ軸負側）に設けられている弾性部材１００－２が、全ての皿ばね１１０の頂部が上向きとなるように配置される。

【0024】

そして、弾性装置１０は、中間板２０が、図２に示すように、上側（Ｚ軸正側）に設けられている下向きの複数の皿ばね１１０の頂部と、下側（Ｚ軸負側）に設けられている上向きの複数の皿ばね１１０の頂部との間に挟みこまれるように、２枚の弾性部材１００の間に配置される。

【0025】

一実施形態に係る弾性部材１００は、６個の皿ばね１１０を有するため、全体的に薄型でありながらも、１つの皿ばね１１０によって得られる荷重の６倍の荷重を得ることができる。

【0026】

また、一実施形態に係る弾性部材１００は、全体的に薄型且つ平面状を有するため、狭い隙間内に設置可能であるとともに、当該隙間内の広範囲に亘って、高荷重を均等に付与することができる。

【0027】

また、一実施形態に係る弾性部材１００は、複数の皿ばね１１０を有するため、皿ばね１１０の数、配置、形状、外径、内径等を調整することで、全体として得られる荷重の調整を容易に行うことができる。なお、図１に示す例では、複数の皿ばね１１０を互いに同一形状および同一サイズとしているが、これに限らず、複数の皿ばね１１０を互いに異なる形状および異なるサイズとしてもよい。

【0028】

また、一実施形態に係る弾性部材１００は、複数の皿ばね１１０が支持部１２０によって支持されているため、複数の皿ばね１１０が所定の位置に配置された状態を維持することができ、複数の皿ばね１１０がばらばらになることがないため、複数の皿ばね１１０の取り扱いを容易化することができる。

【0029】

また、一実施形態に係る弾性装置１０は、２枚の弾性部材１００が重ねて設けられているため、各皿ばね１１０の高さ寸法を小さくしつつ、全体の撓み量を２倍にすることができる。なお、一実施形態に係る弾性装置１０は、各皿ばね１１０の高さ寸法を小さくすることで、皿ばね１１０を反転し難くすることができる。

【0030】

また、一実施形態に係る弾性装置１０は、上側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－１の複数の皿ばね１１０の各々の頂部と、下側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－２の複数の皿ばね１１０の各々の頂部とが互いに対向するように、２つの弾性部材１００を重ねて設けている。このため、一実施形態に係る弾性装置１０は、全体として得られる荷重を、１枚の弾性部材１００によって得られる荷重と等しくしつつ、全体の撓み量を２倍にすることができる。

【0031】

また、一実施形態に係る弾性装置１０は、全体的に薄型且つ平面状を有するため、狭い隙間内に設置可能であるとともに、当該隙間内の広範囲に亘って、高荷重を均等に付与することができる。

【0032】

また、一実施形態に係る弾性装置１０は、２枚の弾性部材１００の間に中間板２０を備えるため、中間板２０の表面に対して、各皿ばね１１０の頂部を確実且つ均等に押しつけることができ、すなわち、中間板２０によって各皿ばね１１０からの荷重を確実に受け止めることができる。

【0033】

また、一実施形態に係る弾性装置１０は、２枚の弾性部材１００の間に中間板２０を設けているため、中間板２０の厚さを調整することで、全体の厚さを容易に調整することができる。

【0034】

なお、一実施形態に係る弾性装置１０は、上側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－１の複数の皿ばね１１０の各々の底部と、下側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－２の複数の皿ばね１１０の各々の底部とが互いに対向するように、２つの弾性部材１００を重ねて設けてもよい。この場合も、一実施形態に係る弾性装置１０は、全体として得られる荷重を、１枚の弾性部材１００によって得られる荷重と等しくしつつ、全体の撓み量を２倍にすることができる。

【0035】

また、一実施形態に係る弾性装置１０は、上側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－１の複数の皿ばね１１０の各々の底部と、下側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－２の複数の皿ばね１１０の各々の頂部とが互いに対向するように、２つの弾性部材１００を重ねて設けてもよい。この場合、一実施形態に係る弾性装置１０は、全体として得られる荷重を、１枚の弾性部材１００によって得られる荷重の２倍としつつ、全体の撓み量を２倍にすることができる。

【0036】

反対に、一実施形態に係る弾性装置１０は、上側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－１の複数の皿ばね１１０の各々の頂部と、下側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－２の複数の皿ばね１１０の各々の底部とが互いに対向するように、２つの弾性部材１００を重ねて設けてもよい。この場合も、一実施形態に係る弾性装置１０は、全体として得られる荷重を、１枚の弾性部材１００によって得られる荷重の２倍としつつ、全体の撓み量を２倍にすることができる。

【0037】

（弾性装置１０の他の構成例）
図３は、一実施形態に係る弾性装置１０の他の構成例を示す分解斜視図である。図４は、一実施形態に係る弾性装置１０の他の構成例を示す一部拡大側面図である。

【0038】

図３および図４に示す弾性装置１０は、最上部（弾性部材１００－１の上側）と最下部（弾性部材１００－２の下側）との各々に、平板状の剛体３０を備える。すなわち、図４に示す弾性装置１０は、図１に示す弾性装置１０が、２枚の剛体３０（剛体３０－１，３０－２）の間に挟み込まれた構成を有する。

【0039】

２枚の剛体３０の各々は、内側を向き、複数の皿ばね１１０と対向する第１表面３１と、外側を向き、当該弾性装置１０から荷重が付与される対象物と対向する、第１表面の裏側の第２表面３２とを有する。２枚の剛体３０の各々は、任意の金属素材が用いられて、弾性変形し難いように一定の厚さに形成される。

【0040】

図４に示す弾性装置１０は、２枚の剛体３０を備えることにより、複数の皿ばね１１０から加わる荷重を、２枚の剛体３０の各々の第１表面３１全体で受け止めて、当該荷重を、２枚の剛体３０の各々の第２表面全体によって、対象物に均等に付与することができる。

【0041】

（弾性装置１０の荷重特性）
図５は、一実施形態に係る弾性装置１０の荷重特性の解析結果を示す表である。図６は、一実施形態に係る弾性装置１０の荷重特性の解析結果を示すグラフである。

【0042】

なお、本解析結果に係る弾性装置１０は、長手方向（Ｘ軸方向）の長さが、１３５［ｍｍ］であり、短手方向（Ｙ軸方向）の幅が、３５［ｍｍ］である。

【0043】

また、本解析結果に係る弾性装置１０は、非押圧時の厚さが２．７２［ｍｍ］であり、極めて薄型に構成されている。

【0044】

また、本解析結果に係る弾性装置１０は、下記要求性能（１）および（２）を満たすことができるように、各皿ばね１１０の高さ、外径、および内径が調整されている。

【0045】

・変位量０．３［ｍｍ］において荷重９３０［Ｎ］が得られること・・・（１）
・変位量０．８２［ｍｍ］において荷重１３００［Ｎ］が得られること・・・（２）

【0046】

図５および図６に示すように、本解析結果に係る弾性装置１０は、押圧時の厚さが２．４２［ｍｍ］（すなわち、変位量が０．３［ｍｍ］）のとき、極めて高い９３０［Ｎ］の荷重を得ることができ、要求性能を満たすことができるものであることが確認された。

【0047】

また、図５および図６に示すように、本解析結果に係る弾性装置１０は、押圧時の厚さが１．９［ｍｍ］（すなわち、変位量が０．８２［ｍｍ］）のとき、極めて高い１３００［Ｎ］の荷重を得ることができ、要求性能を満たすことができるものであることが確認された。

【0048】

なお、図５および図６に示すように、本解析結果に係る弾性装置１０は、変位量が０から０．３［ｍｍ］（「第１の値」の一例）となるまでの第１の荷重特性と、変位量が０．３［ｍｍ］から０．８２［ｍｍ］（「第２の値」の一例）となるまでの第２の荷重特性とを有し、第１の荷重特性は、第２の荷重特性よりも、荷重の増加率が大きい。すなわち、本解析結果に係る弾性装置１０は、押圧が開始されてから、比較的少ない変位量で、高荷重を得ることができる。

【0049】

（弾性部材１００の一使用例）
図７は、一実施形態に係る弾性部材１００の一使用例を示す図である。図７に示すように、一実施形態に係る弾性部材１００は、複数の皿ばね１１０が支持部１２０によって連結されているため、長手方向（Ｘ軸方向）における中間位置で折り曲げることにより、３つの皿ばね１１０と、他の３つの皿ばね１１０とを重ねることができ、全体の厚さを２倍にして使用することができる。

【0050】

（弾性部材１００の一変形例）
図８は、一実施形態に係る弾性部材１００の一変形例である弾性部材１００Ａを示す図である。

【0051】

弾性部材１００Ａは、平面視にて、左右方向（Ｘ軸方向）を長手方向とする、金属製且つ平板状の部材である。弾性部材１００Ａは、第１の皿ばね列Ｌ１と、第２の皿ばね列Ｌ２と、支持部１２０Ａとを有する。

【0052】

第１の皿ばね列Ｌ１および第２の皿ばね列Ｌ２は、支持部１２０Ａを間に挟んで、並列に設けられている。第１の皿ばね列Ｌ１は、支持部１２０ＡよりもＹ軸正側に設けられている。第２の皿ばね列Ｌ２は、支持部１２０ＡよりもＹ軸負側に設けられている。

【0053】

第１の皿ばね列Ｌ１および第２の皿ばね列Ｌ２の各々は、同一平面上において、左右方向（Ｘ軸方向）に一列に並べて設けられた、複数の皿ばね１１０を有する。弾性部材１００Ａが備える皿ばね１１０は、弾性部材１００が備える皿ばね１１０と同一である。

【0054】

なお、第１の皿ばね列Ｌ１および第２の皿ばね列Ｌ２において、皿ばね１１０の数は、図８に示すものに限らない。例えば、図８に示す例では、第１の皿ばね列Ｌ１および第２の皿ばね列Ｌ２は、５個の皿ばね１１０を有する。但し、これに限らず、第１の皿ばね列Ｌ１および第２の皿ばね列Ｌ２は、４個以下、または、６個以上の皿ばね１１０を有してもよい。

【0055】

また、図８に示す例では、第１の皿ばね列Ｌ１および第２の皿ばね列Ｌ２は、複数の皿ばね１１０が、一直線上に並べて設けられているが、これに限らず、第１の皿ばね列Ｌ１および第２の皿ばね列Ｌ２は、隣り合う２つの皿ばね１１０が、短手方向（Ｙ軸方向）にオフセットして配置されてもよい。この場合、第１の皿ばね列Ｌ１および第２の皿ばね列Ｌ２は、長手方向（Ｘ軸方向）におけるより短い範囲内に、同数の皿ばね１１０を配置することが可能となる。

【0056】

支持部１２０Ａは、複数の皿ばね１１０と同一平面上、かつ、第１の皿ばね列Ｌ１と第２の皿ばね列Ｌ２との間において、複数の皿ばね１１０と一体に設けられ、複数の皿ばね１１０を支持する。支持部１２０Ａは、左右方向（Ｘ軸方向）に直線状に延びる基部１２１を有し、当該基部１２１の両外側で、複数の皿ばね１１０を支持する。具体的には、支持部１２０Ａは、基部１２１の両外側において、複数の皿ばね１１０の各々に対し、基部１２１と皿ばね１１０とを連結する連結部１２２を有する。図８に示す例では、支持部１２０Ａは、基部１２１よりも第１の皿ばね列Ｌ１側（Ｙ軸正側）に、第１の皿ばね列Ｌ１が有する複数の皿ばね１１０を基部１２１に連結する複数の連結部１２２を有し、基部１２１よりも第２の皿ばね列Ｌ２側（Ｙ軸負側）に、第２の皿ばね列Ｌ２が有する複数の皿ばね１１０を基部１２１に連結する複数の連結部１２２を有する。

【0057】

弾性部材１００Ａは、任意の金属素材（例えば、ステンレス）が用いられて形成される。なお、弾性部材１００Ａは、１枚の金属板をプレス加工することにより、複数の皿ばね１１０および支持部１２０Ａを有するものに、一括して形成可能である。例えば、本実施形態では、弾性部材１００Ａは、一例として、厚さ０．５［ｍｍ］のステンレス板がプレス加工されることによって、複数の皿ばね１１０および支持部１２０Ａを有するものに、一括して形成されている。また、１枚の金属板をプレス加工することにより、複数の弾性部材１００Ａを一括して製造することも可能である。

【0058】

一実施形態に係る弾性装置１０は、弾性部材１００の代わりに、弾性部材１００Ａを用いてもよい。この場合も、一実施形態に係る弾性装置１０は、弾性部材１００を用いた場合と同様の効果を奏することができる。

【0059】

（弾性装置１０の一変形例）
図９は、一実施形態に係る弾性装置１０の一変形例を示す図である。一実施形態に係る弾性装置１０は、互いに同一の部品である２枚の弾性部材１００が、互いに表裏を反転させずに重ねて設けられてもよい。

【0060】

例えば、図９に示すように、一実施形態に係る弾性装置１０は、上側（Ｚ軸正側）の弾性部材１００－１の複数の皿ばね１１０の各々の頂部が上向きとなり、下側（Ｚ軸負側）の弾性部材１００－２の複数の皿ばね１１０の各々の頂部も上向きとなるように、中間板２０を間に挟んで、２枚の弾性部材１００が重ねて設けられてもよい。

【0061】

この場合、一実施形態に係る弾性装置１０は、全体として得られる荷重を、１枚の弾性部材１００によって得られる荷重と等しくしつつ、全体の撓み量を２倍にすることができる。

【0062】

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形又は変更が可能である。

【0063】

例えば、弾性部材１００，１００Ａは、単体で使用されてもよく、弾性装置１０に組み込まれて使用されてもよい。

【0064】

また、弾性装置１０は、３つ以上の弾性部材１００，１００Ａが重ねて設けられた構成を有してもよい。この場合、弾性装置１０は、互いに重なり合う２つの弾性部材１００，１００Ａの間のそれぞれに、中間板２０を有してもよい。

【符号の説明】

【0065】

１０ 弾性装置
２０ 中間板
３０，３０－１，３０－２ 剛体
１００，１００－１，１００－２，１００Ａ 弾性部材
１１０ 皿ばね
１１１ 開口部
１２０，１２０Ａ 支持部
１２１ 基部
１２２ 連結部

【要約】      （修正有）

【課題】狭い隙間内で高荷重を付与する弾性部材及び弾性装置を提供する。
【解決手段】弾性装置１０において、板状の弾性部材１００－１、１００－２は、平面上に並べて設けられた複数の皿ばね１１０と、平面上、且つ、複数の皿ばね１１０の周囲において、複数の皿ばね１１０と一体に設けられ、複数の皿ばね１１０を支持する支持部１２０と、を備える。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】