▶ プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハーの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-01-11
(45)【発行日】2023-01-19
(54)【発明の名称】温度を算出するための方法
(51)【国際特許分類】
G01J 5/00 20220101AFI20230112BHJP
F04D 19/04 20060101ALI20230112BHJP
【ＦＩ】
G01J5/00 101Z
F04D19/04 H
【請求項の数】
11
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2020084973
(22)【出願日】2020-05-14
(65)【公開番号】P2021043180
(43)【公開日】2021-03-18
【審査請求日】2020-09-29
(31)【優先権主張番号】19196742
(32)【優先日】2019-09-11
(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP
(73)【特許権者】
【識別番号】391043675
【氏名又は名称】プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
(74)【代理人】
【識別番号】100069556
【弁理士】
【氏名又は名称】江崎 光史
(74)【代理人】
【識別番号】100111486
【弁理士】
【氏名又は名称】鍛冶澤 實
(74)【代理人】
【識別番号】100191835
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 真介
(72)【発明者】
【氏名】ユルゲン・ヴィスナー
(72)【発明者】
【氏名】ヨハネス・シュナール
(72)【発明者】
【氏名】アドリーアン・ヴィルト
【審査官】田中 洋介
(56)【参考文献】
【文献】特開２００３－２８７４６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－２７２８７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０６６２１４（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／０４６９１３（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００６－０５３１２７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－２６６９９１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｊ ５／００－５／９０
Ｆ０４Ｄ １９／００－１９／０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
真空ポンプ（１１１）内で一体化されているＩＲセンサシステムを用いて温度を算出するための方法であって、第１の温度Ｔｏｂｓ，１が測定位置（２２６）で測定され、
基準温度Ｔｒｅｆが基準位置（２２８）で熱源（２３０）によって発生され、
第２の温度Ｔｏｂｓ，２が基準位置（２２８）で測定され、
第２の温度Ｔｏｂｓ，２が基準温度Ｔｒｅｆから生じる期待温度Ｔｅｘｐと比較され、及び
期待温度Ｔｅｘｐから第２の温度Ｔｏｂｓ，２がずれる場合には、第１の温度Ｔｏｂｓ，１が偏差に基づいて修正される、方法において
ＩＲセンサシステムは、第１のＩＲセンサ（２２５）と第２のＩＲセンサ（２２７）を備え、
第１のＩＲセンサ（２２５）は、第１の温度Ｔ ｏｂｓ，１ を、ロータシャフト（１５３）上に配置されている測定位置（２２６）で把握し、
第２のＩＲセンサ（２２７）は、熱源（２３０）を介して発生される第２の温度Ｔ ｏｂｓ，２ を、基準位置（２２８）で把握し、
測定位置（２２６）が基準位置（２２８）とは異なる、
ことを特徴とする方法。
【請求項2】
期待温度Ｔｅｘｐからの第２の温度Ｔｏｂｓ，２の偏差に基づいて補正係数が算出され、この補正係数を用いて、測定位置（２２６）における実際の温度Ｔｉｓｔが第１の温度Ｔｏｂｓ，１から決定されること、を特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項3】
熱源（２３０）の基準温度Ｔｒｅｆは、センサ（２２９）によって把握されること、を特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項4】
基準温度Ｔｒｅｆが熱源（２３０）によって、一時的にのみ又はパルス化して発生されること、を特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項5】
期待温度Ｔｅｘｐが実際の温度Ｔｉｓｔと基準温度Ｔｒｅｆとの組み合わせによって定義されること、を特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項6】
期待温度Ｔｅｘｐと基準温度Ｔｒｅｆとが同等であること、を特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項7】
ＩＲセンサ（２２５、２２７）が同じ構造であること、を特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項8】
ＩＲセンサ（２２５、２２７）が、場合によっては周囲によって引き起こされる機能障害によって同程度に阻害されるように配置されていること、を特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項9】
基準温度Ｔｒｅｆは、第２の温度Ｔｏｂｓ，２が第１の温度Ｔｏｂｓ，１と一致するように設定されること、を特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項10】
第２の温度Ｔｏｂｓ，２は、ＩＲセンサシステムが一体型である真空ポンプ（１１１）の構成要素（２１７）上で測定されること、を特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項11】
請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法を実施する真空ポンプ（１１１）に一体化されているＩＲセンサシステムを有する真空ポンプ（１１１）であって、このＩＲセンサシステムが、
ロータシャフト（１５３）上に配置されている測定位置（２２６）で第１の温度Ｔｏｂｓ，１を測定するための第１のＩＲセンサ（２２５）、及び基準位置（２２８）で第２の温度Ｔｏｂｓ，２を測定するための第２のＩＲセンサ（２２７）を有する温度測定ユニットを備え、
基準温度Ｔｒｅｆを基準位置（２２８）で発生することのために形成されている一つの熱源（２３０）を備え、並びに
第２の温度Ｔｏｂｓ，２を基準温度Ｔｒｅｆから結果として生じる期待温度Ｔｅｘｐと比較すること、及び期待温度Ｔｅｘｐから第２の温度Ｔｏｂｓ，２がずれる場合には、偏差に基づいて第１の温度Ｔｏｂｓ，１を修正することのために形成されている制御装置を備え、
測定位置（２２６）が基準位置（２２８）とは異なる、ＩＲセンサシステムを有する真空ポンプ（１１１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、赤外線（ＩＲ）センサシステムによって、例えば真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの温度を算出するための方法、及び本発明による方法を実施するためのＩＲセンサシステムに関する。
【背景技術】
【0002】
ＩＲセンサは、温度、特に回転機器と作動中の可動部分の温度の非接触監視の際に、重要な役割を果たす。とりわけ、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプにはＩＲセンサが使用される。対応する装置は、特許文献１に示されている。例えば、特定の測定値を超えると温度に依存した構造部材の膨張が欠陥を引き起こす可能性があるので、回転機器又は真空ポンプの欠点のない機能は、作動温度に何度も敏感に左右される。したがって、作動温度を算出するための方法は、常に間違いなく機能し、正しい温度値を出力することが重要である。しかしながら、回転機器の作動中、例えば作動媒体の堆積によって又は腐食性プロセスガスとの接触によって、機器に取り付けられているＩＲセンサの汚染又は変化を引き起こす。その結果、場合によっては、誤った温度値がＩＲセンサによって測定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】英国特許出願公開第２５５３３７４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
この従来技術にもとづき、本発明の課題は、温度を測定するための方法、及び高信頼性かつ高測定精度によって傑出したＩＲセンサシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
この課題は、請求項１の特徴を有する方法によって及び請求項１４の特徴を有するＩＲセンサシステムによって解決される。
【0006】
本発明によれば、ＩＲセンサシステムによって、例えば真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの温度を算出する方法であって、この方法は、第１の温度Ｔｏｂｓ，１が測定位置で測定され、基準温度Ｔｒｅｆが基準位置で熱源によって発生され、第２の温度Ｔｏｂｓ，２が基準位置で測定され、第２の温度Ｔｏｂｓ，２が基準温度Ｔｒｅｆから生じる期待温度Ｔｅｘｐと比較され、及び期待温度Ｔｅｘｐから第２の温度Ｔｏｂｓ，２がずれる場合には、第１の温度Ｔｏｂｓ，１が偏差に基づいて修正される。
【0007】
その結果、ＩＲセンサシステムから出力された測定値が既知の期待測定値と比較されることによって、一方ではＩＲセンサの機能性を再検討することができる。出力された測定値と期待測定値との間に偏差が検出された場合、ＩＲセンサシステムの機能障害が想定される。他方、ＩＲセンサシステムの誤った測定値を修正することができる。これは、温度に敏感なデバイス、例えばターボ分子ポンプに対する高い作動安全性がもたらされる。したがって、不十分な温度制御に基づく故障の発生が回避することができ、回転する機械の作動の経済性が改善される。
【0008】
特に、本発明による方法は、ＩＲセンサシステムが一体型であるデバイスの連続作動中、例えば真空ポンプの連続作動中にも実施することができる。
【0009】
Ｔｏｂｓ，１は、実際の温度Ｔｉｓｔが可能な限り正確に決定されるべき測定位置で、ＩＲセンサを用いて測定された温度である。測定位置は、基本的に静的な表面とすることができる。しかしながら、ＩＲセンサは非接触での温度測定に適しているので、可動の機械部品の温度も決定することができる。従って、測定位置は、機械が回転する部分上に、特に真空ポンプのロータシャフト上に配置することができる。
【0010】
基準位置で基準温度Ｔｒｅｆを発生するための熱源は、加熱要素を、特に制御可能な加熱要素を含む可能性がある。例えば、抵抗加熱器を使用することができる。このような抵抗加熱器は、例えば、電熱線を含む可能性がある。測定位置と基準位置とが一致する場合、電熱線をＩＲセンサの領域に配置することができ、その上さらに、このＩＲセンサに固定することもできる。ＩＲ基準放射体としての電熱線の使用は、一方では安価であり、他方では、加熱電流出力にふさわしい選択の場合に、電線の自浄効果が生じ及び「自由燃焼」によって電線の放射挙動が一定に保たれるという利点を有している。
【0011】
熱源から発生する基準温度Ｔｒｅｆは、校正から知ることができる。例えば、電熱線が特定の消費電力又はすべての消費電力に対して発生する温度Ｔｒｅｆを知ることができる。
【0012】
第２の温度Ｔｏｂｓ，２は、特に同様にＩＲセンサを用いて基準位置で測定される。基準位置での期待温度Ｔｅｘｐは、熱源から発生する基準温度Ｔｒｅｆによって定義されており、及び場合によっては、別の（既知の）温度寄与によって定義されている。ＩＲセンサが正しく機能する際、測定された第２の温度Ｔｏｂｓ，２は期待温度Ｔｅｘｐと一致するはずである。しかしながら、測定された第２の温度Ｔｏｂｓ，２は、周囲からの影響によってＩＲセンサの機能が阻害されている場合、Ｔｅｘｐからずれる可能性がある。その結果、得られた測定値は、実際の温度値からずれる。とりわけ、このような機能障害は、ＩＲセンサ又はそのＩＲ透過窓の汚染によって、例えば、デバイスの堆積した作動媒体によって引き起こされる可能性がある。さらに、腐食性プロセスガス又は他の種類の汚染との接触は、ＩＲ透過の変化につながる可能性がある。
【0013】
測定された第２の温度Ｔｏｂｓ，２が期待温度Ｔｅｘｐからずれる場合、ＩＲセンサの機能障害であると結論付けることができる。本発明によれば、第１の温度Ｔｏｂｓ，１は、Ｔｏｂｓ，２とＴｅｘｐとの偏差に基づき、必要に応じて修正される。代替的もしくは付加的に、警報信号を出すこともでき、機械もしくはポンプを停止することもでき、及び／又は整備もしくは修理を実施するための要求を出すこともできる。
【0014】
本発明の有利な実施形態は、従属請求項、明細書及び図面で看取できる。
【0015】
このように、熱源から発生する基準温度Ｔｒｅｆは、測定位置での実際の温度Ｔｉｓｔより高くなる可能性がある。
【0016】
この方法の一つの実施形態によれば、補正係数は、期待温度Ｔｅｘｐからの第２の温度Ｔｏｂｓ，２の偏差に基づき算出される。この補正係数を用いて、測定位置での実際の温度Ｔｉｓｔが第１の温度Ｔｏｂｓ，１から決定される。
【0017】
機能障害は、発生した基準温度Ｔｒｅｆに基づいて予想するＩＲ透過と比較して、基準位置の一つのＩＲセンサの一つのＩＲ透過窓を通ったＩＲ透過が減少する可能性がある。この場合、基準位置のＩＲセンサから測定された温度は、熱源によって発生する基準温度Ｔｒｅｆには対応せず、ずれた観測温度Ｔｏｂｓ，２に対応する。測定位置と基準位置のＩＲセンサに同じ周囲の影響が作用すると仮定すると、測定位置の実際の温度Ｔｉｓｔは、商Ｔｒｅｆ／Ｔｏｂｓ，２に基づく補正係数を用いて、第１の温度Ｔｏｂｓ，１から決定することができる。この方法によれば、機械、特に真空ポンプの持続的な作動においてＩＲセンサの機能障害を補償することができるという利点がある。その結果、汚染された又は他に阻害されているＩＲセンサの場合でも、機械の安全な作動が可能なままである。
【0018】
有利には、熱源の基準温度Ｔｒｅｆは、測定センサで把握される。例えば、ＩＲセンサから独立してＴｒｅｆを把握するために、温度センサとして測定抵抗器を使用することができる。場合によっては、基準温度Ｔｒｅｆのこのように正確な決定によって、Ｔｏｂｓ，１からＴｉｓｔを決定するための補正を、特に正確に実施することができる。
【0019】
一つの実施形態によれば、基準温度Ｔｒｅｆは、熱源によって一時的にのみ、特にパルス化されて発生される。この場合、基準位置では、基準温度Ｔｒｅｆは、熱源がスイッチオンされたときにのみ検出可能である。熱源によるＴｒｅｆが、周期的に発生し得る。その際、特に、Ｔｒｅｆが発生する期間は、Ｔｒｅｆが発生しない期間よりも短くなる可能性がある。そのような時間依存の基準温度Ｔｒｅｆは、単一のＩＲセンサでＴｏｂｓ，１及びＴｏｂｓ，２の測定が可能であるという利点がある。熱源がスイッチオフした際、測定対象の第１の温度Ｔｏｂｓ，１のみが測定位置で検出されるが、熱源がスイッチオンした時間のときにＴｏｂｓ，２が測定位置で測定される。その際、基準温度Ｔｒｅｆが測定に含まれる。この場合、基準位置は測定位置と一致する。
【0020】
原則として、期待温度Ｔｅｘｐは、実際の温度Ｔｉｓｔと基準温度Ｔｒｅｆとの組み合わせによって定義することができる。例えば、ＩＲセンサは、熱源がスイッチオンした際に測定位置と基準位置が一致する場合、測定対象の実際の温度Ｔｉｓｔによって定義されている測定された第１の温度Ｔｏｂｓ，１から及び熱源の基準温度Ｔｒｅｆから結果として生じる温度上昇ΔＴから構成される第２の温度Ｔｏｂｓ，２を把握する。他方で、Ｔｏｂｓ，２からＴｅｘｐの偏差は、Ｔｏｂｓ，１の補正の基礎を構成する。
【0021】
一つの有利な実施形態によれば、期待温度Ｔｅｘｐは、基準温度Ｔｒｅｆに等しい。この場合、ＩＲセンサの誤動作は、特に容易に確かめることができ、及び、Ｔｏｂｓ，２からＴｒｅｆの偏差によって修正することができる。
【0022】
別の実施形態によれば、測定位置は、基準位置と異なる。次いで、基準温度Ｔｒｅｆは、熱源によって連続的に発生することができる。
【0023】
さらに、第１の温度Ｔｏｂｓ，１は、第１のＩＲセンサを用いて測定することができ、第２の温度Ｔｏｂｓ，２は第２のＩＲセンサを用いて測定することができる。
【0024】
有利には、ＩＲセンサは同じ構造である。これにより、測定値Ｔｏｂｓ，１及びＴｏｂｓ，２の直接比較が可能であり、構造の違いから生じる可能性がある偏差の発生が回避される。さらに、第１と第２のＩＲセンサは、測定位置と基準位置とが同じ放射率を有するように配置することができる。
【0025】
好ましくはＩＲセンサが、場合によって、周囲によって引き起こされる機能障害に同程度に阻害するように配置されている。これによって、不純物及び／又は作動媒体の堆積が、腐食性プロセスガス及び／又は他の汚染との接触が、第１のＩＲセンサと第２のＩＲセンサにおいて同程度に作用する。その結果、等しい値の測定値Ｔｏｂｓ，１とＴｏｂｓ，２は、場合によって生じる機能障害の影響を受けている。これにより、一方では、Ｔｏｂｓ，２とＴｅｘｐとの比較を、ＩＲセンサシステムの機能を制御するために間違いなく考慮することができることが保証され、及び他方ではＴｏｂｓ，２とＴｅｘｐに基づいてＴｏｂｓ，１の補正を誤りなく実施することができることが保証されている。
【0026】
この方法の別の実施形態によれば、基準温度Ｔｒｅｆは、第２の温度Ｔｏｂｓ，２が第１の温度Ｔｏｂｓ，１と一致するように設定される。特に、基準温度Ｔｒｅｆを発生するための制御可能な熱源を使用することができ、その手段によってＴｒｅｆが、第２のセンサによって基準温度で測定される第２の温度Ｔｏｂｓ，２が、第１のＩＲセンサによって測定位置で測定される第１の温度Ｔｏｂｓ，１と一致するように調整される。調整された基準温度Ｔｒｅｆによって定義されるＴｅｘｐからのＴｏｂｓ，２の偏差の場合は、第２のＩＲセンサの機能障害とみなすことができる。この際、Ｔｏｂｓ，２がＴｏｂｓ，１と一致する場合には、ＴｉｓｔはＴｒｅｆに相当する。それによって、Ｔｏｂｓ，１はＴｉｓｔとして保証することができる。
【0027】
第２の温度Ｔｏｂｓ，２は、ＩＲセンサシステムが一体型であるデバイスの構造部材で、特に真空ポンプの構造部材で測定することができる。この場合、構成要素の温度は、例えば、基準温度Ｔｒｅｆとして利用する可能性があり、第２のＩＲセンサで測定された温度Ｔｏｂｓ，２からの実際の構成要素温度の偏差が、Ｔｏｂｓ，１を補正するために使用される。例えば、Ｔｏｂｓ，２は、真空ポンプのモータステータ上で測定することができる。その際、モータステータの基準面の放射率は、測定位置の放射率と一致する可能性がある。加えて、モータステータでは別の温度センサ、例えば抵抗温度計がモータステータの実際の温度、すなわちＴｒｅｆを決定する可能性がある。これは、温度を算出するための方法を実施するために、真空ポンプ内の熱源として追加の加熱要素を設置する必要がないという利点がある。
【0028】
第１の温度Ｔｏｂｓ，１と第２の温度Ｔｏｂｓ，２とは、測定位置と基準位置とが一致するように、同じＩＲセンサで測定することができる。これにより、ＩＲセンサの機能障害は、同じ高さのそのＩＲセンサで検出されるという利点がある。そのため、構造、位置決め等による測定の不確実性は、完全に回避される。
【0029】
加えて、本発明の別の目的は、上記のような温度を算出するための方法を実施することができるＩＲセンサシステムである。ＩＲセンサシステムは、測定位置で第１の温度Ｔｏｂｓ，１を測定するための、及び基準位置で第２の温度Ｔｏｂｓ，２を測定するための少なくとも一つのＩＲセンサを有する温度測定ユニット、基準温度Ｔｒｅｆを基準位置で発生することのために形成されている一つの熱源、並びに第２の温度を基準温度Ｔｒｅｆから結果として生じる期待温度Ｔｅｘｐと比較すること、及び期待温度Ｔｅｘｐから第２の温度Ｔｏｂｓ，２がずれる場合には、偏差に基づいて第１の温度Ｔｏｂｓ，１を修正することのために形成されている制御装置を含む。
【0030】
上述の温度を算出するための方法の利点は、本発明によるＩＲセンサシステムによって達成することができる。
【0031】
本発明は、以下で添付の図面を参照しつつ一例に過ぎない有利な実施例に基づいて説明される。
【図面の簡単な説明】
【0032】
【図1】ターボ分子ポンプの斜視図を示す。
【図6】第１の実施形態によるＩＲセンサシステムを有するターボ分子ポンプの断面図を示す。
【図7】第２の実施形態によるＩＲセンサシステムを有するターボ分子ポンプの断面図を示す。
【図8A】第３の実施形態によるＩＲセンサシステムの為の赤外線センサの正面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【0033】
図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３によって取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。このポンプインレットには、公知の方法で、図示されていない真空容器を接続することができる。真空容器からのガスは、ポンプインレット１１５を介して真空容器から吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送することができる。ポンプアウトレットには、予真空ポンプ（例えばロータリベーンポンプ）を接続することができる。
【0034】
インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が配置されている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、真空ポンプ１１１の電気的、及び／又は電子的なコンポーネントが収容されている。これらは例えば、真空ポンプ内に配置される電動モータ１２５を作動するためのものである。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリのための複数の接続部１２７が設けられている。更に、データインタフェース１２９（例えばＲＳ４８５規格に準拠する）と、電源供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３に配置されている。
【0035】
ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、通気インレット１３３が、特に通気バルブの形式で設けられている。これを介して真空ポンプ１１１に通気を行うことができる。下部分１２１の領域には、更にシールガス接続部１３５（パージガス接続部とも称される）が設けられている。これを介してパージガスが、ポンプによって搬送されるガスに対して電動モータ１２５（例えば図３参照）を保護するため、モータ室１３７内に取り込まれることができる。モータ室内には、真空ポンプ１１１の電動モータ１２５を収容することができる。下部分１２１内には、更に二つの冷却媒体接続部１３９が設けられている。その際、一方の冷却媒体接続部は冷却媒体のインレットとして、そして他方の冷却媒体接続部はアウトレットとして設けられている。冷却媒体は、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることができる。
【0036】
真空ポンプの下側面１４１は、ベースとして使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１１は、下側面１４１上に縦置きで作動することができる。しかしまた、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介して真空容器に固定されることも可能であり、これによっていわば懸架して作動することができる。更に真空ポンプ１１１は、図１に示されたものと異なった向きとされているときにも作動することができるように構成することができる。下側面１４１が下向きではなく、横向きに、又は上向きに配置されている真空ポンプの実施形も実現することができる。
【0037】
図２に表わされている下側面１４１には、更に、種々のねじ１４３が配置されている。これらによって、ここでは詳細に特定されない真空ポンプの構造部材が互いに固定されている。例えば、軸受カバー１４５が下側面１４１に固定されている。
【0038】
下側面１４１には、更に、固定孔１４７が設けられている。これを介してポンプ１１１は例えば載置面に固定することができる。
【0039】
図２から５には、冷却媒体配管１４８が表わされている。この中に、冷却媒体接続部１３９を介して導入、又は導出される冷却媒体が循環することができる。
【0040】
図３から５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有している。これは、ポンプインレット１１５にあるプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するためのものである。
【0041】
ハウジング１１９内には、ロータ１４９が配置されている。このロータは、回転軸線１５１を中心として回転可能なロータシャフト１５３を有している。
【0042】
ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ効果を奏するよう互いに直列に接続された複数のポンプ段を有している。これらポンプ段は、ロータシャフト１５３に固定された複数の半径方向のロータディスク１５５と、ロータディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定されているステータディスク１５７を有している。その際、一つのロータディスク１５５とこれに隣接する一つのステータディスク１５７がそれぞれ一つのターボ分子ポンプ段を形成している。ステータディスク１５７は、スペーサリング１５９によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。
【0043】
真空ポンプは、更に、半径方向において互いに内外に配置され、そしてポンプ効果を奏するよう互いに直列に接続されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のロータは、ロータシャフト１５３に配置されたロータハブ１６１と、ロータハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持される円筒側面形状の二つのホルベックロータスリーブ１６３，１６５を有している。これらは、回転軸線１５１と同軸に向けられており、そして半径方向において互いに内外に接続されている。更に、円筒側面形状の二つのホルベックステータスリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは同様に、回転軸線１５１に対して同軸に向けられており、そして半径方向で見て互いに内外に接続されている。
【0044】
ポンプ効果を発揮するホルベックポンプ段の表面は、側面によって、つまり、ホルベックロータスリーブ１６３，１６５とホルベックステータスリーブ１６７，１６９の内側面、及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータスリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、ターボ分子ポンプに後続する第１のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第２のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータスリーブ１６５の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第三のホルベックポンプ段を形成する。
【0045】
ホルベックロータスリーブ１６３の下側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、内側のホルベックステータスリーブ１６９の上側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、互いに内外に接続される複数のホルベックポンプ段が互いに直列で接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータスリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９を設けることができる。
【0046】
ホルベックステータスリーブ１６３，１６５の上述したポンプ効果を発揮する表面は、それぞれ、螺旋形状に回転軸線１５１の周りを周回しつつ軸方向に延びる複数のホルベック溝を有する。他方で、ホルベックロータスリーブ１６３，１６５のこれに向かい合った側面は、滑らかに形成されており、そして真空ポンプ１１１を作動するためのガスをホルベック溝内へと送り出す。
【0047】
ロータシャフト１５３の回転可能な軸支のため、ポンプアウトレット１１７の領域に転がり軸受１８１、及びポンプアウトレット１１５の領域に永久磁石軸受１８３が設けられている。
【0048】
転がり軸受１８１の領域には、ロータシャフト１５３に円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、転がり軸受１８１の方に向かって増加する外径を有している。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）と滑り接触状態にある。作動媒体貯蔵部は、互いに上下にスタックされた吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらディスクには、転がり軸受１８１のための作動媒体、例えば潤滑剤が含浸されている。
【0049】
真空ポンプ１１１の作動中、作動媒体は、毛細管現象によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して、回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット１８５の大きくなる外径の方向へと、転がり軸受１８１に向かって搬送される。そこでは例えば、潤滑機能が発揮される。転がり軸受１８１と作動媒体貯蔵部は、真空ポンプ内において槽形状のインサート１８９と、軸受カバー１４５に囲まれている。
【0050】
永久磁石軸受１８３は、ロータ側の軸受半部１９１と、ステータ側の軸受半部１９３を有している。これらは、各一つのリングスタックを有している。リングスタックは、軸方向に互いに上下にスタックされた永久磁石の複数のリング１９５，１９７から成っている。リング磁石１９５，１９７は、半径方向の軸受間隙１９９を形成しつつ互いに向き合っており、その際、ロータ側のリング磁石１９５は、半径方向外側に、そしてステータ側のリング磁石１９７は、半径方向内側に配置されている。軸受間隙１９９内に存在する磁場は、リング磁石１９５，１９７の間に磁気的反発力を引き起こす。これは、ロータシャフト１５３の半径方向の支持を実現する。ロータ側のリング磁石１９５は、ロータシャフト１５３の支持部分２０１によって担持されている。これは、リング磁石１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステータ側のリング磁石１９７は、ステータ側の支持部分２０３によって担持されている。これは、リング磁石１９７を通って延びており、そしてハウジング１１９の支材２０５に吊架されている。回転軸線１５１に平行に、ロータ側のリング磁石１９５が、支持部分２０３と連結されるカバー要素２０７によって固定されている。ステータ側のリング磁石１９７は、回転軸線１５１に平行に一つの方向で、支持部分２０３と接続される固定リング２０９によって、及び支持部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。その上、固定リング２１１とリング磁石１９７の間には、皿ばね２１３が設けられていることが可能である。
【0051】
磁石軸受の内部には、非常用軸受又は安全用軸受２１５が設けられている。これは、真空ポンプの通常の作動時には、非接触で空転し、そしてロータ１４９がステータに対して半径方向において過剰に偏移した際に初めて作用するに至る。ロータ側の構造がステータ側の構造と衝突するのが防止されるので、ロータ１４９に対する半径方向のストッパーが形成される。安全用軸受２１５は、非潤滑の転がり軸受として形成されており、そして、ロータ１４９及び／又はステータと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全軸受２１５が通常のポンプ作動中は作用しないことに供する。安全用軸受が作用するに至る半径方向の偏移は、十分大きく寸法取られているので、安全用軸受２１５は、真空ポンプの通常の作動中は作用せず、そして同時に十分小さいので、ロータ側の構造がステータ側の構造と衝突するのがあらゆる状況で防止される。
【0052】
真空ポンプ１１１は、ロータ１４９を回転駆動するための電動モータ１２５を有している。電動モータ１２５の電機子は、ロータ１４９によって形成されている。そのロータシャフト１５３は、モータステータ２１７を通って延びている。ロータシャフト１５３の、モータステータ２１７を通って延びる部分には、半径方向外側に、又は埋め込まれた、永久磁石装置を配置することができる。ロータ１４９の、モータステータ２１７を通って延びる部分と、モータステータ２１７との間には、中間空間２１９が配置されている。これは、半径方向のモータ間隙を有する。これを介して、モータステータ２１７と永久磁石装置は、駆動トルク伝達のため、互いに磁気的に影響することが可能である。
【0053】
モータステータ２１７は、ハウジング内において、電動モータ１２５のために設けられるモータ室１３７の内部に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（パージガスとも称され、これは例えば空気や窒素であることが可能である）が、モータ室１３７内へと至る。シールガスを介して電動モータ１２５は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性の成分に対して保護することができる。モータ室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介して真空引きすることができる、つまりモータ室１３７は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって実現される真空状態となっている。
【0054】
モータ室１３７を画成する壁部２２１とロータハブ１６１の間には、更に、いわゆる公知のラビリンスシール２２３を設けることができる。これは、特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対してモータ室２１７をより良好にシールすることを達成するためである。
【0055】
図６は、ターボ分子ポンプ１１１のロータ１４９上の測定位置２２６における温度Ｔｉｓｔを算出するための第１の実施形態のＩＲセンサシステムを有するターボ分子ポンプ１１１を示す。ＩＲセンサシステムは、２つのＩＲセンサ２２５，２２７をそれぞれ１つの基板上に含み、その際、両方のＩＲセンサは同じ構造である。第１のＩＲセンサ２２５は、ロータ１４９上に配置されている測定点２２６で、第１の温度Ｔｏｂｓ，１を把握する。第２のＩＲセンサ２２７は、第２の温度Ｔｏｂｓ，２を基準位置２２８で把握する。本発明の実施形態によれば、基準位置２２８は、モータステータ２１７の表面上に配置されている。その際、基準位置２２８の表面は、測定位置２２６の表面と同じ放射率を有する。モータステータ２１７は熱源として作用し、基準位置２２８で基準温度Ｔｒｅｆを準備する。ここでは、例としてＰＣＴサーミスタを有する温度センサ２２９が、モータステータ２１７の基準温度Ｔｒｅｆを把握する。
【0056】
ＩＲセンサ２２５，２２７は、ポンプ内部からの影響（この影響は、ＩＲセンサ２２５，２２７の機能を阻害する可能性がある）に同程度さらされているようにターボ分子ポンプ１１１内に配置されている。場合によっては、ＩＲセンサ２２７の汚染又は機能障害は、ＩＲセンサ２２５にも同様に影響をもたらす。
【0057】
測定点２２６で測定されたロータ１４９又はロータシャフト１５３上の温度を算出するために、制御ユニット（図示せず）が、ＩＲセンサ２２７で測定された温度Ｔｏｂｓ，２を期待温度Ｔｅｘｐと比較する。本発明の実施形態によれば、基準位置２２８における期待温度Ｔｅｘｐは、モータステータ２１７を介して発生し、温度センサ２２９によって把握される基準温度Ｔｒｅｆに対応する。ＩＲセンサ２２７から測定された温度Ｔｏｂｓ，２が既知の基準温度Ｔｒｅｆと異なる場合、この機能のＩＲセンサ２２７が、例えば堆積した不純物によって、又は腐食性プロセスガスとの接触後に変化したＩＲ透過によって阻害されているとみなさなければならない。同じ周囲の影響の範囲内に位置するために、ＩＲセンサ２２５に応じた機能障害を想定することができる。したがって、測定された温度Ｔｏｂｓ，１は、測定位置２２６のロータシャフト１５３の実際の温度Ｔｉｓｔを反映していないとみなさなければならない。
【0058】
ロータシャフト１５３のＴｉｓｔを算出するために、制御装置によってＴｏｂｓ，１からＴｉｓｔに変換する補正係数が決定される。これは、ＩＲセンサ２２７によって測定される第２の温度Ｔｏｂｓ，２と温度センサ２２９によって測定される実際のこの基準温度Ｔｒｅｆとの間の比率を考慮する。
【0059】
図７は、第２の実施形態によるＩＲセンサシステムを有するターボ分子ポンプ１１１を示す。同様にＩＲセンサシステムは、二つの同じ構造のＩＲセンサ２２５，２２７を含む。その際、第１のＩＲセンサ２２５が、温度Ｔｏｂｓ，１を、ロータシャフト１５３上に配置されている測定位置２２６で把握する。第２のＩＲセンサ２２７は、熱源２３０を介して発生される温度Ｔｏｂｓ，２を基準位置２２８で把握する。図示されている実施形態では、熱源２３０は、ヒータ２３０によって実際に提供される基準温度Ｔｒｅｆを把握するために使用する温度センサ２２９を有す制御可能なヒータとして形成されている。
【0060】
ここでも、ＩＲセンサ２２５，２２７は、周囲の影響による機能障害が両方のＩＲセンサ２２５，２２７に同程度に影響するように配置されている。
【0061】
ロータシャフト１５３上の測定位置２２６で実際の温度Ｔｉｓｔを算出するために、第２のＩＲセンサ２２７は、制御可能な熱源２３０によって加熱される。その際、第２のＩＲセンサ２２７は、温度Ｔｏｂｓ，２を測定する。熱源２３０の温度Ｔｒｅｆは、第２のＩＲセンサ２２７で把握する温度Ｔｏｂｓ，２が第１のＩＲセンサ２２５で把握する温度Ｔｏｂｓ，１に等しくなるように調整される。この場合、測定位置２２６の実際の温度Ｔｉｓｔは、温度センサ２２９で把握された熱源２３０の温度Ｔｒｅｆに対応する。
【0062】
図８Ａは、第３の実施形態による温度を算出するためのＩＲセンサシステムの正面図を示す。その際、このシステムは、ＩＲ透過窓２３１を有する一つのＩＲセンサ２２５のみを含む。ＩＲセンサ２２５は、測定位置２２６（図８Ｂ参照）の前に配置されており、及び視野２３３を有する。加えて、ＩＲセンサシステムは、ＩＲ基準放射体としての熱源２３０を含む。この熱源は、図示された実施形態において、電熱線２３０としてＩＲセンサ２２５の視野２３３を中心とした周囲に配置されている。
【0063】
電熱線２３０を通る電流の場合には、ワイヤ２３０が、ＩＲセンサ２２５によって検出されるＩＲ放射線を放射する。図８ＢのＩＲセンサシステムの断面図から、電熱線２３０を通る電流が通電した場合のＩＲセンサ２２５の測定信号が、測定位置２２６で放射される部分から及び電熱線２３０から放射される部分から構成されていることが明らかである。
【0064】
測定位置２２６で実際の温度Ｔｉｓｔを算出するために、電熱線２３０は、特定の電力でもって電気エネルギーが供給される。この場合、電熱線２３０は、測定位置２２６の温度に依存しない既知の基準温度Ｔｒｅｆを放射する。ＩＲセンサ２２５には、差分温度ΔＴだけ増加した温度Ｔｏｂｓ，２が記録される。この温度Ｔｏｂｓ，２は、基準温度Ｔｒｅｆによって定義されており及びＩＲセンサ２２５が正常に機能している際に基準温度Ｔｒｅｆと等しい。
【0065】
ワイヤ２３０が単にパルス化され、例えば、周期的に電力が供給される場合、ＩＲセンサ２２５は、電熱線２３０を通る電流がスイッチオフにされされているとき、測定位置２２６から発する温度Ｔｏｂｓ，１を常に検出する。一方、電熱線２３０を通る通電した電流が流れる場合、Ｔｏｂｓ，１及び温度上昇ΔＴから構成されている温度Ｔｏｂｓ，２が把握される。したがって、Ｔｏｂｓ，１及びＴｏｂｓ，２は、同じ測定位置２２６で測定され、同じＩＲセンサ２２５で測定される。その際、ＩＲセンサ２２５は、測定時間に応じてＴｏｂｓ，１又はＴｏｂｓ，２を把握する。
【0066】
図９Ａは、測定位置２２６の温度Ｔｉｓｔを算出する間、第３の実施形態によって最適に機能するＩＲセンサ２２５を介して把握される温度の経過２３５を示す。比較するために、測定位置２２６の実際の温度Ｔｉｓｔの経過２４１が示されている。把握する温度経過２３５は、実際の温度経過２４１と大部分が重なったベースライン２３７を有する。これは、電熱線２３０がスイッチオフされている時間の間の温度Ｔｏｂｓ，１の測定に対応する。加えて、把握された温度経過２３５は、周期的に発生する特徴的な温度ピーク２３９を有する。電熱線２３０を通る電流が流れる間、これらの温度ピークは、測定された温度Ｔｏｂｓ，２に対応する。したがって、温度Ｔｏｂｓ，２は、最適に機能するＩＲセンサ２２５のために、温度Ｔｏｂｓ，１から及び電熱線２３０によって生じる温度上昇ΔＴから構成される。温度Ｔｏｂｓ，２は、示されている場合には基準温度Ｔｒｅｆに対応する。
【0067】
ＩＲセンサ２２５によって記録する温度Ｔｏｂｓ，２は、電熱線から放射される既知の基準温度Ｔｒｅｆと等しいために、通電した電熱線２３０の場合には、期待温度Ｔｅｘｐとみなされている。図９Ａの温度Ｔｏｂｓ，２は既知の基準温度Ｔｒｅｆと一致するので、ＩＲセンサ２２５が最適に機能しているとみなすことができる。この場合、温度Ｔｏｂｓ，１も測定位置２２６の実際の温度Ｔｉｓｔと一致する。これは、実際の温度Ｔｉｓｔの経過２４１と把握された温度経過２３５のベースライン２３７とが重なることによって確認する。
【0068】
図９Ｂは、汚染物質によってＩＲセンサ２２５の機能が阻害されている場合に対する、ＩＲセンサ２２５によって把握される温度経過２３５を示す。比較するために、測定点２２６の実際の温度経過２４１が再び示されている。電熱線２３０は、図９Ａのように、同様の、特定の電力が供給される。従って、ＩＲセンサ２２５は、通電した電熱線２３０の状態で温度Ｔｒｅｆを把握すればよいはずである。しかし、実際には、図９Ｂの温度ピーク２３９は、基準温度Ｔｒｅｆに対する期待値よりも小さい値ΔＴだけ、ベースライン２３７と異なる。このように、測定された第２の温度Ｔｏｂｓ，２は、期待温度Ｔｅｘｐからずれる。このことから、ＩＲセンサ２２５の機能が阻害されていると推測することができる。
【0069】
その結果、損傷を回避するために、例えば制御装置によって警報信号が出力され、又はＩＲセンサシステムが一体型である機械（例えばターボ分子ポンプ）がスイッチオフされる。代替的もしくは付加的に、ベースライン２３７に対応する測定温度値Ｔｏｂｓ，１は、補正係数を用いて実際の温度Ｔｉｓｔに対して補正することができ、この補正係数には、通電した加熱電流の状態で測定された第２の温度Ｔｏｂｓ，２に対する期待温度Ｔｅｘｐの比率、または測定された第２の温度Ｔｏｂｓ，２に対する基準温度Ｔｒｅｆの比が組み込まれている。その上、制御装置は要求（メンテナンス又はＩＲセンサシステムの復旧を実施すること）を出力する可能性がある。
【0070】
例えば、測定位置２２６の実際の温度Ｔｉｓｔは、図９Ｂの温度経過２３５から、特に、システムが熱平衡状態に、つまりベースライン２３７が実質的に一定の温度値を想定している温度曲線の領域内にある場合に、決定し得る。通電した電熱線２３０の状態で測定された温度Ｔｏｂｓ，２は、温度ピーク２３９のこの領域では約７５℃であり、他方で、（例えば図９Ａから）基準温度Ｔｒｅｆは約１１２℃であることがわかる。スイッチオフした電熱線２３０の状態で測定されている温度Ｔｏｂｓ，１に対する値は、熱平衡状態で約６０℃であり、そのことから、Ｔｒｅｆ／Ｔｏｂｓ，２≒１．５の補正係数を用いて、測定点２２６の実際の温度Ｔｉｓｔが約９０℃と算出される。これは、図９Ｂに示されている測定位置２２６の実際の温度経過２４１とよく一致する。
【0071】
図９Ｃは、汚れた後に再び洗浄されたＩＲセンサ２２５によって把握する温度の経過２３５、及びＴｉｓｔの経過を再現する制御曲線２４１を示す。観測された温度ピーク２３９は、ＩＲセンサ２２５の洗浄後、再び基準温度Ｔｒｅｆあたりに、温度経過２３５のベースライン２３７と比較して対応する大きな温度差ΔＴを有する。再び通電した電熱線２３０の状態で測定された温度Ｔｏｂｓ，２が、基準温度Ｔｒｅｆと一致するので、測定された温度Ｔｏｂｓ，２が期待温度Ｔｅｘｐに対応する。これに対応して、ベースライン２３７と実際の温度曲線２４１の線とが重なることによって確認されるように、ＩＲセンサ２２５が正しい機能とみなすことができる。
【符号の説明】
【0072】
１１１ ターボ分子ポンプ
１１３ インレットフランジ
１１５ ポンプインレット
１１７ ポンプアウトレット
１１９ ハウジング
１２１ 下部分
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モータ
１２７ アクセサリ接続部
１２９ データインタフェース
１３１ 電源供給接続部
１３３ 通気インレット
１３５ シールガス接続部
１３７ モータ室
１３９ 冷却媒体接続部
１４１ 下側面
１４３ ねじ
１４５ 軸受カバー
１４７ 固定孔
１４８ 冷却媒体配管
１４９ ロータ
１５１ 回転軸線
１５３ ロータシャフト
１５５ ロータディスク
１５７ ステータディスク
１５９ スペーサリング
１６１ ロータハブ
１６３ ホルベックロータスリーブ
１６５ ホルベックロータスリーブ
１６７ ホルベックステータスリーブ
１６９ ホルベックステータスリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ 転がり軸受
１８３ 永久磁石軸受
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ロータ側の軸受半部
１９３ ステータ側の軸受半部
１９５ リング磁石
１９７ リング磁石
１９９ 軸受間隙
２０１ 支持部分
２０３ 支持部分
２０５ 半径方向の支材
２０７ カバー要素
２０９ 支持リング
２１１ 固定リング
２１３ 皿バネ
２１５ 緊急用軸受又は安全用軸受
２１７ モータステータ
２１９ 中間空間
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスシール
２２５ 第１のＩＲセンサ
２２６ 測定位置
２２７ 第２のＩＲセンサ
２２８ 基準位置
２２９ 温度センサ
２３０ 熱源
２３１ ＩＲ透過窓
２３３ 視界
２３５ 測定された温度経過
２３７ ベースライン
２３９ 温度ピーク
２４１ 実際の温度経過
１１３ インレットフランジ
１１５ ポンプインレット
１１７ ポンプアウトレット
１１９ ハウジング
１２１ 下部分
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モータ
１２７ アクセサリ接続部
１２９ データインタフェース
１３１ 電源供給接続部
１３３ 通気インレット
１３５ シールガス接続部
１３７ モータ室
１３９ 冷却媒体接続部
１４１ 下側面
１４３ ねじ
１４５ 軸受カバー
１４７ 固定孔
１４８ 冷却媒体配管
１４９ ロータ
１５１ 回転軸線
１５３ ロータシャフト
１５５ ロータディスク
１５７ ステータディスク
１５９ スペーサリング
１６１ ロータハブ
１６３ ホルベックロータスリーブ
１６５ ホルベックロータスリーブ
１６７ ホルベックステータスリーブ
１６９ ホルベックステータスリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ 転がり軸受
１８３ 永久磁石軸受
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ロータ側の軸受半部
１９３ ステータ側の軸受半部
１９５ リング磁石
１９７ リング磁石
１９９ 軸受間隙
２０１ 支持部分
２０３ 支持部分
２０５ 半径方向の支材
２０７ カバー要素
２０９ 支持リング
２１１ 固定リング
２１３ 皿バネ
２１５ 緊急用軸受又は安全用軸受
２１７ モータステータ
２１９ 中間空間
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスシール
２２５ 第１のＩＲセンサ
２２６ 測定位置
２２７ 第２のＩＲセンサ
２２８ 基準位置
２２９ 温度センサ
２３０ 熱源
２３１ ＩＲ透過窓
２３３ 視界
２３５ 測定された温度経過
２３７ ベースライン
２３９ 温度ピーク
２４１ 実際の温度経過
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
