特許 7210835 薄板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-01-16

(45)【発行日】2023-01-24

(54)【発明の名称】薄板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20230117BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2018212416

(22)【出願日】2018-11-12

(65)【公開番号】P2020080357

(43)【公開日】2020-05-28

【審査請求日】2021-10-12

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100144048

【弁理士】

【氏名又は名称】坂本 智弘

(72)【発明者】

【氏名】飯田 拓也

(72)【発明者】

【氏名】戸田 順也

【審査官】内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－０５８６２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１９７７２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０９２２１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６２－０１２９５０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】実開平０４－０８２８５２（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

前面に開口部が形成され、外形が円形の薄板が収納可能な容器本体と、
前記容器本体に収納可能であり、前記薄板を載置可能な複数のサポート治具と、
前記サポート治具から取り外し可能な態様で前記サポート治具ごとに装着可能であり、所定半径の前記薄板の外周縁に径方向で当接可能な規制部材とを含み、
前記規制部材は、前記サポート治具の表面に沿って延在する基部と、前記基部から上方向に突出する突出部とを含み、
前記規制部材が前記サポート治具に装着された状態において、前記規制部材のうちの、前記突出部は、他の部位よりも内径側に位置する、薄板収納容器。

【請求項2】

前面に開口部が形成され、外形が円形の薄板が収納可能な容器本体と、
前記容器本体に収納可能であり、前記薄板を載置可能な複数のサポート治具と、
前記サポート治具から取り外し可能な態様で前記サポート治具ごとに装着可能であり、所定半径の前記薄板の外周縁に径方向で当接可能な規制部材とを含み、
前記規制部材は、基部と、前記基部から上方向に突出する突出部とを含み、
前記基部は、前記サポート治具の表面に沿って延在する第１基部と、前記第１基部よりも径方向内側まで延在する第２基部とを含み、
前記第２基部は、前記サポート治具の前記表面と面一の上側表面を、前記サポート治具及び前記突出部よりも径方向内側に有する、薄板収納容器。

【請求項3】

前記規制部材は、複数の異なる前記所定半径に対応して複数種類設定される、請求項１又は２に記載の薄板収納容器。

【請求項4】

前記規制部材は、嵌合により前記サポート治具に装着可能である、請求項１～３のうちのいずれか１項に記載の薄板収納容器。

【請求項5】

前記規制部材は、前記容器本体の正面を視て、左右両側に設けられる、請求項１～４のうちのいずれか１項に記載の薄板収納容器。

【請求項6】

前記突出部は、円柱状又は楕円柱の形態、若しくは、湾曲中心が前記薄板の中心に対して外側となる態様で湾曲した壁状の形態である、請求項１～５のうちのいずれか１項に記載の薄板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、薄板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

同じサポート治具を使用しながら、径の異なる複数種類の薄板を収納することができる薄板収納容器が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１３－１８２９３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記のような従来技術では、新たな径の薄板に対応させようとすると、サポート治具自体の設計を変更する必要が生じるため、多様な径の薄板に機動的に対応することが難しい。

【0005】

そこで、１つの側面では、本発明は、多様な径の薄板に機動的に対応可能とすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

１つの側面では、前面に開口部が形成され、外形が円形の薄板が収納可能な容器本体と、
前記容器本体に収納可能であり、前記薄板を載置可能な複数のサポート治具と、
前記サポート治具から取り外し可能な態様で前記サポート治具ごとに装着可能であり、所定半径の前記薄板の外周縁に径方向で当接可能な規制部材とを含む、薄板収納容器が提供される。

【発明の効果】

【0007】

１つの側面では、本発明によれば、多様な径の薄板に機動的に対応することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本実施例に係る薄板収納容器の外観を概略的に示す斜視図である。

【図2】本実施例に係る薄板収納容器の下側を概略的に示す底面図である。

【図3】蓋体を取り外した状態の薄板収納容器を示す斜視図である。

【図4】水平面内の平面で切断した際の薄板収納容器の断面図である。

【図5A】一枚のサポート治具の単品状態の斜視図である。

【図5B】オフセット部材が取り付けられたサポート治具の斜視図である。

【図6A】１つのオフセット部材の単品状態の平面図である。

【図6B】１つのオフセット部材の単品状態を下側から視た斜視図である。

【図7】他の実施例によるオフセット部材の説明図である。

【図8】他の実施例によるオフセット部材の説明図である。

【図9】他の実施例によるオフセット部材の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照しながら各実施例について詳細に説明する。

【0010】

以下の説明において、薄板収納容器１の左右方向（幅方向）をＸ方向、薄板収納容器１の前後方向をＹ方向、薄板収納容器１の上下方向（高さ方向）をＺ方向といい、薄板収納容器１における上下・前後・左右・内外の方向を、単に上下・前後・左右・内外の方向という。また、「径方向」とは、特に言及しない限り、薄板収納容器１内に収納される外形が円形の薄板の中心を基準とした径方向を指す。なお、後述のように、薄板収納容器１内に収納可能な薄板Ｗの直径は多様であるので、直径の異なる薄板Ｗが収容されると、薄板Ｗの中心が厳密には若干変化するが、かかる変化は、「径方向」の用語の意義に実質的に影響しないため、「径方向」の用語の意義に関しては無視するものとする。また、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。

【0011】

図１は、本実施例に係る薄板収納容器１の外観を概略的に示す斜視図である。図２は、本実施例に係る薄板収納容器１の下側を概略的に示す底面図である。図１及び図２に示すように、実施例に係る薄板収納容器１は、容器本体３と、蓋体４と、を備えている。

【0012】

容器本体３は、内部に直径１５０ｍｍ～５５０ｍｍ、厚さ０．０１ｍｍ～４．０ｍｍ等の薄板Ｗを収納するものである。薄板Ｗは、外形が円形である。薄板Ｗは、中心側まで中実の板（円盤状の板）であってもよいし、中心側が中空の板（リング状の板）であってもよい。薄板Ｗの素材は、任意であり、例えばシリコンやガラス、アルミナ、セラミックス等であってよい。例えば、薄板Ｗは、半導体ウェーハ、マスクガラス等であってよい。この場合、薄板Ｗは、加工対象、加工途中又は加工後の薄板であってよい。あるいは、薄板Ｗは、半導体製造装置で利用される治具として機能するものであり、例えばシリコンにより形成されるリング状の板であってもよい。

【0013】

容器本体３は、正面となる前側に開口部３ａが形成されたフロントオープン型の容器であり、開口部３ａに隣接して対向する一対の側壁３ｂ及び側壁３ｃと、底壁３ｄと、天壁３ｅと、開口部３ａに対向する背壁３ｆと、を備えている。なお、容器本体３の下面部には、容器本体３を加工装置に位置決めしたり固定したりするためのボトムプレート７が取り付けられており、ボトムプレート７には、容器本体３を加工装置に位置決めするための位置決め部材８が配設されている。

【0014】

蓋体４は、容器本体３の開口部３ａに嵌め合わされて容器本体３を密封するものである。蓋体４の外周面には、容器本体３の開口部３ａとの間をシールするシール部材が取り付けられており、蓋体４の内側面には、容器本体３に収納された薄板Ｗを個別に保持する弾性材の保持部材５が取り付けられている。また、蓋体４には、開口部３ａに蓋体４が嵌め合わされた状態に保持する施錠機構９が内蔵されている。

【0015】

図３は、蓋体４を取り外した状態の薄板収納容器１を示す斜視図である。図４は、水平面内の平面で切断した際の薄板収納容器１の断面図であって、図１に示すＩＶ－ＩＶ線における断面図である。

【0016】

図３及び図４に示すように、容器本体３には、薄板Ｗが載置されるサポート治具１０が積層されて容器本体３に収納されるサポート治具体１１と、サポート治具体１１を容器本体３に固定する固定部材１２と、サポート治具１０に載置された薄板Ｗの位置を規制するオフセット部材７０（規制部材の一例）と、が収納される。

【0017】

図５Ａは、一枚のサポート治具１０の単品状態の斜視図であり、図５Ｂは、オフセット部材７０が取り付けられたサポート治具１０の斜視図である。図６Ａは、１つのオフセット部材７０の単品状態の平面図であり、図６Ｂは、１つのオフセット部材７０の単品状態を下側から視た斜視図である。

【0018】

図３～図５Ｂに示すように、サポート治具体１１を構成するサポート治具１０は、容器本体３の開口部３ａに向かって開口する板状に形成されている。すなわち、サポート治具１０は、容器本体３の開口部３ａ側に向けて開口する開口部１４が形成されたＵ字型の板状部材であり、少なくとも開口部１４を囲う内側周縁に薄板Ｗが載置されるＵ字状の載置部１５が形成されている。開口部１４は、薄板Ｗを載置部１５に載置する際や、薄板Ｗを載置部１５から取り出す際に、搬送ロボットのハンド（エンドエフェクタ）がＺ方向に上下動するのを可能とする空間である。開口部１４の内側縁部の少なくとも一部は、載置部１５に載置する薄板Ｗよりも内径側に位置している。

【0019】

また、サポート治具１０には、固定部材１２が挿入される固定部材挿入穴１６と、オフセット部材７０が嵌合される嵌合穴１７と、容器本体３に対するサポート治具１０の位置決めを行う位置決め用切り欠き１８と、が形成されている。

【0020】

固定部材挿入穴１６は、サポート治具１０を上下に貫通して固定部材１２が挿入される貫通穴である。固定部材挿入穴１６は、サポート治具１０の外周部に合計５箇所形成されており、容器本体３の左右の側壁３ｂ及び側壁３ｃの近傍に２箇所ずつ形成されるとともに、容器本体３の背壁３ｆの近傍に１箇所形成されている。なお、固定部材挿入穴１６は、薄板Ｗとの干渉を防止するために、載置部１５の外側に形成されている。

【0021】

嵌合穴１７は、オフセット部材７０が嵌合される穴である。嵌合穴１７は、左右に２つずつ設けられる。なお、嵌合穴１７の位置や数等は任意である。ただし、水平面内でのオフセット部材７０の回転を防止するために、好ましくは、嵌合穴１７は、１つのオフセット部材７０に対して２つ以上設けられる。

【0022】

左右に２つずつ設けられる嵌合穴１７のうちの、左右の１つずつは、直径３３０ｍｍの薄板Ｗに対して機能してもよい。この場合、嵌合穴１７には、棒状の位置規制体（図示せず）が貫通する態様で設けられる。このような位置規制体は、特許文献１で開示されており、かかる位置規制体を用いることができる。

【0023】

位置決め用切り欠き１８は、サポート治具１０を細長いＵ字状に切り欠いた切り欠きである。位置決め用切り欠き１８は、容器本体３の背壁３ｆ側に配置される後端部に一対形成されており、互いに平行となるようにＹ方向に延びている。一方、容器本体３の背壁３ｆ又は底壁３ｄには、一対の位置決め用切り欠き１８に対応する位置に、容器本体３の前後方向に延びる位置決め用リブ３９（図４参照）が形成されている。そして、位置決め用切り欠き１８に位置決め用リブ３９が挿入されることで、容器本体３に対するサポート治具１０の位置決めが行われる。

【0024】

なお、位置決め用切り欠き１８は、少なくとも一枚のサポート治具１０の位置決め用切り欠き１８に挿入することができればよい。このため、位置決め用切り欠き１８は、一枚のサポート治具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さにのみ形成されてもよく、複数枚のサポート治具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さに形成されてもよく、全てのサポート治具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さに形成されてもよい。なお、一枚のサポート治具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さにのみ形成される場合は、例えば、最下層に配置されるサポート治具１０の位置決め用切り欠き１８に対応する高さに形成することができる。

【0025】

オフセット部材７０は、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、サポート治具１０から取り外し可能な態様で、サポート治具１０ごとに装着可能である。すなわち、オフセット部材７０とサポート治具１０との関係は、オフセット部材７０がサポート治具１０から取り外された図５Ａに示す状態と、オフセット部材７０がサポート治具１０に装着された図５Ｂに示す状態との間で、変更可能である。

【0026】

オフセット部材７０は、任意の材料により形成されてよい。例えば、オフセット部材７０は、サポート治具１０と同様の材料により形成されてよい。例えば、サポート治具１０及びオフセット部材７０は、ポリアセタール、ポリカーボネートやポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、シクロオレフィンポリマーなどの熱可塑性樹脂や、ポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系などの熱可塑性エラストマーなどから形成することができる。また、これらの樹脂には、導電性を付与するためカーボン繊維、カーボンブラック、カーボンナノチューブなどの添加剤を適宜加えることができる。また、剛性を向上させるためにガラス繊維を添加してもよいし、マイカやフッ素樹脂などを添加して摺動性を向上させることができる。

【0027】

オフセット部材７０は、１枚のサポート治具１０に対して、２つ設けられる。すなわち、オフセット部材７０は、１枚のサポート治具１０に対して、左右両側にそれぞれ設けられる。左側のオフセット部材７０Ｌと、右側のオフセット部材７０Ｒとは、左右対称の構成であり、以下では、特に言及しない限り、左右のオフセット部材７０Ｌ、７０Ｒを区別せずに、オフセット部材７０と称する。なお、変形例では、左右のオフセット部材７０Ｌ、７０Ｒは、一枚のオフセット部材として実現されてもよい。

【0028】

オフセット部材７０は、薄板Ｗの外周縁に径方向で当接可能である。具体的には、オフセット部材７０は、図４に示すように、サポート治具１０に取り付けられた状態では、当該サポート治具１０上に載置される薄板Ｗの外周縁に径方向で当接する。

【0029】

ここで、図６Ａ及び図６Ｂを参照して、オフセット部材７０について、より詳細に説明する。

【0030】

オフセット部材７０は、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、基部７０ａと、前側突出部７１と、後側突出部７２（突出部の一例）と、嵌合部７４とを含む。

【0031】

基部７０ａは、サポート治具１０の表面（水平面）に沿って延在する。本実施例では、オフセット部材７０がサポート治具１０に装着された状態では、基部７０ａは、サポート治具１０の上側の表面に下側の表面が面接触する。基部７０ａは、好ましくは、上面視で、サポート治具１０からはみ出さない領域に延在する。また、基部７０ａは、固定部材１２を避けるための切り欠き部７０１を有する。

【0032】

前側突出部７１は、後述の後側突出部７２と同様の形態であるが、後側突出部７２よりも薄板Ｗの中心に対して外側にわずかにオフセットされる。前側突出部７１は、サポート治具１０上の薄板Ｗの水平面内のわずかな変位（横ズレ）を防止するために設けられる。なお、変形例では、前側突出部７１は省略されてもよい。

【0033】

前側突出部７１は、オフセット部材７０がサポート治具１０に装着された状態で、サポート治具１０の載置部１５の表面に対して所定高さＨ１（図５Ｂ参照）を有する。所定高さＨ１は、後述の後側突出部７２に関する所定高さＨ２と同様であってよい。すなわち、薄板Ｗの厚みよりも有意に大きく、かつ、基部７０ａの厚みよりも有意に大きい。これにより、薄板Ｗが前側突出部７１を乗り上げて、径方向外側に移動することを効果的に防止できる。すなわち、前側突出部７１による横ズレ防止機能を、より確実に発揮させることができる。

【0034】

後側突出部７２は、基部７０ａの上側から上方向に突出する。後側突出部７２は、オフセット部材７０がサポート治具１０に取り付けられた状態で、当該サポート治具１０上に載置される薄板Ｗの外周縁に径方向で当接する。

【0035】

本実施例では、後側突出部７２は、湾曲した壁状の形態である。後側突出部７２の湾曲態様は、上面視で、湾曲中心が薄板Ｗの中心に対して外側となる態様である。これにより、後側突出部７２は、薄板Ｗに対して径方向に点で接触できる。

【0036】

後側突出部７２は、図５Ｂに示すように、オフセット部材７０がサポート治具１０に装着された状態で、サポート治具１０の載置部１５の表面上に位置するように形成される。これにより、後側突出部７２は、サポート治具１０の載置部１５の表面上に載せられた薄板Ｗに対して当接する際に、重力による撓みのない薄板Ｗの部分に対して当接できる。

【0037】

ここで、オフセット部材７０は上述のように左右にそれぞれ設けられるので、薄板Ｗは、左右の後側突出部７２によって２点で径方向に当接される。また、薄板Ｗは、前側で、蓋体４の保持部材５により径方向に当接される。この結果、薄板Ｗは、周方向に沿った異なる３点以上で当接されるので、径方向の変位が適切に規制される。以下、このような後側突出部７２による機能（すなわち薄板Ｗの径方向外側の縁部に当接することで薄板Ｗの位置を径方向に規定する機能）を、「薄板Ｗに対する径方向位置規制機能」とも称する。

【0038】

換言すると、上面視で、左右の後側突出部７２によって２点の位置と、保持部材５の接触点の位置とを通る円の直径が、オフセット部材７０が装着されたサポート治具１０によって適切に支持できる薄板Ｗの直径に対応する。従って、支持対象の薄板Ｗの直径に応じて、左右の後側突出部７２の位置を設定することで、支持対象の薄板Ｗを適切に支持できる。そして、支持対象の薄板Ｗが複数種類あり、直径が異なる場合は、直径ごとに後側突出部７２の位置が異なるオフセット部材７０を複数種類用意することで、多様な直径の薄板Ｗに対応できる。

【0039】

なお、本実施例では、オフセット部材７０は、一例として、直径３１０ｍｍの薄板Ｗに対応するように構成される。また、オフセット部材７０は、上述したように、直径３１０ｍｍの薄板Ｗに対応するように構成された第１タイプに加えて、直径３００ｍｍの薄板Ｗに対応するように構成された第２タイプを有してよい。このようにして、複数のタイプのオフセット部材７０を用意することで、多様な直径の薄板Ｗに対応できる。

【0040】

後側突出部７２は、オフセット部材７０がサポート治具１０に装着された状態で、サポート治具１０の載置部１５の表面に対して所定高さＨ２（図５Ｂ参照）を有する。所定高さＨ２は、薄板Ｗの厚みよりも有意に大きく、かつ、基部７０ａの厚みよりも有意に大きい。例えば所定高さＨ２は、上下方向で隣接するサポート治具１０の間の隙間よりもわずかに小さい値であってよい。この場合、薄板Ｗが後側突出部７２を乗り上げて、径方向外側に移動することを効果的に防止できる。すなわち、後側突出部７２による薄板Ｗに対する径方向位置規制機能を、より確実に発揮させることができる。

【0041】

嵌合部７４は、基部７０ａの下側から下方向に突出する態様で設けられる。嵌合部７４は、上述のサポート治具１０の嵌合穴１７に嵌合する。

【0042】

ここで、図６Ｂに示す例では、嵌合部７４は、１つの嵌合穴１７まわりに４つ分離して設けられている。具体的には、嵌合部７４は、対の第１嵌合部７４ａと、対の第２嵌合部７４ｂとを含む。対の第１嵌合部７４ａは、対の第２嵌合部７４ｂよりも下方に延在し、下端部に爪７４１を有する。例えば、対の第２嵌合部７４ｂの突出高さは、サポート治具１０の板厚相当である。対の第１嵌合部７４ａの爪７４１は、サポート治具１０の下面に引っかかる位置に設けられる。爪７４１は、嵌合穴１７の径方向で径方向外側に延在する形態であり、嵌合穴１７の開口縁部よりも外側まで延在する。これにより、嵌合穴１７から嵌合部７４が意図しない態様で抜けてしまう可能性を防止できる。

【0043】

また、図６Ｂに示す例では、対の第１嵌合部７４ａと対の第２嵌合部７４ｂは、下端面の角部（嵌合穴１７の径方向で径方向外側の角部）がＣ面（嵌合穴１７の径方向で径方向内側に向かうほど下方になる傾斜方向の傾斜面）７４２を有する。これにより、嵌合穴１７への嵌合部７４の嵌合が容易となる。なお、Ｃ面７４２は、図６Ｂに示すように、爪７４１の下端面に連続する態様で形成されてよい。

【0044】

なお、嵌合部７４は、例えば嵌合穴１７に嵌合された状態で、嵌合穴１７の径方向で径方向内側に弾性変形してもよい。例えば、対の第１嵌合部７４ａと対の第２嵌合部７４ｂとが形成する外径（上下方向に視たときの外径）は、嵌合穴１７の内径よりもわずかに大きくてもよい。この場合、嵌合部７４と嵌合穴１７との嵌合状態を安定的に維持できる。

【0045】

このように、本実施例によれば、サポート治具１０ごとにオフセット部材７０が設けられるので、サポート治具１０ごとにオフセット部材７０の脱着が可能となる。これにより、支持対象の薄板Ｗの変更等に起因して、異なる直径に対応するオフセット部材７０に装着し直す必要が生じた場合でも、かかる交換作業が比較的容易となる。また、複数のサポート治具１０のうちの、一部のサポート治具１０に対しては、第１の直径に対応するオフセット部材７０を装着し、他のサポート治具１０に対しては、第１の直径とは異なる第２の直径に対応するオフセット部材７０を装着するといった使用態様も可能となる。

【0046】

また、本実施例によれば、オフセット部材７０は、支持対象の薄板Ｗの直径のバリエーションに対応するように、複数種類用意することが可能であり、サポート治具１０を作製し直すことなく、多様な直径の薄板Ｗに対応することができる。

【0047】

また、本実施例によれば、オフセット部材７０は、嵌合によってサポート治具１０に装着されるので、容易に取り外し可能である。また、簡易な嵌合構造を利用して、オフセット部材７０をサポート治具１０に取り外し可能に装着できる。

【0048】

また、本実施例によれば、オフセット部材７０は、一枚のサポート治具１０に対して左右両側にそれぞれ設けられるので、左右の比較的離れた２箇所で薄板Ｗの位置（薄板収納容器１に対する薄板Ｗの位置）を径方向に規制できる。これにより、薄板Ｗの周方向の比較的近い２箇所で薄板Ｗの位置を径方向に規制する場合に比べて、後側突出部７２による薄板Ｗに対する径方向位置規制機能を、より確実に発揮させることができる。なお、左右の後側突出部７２による薄板Ｗとの接触点（２点）と、保持部材５による薄板Ｗとの接触点とは、薄板Ｗの周方向で等間隔になるほど、安定的に薄板Ｗの位置を径方向で規制できる。

【0049】

また、本実施例によれば、オフセット部材７０の後側突出部７２は、上述のように上面視で内側に凸状に湾曲する態様の壁状の形態であるので、薄板Ｗに点で径方向に接触できる。これにより、１つの後側突出部７２が薄板Ｗの周方向の複数の点で薄板Ｗに径方向に当接する場合に比べて、精度良く薄板Ｗの位置（容器本体３内での薄板Ｗの位置）を径方向に規定できる。

【0050】

また、本実施例によれば、オフセット部材７０の後側突出部７２は、上述のように載置部１５に対して所定高さＨ２まで上方に延在するので、薄板Ｗの径方向外側の移動による乗り上げを防止でき、後側突出部７２による薄板Ｗに対する径方向位置規制機能を、より確実に発揮させることができる。

【0051】

また、本実施例によれば、オフセット部材７０は、前側突出部７１を有するので、サポート治具１０上の薄板の水平面内のわずかな変位（横ズレ）を適切に防止できる。

【0052】

なお、本実施例では、オフセット部材７０を複数種類用意にすることで、多様な直径の薄板Ｗに対応可能としているが、これに代えて又は加えて、同一のオフセット部材７０の、サポート治具１０に対する嵌合位置を可変とすることで、対応可能な薄板Ｗの直径の数を２つ以上としてもよい。すなわち、サポート治具１０に嵌合穴１７を複数設け、オフセット部材７０を装着する位置（サポート治具１０に対する位置）を可変とすることで、多様な直径の薄板Ｗに対応可能としてもよい。

【0053】

次に、オフセット部材に関する他の実施例について説明する。なお、以下で説明する各実施例のオフセット部材７０Ａ～７０Ｃは、上述したオフセット部材７０に代えて用いることもできるし、オフセット部材７０とともに用いることもできる。

【0054】

図７は、他の実施例によるオフセット部材７０Ａの説明図であり、オフセット部材７０Ａがサポート治具１０に装着された状態を示す斜視図である。

【0055】

本実施例によるオフセット部材７０Ａは、上述した実施例によるオフセット部材７０に対して、前側突出部７１が前側突出部７１Ａで置換され、かつ、後側突出部７２が後側突出部７２Ａで置換された点が異なる。オフセット部材７０Ａの他の構成は、上述した実施例によるオフセット部材７０と同様であってよい。

【0056】

前側突出部７１Ａは、図７に示すように、円柱状の形態である。また、前側突出部７１Ａは、同様に、載置部１５から所定高さＨ１まで延在してよい。

【0057】

本実施例によるオフセット部材７０Ａの前側突出部７１Ａによっても、上述した実施例によるオフセット部材７０の前側突出部７１と同様に機能できる。すなわち、同様の横ズレ防止機能を実現できる。

【0058】

後側突出部７２Ａは、図７に示すように、円柱状の形態である。この場合も、後側突出部７２Ａは、薄板Ｗに対して径方向に点で接触できる。また、後側突出部７２Ａは、同様に、載置部１５から所定高さＨ２まで延在してよい。

【0059】

本実施例によるオフセット部材７０Ａの後側突出部７２Ａによっても、上述した実施例によるオフセット部材７０の後側突出部７２と同様に機能できる。すなわち、同様の薄板Ｗに対する径方向位置規制機能を実現できる。

【0060】

従って、本実施例によるオフセット部材７０Ａを用いた場合でも、上述した実施例と同様の効果を得ることができる。

【0061】

図８は、他の実施例によるオフセット部材７０Ｂの説明図であり、オフセット部材７０Ｂがサポート治具１０に装着された状態を示す斜視図である。

【0062】

本実施例によるオフセット部材７０Ｂは、上述した実施例によるオフセット部材７０に対して、後側突出部７２及び前側突出部７１が省略された点が異なる。オフセット部材７０Ｂの他の構成は、上述した実施例によるオフセット部材７０と同様であってよい。

【0063】

本実施例によるオフセット部材７０Ｂを用いる場合、後側突出部７２及び前側突出部７１が省略されることから、後側突出部７２及び前側突出部７１の各機能（乗り上げを防止する機能）が得られないものの、上述した実施例と略同様の効果を得ることができる。

【0064】

なお、本実施例のオフセット部材７０Ｂは、左右で一体であるが、左右で別体であってもよい。

【0065】

図９は、他の実施例によるオフセット部材７０Ｃの説明図であり、オフセット部材７０Ｃがサポート治具１０に装着された状態を示す斜視図である。

【0066】

本実施例によるオフセット部材７０Ｃは、上述した実施例によるオフセット部材７０に対して、載置部１５の機能を更に含む点が異なる。オフセット部材７０Ｃは、例えば、直径３００ｍｍよりも有意に小径である薄板Ｗ（例えば直径２００ｍｍの薄板Ｗ）に対応するように構成された第３タイプとして利用できる。

【0067】

オフセット部材７０Ｃは、基部７０ａＣと、後側突出部７２Ｃと、前側突出部７１Ｃとを含む。なお、オフセット部材７０Ｃは、上述した実施例のオフセット部材７０の嵌合部７４と同様の嵌合部を有する。従って、オフセット部材７０Ｃは、サポート治具１０に取り外し可能な態様で装着可能である。

【0068】

基部７０ａＣは、第１基部７０ａＣ－１と、第２基部７０ａＣ－２とを含む。

【0069】

第１基部７０ａＣ－１は、上述した実施例のオフセット部材７０の基部７０ａと実質的に同じであり、サポート治具１０の表面（水平面）に沿って延在する。

【0070】

第２基部７０ａＣ－２は、第１基部７０ａＣ－１よりも下方にオフセットした上側表面を有する。具体的には、第２基部７０ａＣ－２は、オフセット部材７０Ｃがサポート治具１０に装着された状態において、サポート治具１０の載置部１５の上側表面と面一の上側表面を有する。従って、第２基部７０ａＣ－２は、サポート治具１０の載置部１５と同様に、所定の高さで薄板Ｗを支持する機能を有する。

【0071】

第２基部７０ａＣ－２は、第１基部７０ａＣ－１よりも径方向内側（すなわち薄板Ｗの中心側）まで延在する。すなわち、第２基部７０ａＣ－２は、サポート治具１０だけでは支持できないような小径の薄板Ｗ（例えば直径２００ｍｍの薄板Ｗ）を支持できるように、径方向内側まで延在する。

【0072】

前側突出部７１Ｃは、図９に示すように、楕円柱の形態である。また、前側突出部７１Ｃは、同様に、載置部１５から所定高さＨ１まで延在してよい。

【0073】

本実施例によるオフセット部材７０Ｃの前側突出部７１Ｃによっても、上述した実施例によるオフセット部材７０の前側突出部７１と同様に機能できる。すなわち、同様の横ズレ防止機能を実現できる。

【0074】

後側突出部７２Ｃは、図９に示すように、楕円柱の形態である。この場合も、上述した実施例によるオフセット部材７０の後側突出部７２と同様、後側突出部７２Ｃは、薄板Ｗに対して径方向に点で接触できる。また、後側突出部７２Ｃは、同様に、載置部１５から所定高さＨ２まで延在してよい。

【0075】

本実施例によるオフセット部材７０Ｃの後側突出部７２Ｃによっても、上述した実施例によるオフセット部材７０の後側突出部７２と同様に機能できる。すなわち、同様の薄板Ｗに対する径方向位置規制機能を実現できる。

【0076】

従って、本実施例によるオフセット部材７０Ａを用いた場合でも、上述した実施例と同様の効果を得ることができる。

【0077】

なお、本実施例では、後側突出部７２Ｃ及び前側突出部７１Ｃは、楕円柱の形態であったが、上述の後側突出部７２及び前側突出部７１のような、湾曲した壁状の形態であってもよいし、上述の後側突出部７２Ａ及び前側突出部７１Ａのような、円柱状の形態であってもよい。

【0078】

以上、各実施例について詳述したが、特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施例の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。
例えば、上述した実施例では、前側突出部７１が横ズレ防止機能を実現し、後側突出部７２が径方向位置規制機能を実現しているが、逆であってもよい。すなわち、前側突出部７１及び後側突出部７２の最も径方向内側の位置を変更（逆の関係に）することで、前側突出部７１が径方向位置規制機能を実現し、後側突出部７２が横ズレ防止機能を実現してもよい。

【符号の説明】

【0079】

１ 薄板収納容器
３ 容器本体
３ａ 開口部
３ｂ 側壁
３ｃ 側壁
３ｄ 底壁
３ｅ 天壁
３ｆ 背壁
４ 蓋体
５ 保持部材
９ 施錠機構
１０ サポート治具
１１ サポート治具体
１２ 固定部材
１４ 開口部
１５ 載置部
１６ 固定部材挿入穴
１７ 嵌合穴
７０（７０Ｌ，７０Ｒ） オフセット部材
７０ａ 基部
７０Ａ オフセット部材
７０ａＣ 基部
７０ａＣ－１ 第１基部
７０ａＣ－２ 第２基部
７０Ｂ オフセット部材
７０Ｃ オフセット部材
７１ 前側突出部
７１Ａ 前側突出部
７１Ｃ 前側突出部
７２ 後側突出部
７２Ａ 後側突出部
７２Ｃ 後側突出部
７４ 嵌合部
７４ａ 第１嵌合部
７４ｂ 第２嵌合部
７４１ 爪
Ｗ 薄板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】