特許7214046誘電体基板のプラズマ処理に最適なイオンエネルギーの決定

発明の名称　誘電体基板のプラズマ処理に最適なイオンエネルギーの決定

出願人　プロドライヴ・テクノロジーズ・イノヴェーション・サービシーズ・ベーフェー　（識別番号 521460608）

　　　　特許公開件数ランキング 2100 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7214046

公報発行日　2023年1月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7214046

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