特許 7222243 基材の予備加熱方法及び基材の予備加熱装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-02-07

(45)【発行日】2023-02-15

(54)【発明の名称】基材の予備加熱方法及び基材の予備加熱装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/56 20060101AFI20230208BHJP

   H01L 21/50 20060101ALI20230208BHJP

   B29C 45/14 20060101ALI20230208BHJP

【ＦＩ】

H01L21/56 B

H01L21/50 D

H01L21/50 G

H01L21/50 F

H01L21/50 J

B29C45/14

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2018248385

(22)【出願日】2018-12-28

(65)【公開番号】P2020107864

(43)【公開日】2020-07-09

【審査請求日】2021-11-26

(73)【特許権者】

【識別番号】592028846

【氏名又は名称】Ｉ－ＰＥＸ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100114627

【弁理士】

【氏名又は名称】有吉 修一朗

(74)【代理人】

【識別番号】100182501

【弁理士】

【氏名又は名称】森田 靖之

(74)【代理人】

【識別番号】100175271

【弁理士】

【氏名又は名称】筒井 宣圭

(74)【代理人】

【識別番号】100190975

【弁理士】

【氏名又は名称】遠藤 聡子

(74)【代理人】

【識別番号】100194984

【弁理士】

【氏名又は名称】梶原 圭太

(72)【発明者】

【氏名】久門 智人

【審査官】安田 雅彦

(56)【参考文献】

【文献】特開平０４－３６５３３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２３７２５４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

Ｈ０１Ｌ ２１／５０

Ｈ０１Ｌ ２３／２８－２３／３１

Ｈ０１Ｌ ２３／４８－２３／５０

Ｂ２９Ｃ ３３／００－３３／７６

Ｂ２９Ｃ ４３／００－４３／５８

Ｂ２９Ｃ ４５／００－４５／８４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品を搭載したシート状の基材を樹脂封止する前に予備加熱するプレヒーターにおける前記基材の熱による変形を抑止する、基材の予備加熱方法であって、
前記基材を基材キャリアで保持して搬送し、前記プレヒーターの所定位置に定置する工程と、
前記基材を定置した際の前記基材キャリアによる前記基材の保持を解除した後、又は前記基材キャリアによる前記基材の保持の解除に合わせて、定置された前記基材の表面と対面しながら近接するように移動可能な止め部を有する回動可能な回動シャッターの前記止め部を、定置された前記基材の互いに反対位置にある二辺に沿う所定の部分において、前記基材における、前記プレヒーターに定置したときに接する面と反対の面に接する位置まで前記回動シャッターを回動して移動させるか、又は前記反対の面と所要の空隙を隔てた前記基材の変形を止める位置まで前記回動シャッターを回動して移動させる工程とを備える
基材の予備加熱方法。

【請求項2】

前記回動シャッターの回動を、前記基材を定置した後に前記基材の保持を解除する際の、前記プレヒーターが有する直動シャッターの直線的な動作に伴って行う
請求項１記載の基材の予備加熱方法。

【請求項3】

前記回動シャッターの止め部を、前記基材において、前記プレヒーターに定置したときに接する面と反対の面に接する位置まで前記回動シャッターを回動して移動させるか、又は前記反対の面と所要の空隙を隔てた前記基材の変形を止める位置まで前記回動シャッターを回動して移動させる際に、前記反対の面と離れた位置から前記反対の面に対面しながら近接する方向に移動させる
請求項１又は２記載の基材の予備加熱方法。

【請求項4】

前記回動シャッターを、前記基材において、前記プレヒーターに定置したときに接する面と反対の面に接する位置まで前記回動シャッターを回動して移動させるか、又は前記反対の面と所要の空隙を隔てた前記基材の変形を止める位置まで前記回動シャッターを回動して移動させる際に、前記プレヒーターの前記基材を定置する面と平行な軸を中心に回動して、前記止め部を移動させる
請求項１又は２記載の基材の予備加熱方法。

【請求項5】

前記基材を前記プレヒーターの所定位置に定置する際に、前記基材キャリアが有する、前記基材を押さえるクランパーを、前記基材において前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接する面と反対の面に接する位置まで動かし、前記基材の変形の仮止めを行う
請求項１又は２記載の基材の予備加熱方法。

【請求項6】

電子部品を搭載したシート状の基材を樹脂封止する前に予備加熱するプレヒーターにおける前記基材の熱による変形を抑止する、基材の予備加熱装置であって、
前記基材を所定位置に定置し加熱するための基材定置部、及び定置状態の前記基材の互いに反対位置にある二辺に沿う所定の部分において、前記基材における、前記基材定置部に接する面と反対の面に接する位置、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた前記基材の変形を止める位置と基材止め解除位置との間で移動する止め部を有する回動シャッターを備えるプレヒーターと、
該プレヒーターを含む作業経路に沿って移動可能であり、前記基材を着脱可能に保持する基材保持部、及び前記回動シャッターを開閉させるように駆動するシャッター駆動部を有する基材キャリアとを備える
基材の予備加熱装置。

【請求項7】

前記プレヒーターは、前記回動シャッターの回動を、定置した前記基材の保持を解除する際の直線的な動作に伴って行う直動シャッターを備える
請求項６記載の基材の予備加熱装置。

【請求項8】

前記基材保持部が保持爪を有し、前記回動シャッターにおいて、前記保持爪の移動経路に対応する部分が切り欠いてある
請求項６又は７記載の基材の予備加熱装置。

【請求項9】

前記回動シャッターが、前記基材において前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接する面と反対の面に接する位置まで、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた前記基材の変形を止める位置まで動かす際に、前記プレヒーターの前記基材を定置する面と平行な軸を中心に回動する
請求項６又は７記載の基材の予備加熱装置。

【請求項10】

前記基材キャリアが、前記基材において前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接する面と反対の面に接する位置まで移動して、前記基材の変形の仮止めを行うクランパーを有する
請求項６又は７記載の基材の予備加熱装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基材の予備加熱方法及び基材の予備加熱装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

各種半導体パッケージ等を製造する樹脂封止成形装置は、型成形を行うプレスユニット、基材を供給する基材供給ユニット、樹脂材料を供給する樹脂材料供給ユニット、プレスユニットに基材を供給するインローダーユニット、及びプレスユニットから樹脂封止済成形品を取り出すアンローダーユニット等を備えている。

【0003】

樹脂封止成形装置による作業を効率化する上では、これら各ユニット間のリードフレーム等の基材の受け取り、及び受け渡しを円滑に行うことが、重要視されている。近年においては、基材が大型化、及び薄型化しているために、保持する際の重さによる変形量や樹脂封止に係る工程での熱による変形量が大きく、その対策は急務である。

【0004】

また、樹脂封止成形装置による作業では、チップやワイヤがボンディングされた基材をプレスユニットに搬送する前に、プレヒーターで予備加熱をする工程がある。基材の予備加熱は、プレスユニットで高温の金型に基材を載置する際の熱により基材に生じる変形応力を抑制するために行われる。

【0005】

この基材の予備加熱では、プレヒーターからプレスユニットへの基材の搬送と受け渡しを円滑に行うために、また、ボンディングされているチップやワイヤにダメージを与えないように、プレヒーターにおける基材の変形を抑止する必要がある。

【0006】

ここで、基材の予備加熱を行うと共に、熱による基材の変形を抑えるものとして、特許文献１に記載のリードフレーム加熱用ヒーターが提案されている。

【0007】

この特許文献１に記載の加熱用ヒーターは、リードフレームのパイロット孔に挿入するための一本の挿入ピンと、リードフレームの側端部に当接するための複数本の当接ピンとを具備して位置決めピン群を形成する。

【0008】

また、位置決めピン群をヒーター台の上面に突出して設けている。そして、リードフレームの移動及び回転を挿入ピンと当接ピンで規制すると共に、リードフレームの熱膨張が挿入ピンや当接ピンで規制されないようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【文献】特開２００１－２３７２５４

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

上記従来の加熱用ヒーターは、リードフレームが熱で膨張する際に位置決めピン群と干渉することで生じるストレスを無くすか、或いは小さくして、基材の変形を抑える。しかしながら、従来の加熱用ヒーターには、次のような課題があった。

【0011】

すなわち、基材は、その多くが薄型（シート状）で多数の孔等が加工され、チップやワイヤがボンディングされているために、加熱によって各部に複雑な応力が生じ、基材が平坦な形状のままで、膨張する方向に伸びることは考えにくい。

【0012】

現実的には、上記のような膨張する方向に伸びる変形だけでなく、むしろ基材の全体が波打ってうねるように変形したり、端部が反るように変形したりする等、特許文献１で想定されていない、言わば立体的な変形が起こる可能性があり、従来の加熱用ヒーターでは、このような変形を止めることはできない。したがって、従来の加熱用ヒーターは、予備加熱で基材の変形を抑止する点において、充分な対策とはなり得ない。

【0013】

本発明は、以上の点を鑑みて創案されたものであり、プレヒーターにおける予備加熱による基材の変形を抑止することができる、基材の予備加熱方法及び基材の予備加熱装置を提供することを目的とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0014】

（１）上記の目的を達成するために、本発明の基材の予備加熱方法は、電子部品を搭載したシート状の基材を樹脂封止する前に予備加熱するプレヒーターにおける熱による変形を抑止する基材の予備加熱方法であって、前記基材を基材キャリアで保持して搬送し、前記プレヒーターの所定位置に定置する工程と、前記基材を定置した際の前記基材の保持を解除した後、又は保持の解除に合わせて、シャッターを、少なくとも、定置された前記基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部において、前記基材の、前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた、前記基材の変形を止める位置まで動かす工程とを備える。

【0015】

この基材の予備加熱方法によれば、まず、基材を基材キャリアで保持して搬送し、プレヒーターの所定位置に定置することができ、これにより基材の予備加熱をする位置が決まる。

【0016】

次に、基材を定置した際の基材の保持を解除した後、又は保持の解除に合わせて、シャッターは、少なくとも、定置された基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部において、基材の、プレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで動かされる。これにより、シャッターは、基材が変形を起こさないように、基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部で、安定的に止めることができる。

【0017】

また、シャッターは、プレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面と所要の空隙を隔てた、基材の変形を止める位置まで動かされる。これにより、シャッターは、基材のある程度の変形を許容しながら、それ以上の変形を起こさないように、基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部で、安定的に止めることができる。

【0018】

なお、本発明にいう「中間部」の用語は、厳密な意味での中間、又は真ん中という意味ではなく、概ね真ん中（中間、又は真ん中を含む）であって、端ではない、意味で使用している。

【0019】

（２）上記の目的を達成するために、本発明の基材の予備加熱方法は、電子部品を搭載したシート状の基材を樹脂封止する前に予備加熱するプレヒーターにおける熱による変形を抑止する基材の予備加熱方法であって、前記基材を基材キャリアで保持して搬送し、前記プレヒーターの所定位置に定置する工程と、前記基材を定置した際の前記基材の保持を解除した後、又は保持の解除に合わせて、シャッターを、定置された前記基材の互いに反対位置にある二辺の全長に沿う部分において、前記基材の、前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた、前記基材の変形を止める位置まで動かす工程とを備える。

【0020】

この基材の予備加熱方法によれば、まず、基材を基材キャリアで保持して搬送し、プレヒーターの所定位置に定置することができ、これにより基材の予備加熱をする位置が決まる。

【0021】

次に、基材を定置した際の基材の保持を解除した後、又は保持の解除に合わせて、シャッターは、定置された前記基材の互いに反対位置にある二辺の全長に沿う部分において、基材の、プレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで動かされる。これにより、シャッターは、基材が変形を起こさないように、基材の互いに反対位置にある二辺の全長に沿う部分で、安定的に止めることができる。

【0022】

また、シャッターは、プレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面と所要の空隙を隔てた、基材の変形を止める位置まで動かされる。これにより、シャッターは、基材のある程度の変形を許容しながら、それ以上の変形を起こさないように、基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部で、安定的に止めることができる。

【0023】

（３）本発明の基材の予備加熱方法は、前記シャッターを、前記基材において前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた、前記基材の変形を止める位置まで動かす際に、前記反対の面と離れた位置から前記反対の面に対面しながら近接する方向に移動させる構成としてもよい。

【0024】

この場合は、シャッターを、基材においてプレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで、又は反対の面と所要の空隙を隔てた、基材の変形を止める位置まで動かす際に、反対の面と離れた位置から反対の面に対面しながら近接する方向に移動することができる。

【0025】

これによれば、基材を定置したとき、シャッターは、変形する面と対面しながら近接する方向に移動するので、シャッターの動きによって基材の変形を容易に止めることができる。また、シャッターが基材のすでに変形した縁部（厚み部分）に当たることも防止できるので、シャッターの損傷、或いは基材の損傷が生じないようにすることができる。

【0026】

なお、このときのシャッターの動きは、直線的な動きであってもよいし、曲線的な動きであってもよい。また、シャッターの動きは、それらの動きを複合した動きであってもよい。

【0027】

（４）本発明の基材の予備加熱方法は、前記シャッターを、前記基材において前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた、前記基材の変形を止める位置まで動かす際に、前記プレヒーターの前記基材を定置する面と平行な軸を中心に回動させる構成としてもよい。

【0028】

この場合は、シャッターを、基材においてプレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで、又は反対の面と所要の空隙を隔てた、基材の変形を止める位置まで動かす際に、プレヒーターの基材を定置する面と平行な軸を中心に回動させる構成とすることにより、シャッターが複数箇所にある場合でも、各軸を共通の軸にする等、比較的簡易な構造で、各シャッターの駆動が可能になる。

【0029】

（５）本発明の基材の予備加熱方法は、前記基材を前記プレヒーターの所定位置に定置する際に、前記基材キャリアが有する、前記基材を押さえるクランパーを、前記基材において前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで動かし、前記基材の変形の仮止めを行う構成としてもよい。

【0030】

この場合は、基材をプレヒーターの所定位置に定置する際に、基材キャリアが有する、基材を押さえるクランパーを、基材においてプレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで動かし、基材の変形の仮止めを行うことにより、クランパーが、シャッターが基材の変形を止める動作よりも早く基材に接して変形を止めることができるので、基材の加熱初期の変形を最小限に留めることができる。

【0031】

（６）上記の目的を達成するために、本発明の基材の予備加熱装置は、電子部品を搭載したシート状の基材を樹脂封止する前に予備加熱するプレヒーターにおける熱による変形を抑止する基材の予備加熱装置であって、前記基材を所定位置に定置し加熱するための基材定置部、及び定置状態の前記基材の互いに反対位置にある二辺に沿う、少なくとも、線状方向の中間部において、前記基材の、前記基材定置部に接触する面と反対の面に接する位置、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた、前記基材の変形を止める位置と基材止め解除位置との間で移動可能なシャッターを有するプレヒーターと、該プレヒーターを含む作業経路に沿って移動可能であり、前記基材を着脱可能に保持する基材保持部、及び前記シャッターを移動させるシャッター駆動部を有する基材キャリアとを備える。

【0032】

この基材の予備加熱装置によれば、まず、基材キャリアが、基材を基材保持部で保持して、プレヒーターを含む作業経路に沿って搬送し、プレヒーターの基材定置部に定置する。これにより基材の予備加熱をする位置が決まる。

【0033】

次に、基材を定置した際の基材の保持を解除した後、又は保持の解除に合わせて、シャッターは、少なくとも、定置された基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部において、基材の、プレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで動かされる。これにより、シャッターは、基材が変形を起こさないように、基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部で、安定的に止めることができる。

【0034】

また、シャッターは、プレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面と所要の空隙を隔てた、基材の変形を止める位置まで動かされる。これにより、シャッターは、基材のある程度の変形を許容しながら、それ以上の変形を起こさないように、基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部で、安定的に止めることができる。

【0035】

（７）上記の目的を達成するために、本発明の基材の予備加熱装置は、電子部品を搭載したシート状の基材を樹脂封止する前に予備加熱するプレヒーターにおける熱による変形を抑止する基材の予備加熱装置であって、前記基材を所定位置に定置し加熱するための基材定置部、及び定置状態の前記基材の互いに反対位置にある二辺の全長に沿う部分において、前記基材の、前記基材定置部に接触する面と反対の面に接する位置、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた、前記基材の変形を止める位置と基材止め解除位置との間で移動可能なシャッターを有するプレヒーターと、該プレヒーターを含む作業経路に沿って移動可能であり、前記基材を着脱可能に保持する基材保持部、及び前記シャッターを移動させるシャッター駆動部を有する基材キャリアとを備える。

【0036】

この基材の予備加熱装置によれば、まず、基材キャリアが、基材を基材保持部で保持して、プレヒーターを含む作業経路に沿って搬送し、プレヒーターの基材定置部に定置する。これにより基材の予備加熱をする位置が決まる。

【0037】

次に、基材を定置した際の基材の保持を解除した後、又は保持の解除に合わせて、シャッターは、定置された前記基材の互いに反対位置にある二辺の全長に沿う部分において、基材の、プレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで動かされる。これにより、シャッターは、基材が変形を起こさないように、基材の互いに反対位置にある二辺の全長に沿う部分で、安定的に止めることができる。

【0038】

また、シャッターは、プレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面と所要の空隙を隔てた、基材の変形を止める位置まで動かされる。これにより、シャッターは、基材のある程度の変形を許容しながら、それ以上の変形を起こさないように、基材の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部で、安定的に止めることができる。

【0039】

（８）本発明の基材の予備加熱装置は、前記基材保持部が保持爪を有し、前記シャッターにおいて、前記保持爪の移動経路に対応する部分が切り欠かれている構成としてもよい。

【0040】

この場合は、基材保持部が保持爪を有し、シャッターにおいて、保持爪の移動経路に対応する部分が切り欠かれている構成とすることにより、基材の受け渡しの際に、保持爪とシャッターとが干渉することがなく、円滑な受け渡しが可能になる。また、シャッターの大きさや数、或いは配置を比較的自由に決めることができるので、設計の自由度が高くなる。

【0041】

（９）本発明の基材の予備加熱装置は、前記シャッターが、前記基材において前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで、又は該反対の面と所要の空隙を隔てた、前記基材の変形を止める位置まで動かす際に、前記プレヒーターの前記基材を定置する面と平行な軸を中心に回動する構成としてもよい。

【0042】

この場合は、シャッターが、基材においてプレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで、又は反対の面と所要の空隙を隔てた、基材の変形を止める位置まで動かす際に、プレヒーターの基材を定置する面と平行な軸を中心に回動する構成とすることにより、シャッターが複数箇所にある場合でも、各軸を共通の軸にする等、比較的簡易な構造で、シャッターの駆動が可能になる。

【0043】

（１０）本発明の基材の予備加熱装置は、前記基材キャリアが、前記基材において前記プレヒーターの前記基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで移動して、前記基材の変形の仮止めを行うクランパーを有する構成としてもよい。

【0044】

この場合は、基材キャリアが、基材においてプレヒーターの基材を定置する面に接触する面と反対の面に接する位置まで移動して、基材の変形の仮止めを行うクランパーを有する構成とすることにより、基材の受け渡しにおいて、クランパーが、シャッターが基材の変形を止める動作よりも早く基材に接して変形を止めることができるので、基材の加熱初期の変形を最小限に留めることができる。

【発明の効果】

【0045】

本発明は、プレヒーターにおける予備加熱による基材の変形を抑止することができる、基材の予備加熱方法及び基材の予備加熱装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0046】

【図1】本発明に係る基材の予備加熱装置を構成するインローダーとプレヒーターの構造を示す概略正面図である。

【図2】図１に示すプレヒーターの構造を示す概略平面図である。

【図3】基材を保持したインローダーがプレヒーターの上方に位置した状態を示す正面視概略説明図である。

【図4】基材を保持したインローダーが下降し、リードフレームをプレヒーターの基材定置部に置いた状態を示す正面視概略説明図である。

【図5】インローダーの保持爪が開いてリードフレームの保持を解除し、プレヒーターの回動シャッターと直動シャッターが閉じた状態を示す正面視概略説明図である。

【図6】リードフレームを基材定置部に残してインローダーが上昇し、プレヒーターの上方に位置した状態を示す正面視概略説明図である。

【図7】予備加熱終了後、インローダーが下降し、プレヒーターの所定位置に位置した状態を示す正面視概略説明図である。

【図8】インローダーの保持爪が閉じてリードフレームを保持し、プレヒーターの回動シャッターと直動シャッターが開いた状態を示す正面視概略説明図である。

【図9】リードフレームを保持したインローダーが上昇し、プレヒーターの上方に位置した状態を示す正面視概略説明図である。

【図10】本発明に係る基材の予備加熱装置におけるプレヒーターの他の例を示す概略平面視説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0047】

図１、図２を参照して、本発明に係る基材の予備加熱装置の構造の概略を説明する。
なお、以下の説明において、場所や方向の説明をする際の、「前後（縦）」の表現については、図２における紙面に沿う下側を「前」とし、同じく上側を「後」として説明する。また、「上下」の表現については、図１における紙面に沿う上側を「上」とし、同じく下側を「下」として説明し、「左右（横）」の表現については、図１、図２における紙面に沿う左側を「左」とし、同じく右側を「右」として説明する。また、「内外」の表現については、図１、図２において左右方向の中間点に近い方を「内」、中間点から遠い方を「外」として説明する。

【0048】

基材の予備加熱装置Ａは、基材キャリアであるインローダー１と、基材であるリードフレーム５の予備加熱を行うプレヒーター２を備えている。なお、以下の説明において、インローダー１が下降したときの、プレヒーター２に対する位置決めのための構造については、便宜上、後述するガイドピン２０５を除き、説明を省略する。

【0049】

インローダー１は、電子部品を搭載したリードフレーム５を、プレヒーター２の後述する基材定置部２０、２０ａに受け渡し、更に基材定置部２０、２０ａで予備加熱したリードフレーム５を受け取って、樹脂封止を行うプレスユニット（図示省略）へ受け渡すものである。

【0050】

〔インローダー１〕
インローダー１は、図示しない移行駆動部により上記したように移行することができ、リードフレーム５の搬送が可能である。

【0051】

インローダー１は、前後方向に長い長方形状の枠体（図示省略）を有している。枠体には、枠体の短手方向に並設された基材保持部１１、１１ａを備えている。基材保持部１１、１１ａは、それぞれ、アクチュエータ（図示省略）等の駆動部により、枠体の短手方向に互いに逆方向へ連動して進退動する駆動バー１１１、１１２を備えている（図１参照）。

【0052】

基材保持部１１、１１ａの外側の各駆動バー１１１の外側となる面には、長手方向に所定の間隔をおいて各二箇所に、Ｌ形のアーム１１３を介し、基材保持部１１、１１ａを構成する外側保持爪１１４が設けられている。

【0053】

また、基材保持部１１、１１ａの内側の各駆動バー１１２の外側となる面には、長手方向に所定の間隔をおいて各二箇所に、Ｌ形のアーム１１５を介し、基材保持部１１、１１ａを構成する内側保持爪１１６が設けられている。

【0054】

上記外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は、対向する位置に配置され、１枚のリードフレーム５を左右二箇所ずつ、合計四箇所で保持できるようにしている。なお、各内側保持爪１１４と各外側保持爪１１６は、先端の爪部（符号省略）が鉤状に内向きとなった左右対称形状である（図１、及び後述する図３乃至図９等参照）。

【0055】

また、基材保持部１１、１１ａの内側の各駆動バー１１２の長手方向の両端部には、それぞれＬ形のフレーム１２が固定されている。各フレーム１２の下部先端部には、駆動ピン１２０が垂下して設けてある。

【0056】

このように、合計四箇所に設けられている駆動ピン１２０は、後述する直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａに設けてあるピン孔２３２、２４２（図２参照）に挿入される。

【0057】

この状態で、各駆動バー１１１、１１２が左右方向へ移動することにより、外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は、拡縮方向へ移動する。なお、基材定置部２０、２０ａに対応する各駆動バー１１２は、同じタイミングでは逆方向に動くようになっている。

【0058】

また、同時に、各駆動ピン１２０が各駆動バー１１２と共に動くことにより、直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａが左右方向へスライドして、後述する回動シャッター２１、２２を開閉する。

【0059】

なお、インローダー１が有している上記駆動バー１１２、駆動バー１１２を駆動する駆動部、フレーム１２、及び駆動ピン１２０は、回動シャッター２１、２２を開閉させるように駆動するシャッター駆動部を構成する。

【0060】

〔プレヒーター２〕
プレヒーター２は、リードフレーム５を定置して予備加熱をするための長方形状で平板状の基材定置部２０、２０ａを備えている。基材定置部２０、２０ａは、ほぼ四角形のベース部材２００（図２参照）上に所定間隔をおいて二箇所に同じ高さで並設され、かつ水平に設けられている。基材定置部２０、２０ａの上面（符号省略）は、定置されるリードフレーム５とほぼ同じ大きさに形成されている。

【0061】

ベース部材２００には、基材定置部２０、２０ａの左右側において、長手方向の所要間隔をおいて二箇所には、ガイドピン２０５が鉛直方向に立設されている（図２、図３乃至図９等参照）。各ガイドピンは、上記インローダー１の枠体に設けてある嵌合孔（図示省略）と嵌合して、インローダー１の縦横方向の位置決めをするものである。

【0062】

各基材定置部２０、２０ａの短手方向の両側には、長手方向の縁に沿うように、回動シャッター２１、２２が設けられている。回動シャッター２１は、各基材定置部２０、２０ａの外側に設けられ、回動シャッター２２は、各基材定置部２０、２０ａの内側に設けられている（図１、図２参照）。

【0063】

回動シャッター２１、２２の構造を説明する。回動シャッター２１、２２は、基材定置部２０、２０ａのそれぞれを挟んで対向して、ほぼ対称形状に形成されている。回動シャッター２１、２２は、基材定置部２０、２０ａの長手方向のほぼ全長に沿う回転軸２０１（図４、図５の拡大図参照）を有している。

【0064】

また、回転軸２０１には、回動体２０２（図４、図５の拡大図参照）が固定されている。なお、共通の回転軸２０１で回動シャッター２１、２２を回動させる構造は、比較的簡易な構造でつくることができる。

【0065】

回動体２０２は、正面視でほぼＬ形に形成されており、回動体２０２のうち基材定置部２０、２０ａの長手方向の両端に対応する上端部には、閉じたときの上下方向に長い長孔２０３（図４、図５の拡大図参照）が形成されている。上記直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａには係合ピン２０４（図４、図５の拡大図参照）が形成されている。

【0066】

すなわち、直動シャッター２３、２３ａの長手方向の両端部には、一方の基材定置部２０に対応する回動シャッター２１と、他方の基材定置部２０ａに対応する回動シャッター２２の各長孔２０３に係合する係合ピン２０４が設けられている（図１参照）。

【0067】

また、直動シャッター２４、２４ａの長手方向の両端部には、一方の基材定置部２０に対応する回動シャッター２２と、他方の基材定置部２０ａに対応する回動シャッター２１の各長孔２０３に係合する係合ピン２０４が設けられている。直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａが左右方向にスライドすることにより、上記対となる回動シャッター２１、２２の回動体２０２は同じ方向に回動し、開閉する。

【0068】

回動体２０２上部の長孔２０３の下方には、長手方向において複数箇所に、リードフレーム５の変形を止める止め部２０２ａが下向きに設けられている（図４、図５の拡大図左図参照）。止め部２０２ａは、回動して閉じたときに、定置されているリードフレーム５の上面（定置面とは反対側の面）に接触してもよいし、上面と隙間を以て配置されていてもよい。本実施の形態では、後者である。

【0069】

止め部２０２ａは、回動シャッター２１、２２共に、長手方向に七箇所設けられており、それぞれの長さも異なる。各止め部２０２ａは、回動体２０２の回動により、リードフレーム５の表面と、最後は対面しながら近接する方向へ動くようになっている。

【0070】

回動シャッター２１、２２の回動体２０２には、外側保持爪１１４と内側保持爪１１６を通す切り欠き２０６（図２でガイドピン２０５が通されている切り欠き）が設けてあるので、外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は回動体２０２に干渉せず、リードフレーム５の円滑な受け取り、及び受け渡しが可能である。また、回動シャッター２１、２２の大きさや数、或いは配置を比較的自由に決めることができるので、設計の自由度が高くなる。

【0071】

なお、インローダー１は、リードフレーム５をプレヒーター２の基材定置部２０、２０ａに定置する際に、リードフレーム５を押さえて仮止めするクランパー３を備えている。上記止め部２０２ａの配置と長さは、このクランパー３の形状に対応している（図２、図３参照）。

【0072】

つまり、各止め部２０２ａは、クランパー３において、リードフレーム５を押さえる押圧部３０が欠如している切欠部３１（図２の拡大図参照）に対応して入り込むように設けられている（図２の拡大図参照）。なお、クランパー３の形状は、基材保持部１１、１１ａにおいて点対称形状となっている。

【0073】

ここで、上記インローダー１の各基材定置部２０、２０ａに対応する内側の各駆動バー１１２によって駆動される直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａについて説明する。なお、直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａは、基材定置部２０、２０ａの長手方向の両端側に配置されている。直動シャッター２３、２４と直動シャッター２３ａ、２４ａは、点対称構造である（図２参照）。

【0074】

なお、直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａは、上記したように回動シャッター２１、２２を作動させるための、上記シャッター駆動部からの駆動力の中継部としての機能と共に、以下のようにリードフレーム５の四隅部分の変形を止める機能を備えている。

【0075】

直動シャッター２３、２４は、図２において後側に配置されている。直動シャッター２３ａ、２４ａは、図２において、前側に配置されており、構造は、直動シャッター２３、２４と対称であるだけで同様の構造を有しているので、図２では直動シャッター２３ａ、２４ａに直動シャッター２３、２４の各部と同じ符号を付してその説明を援用し、説明を省略する。
直動シャッター２３、２４は、図示していないガイドに沿って所要の範囲内で左右方向に移動できるように設けられている。

【0076】

まず、一方の直動シャッター２３は、先部分が、隣接する右側の直動シャッター２４を避けるように、前方へ屈曲してクランク状に設けられ、その先端部には、閉じたときに、定置されているリードフレーム５の隅部に隙間を以て被さる止め部２３０ａを有するシャッター板２３０が設けてある。

【0077】

また、直動シャッター２３の基端部には、閉じたときに、定置されているリードフレーム５の隅部に隙間を以て被さる止め部２３１ａを有するシャッター板２３１が設けてある。直動シャッター２３の中間部からずれた位置には、上記したようにピン孔２３２が形成されている。

【0078】

次に、他方の直動シャッター２４は、先部分が、隣接する左側の直動シャッター２３を避けるように、直動シャッター２３の下を通っており、その先端部には、閉じたときに、定置されているリードフレーム５の隅部に隙間を以て被さる止め部２４０ａを有するシャッター板２４０が設けてある。

【0079】

また、直動シャッター２４の基端部には、閉じたときに、定置されているリードフレーム５の隅部に隙間を以て被さる止め部２４１ａを有するシャッター板２４１が設けてある。直動シャッター２４の中間部からずれた位置には、ピン孔２４２が形成されている。

【0080】

なお、上記各止め部２３０ａ、２３１ａ、及び止め部２４０ａ、２４１ａは、各止め部２０２ａが回動してリードフレーム５の表面と対面しながら近接する方向へ動く上記回動シャッター２１、２２とは異なり、同じ高さで直線的に移動する。

【0081】

したがって、定置されて、まだ変形していないとしても、リードフレーム５の表面に接触して止める構成とするのは難しいため、上記のようにリードフレーム５の隅部に隙間を以て被さる構成としている。

【0082】

そして、上記したように、基材定置部２０、２０ａを長手方向に挟んで、直動シャッター２３、２４と対称構造の直動シャッター２３ａ、２４ａを設けることにより、インローダー１の各駆動バー１１２の動きを円滑にして、各駆動バー１１２により駆動される回動シャッター２１、２２が円滑に作動できるようにしている。

【0083】

（作用）
図１、図２及び図３乃至図９を参照して、基材の予備加熱装置Ａの作用、及び予備加熱装置Ａを使用した予備加熱方法について説明する。図３乃至図９の各図において、プレヒーター２の左側の図は直動シャッター２３と回動シャッター２１、２２の動きを示し、右側の図は下降したインローダーの外側保持爪１１４の状態を示し、左側の下図は直動シャッター２３、２４の動きを示す説明図である。なお、左側の下図は、便宜上、分離して表しているが、実際は上図のプレヒーター２と同じ高さにある。

【0084】

〔１〕図２、図３を参照する。
インローダー１が、チップやワイヤがボンディングされたリードフレーム５をプレヒーター２の上方の所定位置へ搬送してくる。このとき、両側の基材保持部１１、１１ａの外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は閉じて、それぞれリードフレーム５を保持し、クランパー３を定位置から若干（例えば０．２ｍｍ）持ち上げている。また、プレヒーター２の回動シャッター２１、２２、及び直動シャッター２３、２４と直動シャッター２３ａ、２４ａは開いている。

【0085】

〔２〕図２、図４を参照する。
インローダー１が下降すると、各ガイドピン２０５に嵌合孔が嵌合してインローダー１の縦横方向の位置が決まり、上下方向の位置（高さ）も決まる。同時に、各駆動バー１１２に固定されているフレーム１２の駆動ピン１２０が、直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａのピン孔２３２、２４２に挿入される。

【0086】

このとき、外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は閉じているが、基材定置部２０、２０ａの切り欠かれた逃げ部（符号省略）に入ることにより、支障なくリードフレーム５を基材定置部２０、２０ａ上に置くことができ、自身はリードフレーム５から下方へやや離れてリードフレーム５の保持を解除する（図４の拡大図右図を参照）。

【0087】

なお、インローダー１が備えているクランパー３は、定置部２０、２０ａ上に置かれたリードフレーム５の四辺の縁部の所定箇所を押圧部３０で押さえて、回動シャッター２１、２２、及び直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａが作動するまで、動かないように仮止めを行う。クランパー３は、各シャッターがリードフレーム５の変形を止める動作よりも早く接して変形を止めることができるので、リードフレーム５の加熱初期の変形を最小限に留めることができる。

【0088】

また、クランパー３は、回動シャッター２１、２２、及び直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａが止めることができない範囲を押さえることができるので、リードフレーム５全体に対する変形の抑止が一層充分になる。

【0089】

また、回動シャッター２１、２２は開いているので、リードフレーム５の下降に支障はない（図４の拡大図左図を参照）。このようにして、リードフレーム５が、基材定置部２０、２０ａ上に置かれる。なお、基材定置部２０、２０ａは、予備加熱のために、既に所定の温度に加熱されている。

【0090】

〔３〕図２、図５を参照する。
各駆動バー１１１、１１２が、図５に矢印で示すように互いに逆方向へ動き、各駆動バー１１２同士も逆方向（内方向）へ動く。これにより、外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は開いて、上昇の際にリードフレーム５に掛かることがないようにする（図５の拡大図右図を参照）。

【0091】

また、各駆動バー１１２と共に動く駆動ピン１２０により、直動シャッター２３、２４がそれぞれ内方向へ動き、シャッター板２３１、２４０がそれぞれ内方向へ動いて、一方のリードフレーム５の隅部に隙間を以て被さり、シャッター板２３０、２４１がそれぞれ内方向へ動いて、他方のリードフレーム５の隅部に隙間を以て被さり、リードフレーム５のある程度の変形（例えば立体的な変形）を許容しながら、それ以上の変形を起こさないように、リードフレーム５の熱による膨張等に伴う変形を安定的に止めることができる。

【0092】

同時に、内方向へ動く直動シャッター２３が、各回動シャッター２１の回動体２０２を内方へ回動させ、同じく内方向へ動く直動シャッター２４が、各回動シャッター２２を内方へ回動させる。

【0093】

これにより、回動シャッター２１、２２は閉じ方向へ回動し、各回動体２０２の止め部２０２ａが、リードフレーム５の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部に隙間を以て被さり（図５の拡大図左図を参照）、リードフレーム５のある程度の変形を許容しながら、それ以上の変形を起こさないように、リードフレーム５の熱による膨張等に伴う、波打ったり反ったりする変形を安定的に止めることができる。

【0094】

また、回動体２０２の止め部２０２ａは、リードフレーム５の変形する面と対面しながら近接する方向に移動するので、この移動においては、変形を起こしている面に接したときに、その面からのみ抵抗を受けることになり、止め部２０２ａの動きによってリードフレーム５の変形を容易に止めることができる。

【0095】

また、止め部２０２ａがリードフレーム５のすでに変形した縁部に当たることも防止でき、この縁部のような硬い部分に止め部２０２ａが接することに起因する回動シャッター２１、２２の損傷、或いはリードフレーム５の損傷を抑制することができる。

【0096】

これによれば、リードフレーム５は、直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａにより、四隅部分の変形が止められると共に、回動シャッター２１、２２により、互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部の変形が止められるので、リードフレーム５が予備加熱により変形しようとしても、その変形を止めることができる。

【0097】

〔４〕図２、図６を参照する。
インローダー１が所定の高さまで上昇する。外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は開いており、リードフレーム５の保持は解除されているので、インローダー１は支障なく上昇することができる。

【0098】

リードフレーム５は、基材定置部２０、２０ａ上に、回動シャッター２１、２２と直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａにより、変形が止められる状態で残る。なお、加熱によりリードフレーム５がやや変形すると、変形部が各止め部２０２ａ、２３０ａ、２３１ａ、２４０ａ、２４１ａに当たり、リードフレーム５はその圧力で実質的に固定された状態になる。そして、この状態でリードフレーム５の予備加熱が所定時間行われる。

【0099】

〔５〕図２、図７を参照する。
リードフレーム５の予備加熱が終了すると、インローダー１が上記〔２〕に示す所定位置まで下降する。また、各駆動バー１１２に固定されているフレーム１２の駆動ピン１２０が、直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａのピン孔２３２、２４２に挿入される。

【0100】

外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は、継続して開いている（図５の拡大図右図を参照）。回動シャッター２１、２２は継続して閉じており（図５の拡大図左図を参照）、リードフレーム５は、基材定置部２０、２０ａ上に実質的に固定されている。

【0101】

〔６〕図２、図８を参照する。
各駆動バー１１１、１１２が、図８に矢印で示すように互いに逆方向へ動き、各駆動バー１１２同士も逆方向（外方向）へ動く。これにより、外側保持爪１１４と内側保持爪１１６は閉じて、リードフレーム５の下面に掛かるようにする（図４の拡大図右図を参照）。

【0102】

また、各駆動バー１１２と共に動く駆動ピン１２０により、直動シャッター２３、２４がそれぞれ外方向へ動き、シャッター板２３１、２４０がそれぞれ外方向へ動いて、一方のリードフレーム５の隅部から外れ、シャッター板２３０、２４１がそれぞれ外方向へ動いて、他方のリードフレーム５の隅部から外れる。

【0103】

同時に、外方向へ動く直動シャッター２３が、各回動シャッター２１の回動体２０２を外方へ回動させ、同じく外方向へ動く直動シャッター２４が、各回動シャッター２２を外方へ回動させる。これにより、回動シャッター２１、２２は開き、各回動体２０２の止め部２０２ａが、リードフレーム５の互いに反対位置にある二辺に沿う線状方向の中間部から外れる（図４の拡大図左図を参照）。

【0104】

これにより、リードフレーム５は、外側保持爪１１４と内側保持爪１１６で保持可能となり、回動シャッター２１、２２と直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａによる実質的な固定は解除される。

【0105】

〔７〕図２、図９を参照する。
インローダー１が、リードフレーム５を外側保持爪１１４と内側保持爪１１６により保持した状態で、所定の高さまで上昇する。回動シャッター２１、２２によるリードフレーム５の実質的な固定は解除されているので、インローダー１は支障なく上昇することができる。この後、インローダー１は、リードフレーム５を次工程のプレスユニットへ搬送し受け渡し、基材の予備加熱装置Ａは、上記〔１〕乃至〔７〕の工程を繰り返す。

【0106】

図１０を参照して、プレヒーターの他の例を説明する。
なお、以下の説明では、上記プレヒーター２と同等箇所については同等の符号を付して示しており、構造及び作用の重複する説明は省略し、相違する構造及び作用についてのみ説明する。

【0107】

プレヒーター２ａは、クランパー３ａの定置されたリードフレーム５の互いに反対位置にある長手方向の二辺に沿う押圧部３０と、回動シャッター２１、２２の止め部２０２ａが並行する態様である。押圧部３０と止め部２０２ａは、互いに接触した状態で並行していてもよいし、接触せず隙間を以て並行していてもよい。

【0108】

これによれば、リードフレーム５の受け取り、及び受け渡しに支障がなければ、更にリードフレーム５の長手方向の二辺に沿う押圧部３０と、回動シャッター２１、２２の止め部２０２ａを、リードフレーム５のほぼ全長に渡り対応した構造として、リードフレーム５の変形を、安定的に、かつより確実に止めることが可能になる。

【0109】

また、この場合、リードフレーム５の四隅部分の変形も止めることができるので、直動シャッター２３、２４、２３ａ、２４ａを省いた構成とすることもできる。

【0110】

本明細書及び特許請求の範囲で使用している用語と表現は、あくまでも説明上のものであって、なんら限定的なものではなく、本明細書及び特許請求の範囲に記述された特徴およびその一部と等価の用語や表現を除外する意図はない。また、本発明の技術思想の範囲内で、種々の変形態様が可能であるということは言うまでもない。

【符号の説明】

【0111】

Ａ 基材の予備加熱装置
１ インローダー
１１、１１ａ 基材保持部
１１１、１１２ 駆動バー
１１３ アーム
１１４ 外側保持爪
１１５ アーム
１１６ 内側保持爪
１２ フレーム
１２０ 駆動ピン
２ プレヒーター
２０、２０ａ 基材定置部
２１、２２ 回動シャッター
２３、２４ 直動シャッター
２３０ シャッター板
２３０ａ 止め部
２３１ シャッター板
２３１ａ 止め部
２３２ ピン孔
２４０ シャッター板
２４０ａ 止め部
２４１ シャッター板
２４１ａ 止め部
２４２ ピン孔
２３ａ、２４ａ 直動シャッター
２００ ベース部材
２０１ 回転軸
２０２ 回動体
２０２ａ 止め部
２０３ 長孔
２０４ 係合ピン
２０５ ガイドピン
２０６ 切り欠き
３ クランパー
３０ 押圧部
３１ 切欠部
５ リードフレーム
２ａ プレヒーター
３ａ クランパー

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】