特許 7222378 物品搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-02-07

(45)【発行日】2023-02-15

(54)【発明の名称】物品搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20230208BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20230208BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20230208BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04

B65G1/00 541

H01L21/68 T

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020084500

(22)【出願日】2020-05-13

(65)【公開番号】P2021178712

(43)【公開日】2021-11-18

【審査請求日】2022-02-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】吉岡 秀郎

(72)【発明者】

【氏名】瀬邉 高弘

【審査官】三宅 達

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－１８９４４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３４０６３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２７４２１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１１２１６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０５２６５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ １／００ － １／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３－２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を搬送する物品搬送装置であって、
上下方向に沿う搬送経路に沿って設置された案内レールと、
前記案内レールに沿って昇降する昇降ユニットと、
前記昇降ユニットに支持されると共に、前記案内レールに対して水平方向に離間して配置された移載対象部との間で前記物品を移載する移載装置と、を備え、
搬送の対象となる前記物品には、第１対象物品と、前記第１対象物品とは異なる形状の第２対象物品と、が含まれ、
前記移載装置は、前記昇降ユニットに支持された上側移載部、及び、前記上側移載部の下側に配置され、前記上側移載部と同一の前記昇降ユニットに支持された下側移載部と、を備え、
前記上側移載部は、前記第１対象物品を支持する上側支持部と、前記上側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記移載対象部の側に突出させた突出位置との間で出退させる上側出退駆動部と、を備え、
前記下側移載部は、前記第１対象物品を支持する下側支持部と、前記下側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記移載対象部の側に突出させた突出位置との間で出退させる下側出退駆動部と、を備え、
前記上側出退駆動部が前記上側支持部よりも上方に配置されると共に、前記下側出退駆動部が前記下側支持部よりも下方に配置され、
前記上側支持部と前記下側支持部との上下方向の間に、前記第２対象物品を支持する中間支持部が配置され、
前記中間支持部は、前記上側支持部と一体的に出退するように連結され、又は、前記下側支持部と一体的に出退するように連結されている、物品搬送装置。

【請求項2】

前記中間支持部は、前記上側支持部と一体的に出退するように連結されていると共に、前記上側支持部よりも下方であって前記下側移載部における前記下側支持部と一体的に出退する部分の全体よりも上方に配置されている、請求項１に記載の物品搬送装置。

【請求項3】

前記移載対象部に、前記第１対象物品が載置される第１載置部が設けられ、
前記第１載置部には、前記上側支持部が上下方向に通過可能な切欠き部が形成され、
前記第１載置部の下方に、前記上側支持部と前記中間支持部との双方が挿入可能な空間が設けられている、請求項２に記載の物品搬送装置。

【請求項4】

前記第１対象物品は、底部に設けられた第１被支持部が支持されることによって全体が前記上側支持部又は前記下側支持部よりも上方に位置する状態で支持され、
前記第２対象物品は、上部に設けられた第２被支持部が支持されることによって前記中間支持部よりも下方に位置する部分を有する状態で支持される、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送装置。

【請求項5】

前記上側支持部及び前記下側支持部のそれぞれは、その上面から上方に突出する係合凸部を備え、
前記中間支持部は、前記中間支持部が出退する出退方向に沿って延在する一対の延在部を備え、
前記第１対象物品は、第１本体部と、前記第１本体部の底面から上方に向けて凹むと共に前記係合凸部が係合可能な被係合凹部を備え、
前記第２対象物品は、第２本体部と、前記第２本体部よりも上方に配置されていると共に前記出退方向に沿うように形成され、一対の前記延在部によって係止されるフランジ部と、を備え、
前記被係合凹部が、前記第１被支持部であり、
前記フランジ部が、前記第２被支持部である、請求項４に記載の物品搬送装置。

【請求項6】

前記移載対象部に、それぞれ前記第１対象物品が載置される一対の第１載置部が設けられ、
一対の前記第１載置部が、平面視で重複すると共に、上下方向に離間して配置され、
前記上側支持部と前記下側支持部との上下方向の離間距離が、一対の前記第１載置部の上下方向の離間距離と同等である、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、物品を搬送する物品搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特開２０１８－０５２６５９号公報（特許文献１）には、上下方向に沿う搬送経路に沿って物品を搬送する物品搬送装置が開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に付す符号は、特許文献１のものである。

【0003】

特許文献１に開示された物品搬送装置（２）は、同文献の図４に示すように、上下方向に沿って配置された案内レール（１４）に沿って昇降する昇降ユニット（２１）と、上下方向に分かれて配置された一対の移載部（３１Ａ，３１Ｂ）と、を備えている。一対の移載部（３１Ａ，３１Ｂ）のそれぞれは、案内レール（１４）に対して水平方向に離間して配置された複数の移載対象部（Ｒ）との間で物品（Ａ）を移載するように構成されている。そして、一対の移載部（３１Ａ，３１Ｂ）のそれぞれは、物品（Ａ）を支持可能な支持部（３５）を備えており、この支持部（３５）を移載対象部（Ｒ）の側に出退させることによって、移載対象部（Ｒ）との間で物品（Ａ）の移載を行うように構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１８－０５２６５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に開示された技術では、物品搬送装置（２）は、２つの物品（Ａ）を同時に搬送することができる構成となっているが、これら２つの物品（Ａ）は、同じ形状のものである。しかし、物品搬送装置の用途によっては、互いに異なる形状の第１対象物品と第２対象物品とを搬送したい場合がある。このような場合に、例えば、上記の物品搬送装置（２）における一対の移載部（３１Ａ，３１Ｂ）のうち、一方を第１対象物品の搬送用とし、他方を第２対象物品の搬送用とすることで、これら２種類の物品の搬送を行うことが可能となる。但し、第１対象物品と第２対象物品とで搬送する頻度に偏りがある場合も想定される。例えば、第１対象物品の搬送数が第２対象物品の搬送数よりも多い場合、第１対象物品を２個同時に搬送することができず、第１対象物品の搬送用の移載部のみが物品を搬送し第２対象物品の搬送用の移載部は空の状態となることが多くなる等、物品搬送装置としての搬送効率が低下することになる。また例えば、第１対象物品の搬送数が第２対象物品の搬送数よりも多い場合に、第１対象物品の搬送用の２つの移載部と第２対象物品の搬送用の１つの移載部とを備えた構成とすることも考えられる。しかし、この場合、合計で３つの移載部を備えることになるため、案内レールに沿って昇降する昇降ユニットの大型化を招くことになる。

【0006】

上記実状に鑑みて、第１対象物品と第２対象物品との双方を搬送可能としつつ、第１対象物品の搬送数が第２対象物品の搬送数よりも多い場合に物品搬送装置の搬送効率が低下をすることを抑制でき、且つ、昇降ユニットの大型化も抑制することができる物品搬送装置の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0007】

物品を搬送する物品搬送装置であって、
上下方向に沿う搬送経路に沿って設置された案内レールと、
前記案内レールに沿って昇降する昇降ユニットと、
前記昇降ユニットに支持されると共に、前記案内レールに対して水平方向に離間して配置された移載対象部との間で前記物品を移載する移載装置と、を備え、
搬送の対象となる前記物品には、第１対象物品と、前記第１対象物品とは異なる形状の第２対象物品と、が含まれ、
前記移載装置は、前記昇降ユニットに支持された上側移載部、及び、前記上側移載部の下側に配置され、前記上側移載部と同一の前記昇降ユニットに支持された下側移載部と、を備え、
前記上側移載部は、前記第１対象物品を支持する上側支持部と、前記上側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記移載対象部の側に突出させた突出位置との間で出退させる上側出退駆動部と、を備え、
前記下側移載部は、前記第１対象物品を支持する下側支持部と、前記下側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記移載対象部の側に突出させた突出位置との間で出退させる下側出退駆動部と、を備え、
前記上側出退駆動部が前記上側支持部よりも上方に配置されると共に、前記下側出退駆動部が前記下側支持部よりも下方に配置され、
前記上側支持部と前記下側支持部との上下方向の間に、前記第２対象物品を支持する中間支持部が配置され、
前記中間支持部は、前記上側支持部と一体的に出退するように連結され、又は、前記下側支持部と一体的に出退するように連結されている。

【0008】

本構成によれば、第１対象物品を支持する上側支持部及び下側支持部に加えて、第２対象物品を支持する中間支持部を備えているため、第１対象物品と第２対象物品との２種類の物品を搬送することができる。また、上側移載部と下側移載部との双方に第１対象物品を支持する支持部が備えられており、第２対象物品を支持する中間支持部を設けたことによっても第１対象物品を支持する支持部の数が減少していないため、第１対象物品を２個同時に搬送することが可能となっている。そのため、第１対象物品の搬送数が第２対象物品の搬送数よりも多い場合でも、物品搬送装置の搬送効率が低下をすることを抑制できる。更に、中間支持部は、上側支持部又は下側支持部と一体的に出退するように連結されているため、中間支持部の専用の移載部或いは出退駆動部を備える必要がない。従って、昇降ユニットの大型化を抑制することができる。

【0009】

また、本構成によれば、上側支持部を出退させるための上側出退駆動部が、当該上側支持部よりも上方に配置されると共に、下側支持部を出退させるための下側出退駆動部が、当該下側支持部よりも下方に配置されている。そのため、上側支持部と下側支持部との上下方向の間に出退駆動部が配置されないようにすることができ、これにより生じたスペースを利用して、上側支持部と下側支持部との上下方向の間に、第２対象物品を支持するための中間支持部を配置することができる。そのため、中間支持部を設けたことによる昇降ユニットの大型化を最小限に抑えることができる。以上のように、本構成によれば、第１対象物品と第２対象物品との双方を搬送可能としつつ、第１対象物品の搬送数が第２対象物品の搬送数よりも多い場合に物品搬送装置の搬送効率が低下をすることを抑制でき、且つ、昇降ユニットの大型化も抑制することができる物品搬送装置が実現される。

【0010】

本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】物品搬送装置が設置された物品搬送設備の概略斜視図

【図2】物品搬送装置の水平断面図

【図3】上側移載部が第１対象物品を支持している状態を示す側面図

【図4】上側移載部が第２対象物品を支持している状態を示す側面図

【図5】第１載置部に対して第１対象物品を移載する様子を示す平面図

【図6】第１対象物品が上側支持部又は下側支持部に支持された状態を示す側面図

【図7】第２対象物品が中間支持部に支持された状態を示す側面図

【図8】第２対象物品が中間支持部に支持された状態を示す平面図

【図9】中間支持部の斜視図

【発明を実施するための形態】

【0012】

物品搬送装置は、物品を搬送する装置であって、例えば、原材料、中間製品、或いは完成品等の搬送や保管を行う物品搬送設備に適用される。以下では、物品搬送装置が、クリーン環境下において原材料の処理等を行うクリーンルームに設置される物品搬送設備に適用される場合を例示して、物品搬送装置の実施形態について説明する。

【0013】

図１に示すように、物品搬送設備Ｆは、複数階の間で物品４を搬送する階間搬送装置１と、各階において天井近くを走行して物品４を搬送する天井搬送装置６と、各階の床面上を走行して物品４を搬送する床面搬送装置７と、各階に設置されて階間搬送装置１に物品４を搬入し又は階間搬送装置１から物品４を搬出する入出搬送装置８と、を備えている。本実施形態では、階間搬送装置１が、「物品搬送装置」に相当する。

【0014】

搬送の対象となる物品４には、第１対象物品４１と、第１対象物品４１とは異なる形状の第２対象物品４２と、が含まれる。階間搬送装置１（及びその他の搬送装置６～８）による第１対象物品４１の搬送頻度は、第２対象物品４２の搬送頻度よりも高い。本実施形態では、第１対象物品４１は、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）とされる。そして、第２対象物品４２は、レチクル（フォトマスク）を収容するレチクルポッドとされる。以下、第１対象物品４１と第２対象物品４２とを特に区別しない場合には、これらを「物品４」と総称する。

【0015】

階間搬送装置１は、各階の床面を上下方向Ｖに貫通する状態で複数階に亘って設けられた筒状の区画体９の内部に設けられている。天井搬送装置６及び床面搬送装置７は、区画体９の外部に設けられている。本実施形態では、図２に示すように、入出搬送装置８は、第１対象物品４１を搬送する第１入出搬送装置８１と、第２対象物品４２を搬送する第２入出搬送装置８２と、を備えている。第１入出搬送装置８１と第２入出搬送装置８２とのそれぞれは、区画体９を水平方向に貫通する状態で、区画体９の内部と外部とに亘って設けられている。第１入出搬送装置８１は、区画体９の外部に位置する側の端部である第１外側受渡部８１１において、天井搬送装置６、床面搬送装置７、或いは作業者等との間で第１対象物品４１の受け渡しを行い、区画体９の内部に位置する側の端部である第１内側受渡部８１２において、階間搬送装置１との間で第１対象物品４１の受け渡しを行う。また、第２入出搬送装置８２は、区画体９の外部に位置する側の端部である第２外側受渡部８２１において、天井搬送装置６、床面搬送装置７、或いは作業者等との間で第２対象物品４２の受け渡しを行い、区画体９の内部に位置する側の端部である第２内側受渡部８２２において、階間搬送装置１との間で第２対象物品４２の受け渡しを行う。第１入出搬送装置８１及び第２入出搬送装置８２は、例えばベルトコンベヤやローラコンベヤ等のコンベヤを用いて構成される。本例では、第１入出搬送装置８１は、一対の搬送ベルト８１０ａ（図２参照）を備えたベルトコンベヤとして構成されている。図示は省略するが、第２入出搬送装置８２についても同様の構成とすることができる。以下では、第１入出搬送装置８１と第２入出搬送装置８２とを特に区別しない場合には、これらを「入出搬送装置８」と総称する。

【0016】

図２～図４に示すように、区画体９の内部には、物品４を保持する保持部９０が複数設けられている。複数の保持部９０は、上下方向Ｖに分かれて配置されている。これに加えて、本実施形態では、複数の保持部９０は、階間搬送装置１に対して上下方向Ｖに沿う軸心周りの複数方向に分かれて配置されている（図２参照）。

【0017】

保持部９０は、物品４のうち第１対象物品４１を保持するように構成されており、搬送途中で第１対象物品４１を仮置きしておくためのいわゆるバッファとして機能する。本実施形態では、保持部９０は、第１対象物品４１を下方から支持する支持部材９１を備えており、支持部材９１により第１対象物品４１を下方から支持するように構成されている。また、支持部材９１は、平面視でＵ字状に形成されており、水平方向に沿って配置されている。また、支持部材９１は、Ｕ字状を成す支持部材９１の各先端部及び開口部が階間搬送装置１側を向くように設けられている。階間搬送装置１は、このような構成の保持部９０との間で第１対象物品４１を移載可能に構成されている。

【0018】

図１に示すように、天井搬送装置６、床面搬送装置７、或いは作業者等により、第１入出搬送装置８１の第１外側受渡部８１１に第１対象物品４１（本例ではＦＯＵＰ）が載せられると、当該第１対象物品４１は、第１入出搬送装置８１によって区画体９の内部の第１内側受渡部８１２に搬送される。その後、第１対象物品４１は、階間搬送装置１によって第１内側受渡部８１２から他の階にある第１入出搬送装置８１の第１内側受渡部８１２に搬送される。第１内側受渡部８１２に搬送された第１対象物品４１は、第１入出搬送装置８１によって第１外側受渡部８１１に搬送され、天井搬送装置６、床面搬送装置７、或いは作業者等によって次の工程が行われる場所へ搬送される。また、このような搬送の途中において、第１対象物品４１が保持部９０に仮置きされる場合には、階間搬送装置１は、空きの保持部９０へ第１対象物品４１を搬送する。その後、階間搬送装置１は、保持部９０に仮置きされた第１対象物品４１を、いずれかの階にある第１入出搬送装置８１の第１内側受渡部８１２に搬送する。

【0019】

また、天井搬送装置６、床面搬送装置７、或いは作業者等により、第２入出搬送装置８２の第２外側受渡部８２１に第２対象物品４２（本例ではレチクルポッド）が載せられると、当該第２対象物品４２は、第２入出搬送装置８２によって区画体９の内部の第２内側受渡部８２２に搬送される。その後、第２対象物品４２は、階間搬送装置１によって第２内側受渡部８２２から他の階にある第２入出搬送装置８２の第２内側受渡部８２２に搬送される。第２内側受渡部８２２に搬送された第２対象物品４２は、第２入出搬送装置８２によって第２外側受渡部８２１に搬送され、天井搬送装置６、床面搬送装置７、或いは作業者等によって、次の工程が行われる場所へ搬送される。

【0020】

次に、階間搬送装置１（物品搬送装置）の構成について詳細に説明する。

【0021】

図２～図４に示すように、階間搬送装置１は、上下方向Ｖに沿う搬送経路Ｒに沿って設置された案内レール１０と、案内レール１０に沿って昇降する昇降ユニット２０と、昇降ユニット２０に支持されると共に、案内レール１０に対して水平方向に離間して配置された移載対象部Ｔとの間で物品４を移載する移載装置３０と、を備えている。

【0022】

本実施形態では、保持部９０、第１入出搬送装置８１の第１内側受渡部８１２、及び、第２入出搬送装置８２の第２内側受渡部８２２が、移載対象部Ｔとされる。また、移載対象部Ｔには、第１対象物品４１が載置される第１載置部Ｔ１と、第２対象物品４２が載置される第２載置部Ｔ２と、が含まれる。本実施形態では、保持部９０及び第１内側受渡部８１２に、第１対象物品４１が載置される第１載置部Ｔ１が設けられ、第２内側受渡部８２２に、第２対象物品４２が載置される第２載置部Ｔ２が設けられている。図３に示すように、本実施形態では、第１入出搬送装置８１は、それぞれが第１対象物品４１を搬送する上下２段の一対の搬送部８１０を備えている。従って、第１内側受渡部８１２に対応する移載対象部Ｔには、それぞれ第１対象物品４１が載置される上下２段の一対の第１載置部Ｔ１が設けられている。そして、これら一対の第１載置部Ｔ１が、平面視で重複すると共に、上下方向Ｖに離間して配置されている。移載装置３０は、後述する上側移載部３１と下側移載部３２とによって、上記一対の第１載置部Ｔ１に対して同時に或いは異なるタイミングであっても期間を互いに重複させて移載することが可能となっている。なお、図２及び図３では、移載装置３０が、移載対象部Ｔとしての第１内側受渡部８１２との間で第１対象物品４１の移載を行っている様子を示している。

【0023】

案内レール１０は、上下方向Ｖに沿って複数階に亘って配置されている。移載装置３０を支持する昇降ユニット２０は、このような案内レール１０に沿って昇降可能となっている。これにより、階間搬送装置１は、複数階に亘って物品４を搬送することが可能となっている。

【0024】

本実施形態では、昇降ユニット２０は、案内レール１０に支持された本体部２０ａを備えている。本体部２０ａは、案内レール１０の上下それぞれの両端部に設けられている一対のプーリ（図示せず）に巻回されたベルト２０ｂに連結されている。昇降ユニット２０は、昇降モータ（図示せず）により一方のプーリを駆動して従動的にベルト２０ｂを駆動することで、本体部２０ａを案内レール１０に沿って昇降させることが可能となっている。

【0025】

本実施形態では、昇降ユニット２０は、移載装置３０を支持する連結部Ｌを備えている。本例では、連結部Ｌは、本体部２０ａと移載装置３０とを連結している。図示の例では、連結部Ｌは、上側連結部２１Ｌと、上側連結部２１Ｌよりも下方に設けられた下側連結部２２Ｌと、を備えている。

【0026】

移載装置３０は、昇降ユニット２０に支持された上側移載部３１、及び、上側移載部３１の下側に配置され、上側移載部３１と同一の昇降ユニット２０に支持された下側移載部３２と、を備えている。本実施形態では、上側移載部３１は、上側連結部２１Ｌによって本体部２０ａに連結されることで、昇降ユニット２０に支持されている。そして、下側移載部３２は、下側連結部２２Ｌによって本体部２０ａに連結されることで、昇降ユニット２０に支持されている。

【0027】

上側移載部３１は、第１対象物品４１を支持する上側支持部３１Ｓと、上側支持部３１Ｓを基準位置Ｐ１と基準位置Ｐ１よりも移載対象部Ｔの側に突出させた突出位置Ｐ２との間で出退させる上側出退駆動部３１Ａと、を備えている。本実施形態では、上側移載部３１は、上側支持部３１Ｓを上下方向Ｖに沿う軸心周りに旋回させる上側旋回駆動部３１Ｂを更に備えている。また本例では、上側移載部３１は、更に、第１対象物品４１を移載する際に上側支持部３１Ｓを上下方向Ｖに駆動する上側移載駆動部３１Ｓｍを備えている。

【0028】

本実施形態では、上側支持部３１Ｓは、上側出退駆動部３１Ａに支持されており、より詳細には、上側出退駆動部３１Ａによって上方から支持されている。本例では、上側支持部３１Ｓは、上側移載駆動部３１Ｓｍを介して上側出退駆動部３１Ａに支持されている。また、上側支持部３１Ｓは、上側移載駆動部３１Ｓｍから水平方向に突出すると共に、下方から第１対象物品４１を支持する板状部材により構成されている。そして、上側支持部３１Ｓは、上側移載駆動部３１Ｓｍにより駆動されて上下方向Ｖに移動することにより、第１載置部Ｔ１（移載対象部Ｔ）に載置された第１対象物品４１を受け取り、或いは、自らが支持している第１対象物品４１を第１載置部Ｔ１（移載対象部Ｔ）に引き渡す。具体的には、図５に示すように、第１載置部Ｔ１には、上側支持部３１Ｓが上下方向Ｖに通過可能な切欠き部Ｔ１ａが形成されており、上側支持部３１Ｓは、この切欠き部Ｔ１ａを上下方向Ｖに通過することで、第１載置部Ｔ１との間で第１対象物品４１の受け渡しを行う。また、第１載置部Ｔ１の切欠き部Ｔ１ａは、後述する下側支持部３２Ｓも上下方向Ｖに通過可能となっており、下側支持部３２Ｓについても同様に、この切欠き部Ｔ１ａを上下方向Ｖに通過することで、第１載置部Ｔ１との間で第１対象物品４１の受け渡しを行う。なお、図５では、第１内側受渡部８１２の第１載置部Ｔ１を例示しているが、保持部９０に設けられた第１載置部Ｔ１（移載対象部Ｔ）においても、上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓは、Ｕ字状を成す支持部材９１の開口部を上下方向Ｖに通過することで、保持部９０との間で第１対象物品４１の受け渡しを行う。

【0029】

本実施形態では、上側移載駆動部３１Ｓｍは、上側支持部３１Ｓを上下方向Ｖに駆動するための各種機構や駆動源となるモータ等を備えており、図示の例では、これらがケース部材に収容されている。

【0030】

本実施形態では、上側移載部３１は、上側支持部３１Ｓによって第１対象物品４１を支持した状態で、当該第１対象物品４１が上側支持部３１Ｓから脱落することを規制する上側規制体３１Ｒを備えている。上側規制体３１Ｒは、上側支持部３１Ｓが第１対象物品４１を支持した状態で、当該第１対象物品４１に対して上方に配置される。本例では、上側規制体３１Ｒは、上側移載駆動部３１Ｓｍの上部から水平方向に、より詳細には上側支持部３１Ｓと同じ方向に突出するように形成されている。上側支持部３１Ｓが上側移載駆動部３１Ｓｍに駆動されて上下動する際には、上側規制体３１Ｒも共に上下動する。すなわち、上側支持部３１Ｓと上側規制体３１Ｒとは、上下方向Ｖの位置関係が固定されており、上側支持部３１Ｓと上側規制体３１Ｒとの上下方向Ｖの離間距離は常に一定となっている。上側支持部３１Ｓと上側規制体３１Ｒとの上下方向Ｖの離間距離は、第１対象物品４１の上下方向Ｖの寸法よりも長く設定されている。

【0031】

本実施形態では、上側出退駆動部３１Ａは、上側旋回駆動部３１Ｂに支持されており、より詳細には、上側旋回駆動部３１Ｂによって上方から支持されている。

【0032】

本実施形態では、上側出退駆動部３１Ａは、水平多関節アーム（いわゆるSCARA；Selective Compliance Assembly Robot Arm）を用いて構成されている。具体的には、上側出退駆動部３１Ａは、複数のリンクを有する上側リンク機構３１Ａａと、上側リンク機構３１Ａａを駆動する上側出退モータ（図示せず）と、を備えている。そして、上側リンク機構３１Ａａは、上側出退モータにより駆動されて、各リンクが鉛直軸周りに旋回することで、水平方向に伸縮動作するように構成されている。上側リンク機構３１Ａａは、その基端部において上側旋回駆動部３１Ｂに連結されていると共に、その先端部において上側支持部３１Ｓに連結されている。これにより、上側リンク機構３１Ａａは、上側出退モータにより駆動されて伸縮動作することにより、基準位置Ｐ１と突出位置Ｐ２との間で、上側支持部３１Ｓを水平方向に出退させるように構成されている。

【0033】

本実施形態では、上側旋回駆動部３１Ｂは、上側連結部２１Ｌを介して昇降ユニット２０に支持されている。図示の例では、上側旋回駆動部３１Ｂは、上側連結部２１Ｌに設けられた上側ケース部３１Ｃの内部に収容されている。

【0034】

本実施形態では、上側旋回駆動部３１Ｂは、上側旋回台３１Ｂａと、上側旋回台３１Ｂａを駆動する上側旋回モータ（図示せず）と、を備えている。そして、上側旋回台３１Ｂａは、上側旋回モータにより駆動されて旋回動作するように構成されている。上側旋回台３１Ｂａは、上側旋回モータにより駆動されて旋回動作することにより、上側出退駆動部３１Ａとこれに支持された上側支持部３１Ｓとを上下方向Ｖに沿う軸心周りに旋回させる。これにより、上側出退駆動部３１Ａに駆動されて出退する上側支持部３１Ｓの出退方向を変更可能となっており、ひいては、上側移載部３１（移載装置３０）に対して上下方向Ｖに沿う軸心周りの複数方向に分かれて配置された複数の移載対象部Ｔとの間で第１対象物品４１を移載可能となっている。

【0035】

下側移載部３２は、第１対象物品４１を支持する下側支持部３２Ｓと、下側支持部３２Ｓを基準位置Ｐ１と基準位置Ｐ１よりも移載対象部Ｔの側に突出させた突出位置Ｐ２との間で出退させる下側出退駆動部３２Ａと、を備えている。本実施形態では、下側移載部３２は、下側支持部３２Ｓを上下方向Ｖに沿う軸心周りに旋回させる下側旋回駆動部３２Ｂを更に備えている。また本例では、下側移載部３２は、更に、第１対象物品４１を移載する際に下側支持部３２Ｓを上下方向Ｖに駆動する下側移載駆動部３２Ｓｍを備えている。

【0036】

本実施形態では、下側支持部３２Ｓは、下側出退駆動部３２Ａに支持されており、より詳細には、下側出退駆動部３２Ａによって下方から支持されている。本例では、下側支持部３２Ｓは、下側移載駆動部３２Ｓｍを介して、下側出退駆動部３２Ａに支持されている。また、下側支持部３２Ｓは、下側移載駆動部３２Ｓｍから水平方向に突出すると共に、下方から第１対象物品４１を支持する板状部材により構成されている。そして、下側支持部３２Ｓは、下側移載駆動部３２Ｓｍにより駆動されて上下方向Ｖに移動することにより、第１載置部Ｔ１（移載対象部Ｔ）に載置された第１対象物品４１を受け取り、或いは、自らが支持している第１対象物品４１を第１載置部Ｔ１（移載対象部Ｔ）に引き渡す。なお、上述のように、下側支持部３２Ｓは、保持部９０との間でも第１対象物品４１の受け渡しを行う。

【0037】

本実施形態では、下側移載駆動部３２Ｓｍは、下側支持部３２Ｓを上下方向Ｖに駆動するための各種機構や駆動源となるモータ等を備えており、図示の例では、これらがケース部材に収容されている。

【0038】

本実施形態では、下側移載部３２は、下側支持部３２Ｓによって第１対象物品４１を支持した状態で、当該第１対象物品４１が下側支持部３２Ｓから脱落することを規制する下側規制体３２Ｒを備えている。下側規制体３２Ｒは、下側支持部３２Ｓが第１対象物品４１を支持した状態で、当該第１対象物品４１に対して上方に配置される。本例では、下側規制体３２Ｒは、下側移載駆動部３２Ｓｍの上部から水平方向に、より詳細には下側支持部３２Ｓと同じ方向に突出するように形成されている。下側支持部３２Ｓが下側移載駆動部３２Ｓｍに駆動されて上下動する際には、下側規制体３２Ｒも共に上下動する。すなわち、下側支持部３２Ｓｂと下側規制体３２Ｒとは、上下方向Ｖの位置関係が固定されており、下側支持部３２Ｓと下側規制体３２Ｒとの上下方向Ｖの離間距離は常に一定となっている。下側支持部３２Ｓと下側規制体３２Ｒとの上下方向Ｖの離間距離は、第１対象物品４１の上下方向Ｖの寸法よりも長く設定されている。

【0039】

本実施形態では、下側出退駆動部３２Ａは、下側旋回駆動部３２Ｂに支持されており、より詳細には、下側旋回駆動部３２Ｂによって下方から支持されている。

【0040】

本実施形態では、下側出退駆動部３２Ａは、水平多関節アームを用いて構成されている。具体的には、下側出退駆動部３２Ａは、複数のリンクを有する下側リンク機構３２Ａａと、下側リンク機構３２Ａａを駆動する下側出退モータ（図示せず）と、を備えている。そして、下側リンク機構３２Ａａは、下側出退モータにより駆動されて、各リンクが鉛直軸周りに旋回することで、水平方向に伸縮動作するように構成されている。下側リンク機構３２Ａａは、その基端部において下側旋回駆動部３２Ｂに連結されていると共に、その先端部において下側支持部３２Ｓに連結されている。これにより、下側リンク機構３２Ａａは、下側出退モータにより駆動されて伸縮動作することにより、基準位置Ｐ１と突出位置Ｐ２との間で、下側支持部３２Ｓを水平方向に出退させるように構成されている。

【0041】

本実施形態では、下側旋回駆動部３２Ｂは、下側連結部２２Ｌを介して昇降ユニット２０に支持されている。図示の例では、下側旋回駆動部３２Ｂは、下側連結部２２Ｌに設けられた下側ケース部３２Ｃの内部に収容されている。

【0042】

本実施形態では、下側旋回駆動部３２Ｂは、下側旋回台３２Ｂａと、下側旋回台３２Ｂａを駆動する下側旋回モータ（図示せず）と、を備えている。そして、下側旋回台３２Ｂａは、下側旋回モータにより駆動されて旋回動作するように構成されている。下側旋回台３２Ｂａは、下側旋回モータにより駆動されて旋回動作することにより、下側出退駆動部３２Ａとこれに支持された下側支持部３２Ｓとを上下方向Ｖに沿う軸心周りに旋回させる。これにより、下側出退駆動部３２Ａに駆動されて出退する下側支持部３２Ｓの出退方向を変更可能となっており、ひいては、下側移載部３２（移載装置３０）に対して上下方向Ｖに沿う軸心周りの複数方向に分かれて配置された複数の移載対象部Ｔとの間で第１対象物品４１を移載可能となっている。

【0043】

このように、上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとは、同一の昇降ユニット２０により支持されると共に、それぞれ別の駆動部により駆動されて水平方向に出退するように構成されている。本実施形態では、上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとの上下方向Ｖの離間距離は、第１内側受渡部８１２（移載対象部Ｔ）に設けられた上下一対の第１載置部Ｔ１の上下方向Ｖの離間距離と同等となっている。すなわち、上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとの上下方向Ｖの離間距離が、一対の第１載置部Ｔ１の上下方向Ｖの離間距離と同等となっている。これにより、移載装置３０は、それぞれ別々に駆動される上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとを用いて、一対の第１載置部Ｔ１に対して同時に第１対象物品４１を移載可能となっている。なお、詳細な図示は省略するが、本例では、上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとの上下方向Ｖの離間距離は、上下方向Ｖに並んで配置される一対の保持部９０の上下方向Ｖの離間距離とも同等とされている。従って、移載装置３０は、上下方向Ｖに並んで配置される一対の保持部９０に対しても、同時に或いは異なるタイミングであっても期間を互いに重複させて第１対象物品４１を移載可能となっている。

【0044】

以上のように、この階間搬送装置１では、上側出退駆動部３１Ａが上側支持部３１Ｓよりも上方に配置されると共に、下側出退駆動部３２Ａが下側支持部３２Ｓよりも下方に配置されている。そして、図４に示すように、上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとの上下方向Ｖの間に、第２対象物品４２を支持する中間支持部３３Ｓが配置されている。すなわち、上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとの上下方向Ｖの間に、上側出退駆動部３１Ａ及び下側出退駆動部３２Ａの双方が配置されておらず、これにより生じているスペースに、第２対象物品４２を支持するための中間支持部３３Ｓを配置している。そのため、中間支持部３３Ｓを設けたことによる昇降ユニット２０の大型化を最小限に抑えつつ、中間支持部３３Ｓを用いて、第２対象物品４２の搬送、及び、第２内側受渡部８２２に設けられた第２載置部Ｔ２（図２参照）に対する第２対象物品４２の移載が可能となっている。本実施形態では、中間支持部３３Ｓは、上側支持部３１Ｓと一体的に出退するように連結されている。すなわち、中間支持部３３Ｓは、上側支持部３１Ｓを出退駆動するための上側出退駆動部３１Ａによって、上側支持部３１Ｓと共に水平方向に出退するように構成されている。これにより、中間支持部３３Ｓの専用の移載部或いは出退駆動部を備える必要がなく、昇降ユニット２０の大型化を抑制することができている。

【0045】

図３及び図４に示すように、中間支持部３３Ｓは、上側支持部３１Ｓよりも下方であって下側移載部３２における下側支持部３２Ｓと一体的に出退する部分の全体よりも上方に配置されている。図示の例では、下側規制体３２Ｒが、下側移載部３２における下側支持部３２Ｓと一体的に出退する部分の上端部分となっており、中間支持部３３Ｓは、この下側規制体３２Ｒよりも上方に配置されている。すなわち本例では、中間支持部３３Ｓは、上側支持部３１Ｓと下側規制体３２Ｒとの上下方向Ｖの間に配置されている。

【0046】

ここで、上述のように、第１内側受渡部８１２の第１載置部Ｔ１（移載対象部Ｔ）には切欠き部Ｔ１ａが形成されており（図５参照）、上側支持部３１Ｓは、この切欠き部Ｔ１ａを上下方向Ｖに通過することで、第１載置部Ｔ１との間で第１対象物品４１の受け渡しを行う。上側支持部３１Ｓが第１載置部Ｔ１から第１対象物品４１を受け取る場合、又は、第１載置部Ｔ１へ第１対象物品４１を引き渡す場合のいずれにおいても、上側支持部３１Ｓは、切欠き部Ｔ１ａを上下方向Ｖに通過する途中で一時的に第１載置部Ｔ１よりも下方に配置されることになる。上述のように、上側支持部３１Ｓの下方には中間支持部３３Ｓが設けられているため、第１載置部Ｔ１よりも下方において中間支持部３３Ｓが他の部材や装置と干渉しないようにする必要がある。本実施形態では、第１載置部Ｔ１の下方には、上側支持部３１Ｓと中間支持部３３Ｓとの双方が挿入可能な空間Ｓが設けられている。このため、上側支持部３１Ｓの下方に中間支持部３３Ｓが設けられていても、上側支持部３１Ｓが切欠き部Ｔ１ａを上下方向Ｖに通過する途中において、第１載置部Ｔ１よりも下方において中間支持部３３Ｓが他の部材や装置と干渉しないようにすることができる。

【0047】

本実施形態では、第１入出搬送装置８１が備える一対の搬送部８１０のそれぞれはベルトコンベヤにより構成されている。搬送部８１０の延在方向に対して平面視で直交する方向を幅方向として、幅方向に離間して一対の搬送ベルト８１０ａが配置されている（図５参照）。この一対の搬送ベルト８１０ａが、第１対象物品４１が載置される第１載置部Ｔ１であり、一対の搬送ベルト８１０ａにおける幅方向の間の部分が、切欠き部Ｔ１ａとなっている。図３及び図４に示すように、一対の搬送ベルト８１０ａは、ケース状に形成された搬送ケース部８１０ｂに支持されている。搬送ケース部８１０ｂには、搬送部８１０を駆動する搬送駆動部８１０ｍや当該搬送駆動部８１０ｍを制御する搬送制御装置８１０ｃが収容されている。本実施形態では、上側支持部３１Ｓと中間支持部３３Ｓとの双方が挿入可能な空間Ｓは、搬送ケース部８１０ｂにおける、第１載置部Ｔ１としての搬送ベルト８１０ａと搬送駆動部８１０ｍとの上下方向Ｖの間に形成されている。従って、第１載置部Ｔ１としての搬送ベルト８１０ａの上面と搬送駆動部８１０ｍの上面との上下方向Ｖの離間距離は、上側支持部３１Ｓが移載動作中における下降位置にある状態での搬送ベルト８１０ａの上面と中間支持部３３Ｓの下面との上下方向Ｖの離間距離よりも大きく設定されている。これにより、切欠き部Ｔ１ａを上下方向Ｖに通過するように上側支持部３１Ｓを移動させて、第１載置部Ｔ１に対して第１対象物品４１の移載を行う場合に、上側支持部３１Ｓと共に移動する中間支持部３３Ｓが、第１載置部Ｔ１よりも下方において搬送駆動部８１０ｍに干渉しないようにすることができる。すなわち、中間支持部３３Ｓが、第１対象物品４１を移載する場合の移載動作の妨げとならないようにできる。

【0048】

次に、各支持部（３１Ｓ，３２Ｓ，３３Ｓ）による物品４の支持構造について説明する。なお、以下において「出退方向Ｘ」とは、各支持部（３１Ｓ，３２Ｓ，３３Ｓ）それぞれが出退する方向を指す。また、「幅方向Ｙ」とは、出退方向Ｘに対して平面視で直交する方向を指す。

【0049】

まず、上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓによる第１対象物品４１の支持構造について説明する。本実施形態では、上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとは、互いに同じ構造となっており、いずれも第１対象物品４１（本例ではＦＯＵＰ）を支持対象としている。図６に示すように、上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓのそれぞれは、水平方向に沿う板状部材により構成され、第１対象物品４１を下方から支持するように構成されている。図５に示すように、上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓのそれぞれの幅方向Ｙの寸法は、第１対象物品４１の幅方向Ｙの寸法よりも小さくなっている。そのため、第１対象物品４１は、上側支持部３１Ｓ又は下側支持部３２Ｓに支持された状態で幅方向Ｙの両側に張り出すようになっている。一方、第１内側受渡部８１２において第１載置部Ｔ１を構成する一対の搬送ベルト８１０ａは、幅方向Ｙにおける互いの離間距離が、上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓのそれぞれの幅方向Ｙの寸法よりも大きく、且つ、第１対象物品４１の幅方向Ｙの寸法よりも小さくなるように配置されている。これにより、第１載置部Ｔ１としての一対の搬送ベルト８１０ａは、幅方向Ｙにおける互いの間に上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓのそれぞれが上下方向Ｖに通過可能な切欠き部Ｔ１ａを形成しつつ、第１対象物品４１を下方から支持可能に構成されている。

【0050】

図５及び図６に示すように、本実施形態では、上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓのそれぞれは、その上面から上方に突出する係合凸部３１Ｓａ，３２Ｓａを備えている。図５に示す例では、３つの係合凸部３１Ｓａ，３２Ｓａが、上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓのそれぞれにおける上面に形成されている。３つの係合凸部３１Ｓａ，３２Ｓａは、平面視において、互いを結ぶ線が三角形を成すように配置されており、それぞれが当該三角形の頂点に位置するように配置されている。上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓのそれぞれは、係合凸部３１Ｓａ，３２Ｓａによって第１対象物品４１を支持するように構成されている。そして本例では、係合凸部３１Ｓａ，３２Ｓａは、第１対象物品４１を支持した状態において、当該第１対象物品４１を水平方向に位置決めする機能を有している。

【0051】

上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓによる支持の対象となる第１対象物品４１は、底部に設けられた第１被支持部４１１が支持されることによって全体が上側支持部３１Ｓ又は下側支持部３２Ｓよりも上方に位置する状態で支持される。より具体的には、第１対象物品４１は、上側支持部３１Ｓの大部分を構成する板状部材の上面、又は、下側支持部３２Ｓの大部分を構成する板状部材の上面よりも上方に位置する状態で支持される。本実施形態では、第１対象物品４１は、第１本体部４１０と、第１本体部４１０の底面から上方に向けて凹むと共に係合凸部３１Ｓａ，３２Ｓａが係合可能な被係合凹部４１１ａを備えている。上述のように本例では、第１対象物品４１は、ＦＯＵＰとして構成されており、第１本体部４１０によって半導体基板を収容する。また、第１対象物品４１は、第１本体部４１０よりも上方に配置されていると共に前記出退方向に沿うように形成されたフランジ状の被把持部４１２を備えている。例えば、第１対象物品４１は、物品搬送設備Ｆ内において天井搬送装置６（図１参照）によって搬送される際には、当該天井搬送装置６によって被把持部４１２が把持された状態で搬送される。本実施形態では、３つの被係合凹部４１１ａが、第１本体部４１０の底面に形成されている。そして、３つの被係合凹部４１１ａが、上側支持部３１Ｓ又は下側支持部３２Ｓにおける３つの係合凸部３１Ｓａ，３２Ｓａに係合されることで、第１対象物品４１が上側支持部３１Ｓ又は下側支持部３２Ｓに支持された状態となる。すなわち本実施形態では、被係合凹部４１１ａが、上側支持部３１Ｓ又は下側支持部３２Ｓに支持される第１被支持部４１１とされている。

【0052】

次に、図７～図９を参照して、中間支持部３３Ｓによる第２対象物品４２の支持構造について説明する。中間支持部３３Ｓは、第２対象物品４２（本例ではレチクルポッド）を支持対象としている。中間支持部３３Ｓは、第２対象物品４２の上部を支持するように構成されている。

【0053】

本実施形態では、中間支持部３３Ｓは、中間支持部３３Ｓが出退する出退方向Ｘに沿って延在する一対の延在部３３ａと、出退方向Ｘの基端側において一対の延在部３３ａを連結する連結基部３３ｂと、を備えている。図９に示すように、中間支持部３３Ｓには、出退方向Ｘの先端側及び上下方向Ｖに開口する開口部３３ｃが形成されている。開口部３３ｃにおける幅方向Ｙの両側に、一対の延在部３３ａが配置されている。本実施形態では、一対の延在部３３ａのそれぞれにおける幅方向Ｙの内側（開口部３３ｃ側）には、第２対象物品４２に設けられた第２被支持部４２１を下方から支持する支持面３３ｄと、支持面３３ｄと延在部３３ａとを連結すると共に、幅方向Ｙの外側に向かうに従って上方に傾斜する傾斜面３３ｅと、が設けられている。図８に示すように、本例では、傾斜面３３ｅは、支持面３３ｄに支持された状態の第２対象物品４２の第２被支持部４２１（フランジ部４２１ａ）を囲むように形成されている。すなわち、傾斜面３３ｅは、第２対象物品４２の第２被支持部４２１に対して幅方向Ｙの両外側に加えて、当該第２被支持部４２１の幅方向Ｙの両側縁部における出退方向Ｘの両外側にも設けられている。これにより、傾斜面３３ｅは、第２対象物品４２の第２被支持部４２１を支持面３３ｄに案内する案内部として機能する。また、傾斜面３３ｅは、第２被支持部４２１が支持面３３ｄに支持された状態において、当該第２被支持部４２１を水平方向に位置決めする位置決め部として機能する。

【0054】

図７～図９に示すように、本実施形態では、中間支持部３３Ｓには、第２対象物品４２の落下を規制する落下規制体３４が設けられている。落下規制体３４は、中間支持部３３Ｓに対して上方から重ねられるようにして設けられている。落下規制体３４は、一対の支持面３３ｄのそれぞれに対して上方に離間した位置に配置される一対の規制部３４ａを備えている。一対の規制部３４ａは、それぞれが対応する延在部３３ａの支持面３３ｄに対して平面視で重複するように配置されている。これにより、一対の規制部３４ａのそれぞれは、第２対象物品４２の第２被支持部４２１が支持面３３ｄに支持された状態で、当該第２被支持部４２１の一部、詳細には、第２被支持部４２１における幅方向Ｙの両側縁部と平面視で重複する位置に配置される。これにより、支持面３３ｄによって支持された第２被支持部４２１が、例えば振動等によって上下に動いた場合であっても、規制部３４ａが第２被支持部４２１に対して上方から接触することによって、第２被支持部４２１が支持面３３ｄから脱落することを規制できる。このように、落下規制体３４を備えたことにより、中間支持部３３Ｓから第２対象物品４２が落下することを規制することができる。また、図７に示すように、一対の規制部３４ａは、一対の延在部３３ａのそれぞれに対して上方に離間した位置に配置されている。第２対象物品４２を移載する際には、第２被支持部４２１（フランジ部４２１ａ）を、一対の延在部３３ａと一対の規制部３４ａとの上下方向Ｖの間で水平方向に移動させることで、移載中に第２被支持部４２１と規制部３４ａとが接触しないようにできる。すなわち、落下規制体３４が移載動作の妨げとならないようにできる。

【0055】

図７に示すように、中間支持部３３Ｓによる支持の対象となる第２対象物品４２は、上部に設けられた第２被支持部４２１が支持されることによって中間支持部３３Ｓよりも下方に位置する部分を有する状態で支持される。本実施形態では、第２対象物品４２は、第２本体部４２０と、第２本体部４２０よりも上方に配置されていると共に出退方向Ｘに沿うように形成され、中間支持部３３Ｓにおける一対の延在部３３ａによって係止されるフランジ部４２１ａと、第２本体部４２０とフランジ部４２１ａとを連結する柱状の連結柱部４２２と、を備えている。上述のように本例では、第２対象物品４２は、レチクルポッドとして構成されており、第２本体部４２０にレチクルが収容される。連結柱部４２２は、平面視での面積がフランジ部４２１ａよりも小さく形成され、且つ、平面視で連結柱部４２２の全体がフランジ部４２１ａの外縁よりも内側に配置されている。また、連結柱部４２２の幅方向Ｙの寸法は、中間支持部３３Ｓの開口部３３ｃの幅方向Ｙの寸法よりも小さい。これにより、第２対象物品４２を移載する際には、開口部３３ｃの幅方向Ｙの両外側に配置された一対の支持面３３ｄを、連結柱部４２２における幅方向Ｙの外側を通して移動させることができ、支持面３３ｄとフランジ部４２１ａの幅方向Ｙの両側縁部とを上下方向Ｖに対向させることができる。

【0056】

本実施形態では、フランジ部４２１ａが支持面３３ｄによって下方から支持されることによって、第２対象物品４２が中間支持部３３Ｓに支持される。フランジ部４２１ａは、連結柱部４２２の上端に連結されており、連結柱部４２２から水平方向に沿って突出するように形成されている。フランジ部４２１ａの幅方向Ｙの寸法は、一対の支持面３３ｄの幅方向Ｙの離間距離よりも大きく、一対の傾斜面３３ｅの幅方向Ｙの離間距離よりも小さい。従って、中間支持部３３Ｓにおける一対の支持面３３ｄによって、フランジ部４２１ａを下方から支持可能となっている。支持面３３ｄによってフランジ部４２１ａを支持する前段階において、支持面３３ｄの上方でフランジ部４２１ａの位置が支持面３３ｄに対して水平方向にずれていた場合であっても、支持面３３ｄとフランジ部４２１ａとの接近に伴い、フランジ部４２１ａは傾斜面３３ｅに接触し、当該傾斜面３３ｅによって支持面３３ｄへと案内される。このように、フランジ部４２１ａが支持面３３ｄによって下方から支持されることで、第２対象物品４２が中間支持部３３Ｓによって支持される。すなわち本実施形態では、フランジ部４２１ａが、第２被支持部４２１とされる。

【0057】

以上のように、本開示に係る階間搬送装置１（物品搬送装置）によれば、第１対象物品４１を支持する上側支持部３１Ｓ及び下側支持部３２Ｓに加えて、第２対象物品４２を支持する中間支持部３３Ｓを備えているため、第１対象物品４１と第２対象物品４２との２種類の物品４を搬送することができる。上述のように、本実施形態では、上側支持部３１Ｓを備える上側移載部３１に、中間支持部３３Ｓが設けられている。これにより、上側移載部３１によって、第１対象物品４１と第２対象物品４２とのそれぞれを移載及び支持することが可能となっている。但し、本実施形態では、上側支持部３１Ｓが第１対象物品４１を支持した状態では、中間支持部３３Ｓによって第２対象物品４２を支持しないように構成されている。また反対に、中間支持部３３Ｓによって第２対象物品４２を支持した状態では、上側支持部３１Ｓによって第１対象物品４１を支持しないように構成されている。これにより、第１対象物品４１及び第２対象物品４２のそれぞれを、異なるタイミングで適切に搬送することができる。なお、下側支持部３２Ｓについては上記のような制約を受けない。すなわち、上側支持部３１Ｓによる第１対象物品４１の支持の有無、及び、中間支持部３３Ｓによる第２対象物品４２の支持の有無にかかわらず、下側支持部３２Ｓは第１対象物品４１を支持し、或いは第１対象物品４１支持しないことができる。

【0058】

〔その他の実施形態〕
次に、物品搬送装置のその他の実施形態について説明する。

【0059】

（１）上記の実施形態では、中間支持部３３Ｓが、上側支持部３１Ｓと一体的に出退するように連結されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、中間支持部３３Ｓは、下側支持部３２Ｓと一体的に出退するように連結されていても良い。この場合においても、中間支持部３３Ｓは、上側支持部３１Ｓと下側支持部３２Ｓとの上下方向Ｖの間に配置される。また、中間支持部３３Ｓは、上側移載部３１における上側支持部３１Ｓと一体的に出退する部分の全体よりも下方に配置される。この場合、例えば、中間支持部３３Ｓは、下側規制体３２Ｒに対して上方に隣接する位置に配置されていると良い。そして、中間支持部３３Ｓは、例えば、下側移載駆動部３２Ｓｍの上部や下側規制体３２Ｒに取り付けられた構成とすることができる。

【0060】

（２）上記の実施形態では、第２対象物品４２が、上部に設けられた第２被支持部４２１が支持されることによって中間支持部３３Ｓよりも下方に位置する部分を有する状態で支持される例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、第２対象物品４２の全体が、中間支持部３３Ｓよりも上方に位置する状態で中間支持部３３Ｓに支持される構成であっても良い。この場合、例えば、上側支持部３１Ｓ又は下側支持部３２Ｓと第１対象物品４１との関係と同様に、第２対象物品４２の底部に設けられた被支持部が中間支持部３３Ｓによって下方から支持されることによって、第２対象物品４２の全体が中間支持部３３Ｓよりも上方に位置する状態で支持される構成とすることができる。

【0061】

（３）上記の実施形態では、第１対象物品４１における被係合凹部４１１ａが、上側支持部３１Ｓ又は下側支持部３２Ｓに支持される第１被支持部４１１とされ、第２対象物品４２におけるフランジ部４２１ａが、中間支持部３３Ｓに支持される第２被支持部４２１とされている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、第１対象物品４１における被係合凹部４１１ａ以外の部分が第１被支持部４１１とされ、第２対象物品４２におけるフランジ部４２１ａ以外の部分が第２被支持部４２１とされても良い。

【0062】

（４）上記の実施形態では、第１内側受渡部８１２に対応する移載対象部Ｔに、上下一対の第１載置部Ｔ１が設けられている例について説明した。しかし、当該移載対象部Ｔには、１つ又は３つ以上の第１載置部Ｔ１が設けられていても良い。

【0063】

（５）上記の実施形態では、第１対象物品４１がＦＯＵＰとして構成され、第２対象物品４２がレチクルポッドとして構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、第１対象物品４１及び第２対象物品４２は、物品搬送設備Ｆ内において取り扱われる原材料、中間製品、或いは完成品等であっても良い。但し、その場合においても、第１対象物品４１と第２対象物品４２とは、互いに異なる形状の物品とされる。

【0064】

（６）上記の実施形態では、落下規制体３４が、中間支持部３３Ｓに設けられている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、中間支持部３３Ｓに落下規制体３４が設けられていなくても良い。

【0065】

（７）なお、上述した実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0066】

〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した物品搬送装置について説明する。

【0067】

物品を搬送する物品搬送装置であって、
上下方向に沿う搬送経路に沿って設置された案内レールと、
前記案内レールに沿って昇降する昇降ユニットと、
前記昇降ユニットに支持されると共に、前記案内レールに対して水平方向に離間して配置された移載対象部との間で前記物品を移載する移載装置と、を備え、
搬送の対象となる前記物品には、第１対象物品と、前記第１対象物品とは異なる形状の第２対象物品と、が含まれ、
前記移載装置は、前記昇降ユニットに支持された上側移載部、及び、前記上側移載部の下側に配置され、前記上側移載部と同一の前記昇降ユニットに支持された下側移載部と、を備え、
前記上側移載部は、前記第１対象物品を支持する上側支持部と、前記上側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記移載対象部の側に突出させた突出位置との間で出退させる上側出退駆動部と、を備え、
前記下側移載部は、前記第１対象物品を支持する下側支持部と、前記下側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記移載対象部の側に突出させた突出位置との間で出退させる下側出退駆動部と、を備え、
前記上側出退駆動部が前記上側支持部よりも上方に配置されると共に、前記下側出退駆動部が前記下側支持部よりも下方に配置され、
前記上側支持部と前記下側支持部との上下方向の間に、前記第２対象物品を支持する中間支持部が配置され、
前記中間支持部は、前記上側支持部と一体的に出退するように連結され、又は、前記下側支持部と一体的に出退するように連結されている。

【0068】

本構成によれば、第１対象物品を支持する上側支持部及び下側支持部に加えて、第２対象物品を支持する中間支持部を備えているため、第１対象物品と第２対象物品との２種類の物品を搬送することができる。また、上側移載部と下側移載部との双方に第１対象物品を支持する支持部が備えられており、第２対象物品を支持する中間支持部を設けたことによっても第１対象物品を支持する支持部の数が減少していないため、第１対象物品を２個同時に搬送することが可能となっている。そのため、第１対象物品の搬送数が第２対象物品の搬送数よりも多い場合でも、物品搬送装置の搬送効率が低下をすることを抑制できる。更に、中間支持部は、上側支持部又は下側支持部と一体的に出退するように連結されているため、中間支持部の専用の移載部或いは出退駆動部を備える必要がない。従って、昇降ユニットの大型化を抑制することができる。

【0069】

また、本構成によれば、上側支持部を出退させるための上側出退駆動部が、当該上側支持部よりも上方に配置されると共に、下側支持部を出退させるための下側出退駆動部が、当該下側支持部よりも下方に配置されている。そのため、上側支持部と下側支持部との上下方向の間に出退駆動部が配置されないようにすることができ、これにより生じたスペースを利用して、上側支持部と下側支持部との上下方向の間に、第２対象物品を支持するための中間支持部を配置することができる。そのため、中間支持部を設けたことによる昇降ユニットの大型化を最小限に抑えることができる。以上のように、本構成によれば、第１対象物品と第２対象物品との双方を搬送可能としつつ、第１対象物品の搬送数が第２対象物品の搬送数よりも多い場合に物品搬送装置の搬送効率が低下をすることを抑制でき、且つ、昇降ユニットの大型化も抑制することができる物品搬送装置が実現される。

【0070】

ここで、前記中間支持部は、前記上側支持部と一体的に出退するように連結されていると共に、前記上側支持部よりも下方であって前記下側移載部における前記下側支持部と一体的に出退する部分の全体よりも上方に配置されていると好適である。

【0071】

本構成によれば、中間支持部を上側出退駆動部によって出退させることができる。よって、中間支持部の専用の移載部或いは出退駆動部を備える必要がなく、昇降ユニットの大型化を抑制することができる。また、中間支持部が、上側支持部よりも下方であって下側移載部における下側支持部と一体的に出退する部分の全体よりも上方に配置されているため、上側支持部と下側支持部との上下方向の間のスペースを利用して中間支持部を配置しつつ、当該中間支持部が下側出退駆動部による下側支持部の出退の妨げとならないようにすることができる。

【0072】

また、前記中間支持部が、前記上側支持部と一体的に出退するように連結されている構成において、
前記移載対象部に、前記第１対象物品が載置される第１載置部が設けられ、
前記第１載置部には、前記上側支持部が上下方向に通過可能な切欠き部が形成され、
前記第１載置部の下方に、前記上側支持部と前記中間支持部との双方が挿入可能な空間が設けられていると好適である。

【0073】

本構成によれば、切欠き部を上下方向に通過するように上側支持部を移動させて、第１載置部に対して第１対象物品の移載を行う場合に、上側支持部と共に移動する中間支持部が、第１載置部よりも下方において移載動作の妨げとならないようにできる。

【0074】

また、前記第１対象物品は、底部に設けられた第１被支持部が支持されることによって全体が前記上側支持部又は前記下側支持部よりも上方に位置する状態で支持され、
前記第２対象物品は、上部に設けられた第２被支持部が支持されることによって前記中間支持部よりも下方に位置する部分を有する状態で支持されると好適である。

【0075】

本構成によれば、中間支持部に支持された第２対象物品が当該中間支持部よりも下方に位置する部分を有する状態で支持されるため、中間支持部に支持された第２対象物品が当該中間支持部よりも上方に位置する状態で支持される構成に比べて、上側支持部と、当該上側支持部よりも下方に配置される中間支持部とを上下方向に近づけて配置することができる。従って、中間支持部を設けたことによる昇降ユニットの大型化を更に抑制することができる。

【0076】

また、前記第１対象物品と前記第２対象物品とのそれぞれが、上記のような状態で支持される構成において、
前記上側支持部及び前記下側支持部のそれぞれは、その上面から上方に突出する係合凸部を備え、
前記中間支持部は、前記中間支持部が出退する出退方向に沿って延在する一対の延在部を備え、
前記第１対象物品は、第１本体部と、前記第１本体部の底面から上方に向けて凹むと共に前記係合凸部が係合可能な被係合凹部を備え、
前記第２対象物品は、第２本体部と、前記第２本体部よりも上方に配置されていると共に前記出退方向に沿うように形成され、一対の前記延在部によって係止されるフランジ部と、を備え、
前記被係合凹部が、前記第１被支持部であり、
前記フランジ部が、前記第２被支持部であると好適である。

【0077】

本構成によれば、第１本体部の底面から上方に向けて凹む被係合凹部を備えた第１対象物品を、上側支持部及び下側支持部のそれぞれによって適切に支持することができると共に、第２本体部よりも上方に配置されていると共に出退方向に沿うように形成されたフランジ部を備えた第２対象物品を、中間支持部によって適切に支持することができる。

【0078】

また、前記移載対象部に、それぞれ前記第１対象物品が載置される一対の第１載置部が設けられ、
一対の前記第１載置部が、平面視で重複すると共に、上下方向に離間して配置され、
前記上側支持部と前記下側支持部との上下方向の離間距離が、一対の前記第１載置部の上下方向の離間距離と同等であると好適である。

【0079】

本構成によれば、上側支持部と下側支持部との双方を用いて、一対の載置部のそれぞれに対して同時に第１対象物品を移載することができる。これにより、搬送効率の向上を図ることができる。

【産業上の利用可能性】

【0080】

本開示に係る技術は、物品を搬送する物品搬送装置に利用することができる。

【符号の説明】

【0081】

１ ：階間搬送装置（物品搬送装置）
４ ：物品
１０ ：案内レール
２０ ：昇降ユニット
３０ ：移載装置
３１ ：上側移載部
３１Ａ ：上側出退駆動部
３１Ｓ ：上側支持部
３１Ｓａ ：係合凸部
３２ ：下側移載部
３２Ａ ：下側出退駆動部
３２Ｓ ：下側支持部
３２Ｓａ ：係合凸部
３２Ｓｂ ：下側支持部
３３Ｓ ：中間支持部
３３ａ ：延在部
４１ ：第１対象物品
４２ ：第２対象物品
４１０ ：第１本体部
４１１ ：第１被支持部
４１１ａ ：被係合凹部
４２０ ：第２本体部
４２１ ：第２被支持部
４２１ａ ：フランジ部
Ｐ１ ：基準位置
Ｐ２ ：突出位置
Ｒ ：搬送経路
Ｓ ：空間
Ｔ ：移載対象部
Ｔ１ ：第１載置部
Ｔ１ａ ：切欠き部
Ｖ ：上下方向
Ｘ ：出退方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】