特許 7233154 ワイヤソー

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-02-24

(45)【発行日】2023-03-06

(54)【発明の名称】ワイヤソー

(51)【国際特許分類】

   B24B 27/06 20060101AFI20230227BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20230227BHJP

   B28D 7/04 20060101ALI20230227BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20230227BHJP

   B28D 5/04 20060101ALN20230227BHJP

   B28D 1/08 20060101ALN20230227BHJP

【ＦＩ】

B24B27/06 Z

B24B41/06 A

B28D7/04

H01L21/304 611W

B28D5/04 C

B28D1/08

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019068297

(22)【出願日】2019-03-29

(65)【公開番号】P2020163543

(43)【公開日】2020-10-08

【審査請求日】2022-02-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000152675

【氏名又は名称】コマツＮＴＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001807

【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 久雄

(72)【発明者】

【氏名】村井 史朗

(72)【発明者】

【氏名】河津 知之

(72)【発明者】

【氏名】中村 哲也

【審査官】大光 太朗

(56)【参考文献】

【文献】特開平０７－２７６１７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－３０８９１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１９９８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０５－０２９６５４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０００－１１７５８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第５２２２８５４（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ２８Ｄ ７／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２８Ｄ ５／０４

Ｂ２８Ｄ １／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、
前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、
前記ワーク送り機構は、前記ワークを取り付けるワーク治具と、
前記ワーク治具に設けられたリンクと、
前記リンクの一端側に回動自在に連結された第１アームと、
前記リンクの他端側に回動自在に連結された第２アームと、
前記第１アーム及び前記第２アームを回動させる駆動手段と、を備え、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、
前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている
ことを特徴とするワイヤソー。

【請求項2】

ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、
前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、
前記ワーク送り機構は、モータによって回転駆動される駆動歯車と、
前記駆動歯車の回転によって駆動される第１従動歯車及び第２従動歯車と、
前記第１従動歯車の回転によって回動される第１アームと、
前記第２従動歯車の回転によって回動される第２アームと、
前記第１アームの先端部と前記第２アームの先端部とを回動自在に連結したリンクと、
前記リンクに設けられ、前記ワークを取り付けるワーク治具と、を備え、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、
前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている
ことを特徴とするワイヤソー。

【請求項3】

前記リンクは、常に垂直状態に配置され、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、平行四辺形の平行クランク機構を形成するように配置されて、
前記ワーク治具は、常に前記リンクの下側または上側に垂直状態に配置されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤソー。

【請求項4】

前記第１従動歯車と前記第２従動歯車とは、それぞれ前記駆動歯車に噛合されると共に、互いに上下方向に離間して配置されている
ことを特徴とする請求項２に記載のワイヤソー。

【請求項5】

前記第１アームと前記第２アームとは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成り、
左右一対の前記第１アームは、左右一対の前記第２アームの軸方向内側に配置されている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のワイヤソー。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワーク送り機構を備えたワイヤソーに関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、半導体材料や磁性材料等のワークをワイヤで切断するワイヤソーは、ワークの加工が行われる加工位置と、ワークの着脱が行われるワーク交換位置と、にワークを送るワーク送り機構（ワーク支持装置）を備えている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１に記載のワイヤソーのワーク支持装置では、機台に設けられた回転駆動手段と、回転駆動手段によって回動するスイングアームと、スイングアームの先端に設置されてワークを保持するワークホルダと、を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開平７－２３７１０９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、特許文献１に記載のワイヤソーのワーク支持装置では、スイングアームによってワークを移動させると、ワークの姿勢が、取り付け位置・取り外し位置のときの姿勢と、切断位置のときの姿勢と、で大きく（１８０°）変化する。このため、ワーク（ウエハ）は、切断後に取り付け位置・取り外し位置へ移動中に、割れることがあった。

【0006】

そこで、本発明は、前記した問題点を解決して、ワークを加工位置とワーク交換位置とに移動させた際に、ワークの姿勢を変化させずに割れないように移動させることができるワイヤソーを提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記課題を解決するため、本発明は、ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、前記ワーク送り機構は、前記ワークを取り付けるワーク治具と、前記ワーク治具に設けられたリンクと、前記リンクの一端側に回動自在に連結された第１アームと、前記リンクの他端側に回動自在に連結された第２アームと、前記第１アーム及び前記第２アームを回動させる駆動手段と、を備え、前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることを特徴とする。

【0008】

また、本発明は、ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、前記ワーク送り機構は、モータによって回転駆動される駆動歯車と、前記駆動歯車の回転によって駆動される第１従動歯車及び第２従動歯車と、前記第１従動歯車の回転によって回動される第１アームと、前記第２従動歯車の回転によって回動される第２アームと、前記第１アームの先端部と前記第２アームの先端部とを回動自在に連結したリンクと、前記リンクに設けられ、前記ワークを取り付けるワーク治具と、を備え、前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

本発明は、ワークを加工位置とワーク交換位置とに移動させた際に、ワークの姿勢を変化させずに割れないように移動させることができるワイヤソーを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す図であり、（ａ）はワークをワーク交換位置に配置したときの状態を示す要部概略斜視図、（ｂ）は、ワークをワーク加工位置に配置するときの状態を示す要部概略斜視図である。

【図2】ワーク送り機構を示す要部概略拡大側面図である。

【図3】ワーク送り機構を示す要部概略拡大正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明の実施形態に係るワイヤソーを図１～図３を参照して説明する。
本実施形態において、図１に示す仮置台１１がある方向を前（Ｆ）、仮置台１１の後方向を後（Ｂ）、鉛直上方側を上（Ｕ）、鉛直下方側を下（Ｄ）、図面左方向を左（Ｌ）、図面右方向を右（Ｒ）として適宜説明する。

【0012】

まず、ワイヤソー１を説明する前に、ワイヤソー１に使用されるワークＷについて説明する。
また、ワイヤソー１は、図３に示すように、略左右対称に形成されているため、適宜その一方を説明して他方の説明を省略する。

【0013】

＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置３（図２参照）のワイヤ３３に押し当てることで切削して切断される。

【0014】

＜ワイヤソー＞
図２に示すワイヤソー１は、加工装置３のワイヤ３３によってワークＷを切断する切断装置である。図１に示すように、ワイヤソー１は、仮置台１１と、基台１２と、支持部１３と、クランプ装置２と、加工装置３と、ワーク送り機構４と、を主に備えて構成されている。

【0015】

＜仮置台＞
仮置台１１は、未加工のワークＷを載置面に直接触れないように仮置きしたり、加工完了後のワークＷを載置面に直接触れないように載置したりするための載置台である。仮置台１１は、ワイヤソー１の加工室外の前側に配置されている。

【0016】

＜クランプ装置＞
図３に示すように、クランプ装置２は、加工装置３でワークＷを加工する際に、加工室に搬入された未加工のワークＷをクランプするための保持機構である。つまり、クランプ装置２は、加工室外のワーク交換位置Ｐ２に搬送された未加工のワークＷをクランプしてから、そのワークＷを加工室の加工位置Ｐ１に搬入して加工装置３のワイヤ３３に押し当てて加工し、加工完了後のワークＷをワーク交換位置Ｐ２でアンクランプさせるまで、ワークＷを保持する。

【0017】

クランプ装置２は、複数のクランプ部材２５と、複数（例えば、４つ）のクランプ部材２５を保持したワーク保持部材２６と、備えている。

【0018】

ワークＷの上面には、ガラスプレート２１、金属プレート２２を介在して金属製のワーク治具２３が着脱可能にボルト締めされている。ワーク治具２３の上面には、複数の被クランプ部材（図示省略）が設けられている。

【0019】

ワーク治具２３は、ワークＷの上面に取り付けられて、ワークＷを上側から保持するための部材である。ワーク治具２３は、図２に示すように、ワーク送り機構４が前後方向に回動することによって、加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２との間を往復移動可能に配置されている。

【0020】

図３に示すように、ワーク保持部材２６は、加工用ローラ３１，３２（図２参照）間に掛装されたワイヤ３３の上方において、クランプ装置２の下端にボルト締めされて、ワーク送り機構４によって移動（昇降）可能に配置されている。ワーク保持部材２６の下面には、被クランプ部材（図示省略）に係合及び離間可能な複数のクランプ部材２５が取り付けられている。

【0021】

＜ワーク送り機構＞
図２に示すように、ワーク送り機構４は、ワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、加工済のワークＷと未加工のワークＷとの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２と、の間を移動させるための移送装置である。また、ワーク送り機構４は、ワーク交換位置Ｐ２側に配置されたワークＷを加工位置Ｐ１に搬入する搬入装置と、加工完了後のワークＷを加工位置Ｐ１からワーク交換位置Ｐ２に搬出させる搬出装置と、の機能を果たす。さらに、ワーク送り機構４は、ワークＷを加工する際に、ワークＷを昇降させる昇降装置の機能も果たす。

【0022】

ワーク送り機構４は、モータ（図示省略）と、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、ワーク治具２３と、をそれぞれ左右一対に配置して構成されている。

【0023】

モータ（図示省略）は、駆動歯車４１を回転駆動させて、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３を介在して第１アーム４４及び第２アーム４５を揺動させるための駆動源である。モータ（図示省略）には、駆動歯車４１に噛合して駆動歯車４１を回転駆動させるロータ歯車（図示省略）が設けられている。モータ（図示省略）は、不図示の制御装置を介して電源に接続されている。

【0024】

図２に示すように、駆動歯車４１は、そのモータによって回転駆動される歯車である。駆動歯車４１、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３は、支持部１３に設けられた歯車設置部１４に回転自在に軸支されている。

【0025】

第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、それぞれ駆動歯車４１に噛合して駆動歯車４１によって同回転される。第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、互いに上下方向に長さＬ１離間して歯車設置部１４に配置されている。図３に示すように、第１従動歯車４２は、第１アーム４４に連結されて一体に回動する。また、第２従動歯車４３は、第２アーム４５に連結されて一体に回動する。このため、リンク機構から成るワーク送り機構４において、歯車設置部１４は、図２に示すように、固定リンクの役目を果たす。

【0026】

第１アーム４４は、第１従動歯車４２の軸部４２ａを中心として回動可能に配置されたリンク部材から成る。第２アーム４５は、第２従動歯車４３の軸部４３ａを中心として回動可能に配置されたリンク部材である。リンク４６は、第２アーム４５の先端部と、第１アーム４４の先端部と、ワーク保持部材２６とを回動自在に連結したリンク部材である。第１アーム４４の基端部と、第２アーム４５の基端部とは、上下方向に長さＬ１離間している。第１アーム４４と第２アーム４５とは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成る。その左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されている（図３参照）。

【0027】

第１アーム４４の先端部の連結軸４４ａと、第２アーム４５の先端部の連結軸４５ａと
は、上下方向に長さＬ２離間してリンク４６に回動自在に軸支されている。長さＬ１は、長さＬ２と同じ長さである。第１アーム４４と、第２アーム４５とは、平行に配置され、上方向に回動したときに、側面視して互いに重ねるように配置されている。つまり、ワーク送り機構４において、歯車設置部１４と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６とは、長方形（平行四辺形）の平行クランク機構を形成する。その結果、リンク４６と、リンク４６にクランプ装置２を介在して連結されたワーク治具２３（ワークＷ）とは、ワーク送り機構４が変位しても、常に垂直状態に配置された状態が維持されている。

【0028】

図３に示すように、ワーク治具２３は、ワークＷを、左右一対のリンク４６の下端部に設けられたクランプ装置２に取り付けるための治具である。ワーク治具２３は、上端がリンク４６の下端に設けられたクランプ装置２のクランプ部材２５に連結されて、下端部がワークＷの上端にガラスプレート２１及び金属プレート２２を介在して取り付けられている。

【0029】

このため、ワークＷは、図２に示すように、ワーク送り機構４によってリンク４６が加工位置Ｐ１に移動したときは、リンク４６と共に加工位置Ｐ１に搬送され、リンク４６がワーク交換位置Ｐ２に移動したときは、リンク４６と共にワーク交換位置Ｐ２に搬送される。

【0030】

＜加工装置＞
図２に示すように、加工装置３は、クランプ装置２にクランプされた未加工のワークＷを加工する切削機構である。加工装置３は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ３１，３２と、加工用ローラ３１と加工用ローラ３２とに巻き掛けられたワイヤ３３と、加工用ローラ３１，３２を回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、を備えて成る。加工装置３は、基台１２上のコラムに設けられている。

【0031】

図２または図３に示すように、加工中の加工装置３の上方において、リンク４６には、ワークＷを支持するクランプ装置２がワーク送り機構４によって回動可能（昇降可能）に配置されている。ワークＷは、加工用ローラ３１，３２の軸線方向に沿って並設された複数のものから成る（添付図面では、省略して１つのみ記載している）。そして、ワイヤソー１の運転時には、ワイヤ３３が加工用ローラ３１，３２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、ワーク送り機構４によって加工装置３に向かって回動（下降）されてワイヤ３３に押し付けられることで切断される。

【0032】

加工用ローラ３２，３２は、駆動モータ（図示省略）によって回転されることで、ワイヤ３３を加工用ローラ３２，３３間だけ走行させるように構成されている。加工用ローラ３２，３３は、少なくとも一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。

【0033】

ワイヤ３３は、例えば、１本の線材によって構成された加工用ワイヤである。ワイヤ３３は、加工用ローラ３２，３３によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。

【0034】

図１に示す基台１２の上方は、加工装置３等を覆う加工室カバー（図示省略）が配置されている。その加工室カバー（図示省略）には、シャッタ（図示省略）が開閉可能に配設されている。ワークＷが加工位置Ｐ１に搬入されて切断加工が行われるとき、シャッタ（図示省略））が閉じられて、加工位置Ｐ１の空間とワーク交換位置Ｐ２の空間とが遮断されるように構成されている。

【0035】

［作用］
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー１の作用を、図１～図３を参照して説明する。

【0036】

図２に示すように、加工済のワークＷが加工室（加工位置Ｐ１）にある場合は、そのワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２に搬送する。その後、クランプ装置２から加工済のワークＷを取り外し、未加工のワークＷをクランプ装置２に取り付ける（ワーク着脱工程）。

【0037】

次に、未加工のワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２から加工室内の加工位置Ｐ１に搬入する（搬入工程）。続いて、加工室カバー（図示省略）を閉めて、未加工のワークＷをワーク送り機構４で昇降させることで、加工装置３のワイヤ３３に押し当ててワークＷを切削加工する（加工工程）。これにより、ワークＷは、所定の厚さに切断される。

【0038】

そして、加工が完了したら、加工済のワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２に搬送する（搬出工程）。
以上のワーク着脱工程から搬出工程を繰り返して、ワークＷを順次に加工して生産する。

【0039】

このように、本発明は、図２に示すように、ワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、ワークＷの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２との間で移動させるワーク送り機構４を備えたワイヤソー１であって、ワーク送り機構４は、モータ（図示省略）によって回転駆動される駆動歯車４１と、駆動歯車４１の回転によって駆動される第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、第１従動歯車４２の回転によって回動される第１アーム４４と、第２従動歯車４３の回転によって回動される第２アーム４５と、第１アーム４４の先端部と第２アーム４５の先端部とを回動自在に連結したリンク４６と、リンク４６に設けられ、ワークＷを取り付けるワーク治具２３と、を備え、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている。

【0040】

これにより、ワーク送り機構４は、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、リンク４６に設けられるワーク治具２３と、を備えて成ることで、構造を簡素化して部品点数を削減することができる。
また、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とが、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とが、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることで、ワークＷを加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２とに移動させた際に、ワークＷの姿勢を変化させずに移動させることができるため、ウエハが割れないように移動させることができる。

【0041】

また、ワーク治具２３は、第１従動歯車４２で回動される第１アーム４４と、第２従動歯車４３で回動される第２アーム４５と、を回動自在に連結したリンク４６に回動自在に連結されているので、２本のアームでワークＷを支えることができる。このため、第１アーム４４及び第２アーム４５が回動した際に、ワークＷの姿勢が反転しない。

【0042】

また、図２に示すように、リンク４６は、常に垂直状態に配置され、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、平行四辺形の平行クランク機構を形成するように配置されて、ワーク治具２３は、常にリンク４６の下側または上側に垂直状態に配置されている。

【0043】

これにより、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、平行四辺形の平行クランク機構を構成していることで、リンク４６に設けたワークＷを第１アーム４４と第２アーム４５との二本で支えながら搬送することができるため、搬送時のブレを抑制することができる。その結果、ワーク送り精度（真直性）及び加工精度を向上させることができる。
また、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構の第１アーム４４及び第２アーム４５が変位しても、下側または上側に垂直状態を維持することができるので、ワークＷの姿勢を変えずに（下方向または下方向を向いままの状態で）搬送させることができる。このため、ワイヤソー１は、搬送時にワークＷの姿勢が変位するワーク送り装置と比較して、装置全体の高さをワークＷの高さ分だけ低くすることができるので、装置の重量及び設置エリアの低減を図ることができる。

【0044】

また、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、それぞれ駆動歯車４１に噛合されると共に、互いに上下方向に離間して配置されている。

【0045】

これにより、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、同じ駆動歯車４１に噛合されていることで、第１アーム４４と第２アーム４５とを同じ状態に回動させることができる。また、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、上下方向に離間して配置されていることで、離間している分だけ固定リンク間の長さが長くなるため、回動時の状態を安定化させてブレを解消することができる。

【0046】

また、第１アーム４４と第２アーム４５とは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成り、左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されている。

【0047】

これにより、第１アーム４４と第２アーム４５とは、同じ長さに形成されていることで、ワーク送り機構４が変位しても、第１アーム４４と第２アーム４５とを連結したリンク４６の姿勢を常に同じ状態にすることができる。
また、左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されていることで、ワーク送り機構４が変位しても、正面視してリンク４６及びワークＷの姿勢を常に同じ状態にすることができる。

【0048】

［第１変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。

【0049】

前記実施形態では、ワーク送り機構４を駆動させる駆動手段の一例として、モータ（図示省略）と、モータによって回転駆動される駆動歯車４１と、駆動歯車４１によって駆動される第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、を備えたものを例に挙げて説明したがこれに限定されるものではない。
ワーク送り機構４の駆動手段は、第１アーム４４または第２アーム４５を回動させるものであればよい。

【0050】

例えば、本発明は、図２に示すワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、ワークＷの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２との間で移動させるワーク送り機構４を備えたワイヤソー１であって、ワーク送り機構４は、ワークＷを取り付けるワーク治具２３と、ワーク治具２３に回動自在に設けられリンク４６と、リンク４６の一端側に回動自在に連結された第１アーム４４と、リンク４６の他端側に回動自在に連結された第２アーム４５と、第１アーム４４及び第２アーム４５の少なくとも一方を回動させる駆動手段（図示省略）と、を備え、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されているものであってもよい。

【0051】

これにより、ワイヤソー１は、未加工のワークＷを加工位置Ｐ１に搬入し、加工後のワークＷを加工位置Ｐ１からワーク交換位置Ｐ２に搬出させるワーク送り機構４を備えていることで、ワークＷを搬入出させているときのワイヤソー１の停止及び中断している時間を削減することができるため、装置の稼働率を向上させることができる。
また、ワーク送り機構４は、駆動手段と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、リンク４６に設けられたワーク治具２３と、を備えて成ることで、構造を簡素化して部品点数を削減することができる。
また、ワーク治具２３は、第１アーム４４と、第２アーム４５と、を回動自在に連結したリンク４６に回動自在に連結されているので、２本のアームでワークＷを支えることができる。このため、第１アーム４４及び第２アーム４５が回動した際のブレを解消することができるため、高精度なワーク送り精度を確保することができる。
また、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とが、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とが、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることで、ワークＷを加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２とに移動させた際に、ワークＷの姿勢を変化させずに移動させることができるため、ウエハが割れないように移動させることができる。

【0052】

［第２変形例］
また、前記実施形態では、図２に示すように、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３と、を備えた場合を例に挙げて説明したが、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とはなくてもよい。
この場合は、第１アーム４４の連結軸４４ａ、または、第２アーム４５の連結軸４５ａに、モータ装置（図示省略）の軸を直結させて、モータ装置（図示省略）によってリンク機構の第１アーム４４、または、第２アーム４５を直接回動させることで、リンク機構全体を駆動するようにさせてもよい。
このようにすることで、さらに、部品点数及び部品組付工数を削減して、コストダウンを図ることができる。

【0053】

［その他の変形例］
例えば、前記実施形態で説明したモータと、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とから成る電動歯車機構は、第１アーム４４と、第２アーム４５とを回動させることが可能な装置であればよく、これに限定されるものではない。その電動歯車機構は、例えば、油圧または空気圧の流体圧を生成する圧力源（図示省略）と、流体圧が供給されるシリンダと、シリンダに供給された流体圧で作動するピストンロッドと、ピストンロッドに連結されて揺動する第１アーム４４及び第２アーム４５と、を備えたものであってもよい。つまり、電動歯車機構は、第１アーム４４及び第２アーム４５を振り子運動させる駆動手段であればよい。

【0054】

また、その電動歯車機構は、第１アーム４４及び第２アーム４５を、電動モータと、ラックアンドピニオン機構あるいはウォーム・ホイール等の歯車機構を使用したものであってもよい。

【0055】

その他、モータと、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とから成る電動歯車機構は、モータと、モータによって回転駆動されるチェーンまたはベルトと、チェーンまたはベルトによって回転駆動される第１従動車または第２従動車と、を備えたものであってもよい。

【符号の説明】

【0056】

１ ワイヤソー
２ クランプ装置
３ 加工装置
４ ワーク送り機構
２３ ワーク治具
３３ ワイヤ
４１ 駆動歯車
４２ 第１従動歯車
４３ 第２従動歯車
４４ 第１アーム
４５ 第２アーム
４６ リンク
Ｐ１ 加工位置
Ｐ２ ワーク交換位置
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】