(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-02-27
(45)【発行日】2023-03-07
(54)【発明の名称】迅速解除機構体付きレチクルポッド
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20230228BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 T
【請求項の数】
21
(21)【出願番号】P 2021040677
(22)【出願日】2021-03-12
(65)【公開番号】P2022115767
(43)【公開日】2022-08-09
【審査請求日】2021-03-12
(31)【優先権主張番号】110103159
(32)【優先日】2021-01-28
(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW
(73)【特許権者】
【識別番号】506017182
【氏名又は名称】家登精密工業股▲ふん▼有限公司
【氏名又は名称原語表記】ＧＵＤＥＮＧ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＣＯ．，ＬＴＤ
【住所又は居所原語表記】９Ｆ．，Ｎｏ．２，Ｓｅｃ．４，Ｚｈｏｎｇｙａｎｇ Ｒｄ．，Ｔｕｃｈｅｎｇ Ｄｉｓｔ．，Ｎｅｗ Ｔａｉｐｅｉ，Ｔａｉｗａｎ２３６
(74)【代理人】
【識別番号】100094569
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 伸一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100103610
【弁理士】
【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦
(74)【代理人】
【識別番号】100109070
【弁理士】
【氏名又は名称】須田 洋之
(74)【代理人】
【識別番号】100095898
【氏名又は名称】松下 満
(74)【代理人】
【識別番号】100098475
【弁理士】
【氏名又は名称】倉澤 伊知郎
(74)【代理人】
【識別番号】100130937
【弁理士】
【氏名又は名称】山本 泰史
(74)【代理人】
【識別番号】100144451
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 博子
(74)【代理人】
【識別番号】100128428
【弁理士】
【氏名又は名称】田巻 文孝
(72)【発明者】
【氏名】荘 家和
(72)【発明者】
【氏名】林 書弘
(72)【発明者】
【氏名】李 國華
(72)【発明者】
【氏名】邱 銘乾
【審査官】渡井 高広
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１１－１６６０６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】登録実用新案第３１８１２５５（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２００１－１１０８８６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２００８－５３１４１６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
レチクルポッドであって、担持面および前記担持面に設けられた複数の取り付け用受座を備えた下側カバーと、
レチクルまたはレチクルキャリヤを支持するために上方に延びる支持部材および前記支持部材と反対側に位置する取り付け部材を含む支持機構体とを有し、前記取り付け部材は、前記取り付け用受座のうちの対応の取り付け用受座に取り外し可能に連結され、その結果、前記支持機構体が前記下側カバーに装着されるよう構成され、
前記取り付け部材は、少なくとも１つの可撓性脚を有し、少なくとも１つの保持部材が前記脚の遠位端部のところに設けられ、対応の前記取り付け用受座は、前記可撓性脚の前記保持部材を受け入れて該保持部材を固定するよう構成された少なくとも１つの切り欠きを有する、レチクルポッド。
【請求項2】
前記支持部材は、前記レチクルの底部に接触する少なくとも１つの第１の支持柱状体および前記レチクルの側方変位を制限する少なくとも１つの第２の支持柱状体を有する、請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項3】
レチクルポッドであって、当接面および前記当接面上に配置された複数の上側カバー取り付け用受座を備えた上側カバーを有し、
担持面および前記担持面上に配置された複数の下側カバー取り付け用受座を備えた下側カバーを有し、
レチクルまたはレチクルキャリヤの底部を支持するために上方に延びる支持部材および前記支持部材と反対側に位置する取り付け部材を含む少なくとも１つの第１の支持機構体を有し、前記取り付け部材は、前記第１の支持機構体が前記下側カバーに装着されるよう対応の前記下側カバーと受座に取り外し可能に結合するよう構成され、
前記レチクルまたは前記レチクルキャリヤの頂部に当接する当接部分および前記当接部分に結合する接合部分を含む少なくとも１つの第２の支持機構体を有し、前記接合部分は、前記第２の支持機構体が前記上側カバーに装着されるよう対応の前記上側カバー取り付け用受座に取り外し可能に結合するよう構成されている、レチクルポッド。
【請求項4】
前記上側カバー取り付け用受座は、対応の前記接合部分に結合される多数の突出ウィング部分を有する、請求項３記載のレチクルポッド。
【請求項5】
前記第２の支持機構体の前記接合部分を貫通して開口部が設けられ、前記開口部は、対応の前記上側カバー取り付け用受座が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、前記開口部は、対応の前記上側カバー取り付け用受座を前記開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する、請求項４記載のレチクルポッド。
【請求項6】
前記開口部は、少なくとも１つの第１のリブを有し、前記上側カバー取り付け用受座は、少なくとも１つの第２のリブを有し、前記開口部は、前記第２のリブを第１の回転方向に沿って前記第１のリブ上で摺動させることができるが、前記第２のリブを第２の回転方向に沿って回転させるのを阻止するよう形作られている、請求項５記載のレチクルポッド。
【請求項7】
レチクルポッドであって、当接面および前記当接面上に配置された複数の上側カバー取り付け用受座を備えた上側カバーと、
担持面および前記担持面上に配置された複数の下側カバー取り付け用受座を備えた下側カバーと、
レチクルまたはレチクルキャリヤの底部または頂部に接触する少なくとも１つの支持機構体とを有し、前記支持機構体は、対応の前記上側カバー取り付け用受座または対応の前記下側カバー取り付け用受座に回転的に取り外し可能に連結されるよう構成されている、レチクルポッド。
【請求項8】
前記上側カバー取り付け用受座は、多数の突出ウィング部分を有する、請求項７記載のレチクルポッド。
【請求項9】
前記支持機構体は、前記レチクルの頂部に当接する当接部分および前記当接部分に結合する接合部分を含み、前記接合部分を貫通して開口部が設けられ、前記開口部は、対応の前記上側カバー取り付け用受座が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、前記開口部は、対応の前記上側カバー取り付け用受座を前記開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する、請求項８記載のレチクルポッド。
【請求項10】
前記開口部は、少なくとも１つの第１のリブを有し、前記上側カバー取り付け用受座は、少なくとも１つの第２のリブを有し、前記開口部は、前記第２のリブを第１の回転方向に沿って前記第１のリブ上で摺動させることができるが、前記第２のリブを第２の回転方向に沿って回転させるのを阻止するよう形作られている、請求項９記載のレチクルポッド。
【請求項11】
前記支持機構体は、前記レチクルの底部を支持するために上方に延びる支持部材および前記支持部材と反対側に位置する取り付け部を含む、請求項７記載のレチクルポッド。
【請求項12】
前記下側カバー取り付け用受座を貫通して開口部が設けられ、前記開口部は、前記支持機構体の前記取り付け部材が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、前記開口部は、前記支持機構体の前記取り付け部材を前記開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する、請求項１１記載のレチクルポッド。
【請求項13】
前記支持部材は、第１の傾斜面、第２の傾斜面および第３の傾斜面を有し、前記第１の傾斜面および前記第２の傾斜面は、前記第３の傾斜面が前記第１および前記第２の傾斜面から落ちた粒子を排出するために前記第１の傾斜面と前記第２の傾斜面との間に設けられ、前記レチクルに接触するよう構成されている、請求項７記載のレチクルポッド。
【請求項14】
前記第３の傾斜面は、多数の傾斜面を含む、請求項１３記載のレチクルポッド。
【請求項15】
レチクルポッドであって、当接面および前記当接面上に配置された複数の上側カバー取り付け用受座を備えた上側カバーを有し、
担持面および前記担持面上に配置された複数の下側カバー取り付け用受座を備えた下側カバーを有し、
レチクルまたはレチクルキャリヤを支持するために上方に延びる支持部材および前記支持部材と反対側に位置する取り付け部材を含む少なくとも１つの第１の支持機構体を有し、前記取り付け部材は、前記第１の支持機構体が前記下側カバーに装着されるよう対応の前記下側カバー取り付け用受座に取り外し可能に結合するよう構成され、前記取り付け部材は、雄型‐雌型連結部によって対応の前記下側カバー取り付け用受座に結合するよう構成され、
前記レチクルの頂部に当接する当接部分および前記当接部分に結合する接合部分を含む少なくとも１つの第２の支持機構体を有し、前記接合部分は、前記第２の支持機構体が前記上側カバーに装着されるよう対応の前記上側カバー取り付け用受座に取り外し可能に結合するよう構成され、前記接合部分は、雄型‐雌型連結部によって前記上側カバー取り付け用受座に結合するよう構成されている、レチクルポッド。
【請求項16】
前記上側カバー取り付け用受座は、多数の突出ウィング部分を有し、前記第２の支持機構体の前記接合部分を貫通して開口部が設けられ、前記開口部は、前記突出ウィング部分が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、前記開口部は、前記突出ウィング部分を前記開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する、請求項１５記載のレチクルポッド。
【請求項17】
前記第１の支持機構体の前記取り付け部材と前記下側カバー取り付け用受座との前記雄型‐雌型連結部は、前記第１の支持機構体が前記下側カバー取り付け用受座に対して相対的に回転するのを阻止する、請求項１５記載のレチクルポッド。
【請求項18】
前記第１の支持機構体は、側方延長部分、第１の傾斜アームおよび第２の傾斜アームを含み、前記第１の傾斜アームおよび前記第２の傾斜アームは、前記レチクルまたは前記レチクルキャリヤを支持するよう構成されている、請求項１５記載のレチクルポッド。
【請求項19】
レチクルポッドであって、当接面および前記当接面上に配置された複数の上側カバー取り付け用受座を備えた上側カバーと、
レチクルまたはレチクルキャリヤの頂部に当接する当接部分および前記当接部分に結合された接合部分を含む支持機構体とを有し、前記接合部分は、前記支持機構体が前記上側カバーに装着されるよう対応の前記上側カバー取り付け用受座に取り外し可能に結合するよう構成され、
前記上側カバー取り付け用受座は、対応の前記接合部分に結合する多数の突出ウィング部分を有する、レチクルポッド。
【請求項20】
前記支持機構体の前記接合部分を貫通して開口部が設けられ、前記開口部は、前記突出ウィング部分を備える前記上側カバー取り付け用受座が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、前記開口部は、前記突出ウィング部分を備える前記上側カバー取り付け用受座を前記開口部内で前記開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する、請求項１９記載のレチクルポッド。
【請求項21】
前記開口部は、少なくとも１つの第１のリブを有し、前記上側カバー取り付け用受座は、少なくとも１つの第２のリブを有し、前記開口部は、前記第２のリブを第１の回転方向に沿って前記第１のリブ上で摺動させることができるが、前記第２のリブを第２の回転方向に沿って回転させるのを阻止するよう形作られている、請求項２０記載のレチクルポッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示内容（本発明）は、レチクルポッド、特に迅速解除機構体付きのレチクルポッドに関する。
【背景技術】
【0002】
レチクルは、半導体業界において製造プロセス中、運搬のためにレチクルポッド内に入れられる。レチクルが先行技術のレチクルポッド内に入れられると、レチクルを支持している支持機構体の傾斜部、球体または筒体の当接面（これは、レチクルに当接している）が衝突の繰り返しに起因して摩耗する場合がある。かかる衝突は、支持機構体をさらに摩耗させる場合があり、その結果として望ましくない粒子が生じる。典型的には、摩耗がひどい場合、唯一の解決策は、レチクルポッドを交換することであり、これは資源の無駄遣いになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
したがって、支持機構体の摩耗に起因して生じる粒子に関連した上述の問題を解決するとともに資源の無駄ならびに製造費を減少させる改良型レチクルポッドが要望されている。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明は、上述の問題、例えば頻繁に生じる摩耗によりレチクルの当接面から生じる粒子およびハードウェアの無駄を解決するために迅速解除機構体付きのレチクルポッドを提供する。
【0005】
本発明は、レチクルポッドであって、担持面および担持面から延びる複数の取り付け用受座を備えた下側カバーと、レチクルまたはレチクルキャリヤを支持するために上方に延びる支持部材および支持部材と反対側に位置する取り付け部材を含む支持機構体とを有することを特徴とするレチクルポッドを提供する。取り付け部材は、取り付け用受座のうちの対応の取り付け用受座に取り外し可能に連結され、その結果、支持機構体がオプションとして下側カバーに装着されるよう構成されている。
【0006】
一実施形態では、取り付け部材は、少なくとも１つの可撓性脚を有し、少なくとも１つの保持部材が脚の遠位端部のところに設けられ、対応の取り付け用受座は、可撓性脚の保持部材を受け入れてこの保持部材を固定するよう構成された少なくとも１つの切り欠きを有する。
【0007】
一実施形態では、取り付け部材は、螺合によって対応の取り付け用受座に結合するよう構成され、取り付け用受座は、担持面から上方に延びるねじ山付き柱状体である。
【0008】
一実施形態では、取り付け部材は、雄型‐雌型連結部によって対応の取り付け用受座に結合し、それにより支持機構体を対応の取り付け用受座に対して相対的に回転するのを阻止するよう構成されている。
【0009】
一実施形態では、取り付け部材は、雌型コネクタであり、対応の取り付け用受座は、雄型コネクタである。
【0010】
一実施形態では、支持部材は、レチクルの底部に接触する少なくとも１つの第１の支持柱状体およびレチクルの側方変位を制限する少なくとも１つの第２の支持柱状体を有する。
【0011】
本発明は、レチクルポッドであって、当接面および当接面上に配置された複数の上側カバー取り付け用受座を備えた上側カバーと、担持面および担持面上に配置された複数の下側カバー取り付け用受座を備えた下側カバーと、レチクルまたはレチクルキャリヤの底部を支持するために上方に延びる支持部材および支持部材と反対側に位置する取り付け部材を含む少なくとも１つの第１の支持機構体とを有し、取り付け部材は、第１の支持機構体がオプションとして下側カバーに装着されるよう対応の下側カバーと受座に取り外し可能に結合するよう構成され、レチクルポッドは、レチクルまたはレチクルキャリヤの頂部に当接する当接部分および当接部分に結合する接合部分を含む少なくとも１つの第２の支持機構体をさらに有し、接合部分は、第２の支持機構体がオプションとして上側カバーに装着されるよう対応の上側カバー取り付け用受座に取り外し可能に結合するよう構成されていることを特徴とするレチクルポッドを提供する。
【0012】
一実施形態では、上側カバー取り付け用受座は、対応の接合部分に結合される多数の突出ウィング部分を有する。
【0013】
一実施形態では、第２の支持機構体の接合部分を貫通して開口部が設けられ、開口部は、対応の上側カバー取り付け用受座が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、開口部は、対応の上側カバー取り付け用受座を開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する。
【0014】
一実施形態では、開口部は、少なくとも１つの第１のリブを有し、上側カバー取り付け用受座は、少なくとも１つの第２のリブを有し、開口部は、第２のリブを第１の回転方向に沿って第１のリブ上で摺動させることができるが、第２のリブを第２の回転方向に沿って回転させるのを阻止するよう形作られている。
【0015】
本発明は、レチクルポッドであって、当接面および当接面上に配置された複数の上側カバー取り付け用受座を備えた上側カバーと、担持面および担持面上に配置された複数の下側カバー取り付け用受座を備えた下側カバーと、レチクルまたはレチクルキャリヤの底部または頂部に接触する少なくとも１つの支持機構体とを有し、支持機構体は、対応の上側カバー取り付け用受座または対応の下側カバー取り付け用受座に回転的に取り外し可能に連結されるよう構成されていることを特徴とするレチクルポッドを提供する。
【0016】
一実施形態では、上側カバー取り付け用受座は、多数の突出ウィング部分を有する。
【0017】
一実施形態では、支持機構体は、レチクルの頂部に当接する当接部分および当接部分に結合する接合部分を含み、接合部分を貫通して開口部が設けられ、開口部は、対応の上側カバー取り付け用受座が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、開口部は、対応の上側カバー取り付け用受座を開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する。
【0018】
一実施形態では、開口部は、少なくとも１つの第１のリブを有し、上側カバー取り付け用受座は、少なくとも１つの第２のリブを有し、開口部は、第２のリブを第１の回転方向に沿って第１のリブ上で摺動させることができるが、第２のリブを第２の回転方向に沿って回転させるのを阻止するよう形作られている。
【0019】
一実施形態では、支持機構体は、レチクルの底部を支持するために上方に延びる支持部材および支持部材と反対側に位置する取り付け部を含む。
【0020】
一実施形態では、下側カバー取り付け用受座を貫通して開口部が設けられ、開口部は、支持機構体の取り付け部材が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、開口部は、支持機構体の取り付け部材を開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する。
【0021】
一実施形態では、支持部材は、第１の傾斜面、第２の傾斜面および第３の傾斜面を有し、第１の傾斜面および第２の傾斜面は、第３の傾斜面が第１および第２の傾斜面から落ちた粒子を排出するために第１の傾斜面と第２の傾斜面との間にサンドイッチされている間、レチクルに接触するよう構成されている。
【0022】
一実施形態では、第３の傾斜面は、多数の傾斜面を含む。
【0023】
本発明は、レチクルポッドであって、当接面および当接面上に配置された複数の上側カバー取り付け用受座を備えた上側カバーと、担持面および担持面上に配置された複数の下側カバー取り付け用受座を備えた下側カバーと、レチクルまたはレチクルキャリヤを支持するために上方に延びる支持部材および支持部材と反対側に位置する取り付け部材を含む少なくとも１つの第１の支持機構体とを有し、取り付け部材は、第１の支持機構体がオプションとして下側カバーに装着されるよう対応の下側カバー取り付け用受座に取り外し可能に結合するよう構成され、取り付け部材は、雄型‐雌型連結部によって対応の下側カバー取り付け用受座に結合するよう構成され、レチクルポッドは、レチクルの頂部に当接する当接部分および当接部分に結合する接合部分を含む少なくとも１つの第２の支持機構体をさらに有し、接合部分は、第２の支持機構体がオプションとして上側カバーに装着されるよう対応の上側カバー取り付け用受座に取り外し可能に結合するよう構成され、接合部分は、雄型‐雌型連結部によって上側カバー取り付け用受座に結合するよう構成されていることを特徴とするレチクルポッドを提供する。
【0024】
一実施形態では、上側カバー取り付け用受座は、多数の突出ウィング部分を有し、第２の支持機構体の接合部分を貫通して開口部が設けられ、開口部は、突出ウィング部分が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、開口部は、突出ウィング部分を開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する。
【0025】
一実施形態では、第１の支持機構体の取り付け部材と下側カバー取り付け用受座との雄型‐雌型連結部は、第１の支持機構体が下側カバー取り付け用受座に対して相対的に回転するのを阻止する。
【0026】
一実施形態では、第１の支持機構体は、側方延長部分、第１の傾斜アームおよび第２の傾斜アームを含み、第１の傾斜アームおよび第２の傾斜アームは、レチクルまたはレチクルキャリヤを支持するよう構成されている。
【0027】
本発明は、レチクルポッドであって、当接面および当接面上に配置された複数の上側カバー取り付け用受座を備えた上側カバーと、レチクルまたはレチクルキャリヤの頂部に当接する当接部分および当接部分に結合された接合部分を含む支持機構体とを有し、接合部分は、支持機構体がオプションとして上側カバーに装着されるよう対応の上側カバー取り付け用受座に取り外し可能に結合するよう構成されていることを特徴とするレチクルポッドを提供する。
【0028】
一実施形態では、上側カバー取り付け用受座は、対応の接合部分に結合する多数の突出ウィング部分を有する。
【0029】
一実施形態では、支持機構体の接合部分を貫通して開口部が設けられ、開口部は、上側カバー取り付け用受座が入ることができまたは出ることができる第１のチャネルを有し、開口部は、上側カバー取り付け用受座を開口部に対して相対的に回転させることができる第２のチャネルを有する。
【0030】
一実施形態では、開口部は、少なくとも１つの第１のリブを有し、上側カバー取り付け用受座は、少なくとも１つの第２のリブを有し、開口部は、第２のリブを第１の回転方向に沿って第１のリブ上で摺動させることができるが、第２のリブを第２の回転方向に沿って回転させるのを阻止するよう形作られている。
【0031】
本発明の実際の実施形態に関し、図面に示されている要素の縮尺は、限定的な意味に解されるべきではない。
【図面の簡単な説明】
【0032】
【図1】本発明に係るレチクルポッド（上側カバーが取り外されている）とレチクルとの関係を示す略図である。
【図2】本発明の一実施形態に係るレチクルポッドの支持機構体を示す部分拡大略図である。
【図3】本発明の別の実施形態に係るレチクルポッドの支持機構体を示す部分拡大略図である。
【図4】本発明のさらに別の実施形態に係るレチクルポッドの支持機構体を示す部分拡大略図である。
【図5】本発明の実施形態に係るレチクルポッドの外観を示す斜視図である。
【図6A】本発明の実施形態に係るレチクルポッドの外観を示す平面図である。
【図8】上側カバー固定用受座から分離されているレチクルポッドの上側カバー支持機構体を示す図である。
【図9A】第１の状態におけるレチクルポッドの上側カバーの底面図である。
【図10A】第２の状態におけるレチクルポッドの上側カバーの底面図である。
【図11】本発明の別の実施形態に係るレチクルポッド（上側カバーが取り外されている）およびレチクルを示す斜視図である。
【図13A】本発明のさらに別の実施形態に係るレチクルポッド（上側カバーが取り外されている）およびレチクルを示す斜視図である。
【図14A】下側カバー支持機構体を下側カバーの固定用受座上に設置するプロセスを示す図である。
【図14B】下側カバー支持機構体を下側カバーの固定用受座上に設置するプロセスを示す図である。
【図14C】下側カバー支持機構体を下側カバーの固定用受座上に設置するプロセスを示す図である。
【図14D】下側カバー支持機構体を下側カバーの固定用受座上に設置するプロセスの断面図である。
【図14E】下側カバー支持機構体を下側カバーの固定用受座上に設置するプロセスの断面図である。
【図14F】下側カバー支持機構体を下側カバーの固定用受座上に設置するプロセスの断面図である。
【図15A】本発明のさらに別の実施形態に係るレチクルポッド（上側カバーが取り外されている）およびレチクルを示す正面図である。
【図15C】下側カバー支持機構体およびレチクルを示す別の断面斜視図である。
【図15D】下側カバー支持機構体の部分斜視図である。
【図16A】本発明のさらに別の実施形態に係るレチクルポッド（上側カバーが取り外されている）およびレチクルキャリヤを示す斜視図である。
【図16C】レチクルポッドの下側カバー支持機構体を示す斜視図である。
【図16D】レチクルポッドの下側カバーおよび下側カバー支持機構体を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0033】
本発明は、レチクルポッド、特に迅速解除機構体付きのレチクルポッドを提供する。本明細書に組み込まれた添付の図面は、本発明の実施形態を詳細に示している。これら添付の図面では、同一および／または均等な要素は、同一の参照符号で示されている。
【0034】
本発明の種々の実施形態が本明細書において開示される。それにもかかわらず、開示する実施形態は、本発明の種々の形態を示すための実施例として用いられる。特定の実施形態に関して提供される各図面は、一実施例として意図されているに過ぎず、本発明を限定するものとして意図されてはいない。加うるに、図面は、必ずしも、実際の縮尺に比例してはおらず、幾つかの特徴は、特定の要素の細部を誇張するために拡大されている場合がある（図面に示されている全ての縮尺、材料、その他は、本発明の限定としてではなく、実施例として提供されているに過ぎない）。したがって、本明細書において開示する特定の構造および機能の細部は、本発明を限定するものと解されてはならない。これとは異なり、かかる細部は、本明細書において開示する本発明の実施形態をどのようにして実施するかを当業者に教示するための基礎として用いられるのに過ぎない。
【0035】
図１は、本発明にかかるレチクルポッド１００およびレチクル１０を示す略図であり、特に、図面は、レチクル１０がレチクルポッド１００（上側カバーは示されていない）内に収容されている図を示している。レチクルポッド１００は、下側カバー１２０および複数の支持機構体１４０を有し、これら支持機構体は、取り外し可能な手段によって下側カバー１２０に連結されている。実施形態の詳細な説明が以下に提供される。特に、下側カバー１２０は、担持面１２２および複数の取り付け用受座１２４を有し、これら取り付け用受座は、担持面上に分布して配置された状態で支持機構体１４０に結合するよう用いられる。取り付け用受座１２４と支持機構体１４０は一緒になって、レチクル１０を担持面１２２の上方に持ち上げる。
【0036】
図２は、本発明の実施形態に係るレチクルポッド１００の１つの支持機構体１４０を示す部分拡大略図である。支持機構体１４０は、レチクル１０を支持するために上方に延びる支持部材１４２および下側カバー１２０に向くよう支持部材１４２と反対側に位置した取り付け部材１４４を含み、取り付け部材１４４は、支持機構体１４０を下側カバー１２０上に選択的に設置できるよう対応の取り付け用受座１２４に取り外し可能に連結される。この実施形態では、取り付け部材１４４は、２つの可撓性脚１４５を有し、各可撓性脚１４５は、その端部のところに位置する保持部材１４６を有する。取り付け用受座１２４は、可撓性脚１４５の保持部材１４６を受け入れて安定的に収容するよう構成された２つの切り欠き１４７を有する。例えば、取り付け用受座１２４は、摺動溝を備えるのが良く、これら摺動溝により、支持機構体１４０の可撓性脚１４５の保持部材１４６は、取り付け用受座１２４の表面に沿って対応の切り欠き１４７中に滑り込むことができる。支持機構体１４０は、加圧機構体を備えるのが良く、この加圧機構体は、可撓性脚１４５の保持部材１４６を対応の切り欠き１４７から解除するよう作動可能であり、保持部材１４６は、鍵型の形をしていても良くまたは他の形態を有しても良い。
【0037】
図３は、本発明の別の実施形態に係るレチクルポッド１００の支持機構体１４０を示す部分拡大略図である。支持機構体１４０は、レチクル１０を支持するために上方に延びる支持部材１４２および下側カバー１２０に向くよう支持部材１４２と反対側に位置した取り付け部材１４４を含み、取り付け部材１４４は、支持機構体１４０を下側カバー１２０上に選択的に設置できるよう対応の取り付け用受座１２４に取り外し可能に連結される。取り付け部材１４４は、ロック可能な仕方で取り付け用受座１２４に連結されるよう構成され、取り付け用受座１２４は、担持面１２２から上方に延びる固定用柱状体であり、この取り付け用受座は、その頂部のところに位置するキャップ部分１２５を有する。支持機構体１４０の取り付け部材１４４およびキャップ部分１２５は、適正な嵌め合いによって互いに連結されるのが良い。例えば、取り付け部材１４４およびキャップ部分１２５は、嵌合する構造的形態を有するのが良く、その結果、取り付け部材１４４は、キャップ部分１２５にはまることができ、そして嵌合式構造的形態に起因して回転しないようになっているのが良い。変形例として、取り付け部材１４４は、摩擦によってキャップ部分１２５に連結されても良い。
【0038】
別の実施形態では、取り付け部材１４４は、ねじ山を備えるのが良く、これに対し、対応の取り付け柱状体１２４またはキャップ部分１２５は、取り付け部材１４４に設けられたねじ山とかみ合うことができる別のねじ山を有する。
【0039】
図４は、本発明のさらに別の実施形態に係るレチクルポッド１００の支持機構体１４０を示す部分拡大略図である。同様に、支持機構体１４０は、レチクル１０を支持するために上方に延びる支持部材１４２および支持部材１４２と反対側に位置した取り付け部材１４４を含み、取り付け部材１４４は、支持機構体１４０を下側カバー１２０上に選択的に設置できるよう対応の取り付け用受座１２４に取り外し可能に連結される。取り付け部材１４４および固定用受座１４４は、嵌合式連結部を形成するよう構成され、取り付け部材１４４は、雌型コネクタであり、取り付け用受座１２４は、雄型コネクタであり、またはこれとは逆の関係になっていても良い。図３に示された実施形態と同様、雌型コネクタおよび雄型コネクタは、取り付け用受座１２４に対する取り付け部材１４４の回転を阻止するよう嵌合式構造的形態を有するのが良い。
【0040】
図２～図４を参照されたい。一実施形態では、支持部材１４２は、レチクル１０の底面に接触する少なくとも１つの第１の支持柱状体１４３ａおよびレチクル１０の側部の変位を阻止する少なくとも１つの第２の支持柱状体１４３ｂをさらに有する。しかしながら、本発明では、支持柱状体の数には制限がない。
【0041】
図５は、一実施形態に係るレチクルポッド５００の外観を示す斜視図である。レチクルポッド５００は、内側レチクルポッドまたはレチクルキャリヤを収容する外側レチクルポッドであるのが良い。図６Ａは、レチクルポッド５００の平面図であり、図６Ｂは、図６ＡのＡＡ線に沿って取ったレチクルポッド５００の断面図である。図５、図６Ａおよび図６Ｂは、レチクルポッド５００とレチクル１０との関係を示している。レチクル１０は、レチクルポッド５００内に収容され、このレチクルポッドは、下側カバー５２０、下側カバー支持機構体５４０、上側カバー５６０、および上側カバー支持機構体５８０を有する。上側カバー５６０および下側カバー５２０は、レチクルポッド５００内に収容空間を画定する。変形例として、レチクル１０の収容とは別に、レチクルポッド５００はまた、内側レチクルポッドまたは他形式のキャリヤ（例えば、ペリクル包装用容器）を収容するのが良い。下側カバー５２０は、担持面５２２上に分布して設けられた複数の下側カバー取り付け用受座５２４を有する。各下側カバー機構体５４０は、取り外し可能な手段によって下側カバー５２０上に設けられている下側カバー取り付け用受座５２４に連結される。下側カバー支持機構体５４０は、レチクル１０の底部を支持するために用いられる。上側カバー５６０は、当接面５６２および当接面５６２上に分布して設けられた複数の上側カバー取り付け用受座５６４を有する。各上側カバー支持機構体５８０は、取り外し可能な手段によって上側カバー５６０上の上側カバー取り付け用受座５６４に連結される。上側カバー支持機構体５８０は、レチクル１０の頂部に当接するために用いられる。
【0042】
図７は、図６Ｂに示されたレチクルポッド５００の別の断面斜視図である。レチクルポッド５００内に収容されたレチクル１０が下側カバー支持機構体５４０と上側カバー支持機構体５８０との間に閉じ込められていることがわかる。下側カバー支持機構体５４０は、レチクル１０を支持するために上方に延びる支持部分５４２および支持部分５４０と反対側に位置しかつ下側カバー５２０に向いた取り付け部材５４４を含む。取り付け部材５４４は、下側カバー支持機構体５４０を下側カバー５２０上に選択的に設置できるよう対応の取り付け用受座５２３に取り外し可能に連結されている。この実施形態では、取り付け部材５４４は、ロック可能な仕方で取り付け用受座５２４に連結され、取り付け部材５４４はさらに、ねじ山を備えるのが良く、これに対し、対応の取り付け用受座５２４は、取り付け部材５４４に設けられているねじ山と螺合することができる別のねじ山を有するのが良い。
【0043】
図８は、上側カバー取り付け用受座５６４から分離されている上側カバー支持機構体５８０を示している。上側カバー５６０は、当接面５６２および当接面５６２上に分布して設けられた複数の上側カバー取り付け用受座５６４を有する。当接面５６２は、上側カバー５６０の内側の下方に向いた表面であり、この下方に向いた表面は、下側カバー５２０とは接触関係にはない。上側カバー取り付け用受座５６４の各々は、当接面５６２から下方に延びる構造体である。この実施形態では、上側カバー取り付け用受座５６４は、筒体部分および筒体部分から側方に延びる２つの突出したウィング部分５６５ａ，５６５ｂを有する。他の考えられる実施形態では、上側カバー取り付け用受座５６４は、上側カバー５６０の内側の側面上に配置されるのが良い。各上側カバー支持機構体５８０は、取り外し可能な手段によって上側カバー５６０上の上側カバー取り付け用受座５６４に連結され、連結方法については以下に提供される。
【0044】
図９Ａは、第１の状態にあるレチクルポッド５００の上側カバー５６０の底面図である。図９Ｂは、図９Ａの上側カバー支持機構体５８０のうちの１つが１つの上側カバー取り付け用受座５６４に連結された第１の状態を示しており、この第１の状態では、上側カバー支持機構体５８０を取り付け用受座５６４から引き出してこれから分離することができる。図９Ｃは、図９Ａに示されたＢＢ線に沿って取った上側カバー支持機構体５８０の断面図である。図１０Ａは、第２の状態にあるレチクルポッド５００の上側カバー５６０の底面図である。図１０Ｂは、図１０Ａの上側カバー支持機構体５８０のうちの１つが１つの上側カバー取り付け用受座５６４に連結された第２の状態を示しており、この第２の状態では、上側カバー支持機構体５８０を取り付け用受座５６４から引き出して分離することができない。図１０Ｃは、図１０Ａに示されたＣＣ線に沿って取った上側カバー支持機構体５８０の断面図である。
【0045】
具体的に言えば、図９Ａ～図９Ｃは、上側カバー支持機構体５８０が上側カバー取り付け用受座５６４に連結され、上側カバー支持機構体５８０が上側カバー取り付け用受座５６４に対して第１の向きにあることを示している。図１０Ａ～図１０Ｃは、上側カバー支持機構体５８０が上側カバー取り付け用受座５６４に対して第２の向きをなすよう回動され、第２の向きにより上側カバー支持機構体５８０がしっかりと締結され、したがって、上側カバー５６０から分離できないことを示している。
【0046】
図９Ｂおよび図１０Ｂに示されているように、上側カバー支持機構体５８０は、レチクルの頂部に当接する当接部分５８２および当接部分５８２に結合した接合部分５８３を含む。当接部分５８２は、同様に、形状が三角形であり、その幅は、接合部分５８３から遠位端まで次第に狭くなっている。さらに、当接部分５８２は、遠位端部の近くに曲げ可能な構造を有し、この曲げ可能な構造は、上側カバー５６０と下側カバー５２０が図７に示されているように互いに結合されるとレチクルの頂部リムまたはその近くに位置する上面に適正に接触するように構成されているが、当接部分５８２の構造または形態は、図示の実施形態に示された構造または形態には限定されない。上側カバー支持機構体５８０の接合部分５８３は、開口部５８４を有し、この開口部は、上側カバー取り付け用受座５６４を収容するために用いられ、この開口部により、上側カバー取り付け用受座５６４は、この中で回動することができる。開口部５８４は、蝶のような形をしており、この開口部は、ウィング部分５６５ａ，５６５ｂが回動するための空間を提供する。接合部分５８３は、内側に設けられていて、開口部５８４に向いた複数の第１のリブを有し、上側カバー取り付け用受座５６４は、筒体部分の表面に設けられた第２のリブ５８８を有する。図示のように、４つの第１のリブ５８６は、基本的には、上側カバー取り付け用受座５６４の筒体部分上の表面と接触状態にある。開口部の形状は、上側カバー取り付け用受座５６４の第２のリブ５８８が第１の回転方向Ｒ１（図面では時計回りの方向）に、すなわち、図９Ｂの状態から図１０Ｂの状態に第１のリブ５８６を超えて摺動することができるが、図９Ｂの第１のリブ５８８が第２の回転方向Ｒ２（反時計回りの方向）に回転するのを阻止するよう定められている。図９Ｂに示されているように、２つの隣り合う第１のリブ５８６相互間には、上側カバー取り付け用受座５６４がＲ２の方向に回転するのを阻止する構造体が形成されている。図１０Ｂの状態を図９Ｂの状態に戻すためには、大きな力を加えて第２のリブ５８８が第１のリブ５８６を超えてスナップ動作し、その結果、上側カバー支持機構体５８０がこれを引き出すことができる状態に戻るようになっている。理解されるべきこととして、第１の回転方向Ｒ１および第２の回転方向Ｒ２は、上側カバー支持機構体５８０および上側カバー固定用受座５８４の相対的方向を表すために用いられており、実際には、回転するのは上側カバー支持機構体５８０である。図９Ｂの状態から図１０Ｂの状態に変化させるためには、適当な力を上側カバー支持機構体５８０に加えるのが良く、その結果、第１のリブ５８６は、第２のリブ５８８を超えてスナップ動作して上側カバー支持機構体５８０の設置を完了することができるようになっている。これとは逆に、図１０Ｂの状態から図９Ｂの状態に戻すためには、逆方向に大きな力を上側カバー支持機構体５８０に加えて第１のリブ５８６が第２のリブ５８８を超えてスナップ動作し、その結果、上側カバー支持機構体５８０がこれを取り外した状態に戻るようになっている。
【0047】
具体的に言えば、開口部５８４は、上側カバー取り付け用受座５６４を入れまたは出すことができる第１の通路および上側カバー取り付け用受座５６４を開口部５８４に対して回転させることができる第２の通路を有する。図９Ｃに示されているように、開口部５８４は、上側カバー支持機構体５８０が第１の向きにあるときに上側カバー取り付け用受座５６４が第１の通路を通って開口部５８４に入ったりこれから出たりすることができるように構成されている。図１０Ｃに示されているように、開口部５８４は、上側カバー支持機構体５８０が第２の向きにあるとき、上側カバー取り付け用受座５６４が第２の通路を通ってストッパ５８９によって開口部５８４内に制止されるよう構成されている。すなわち、ストッパ５８９は、上側カバー取り付け用受座５６４のウィング部分５６５ａ，５６５ｂに接触してこれを制止し、その結果、上側カバー支持機構体５８０を引き上げることができないようにする。
【0048】
図１１は、本発明の別の実施形態に係るレチクルポッド６００（上側カバーが取り外されている）およびレチクル１０を示している。図１２Ａ～図１２Ｃは、図１１に示されたＤＤ線に沿って取った支持機構体の断面図であり、支持機構体の互いに異なる実施形態をそれぞれ示している。図１１は、レチクルポッド６００とレチクル１０との関係を示している。レチクル１０は、レチクルポッド６００内に支持されるとともに収容される（図７に示されているように）。レチクルポッド６００は、下側カバー６２０および複数の下側カバー支持機構体６４０を有する。
【0049】
図１２Ａの実施形態に示されているように各下側カバー支持機構体６４０は、レチクル１０を支持するために上方に延びる支持部材６４２および支持部材６４２と反対側に位置しかつ下側カバー６２０に向いた取り付け部材６４４を含む。取り付け部材６４４は、下側カバー支持機構体６４０を下側カバー６２０上に選択的に設置できるよう下側カバー６２０の対応の固定部分（この実施形態では穴）に取り外し可能に連結される。この実施形態では、取り付け部材６４４は、２つの可撓性脚６４５を有し、各可撓性脚６４５は、その端に保持部材６４６を有する。下側カバー６２０の固定部分（穴）は、可撓性脚６４５の保持部材６４６を受け入れてこれを安定可能に収容するよう構成されている。例えば、下側カバー６２０は、摺動溝（図示せず）を備えるのが良く、これら摺動溝は、下側カバー支持機構体６４０の可撓性脚６４５の保持部材６４６が摺動溝に沿って穴に入るようにするためのものであり、かくして、保持部材６４６は、穴の肩部分に当接することができ、その結果、下側カバー支持機構体６４０を下側カバー６２０に固定することができるようになっている。封止手段（例えば、気密封止リング）が下側カバー支持機構体６４０の支持部材６４２と取り付け部材６４４との間に設けられるのが良く、それによりレチクルポッドの収容空間が穴を経てカバーの外部の空間と連通するのを阻止するようになっている。さらに、下側カバー支持機構体６４０は、加圧機構体を備えるのが良く、この加圧機構体を作動させると、可撓性脚６４５の保持部材６４６を対応の溝から解除することができる。変形例として、工具を用いて可撓性脚６４５を下側カバー６２０の穴経由で解除しても良く、また、保持部材６４６は、鍵の形をしてもよくまたは他の形態を有しても良い。
【0050】
図１２Ｂの実施形態に示されているように、下側カバー支持機構体６４０の取り付け部材６４４（この実施形態では穴）は、下側カバー支持機構体６４０を下側カバー６２０上に選択的に設置できるよう下側カバー６２０に設けられたねじに取り外し可能に連結される。取り付け部材６４４は、ねじにはまるねじ穴であるのが良く、その結果、下側カバー支持機構体６４０を下側カバー６２０に提供することができるようになっている。取り付け部材６４４は、その端に位置決め構造体６４７を備えるのが良く、この位置決め構造体６４７は、ねじが下側カバー６２０に設けられる前に、下側カバー支持機構体６４０を設置位置に整列させるために用いられるのが良い。
【0051】
図１２Ｃの実施形態に示されているように、下側カバー支持機構体６４０の取り付け部材６４４は、穴であり、取り付け部材６４４は、上から対応の取り付け用受座６２４にはまりその結果、下側カバー支持機構体６４０を下側カバー６２０上に選択的に設置することができるようになっている。かくして、嵌合式連結部を形成することができ、取り付け部材６４４は、雌型コネクタであり、取り付け用受座６２４は、雄型コネクタであり、またはこの逆の関係が成り立つ。取り付け部材６４４および取り付け用受座６２４は、嵌合式構造的形態を有するのが良く、特に、かかる構造的形態は、取り付け部材６４４が取り付け用受座６２４に対して回転するのを阻止するためのある特定の角度を有するのが良い。
【0052】
図１３Ａは、本発明のさらに別の実施形態に係るレチクルポッド７００（上側カバーが取り外されている）およびレチクル１０を示している。図１３Ｂは、下側カバー７２０の下側カバー支持機構体７４０および下側カバー固定用受座（穴）を示している。図１３Ｃは、図１３Ａに示されたＥＥ線に沿って取った１つの下側カバー支持機構体７４０の断面図である。各下側カバー支持機構体７４０は、レチクル１０を支持するために上方に延びる支持部分７４２および支持部分７４２と反対側に位置しかつ下側カバー７２０に向いた固定部分７４４を含む。固定部分７４４は、下側カバー支持機構体７４０を下側カバー７２０上に選択的に設置することができるよう対応の下側カバー固定用受座７２４に取り外し可能に連結される。固定部分７４４は、基本的に、筒体部分および筒体部分の表面から延びる２つのウィング部分を有する。図１３Ｂに示されているように、下側カバー固定用受座７２４は、固定部分７４４の形状と合致する形状を備えた開口部７２５を有し、それにより下側カバー支持機構体７４０の固定部分７４４は、開口部７２５に入りまたこれを通って出ることができる。図９に示された構造と同様、開口部７２５もまた、固定部分７４４を入れまたは出すことができる第１の通路および固定部分７４４を開口部７２５に対して回転させることができる第２の通路を有するよう構成されている。下側カバー支持機構７４０を下側カバー７２０の下側カバー固定用受座７２４に取り付けるプロセスについて以下に説明する。
【0053】
図１４Ａ～図１４Ｃは、下側カバー支持機構体７４０を下側カバー７２０上に設置するプロセスを示している。最初に、図１４Ａが示すように、下側カバー支持機構体７４０を図１３Ｂに示されているような向きで開口部７２５中に挿入する。次に、図１４Ｂが示すように、下側カバー支持機構体７４０を方向Ｒ３に回転させる。最後に、下側カバー支持機構体７４０は、図１４Ｃに示されているような向きを保ち、かかる下側カバー支持機構体を引き上げることができない。
【0054】
図１４Ｄ～図１４Ｆは、下側カバー支持機構体７４０を下側カバー７２０上に設置する方法を断面図で示している。図１４Ｄは、第１の向きにある下側カバー支持機構体７４０を開口部７２５に整列させるのが良いことを示し、図１４Ｅは、下側カバー支持機構体７４０を開口部７２５中に挿入した後の下側カバー支持機構体７４０を示している。図１４Ｆは、下側カバー支持機構体７４０がこれを回転させた後の第２の向きにあり、開口部７２５のところのストッパ（図示せず）が下側カバー支持機構体７４０のウィング部分に接触してこれを制止し、その結果、下側カバー支持機構体７４０を引き上げることができないようになっていることを示している。
【0055】
図１５Ａは、レチクルポッド８００（上側カバーが取り外されている）およびレチクル１０を示す正面図である。図１５Ｂは、レチクル１０および１つの下側カバー支持機構体８４０を示す断面図である。図１５Ｃは、下側カバー支持機構体８４０およびレチクル１０を示す部分拡大断面図である。図１５Ｄは、下側カバー支持機構体８４０の支持部分８４２の実施形態を示している。下側カバー支持機構体８４０の固定部分は、先の実施形態で説明したように任意の形態を取ることができる。
【0056】
図１５Ｄを参照されたい。下側カバー支持機構体８４０は、第１の壁８４１およびその底部から上方に延びる第２の壁８４２を含む。第１の壁８４１および第２の壁８４２の頂端部（すなわち、支持部分）は、それぞれ、第１の傾斜面８４１ａ、および第２の傾斜面８４２ａを備え、２つの傾斜面は、頂端部から第１の壁８４１と第２の壁８４２の交差部に向かって下方に傾けられている。レチクル１０が下側カバー支持機構体８４０に配置されると、レチクル１０の下縁は、各下側カバー支持機構体８４０の第１の傾斜面８４１ａおよび第２の傾斜面８４２ａに接触することになる。この設計により、レチクル１０を第１の傾斜面８４１ａおよび第２の傾斜面８４２ａに沿って次第に下方に摺動した後に正確に配置することができる。さらに、１つまたは２つ以上の第３の傾斜面８４３によって構成されるダスト収集機構体が第１の傾斜面８４１ａと第２の傾斜面８４２ａの交差部のところに設けられている。図示の実施形態では、２つの第３の傾斜面８４３が設けられる。図１５Ｂ～図１５Ｄに示されているように、２つの第３の傾斜面８４３は、同一方向に向かって（例えば、レチクルから遠ざかる方向に向かって）傾けられており、その結果、レチクル１０の下縁と第１および第２の傾斜面８４１ａ，８４２ａとの摩擦によって生じるダストまたは微粒子が第３の傾斜面８４３上に落下することができ、次にレチクル１０から遠ざかる方向で下側カバーまで滑り落ちることができ、それによりレチクル１０の底面の汚染が回避される。
【0057】
本発明の下側カバー支持機構体の機能は、レチクルの支持には限定されない。図１６Ａは、本発明のさらに別の実施形態に係るレチクルポッド９００（上側カバーが取り外されている）およびレチクルキャリヤ９０１を示し、図１６Ｂは、同一実施形態を示す正面図である。図１６Ｃは、この実施形態に係る下側カバー支持機構体９４０を示す斜視図である。図１６Ｄは、下側カバーおよび下側カバーに取り付けられた下側カバー支持機構体９４０を示している。図１６Ｅは、図１６Ａに示されているＦＦ線に沿って取った下側カバー支持機構体９４０を示す断面図である。
【0058】
図１６Ｃに示されているように、下側カバー支持機構体９４０は、側方延長部分９４１、第１の傾斜アーム９４２ａ、および第２の傾斜アーム９４２ｂを含む。側方延長部分９４１は、先の実施形態で説明した固定部分とほぼ同様に機能することができ、かかる側方延長部分を下側カバー９２０に連結することができ、例えば、図１６Ｅに示されている実施形態を図１２Ｃに示されている実施形態と比較することができる。第１の傾斜アーム９４２ａおよび第２の傾斜アーム９４２ｂは各々、側方延長部分９４１から延びている。具体的に言えば、第１の傾斜アーム９４２ａおよび第２の傾斜アーム９４２ｂの各々は、この実施形態では、平たい延長部および傾斜した延長部で構成されている。図１６Ｄは、下側カバー上に設置された１つの下側カバー支持機構体９４０を示している。図１６Ｄに示されているように、側方延長部分９４１は、レチクルキャリヤ９０１の方向に向かってわずかに延び、一方、第１の傾斜アーム９４２ａおよび第２の傾斜アーム９４２ｂは、下側カバー９２０の周囲に向かって、特に、下側カバー９２０の互いに異なる縁に向かって延びている。図１６Ｅに示されているように、第１の傾斜アーム９４２ａおよび第２の傾斜アーム９４２ｂにより、レチクルキャリヤ９０１は、適切に配置されるよう次第に下方に摺動することができ、それによりレチクルキャリヤ９０１の急傾斜が回避される。
【0059】
先行技術では、レチクルを支持している支持機構体の傾斜部、球体または筒体の当接面（これは、レチクルに当接している）が衝突の繰り返しに起因して摩耗する場合がある。かかる衝突は、支持機構体をさらに摩耗させる場合があり、その結果として望ましくない粒子が生じる。そして、摩耗がひどい場合の唯一の解決策は、レチクルポッドを交換しまたはレチクルポッドを破壊的な仕方で分解することであり、これは資源の無駄遣いになる。上記において与えられた種々の実施形態で説明したように、本発明は、レチクルが配置されているときにバッファともなることができる迅速解除支持機構体を提供する。本発明の支持機構体が摩耗すると、これを迅速に交換して粒子の発生を減少させることができる。このように、レチクルポッド全体を交換する必要はなく、かくして製造費と資源の無駄の両方を減少させることができる。
【0060】
１つまたは２つ以上の実施形態が本発明を説明するために提供されたが、理解されるべきこととして、本発明は、本明細書において開示した実施形態には限定されない。例えば、本発明に係る支持機構体の構造的形態は、これら実施形態において開示した構造的形態には限定されない。また、上側カバーおよび下側カバーは、同一の形態を有するよう設計されるのが良く、あるいは変形例として、上側カバー支持機構体および下側カバー支持機構体は、互いに異なる形態を有するよう設計されても良い。添付の特許請求の範囲に記載された本発明の精神または範囲から逸脱していない改造例および同様な構成例の全ては、本発明によって規定される最も広い意味で解釈されるべきである。本発明の開示はまた、添付の特許請求の範囲に記載された実施形態の全てを含む。
【符号の説明】
【0061】
１０ レチクル
１００ レチクルポッド
１２０ 下側カバー
１２２ 担持面
１２４ 取り付け用受座または固定用受座
１４０ 支持機構体
１４２ 支持部材
１４３ａ，１４３ｂ 支持柱状体
１４６ 保持部材
１４７ 切り欠き
１５６ 可撓性脚
５２０ 下側カバー
５４０ 下側カバー支持機構体
５６０ 上側カバー
５８０ 上側カバー支持機構体
１００ レチクルポッド
１２０ 下側カバー
１２２ 担持面
１２４ 取り付け用受座または固定用受座
１４０ 支持機構体
１４２ 支持部材
１４３ａ，１４３ｂ 支持柱状体
１４６ 保持部材
１４７ 切り欠き
１５６ 可撓性脚
５２０ 下側カバー
５４０ 下側カバー支持機構体
５６０ 上側カバー
５８０ 上側カバー支持機構体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図11】
【図12A】
【図12B】
【図12C】
【図13A】
【図13B】
【図13C】
【図14A】
【図14B】
【図14C】
【図14D】
【図14E】
【図14F】
【図15A】
【図15B】
【図15C】
【図15D】
【図16A】
【図16B】
【図16C】
【図16D】
【図16E】
