特許 7234476 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-02-28

(45)【発行日】2023-03-08

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20230301BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20230301BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2019027715

(22)【出願日】2019-02-19

(65)【公開番号】P2020136486

(43)【公開日】2020-08-31

【審査請求日】2021-12-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100144048

【弁理士】

【氏名又は名称】坂本 智弘

(72)【発明者】

【氏名】小川 統

【審査官】渡井 高広

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１８／１７９９６４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１８／２０３３８４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００６－０１５２９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３０６９３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－２５４５１６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数枚の基板を収納可能な容器本体と、
前記容器本体に設けられる給気弁と、
前記給気弁に接続し、前記給気弁から供給された気体を前記容器本体の内部空間に吹出す複数の吹出孔を有する気体置換ユニットと、
前記吹出孔からの前記気体の吹出し方向に視て、複数の前記吹出孔のうちの少なくとも一部に重なる位置に、障害物とを含み、
前記障害物は、断面形状が円形又は楕円形である、基板収納容器。

【請求項2】

前記障害物は、前記少なくとも一部の前記吹出孔から吹き出される気体の流れに対して後流側にカルマン渦を形成する、請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記気体置換ユニットは、複数の前記吹出孔を塞ぐ態様で通気性のあるフィルタ部材を含む、請求項１又は２に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記容器本体は、貫通穴を有し、
前記気体置換ユニットは、前記貫通穴を介して前記容器本体に対して位置決めされる、請求項１～３のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項5】

前記気体置換ユニットは、前記容器本体における背面側かつ左側と、背面側かつ右側とにそれぞれ設けられる、請求項１～４のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項6】

前記気体は、窒素ガス又はドライエアである、請求項１～５のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項7】

複数枚の基板を収納可能な容器本体と、
前記容器本体の内部空間側に、気体を吹き出す吹出孔を有し、前記容器本体の外部から前記内部空間に前記吹出孔を介して気体を供給する給気弁と、
前記気体の吹出し方向に視て前記吹出孔に重なる位置に、障害物とを含み、
前記障害物は、断面形状が円形又は楕円形である、基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハなどの基板は、基板収納容器の内部空間に収納され、倉庫での保管、半導体加工装置間での搬送、工場間での輸送などに使用されている。基板収納容器は、内部空間に収納した基板が酸化や汚染されないように、内部空間が窒素ガスなどの不活性ガスやドライエアで置換されることがある。

【0003】

このような基板収納容器として、複数枚の基板を収納する容器本体と、容器本体の開口に着脱自在に嵌合される蓋体とを備え、容器本体の底板に、容器本体の外部から内部空間に気体を供給する給気弁がそれぞれ嵌着され、給気弁に連通する中空の吹出しノズルを立てて設け、吹出しノズルの周壁に、基板に向けて気体を吹出す吹出し孔を設けたものが知られている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１６－４９４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記のような従来技術では、基板収納容器の内部空間内の気体を効率的に置換することが難しい。

【0006】

そこで、１つの側面では、本発明は、基板収納容器の内部空間内の気体を効率的に置換することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

１つの側面では、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、
前記容器本体に設けられる給気弁と、
前記給気弁に接続し、前記給気弁から供給された気体を前記容器本体の内部空間に吹出す複数の吹出孔を有する気体置換ユニットと、
前記吹出孔からの前記気体の吹出し方向に視て、複数の前記吹出孔のうちの少なくとも一部に重なる位置に、障害物とを含む、基板収納容器が提供される。

【発明の効果】

【0008】

１つの側面では、本発明によれば、基板収納容器の内部空間内の気体を効率的に置換することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。

【図2】容器本体の正面図である。

【図3】容器本体の底面図である。

【図4】容器本体の断面平面図である。

【図5】給気弁を含む部位の断面斜視図である。

【図6】本実施形態の気体置換ユニットの斜視図である。

【図7】本実施形態の気体置換ユニットの分解斜視図である。

【図8】本実施形態の気体置換ユニットの（ａ）正面図、（ｂ）平面図、（ｃ）底面図、（ｄ）背面図である。

【図9】本実施形態の気体置換ユニットの図８（ａ）におけるＡ－Ａ断面図である。

【図10】容器本体の（ａ）正面概略図、（ｂ）気体置換ユニット上部取付部の拡大斜視図である。

【図11】気体置換ユニットの上部取付部の拡大斜視図である。

【図12】気体置換ユニットの下部取付部の拡大図である。

【図13】変形例による気体置換ユニットの分解斜視図である。

【図14】第１実施形態における気体置換ユニットと円形断面部材を示す斜視図である。

【図15】第１実施形態における気体置換ユニットと円形断面部材を示す３面図である。

【図16】第１円形断面部材によるカルマン渦が生成される態様を模式的に示す図である。

【図17】第２実施形態による円形断面部材の説明用の斜視図である。

【図18】第２実施形態における気体置換ユニットと円形断面部材を示す３面図である。

【図19】第３実施形態による円形断面部材が適用された基板収納容器を示す断面平面図である。

【図20】図１９のＰ部の拡大図である。

【図21】円形断面部材が適用可能な他の気体置換ユニットを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。また、図面中に、正面Ｆの方向及び後方（背面壁）Ｂの方向を、実線矢印で示している。また、左右は、正面Ｆから見た状態を指すものとする。

【0011】

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。図２は、容器本体の正面図であり、図３は、容器本体の底面図であり、図４は、容器本体の断面平面図である。図５は、給気弁を含む部位の断面斜視図である。

【0012】

図１に示される基板収納容器１は、複数枚の基板Ｗを収納する容器本体２と、この容器本体２の開口に着脱自在に装着される蓋体４と、を備えている。基板収納容器１に収納される基板Ｗとしては、直径が３００ｍｍや４５０ｍｍの半導体ウェーハ、マスクガラスなどが挙げられる。

【0013】

容器本体２は、正面開口枠２ａと、背面壁２ｂと、右側壁２ｃと、左側壁２ｄと、天面２ｅと、底面２ｆとで形成される、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものである。

【0014】

蓋体４は、容器本体２の正面開口枠２ａの開口に装着されるもので、図示しないシールガスケットが容器本体２の正面開口枠２ａに対向するように取付けられている。この蓋体４を容器本体２に装着した際、シールガスケットは容器本体２と蓋体４との間の周縁部に密着し、基板収納容器１の内部空間の気密性を維持するように構成されている。この気密性が維持された基板収納容器１の内部空間の空気は、後述する気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌにより気体Ｇで置換される。

【0015】

容器本体２の背面壁２ｂには、更に後方Ｂに突出する突出部が左右両側に形成されている（図４参照）。この突出部は、容器本体２の正面Ｆの開口を上向きにして載置される際に、脚部として機能する。また、容器本体２の背面壁２ｂの中央外側には、収納された基板Ｗの枚数の補助となる目盛りなどが表示される（図１参照）。

【0016】

容器本体２の右側壁２ｃ及び左側壁２ｄの外側の中央付近には、握持操作用に機能するグリップ２３がそれぞれ取付けられている。

【0017】

また、容器本体２の右側壁２ｃ及び左側壁２ｄの内側には、収納される基板Ｗを水平に支持する左右一対の支持片２１がそれぞれ複数設けられ、右側壁２ｃ及び左側壁２ｄの内側の後方Ｂ側には、基板Ｗを後方Ｂに向けて挿入した際に、基板Ｗの挿入位置を規制する位置規制部２２がそれぞれ設けられている。

【0018】

この左右一対の支持片２１は、上下方向に所定のピッチで配列され、各支持片２１が基板Ｗの周縁を支持する細長い板状に形成されている。本実施形態では、２５枚の基板Ｗが支持できるように支持片２１が設けられているが、基板Ｗの最大収納枚数は２５枚に限らない。

【0019】

このとき、基板Ｗは、容器本体２に必要に応じて満載状態で収納されたり、満載状態より少ない数が収納されたり、収納位置が変えられたりするため、容器本体２への収納枚数及び収納状態は、基板収納容器１の使用態様によって種々異なる。例えば、複数枚の基板Ｗが、上方又は下方に偏って収納されたり、１つ置きに収納されたりすることもある。

【0020】

容器本体２の天面２ｅの外側には、ロボティックフランジなどのトップフランジ２５が取付けられている。このトップフランジ２５は、例えば、半導体製造工場の天井搬送車に把持され、工程間を搬送されたり、半導体加工装置などの蓋体開閉装置に位置決めに利用されたりする。

【0021】

容器本体２の底面２ｆの外側には、容器本体２を位置決め、載置するためのボトムプレート２６が取付けられている。

【0022】

容器本体２や蓋体４、また、グリップ２３、トップフランジ２５、ボトムプレート２６などの付属品は、所要の樹脂を含有する成形材料により射出成形されたり、射出成形された複数の部品の組み合わせにより構成されたりする。成形材料に含まれる樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイなどが挙げられる。

【0023】

また、これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマーなどからなる導電性物質やアニオン、カチオン、非イオン系などの各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。さらに、紫外線吸収剤や、剛性を向上させる強化繊維なども必要に応じて添加される。なお、容器本体２、蓋体４、グリップ２３、トップフランジ２５及びボトムプレート２６などは、透明、不透明、半透明のいずれでもよいが、容器本体２及び蓋体４は、透明が好ましい。

【0024】

容器本体２の底面２ｆには、３つの給気弁５０と１つの排気弁６０とが設けられている。これらの給気弁５０及び排気弁６０は、基板収納容器１の外部から内部空間に又は内部空間から外部に気体（例えば、後述の気体Ｇ）を流通させることにより、収納した基板Ｗの表面の変質を抑制したり、基板収納容器１の内部空間と外部との圧力差を解消したりするように機能する。

【0025】

このうち、２つの給気弁５０が、底面２ｆの後方Ｂの左右両側に設けられている。そして、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌの下部は、気体が流通するように、これら２つの給気弁５０に接続されている。また、１つの給気弁５０と１つの排気弁６０とが、底面２ｆの正面Ｆ付近の左又は右側に設けられている。

【0026】

給気弁５０は、容器本体２の底面２ｆに形成された凹部に装着されたグロメット５０ａと、グロメット５０ａの端部に取付けられた、通気性を有するフィルタ部材５１と、逆止弁５２とを有している（図５参照）。

【0027】

グロメット５０ａは、エラストマーなどの弾性樹脂部材で形成されている。フィルタ部材５１は、供給される気体を濾過し、塵埃を除去するもので、不織布フィルタなどが用いられる。逆止弁５２は、弁を閉止する方向にコイルバネ５３により付勢されて、バルブハウジング５４に収容されている（図５参照）。

【0028】

一方、排気弁６０は、逆止弁（図示なし）を有するとともに、例えば、湿度（又は濃度）センサを取付けることで、基板収納容器１の内部空間の気体を置換した後、基板収納容器１の内部空間の湿度（又は濃度）の測定を行うことができ、基板収納容器１の内部空間の気体の置換が正常に行われているかの管理を行うことができる。

【0029】

本実施形態では、基板収納容器１は、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌと、円形断面部材７（障害物の一例）とを更に備える。

【0030】

気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌ及び円形断面部材７は、基板収納容器１の内部空間内の気体を気体Ｇで置換する際に機能する。

【0031】

［気体置換ユニット］
ここでは、まず、基板収納容器１の内部空間を気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌにより気体Ｇに置換する構成について説明する。図６は、本実施形態の気体置換ユニットの斜視図であり、図７は、本実施形態の気体置換ユニットの分解斜視図である。図８は、本実施形態の気体置換ユニットの（ａ）正面図、（ｂ）平面図、（ｃ）底面図、（ｄ）背面図である。図９は、本実施形態の気体置換ユニットの図８におけるＡ－Ａ断面図である。なお、図６から図９は、正面Ｆから見て右側の気体置換ユニット３Ｒについて示す。

【0032】

気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌは、容器本体２の内部空間を気体Ｇで置換するもので、基板Ｗが挿入された状態でも基板Ｗと干渉しないように、容器本体２の後方Ｂ（背面壁２ｂ又は突出部付近）の左右両側に、長手方向を縦にして備えられている（図１及び２参照）。

【0033】

この気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌは、容器本体２の内部空間に気体Ｇを吹出すものである。吹出す気体Ｇとしては、不活性ガスやドライエアが挙げられる。さらに、不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガスなどが挙げられるが、コスト面から窒素ガスが好ましい。気体置換ユニット３Ｌは、図２に示されるように、気体置換ユニット３Ｒと左右対称なものである点を除いて、同じ形状・構造であるから、以下では、気体置換ユニット３Ｒについて主に説明する。

【0034】

図６に示される気体置換ユニット３Ｒは、ハウジング部材３１と、カバー部材３２とを含み、略５角形柱状に形成されているが、形状はこれに限られない。また、気体置換ユニット３Ｒは、容器本体２などと同様の樹脂で形成されても、異なる樹脂で形成されてもよい。

【0035】

ハウジング部材３１は、気体Ｇを貯留するように、一方（後方Ｂの方向）が開口した面となる箱状に形成されており、カバー部材３２は、板状を形成し、この開口した面を覆うように、爪などの係止手段（係合手段）や超音波などの溶着手段によって取付けられている（図７参照）。これらのハウジング部材３１とカバー部材３２とで、気体Ｇを貯留する空間が形成されている。

【0036】

ここで、ハウジング部材３１は、所定の角度で交差し、大きさの異なる２つの面部３１Ａ，３１Ｂを有している。面部３１Ａと面部３１Ｂとの交差角度は、内角で１２０°から１７０°の範囲である。また、面部３１Ａの面積は、面部３１Ｂの面積より大きく形成されている。

【0037】

ハウジング部材３１の下面部３１Ｃには、給気弁５０からの気体Ｇが流れ込む円筒状の接続具３１１が突出して設けられている。接続具３１１の近傍には、気体置換ユニット３Ｒの左右方向の回転を止め、回転方向の位置決めをする回止め突起３１２が形成されている（図８参照）。一方、ハウジング部材３１の上面部３１Ｄには、容器本体２に位置決め固定するための円柱状の位置決め突起３１３が形成されている。

【0038】

本実施形態では、ハウジング部材３１は、その面部３１Ａ、面部３１Ｂ、下面部３１Ｃ及び上面部３１Ｄが一体成形されているが、下面部３１Ｃ又は上面部３１Ｄの少なくとも一方が別体に成形されてもよい。

【0039】

ハウジング部材３１の面部３１Ａには、図８（ａ）に示すように、横長の略矩形状の吹出孔が、縦方向（長手方向）に上から順に、第１吹出孔３１ａ，３１ｂ，３１ｃ・・・３１ｘ，３１ｙ，３１ｚ（以下、必要に応じて「第１吹出孔群３１ａ－ｚ」という。）が２６か所に形成されている。

【0040】

ハウジング部材３１の面部３１Ｂには、同じく横長の略矩形状の吹出孔が、縦方向（長手方向）に上から順に、第３吹出孔３３ａ，３３ｂ，３３ｃ・・・３３ｘ，３３ｙ，３３ｚ（以下、必要に応じて「第３吹出孔群３３ａ－ｚ」という。）として２６か所に形成されている。

【0041】

第１吹出孔群３１ａ－ｚと、第３吹出孔群３３ａ－ｚとを、所定の角度で交差する面部３１Ａ，３１Ｂにそれぞれ形成することにより、気体Ｇの吹出方向を異ならせることができ、気体Ｇが基板収納容器１の内部空間に拡散し易くなる。

【0042】

最上段の第１吹出孔３１ａの開口高さは、２段目の第１吹出孔３１ｂの開口高さよりも、少し大きく、すなわち、第１吹出孔３１ａの開口面積は、第１吹出孔３１ｂの開口面積よりも、少し大きい。また、第１吹出孔３１ｂから第１吹出孔３１ｕまでの開口面積は、すべて等しく、第１吹出孔３１ｖから第１吹出孔３１ｙまでの開口面積は、第１吹出孔３１ｕの開口面積よりも徐々に大きくなり、第１吹出孔３１ｚの開口面積は、第１吹出孔３１ｙの開口面積よりも小さい。また、第３吹出孔群３３ａ－ｚについても同様である。

【0043】

そして、最下段の第１吹出孔３１ｚ及び第３吹出孔３３ｚは、容器本体２の最下段の支持片２１に支持された基板Ｗよりも下方に位置している。ただし、最下段の基板Ｗよりも下方に位置する第１吹出孔３１ｚ及び第３吹出孔３３ｚは、１つに限らず複数であってもよい。

【0044】

このように、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚは、最上段の第１吹出孔３１ａ及び第３吹出孔３３ａの開口面積を大きくしているため、最上段の基板Ｗと、容器本体２の天面２ｅの内面との間に形成される空間が、他の段の基板Ｗと隣接する段の基板Ｗとの間に形成される空間よりも大きくても、最上段の第１吹出孔３１ａから吹き出される気体Ｇの風量が多くなるため、基板Ｗの上方の空間における気体Ｇの湿度又は濃度が、基板Ｗの位置（段目）によって異なることがなく、均一な状態になる。

【0045】

そして、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔３３ａ－ｚは、下方側の開口面積を大きくしているため、下方から供給される気体Ｇの直進性が高くても、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔３３ａ－ｚの下方から上方にわたって、気体Ｇが均一に吹き出される。また、最下段の基板Ｗの下にも第１吹出孔３１ｚ及び第３吹出孔３３ｚが形成されているので、最下段の基板Ｗと底面２ｆとの間にも、気体Ｇが吹き出されるから、クリーンルーム内のダウンフローのエアが容器本体２の正面Ｆの開口から内部に侵入しても、底面２ｆの上面を正面Ｆに向かって吹出す気体Ｇによって、必要以上に流れ込むことがない。

【0046】

一方、カバー部材３２には、図８（ｄ）に示すように、略矩形又は正方形状の吹出孔が、縦方向（長手方向）に上から順に、第２吹出孔３２ａ，３２ｂ・・３２ｅ，３２ｆ（以下、必要に応じて「第２吹出孔群３２ａ－ｆ」という。）として６か所に形成されている。最上段の第２吹出孔３２ａの高さ位置は、第１吹出孔３１ｃの高さ位置と略同じで、以下、第２吹出孔３２ｂと第１吹出孔３１ｈとが、第２吹出孔３２ｃと第１吹出孔３１ｍとが、第２吹出孔３２ｄと第１吹出孔３１ｓとが、第２吹出孔３２ｅと第１吹出孔３１ｗとが、第２吹出孔３２ｆと第１吹出孔３１ｙとが、略同じ高さでそれぞれ一致している。

【0047】

ここで、第１吹出孔群３１ａ－ｚ、第２吹出孔群３２ａ－ｆ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚのそれぞれの合計開口面積Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の比率は、容器本体２に収納された複数の基板Ｗ間での湿度のバラツキがより小さくなるように調節できる。開口面積の調節は、第１吹出孔群３１ａ－ｚ、第２吹出孔群３２ａ－ｆ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚの各吹出孔が異なるハウジング部材３１及びカバー部材３２を準備することや、適宜の吹出孔を閉止することで実施できる。

【0048】

図４に戻って、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌは、上述したように容器本体２の後方Ｂ（背面壁２ｂ又は突出部付近）の左右両側に備えられているため、吹出した気体Ｇを基板収納容器１の内部空間に均一に拡散させるためには、基本的に第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚから正面Ｆ側に向かって吹出し、空気を気体Ｇで置換することになる。このとき、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚが設けられた位置よりも後方Ｂ側の、背面壁２ｂから右側壁２ｃ又は左側壁２ｄ付近にも空気が存在するため、後方Ｂに向かって第２吹出孔群３２ａ－ｆから気体Ｇを吹出す方がよい。

【0049】

そして、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚが設けられた位置よりも正面Ｆ側の空間は、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚが設けられた位置よりも後方Ｂ側の空間と比較するとかなり大きいため、正面Ｆ側を向く第１吹出孔群３１ａ－ｚの合計開口面積Ｓ１及び第３吹出孔群３３ａ－ｚの合計開口面積Ｓ３は、後方Ｂ側を向く第２吹出孔群３２ａ－ｆの合計開口面積Ｓ２よりも、大きくする方がよい。

【0050】

また、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌは、前述したように基本的に正面Ｆ側に向かって気体Ｇを吹出すが、右側壁２ｃ又は左側壁２ｄ付近に備えられるため、右側壁２ｃ又は左側壁２ｄに沿って正面Ｆに向かう気体Ｇは、少なくてもよいが、逆に、容器本体２の中央に向かう気体Ｇは、多い方がよい。そのため、第１吹出孔群３１ａ－ｚの合計開口面積Ｓ１は、第３吹出孔群３３ａ－ｚの合計開口面積Ｓ２よりも、大きくする方がよい。

【0051】

これらを踏まえると、第１吹出孔群３１ａ－ｚ、第２吹出孔群３２ａ－ｆ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚのそれぞれの合計開口面積Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、Ｓ１：Ｓ２：Ｓ３＝３：１：２などとしてもよい。

【0052】

図７に戻って、ハウジング部材３１の内側には、通気性を有するフィルタ部材３４が設けられており、同じくカバー部材３２の内側には、通気性を有するフィルタ部材３５が設けられている。フィルタ部材３４，３５としては、例えば、不織布フィルタなどが挙げられる。

【0053】

そして、円筒状の接続具３１１から導入された気体Ｇは、ハウジング部材３１とカバー部材３２とで形成される空間に導入され、貯留される。貯留された気体Ｇは、フィルタ部材３４，３５を介して、第１吹出孔群３１ａ－ｚ、第２吹出孔群３２ａ－ｆ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚから容器本体２の内部空間に吹き出される。

【0054】

気体置換ユニット３Ｒの容器本体２への取付方法について説明する。図１０は、容器本体の（ａ）正面概略図、（ｂ）気体置換ユニット上部取付部の拡大斜視図である。図１１は、気体置換ユニットの上部取付部の拡大斜視図である。図１２は、気体置換ユニットの下部取付部の拡大図である。なお、図１２では、円形断面部材７の図示は省略されている。

【0055】

気体置換ユニット３Ｒは、位置決め固定部材８及びオフセット部材９により容器本体２に取付けられている。具体的には、気体置換ユニット３Ｒの上部が、位置決め固定部材８に取付けられ、気体置換ユニット３Ｒの下部が、オフセット部材９に取付けられる。

【0056】

そこで、容器本体２の背面壁２ｂの左右両側には、位置決め固定部材８を固定するために、円形の貫通孔２７が形成されており、また、貫通孔２７の上部には、ストッパ２８が形成されている。一方、容器本体２の底面２ｆの左右両側には、オフセット部材９を固定するために、取付孔２９が形成されている。この取付孔２９は、円形でなく大きな円と小さな円を繋いだ略楕円形状で形成されている。

【0057】

図１１に示される位置決め固定部材８は、細長い形状で、一端側が略板状で、他端側が矩形の軸で形成されている。この軸の周囲には、３つの円盤状のフランジ８１，８２，８３が他端側に向かって形成されている。軸端のフランジ８３と中間のフランジ８２は、背面壁２ｂの貫通孔２７の径より小さく形成され、貫通孔２７に挿入される。中間のフランジ８２には、小径の段部が形成され、Ｏリング８４Ａが嵌め込まれている。内側のフランジ８１にも、小径の段部が形成され、Ｏリング８４Ｂが嵌め込まれている。内側のフランジ８１及びＯリング８４Ｂは、貫通孔２７の径より大きく形成されており、位置決め固定部材８の他端側を貫通孔２７に挿入した際、容器本体２とフランジ８１の間にＯリング８４Ｂが挟まるため、気体Ｇが漏れることがない。

【0058】

位置決め固定部材８を貫通孔２７に挿入後、軸端のフランジ８３と容器本体２の間に位置する矩形の軸に、内側が矩形状に形成され、外径が貫通孔２７より大きいＣリング８５を挟むことにより、位置決め固定部材８が貫通孔２７を介して容器本体２に固定される。具体的には、軸端のフランジ８３を外側に引っ張りながら、Ｏリング８４Ｂをフランジ８１と容器本体２との間で潰しながら、Ｃリング８５を差し込むことで密封性が高まる。

【0059】

また、位置決め固定部材８の一端側は、上方に屈曲した板形状で、細長いスリット８６が形成されている。このスリット８６には、ハウジング部材３１の位置決め突起３１３とストッパ２８が嵌り込む。端部８７は、更に上部に湾曲し、その更に先端にはＵ字型の切欠き８８が形成されている。

【0060】

図１２に示されるオフセット部材９は、底面２ｆの内側に位置するオフセットプレート押さえ９０と、底面２ｆの外側に位置するオフセットプレート９５との間に、気体Ｇが流通する隙間が形成されるように、Ｏリング９４を介して組立てられている（図５参照）。

【0061】

オフセットプレート押さえ９０には、ハウジング部材３１の回止め突起３１２が嵌まり込む凹部９２が形成されており、回止め突起３１２が凹部９２に嵌まり込むことで、回転する気体置換ユニット３Ｒの方向及び位置が決まる。また、オフセットプレート押さえ９０には、気体置換ユニット３Ｒの接続具３１１を差し込む差込孔が形成されており、接続具３１１は、パッキン９３を介して差し込まれる。取付孔２９には、このオフセットプレート押さえ９０がＯリング９１を介して嵌め込まれる（図５参照）。

【0062】

オフセットプレート９５は、平面視で、パッキン９３の中心位置からズレた位置に、給気弁５０の中心が位置するように、給気弁５０を嵌め込む凹部が形成されている（図５参照）。

【0063】

このような構成により、気体置換ユニット３Ｒは、まず下部の接続具３１１がオフセット部材９に取付けられ、その後、上部の位置決め突起３１３が位置決め固定部材８に取付けられて、容器本体２に取付けられる。

【0064】

具体的には、気体置換ユニット３Ｒの下部の接続具３１１をパッキン９３に差し込んで傾いた状態から、気体置換ユニット３Ｒの上部の位置決め突起３１３を、端部８７側からスリット８６に向かって押し込むことで、位置決め固定部材８が湾曲して、位置決め突起３１３が、スリット８６に嵌り込む。と同時に、位置決め突起３１３は、ストッパ２８にも当接することで、スリット８６内での位置が決められ、気体置換ユニット３Ｒの上部が位置決め固定される。

【0065】

なお、本実施形態では、気体置換ユニット３Ｒは、ハウジング部材３１が前側に設けられるが、これに限られない。例えば、図１３に示す変形例による気体置換ユニット３Ｒの場合、ハウジング部材３１が背面側に設けられ、カバー部材３２が前面側に設けられる。そして、カバー部材３２には、面部３１Ａ、３１Ｂが形成され、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚが形成される。また、カバー部材３２には、第２吹出孔群３２ａ－ｆが形成される。

【0066】

また、上記実施形態の気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌにおいて、第１吹出孔群３１ａ－ｚ、第３吹出孔群３３ａ－ｚ及び第２吹出孔３２ａ－ｆの開口面積や数量や配置も上記実施形態に限らず、底面２ｆの上面に沿って吹き込むダウンフローエアなどの外部からエアに対向できるように、下方の吹出風量を増やすように構成してもよい。

【0067】

また、第２吹出孔群３２ａ－ｆを選択的に塞いだり、追加で穿設したりすることで、正面Ｆ方向及び後方Ｂ方向への吹出風量の比率を調整してもよい。さらに、オフセット部材９の凹部９２の位置を変更することで、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌの方向方を変更してもよい。あるいは、ハウジング部材３１の２つの面部３１Ａ，３１Ｂの交差角度を変更したり、面積変更して、吹出方向及び／又は吹出風量の比率を調整してもよい。なお、これらの変更は、成形金型に入れ子を用いることで対応することができる。

【0068】

また、ハウジング部材３１は、上部でなく中央部で位置決め固定されてもよく、あるいは、上部及び中央部で位置決め固定されてもよい。このとき、背面壁２ｂに形成される貫通孔２７の位置は、適宜変更され、位置決め固定部材８の形状も適宜変更される。

【0069】

上記実施形態において、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌの他に、他の気体置換ユニットを複数備えてもよいし、逆に気体置換ユニット３Ｒ又は３Ｌのいずれか１つであってもよい。また、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌは、後方Ｂの左右の２か所に限らず、後方Ｂの中央部に基板Ｗと干渉しない領域があれば、その領域に配置してもよい。

【0070】

［円形断面部材］
円形断面部材７は、右と左の気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌに対して設けられる。気体置換ユニット３Ｌに対して設けられる円形断面部材７は、気体置換ユニット３Ｒに対して設けられる円形断面部材７と実質的に同様であるので（左右対称となるだけの相違であるので）、ここでは、気体置換ユニット３Ｒに対して設けられる円形断面部材７について主に説明する。

【0071】

図１４は、気体置換ユニット３Ｒと円形断面部材７を示す斜視図である。図１５は、気体置換ユニット３Ｒと円形断面部材７を示す３面図であり、（ａ）は、気体置換ユニット３Ｒの上面を視た図、（ｂ）は、気体置換ユニット３Ｒの正面を視た図であり、（ｃ）は、気体置換ユニット３Ｒの側面を視た図である。

【0072】

円形断面部材７は、上下方向に視て円形の断面形状である。円形断面部材７は、気体置換ユニット３Ｒと同じ材料により形成されてよい。円形断面部材７は、気体置換ユニット３Ｒの上下方向の全体にわたり、上下方向に延在する。

【0073】

円形断面部材７は、好ましくは、気体置換ユニット３Ｒに対して複数本設けられる。本実施形態では、円形断面部材７は、気体置換ユニット３Ｒに対して５本設けられる。ただし、円形断面部材７の本数は任意である。

【0074】

円形断面部材７は、気体置換ユニット３Ｒに対して前側にわずかにオフセットする態様で延在してよい。すなわち、図１５に示すように、円形断面部材７は、気体置換ユニット３Ｒに対して前側に所定距離Ｌだけ離れて延在する。所定距離Ｌは、例えば１ｍｍ～１０ｍｍであってよい。

【0075】

５本の円形断面部材７は、例えば上下端や中間部等において、横方向に延在する部位（図示せず）により連結されてもよい。この場合、横方向に延在する部位は、断面形状が円形であってもよい。５本の円形断面部材７は、気体置換ユニット３Ｒと一体に成形されてもよいし、気体置換ユニット３Ｒとは別に形成されて気体置換ユニット３Ｒに嵌合や熱溶着等により結合されてもよい。

【0076】

５本のうちの２本の円形断面部材７（以下、他と区別する際は、「第１円形断面部材７１」とも称する）は、図１４及び図１５に示すように、第１吹出孔群３１ａ－ｚからの気体の吹出し方向に視て、第１吹出孔群３１ａ－ｚに重なる位置に設けられる。第１円形断面部材７１は、第１吹出孔群３１ａ－ｚから吹き出される気体の流れに対して作用する。本実施形態では、第１円形断面部材７１は、第１吹出孔群３１ａ－ｚを形成するすべての第１吹出孔３１ａ，３１ｂ，３１ｃ・・・３１ｘ，３１ｙ，３１ｚに対して重なる態様で設けられるが、変形例では、第１円形断面部材７１は、第１吹出孔３１ａ，３１ｂ，３１ｃ・・・３１ｘ，３１ｙ，３１ｚのうちの、一部の第１吹出孔に対してのみ重なる態様で設けられてもよい。すなわち、第１円形断面部材７１は、上下方向で一部が省略される構成であってもよい。

【0077】

なお、本実施形態では、第１円形断面部材７１は、互いに等間隔に配置されるが、異なる間隔で配置されてもよい。また、本実施形態では、第１円形断面部材７１として２本の円形断面部材７が設けられるが、本数は任意である。従って、第１吹出孔群３１ａ－ｚに対して、１本の円形断面部材７だけが設けられてもよい。

【0078】

５本のうちの、残りの３本の円形断面部材７（以下、他と区別する際は、「第２円形断面部材７２」とも称する）は、図１４及び図１５に示すように、第３吹出孔群３３ａ－ｚからの気体の吹出し方向に視て、第３吹出孔群３３ａ－ｚに重なる位置に設けられる。第２円形断面部材７２は、第３吹出孔群３３ａ－ｚから吹き出される気体の流れに対して作用する。本実施形態では、第２円形断面部材７２は、第３吹出孔群３３ａ－ｚを形成するすべての第３吹出孔３３ａ，３３ｂ，３３ｃ・・・３３ｘ，３３ｙ，３３ｚに対して重なる態様で設けられるが、変形例では、第２円形断面部材７２は、第３吹出孔３３ａ，３３ｂ，３３ｃ・・・３３ｘ，３３ｙ，３３ｚのうちの、一部の第３吹出孔に対してのみ重なる態様で設けられてもよい。

【0079】

なお、本実施形態では、第２円形断面部材７２として３本の円形断面部材７が設けられるが、本数は任意である。従って、第３吹出孔群３３ａ－ｚに対して、１本の円形断面部材７だけが設けられてもよい。

【0080】

また、本実施形態では、第２吹出孔群３２ａ－ｆ（図８等参照）に対して同様の円形断面部材は設けられないが、変形例では、第２吹出孔群３２ａ－ｆに対して同様の円形断面部材が設けられてもよい。

【0081】

第１円形断面部材７１は、第１吹出孔群３１ａ－ｚから吹き出される気体の流れに対して後流側にカルマン渦を形成する態様で、作用する。第２円形断面部材７２は、第３吹出孔群３３ａ－ｚから吹き出される気体の流れに対して後流側にカルマン渦を形成する態様で、作用する。

【0082】

図１６は、第１円形断面部材７１によるカルマン渦が生成される態様を模式的に示す図であり、上下方向に視た断面図である。なお、第２円形断面部材７２についても同様である。図１６では、第１円形断面部材７１まわりの気体Ｇの流れが矢印で模式的に示される。

【0083】

カルマン渦は、それ自体広く知られているように、円形断面又はその類（例えば楕円形断面）の物体を、流体の流れに配置すると、物体の後流側に左右交互に生成される渦（図１６の渦Ｖｔ参照）である。本実施形態では、円形断面部材７によって、かかるカルマン渦を積極的に発生させることで、気体Ｇの拡散を促進し、効率的な気体の置換を実現できる。

【0084】

次に、本実施形態における、気体Ｇの流れについて説明する。

【0085】

給気弁５０から高圧で導入された気体Ｇは、フィルタ部材５１（図５参照）を通過し、オフセットプレート押さえ９０とオフセットプレート９５との隙間を流れ、後方Ｂのオフセットプレート押さえ９０と気体置換ユニット３Ｒの下部の接続具３１１との接続部に向かう。

【0086】

その後、気体Ｇは気体置換ユニット３Ｒの貯留空間を進みながら（図９参照）、第１吹出孔群３１ａ－ｚ、第３吹出孔群３３ａ－ｚ及び第２吹出孔群３２ａ－ｆから吹き出される。このとき、気体Ｇは、正面Ｆ側の中央付近及び右側壁２ｃに向かう方向と、後方Ｂ側の背面壁２ｂに向かう方向との、異なる３方向に吹き出される（図４参照）。

【0087】

ここで、第１吹出孔群３１ａ－ｚから容器本体２の正面Ｆ側の中央付近に向かって吹き出される気体Ｇの方向及び第３吹出孔群３３ａ－ｚから容器本体２の右側壁２ｃ又は左側壁２ｄに向かって吹き出される気体Ｇの方向について具体的に説明する。

【0088】

第１吹出孔群３１ａ－ｚ又は第３吹出孔群３３ａ－ｚの吹出開口の延長方向、つまり、第１吹出孔群３１ａ－ｚ又は第３吹出孔群３３ａ－ｚが形成された面部３１Ａ又は面部３１Ｂの中央を通る法線が、右側壁２ｃ又は左側壁２ｄに交差することなく、容器本体２の正面開口枠２ａの開口に到達する範囲であることが好ましい。更に好ましくは、気体置換ユニット３Ｒの場合、面部３１Ａの法線が、容器本体２の正面開口枠２ａの開口からの法線ＮＬ（垂線）に対して１０°から４０°の範囲であり、面部３１Ｂの法線が、容器本体２の正面開口枠２ａの開口からの法線ＮＬ（垂線）を挟んで、中央側５°から右側壁２ｃ側１０°の範囲である。なお、気体置換ユニット３Ｌの場合は、気体置換ユニット３Ｒと対称となる。

【0089】

このような範囲となるように、面部３１Ａ及び面部３１Ｂ（あるいは、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚ）を形成し、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌを容器本体２の内部に備えることで、各吹出孔から吹き出された気体Ｇは、容器本体２の右側壁２ｃ又は左側壁２ｄに、衝突して反射することがない。そのため、気体Ｇの気流に乱れが起きることがないから、容器本体２の内部空間を気体Ｇで素早く確実に置換することができる。

【0090】

ここで、本実施形態では、上述のように円形断面部材７が配置されるので、各吹出孔から吹き出された気体Ｇは、早い段階（気体置換ユニット３Ｒの近傍）で拡散されて、上述の方向に流れる。すなわち、円形断面部材７が配置されない場合は、各吹出孔から吹き出された気体Ｇは、カルマン渦が生じない流れによって最終的には拡散されることになるが、円形断面部材７が配置される場合は、各吹出孔から吹き出された直後から拡散される。この結果、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌの近傍での気体の置換が促進されるので、容器本体２の内部空間を気体Ｇで、より効率的に置換できる。

【0091】

なお、蓋体４が容器本体２に装着されている場合には、容器本体２に気体Ｇが高圧で供給され、内部空間に充満すると、気体Ｇは、図３に示した排気弁６０から容器本体２の外部に流出する。この空気の流出により、基板収納容器１の内部空間がパージガスである気体Ｇに置換される。

【0092】

一方、蓋体４が装着されていない場合には、図示しないクリーンルームなど外部装置からのダウンフローのエアが、容器本体２の正面Ｆから流れ込むが、このエアに抗しながら、基板収納容器１の内部空間がパージガスである気体Ｇに置換される。

【0093】

このように、本実施形態によれば、上述のように円形断面部材７が配置されるので、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌから吹出した気体Ｇは、円形断面部材７を通過することで円形断面部材７の後流側でカルマン渦を形成する。この結果、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌから吹出した気体Ｇは、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌの近傍から拡散されるので、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌの近傍での気体の置換を効率的に実現できる。

【0094】

また、本実施形態では、ハウジング部材３１の上部又は中央部の少なくとも一方が、容器本体２の背面壁２ｂに形成された貫通孔２７を用いて位置決め固定される。これにより、貫通孔２７に簡単に着脱できる位置決め固定部材８を用いて、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌを取付けるため、容器本体２から気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌを簡単に取付け又は取外しをすることができる。容器本体２を洗浄する際も、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌを容易に取外すことができ、容器本体２内を隅々まで洗浄することができる。また、取外した気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌも簡単に洗浄することができる。

【0095】

また、本実施形態では、気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌは、ハウジング部材３１及びカバー部材３２の内側に通気性を有するフィルタ部材３４，３５を含んでいる。これにより、供給される気体Ｇに塵埃が含まれていても、フィルタ部材３４，３５で捕獲するため、容器本体２内に吹出ることがなく、基板収納容器１の内部空間が汚染されることがない。

【0096】

本実施形態では、気体Ｇは、窒素ガス又はドライエアである。これにより、基板収納容器１の内部空間が、不活性又は低湿度に維持されるので、基板Ｗの表面は変質することがない。

【0097】

［第２実施形態］
次に、図１７以降を参照して、円形断面部材に関連する他の実施形態（第２実施形態）について説明する。

【0098】

図１７及び図１８は、第２実施形態による円形断面部材７Ａの説明図であり、図１７は、気体置換ユニット３Ｒと円形断面部材７Ａを示す斜視図であり、図１８は、気体置換ユニット３Ｒと円形断面部材７Ａを示す３面図である。図１８において、（ａ）は、気体置換ユニット３Ｒの上面を視た図、（ｂ）は、気体置換ユニット３Ｒの正面を視た図であり、（ｃ）は、気体置換ユニット３Ｒの側面を視た図である。

【0099】

本実施形態は、円形断面部材７が円形断面部材７Ａで置換された以外は、上述した第１実施形態と同じであってよい。

【0100】

円形断面部材７Ａは、右と左の気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌに対して設けられる。気体置換ユニット３Ｌに対して設けられる円形断面部材７Ａは、気体置換ユニット３Ｒに対して設けられる円形断面部材７Ａと実質的に同様であるので（左右対称となるだけの相違であるので）、ここでは、気体置換ユニット３Ｒに対して設けられる円形断面部材７Ａについて主に説明する。

【0101】

円形断面部材７Ａは、図１７に示すように、横方向（水平方向）に延在する。円形断面部材７Ａは、長手方向に垂直に切断した断面視で、円形の断面形状である。円形断面部材７Ａは、気体置換ユニット３Ｒと同じ材料により形成されてよい。円形断面部材７Ａは、気体置換ユニット３Ｒの横方向の全体にわたり、横方向に延在する。

【0102】

円形断面部材７Ａは、好ましくは、気体置換ユニット３Ｒに対して複数本設けられる。本実施形態では、円形断面部材７Ａは、気体置換ユニット３Ｒに対して２６本設けられる。ただし、円形断面部材７Ａの本数は任意である。

【0103】

円形断面部材７Ａは、気体置換ユニット３Ｒに対して前側にわずかにオフセットする態様で延在してよい。すなわち、図１８に示すように、円形断面部材７Ａは、気体置換ユニット３Ｒに対して前側に所定距離Ｌだけ離れて延在する。所定距離Ｌは、例えば１ｍｍ～１０ｍｍであってよい。

【0104】

２６本の円形断面部材７Ａは、例えば上下端や中間部等において、上下方向に延在する部位（図示せず）により連結されてもよい。この場合、上下方向に延在する部位は、断面形状が円形であってもよい。２６本の円形断面部材７Ａは、気体置換ユニット３Ｒと一体に成形されてもよいし、気体置換ユニット３Ｒとは別に形成されて気体置換ユニット３Ｒに嵌合や熱溶着等により結合されてもよい。

【0105】

図１７及び図１８では、２６本の円形断面部材７Ａは、上下方向に延在する左右の枠部７５０間に延在する。２６本の円形断面部材７Ａは、枠部７５０と一体に形成される。左右の枠部７５０は、それぞれ、爪部７７０，７７１，７７２を有する。２６本の円形断面部材７Ａは、爪部７７０，７７１，７７２が気体置換ユニット３Ｒに嵌合することで、枠部７５０とともに気体置換ユニット３Ｒに結合される。

【0106】

図１７及び図１８では、爪部７７１は、気体置換ユニット３Ｒに形成される凸部３７０の上側に上下方向に当接し、爪部７７２は、気体置換ユニット３Ｒに形成される凸部３７０の下側に上下方向に当接する。これにより、気体置換ユニット３Ｒに対する２６本の円形断面部材７Ａ（及び枠部７５０）の上下方向の位置ズレを防止できる。

【0107】

なお、変形例では、枠部７５０が省略されてもよいし、爪部７７０，７７１，７７２のいずれも凸部３７０と上下方向に当接しない構成であってもよいし、爪部７７０，７７１，７７２と凸部３７０の当接態様が異なってもよい。

【0108】

２６本の円形断面部材７Ａは、図１７及び図１８に示すように、第１吹出孔群３１ａ－ｚからの気体の吹出し方向に視て、第１吹出孔群３１ａ－ｚに重なる位置に設けられる。第１円形断面部材７Ａは、第１吹出孔群３１ａ－ｚから吹き出される気体の流れに対して作用する。本実施形態では、２６本の円形断面部材７Ａは、第１吹出孔群３１ａ－ｚを形成するすべての第１吹出孔３１ａ，３１ｂ，３１ｃ・・・３１ｘ，３１ｙ，３１ｚに対してそれぞれ重なる態様で設けられる。すなわち、２６本の円形断面部材７Ａは、２６個の第１吹出孔３１ａ，３１ｂ，３１ｃ・・・３１ｘ，３１ｙ，３１ｚに対応して設けられる。ただし、変形例では、円形断面部材７Ａは、第１吹出孔３１ａ，３１ｂ，３１ｃ・・・３１ｘ，３１ｙ，３１ｚのうちの、一部の第１吹出孔に対してのみ重なる態様で設けられてもよい。ここで、図１８では、最も高い位置と最も低い位置にある２本の円形断面部材７Ａは、第１吹出孔３３ａ，３３ｚ及び第３吹出孔３ａ，３３ｚに対して上下方向にわずかに偏心して配置されているが、すべての円形断面部材７Ａは、それぞれ、対応する高さ位の第１吹出孔３３ａ，３３ｚ及び第３吹出孔３ａ，３３ｚに対して上下方向の中央部に配置される方が、上述したカルマン渦の効果的な発生の観点からは好ましい。

【0109】

また、２６本の円形断面部材７Ａは、図１７及び図１８に示すように、図１７及び図１８に示すように、第３吹出孔群３３ａ－ｚからの気体の吹出し方向に視て、第３吹出孔群３３ａ－ｚに重なる位置に設けられる。円形断面部材７Ａは、第３吹出孔群３３ａ－ｚから吹き出される気体の流れに対して作用する。本実施形態では、円形断面部材７Ａは、第３吹出孔群３３ａ－ｚを形成するすべての第３吹出孔３３ａ，３３ｂ，３３ｃ・・・３３ｘ，３３ｙ，３３ｚに対して重なる態様で設けられるが、変形例では、円形断面部材７Ａは、第３吹出孔３３ａ，３３ｂ，３３ｃ・・・３３ｘ，３３ｙ，３３ｚのうちの、一部の第３吹出孔に対してのみ重なる態様で設けられてもよい。 なお、本実施形態では、２６本の円形断面部材７Ａは、第１吹出孔群３１ａ－ｚに重なる部位と、第３吹出孔群３３ａ－ｚに重なる部位とが一体的に形成されるが、別々に形成されてもよい。

【0110】

また、本実施形態では、第２吹出孔群３２ａ－ｆに対して同様の円形断面部材は設けられないが、変形例では、第２吹出孔群３２ａ－ｆに対して同様の円形断面部材が設けられてもよい。

【0111】

円形断面部材７Ａは、第１吹出孔群３１ａ－ｚ及び第３吹出孔群３３ａ－ｚから吹き出される気体の流れに対して後流側にカルマン渦を形成する態様で、作用する。なお、この作用については、上述した第１実施形態による円形断面部材７と同様である。

【0112】

なお、本実施形態では、２６本の円形断面部材７Ａは、第１吹出孔群３１ａ－ｚに重なる部位と、第３吹出孔群３３ａ－ｚに重なる部位とが一体的に形成されるが、別々に形成されてもよい。

【0113】

また、本実施形態では、第２吹出孔群３２ａ－ｆに対して同様の円形断面部材は設けられないが、変形例では、第２吹出孔群３２ａ－ｆに対して同様の円形断面部材が設けられてもよい。

【0114】

本実施形態によっても、上述した第１実施形態と同様の効果が得られる。

【0115】

［第３実施形態］
次に、図１９を参照して、円形断面部材に関連する他の実施形態（第３実施形態）について説明する。

【0116】

図１９は、第３実施形態による円形断面部材７Ｂが適用された基板収納容器１Ｂを示す断面平面図であり、前出の図４に対応する図である。

【0117】

基板収納容器１Ｂは、上述した第１実施形態による基板収納容器１に対して、円形断面部材７Ｂが追加された点が主に異なる。

【0118】

本実施形態の円形断面部材７Ｂは、気体置換ユニットではなく、給気弁５０の吹出孔５１１ａに直接的に設けられる点が異なる。円形断面部材７Ｂは、３つの給気弁５０のうちの、底面２ｆの正面Ｆ付近に設けられる給気弁５０に対して設けられる。なお、第３実施形態においては、底面２ｆの後方Ｂの左右両側の給気弁５０に対して設けられる気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌに対して、上述した円形断面部材７が設けられるが、変形例では、上述した円形断面部材７は省略されてもよい。また、円形断面部材７に代えて、上述した第２実施形態による円形断面部材７Ａが設けられてもよい。

【0119】

３つの給気弁５０のうちの、底面２ｆの正面Ｆ付近に設けられる給気弁５０に対しては、図５に示したようなオフセット部材９は設けられることがなく、フィルタ部材５１の上部に設けられる格子部材５１１が容器本体２の内部に露出する。以下、給気弁５０とは、特に言及しない限り、３つの給気弁５０のうちの、底面２ｆの正面Ｆ付近に設けられる給気弁５０を意味するものとする。

【0120】

図２０は、図１９のＰ部の拡大図である。

【0121】

円形断面部材７Ｂは、図２０に示すように、横方向（水平方向）に延在する。円形断面部材７Ｂは、長手方向に垂直に切断した断面視で、円形の断面形状である。円形断面部材７Ｂは、気体置換ユニット３Ｒと同じ材料により形成されてよい。円形断面部材７Ｂは、給気弁５０の格子部材５１１の横方向の全体にわたり、横方向に延在する。

【0122】

円形断面部材７Ｂは、好ましくは、格子部材５１１に対して複数本設けられる。本実施形態では、円形断面部材７Ｂは、格子部材５１１に対して４本設けられる。ただし、円形断面部材７Ｂの本数は任意である。

【0123】

円形断面部材７Ｂは、格子部材５１１に対して上側にわずかにオフセットする態様で延在してよい。すなわち、円形断面部材７Ｂは、格子部材５１１に対して上側に所定距離（図示せず）だけ離れて延在する。所定距離は、例えば１ｍｍ～１０ｍｍであってよい。円形断面部材７Ｂは、格子部材５１１と一体に成形されてもよいし、格子部材５１１とは別に形成されて格子部材５１１に嵌合や熱溶着等により結合されてもよい。

【0124】

円形断面部材７Ｂは、図２０に示すように、格子部材５１１が形成する吹出孔５１１ａからの気体の吹出し方向に視て、吹出孔５１１ａに重なる位置に設けられる。第１円形断面部材７Ｂは、吹出孔５１１ａから吹き出される気体の流れに対して作用する。

【0125】

円形断面部材７Ｂは、吹出孔５１１ａから吹き出される気体の流れに対して後流側にカルマン渦を形成する態様で、作用する。なお、この作用については、上述した第１実施形態による円形断面部材７と同様である。

【0126】

本実施形態によっても、上述した第１実施形態と同様の原理に基づいて、同様の効果が得られる。すなわち、格子部材５１１の吹出孔５１１ａから吹出した気体Ｇは、円形断面部材７Ｂを通過することで円形断面部材７Ｂの後流側でカルマン渦を形成する。この結果、格子部材５１１の吹出孔５１１ａから吹出した気体Ｇは、格子部材５１１の近傍から拡散されるので、格子部材５１１の近傍での気体の置換（容器本体２内の下方側での気体の置換）を効率的に実現できる。

【0127】

以上、各実施形態について詳述したが、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施形態の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。

【0128】

例えば、上述した第１実施形態及び第２実施形態では、特定の形態の気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌに対して円形断面部材７、７Ａが設けられるが、円形断面部材７、７Ａのような円形断面部材が適用可能な気体置換ユニット３Ｒ，３Ｌの形態は、任意である。例えば、ＷＯ／２０１６／０１３５３６号に開示されるような、左右で分離していないタイプの気体置換ユニットにも適用可能である。具体的には、図２１に模式的に示すように、気体置換ユニット３Ｊに円形断面部材７Ｃが設けられてもよい。この場合、円形断面部材７Ｃは、上下方向に視て円形の断面形状を有する。この場合、円形断面部材７Ｃは、図２１に示すように、吹出孔３９ａ，３９ｂからの気体Ｇの吹き出し方向に視て、吹出孔３９ａ，３９ｂに重なる態様で設けられる。同様に、円形断面部材７Ｃは、気体置換ユニット３Ｊに対して前側に所定距離Ｌだけオフセットしてよい。なお、図２１に示す例では、円形断面部材７Ｃは、特定の数だけ設けられるが、円形断面部材７Ｃの数は任意である。また、円形断面部材７Ｃは、上下方向に延在するが、これに代えて又は加えて、上述した第２実施形態の場合のように、横方向に延在する円形断面部材が設けられてもよい。

【符号の説明】

【0129】

１，１Ｂ 基板収納容器
２ 容器本体、２ａ 正面開口枠、２ｂ 背面壁、２ｃ 右側壁、２ｄ 左側壁、２ｅ 天面、２ｆ 底面
２１ 支持片
２２ 位置規制部
２３ グリップ
２５ トップフランジ
２６ ボトムプレート
２７ 貫通孔
２８ ストッパ
２９ 取付孔
３，３Ｒ，３Ｌ 気体置換ユニット
３１ ハウジング部材、３１Ａ，３１Ｂ 面部、３１Ｃ 下面部、３１Ｄ 上面部、３１Ｅ 本体部、３１１ 接続具、３１２ 回止め突起、３１３ 位置決め突起
３２ カバー部材
３１ａ・・・３１ｚ 第１吹出孔
３２ａ・・・３２ｆ 第２吹出孔
３３ａ・・・３３ｚ 第３吹出孔
３４，３５ フィルタ部材
４ 蓋体
５０ 給気弁、５０ａ グロメット、５１ フィルタ部材、５２ 逆止弁、５３ コイルバネ、５４ バルブハウジング
６０ 排気弁
７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ 円形断面部材
８ 位置決め固定部材
８１，８２，８３ フランジ
８４Ａ，８４Ｂ Ｏリング
８５ Ｃリング
８６ スリット
８７ 端部
８８ 切欠き
９ オフセット部材
９０ オフセットプレート押さえ
９１ Ｏリング
９２ 凹部
９３ パッキン
９４ Ｏリング
９５ オフセットプレート
９６ 差込孔
Ｆ 正面
Ｂ 後方
Ｇ 気体
Ｗ 基板
ＮＬ 法線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】