特許 7235059 保管システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-02-28

(45)【発行日】2023-03-08

(54)【発明の名称】保管システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230301BHJP

   B65G 1/04 20060101ALI20230301BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G1/04 551A

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020567420

(86)(22)【出願日】2019-12-13

(86)【国際出願番号】 JP2019048871

(87)【国際公開番号】W WO2020153040

(87)【国際公開日】2020-07-30

【審査請求日】2021-07-21

(31)【優先権主張番号】P 2019011281

(32)【優先日】2019-01-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100105946

【弁理士】

【氏名又は名称】磯野 富彦

(72)【発明者】

【氏名】和田 栄治

(72)【発明者】

【氏名】入野 功輔

(72)【発明者】

【氏名】湯浅 良樹

【審査官】宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－３３１９０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０３０９４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／０５５８８３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１３／１８３３７６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１４０９６６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１２／０６０２９１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１７／０２９８７１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０００－１２４２８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／００３７５３（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ １／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１天井軌道と、上下方向に複数段の保管部を備えた棚と、前記第１天井軌道に沿って走行し、前記複数段の保管部の間で物品を受け渡しするクレーンと、を備えた天井ストッカと、
前記天井ストッカの下端よりも下方に設けられた第２天井軌道と、前記第２天井軌道に沿って走行して所定の移載先に対して物品を受け渡しする天井搬送車と、を備え、前記天井ストッカと平面視において少なくとも一部が重なるように配置された天井搬送車システムと、を備え、
前記棚は、天井に取り付けられた第１吊下部材により、前記天井の第１位置から吊り下げられて設けられ、
前記第２天井軌道は、前記天井に取り付けられた第２吊下部材により、前記天井の第２位置から吊り下げられて設けられ、
前記第１位置と前記第２位置とは、少なくとも所定距離を隔てて設定され、
前記所定距離は、前記天井における単位面積あたりの荷重の大きさが所定値を超えないように設定された距離であり、
前記天井は、水平方向における直交方向のそれぞれに複数のマス目が並ぶグリッド天井であり、
前記単位面積は、１つの前記マス目の面積であり、
前記第１位置と前記第２位置とは、前記グリッド天井における異なる前記マス目に設定される、保管システム。

【請求項2】

前記第１天井軌道は、前記天井に取り付けられた第３吊下部材により、前記天井の第３位置から吊り下げて設けられ、
複数の前記第１位置の１つと、複数の前記第３位置の１つとは、前記グリッド天井における１つの前記マス目に設定される、請求項１に記載の保管システム。

【請求項3】

前記第１天井軌道の一部と、前記第２天井軌道の一部とは、平面視において重なって配置される、請求項１又は請求項２に記載の保管システム。

【請求項4】

前記棚は、平面視において、前記所定の移載先を有する処理装置の直上を含む領域に設けられる、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の保管システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、保管システムに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工場等では、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ（Front‐Opening Unified Pod）又はレチクルを収容するレチクルポッド等の物品を天井搬送車により搬送して、処理装置のロードポート等の移載先に対して物品の受け渡しを行っている。この天井搬送車で搬送される物品は、この天井搬送車との間で物品を受け渡し可能な保管システムに保管されることが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、物品が載置される保管部が上下方向に複数段設けられた棚を備えており、この棚が天井から吊り下げられて配置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－３０９４４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の保管システムが設けられる建屋に、例えば、他の天井搬送車システムが設けられる場合がある。この場合、他の天井搬送車システムの天井軌道を天井から吊り下げる位置と、棚を吊り下げる位置とが近接すると、天井の一部に対する荷重が大きくなってしまい、天井の一部で耐荷重を超えるおそれがある。このような場合、天井の補強、又は梁等により吊り下げ位置を変更する等の大がかりな追加工事が必要となり、設置コストの増加を招くことになる。

【0005】

本発明は、天井の一部に大きな荷重がかかることを防止する保管システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の態様に係る保管システムは、第１天井軌道と、上下方向に複数段の保管部を備えた棚と、第１天井軌道に沿って走行し、複数段の保管部の間で物品を受け渡しするクレーンと、を備えた天井ストッカと、天井ストッカの下端よりも下方に設けられた第２天井軌道と、第２天井軌道に沿って走行して所定の移載先に対して物品を受け渡しする天井搬送車と、を備え、天井ストッカと平面視において少なくとも一部が重なるように配置された天井搬送車システムと、を備え、棚は、天井に取り付けられた第１吊下部材により、天井の第１位置から吊り下げられて設けられ、第２天井軌道は、天井に取り付けられた第２吊下部材により、天井の第２位置から吊り下げられて設けられ、第１位置と第２位置とは、少なくとも所定距離を隔てて設定され、所定距離は、天井における単位面積あたりの荷重の大きさが所定値を超えないように設定された距離であり、天井は、水平方向における直交方向のそれぞれに複数のマス目が並ぶグリッド天井であり、単位面積は、１つのマス目の面積であり、第１位置と第２位置とは、グリッド天井における異なる前記マス目に設定される。
本発明の態様に係る保管システムは、第１天井軌道と、上下方向に複数段の保管部を備えた棚と、第１天井軌道に沿って走行し、複数段の保管部の間で物品を受け渡しするクレーンと、を備えた天井ストッカと、天井ストッカの下端よりも下方に設けられた第２天井軌道と、第２天井軌道に沿って走行して所定の移載先に対して物品を受け渡しする天井搬送車と、を備え、天井ストッカと平面視において少なくとも一部が重なるように配置された天井搬送車システムと、を備え、棚は、天井に取り付けられた第１吊下部材により、天井の第１位置から吊り下げられて設けられ、第２天井軌道は、天井に取り付けられた第２吊下部材により、天井の第２位置から吊り下げられて設けられ、第１位置と第２位置とは、少なくとも所定距離を隔てて設定される。

【0007】

また、所定距離は、天井における単位面積あたりの荷重の大きさが所定値を超えないように設定された距離であってもよい。また、天井は、水平方向における直交方向のそれぞれに複数のマス目が並ぶグリッド天井であり、単位面積は、１つのマス目の面積であってもよい。また、第１位置と第２位置とは、グリッド天井における異なるマス目に設定されてもよい。また、第１天井軌道は、天井に取り付けられた第３吊下部材により、天井の第３位置から吊り下げて設けられ、複数の第１位置の１つと、複数の第３位置の１つとは、グリッド天井における１つのマス目に設定されてもよい。また、第１天井軌道の一部と、第２天井軌道の一部とは、平面視において重なって配置されてもよい。また、棚は、平面視において、所定の移載先を有する処理装置の直上を含む領域に設けられてもよい。

【発明の効果】

【0008】

上記した保管システムによれば、棚を吊り下げる第１吊下部材と第２天井軌道を吊り下げる第２吊下部材とが少なくとも所定距離を隔てて設定されるため、天井ストッカのうち重量における多くの割合を占める棚の吊り位置と、天井搬送車システムの重量における多くの割合を占める第２天井軌道の吊り位置とが近接することを回避でき、棚の吊り位置と第２天井軌道の吊り位置とを分散させることができる。その結果、天井の一部に大きな荷重がかかることを回避し、天井の補強等の大がかりな追加工事が不要となるので、設置コストの増加を抑制できる。

【0009】

また、所定距離が、天井における単位面積あたりの荷重の大きさが所定値を超えないように設定された距離である構成では、単位面積を基準とすることで、所定距離を容易に設定することができる。また、天井が、水平方向における直交方向のそれぞれに複数のマス目が並ぶグリッド天井であり、単位面積が、１つのマス目の面積である構成では、天井における単位面積をマス目によって容易に認識でき、このマス目を参照することで、所定距離を容易に設定することができる。また、第１位置と第２位置とが、グリッド天井における異なるマス目に設定される構成では、第１位置及び第２位置を容易に所定距離以上に離すことができる。また、第１天井軌道が、天井に取り付けられた第３吊下部材により、天井の第３位置から吊り下げて設けられ、複数の第１位置の１つと、複数の第３位置の１つとが、グリッド天井における１つのマス目に設定される構成では、天井ストッカのうち重量における割合が小さい第１天井軌道の吊り位置である第３位置を第１位置と同一のマス目に配置することにより、第１吊下部材及び第３吊下部材が近接し、これら吊下部材の取り付け又はメンテナンスの作業性を向上できる。また、第１天井軌道の一部と、第２天井軌道の一部とが、平面視において重なって配置される構成では、天井ストッカ及び天井搬送車システムを平面視においてコンパクトに配置できる。また、棚が、平面視において、所定の移載先を有する処理装置の直上を含む領域に設けられる構成では、第２天井軌道が配置されない処理装置の直上に棚を配置することで、棚が吊り下げられる第１位置と、第２天井軌道が吊り下げられる第２位置とを容易に離して分散させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態に係る保管システムの一例をＹ方向から見た図である。

【図2】保管システムを平面視で模式的に示した図である。

【図3】天井搬送車、上側天井搬送車の一例を示す図である。

【図4】図２の一部を拡大してグリッド天井における吊り下げ位置の一例を示す平面図である。

【図5】第２天井軌道における吊り金具の位置の一例を示す図である。

【図6】棚及び第１天井軌道における吊り金具の位置を示す図である。

【図7】梁部とグリッド天井との位置関係の一例を示す図である。

【図8】第１位置と第２位置との距離の一例を示す図である。

【図9】グリッド天井の１つのマス目あたりの荷重を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載する等、適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図においては、ＸＹＺ座標系により図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系では、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｙ方向は、水平方向内における一方向であって、後述するクレーン４０、天井搬送車５０、上側天井搬送車６０の走行方向である。Ｘ方向は、Ｙ方向と直交する方向である。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各方向について、適宜、矢印が指す向きを＋方向（例えば、＋Ｘ方向）と表現し、矢印が指す向きとは反対方向を－方向（例えば、－Ｘ方向）と表現する。

【0012】

図１は、実施形態に係る保管システムＳＹＳの一例をＹ方向から見た図である。図２は、保管システムＳＹＳを平面視で模式的に示した図である。なお、図２では、図を判別しやすくするため、物品２をハッチングで示している。

【0013】

図１及び図２に示す保管システムＳＹＳは、例えば、半導体デバイスの製造工場等に設けられ、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、又はレチクルを収容したレチクルポッド等の物品２を保管する。本実施形態では、物品２がＦＯＵＰである例を説明するが、物品２は、ＦＯＵＰ以外であってもよい。また、保管システムＳＹＳは、半導体製造分野以外の設備に適用可能であり、物品２は、保管システムＳＹＳで保管可能な他の物品でもよい。

【0014】

保管システムＳＹＳは、図１及び図２に示すように、天井ストッカ１００と、天井搬送車システム２００と、搬送装置３００と、を備える。天井ストッカ１００は、複数の保管部１１を備える棚１０と、第１天井軌道２０と、クレーン４０とを備える。棚１０は、平面視において、クレーン４０が走行する第１天井軌道２０に沿って配置される。また、棚１０に備える複数の保管部１１は、図１に示すように、フレーム１３に設けられて、上下方向（Ｚ方向）に３段配置されている。保管部１１の段数は任意に設定できる。また、複数の保管部１１は、後述するクレーン４０の走行方向（Ｙ方向）に沿って複数並んで配置される。

【0015】

複数の保管部１１は、物品２を載置する棚板１１ａを備えている。各棚板１１ａは、フレーム１３に保持されている。以下の説明において、保管部１１に物品２を置くことは、保管部１１の棚板１１ａに物品２を置くことを意味する。なお、保管部１１の棚板１１ａには、それぞれ物品２を載置した際に物品２の底面に設けられた溝部に入り込む複数のピンが設けられてもよい。このピンが物品２の溝部に入り込むことにより、物品２は、保管部１１（棚板１１ａ）に対して位置決めされる。

【0016】

棚１０は、第１吊下部材３により建屋のグリッド天井ＧＣの第１位置Ｐ１から吊り下げられている。グリッド天井ＧＣは、水平方向において相互に直交する方向のそれぞれに複数のマス目が並んだ格子状となっている。なお、グリッド天井ＧＣの上方には、複数のマス目から建屋内にダウンフローを供給するダウンフローユニットが配置されてもよい。

【0017】

棚１０の下端は、床面Ｆからの処理装置ＴＬの上端の高さよりも高くなるように設定されている。処理装置ＴＬは、例えば、物品２であるＦＯＵＰに収容されている半導体ウエハに対して成膜処理又はエッチング処理等の各種処理を行う。また、後述するクレーン４０の下端の高さも処理装置ＴＬの上端の高さよりも高くなるように設定されている。すなわち、天井ストッカ１００は、処理装置ＴＬの上端よりも上方に配置されている。なお、クレーン４０の下端は、作業者等が床面Ｆを支障なく通行することが可能な高さに設定される。その結果、天井ストッカ１００の下方の空間の一部を、作業者用通路ＰＳとして利用可能となる。

【0018】

保管部１１は、クレーン４０により物品２が載置され、また、物品２が取り出される。また、保管部１１のうち一部は、後述する上側天井搬送車６０により物品２が載置され、また物品２が取り出される。上側天井搬送車６０により物品２が受け渡される保管部１１は、棚１０のうち最上段の保管部１１である。保管部１１の上下寸法（棚板１１ａの上面から上方の保管部１１の棚板１１ａの下面までの寸法）は、後述するクレーン４０の移載装置４２が物品２を下面側から支持して持ち上げるために必要な寸法に設定される。クレーン４０の移載装置４２は、例えば、物品２を下面側から支持して持ち上げる構成が採用されており、物品２の上方に大きなスペースを必要としない。例えば、保管部１１の上下寸法は、物品２の上下寸法に数センチ加える程度の寸法とすることも可能である。

【0019】

第１天井軌道２０は、図１に示すように、グリッド天井ＧＣの第３位置Ｐ３から第３吊下部材５により吊り下げられている。第１天井軌道２０は、図２に示すように、Ｘ方向に延在する２本の直線部２１、２２と、接続部２３とを有する環状の軌道である。接続部２３は、２本の直線部２１、２２の＋Ｘ側及び－Ｘ側に設けられて直線部２１と直線部２２とを接続する。クレーン４０及び後述する上側天井搬送車６０は、直線部２１、２２及び接続部２３に沿って一方向（例えば平面視で時計まわりの方向）に周回走行することが可能である。

【0020】

本実施形態の第１天井軌道２０は、２本の直線部２１、２２と、接続部２３とで構成される周回軌道が、Ｙ方向に２つ並んで配置されている。２つの周回軌道は、＋Ｘ側の接続部２３同士を接続する接続軌道２４と、－Ｘ側の接続部２３同士を接続する接続軌道２４とで接続されている。従って、クレーン４０及び後述する上側天井搬送車６０は、図２の矢印で示すように、＋Ｘ側の周回軌道から接続軌道２４を介して－Ｘ側の周回軌道に移動することができ、また、－Ｘ側の周回軌道から接続軌道２４を介して＋Ｘ側の周回軌道に移動することができる。

【0021】

上記した棚１０は、直線部２１、２２に対して＋Ｙ側及び－Ｙ側に設けられる。すなわち、棚１０は、平面視において、クレーン４０が走行する周回軌道である第１天井軌道２０の内側及び外側に配置される。これらの棚１０は、処理装置ＴＬよりも上方に配置されている。処理装置ＴＬよりも上方の空間は、従来デッドスペースとされてきた空間であり、このような空間に棚１０を配置することにより、建屋内の空間を有効に利用することができる。

【0022】

クレーン４０は、図１に示すように、物品２を保持し、第１天井軌道２０を走行して移動する。クレーン４０は、保管部１１と他の保管部１１との間で物品２を搬送する。クレーン４０は、第１天井軌道２０を周回走行する。なお、本実施形態では、＋Ｙ側及び－Ｙ側の周回軌道において、それぞれ１台のクレーン４０が配置されており、１つの第１天井軌道２０に２台のクレーン４０が配置されているが、クレーン４０の台数は２台に限定されない。例えば、１つの第１天井軌道２０に１台のクレーン４０が配置されてもよいし、３台以上のクレーン４０が配置されてもよい。クレーン４０は、図１に示すように、第１天井軌道２０から吊り下げられている。

【0023】

クレーン４０は、２台の走行部４１と、移載装置４２と、を備える。走行部４１の下方には、取付部４６を介して上部支持部４７が取り付けられ、上部支持部４７により２台の走行部４１が連結されている。各走行部４１は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪４１ａを備え、第１天井軌道２０に沿って走行する。走行部４１が備える不図示の走行駆動部は、例えば、走行部４１に備えられて車輪４１ａを駆動する電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。なお、本実施形態のクレーン４０では、２台の走行部４１を備えていることにより、重量物である移載装置４２及び物品２を確実に支持することができる。なお、クレーン４０は、２台の走行部４１を備える構成に限定されず、１台又は３台以上の走行部４１を備えてもよい。

【0024】

移載装置４２は、マスト４３と、昇降台４４と、昇降駆動部４５と、伸縮部４８と、載置台４９とを備える。マスト４３は、上部支持部４７から吊り下げられて上下方向に延在する。マスト４３は、走行部４１の走行方向の前後にそれぞれ１本ずつ設けられている。なお、マスト４３は、合計２本であることに限定されず、１本であってもよい。マスト４３は、上記したように、マスト４３の下端の床面Ｆからの高さが処理装置ＴＬの上端の高さよりも高くなるように設けられている。例えば、マスト４３の下端がクレーン４０の下端である。

【0025】

伸縮部４８は、走行部４１の走行方向と直交する方向に伸縮可能な複数のアームにより構成されている。載置台４９は、伸縮部４８の先端に設けられている。載置台４９は、物品２を載置可能な三角形状の板状部材である。載置台４９は、その載置台４９に載置された物品２を下側から支持することにより保持する。載置台４９の上面には、物品２の底面に備える溝部に挿入して物品２を位置決めするピンが設けられている。なお、上記した保管部１１の棚板１１ａには、載置台４９が上下方向に通過可能な不図示の切り欠きが設けられている。

【0026】

移載装置４２は、保管部１１から物品２を受け取る際、伸縮部４８を伸ばして載置台４９を物品２の下方に位置させて昇降台４４を上昇させることにより、載置台４９で物品２をすくい上げる。移載装置４２は、載置台４９に物品２を載置したまま伸縮部４８を縮めることにより、物品２を載置した載置台４９を昇降台４４の上方に配置させる。また、移載装置４２により物品２を保管部１１に渡す際は、上記の逆の動作により行う。なお、移載装置４２は、上記した構成に限定されず、例えば物品２の一部（例えば、ＦＯＵＰの上部に設けられたフランジ部２ａ）を保持して持ち上げる構成等、他の構成であってもよい。

【0027】

昇降駆動部４５は、例えば、ホイストであり、マスト４３に沿って昇降台４４を昇降させる。昇降駆動部４５は、吊り下げ部材４５ａ及び不図示の駆動部を備える。吊り下げ部材４５ａは、例えば、ベルト又はワイヤ等であり、昇降台４４は、この吊り下げ部材４５ａによって上部支持部４７から吊り下げられている。昇降駆動部４５が備える不図示の駆動部は、例えば上部支持部４７に設けられ、吊り下げ部材４５ａの繰り出し、巻き取りを行う。昇降台４４は、昇降駆動部４５が備える不図示の駆動部が吊り下げ部材４５ａを繰り出すと、マスト４３に案内されて下降する。また、昇降台４４は、昇降駆動部４５が備える不図示の駆動部が吊り下げ部材４５ａを巻き取ると、マスト４３に案内されて上昇する。昇降駆動部４５は、不図示の制御装置等により制御されて、所定の速度で昇降台４４を下降又は上昇させる。また、昇降駆動部４５は、不図示の制御装置等により制御されて、昇降台４４を目標の高さに保持する。

【0028】

昇降駆動部４５は、上部支持部４７に設けられる。なお、昇降駆動部４５は、上部支持部４７に設けられることに代えて、例えば、昇降台４４に設けられてもよい。昇降台４４に昇降駆動部４５が設けられる構成としては、例えば、上部支持部４７から吊り下げたベルト又はワイヤ等を昇降台４４に搭載したホイスト等により巻き上げ又は繰り出しを行って昇降台４４を昇降させる構成であってもよい。また、昇降台４４にピニオンギアを駆動する電動モータ等が搭載され、このピニオンギアが噛み合うラックがマスト４３に形成され、電動モータ等によりピニオンギアを回転させることにより昇降台４４を昇降させる構成であってもよい。

【0029】

天井搬送車システム２００は、第２天井軌道３０と、天井搬送車５０とを備える。天井搬送車５０は、第２天井軌道３０に沿って走行し、第２天井軌道３０より下方に配置された所定の移載先である処理装置ＴＬのロードポートＬＰに対して物品２の受け渡しを行う。第２天井軌道３０は、図１に示すように、グリッド天井ＧＣの第２位置Ｐ２から第２吊下部材４により吊り下げられている。

【0030】

第２天井軌道３０は、図２に示すように、平面視でインターベイルート（ベイ間軌道）Ｒ１とインターベイルートＲ２との間に配置されている。第２天井軌道３０は、ベイ内（イントラベイ内）にそれぞれ設けられており、インターベイルートＲ１等は、複数の第２天井軌道３０を接続するために設けられている。本実施形態において、ベイ（イントラベイ）とは、例えば、平面視において、複数の処理装置ＴＬにおけるロードポートＬＰが互いに対向するように設けられ、互いに対向するように設けられたロードポートＬＰの間に作業者用通路ＰＳが設けられている範囲（領域）を指す。第２天井軌道３０は、インターベイルートＲ１に対して進入用又は退出用の２本の支線Ｓ１を介して接続され、インターベイルートＲ２に対して進入用又は退出用の２本の支線Ｓ２を介して接続されている。

【0031】

第２天井軌道３０は、直線部３１と、接続部３２とを有する。天井搬送車５０は、直線部３１及び接続部３２に沿って一方向（例えば平面視で時計まわりの方向）に周回走行する。直線部３１は、ロードポートＬＰの直上において、複数のロードポートＬＰに沿ってＹ方向に配置される。２本の直線部３１は、平面視で第１天井軌道２０の接続軌道２４と並行するように（平行に）配置されている。接続部３２は、曲線部を含んで＋Ｙ側及び－Ｙ側の両端に配置され、２つの直線部３１同士を接続する。第２天井軌道３０は、天井ストッカ１００のクレーン４０（マスト４３）及び棚１０より下方に配置される。この第２天井軌道３０を走行する天井搬送車５０は、天井ストッカ１００より下方において走行する。

【0032】

天井搬送車５０は、インターベイルートＲ１、Ｒ２から支線Ｓ１、Ｓ２を介して第２天井軌道３０に進入し、又は第２天井軌道３０から支線Ｓ１、Ｓ２を介してインターベイルートＲ１、Ｒ２に退出する。天井搬送車５０は、第２天井軌道３０に沿って走行し、直線部３１において処理装置ＴＬのロードポートＬＰとの間で物品２の受け渡しを行う。また、天井搬送車５０は、直線部３１において後述する載置部１４（受け渡しポート１２を含む）との間で物品２の受け渡しを行う。なお、天井搬送車５０の構成の詳細については後述する。

【0033】

第２天井軌道３０の直線部３１は、所定の間隔（作業者用通路ＰＳ）を隔てて相対向する複数のロードポートＬＰの直上に沿って設けられている。本実施形態では、１台の処理装置ＴＬにおけるロードポートＬＰに、複数の物品２（図２では、ロードポートＬＰに６つの物品２）を載置可能である。ただし、ロードポートＬＰに載置可能な物品２の数は処理装置ＴＬごとに予め定められている。第２天井軌道３０は、ロードポートＬＰの直上に設けられており、第２天井軌道３０を走行する天井搬送車５０は、物品２を昇降させるだけでロードポートＬＰとの間で物品２の受け渡しを行い、後述する載置部１４（受け渡しポート１２）に対しては把持部５３を横出しして（横移載により）物品２の受け渡しを行う。また、図２に示すように、第１天井軌道２０の一部と、第２天井軌道３０の一部とは、平面視において重なって配置される。このため、天井ストッカ１００及び天井搬送車システム２００を平面視においてコンパクトに配置できる。

【0034】

図３は、天井搬送車５０、及び後述する上側天井搬送車６０の一例を示す図である。天井搬送車５０は、図３に示すように、走行部５１と、本体部５２とを有する。走行部５１は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪５１ａを備え、第２天井軌道３０に沿って走行する。走行部５１が備える不図示の走行駆動部は、例えば、走行部５１に備えられて車輪５１ａを駆動する電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。

【0035】

本体部５２は、取付部５２ａを介して走行部５１の下部に取り付けられている。本体部５２は、物品２を保持する把持部５３と、把持部５３を吊り下げて昇降させる昇降駆動部５４と、昇降駆動部５４を軌道の側方に移動させる横出し機構５５とを有する。把持部５３は、物品２のフランジ部２ａを上方からつかんで把持することにより、物品２を吊り下げて保持する。把持部５３は、例えば、水平方向に進退可能な複数の爪部５３ａを有するチャックであり、爪部５３ａを物品２のフランジ部２ａの下方に進入させ、把持部５３を上昇させることにより物品２を吊り下げて保持する。把持部５３は、ワイヤ又はベルト等の吊り下げ部材５３ｂと接続されている。把持部５３は、吊り下げ部材５３ｂを介して昇降駆動部５４から吊り下げられ、その昇降駆動部５４により昇降させられる。

【0036】

昇降駆動部５４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材５３ｂを繰り出すことにより把持部５３を下降させ、吊り下げ部材５３ｂを巻き取ることにより把持部５３を上昇させる。昇降駆動部５４は、不図示の制御装置等により制御され、所定の速度で把持部５３を下降又は上昇させる。また、昇降駆動部５４は、不図示の制御装置等により制御され、把持部５３を目標の高さに保持する。

【0037】

横出し機構５５は、例えば上下方向に重ねて配置された可動板を有する。可動板は、走行部５１の走行方向の側方（走行方向に直交する方向、横方向）に移動可能である。可動板には、昇降駆動部５４が取り付けられている。本体部５２は、横出し機構５５を案内する不図示のガイド、及び横出し機構５５を駆動する不図示の駆動部等を有する。横出し機構５５は、電動モータ等の駆動部からの駆動力によって、昇降駆動部５４及び把持部５３を突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、把持部５３が本体部５２から側方に突出する位置である。格納位置は、本体部５２内に把持部５３を格納する位置である。なお、昇降駆動部５４又は把持部５３を上下方向の軸まわりに回転させるための回転機構が設けられてもよい。

【0038】

天井搬送車５０は、上記のように昇降駆動部５４により把持部５３（物品２）を昇降させて、ロードポートＬＰとの間で物品２の受け渡しを行う。また、天井搬送車５０は、横出し機構５５により昇降駆動部５４（把持部５３）を複数の載置部１４（受け渡しポート１２を含む）のいずれかの上方に移動させ、昇降駆動部５４により把持部５３（物品２）を昇降させて、その載置部１４との間で物品２を受け渡すことが可能である。

【0039】

搬送装置３００は、天井ストッカ１００と天井搬送車システム２００との間で上下方向に物品２を搬送する。本実施形態では、搬送装置３００は、上側天井搬送車６０である。また、保管システムＳＹＳは、天井搬送車システム２００と搬送装置３００（上側天井搬送車６０）との間で物品を受け渡すための受け渡しポート１２を備える。受け渡しポート１２は、物品２を載置可能な載置部１４の一部である。受け渡しポート１２を含む載置部１４は、図１に示すように、グリッド天井ＧＣの第４位置Ｐ４から第４吊下部材６により吊り下げられている。

【0040】

載置部１４は、平面視において、周回軌道である第２天井軌道３０の内側に配置され、Ｙ方向に沿って直線状に設けられる。載置部１４は、物品２を２列に並べて載置可能である。載置部１４の一部は、受け渡しポート１２である。なお、載置部１４のうち受け渡しポート１２を除いた部分は、物品２を載置可能であって、天井搬送車５０により物品２を受け渡し可能なバッファである。

【0041】

受け渡しポート１２には、複数の物品２を載置可能である。受け渡しポート１２は、上側天井搬送車６０が走行する第１天井軌道２０における接続軌道２４の直下（図２において＋Ｘ側の列の受け渡しポート１２）と、接続軌道２４に対して横方向かつ下方（図２において－Ｘ側の列の受け渡しポート１２）とに配置される。また、受け渡しポート１２は、第２天井軌道３０に対して横方向かつ下方に配置される。従って、天井搬送車５０は、図２において＋Ｘ側の列の受け渡しポート１２に対して、＋Ｘ側の直線部３１から横移載により物品２の受け渡しが可能である。また、天井搬送車５０は、図２において－Ｘ側の列の受け渡しポート１２に対して、－Ｘ側の直線部３１から横移載により物品２の受け渡しが可能である。

【0042】

上側天井搬送車６０は、天井ストッカ１００と、受け渡しポート１２（載置部１４のうちの一部）との間で上下方向に物品２を搬送する。上側天井搬送車６０は、図３に示すように、第２走行部６１と、第２本体部６２とを有する。第２走行部６１は、クレーン４０の走行部４１と同様の構成が適用されており、不図示の走行駆動部及び複数の車輪６１ａを備え、第１天井軌道２０に沿って走行する。第２本体部６２は、取付部６２ａを介して第２走行部６１の下部に取り付けられている。第２本体部６２は、物品２を保持する第２把持部６３（爪部６３ａ及び吊り下げ部材６３ｂを含む）と、第２把持部６３を吊り下げて昇降させる第２昇降駆動部６４と、第２昇降駆動部６４を軌道の側方に移動させる第２横出し機構６５とを有する。

【0043】

これら第２走行部６１、第２本体部６２、第２把持部６３、第２昇降駆動部６４、及び第２横出し機構６５は、図３に示すように、上記した天井搬送車５０の走行部５１、本体部５２、把持部５３、昇降駆動部５４、及び横出し機構５５と同様の構成が適用される。従って、上側天井搬送車６０は、天井搬送車システム２００の天井搬送車５０をそのまま適用可能である。また、上側天井搬送車６０は、第１天井軌道２０を走行するので別途軌道を設ける必要がなく、保管システムＳＹＳの製造コストを低減できる。

【0044】

上側天井搬送車６０は、第２昇降駆動部６４により第２把持部６３（物品２）を昇降させて、接続軌道２４の直下にある受け渡しポート１２との間で物品２を受け渡し可能である。また、接続軌道２４に対して横方向かつ下方にある受け渡しポート１２（図２において－Ｘ側の列の受け渡しポート１２）との間では、上側天井搬送車６０は、第２横出し機構６５により第２昇降駆動部６４を受け渡しポート１２の上方に移動させて、第２昇降駆動部６４により第２把持部６３（物品２）を昇降させることで、その受け渡しポート１２との間で物品２を受け渡し可能である。

【0045】

また、上側天井搬送車６０は、第２横出し機構６５により第２昇降駆動部６４を複数段の保管部１１のうちの少なくとも１つの保管部１１の上方に移動させて、第２昇降駆動部６４により第２把持部６３（物品２）を昇降させて、第２昇降駆動部６４の下方に存在する保管部１１との間で物品２を受け渡し可能である。本実施形態では、上側天井搬送車６０は、棚１０のうち最上段の保管部１１との間で物品２を受け渡し可能である。なお、上側天井搬送車６０との受け渡し対象の保管部１１が最上段以外の保管部１１であってもよい。また、搬送装置３００は、上側天井搬送車６０であることに限定されず、例えば、コンベヤ装置等、物品２を保管部１１と受け渡しポート１２との間で搬送可能な他の装置であってもよい。

【0046】

本実施形態では、棚１０の一部と、所定の移載先である処理装置ＴＬのロードポートＬＰとが、平面視において重なっている。従って、棚１０をロードポートＬＰの上方まで水平方向に拡張することができ、多くの物品２を保管することができる。また、棚１０は、天井搬送車システム２００の上方に設けられている。すなわち、天井搬送車システム２００の第２天井軌道３０の配置にかかわらず、棚１０を設けることができるので、棚１０の配置の自由度が高く、物品２の収納効率がよい棚１０の配置を容易に実現できる。

【0047】

また、保管システムＳＹＳは、不図示の制御装置を有する。この不図示の制御装置は、保管システムＳＹＳを統括して制御する。不図示の制御装置は、無線又は有線による通信によりクレーン４０、天井搬送車５０、及び上側天井搬送車６０の動作を制御する。なお、不図示の制御装置は、クレーン４０を制御する制御装置と、天井搬送車５０を制御する制御装置と、上側天井搬送車６０を制御する制御装置と、に分割されてもよい。

【0048】

保管システムＳＹＳにおいて保管部１１からロードポートＬＰに物品２を搬送する場合、不図示の制御装置は、上側天井搬送車６０（搬送装置３００）を制御し、最上段の保管部１１から搬送対象の物品２を受け取り、指定された受け渡しポート１２に物品２を渡すように指示する。搬送対象の物品２が最上段以外の保管部１１にある場合、天井ストッカ１００のクレーン４０は、搬送対象の物品２を棚１０における最上段の保管部１１に移載する。

【0049】

続いて、上側天井搬送車６０は、第１天井軌道２０に沿って走行し、搬送対象の物品２が載置された保管部１１の側方に停止して、第２横出し機構６５を突出させた後に第２昇降駆動部６４により第２把持部６３を下降させ、第２把持部６３により物品２を把持する。続いて、上側天井搬送車６０は、第２昇降駆動部６４により第２把持部６３を上昇させた後、第２横出し機構６５を収縮させて第２把持部６３を格納位置に戻すことにより、物品２を第２本体部６２内に収容する。

【0050】

続いて、上側天井搬送車６０は、第２把持部６３により物品２を保持して第１天井軌道２０に沿って走行し、指定された受け渡しポート１２の直上で停止する。続いて、上側天井搬送車６０は、第２昇降駆動部６４を駆動して第２把持部６３及び物品２を下降させ、物品２を受け渡しポート１２に載置させた後に第２把持部６３による把持を解放することにより物品２を受け渡しポート１２に渡す。

【0051】

次に、不図示の制御装置は、天井搬送車システム２００の天井搬送車５０を制御して、受け渡しポート１２から物品２を受け取り、指定されたロードポートＬＰに物品２を渡すように指示する。天井搬送車５０は、第２天井軌道３０に沿って走行し、物品２が載置された受け渡しポート１２の側方に停止して、横出し機構５５を突出させた後に昇降駆動部５４により把持部５３を下降させ、把持部５３により物品２を把持する。その後、天井搬送車５０は、昇降駆動部５４により把持部５３を上昇させた後、横出し機構５５を収縮させ把持部５３を格納位置に戻すことにより、物品２を本体部５２内に収容する。

【0052】

続いて、天井搬送車５０は、把持部５３により物品２を保持して第２天井軌道３０に沿って走行し、指定されたロードポートＬＰの直上で停止する。続いて、天井搬送車５０は、昇降駆動部５４を駆動して把持部５３及び物品２を下降させ、物品２をロードポートＬＰに載置させた後に把持部５３による把持を解放することにより物品２をロードポートＬＰに渡す。以上の一連の動作により、物品２は、保管部１１からロードポートＬＰに搬送される。

【0053】

また、処理装置ＴＬのロードポートＬＰから天井ストッカ１００の保管部１１に物品２を搬送する場合は、上記した一連の動作の逆の動作を行うことにより、物品２は、受け渡しポート１２を経由して処理装置ＴＬのロードポートＬＰから天井ストッカ１００の保管部１１に搬送される。なお、物品２の移載先がロードポートＬＰ以外であっても上記と同様であり、ロードポートＬＰ以外から物品２を受ける場合についても上記と同様である。

【0054】

図４は、図２の一部を拡大して示す平面図であり、グリッド天井ＧＣにおける吊り下げ位置の一例を示す図である。図４では、棚１０を吊り下げる第１吊下部材３が配置される第１位置Ｐ１と、第２天井軌道３０を吊り下げる第２吊下部材４が配置される第２位置Ｐ２と、第１天井軌道２０を吊り下げる第３吊下部材５が配置される第３位置Ｐ３と、受け渡しポート１２を吊り下げる第４吊下部材６が配置される第４位置Ｐ４との位置関係を示している。なお、図１では、第１吊下部材３、第２吊下部材４、第３吊下部材５、及び第４吊下部材６を模式的に示しており、図４に示すそれぞれの吊り下げ位置と異なっている。

【0055】

図４において、第１位置Ｐ１は、白丸で示されている。図４に示すように、複数の第１位置Ｐ１は、平面視において棚１０に重なる位置に設定される。複数の第１位置Ｐ１は、それぞれの棚１０においてＸ方向の端部近傍に、Ｙ方向に間隔をあけて並んで設定される。棚１０は、複数の保管部１１を備えており、全ての保管部１１に物品２が載置されることも想定される。従って、複数の第１位置Ｐ１は、想定される棚１０の最大荷重にグリッド天井ＧＣが耐えるように分散させて設定される。本実施形態では、平面視において、棚１０の－Ｘ側に載置される物品２をＹ方向に挟むように、複数の第１位置Ｐ１が設定されている。なお、棚１０の＋Ｘ側においても同様に複数の第１位置Ｐ１が設定される。

【0056】

図４において、第２位置Ｐ２は、黒丸で示されている。複数の第２位置Ｐ２は、平面視において第２天井軌道３０の直線部３１に沿って設定されている。複数の第２位置Ｐ２は、平面視において第２天井軌道３０から走行方向の側方に外れた位置に、Ｙ方向に間隔をあけて並んで設定されている。各第２位置Ｐ２は、直線部３１に対してＸ方向の両側に設定される。第２天井軌道３０は、天井搬送車５０が走行するので、複数の天井搬送車５０が並んで走行する場合等も想定される。複数の第２位置Ｐ２は、想定される第２天井軌道３０の最大荷重にグリッド天井ＧＣが耐えるように分散させて設定される。なお、第２位置Ｐ２は、Ｙ方向に一定間隔で設定されているが、この形態に限定されず、Ｙ方向の間隔が一部で異なっていてもよい。また、第２天井軌道３０の接続部３２においても同様に複数の第２位置Ｐ２が設定される。

【0057】

図４において、第３位置Ｐ３は、白三角で示されている。複数の第３位置Ｐ３は、平面視において第１天井軌道２０の直線部２１、２２、接続部２３、及び接続軌道２４の各部に沿って設定される。複数の第３位置Ｐ３は、平面視において第１天井軌道２０から走行方向の側方に外れた位置に、走行方向に間隔をあけて並んで設定されている。各第３位置Ｐ３は、直線部２１、２２、接続部２３、及び接続軌道２４の両側に設定される。第１天井軌道２０は、クレーン４０及び上側天井搬送車６０が走行するので、クレーン４０と上側天井搬送車６０が近接する場合等が想定される。複数の第３位置Ｐ３は、想定される第１天井軌道２０の最大荷重にグリッド天井ＧＣが耐えるように分散させて設定される。

【0058】

図４において、第４位置Ｐ４は、黒三角で示されている。複数の第４位置Ｐ４は、平面視において載置部１４（図２参照）と重なる位置に設定される。なお、図４において載置部１４の記載は省略している。複数の第４位置Ｐ４は、Ｙ方向に間隔をあけて並んで設定される。載置部１４（受け渡しポート１２を含む）には、複数の物品が載置されるので、最も多く物品２を載置した場合も想定される。複数の第４位置Ｐ４は、想定される載置部１４の最大荷重にグリッド天井ＧＣが耐えるように分散させて設定される。なお、第４位置Ｐ４は、Ｙ方向に一定間隔で設定されているが、この形態に限定されず、Ｙ方向の間隔が一部で異なっていてもよい。

【0059】

グリッド天井ＧＣの下面側には、Ｘ方向又はＹ方向に延在する梁部７０（図５、図６等参照）が固定されている。梁部７０は、例えば棒状の金属部材である。梁部７０の長さは、任意に設定可能である。梁部７０は、平面視においてグリッド天井ＧＣと梁部７０とが重なる部分のそれぞれにおいて、例えばボルト等の固定部材等によりグリッド天井ＧＣに固定される。又は、梁部７０は、吊り下げ部材によりグリッド天井ＧＣから吊り下げられている。この梁部７０は、グリッド天井ＧＣに対して取り外し可能であってもよいし、溶接等により固着されてもよい。梁部７０により、グリッド天井ＧＣにおけるマス目Ｇの内側に、第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３、第４位置Ｐ４を設定することができる。

【0060】

第１吊下部材３、第２吊下部材４、第３吊下部材５、及び第４吊下部材６のそれぞれは、梁部７０から吊り下げられている。つまり、第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３、及び第４位置Ｐ４のそれぞれは、平面視において梁部７０に重なる位置に設定される。

【0061】

図５は、第２天井軌道３０及び載置部１４の吊り下げ位置に関する第２位置Ｐ２及び第４位置Ｐ４について示す図である。なお、図５において載置部１４の記載は省略している。図５に示すように、梁部７０は、第２天井軌道３０の直線部３１に沿ってＹ方向に延在する第２梁部７２を含む。また、梁部７０は、載置部１４の長手方向（受け渡しポート１２の長手方向）に沿ってＹ方向に延在する第４梁部７４を含む。第２位置Ｐ２は、平面視において第２梁部７２に沿って間隔をあけて設定される。第４位置Ｐ４は、平面視において第４梁部７４に沿って間隔をあけて設定される。

【0062】

図６は、棚１０及び第１天井軌道２０の吊り下げ位置に関する第１位置Ｐ１及び第３位置Ｐ３について示す図である。図６に示すように、梁部７０は、棚１０に並ぶ物品２の方向であるＸ方向に沿って延在する第１梁部７１を含む。また、梁部７０は、第１天井軌道２０の接続部２３及び接続軌道２４に沿ってＹ方向に延在する第３梁部７３と、直線部２１、２２に沿ってＸ方向に延在する第３梁部７３とを有する。第１位置Ｐ１は、平面視において第１梁部７１に沿って間隔をあけて設定される。第３位置Ｐ３は、平面視において第３梁部７３に沿って間隔をあけて設定される。

【0063】

図７は、梁部７０とグリッド天井ＧＣとの位置関係の一例を示す図である。図７において、グリッド天井ＧＣは、直線により格子状に示されている。図７に示すように、グリッド天井ＧＣは、Ｘ方向及びＹ方向に沿って並ぶ複数のマス目Ｇを有する。第１梁部７１、第２梁部７２、第３梁部７３、及び第４梁部７４のそれぞれは、例えばグリッド天井ＧＣのマス目Ｇに沿って、Ｘ方向又はＹ方向に配置される。なお、梁部７０は、Ｘ方向又はＹ方向に配置されることに限定されず、例えば、Ｘ方向又はＹ方向に対して所定の角度に傾いて固定される形態であってもよい。

【0064】

図７に示すように、複数の第１位置Ｐ１の１つと、複数の第３位置Ｐ３の１つとは、１つのマス目Ｇに収まるように設定される形態がある。すなわち、天井ストッカ１００のうち重量における割合が大きい棚１０の吊り位置である第１位置Ｐ１と、天井ストッカ１００のうち重量における割合が小さい第１天井軌道２０の吊り位置である第３位置Ｐ３とが、１つのマス目Ｇに収まるように設定される。この第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３とを同一のマス目Ｇに設定することにより、第１吊下部材３及び第３吊下部材５が近接して配置されることになる。その結果、第１吊下部材３及び第３吊下部材５の取り付け又はメンテナンスにおいて同一カ所での作業が可能となり、作業性を向上できる。

【0065】

また、図７に示すように、１つのマス目Ｇの一辺（Ｘ方向又はＹ方向）の長さの半分である所定距離Ｌは、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とを離して設定する際の指標となる。この所定距離Ｌは、グリッド天井ＧＣにおける単位面積あたりの荷重の大きさが所定値（耐荷重）を超えないように設定される距離である。単位面積は、例えば平面視において１つのマス目Ｇの面積に相当する。第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とは、少なくとも所定距離Ｌを隔てて（所定距離Ｌ以上離して）設定される。図７に示すように、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とは、異なるマス目Ｇに設定される。なお、図７において、グリッド天井ＧＣを示す線上に吊り位置がある場合は、その直線で区切られた両側のマス目Ｇのいずれか一方に含まれるとしている。従って、図７において、第２位置Ｐ２を含む１つのマス目Ｇの線上に第１位置Ｐ１がある場合、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とは、それぞれ異なるマス目Ｇに設定されている。

【0066】

例えば、第２位置Ｐ２がマス目Ｇの中央近傍に配置される場合では、第１位置Ｐ１を第２位置Ｐ２と異なるマス目Ｇとすることにより、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とを少なくとも所定距離Ｌを隔てて設定させることができる。その結果、グリッド天井ＧＣの各マス目Ｇにおいて予め設定されている所定値（耐荷重）を超えて第１位置Ｐ１及び第２位置Ｐ２の双方が設定されるのを回避することができる。

【0067】

図８は、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との位置関係の一例を示す図である。図８は、図７中の領域Ａにおける第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との位置関係を拡大した図である。領域Ａにおける第２位置Ｐ２は、マス目Ｇの中央近傍に設定されている（図７参照）。図８に示すように、４つの第１位置Ｐ１は、第２位置Ｐ２に対して、それぞれ距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４を隔てて設定されている。これら距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４は、上記した所定距離Ｌよりも長くなっている。つまり、重量物である棚１０を吊り下げる第１吊下部材３のそれぞれと、同じく重量物である第２天井軌道３０を吊り下げる第２吊下部材４とが、少なくとも所定距離Ｌを隔てて配置される。

【0068】

また、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４は、グリッド天井ＧＣにおける単位面積（１つのマス目Ｇ）あたりの荷重の大きさが所定値（耐荷重）を超えないように設定された距離である。単位面積を１つのマス目Ｇの面積とする構成では、グリッド天井ＧＣにおける単位面積をマス目Ｇによって容易に認識でき、このマス目Ｇを参照することで、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との距離（例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４）を容易に設定することができる。なお、上記した単位面積は、１つのマス目Ｇの面積に限定されず、例えば、複数のマス目Ｇで設定される面積等、他の設定であってもよい。

【0069】

また、本実施形態では、平面視において、棚１０が処理装置ＴＬの直上を含む領域に設けられている。このため、第２天井軌道３０が配置されない処理装置ＴＬの直上に棚１０を配置することで、棚１０が吊り下げられる第１位置Ｐ１と、第２天井軌道３０が吊り下げられる第２位置Ｐ２とを容易に離して分散させることができる。

【0070】

図９は、グリッド天井ＧＣの１つのマス目Ｇあたりの荷重を示す図である。図９に示すデータは、例えばシミュレーション等により取得される。このシミュレーションに際して、第１位置Ｐ１にかかる荷重Ｖ１、第２位置Ｐ２にかかる荷重Ｖ２、第３位置Ｐ３にかかる荷重Ｖ３、第４位置Ｐ４にかかる荷重Ｖ４がそれぞれ実験等により予め求められている。荷重Ｖ１～Ｖ４のうち、荷重Ｖ１、Ｖ２は、その値が大きいことが確認されている。また、図９では、グリッド天井ＧＣのうち例えば１２個のマス目Ｇ（単位面積）においてそれぞれの総荷重を求めている。

【0071】

図９に示すように、１２個のマス目Ｇにおいて、それぞれの総荷重は、Ａ１～Ａ１２として求められる。総荷重Ａ１～Ａ１２は、各マス目Ｇにおいて、上記した荷重Ｖ１と、荷重Ｖ２と、荷重Ｖ３と、荷重Ｖ４との合計値である。例えば、総荷重Ａ１は、１つの荷重Ｖ２と、２つの荷重Ｖ３と、２つの荷重Ｖ４との合計値である。また、総荷重Ａ２は、２つの荷重Ｖ２の合計値である。また、総荷重Ａ３は、２つの荷重Ｖ１と、２つの荷重Ｖ３との合計値である。総荷重Ａ４～Ａ１２についての詳細は省略する。図９に示すように、荷重が大きい荷重Ｖ１、Ｖ２が異なるマス目Ｇに設定されているので、総荷重Ａ１～Ａ１２は、１つのマス目Ｇにおける耐荷重ＶＡよりも小さくなることがシミュレーションにおいて確認される。

【0072】

このように、本実施形態に係る保管システムＳＹＳによれば、棚１０を吊り下げる第１吊下部材３と第２天井軌道３０を吊り下げる第２吊下部材４とが距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４離して設定されるため、天井ストッカ１００の重量における多くの割合を占める棚１０の吊り位置である第１位置Ｐ１と、天井搬送車システム２００の重量における多くの割合を占める第２天井軌道３０の吊り位置である第２位置Ｐ２とが近接することを回避でき、棚１０の吊り位置と第２天井軌道３０の吊り位置とを分散させることができる。その結果、グリッド天井ＧＣの一部に大きな荷重がかかることを回避し、グリッド天井ＧＣの補強等の大がかりな追加工事が不要となるので、設置コストの増加を抑制できる。

【0073】

以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、保管システムＳＹＳにおいて、第１天井軌道２０と第２天井軌道３０とが接続されない構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第１天井軌道２０と第２天井軌道３０とが接続軌道等を介して接続されてもよい。

【0074】

なお、上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１９－０１１２８１、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。

【符号の説明】

【0075】

Ｇ・・・マス目
ＧＣ・・・グリッド天井
Ｌ・・・所定距離
Ｐ１・・・第１位置
Ｐ２・・・第２位置
Ｐ３・・・第３位置
Ｐ４・・・第４位置
ＬＰ・・・ロードポート
ＴＬ・・・処理装置
ＳＹＳ・・・保管システム
２・・・物品
３・・・第１吊下部材
４・・・第２吊下部材
５・・・第３吊下部材
６・・・第４吊下部材
１０・・・棚
１２・・・受け渡しポート
２０・・・第１天井軌道
３０・・・第２天井軌道
４０・・・クレーン
５０・・・天井搬送車
６０・・・上側天井搬送車
７０・・・梁部
１００・・・天井ストッカ
２００・・・天井搬送車システム
３００・・・搬送装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】