特許7236313膜脱気装置の洗浄方法及び超純水製造システム

発明の名称　膜脱気装置の洗浄方法及び超純水製造システム

出願人　野村マイクロ・サイエンス株式会社　（識別番号 245531）

　　　　特許公開件数ランキング 2891 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 936 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7236313

公報発行日　2023年3月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7236313

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