(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-03-03
(45)【発行日】2023-03-13
(54)【発明の名称】仕上げ加工用治具及び仕上げ加工用治具のスタンド
(51)【国際特許分類】
G01N 1/28 20060101AFI20230306BHJP
【ＦＩ】
G01N1/28 G
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2022187509
(22)【出願日】2022-11-24
【審査請求日】2022-12-12
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用 ウェブサイトの掲載日：令和４年２月１日 ウェブサイトのアドレス：ｈｔｔｐｓ：／／ｗｗｗ．ｎｏｇａｍｉ－ｇｋ．ｃｏ．ｊｐ／ｐｒｏｄｕｃｔｓ／ 配布日：令和４年１１月８日～１０日 配布場所：第６３回電池討論会 福岡県福岡市博多区石城町２－１ 福岡国際会議場 配布日：令和４年１１月１６日～１８日 配布場所：〔関西〕二次電池展 大阪府大阪市住之江区南港北１－５－１０２ インテックス大阪
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】394020815
【氏名又は名称】株式会社野上技研
(74)【代理人】
【識別番号】100128358
【弁理士】
【氏名又は名称】木戸 良彦
(74)【代理人】
【識別番号】100086210
【弁理士】
【氏名又は名称】木戸 一彦
(72)【発明者】
【氏名】野上 良太
(72)【発明者】
【氏名】福田 司
(72)【発明者】
【氏名】川村 翔太郎
【審査官】山口 剛
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－２４０５２２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－２２７１１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２１－１８１８９５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－２８４７３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００２／００８１０１５（ＵＳ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０２１／００２５７８９（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ １／００ － １／４４
Ｂ２６Ｄ １／０４ － １／１１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
作業面に設けられた直線状のガイド溝に沿ってスライドしながら、前記作業面上に突出した板状試料の突出部分を切削して該板状試料の仕上げ加工を行う刃物ユニットと、前記板状試料をクランプ位置に固定するクランプ機構と、前記突出部分により作られる切削加工代を設定する切削加工代設定機構とを備えている仕上げ加工用治具であって、前記作業面には、前記ガイド溝と平行をなす刃物移動経路面が設けられ、
前記刃物ユニットは、前記刃物移動経路面に摺接する刃物を有し、
前記クランプ機構は、固定側口金と、該固定側口金に向けて前記刃物ユニットのスライド方向と直交方向に移動可能、かつ、スプリングの弾性力を得て前記板状試料を厚み方向に一定の力で押圧可能な可動側口金とを有し、
前記切削加工代設定機構は、前記板状試料を前記作業面上に突出させて前記突出部分を得るための昇降ステージを有し、
前記刃物移動経路面には、前記板状試料の固定状態で、前記固定側口金及び前記可動側口金の両口金上面が含まれていることを特徴とする仕上げ加工用治具。
【請求項2】
前記固定側口金及び前記可動側口金のそれぞれには、口金上面と前記板状試料を押圧する口金側面とが直角をなして連続する直角部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の仕上げ加工用治具。
【請求項3】
請求項１又は２記載の仕上げ加工用治具のスタンドであって、前記仕上げ加工用治具を載置するベース部と、該ベース部に設けられる支持アームと、該支持アームに取り付けられるマイクロスコープとを備え、
前記支持アームは、前記マイクロスコープを前記作業面の直上領域に配置した起立状態と、前記直上領域の外側に配置した倒伏状態とに起倒可能に構成されていることを特徴とする仕上げ加工用治具のスタンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、仕上げ加工用治具及び仕上げ加工用治具のスタンドに関し、詳しくは、所定の大きさにカットして作成した薄片状の試料の断面を観察面として、該観察面の観察に適した断面に仕上げ加工する際に用いられる仕上げ加工用治具及び仕上げ加工用治具のスタンドに関する。
【背景技術】
【0002】
種々の対象物の材料検査において、試料の断面観察は試料性状を把握する方法として一般的に用いられている方法である。こうした観察で用いられる試料断面を作成する大まかな手順は、一例として、観察したい部位の近傍を切り出して行われる（一次加工）。そして、切断面に対して機械研磨あるいはイオンミリングなどの二次加工を行い、観察用の試料台に取り付けて観察が行われている。各種二次加工のうち、イオンミリングは、試料断面にイオンビームを照射するなどして研磨するもので、固い試料及び柔らかい試料のいずれにおいても鏡面状態の断面が得られることから、断面観察の前処理として広く普及している（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００５－９１０９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、試料断面を観察するための前処理（二次加工）は、精度が求められる加工と断面観察とを繰り返す煩雑な工程を必要とし、その上、一次加工の品質に起因した作業性への影響も大きいものである。したがって、一次加工で発生した試料断面の破壊（割れ、崩れ、層間剥離など）を効率良く取り除き、高品質な断面を安定して得ることが可能な二次加工手段が求められている。
【0005】
そこで本発明は、試料の断面を仕上げ加工し、観察に適した断面を形成する仕上げ加工用治具及び仕上げ加工用治具のスタンドを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明の仕上げ加工用治具は、作業面に設けられた直線状のガイド溝に沿ってスライドしながら、前記作業面上に突出した板状試料の突出部分を切削して該板状試料の仕上げ加工を行う刃物ユニットと、前記板状試料をクランプ位置に固定するクランプ機構と、前記突出部分により作られる切削加工代を設定する加工代設定機構とを備えている仕上げ加工用治具であって、前記作業面には、前記ガイド溝と平行をなす刃物移動経路面が設けられ、前記刃物ユニットは、前記刃物移動経路面に摺接する刃物を有し、前記クランプ機構は、固定側口金と、該固定側口金に向けて前記刃物ユニットのスライド方向と直交方向に移動可能、かつ、スプリングの弾性力を得て前記板状試料を厚み方向に一定の力で押圧可能な可動側口金とを有し、前記加工代設定機構は、前記板状試料を前記作業面上に突出させて前記突出部分を得るための昇降ステージを有し、前記刃物移動経路面には、前記板状試料の固定状態で、前記固定側口金及び前記可動側口金の両口金上面が含まれていることを特徴としている。
【0007】
また、前記固定側口金及び前記可動側口金のそれぞれには、口金上面と前記板状試料を押圧する口金側面とが直角をなして連続する直角部が形成されていると好適である。
【0008】
さらに、本発明の仕上げ加工用治具のスタンドは、上述の仕上げ加工用治具のスタンドであって、前記仕上げ加工用治具を載置するベース部と、該ベース部に設けられる支持アームと、該支持アームに取り付けられるマイクロスコープとを備え、前記支持アームは、前記マイクロスコープを前記作業面の直上領域に配置した起立状態と、前記直上領域の外側に配置した倒伏状態とに起倒可能に構成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【0009】
本発明の仕上げ加工用治具によれば、加工代設定機構にて板状試料を作業面から突出させ、クランプ機構にて板状試料を厚み方向にクランプして、クランプ位置に固定し、刃物ユニットを板状試料の厚み方向と直交する方向にスライドさせることにより、刃物で板状試料の切削加工代として作られた突出部分を長手方向に（断面に沿って）切削する。そして、刃物は、刃物移動経路面を隙間０（ゼロ）の状態で摺動し、固定側口金及び可動側口金の両口金は、刃物が入る断面の際（きわ）、つまり、試料断面と刃物移動経路面との境目を正確にクランプする。これにより、板状試料の断面に与える力を極小にして断面の変形をなくすことが可能となり、観察に適した良好な断面を得ることができる。
【0010】
その上、クランプ機構は、スプリングの弾性力を得て一定の力（定圧）で管理されたクランプ圧で板状試料をクランプすることから、過度の押し付けによる板状試料の破壊を防止し、観察に適した良好な断面を安定して得ることができる。
【0011】
また、固定側口金及び可動側口金が互いの直角部を含む口金側面同士の間で板状試料をクランプするので、口金側面の上端部を板状試料の板面に密着させることが可能となり、板状試料の断面の際（きわ）を確実にクランプすることができる。
【0012】
さらに、仕上げ加工用治具をスタンドと組み合わせて使用するので、スタンドの支持アームに備えたマイクロスコープで板状試料の断面を確認しながら仕上げ加工を行うことが可能となり、断面の状態を容易に把握することができる。とりわけ、スタンドは、起倒可能な支持アームを備えていることから、仕上げ加工用治具のセットも容易なものとなり、断面観察における作業性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本発明の一形態例を示す仕上げ加工用治具をマイクロスコープスタンドに縦向きにセットし、マイクロスコープの支持腕を倒伏させた状態を示す斜視図である。
【図2】仕上げ加工用治具をマイクロスコープスタンドに横向きにセットした状態を示す斜視図である。
【図3】仕上げ加工用治具の斜視図である。
【図4】仕上げ加工用治具の平面図である。
【図5】仕上げ加工用治具の短辺側の側面図である。
【図6】仕上げ加工用治具の長辺側の側面図である。
【図7】仕上げ加工用治具の要部拡大側面図である。
【図11】加工代設定機構で板状試料の加工代を設定する工程の説明図である。
【図12】クランプ機構で板状試料をクランプする工程の説明図である。
【図13】板状試料をクランプした状態の仕上げ加工用治具の平面図である。
【図14】刃物部材の角度変更した状態を示す要部平面図である。
【図15】仕上げ加工用治具をマイクロスコープスタンドに縦向きにセットし、マイクロスコープの支持腕を起立させた状態を示す正面図である。
【図16】仕上げ加工用治具をマイクロスコープスタンドに縦向きにセットし、マイクロスコープの支持腕を起立させた状態を示す側面図である。
【図17】仕上げ加工用治具をマイクロスコープスタンドに縦向きにセットし、マイクロスコープの支持腕を起立させた状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
仕上げ加工用治具１１は、作業台を兼ねたマイクロスコープスタンド３１（本発明のスタンド）に取り付けて使用されるものであって、仕上げ加工用治具１１とマイクロスコープスタンド３１との組み合わせ（一式）で、板状試料の仕上げ加工工程から観察工程までを円滑に進めることができるものである。
【0015】
仕上げ加工用治具１１は、例えば、電池部品や電子部品等の構造や充・放電状態等を観察するために、それらを所定の大きさにカットして作成した薄片状の板状試料Ｓ１の断面を観察面として、該観察面の観察に適した断面に仕上げ加工する際に用いられる。なお、観察には、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）等の高倍率で分解能の高い各種機器、ラマン分光法（Ｒａｍａｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）、電子後方散乱回折法（ＥＢＳＤ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）等を用いることができる。そして、図１に示されるように、マイクロスコープスタンド３１に仕上げ加工用治具１１を縦向きにセットした状態で、板状試料Ｓ１のクランプ工程が行われ、図２に示されるように、マイクロスコープスタンド３１に仕上げ加工用治具１１を横向きにセットした状態で、板状試料Ｓ１の切削加工工程が行われる。
【0016】
仕上げ加工用治具１１は、図３などに示すように、作業面１１ａを有する直方体状の金属ブロック製のもので、前記作業面１１ａと、短辺側の側面１１ｂ，１１ｃと、長辺側の側面１１ｄ，１１ｅと、底面１１ｆとを有している。作業面１１ａには、ガイド溝１２に沿ってスライドしながら、作業面１１ａ上に突出した板状試料Ｓ１の突出部分を切削して板状試料Ｓ１の仕上げ加工を行う刃物ユニット１３と、板状試料Ｓ１をクランプ位置に固定するクランプ機構１４と、板状試料Ｓ１の突出部分により作られる切削加工代を設定する加工代設定機構１５とが設けられている。
【0017】
なお、以下の説明で述べる「上」「下」は、仕上げ加工用治具１１を、作業面１１ａを上方に向けて水平状態とする横向きにセットした際の「上」「下」に対応させている。
【0018】
ガイド溝１２は、図４に示すように、短辺側の一方の側面１１ｂから他方の側面１１ｃに亘って直線状に形成され、図８に示すように、作業面１１ａに開口する上部開口１２ａから溝底部１２ｂに向けて漸次溝幅寸法を広げた断面台形状に形成されている。
【0019】
【0020】
刃物部材１７は、刃物１７ａと、刃物１７ａを支持する刃物支持部材１７ｂとを有している。刃物１７ａは、板状試料Ｓ１に対しての圧力を可能な限り細い面積（線）に集中させる道具であり、図７にも示すように、底辺部１７ｃに刃を備えた断面直角三角形状に形成され、鋭利な刃先Ｐをスライド方向前方となる側面１１ｃ側に向けて、刃物支持部材１７ｂを介して刃物ホルダー１６に取り付けられる。刃物１７ａの材質は、焼入鋼、ステンレス鋼、超硬合金、セラミック、硬質樹脂等が考えられるが、硬度、対摩耗性が十分であれば材質は任意であり、刃物１７ａの表面に既知のコーティング被膜を設けて構成することもできる。なお、刃物１７ａの形状は、先端部に向かって細く形成されるものであるが、刃先角度（刃の先端を形成する角度）等の具体的な形状については特に限定されない。
【0021】
刃物支持部材１７ｂは、一端に刃物１７ａが取り付けられるとともに、他端側に摘み片１７ｄが設けられ、長さ方向中央部にはスライド孔１７ｅが形成されている（図４）。また、刃物支持部材１７ｂに刃物１７ａを取り付けた状態で、刃物支持部材１７ｂの底面と刃物１７ａの底辺部１７ｃとは面一となっている。
【0022】
刃物ホルダー１６は、ガイド溝１２に挿入され、ガイド溝１２に沿ってスライドするスライダー１６ａと、該スライダー１６ａの上部に取り付けられる本体部１６ｂとを有し、スライダー１６ａと本体部１６ｂとの間に前記刃物支持部材１７ｂが配置される。
【0023】
スライダー１６ａは、ガイド溝１２の形状に対応した四角錐台状に形成され（図８）、ガイド溝１２の両側面１２ｃ，１２ｃに傾斜面１６ｃ，１６ｃが面当接可能に配置されるとともに、その上面１６ｄは、作業面１１ａと面一となるように形成されている。また、スライダー１６ａの端部には、スライダー固定ねじ１６ｅが設けられ、該スライダー固定ねじ１６ｅを締めることにより、スライダー１６ａが僅かに上昇し、傾斜面１６ｃとガイド溝１２の側面１１ｃとが上下方向に密着し、刃物ホルダー１６の移動が規制される。
【0024】
本体部１６ｂは、直方体のケース状に形成され、天井部の中央にカラー挿通孔１６ｆが形成されるとともに、該カラー挿通孔１６ｆを挟んで、スライド方向両側部に円弧状の一対のボルト挿通孔１６ｇ，１６ｇがそれぞれ形成されている。さらに、本体部１６ｂのガイド溝１２と平行な一対の側面には、刃物支持部材１７ｂをガイド溝１２と直交方向に移動可能に保持する保持孔１６ｈ，１６ｈがそれぞれ形成されている。また、本体部１６ｂの天井部の一側には、刃物部材１７を覆う板状の安全カバー１６ｉが取り付けられている。
【0025】
カラー挿通孔１６ｆには中空円筒状のカラー１６ｊが挿通され、該カラー１６ｊに刃物固定ノブ１６ｋが回動可能、かつ、上下方向に移動可能に挿通される。さらに、一対のボルト挿通孔１６ｇ，１６ｇには、取付ボルト１６ｍ，１６ｍがそれぞれ挿通される。また、スライダー１６ａには、刃物固定ノブ１６ｋの下端部に形成された雄ねじ部を螺合させる第１雌ねじ孔（図示せず）と、取付ボルト１６ｍ，１６ｍを螺合させる第２雌ねじ孔（図示せず）がそれぞれ形成されている。
【0026】
さらに、刃物ホルダー１６をガイド溝１２の最も側面１１ｂ側に配置させた状態で、刃物１７ａが配置される作業面１１ａには、刃物１７ａの取付角度を目視できる角度目盛１８が設けられている（図１４）。
【0027】
このように形成された刃物ホルダー１６の組立は、刃物支持部材１７ｂのスライド孔１７ｅ内に、第１雌ねじ孔を配置した状態で、スライダー１６ａの上面に、刃物支持部材１７ｂを、ガイド溝１２と直交方向に向けるとともに刃物１７ａを側面１１ｄ側に向けて配置し、次いで、スライダー１６ａに本体部１６ｂを取り付け、一対の保持孔１６ｈ，１６ｈから刃物支持部材１７ｂの両端部を突出させる。
【0028】
カラー１６ｊに挿通させた刃物固定ノブ１６ｋの雄ねじ部を第１雌ねじ孔に螺合させた後、摘み片１７ｄを操作して、刃物支持部材１７ｂをガイド溝１２と直交方向に移動させて、刃物１７ａを所定の位置に配置した後、刃物固定ノブ１６ｋさらにねじ込むことで、刃物固定ノブ１６ｋがカラー１６ｊを下方に押圧する。これに伴って、カラー１６ｊが刃物支持部材１７ｂをスライダー１６ａの上面１６ｄに押し付けて、刃物支持部材１７ｂを所定位置に固定させる。また、これにより、刃物１７ａの底辺部１７ｃと作業面１１ａとは隙間０（ゼロ）の状態となり、刃物ホルダー１６をガイド溝１２に沿ってスライドさせた際に、底辺部１７ｃは隙間０の状態で、作業面１１ａに設けられたガイド溝１２と平行をなす刃物移動経路面Ｒ１を摺動する（図４の２本の点線間の領域）。さらに、一対の取付ボルト１６ｍ，１６ｍを一対のボルト挿通孔１６ｇ，１６ｇにそれぞれ挿通し、各取付ボルト１６ｍ，１６ｍを第２雌ねじ孔にそれぞれ螺合させ、スライダー１６ａの上部に本体部１６ｂを取り付ける。
【0029】
図４の２本の点線間の領域に示すように、刃物移動経路面Ｒ１は、作業面１１ａ上を刃物１７ａが摺動する摺動面である。刃渡りに相当する幅Ｗで、所定の長さを有している。
【0030】
クランプ機構１４は、図１０などに示すように、ガイド溝１２の側面１１ｄ側に、下方に向けてガイド溝１２と平行に配置される固定側口金１９と、該固定側口金１９に向けてガイド溝１２と直交方向（刃物ユニット１３のスライド方向と直交方向）に移動する可動側口金２０とを備えている。
【0031】
固定側口金１９は、例えばセラミックス等の絶縁体で形成され、図１や図１１に示されるように、マイクロスコープスタンド３１に仕上げ加工用治具１１を縦向きにセットした状態で、板状試料Ｓ１のクランプ工程を行う際に、板状試料Ｓ１を載置させる載置面１９ａを有している。また、仕上げ加工用治具１１を横向きにセットした際に上方となる上面１９ｂは、作業面１１ａと面一に形成されている。さらに、図３や図１１，図１２に示されるように、固定側口金１９には、載置面１９ａと上面１９ｂとが直角をなして連続する直角部Ｃ１が形成されている。
【0032】
図１０に示されるように、クランプ機構１４は、側面１１ｄから固定側口金１９に向けて、ガイド溝１２と直交方向に形成される口金収容孔１４ａを備え、該口金収容孔１４ａに可動側口金２０がガイド溝１２と直交方向に移動可能に収容され、可動側口金２０には、該可動側口金２０を移動操作させるハンドル２１が連結されている。
【0033】
可動側口金２０は、固定側口金１９に向けて開口した断面コ字状の外側口金体２０ａと、外側口金体２０ａの内側に収容される内側口金体２０ｂとで構成され、例えばセラミックス等の絶縁体でそれぞれ形成されている。また、内側口金体２０ｂは、図９及び図１０に示されるように、口金収容孔１４ａ内からカバー部材２３に亘ってガイド溝１２と直交方向に延出するガイド部材１４ｂに沿って、外側口金体２０ａの内側に移動可能に収容される。
【0034】
外側口金体２０ａは、開口側を固定側口金１９側に、底部側を側面１１ｄ側に向けて口金収容孔１４ａ内に収容されている。底部には、後述するハンドル２１に設けたジョイント部２１ｃを挿入させるジョイント部挿入孔２０ｃと、内側口金体２０ｂに設けた中心軸部材２０ｋの一端部を螺合させる中心軸部材装着孔２０ｄとが、連通した状態で同軸に形成されている。また、ジョイント部挿入孔２０ｃは、固定側口金１９側に大径孔部を、反固定側口金１９側に小径孔部を有している。また、外側口金体２０ａの上面２０ｐは、作業面１１ａと面一に形成される。
【0035】
内側口金体２０ｂは、外側口金体２０ａの底部側に配置されるスプリング収容部２０ｅと、該スプリング収容部２０ｅにねじ締結され、外側口金体２０ａの開口から僅かに突出して設けられる板状試料クランプ部２０ｆとを備えている（図１０）。スプリング収容部２０ｅには、スプリング２２の一端側を収容する２つの有底の第１スプリング収容孔２０ｇ，２０ｇが、ガイド溝１２と直交方向に形成されている。また、外側口金体２０ａには、スプリング２２の他端側を収容する２つの第２スプリング収容孔２０ｈ，２０ｈが第１スプリング収容孔２０ｇ，２０ｇと同軸に形成され、各第２スプリング収容孔２０ｈの外側開口部は、外側口金体２０ａに螺合させたスクリュープラグ２０ｉによって閉塞されている。さらに、スプリング収容部２０ｅは、中心部に中心軸部材挿通孔２０ｊが貫通形成され、該中心軸部材挿通孔２０ｊに前記中心軸部材２０ｋが挿通され、端部が外側口金体２０ａの中心軸部材装着孔２０ｄに螺合している。
【0036】
スプリング２２は、圧縮前の状態（自然状態）で、その一端部が第１スプリング収容孔２０ｇの底部に、他端部がスクリュープラグ２０ｉにそれぞれ当接している。
【0037】
中心軸部材挿通孔２０ｊは、固定側口金１９側に大径孔部を有しており、中心軸部材２０ｋは、軸部の先端に設けられた大径頭部を大径孔部に配置させている。また、板状試料クランプ部２０ｆの上面２０ｑは、作業面１１ａと面一に形成されている。さらに、図３や図１１，図１２に示されるように、板状試料クランプ部２０ｆには、上面２０ｑと先端面２０ｍとが直角をなして連続する直角部Ｃ２が形成されている。
【0038】
図１０に示されるように、ハンドル２１は、雄ねじ部を備えた軸部材２１ａと、該軸部材２１ａの基端部に設けられ軸部材２１ａを回転させる操作部２１ｂとを備え、軸部材２１ａの先端部には、ジョイント部２１ｃが形成されている。ジョイント部２１ｃは、固定側口金１９側に大径部を、反固定側口金１９側に小径部を有し、大径部の先端面を球面状に形成している。ジョイント部２１ｃは、大径部を前記したジョイント部挿入孔２０ｃの大径孔部に、小径部をジョイント部挿入孔２０ｃの小径孔部に挿通させる。また、操作部２１ｂは、図１乃至図３に示されるように、ボルト２１ｄによって軸部材２１ａの軸方向に固定され、スクリュープラグ２１ｅによって回転方向に固定されている。
【0039】
軸部材２１ａの基端側と操作部２１ｂとは、仕上げ加工用治具１１の側面１１ｄよりも外側に突出して配置され、側面１１ｄには、側面１１ｄから突出した軸部材２１ａを覆うカバー部材２３が取り付けられている。また、該カバー部材２３には、雌ねじ孔２３ａが設けられ、該雄ねじ孔２３ａに軸部材２１ａの雄ねじ部が螺合している（図１０）。
【0040】
このように形成されたクランプ機構１４は、初期状態では、ハンドル２１は、操作部２１ｂと軸部材２１ａとが、カバー部材２３から外方に突出しており、ジョイント部２１ｃは、ジョイント部挿入孔２０ｃの固定側口金１９側の端面と、中心軸部材２０ｋの端部とに当接している。また、各スプリング２２は、第１スプリング収容孔２０ｇ及び第２スプリング収容孔２０ｈ内で自然状態に保持され、内側口金体２０ｂの板状試料クランプ部２０ｆは、外側口金体２０ａよりも僅かに固定側口金１９側に突出した状態となっている（図４）。
【0041】
可動側口金２０を作動させる際には、操作部２１ｂを回動操作して、ハンドル２１を固定側口金１９に向けて移動させる。これに伴い、ハンドル２１のジョイント部２１ｃが、ジョイント部挿入孔２０ｃの固定側口金１９側の端面と、中心軸部材２０ｋの端部とを押圧し、外側口金体２０ａと内側口金体２０ｂとを固定側口金１９に向けて移動させる。
【0042】
外側口金体２０ａよりも僅かに固定側口金１９側に突出した状態の板状試料クランプ部２０ｆの先端面２０ｍが、固定側口金１９に載置した板状試料Ｓ１に当接した後、内側口金体２０ｂは、スプリング２２を圧縮させながら、外側口金体２０ａとともに、さらに固定側口金１９に向けて移動する。外側口金体２０ａの先端面２０ｎと固定側口金１９の載置面１９ａとの距離Ｌ１＝０となり（先端面２０ｎと載置面１９ａとが当接した状態）、操作部２１ｂの回動操作を終了した時点で、スプリング２２は圧縮量に応じた弾性力を発揮し、板状試料クランプ部２０ｆが一定の力で固定側口金１９との間で板状試料Ｓ１をクランプする。このとき、固定側口金１９及び可動側口金２０の両口金は、前記直角部Ｃ１，Ｃ２を含む口金側面同士の間で板状試料Ｓ１をクランプし、口金側面の上端部を板状試料Ｓ１の板面に密着させ、刃物１７ａが入る断面の際（きわ）、つまり、試料断面と刃物移動経路面Ｒ１との境目を正確にクランプする。
【0043】
このように、板状試料Ｓ１をクランプした状態で、固定側口金１９の上面１９ｂと、外側口金体２０ａの上面２０ｐ及び板状試料クランプ部２０ｆの上面２０ｑとは、刃物移動経路面Ｒ１に含まれている（図４）。
【0044】
加工代設定機構１５は、固定側口金１９の奥側中央部に設けられ、固定側口金１９に載置した板状試料Ｓ１を作業面１１ａ方向に押し出す昇降ステージ１５ａと、該昇降ステージ１５ａを上下方向に移動させるマイクロメータ１５ｂとを備え、設定された板状試料Ｓ１の切削加工代に応じて、板状試料Ｓ１を作業面１１ａから上方に突出させる。
【0045】
マイクロメータ１５ｂは周知の構造を有し、マイクロメータ１５ｂを回転させることにより、昇降ステージ１５ａが０．０１ｍｍ単位で昇降し、１周回転させると、昇降ステージ１５ａが０．２５ｍｍ上昇するように形成されている。また、マイクロメータ１５ｂの外周壁には、０．０１ｍｍ単位の目盛り（図示せず）が設けられている。
【0046】
さらに、クランプ機構１４よりも側面１１ｃ側の作業面１１ａの下部には、上部に開口部を有する箱形のカス回収ボックス２４が、側面１１ｄから外方に引き出し可能に設けられている。また、カス回収ボックス２４の開口部の上方に位置する作業面１１ａには、ガイド溝１２と直交方向のカス落下用スリット２４ａが形成され、板状試料Ｓ１を仕上げ加工する際に発生する切り屑等の加工カスは、カス落下用スリット２４ａを介してカス回収ボックス２４に回収される。
【0047】
図１及び図２に示されるように、マイクロスコープスタンド３１は、仕上げ加工用治具１１を載置させるベース部３１ａと、ベース部に設けられる支持アーム３３と、該支持アーム３３に取り付けられる前記マイクロスコープ３２とを備えている。
【0048】
ベース部３１ａは、略長方形状に形成され、ベース部３１ａの短辺側の一側中央に、前記支持アーム３３が、ヒンジ部材３４を介して、起倒可能に取り付けられている。
【0049】
支持アーム３３は、基端部がヒンジ部材３４に取り付けられる円筒状の第１支持アーム３３ａと、該第１支持アーム３３ａに挿入され、起立状態でベース部３１ａの前方に向けて突出する第２支持アーム３３ｂとで形成され、第２支持アーム３３ｂの先端部にマイクロスコープ３２が取り付けられる。また、第２支持アーム３３ｂには、第１支持アーム３３ａへの固定位置を調整し、マイクロスコープ３２の高さ位置を調整する第１送りハンドル３３ｃと、第２支持アーム３３ｂの作業台前後方向の突出量を調整し、マイクロスコープ３２の作業台前後方向の位置を調整する第２送りハンドル３３ｄとを備えている。
【0050】
ベース部３１ａには、仕上げ加工用治具１１を位置決めするサポートプレート３５及びストレッチ３６が設けられるとともに、板状試料Ｓ１を固定側口金１９の載置面１９ａにセットさせるテーブル３７が着脱可能に設けられている。
【0051】
サポートプレート３５は、ヒンジ部材３４の前方に取り付けられた四角形状の板材で形成され、仕上げ加工用治具１１を、側面１１ｄを上方に向け、側面１１ｅをベース部３１ａに載置させ、作業面１１ａを鉛直方向に向けた縦向きにして、ベース部３１ａにセットする際に、底面１１ｆを当接させる。ストレッチ３６は、ベース部３１ａの短辺側の他側角部に取り付けられたＬ字状の板材で形成され、仕上げ加工用治具１１を横向きにセットした際に、仕上げ加工用治具１１の側面１１ｃと側面１１ｅとがストレッチ３６に当接して位置決めされる。
【0052】
テーブル３７は、仕上げ加工用治具１１をベース部３１ａに縦向きにセットした際に、上面３７ａが固定側口金１９の載置面１９ａと面一になる略直方体状に形成される。また、上面３７ａには、板状試料Ｓ１の寸法を計る目盛り３７ｂが設けられている。
【0053】
テーブル３７は、下面に突部（図示せず）が設けられており、仕上げ加工用治具１１をベース部３１ａに縦向きにセットし、ベース部３１ａの所定位置に設けた装着孔（図示せず）に突部を挿入させると、テーブル３７の胴部の一側面３７ｃが作業面１１ａに当接するとともに、載置面１９ａと上面３７ａとが密着する。
【0054】
さらに、テーブル３７は、不使用時に保管する際には、ベース部３１ａのヒンジ部材３４の側部に設けた装着孔（図示せず）に突部を挿入させて、ヒンジ部材３４の側部に配置させておく。
【0055】
マイクロスコープ３２は、図２に示されるように、仕上げ加工用治具１１をベース部３１ａに横向きにセットし、支持アーム３３を起立状態とした時に、作業面１１ａの直上領域に配置され、さらに、第１送りハンドル３３ｃや第２送りハンドル３３ｄを操作して、固定側口金１９の上方に配置させて、仕上げ加工した板状試料Ｓ１の断面を撮影する。また、撮影した映像は、無線通信によって外部ディスプレイで確認できるようにしている。
【0056】
次に、上述の仕上げ加工用治具１１とマイクロスコープスタンド３１とを用いて板状試料Ｓ１を切削して仕上げ加工をする手順について説明する。
【0057】
なお、本形態例で仕上げ加工される板状試料Ｓ１は電池部品に用いられる薄板を長方形状にカットしたもので、横寸法が２７ｍｍ、縦寸法が１０ｍｍ、板厚が２ｍｍとなっている。固定側口金１９は、奥行きの寸法が１０ｍｍとなっている。
【0058】
また、以下の説明で述べる「前」「後」「左」「右」「上」「下」は、ベース部３１ａにセットする仕上げ加工用治具１１の向きに拘わらず、ベース部３１ａの短辺側の一側を後方、短辺側の他側を前方とした際の「前」「後」「左」「右」「上」「下」に対応させている。
【0059】
まず、図１に示されるように、マイクロスコープスタンド３１の支持アーム３３をベース部３１ａの後方に倒した倒伏状態とし、仕上げ加工用治具１１をベース部３１ａに縦向きにセットし、サポートプレート３５に立てかける。テーブル３７を作業面１１ａの前方に装着し、テーブル３７の一側面３７ｃを作業面１１ａに当接させるとともに、上面３７ａと固定側口金１９の載置面１９ａとを密着させる。これにより、仕上げ加工用治具１１は、サポートプレート３５とテーブル３７とに挟まれて位置決めされる。
【0060】
このとき、刃物ユニット１３は、ガイド溝１２の側面１１ｂ側に配置させ、スライダー固定ねじ１６ｅを締め込み、移動を規制しておく。さらに、刃物部材１７も、刃物固定ノブ１６ｋの締め込みにより移動を規制しておく。
【0061】
そして、図１１に示すように、ハンドル２１の操作部２１ｂを回して、可動側口金２０を上昇させる。次いで、テーブル３７の上面３７ａに板状試料Ｓ１を載置するとともに、載置面１９ａ側に滑らせ、板状試料Ｓ１の横方向を左右方向、縦方向を前後方向に向けた状態で、板状試料Ｓ１を昇降ステージ１５ａに当接させた状態とする。
【0062】
このとき、板状試料Ｓ１の縦寸法が１０ｍｍで、固定側口金１９の奥行きの寸法が１０ｍｍとなっていることから、板状試料Ｓ１の作業面１１ａからの突出量は０となっている。なお、板状試料Ｓ１のサイズが不明である場合は、板状試料Ｓ１を載置面１９ａにセットする前に、テーブル３７の目盛り３７ｂを目安に板状試料の寸法を把握しておくと、仕上げ加工後の板状試料寸法を計算しながら、板状試料Ｓ１を仕上げ加工することができる。
【0063】
板状試料Ｓ１をセットした後、マイクロメータ１５ｂを回転させて昇降ステージ１５ａを、０．０１ｍｍ単位で前方に移動させ、板状試料Ｓ１の初回の切削加工代を０．０１ｍｍ単位で設定する。加工可能サイズは、最小２．０ｍｍ～最大１０．０ｍｍであるが、切削加工代が大きすぎると板状試料内部までの加工によるダメージ（ひび割れ・層間剥離等）を受けるおそれがあり、対象材料や元々の板状試料ダメージの具合によって、最適な切削加工代は異なってくるものの、初回は、概ね０．２ｍｍ以下で加工するのがよい。
【0064】
板状試料Ｓ１の切削加工代を設定した後、図１２に示すように、ハンドル２１の操作部２１ｂを回して、可動側口金２０を下降させる。図１３に示されるように、外側口金体２０ａの先端面２０ｎと固定側口金１９の載置面１９ａとが当接すると、前述のように、板状試料クランプ部２０ｆと固定側口金１９との間で一定の力で板状試料Ｓ１をクランプする。
【0065】
次に、仕上げ加工用治具１１を左右いずれかにスライドさせて、仕上げ加工用治具１１をベース部３１ａから取り外す。テーブル３７は、ヒンジ部材３４の側部に保管する。
【0066】
図２に示されるように、仕上げ加工用治具１１をベース部３１ａに横向きにセットし、側面１１ｃと側面１１ｅとをストレッチ３６に当接させて位置決めする。
【0067】
そして、支持アーム３３を回動させて起立状態とし、マイクロスコープ３２を作業面１１ａの直上領域に配置するとともに、第１送りハンドル３３ｃと第２送りハンドル３３ｄとを操作して、固定側口金１９の上方に配置させる。
【0068】
スライダー固定ねじ１６ｅを緩め、刃物ホルダー１６がガイド溝１２に沿って移動可能な状態とするとともに、刃物固定ノブ１６ｋを操作して、刃物１７ａの底辺部１７ｃと作業面１１ａとが隙間０の状態となっているかを確認する。確認後、刃物ユニット１３を前方にスライドさせる。これにより、刃物１７ａが刃物移動経路面Ｒ１を摺動し、板状試料Ｓ１の切削加工代として作られた突出部分を長手方向に（断面に沿って）切削する。
【0069】
切削加工時に発生した加工カスは、カス落下用スリット２４ａからカス回収ボックス２４へ落下し、作業面１１ａを綺麗な状態に保つ。さらに、刃物１７ａ、特に、刃面となる底辺部１７ｃに付着した加工カスを清掃する。
【0070】
次に、刃物固定ノブ１６ｋを緩め、刃物支持部材１７ｂを左側にスライドさせ、刃物ホルダー１６をスライドさせても刃物１７ａが板状試料Ｓ１に接触しない位置（刃物移動経路面Ｒ１から外れた位置）に配置し、刃物固定ノブ１６ｋを締めて固定する。この状態で刃物ホルダー１６を後方にスライドさせて、初期位置まで移動させる。
【0071】
左側にスライドさせた刃物支持部材１７ｂを初期位置に戻して刃物固定ノブ１６ｋを締めて固定する。板状試料Ｓ１の加工断面は、マイクロスコープ３２によって撮影され、撮影した映像によって、目的の加工断面が得られたか否かが確認される。この時点で、目的の加工断面が得られていれば、仕上げ加工は終了となる。
【0072】
一方、目的の加工断面が得られていない場合は、再度加工が繰り返される。再度加工を開始する際は、まず、板状試料Ｓ１をアンクランプする。このとき、可動側口金２０をアンクランプしすぎると、板状試料Ｓ１が倒れて固定側口金１９の奥側に入り込むおそれがあることから、マイクロスコープ３２で、板状試料Ｓ１の状態を確認しながら操作部２１ｂを回動させると良い。
【0073】
マイクロメータ１５ｂを操作して、板状試料Ｓ１の２回目の切削加工代を作業面１１ａから上方に突出させる。次いで、操作部２１ｂを回動させて板状試料Ｓ１をクランプし、刃物ホルダー１６を前方にスライドさせて、板状試料Ｓ１の切削加工代を加工する。この手順を繰り返して、目的の加工断面が得られるまで、加工を繰り返す。また、仕上げ加工を繰り返す際には、マイクロメータ１５ｂの操作により、板状試料Ｓ１の削り量（切削加工代）を徐々に少なくしていくとよい。
【0074】
また、刃物１７ａが摩耗した際には、刃物部材１７の交換を行う。刃物部材１７を交換する際は、まず、刃物固定ノブ１６ｋを緩めて取り外し、次いで、カラー１６ｊを取り外す。取付ボルト１６ｍ，１６ｍを取外し、本体部１６ｂをスライダー１６ａから取り外す。この時、刃物１７ａの刃先を痛めないように、片手で刃物１７ａを抑えながら本体部１６ｂを取り外すと良い。交換する刃物部材１７をスライダー１６ａの上面から取り除く。
【0075】
新品の刃物部材１７のスライド孔１７ｅ内に、第１雌ねじ孔を配置した状態で、スライダー１６ａの上面に配置する。次いで、刃物１７ａの刃先を痛めないように注意しながら、本体部１６ｂをスライダー１６ａに取り付ける。カラー１６ｊを元の位置に配置し、刃物固定ノブ１６ｋをカラー１６ｊに挿通して締め込むとともに、取付ボルト１６ｍ，１６ｍを締結する。
【0076】
また、刃物１７ａの取付角度を変更する際は、刃物固定ノブ１６ｋと取付ボルト１６ｍ，１６ｍを緩める。図１４（ｂ）に示されるように、スライダー１６ａに対して本体部１６ｂを傾けるとともに、角度目盛１８を目安に、刃物部材１７をガイド溝１２と直交する直交線ＯＬに対して傾けて配置し、刃物固定ノブ１６ｋと取付ボルト１６ｍ，１６ｍを締め込むことにより、刃物１７ａを所定の取付角度に変更して固定させることができる。
【0077】
さらに、板状試料Ｓ１をクランプするクランプ圧を変更させたい時には、まず、操作部２１ｂを回動させて可動側口金２０を最大限に開いた状態とする。操作部２１ｂから、ボルト２１ｄを取り外すとともにスクリュープラグ２１ｅを緩め、操作部２１ｂを軸部材２１ａから取り外す。次いで、各第２スプリング収容孔２０ｈの外側開口部を閉塞しているスクリュープラグ２０ｉを取り外す。スプリング２２を取外し、スプリング力の異なる新たなスプリングと交換する。新しいスプリングを装着後、スクリュープラグ２０ｉで第２スプリング収容孔２０ｈの外側開口部を閉塞する。軸部材２１ａに操作部２１ｂを嵌め、ボルト２１ｄとスクリュープラグ２１ｅとで固定する。弾性力の低いスプリングと交換すれば、クランプ圧を小さくでき、弾性力の高いスプリングと交換すれば、クランプ力を大きくすることができる。
【0078】
また、仕上げ加工用治具１１及びマイクロスコープスタンド３１を不使用時に収納する際には、図１６乃至図１８に示すように、仕上げ加工用治具１１をベース部３１ａに縦向きにセットし、サポートプレート３５に立てかけるとともに、テーブル３７を作業面１１ａの前方に装着する。マイクロスコープスタンド３１の支持アーム３３を回動させて起立状態とし、マイクロスコープ３２をテーブル３７の前方に配置させる。これにより、仕上げ加工用治具１１及びマイクロスコープスタンド３１をコンパクトに収納させることができる。
【0079】
上述のように、本発明の仕上げ加工用治具１１によれば、加工代設定機構１５にて板状試料Ｓ１を作業面から突出させ、クランプ機構１４にて板状試料Ｓ１を厚み方向にクランプして、クランプ位置に固定し、刃物ユニット１３を板状試料Ｓ１の厚み方向と直交する方向にスライドさせることにより、刃物１７ａで板状試料Ｓ１の切削加工代として作られた突出部分を長手方向に（断面に沿って）切削する。そして、刃物１７ａは、刃物移動経路面Ｒ１を隙間０（ゼロ）の状態で摺動し、固定側口金１９と可動側口金２０とは、刃物１７ａが入る断面の際（きわ）、つまり、試料断面と刃物移動経路面Ｒ１との境目を正確にクランプする。これにより、板状試料Ｓ１の断面に与える力を極小にして断面の変形をなくすことが可能となり、観察に適した良好な断面を得ることができる。
【0080】
その上、クランプ機構１４は、スプリング２２，２２の弾性力を得て一定の力（定圧）で管理されたクランプ圧で板状試料Ｓ１をクランプすることから、過度の押し付けによる板状試料Ｓ１の破壊を防止し、観察に適した良好な断面を安定して得ることができる。
【0081】
また、固定側口金１９及び可動側口金２０が互いの直角部Ｃ１，Ｃ２を含む口金側面同士の間で板状試料Ｓ１をクランプするので、口金側面の上端部を板状試料Ｓ１の板面に密着させることが可能となり、固定側口金１９及び可動側口金２０の両口金は、板状試料Ｓ１の断面の際（きわ）を確実にクランプすることができる。
【0082】
さらに、仕上げ加工用治具１１を、マイクロスコープ３２を備えたマイクロスコープスタンド３１と組み合わせて使用するので、マイクロスコープ３２で板状試料Ｓ１の断面を確認しながら仕上げ加工を行うことが可能となり、断面の状態を容易に把握することができる。とりわけ、マイクロスコープスタンド３１は、起倒可能な支持アーム３３を備えていることから、仕上げ加工用治具１１のセットも容易なものとなり、断面観察における作業性の向上を図ることができる。
【0083】
また、本形態例では、刃物１７ａや固定側口金１９及び可動側口金２０をセラミック等の絶縁体で形成したことにより、仕上げ加工を繰り返えしても、板状試料Ｓ１の充・放電状態等の観察や試験に悪影響を与えるおそれがない。
【0084】
さらに、仕上げ加工用治具１１は、構造がシンプルで小型に形成することができることから、グローブボックス内で板状試料Ｓ１を仕上げ加工することも可能となる。
【0085】
なお、本発明は、上述の形態例に限るものではなく、仕上げ加工用治具は、電池、電子部品の他にも、例えば、集積回路、高分子材料、有機材料等に幅広く適用することができる。また、主要部品（刃物等）の構成、使用態様は上述の通りであるが、その他に、治具構成部品の材質や形状、大きさ等、さらには、マイクロスコープ及びスタンドの仕様等についても任意である。加えて、板状試料の大きさや形状については観察目的等に応じて適宜変更することができる。
【符号の説明】
【0086】
１１…仕上げ加工用治具、１１ａ…作業面、１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ…側面、１１ｆ…底面、１２…ガイド溝、１２ａ…上部開口、１２ｂ…溝底部、１２ｃ…側面、１３…刃物ユニット、１４…クランプ機構、１４ａ…口金収容孔、１４ｂ…ガイド部材、１５…加工代設定機構、１５ａ…昇降ステージ、１５ｂ…マイクロメータ、１６…刃物ホルダー、１６ａ…スライダー、１６ｂ…本体部、１６ｃ…傾斜面、１６ｄ…上面、１６ｅ…スライダー固定ねじ、１６ｆ…カラー挿通孔、１６ｇ…ボルト挿通孔、１６ｈ…保持孔、１６ｉ…安全カバー、１６ｊ…カラー、１６ｋ…刃物固定ノブ、１６ｍ…取付ボルト、１７…刃物部材、１７ａ…刃物、１７ｂ…刃物取付部材、１７ｃ…底辺部、１７ｄ…摘まみ片、１７ｅ…スライド孔、１８…角度目盛、１９…固定側口金、１９ａ…載置面、１９ｂ…上面、２０…可動側口金、２０ａ…外側口金体、２０ｂ…内側口金体、２０ｃ…ジョイント部挿入孔、２０ｄ…中心軸部材装着孔、２０ｅ…スプリング収容部、２０ｆ…板状試料クランプ部、２０ｇ…第１スプリング収容孔、２０ｈ…第２スプリング収容孔、２０ｉ…スクリュープラグ、２０ｊ…中心軸部材挿通孔、２０ｋ…中心軸部材、２０ｍ，２０ｎ…先端面、２０ｐ，２０ｑ…上面、２１…ハンドル、２１ａ…軸部材、２１ｂ…操作部、２１ｃ…ジョイント部、２１ｄ…ボルト、２１ｅ…スクリュープラグ、２２…スプリング、２３…カバー部材、２３ａ…雌ねじ孔、２４…カス回収ボックス、２４ａ…ガス落下用スリット、３１…マイクロスコープスタンド、３１ａ…ベース部、３２…マイクロスコープ、３３…支持アーム、３３ａ…第１支持アーム、３３ｂ…第２支持アーム、３３ｃ…第１送りハンドル、３１ｄ…第２送りハンドル、３４…ヒンジ部材、３５…サポートプレート、３６…ストレッチ、３７…テーブル、３７ａ…上面、３７ｂ…目盛り、３７ｃ…一側面、Ｓ１…板状試料、Ｒ１…刃物移動経路面、Ｃ１，Ｃ２…直角部
【要約】
【課題】板状試料の断面を仕上げ加工し、観察に適した断面を形成する仕上げ加工用治具及び仕上げ加工用治具のスタンドを提供する。
【解決手段】仕上げ加工用治具１１は、ガイド溝１２に沿ってスライドしながら、作業面１１ａ上に突出した板状試料の突出部分を切削して板状試料の仕上げ加工を行う刃物ユニット１３と、板状試料をクランプ位置に固定するクランプ機構１４と、前記突出部分により作られる切削加工代を設定する加工代設定機構１５とを備える。作業面１１ａには刃物移動経路面Ｒ１が設けられ、刃物ユニット１３は、刃物移動経路面Ｒ１に摺接する刃物１７ａを有する。クランプ機構１４は、固定側口金１９と、固定側口金に向けて移動可能、かつ、スプリング２２の弾性力を得て板状試料を厚み方向に一定の力で押圧可能な可動側口金２０とを有する。刃物移動経路面Ｒ１には、板状試料の固定状態で、両口金の上面１９ｂ，２０ｑが含まれる。
【選択図】図４
【解決手段】仕上げ加工用治具１１は、ガイド溝１２に沿ってスライドしながら、作業面１１ａ上に突出した板状試料の突出部分を切削して板状試料の仕上げ加工を行う刃物ユニット１３と、板状試料をクランプ位置に固定するクランプ機構１４と、前記突出部分により作られる切削加工代を設定する加工代設定機構１５とを備える。作業面１１ａには刃物移動経路面Ｒ１が設けられ、刃物ユニット１３は、刃物移動経路面Ｒ１に摺接する刃物１７ａを有する。クランプ機構１４は、固定側口金１９と、固定側口金に向けて移動可能、かつ、スプリング２２の弾性力を得て板状試料を厚み方向に一定の力で押圧可能な可動側口金２０とを有する。刃物移動経路面Ｒ１には、板状試料の固定状態で、両口金の上面１９ｂ，２０ｑが含まれる。
【選択図】図４
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】