特許 7245721 試験装置、試験方法およびプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-03-15

(45)【発行日】2023-03-24

(54)【発明の名称】試験装置、試験方法およびプログラム

(51)【国際特許分類】

   H01L 33/00 20100101AFI20230316BHJP

   G01R 31/28 20060101ALI20230316BHJP

【ＦＩ】

H01L33/00 K

G01R31/28 K

G01R31/28 Y

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2019103155

(22)【出願日】2019-05-31

(65)【公開番号】P2020197430

(43)【公開日】2020-12-10

【審査請求日】2021-10-13

(73)【特許権者】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 宏太郎

(72)【発明者】

【氏名】宮内 康司

(72)【発明者】

【氏名】歌丸 剛

【審査官】淺見 一喜

(56)【参考文献】

【文献】中国特許出願公開第１０３３６４７０７（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０７５４３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００８／０２１８１８６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】国際公開第２００８／０５９７６７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１８／２３６７６７（ＷＯ，Ａ２）

【文献】特表２０１２－５２７６６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５０－１０３２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２６６２５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７３３８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６２－２８３６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１９－５０７９５３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ３３／００－３３／６４

Ｇ０１Ｒ ３１／２６，３１／２８

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

Ｇ１１Ｃ ２９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試験対象となる複数のＬＥＤのそれぞれの端子に電気的に接続される電気接続部と、
前記複数のＬＥＤに対して一括して光を照射する光源部と、
前記複数のＬＥＤのそれぞれが、前記光源部によって照射された光を光電変換し、前記電気接続部を介して出力する光電信号を測定する測定部と、
前記測定部による測定結果に基づいて、前記複数のＬＥＤのそれぞれの良否を判定する判定部と
を備え、
前記光源部は、色成分が異なる複数種類の光を切り替え可能である、
試験装置。

【請求項2】

前記光源部は、白色光を発する、
請求項１に記載の試験装置。

【請求項3】

前記光源部は、複数種類のカラーフィルタを有し、前記複数種類のカラーフィルタのそれぞれに光を通過させることにより、前記複数種類の光のそれぞれを発する、
請求項１または２に記載の試験装置。

【請求項4】

試験対象となる複数のＬＥＤのそれぞれの端子に電気的に接続される電気接続部と、
前記複数のＬＥＤに対して一括して光を照射する光源部と、
前記複数のＬＥＤのそれぞれが、前記光源部によって照射された光を光電変換し、前記電気接続部を介して出力する光電信号を測定する測定部と、
前記測定部による測定結果に基づいて、前記複数のＬＥＤのそれぞれの良否を判定する判定部と
を備え、
前記光源部は、
光波長の異なる複数の光源を有し、
前記複数の光源を切り替えることにより、または、前記複数の光源を組み合わせることにより、色成分が異なる複数種類の光を発する、試験装置。

【請求項5】

前記電気接続部は、
前記光源部および前記電気接続部の間に前記複数のＬＥＤが位置するように配置され、
基板と、
前記基板から前記複数のＬＥＤのそれぞれに向かって延伸し、前記複数のＬＥＤのそれぞれの前記端子に接触する複数のプローブと、
を有する、
請求項１から４のいずれか一項に記載の試験装置。

【請求項6】

前記電気接続部は、
前記光源部および前記複数のＬＥＤの間に配置され、
前記光源部からの光を前記複数のＬＥＤに向かって通過させる開口を有する基板と、
前記基板から前記開口内に露出する前記複数のＬＥＤのそれぞれに向かって延伸し、前記複数のＬＥＤのそれぞれの前記端子に接触する複数のプローブと、
を有する、
請求項１から４のいずれか一項に記載の試験装置。

【請求項7】

ＬＥＤ群が載置される載置部を更に備え、
前記電気接続部は、前記載置部が前記ＬＥＤ群を載置された状態で移動することによって、前記ＬＥＤ群の中から順次試験対象となる接続先の前記複数のＬＥＤの組を切り替え、
前記測定部は、前記電気接続部が順次接続される前記複数のＬＥＤの組からの光電信号を測定する、
請求項６に記載の試験装置。

【請求項8】

判定部は、前記複数のＬＥＤのうち、測定された前記光電信号が正常範囲外となった少なくとも１つのＬＥＤを不良と判定する、
請求項１から７のいずれか一項に記載の試験装置。

【請求項9】

前記正常範囲として、前記複数のＬＥＤがそれぞれ出力する前記光電信号に応じた統計量を基準とした範囲を用いる、
請求項８に記載の試験装置。

【請求項10】

前記正常範囲として、ＬＥＤ群の中から順次試験対象となる前記複数のＬＥＤの組を変えながら複数回測定した測定結果における、前記複数のＬＥＤの組間で同じ位置に配置されたＬＥＤが出力する前記光電信号に応じた統計量を基準とした範囲を用いる、
請求項８に記載の試験装置。

【請求項11】

前記光源部からの光以外の光を遮蔽する遮蔽部を更に備える、
請求項１から１０のいずれか一項に記載の試験装置。

【請求項12】

試験対象となる複数のＬＥＤのそれぞれの端子に電気接続部を電気的に接続する接続段階と、
前記複数のＬＥＤに対して一括して光を照射する照射段階と、
前記複数のＬＥＤのそれぞれが、照射された光を光電変換し、前記電気接続部を介して出力する光電信号を測定する測定段階と、
前記測定段階の測定結果に基づいて、前記複数のＬＥＤのそれぞれの良否を判定する判定段階と
を備え、
前記照射段階は、色成分が異なる複数種類の光を切り替えて、前記複数のＬＥＤに対して一括して光を照射する、
試験方法。

【請求項13】

試験対象となる複数のＬＥＤのそれぞれの端子に電気接続部を電気的に接続する接続段階と、
前記複数のＬＥＤに対して一括して光を照射する照射段階と、
前記複数のＬＥＤのそれぞれが、照射された光を光電変換し、前記電気接続部を介して出力する光電信号を測定する測定段階と、
前記測定段階の測定結果に基づいて、前記複数のＬＥＤのそれぞれの良否を判定する判定段階と
を備え、
前記照射段階は、
光波長の異なる複数の光源を切り替えることにより、または、前記複数の光源を組み合わせることにより、色成分が異なる複数種類の光を発して、前記複数のＬＥＤに対して一括して光を照射する、
試験方法。

【請求項14】

複数のＬＥＤを試験する試験装置により実行され、前記試験装置に請求項１２または１３に記載の試験方法を実行させるためのプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試験装置、試験方法およびプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

検査対象となる一対のＬＥＤの一方を発光させて他方で受光し、光電効果により出力される電流の電流値を用いてＬＥＤの光学特性を検査する方法が知られている（例えば、特許文献１、２を参照）。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特表２０１９－５０７９５３号公報
［特許文献２］ 特開２０１０－２３０５６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

しかしながら、上記の方法では、各ＬＥＤを順に発光させて検査を行う必要があり、複数のＬＥＤの光学特性を一括して検査することができなかった。

【課題を解決するための手段】

【0004】

本発明の一態様においては、試験装置が提供される。試験装置は、試験対象となる複数のＬＥＤのそれぞれの端子に電気的に接続される電気接続部を備えてもよい。試験装置は、複数のＬＥＤに対して一括して光を照射する光源部を備えてもよい。試験装置は、複数のＬＥＤのそれぞれが、光源部によって照射された光を光電変換し、電気接続部を介して出力する光電信号を測定する測定部を備えてもよい。試験装置は、測定部による測定結果に基づいて、複数のＬＥＤのそれぞれの良否を判定する判定部を備えてもよい。

【0005】

電気接続部は、光源部および複数のＬＥＤの間に配置されてもよい。電気接続部は、光源部からの光を複数のＬＥＤに向かって通過させる開口を有する基板を有してもよい。電気接続部は、基板から開口内に露出する複数のＬＥＤのそれぞれに向かって延伸し、複数のＬＥＤのそれぞれの端子に接触する複数のプローブを有してもよい。

【0006】

試験装置は、ＬＥＤ群が載置される載置部を更に備えてもよい。電気接続部は、載置部がＬＥＤ群を載置された状態で移動することによって、ＬＥＤ群の中から順次試験対象となる接続先の複数のＬＥＤの組を切り替えてもよい。測定部は、電気接続部が順次接続される複数のＬＥＤの組からの光電信号を測定してもよい。

【0007】

判定部は、複数のＬＥＤのうち、測定された光電信号が正常範囲外となった少なくとも１つのＬＥＤを不良と判定してもよい。

【0008】

正常範囲として、複数のＬＥＤがそれぞれ出力する光電信号に応じた統計量を基準とした範囲を用いてもよい。

【0009】

正常範囲として、ＬＥＤ群の中から順次試験対象となる複数のＬＥＤの組を変えながら複数回測定した測定結果における、複数のＬＥＤの組間で同じ位置に配置されたＬＥＤが出力する光電信号に応じた統計量を基準とした範囲を用いてもよい。

【0010】

光源部は、白色光を発してもよい。

【0011】

光源部は、色成分が異なる複数種類の光を切り替え可能であってもよい。

【0012】

光源部は、複数種類のカラーフィルタを有し、複数種類のカラーフィルタのそれぞれに光を通過させることにより、複数種類の光のそれぞれを発してもよい。

【0013】

光源部は、光波長の異なる複数の光源を有してもよい。光源部は、複数の光源を切り替えることにより、色成分が異なる複数種類の光のそれぞれを発してもよい。

【0014】

試験装置は、光源部からの光以外の光を遮蔽する遮蔽部を更に備えてもよい。

【0015】

本発明の一態様においては、試験方法が提供される。試験方法は、試験対象となる複数のＬＥＤのそれぞれの端子に電気接続部を電気的に接続する接続段階を備えてもよい。試験方法は、複数のＬＥＤに対して一括して光を照射する照射段階を備えてもよい。試験方法は、複数のＬＥＤのそれぞれが、照射された光を光電変換し、電気接続部を介して出力する光電信号を測定する測定段階を備えてもよい。試験方法は、測定段階の測定結果に基づいて、複数のＬＥＤのそれぞれの良否を判定する判定段階を備えてもよい。

【0016】

本発明の一態様においては、複数のＬＥＤを試験する試験装置により実行され、試験装置に上記の試験方法を実行させるためのプログラムが提供される。

【0017】

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】複数のＬＥＤ１０を試験する試験装置１００の概略を示す全体図の一例である。

【図2】載置部１５０、載置部１５０上に載置されたＬＥＤ群、および、ＬＥＤ群中の特定の複数のＬＥＤ１０の組に複数のプローブ１１３が接触している状態の電気接続部１１０の、側面図の一例（Ａ）および平面図の一例（Ｂ）である。

【図3】試験装置１００による試験方法のフローを説明するフロー図の一例である。

【図4】複数のＬＥＤ２０を試験する試験装置２００の概略を示す全体図の一例である。

【図5】複数のＬＥＤ３０を試験する試験装置３００の概略を示す全体図の一例である。

【図6】本発明の複数の態様が全体的又は部分的に具現化されうるコンピュータ１２００の例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、図面において、同一または類似の部分には同一の参照番号を付して、重複する説明を省く場合がある。

【0020】

図１は、複数のＬＥＤ１０を試験する試験装置１００の概略を示す全体図の一例である。図１では、紙面に向かって右方向が＋Ｘ方向となるＸ軸と、紙面に向かって上方向が＋Ｚ方向となるＺ軸と、紙面に向かって奥行き方向が＋Ｙ方向となるＹ軸とが、互いに直交するように示されている。以降では、これらの３軸を用いて説明する場合がある。

【0021】

試験装置１００は、ＬＥＤ１０の光電効果を利用し、光を照射したＬＥＤ１０から出力される光電信号に基づいて、複数のＬＥＤ１０の光学特性を一括して試験する。試験装置１００は、電気接続部１１０と、光源部１２０と、測定部１３０と、制御部１４０とを備える。本実施形態における試験装置１００は更に、格納部１４５と、載置部１５０と、遮蔽部１６０とを備えてもよい。

【0022】

本実施形態における試験装置１００は、例えば電気配線が設けられていないベアシリコンウェハであるウェハ１５に複数のＬＥＤ１０が形成されたＬＥＤ群が載置部１５０上に載置された状態で、ＬＥＤ群中の特定の複数のＬＥＤ１０の組の光学特性を一括して試験する。本実施形態におけるＬＥＤ１０は、寸法が１００μｍ以下のマイクロＬＥＤである。なお、ＬＥＤ１０は、マイクロＬＥＤに代えて、寸法が１００μｍよりも大きく２００μｍ以下のミニＬＥＤや、寸法が２００μｍよりも大きいＬＥＤであってもよい。

【0023】

また、本実施形態における複数のＬＥＤ１０は、ウェハ１５上で、互いに電気的に接続されておらず、単色である。なお、複数のＬＥＤ１０は、電気配線が設けられたウェハに、または、略方形の外形を有するガラスベースのパネル（ＰＬＰ）に形成され、互いに電気的に接続されてユニット化またはセル化されていてもよく、この場合、例えばＲＧＢそれぞれの単色ウェハからレーザーリフトオフして転送する技術やＲＧＢいずれかの単色ウェハ上で染色したり蛍光塗料を塗布したりする技術によって、ＲＧＢの各色が混ぜ込まれていてもよい。

【0024】

電気接続部１１０は、例えばプローブカード（プローブ基板）であって、試験対象となる複数のＬＥＤ１０のそれぞれの端子１１に電気的に接続される。本実施形態における電気接続部１１０はまた、載置部１５０がＬＥＤ群を載置された状態で移動することによって、載置部１５０上に載置されたＬＥＤ群の中から順次試験対象となる接続先の複数のＬＥＤの組を切り替える。本実施形態における電気接続部１１０は、光源部１２０および複数のＬＥＤ１０の間に配置され、基板１１１と、複数のプローブ１１３とを有する。

【0025】

基板１１１は、光源部１２０からの光を複数のＬＥＤ１０に向かって通過させる開口１１２を有する。図１では、開口１１２を破線で示す。

【0026】

複数のプローブ１１３は、基板１１１から開口１１２内に露出する複数のＬＥＤ１０のそれぞれに向かって延伸し、当該複数のＬＥＤ１０のそれぞれの端子１１に接触する。各プローブ１１３における、端子１１に接触する一端の反対側の他端は、基板１１１に設けられた電気配線に電気的に接続される。複数のプローブ１１３の複数の電気配線は、基板１１１の側面から延出し、測定部１３０に電気的に接続される。

【0027】

なお、複数のプローブ１１３は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの受光量を互いに等しくすべく、互いに同じ形状および寸法を有し、且つ、接触するＬＥＤ１０との間の距離が互いに等しいことが好ましい。また、複数のプローブ１１３はそれぞれ、プローブ１１３の表面で光が乱反射しないようにメッキをしたり色を塗ったりすることが好ましい。

【0028】

光源部１２０は、複数のＬＥＤ１０に対して一括して光を照射する。本実施形態における光源部１２０は、色成分が異なる複数種類の光を切り替え可能である。本実施形態における光源部１２０は、光源１２１と、レンズユニット１２３と、カラーフィルタ１２５と、フィルタ切替部１２４とを有する。

【0029】

光源１２１は、例えばハロゲンランプであって、ＲＧＢの各波長が均一になるような白色光を発する。レンズユニット１２３は、１又は複数のレンズを含み、光源１２１の照射部に隣接して設けられ、光源１２１から照射される拡散光を平行光１２２にする。図１では、平行光１２２を斜線で示す。当該平行光１２２のＸＹ平面における投影面は、少なくとも基板１１１の開口１１２を覆う。

【0030】

カラーフィルタ１２５は、例えば赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタなどの複数種類のカラーフィルタ１２５の何れかであってもよく、入射してくる白色光に含まれる特定の波長域の光を吸収し、残った光を透過させる。本実施形態において、このような複数種類のカラーフィルタ１２５を有する光源部１２０によれば、複数種類のカラーフィルタ１２５のそれぞれに光を通過させることにより、色成分が異なる複数種類の光のそれぞれを発することができる。

【0031】

フィルタ切替部１２４は、レンズユニット１２３に隣接して設けられ、複数種類のカラーフィルタ１２５を保有し、レンズユニット１２３からの平行光１２２を入射させるカラーフィルタ１２５を切り替える。なお、フィルタ切替部１２４は、レンズユニット１２３からの平行光１２２を何れのカラーフィルタ１２５にも入射させないよう切り替えてもよく、この場合、光源１２１からの白色光がそのまま複数のＬＥＤ１０に照射される。

【0032】

測定部１３０は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれが、光源部１２０によって照射された光を光電変換し、電気接続部１１０を介して出力する光電信号を測定する。本実施形態における測定部１３０は、電気接続部１１０が順次接続される複数のＬＥＤ１０の組からの光電信号を測定する。

【0033】

より具体的には、本実施形態における測定部１３０は、電気接続部１１０の各プローブ１１３に電気的に接続された電気配線に接続されており、載置部１５０上に載置されたＬＥＤ群のうち、複数のプローブ１１３に接触するように切り替えられた複数のＬＥＤ１０の組から出力される電流の電流値を測定する。なお、測定部１３０は、当該電流値に代えて、当該電流値に対応する電圧値を測定してもよい。

【0034】

制御部１４０は、試験装置１００の各構成を制御する。本実施形態における制御部１４０は、光源部１２０の光源１２１およびフィルタ切替部１２４を制御することにより、複数のＬＥＤ１０に一括して照射する平行光１２２の照射時間、波長および強度を制御する。本実施形態における制御部１４０はまた、載置部１５０を制御することにより、載置部１５０上に載置されたＬＥＤ群の中から順次試験対象となる複数のＬＥＤ１０の組を切り替えるように制御する。より具体的には、制御部１４０は、当該組のそれぞれのＬＥＤ１０の端子１１にプローブ１１３が接触するように載置部１５０を駆動する。なお、制御部１４０は、格納部１４５の参照データを参照することにより、複数のプローブ１１３の空間内の位置座標、および、複数のプローブ１１３のそれぞれと載置部１５０上の各ＬＥＤ１０との相対位置を把握してもよい。

【0035】

制御部１４０は更に、測定部１３０による測定結果に基づいて、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの良否を判定する。本実施形態における制御部１４０は、複数のＬＥＤ１０のうち、測定された光電信号が正常範囲外となった少なくとも１つのＬＥＤを不良と判定する。制御部１４０は、格納部１４５を参照することにより、これらの構成をシーケンス制御する。なお、制御部１４０は、判定部の一例として機能する。

【0036】

格納部１４５は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの良否を判定するための参照データ、判定結果、載置部１５０を移動させるための参照データ、試験装置１００における各構成を制御するためのシーケンスやプログラムなどを格納する。格納部１４５は、制御部１４０により参照される。

【0037】

載置部１５０は、略円形の外形を有し、ＬＥＤ群が載置される。載置部１５０は、真空チャック、静電チャック等の保持機能を有し、載置されたＬＥＤ群のウェハ１５を保持する。また、載置部１５０は、制御部１４０によって駆動制御されることで、ＸＹ平面内を二次元的に移動し、且つ、Ｚ軸方向に昇降する。なお、図１では、載置部１５０のＺ軸負方向側の図示を省略する。また、図１では、載置部１５０の移動方向を白抜きの矢印で示す。以降の図においても同様とする。

【0038】

遮蔽部１６０は、光源部１２０からの光以外の光を遮蔽する。本実施形態における遮蔽部１６０は、表面が全て黒塗りされており、表面での光の乱反射を防ぐ。また、図１に示すように、本実施形態における遮蔽部１６０は、光源１２１の外周および基板１１１の外周のそれぞれに密着するように設けられ、当該構成によって、光源部１２０からの光以外の光を遮蔽する。

【0039】

図２は、載置部１５０、載置部１５０上に載置されたＬＥＤ群、および、ＬＥＤ群中の特定の複数のＬＥＤ１０の組に複数のプローブ１１３が接触している状態の電気接続部１１０の、側面図の一例（Ａ）および平面図の一例（Ｂ）である。図２の（Ａ）は、図１に示した載置部１５０、ＬＥＤ群および電気接続部１１０のみを抽出して図示している。図２の（Ｂ）では、載置部１５０上のＬＥＤ群における、基板１１１によって視認できない複数のＬＥＤ１０を破線で示す。

【0040】

図２の（Ｂ）に示すように、各ＬＥＤ１０上には、２つの端子１１がＹ軸方向に互いに離間して形成されている。また、複数のＬＥＤ１０は、載置部１５０上でマトリックス状に配列した状態で載置され、図示の例では、Ｘ軸方向に６列、Ｙ軸方向に６行のマトリックス状に配列している。

【0041】

基板１１１の開口１１２は、Ｙ軸方向に長い長方形の輪郭を有する。図示の例では、一括して光学特性が測定される複数のＬＥＤ１０の組として、Ｘ軸方向に２列且つＹ軸方向に６行の１２個のＬＥＤ１０が開口１１２内で露出している。基板１１１の開口１１２内に位置する複数の端子１１のそれぞれに対して、電気接続部１１０の１つのプローブ１１３が接触するように構成されている。

【0042】

図３は、試験装置１００による試験方法のフローを説明するフロー図の一例である。当該フローは、載置部１５０上にＬＥＤ群が載置された状態で、例えば試験装置１００に対して当該ＬＥＤ群の試験を開始するための入力をユーザが行うことにより開始する。

【0043】

試験装置１００は、試験対象となる複数のＬＥＤ１０のそれぞれの端子１１に電気接続部１１０を電気的に接続する接続段階を実行する（ステップＳ１０１）。具体的な一例として、制御部１４０は、載置部１５０に命令を出力し、載置部１５０上のＬＥＤ群のうち最初に試験対象とする複数のＬＥＤ１０の組が複数のプローブ１１３に接触するように、載置部１５０を移動させる。

【0044】

試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０に対して一括して光を照射する照射段階を実行する（ステップＳ１０３）。具体的な一例として、制御部１４０は、光源部１２０に命令を出力し、白色光である平行光１２２を、開口１１２内で露出する複数のＬＥＤ１０の組に照射させる。制御部１４０は、追加的に、光源部１２０に命令を出力し、光源部１２０のフィルタ切替部１２４に、レンズユニット１２３からの平行光１２２を入射させるカラーフィルタ１２５を切り替えさせ、これにより、色成分が異なる複数種類の光を順に切り替えて複数のＬＥＤ１０の組に照射させてもよい。

【0045】

試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれが、照射された光を光電変換し、電気接続部１１０を介して出力する光電信号を測定する測定段階を実行する（ステップＳ１０５）。具体的な一例として、制御部１４０は、測定部１３０に命令を出し、載置部１５０上に載置されたＬＥＤ群のうち、複数のプローブ１１３に接触するように切り替えられた複数のＬＥＤ１０の組から出力される電流の電流値を測定させ、測定結果を制御部１４０に出力させる。制御部１４０は、当該複数のＬＥＤ１０の組の各測定結果を格納部１４５に格納する。

【0046】

試験装置１００は、載置部１５０上に載置された全てのＬＥＤ１０の測定が終了したか否かを判断し（ステップＳ１０７）、終了していない場合には（ステップＳ１０７：ＮＯ）、試験対象とする複数のＬＥＤ１０の組を切り替える組切替段階を実行して（ステップＳ１０９）、ステップＳ１０１に戻る。具体的な一例として、制御部１４０は、格納部１４５の参照データを参照し、載置部１５０上に載置された全てのＬＥＤ１０の測定結果が格納されているか否かを判断し、格納されていない場合には、載置部１５０に命令を出し、次に試験対象とする複数のＬＥＤ１０の組に切り替えるよう、載置部１５０を移動させる。

【0047】

試験装置１００は、ステップＳ１０７において、載置部１５０上に載置された全てのＬＥＤ１０の測定が終了している場合には（ステップＳ１０７：ＹＥＳ）、上記の測定段階の測定結果に基づいて、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの良否を判定する判定段階を実行し（ステップＳ１１１）、当該フローは終了する。具体的な一例として、制御部１４０は、格納部１４５の参照データを参照し、載置部１５０上に載置された全てのＬＥＤ１０の測定結果が格納されている場合には、当該測定結果に基づいて、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの良否を判定する。

【0048】

本実施形態における制御部１４０は、複数のＬＥＤ１０のうち、測定された光電信号が正常範囲外となった少なくとも１つのＬＥＤ１０を不良と判定する。ここで言う正常範囲の一例として、複数のＬＥＤ１０がそれぞれ出力する光電信号に応じた統計量を基準とした範囲を用いてもよい。より具体的には、正常範囲の一例として、載置部１５０上の複数のＬＥＤ１０のそれぞれから出力された電流の電流値の平均値±１σ以内の範囲、当該平均値±２σ以内の範囲、または当該平均値±３σ以内の範囲を用いてもよい。この場合、制御部１４０は、格納部１４５に格納されている、載置部１５０上の複数のＬＥＤ１０のそれぞれから出力された電流の電流値に基づいて、当該平均値と標準偏差σを算出する。

【0049】

また、上記の正常範囲の他の一例として、ＬＥＤ群の中から順次試験対象となる複数のＬＥＤ１０の組を変えながら複数回測定した測定結果における、複数のＬＥＤ１０の組間で同じ位置に配置されたＬＥＤ１０が出力する光電信号に応じた統計量を基準とした範囲を用いてもよい。より具体的には、正常範囲の一例として、例えば図２に示す載置部１５０上でＸ軸方向に６列、Ｙ軸方向に６行のマトリックス状に配列されたＬＥＤ群のうち、同一行且つ同一列に配置されたＬＥＤ１０を対象ＬＥＤとして、複数の載置部１５０上の複数のＬＥＤ群のそれぞれにおける対象ＬＥＤから出力された電流の電流値の平均値±１σ以内の範囲、当該平均値±２σ以内の範囲、または当該平均値±３σ以内の範囲を用いてもよい。この場合、制御部１４０は、格納部１４５に格納されている、複数の対象ＬＥＤから出力された電流の電流値に基づいて、当該平均値と標準偏差σを算出する。

【0050】

また、上記の正常範囲の他の一例として、ＬＥＤ１０の仕様に基づいて定めたマージンを、ＬＥＤ１０の仕様に基づいて定めた基準値に付加した範囲を用いてもよい。この場合、制御部１４０は、予め格納部１４５に格納されている当該範囲を示す情報を参照してもよい。

【0051】

本実施形態の試験装置１００による試験方法との比較例として、例えばウェハ上に配列された複数のＬＥＤを１つずつ順次点灯させて、イメージセンサ、分光輝度計などで受光し、正しく光っているかを判断する、といったＬＥＤの光学特性の試験方法が考えられる。

【0052】

当該比較例の試験方法を用いて、上記の複数のＬＥＤの光学特性を一括して測定する場合、隣接する複数のＬＥＤのそれぞれから発せられた光同士が干渉してしまい、光学特性が相対的に悪化している不良のＬＥＤを正しく特定することができず、また、広い範囲を高精度に画像認識させるにはイメージセンサ等が非常に高額になってしまう。特に、複数のマイクロＬＥＤの試験を行う場合に、当該問題が顕著となる。

【0053】

これに対して、本実施形態の試験装置１００によれば、試験対象となる複数のＬＥＤ１０のそれぞれの端子１１に電気接続部１１０を電気的に接続し、複数のＬＥＤ１０に対して一括して光を照射し、複数のＬＥＤ１０のそれぞれが、照射された光を光電変換し、電気接続部１１０を介して出力する光電信号を測定する。試験装置１００によれば、更に、複数のＬＥＤ１０の測定結果に基づいて、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの良否を判定する。これにより、試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０の光電信号を同時に測定することで処理時間を短縮することができるだけでなく、他のＬＥＤ１０の光学特性の測定による影響を受けずに測定された光電信号を用いてＬＥＤ１０の良否を判定することで、光学特性が悪化している不良のＬＥＤ１０を正しく特定することができる。また、試験装置１００によれば、同時に測定するＬＥＤ１０の数を容易に拡張することができる。

【0054】

ＬＥＤ１０は、照射される光の波長とＬＥＤ１０が有する色との組み合わせに応じて光電効果に違いが有り、例えば、ＬＥＤ１０が赤色を有する場合、赤以外の波長の光を照射した場合に比べて赤い波長の光を照射した場合に電流量が多くなる、という特性がある。本実施形態の試験装置１００によれば、複数のＬＥＤ１０に一括して照射する光として、色成分が異なる複数種類の光を切り替え可能なので、照射する光の波長を調整することで、各ＬＥＤ１０の発光色の特性を検査でき、より正確且つ詳細に良不良の判定ができる。

【0055】

例えば、本実施形態の試験装置１００によれば、赤色を有するＬＥＤ１０に、白色光を照射して出力される光電信号を測定すると共に、赤い波長の光を照射して出力される光電信号を測定することで、複数のＬＥＤ１０に一括して白色光を照射した結果として得られる統計量から当該ＬＥＤ１０の相対評価ができるだけでなく、赤色を有する複数のＬＥＤ１０に赤い波長の光を照射した結果として得られる統計量から、上記の相対評価とは別に、当該ＬＥＤ１０の赤色としての相対評価が可能となる。

【0056】

また、ＬＥＤ１０が本当は緑色を有するのに赤色を有するとの誤った情報を有している場合に、当該ＬＥＤ１０に白色光を照射して特性を測定するだけでは、当該ＬＥＤ１０が緑色を有することを見抜くことができないが、試験装置１００によれば、上記手法によって、このような情報の誤りを見抜いて正しく判定することができる。

【0057】

また、本実施形態の試験装置１００によれば、複数のＬＥＤ１０の光学特性の測定のために用いた複数のプローブ１１３および基板１１１を、例えばＬＥＤテスタを用いたＶＩテストのような、複数のＬＥＤ１０の電気特性の測定にも共有することができる。また、本実施形態の試験装置１００によれば、光源部１２０および遮蔽部１６０を除く他の構成、すなわち、電気接続部１１０、測定部１３０、制御部１４０、格納部１４５および載置部１５０は、ＬＥＤ群のような光学デバイス以外のデバイスの試験で用いられるものを流用することができる。

【0058】

以上の実施形態において、複数のＬＥＤ１０は発光面側に端子１１を有する構成として説明した。これに代えて、複数のＬＥＤ１０が発光面の反対側に端子１１を有してもよい。複数のプローブ１１３は、複数のＬＥＤ１０の各端子１１が発光面側に位置するか発光面の反対側に位置するかに応じて、異なる長さを有してもよい。

【0059】

以上の実施形態では、ＸＹ平面内において、電気接続部１１０の複数のプローブ１１３の位置座標と、ＬＥＤ群の複数のＬＥＤ１０の位置座標とを一致させるように、ＬＥＤ群が載置された載置部１５０を移動させた後に、載置部１５０を昇降させることによって、複数のＬＥＤ１０の複数の端子１１を複数のプローブ１１３に接触させる構成として説明した。これに代えて、上記のＸＹ平面内の移動の後に、基板１１１を昇降させることによって、複数のＬＥＤ１０の複数の端子１１を複数のプローブ１１３に接触させてもよい。

【0060】

以上の実施形態において、載置部１５０は、略円形の外形を有するものとして説明した。これに代えて、載置部１５０は、例えば電気配線が形成された略方形の外形を有するガラスベースのパネル（ＰＬＰ）に複数のＬＥＤ１０が形成されたＬＥＤ群が載置される場合に、ＬＥＤ群の外形に対応して、略方形の外形を有してもよい。

【0061】

図４は、複数のＬＥＤ２０を試験する試験装置２００の概略を示す全体図の一例である。また、図５は、複数のＬＥＤ３０を試験する試験装置３００の概略を示す全体図の一例である。図４および図５に示す実施形態の説明においては、図１から図３を用いて説明した実施形態と同じ構成については同じ参照番号を使用し、重複する説明を省略する。ただし、図４および図５のそれぞれにおいて、単に説明を明確にする目的で、図１から図３を用いて説明した試験装置１００の測定部１３０、制御部１４０、格納部１４５および載置部１５０の図示を省略する。

【0062】

図１から図３を用いて説明した実施形態において、電気接続部１１０は、光源部１２０および複数のＬＥＤ１０の間に配置され、基板１１１と、基板１１１の開口１１２に設けられた複数のプローブ１１３とを有する構成として説明した。図４および図５に示す実施形態では、これに代えて、電気接続部２１０は、光源部１２０および電気接続部２１０の間に複数のＬＥＤ２０、３０が位置するように配置され、基板２１１と、基板２１１から複数のＬＥＤ２０、３０のそれぞれに向かって延伸し、複数のＬＥＤ２０、３０のそれぞれの端子２１、３１に接触する複数のプローブ２１３と、を有する。

【0063】

図４に示す実施形態において、ＬＥＤ群は、複数のＬＥＤ２０の発光面がウェハ２５に面していない表面発光型であり、複数のＬＥＤ２０の各端子２１はウェハ２５に面しており、ウェハ２５には各端子２１の位置にＺ軸方向に延在する複数のビア２６が形成されている。このような場合に、電気接続部２１０は、ウェハ２５に形成された複数のビア２６を通して、複数のプローブ２１３をウェハ２５のＺ軸負方向側から複数のＬＥＤ２０の各端子２１に接触させてもよい。

【0064】

図５に示す実施形態において、ＬＥＤ群は、複数のＬＥＤ３０の発光面がウェハ３５に面している裏面発光型であり、ウェハ３５は光を透過し、複数のＬＥＤ３０の各端子３１はウェハ３５に面していない。このような場合に、電気接続部２１０は、複数のプローブ２１３をウェハ３５のＺ軸負方向側から複数のＬＥＤ３０の各端子３１に接触させてもよい。

【0065】

図４および図５に示す実施形態の電気接続部２１０において、基板２１１は、図１から図３を用いて説明した実施形態における電気接続部１１０の開口１１２を有さなくてもよく、複数のプローブ２１３は、ＸＹ平面内で延伸しなくてもよい。図４および図５に示す通り、複数のプローブ２１３は、基板２１１と共に剣山の形状を成すように、各ＬＥＤ２０、３０の端子２１、３１に向かってＺ軸方向に延伸してもよい。

【0066】

図４および図５に示す実施形態の試験装置２００、３００によれば、図１から図３を用いて説明した実施形態の試験装置１００と同様の効果を有する。また、試験装置２００、３００は、開口を有さない基板２１１の一面から複数のプローブ２１３が各ＬＥＤ２０、３０の端子２１、３１に向かってＺ軸方向に延伸する構成の電気接続部２１０を備えることにより、図１から図３を用いて説明した実施形態による、基板１１１の開口１１２内に露出したＬＥＤ１０の端子１１に向かって延伸する複数のプローブ１１３を有する電気接続部１１０を用いる場合に比べて、プローブ２１３の数を増やし、同時に測定するＬＥＤ２０、３０の数を増やすことができる。

【0067】

なお、図４および図５に示す実施形態では、ＸＹ平面内において、電気接続部１１０の複数のプローブ１１３の位置座標と、ＬＥＤ群の複数のＬＥＤ１０の位置座標とを一致させるように、ＬＥＤ群が載置された載置部１５０を移動させた後に、各図中で白抜きの矢印で示すように電気接続部２１０の基板２１１を昇降させることによって、複数のＬＥＤ２０、３０の複数の端子２１、３１を複数のプローブ２１３に接触させてもよい。また、図５に示す実施形態では、載置部は、ウェハ３５に形成された複数のＬＥＤ３０を破壊しないように、複数のＬＥＤ３０に接触しない構成であることが好ましい。

【0068】

また、図４および図５に示す実施形態では、図４および図５のそれぞれにおいて図示した構成を、Ｚ軸方向に反転させて、光源部１２０からの平行光１２２をＺ軸負方向から複数のＬＥＤ２０、３０に照射する構成としてもよい。

【0069】

また、図４および図５に示す実施形態では、電気接続部２１０の複数のプローブ２１３による押圧によってウェハ２５、３５が変形することを防止すべく、ウェハ２５、３５と遮蔽部１６０との間には、例えばガラスのように光を透過する支持板が介在してもよく、図４に示す実施形態のように複数のＬＥＤ２０が光源部１２０側に位置する場合には、当該支持板は、ウェハ２５に形成された複数のＬＥＤ２０を破壊しないように、複数のＬＥＤ２０に接触しない構成であることが好ましい。

【0070】

以上の複数の実施形態において、光源部１２０は、白色光を発する光源１２１と、色成分が異なる複数種類のカラーフィルタ１２５と、レンズユニット１２３からの平行光１２２を入射させるカラーフィルタ１２５を切り替えるフィルタ切替部１２４とを有することによって、色成分が異なる複数種類の光を切り替え可能である構成として説明した。これに代えて、光源部１２０は、例えば可視光の全波長、赤い波長、緑の波長、青い波長などの光波長の異なる複数の光源を有し、複数の光源を切り替えることにより、または、複数の光源を組み合わせることにより、例えば白色、赤色、緑色、青色などの色成分が異なる複数種類の光を発してもよい。

【0071】

以上の複数の実施形態において、ＬＥＤ群が、電気配線が形成された略方形の外形を有するガラスベースのパネル（ＰＬＰ）に複数のＬＥＤが形成された構成である場合、電気接続部は、パネルの２つの側面に配された、行方向および列方向の各配線にプローブを接触させる構成であってもよい。

【0072】

本発明の様々な実施形態は、フローチャートおよびブロック図を参照して記載されてよく、ここにおいてブロックは、（１）操作が実行されるプロセスの段階または（２）操作を実行する役割を持つ装置のセクションを表わしてよい。特定の段階およびセクションが、専用回路、コンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプログラマブル回路、および／またはコンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプロセッサによって実装されてよい。専用回路は、デジタルおよび／またはアナログハードウェア回路を含んでよく、集積回路（ＩＣ）および／またはディスクリート回路を含んでよい。プログラマブル回路は、論理ＡＮＤ、論理ＯＲ、論理ＸＯＲ、論理ＮＡＮＤ、論理ＮＯＲ、および他の論理操作、フリップフロップ、レジスタ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブルロジックアレイ（ＰＬＡ）等のようなメモリ要素等を含む、再構成可能なハードウェア回路を含んでよい。

【0073】

コンピュータ可読媒体は、適切なデバイスによって実行される命令を格納可能な任意の有形なデバイスを含んでよく、その結果、そこに格納される命令を有するコンピュータ可読媒体は、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく実行され得る命令を含む、製品を備えることになる。コンピュータ可読媒体の例としては、電子記憶媒体、磁気記憶媒体、光記憶媒体、電磁記憶媒体、半導体記憶媒体等が含まれてよい。コンピュータ可読媒体のより具体的な例としては、フロッピー（登録商標）ディスク、ディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭまたはフラッシュメモリ）、電気的消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、静的ランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、コンパクトディスクリードオンリメモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイ（ＲＴＭ）ディスク、メモリスティック、集積回路カード等が含まれてよい。

【0074】

コンピュータ可読命令は、アセンブラ命令、命令セットアーキテクチャ（ＩＳＡ）命令、マシン命令、マシン依存命令、マイクロコード、ファームウェア命令、状態設定データ、またはＳｍａｌｌｔａｌｋ、ＪＡＶＡ（登録商標）、Ｃ＋＋等のようなオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語または同様のプログラミング言語のような従来の手続型プログラミング言語を含む、１または複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで記述されたソースコードまたはオブジェクトコードのいずれかを含んでよい。

【0075】

コンピュータ可読命令は、汎用コンピュータ、特殊目的のコンピュータ、若しくは他のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサまたはプログラマブル回路に対し、ローカルにまたはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、インターネット等のようなワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を介して提供され、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく、コンピュータ可読命令を実行してよい。プロセッサの例としては、コンピュータプロセッサ、処理ユニット、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ等を含む。

【0076】

図６は、本発明の複数の態様が全体的又は部分的に具現化されうるコンピュータ１２００の例を示す。コンピュータ１２００にインストールされたプログラムは、コンピュータ１２００に、本発明の実施形態に係る装置に関連付けられるオペレーション又は当該装置の１又は複数の「部」として機能させ、又は当該オペレーション又は当該１又は複数の「部」を実行させることができ、及び／又はコンピュータ１２００に、本発明の実施形態に係るプロセス又は当該プロセスの段階を実行させることができる。このようなプログラムは、コンピュータ１２００に、本明細書に記載のフローチャート及びブロック図のブロックのうちのいくつか又はすべてに関連付けられた特定のオペレーションを実行させるべく、ＣＰＵ１２１２によって実行されてよい。

【0077】

本実施形態によるコンピュータ１２００は、ＣＰＵ１２１２、ＲＡＭ１２１４、グラフィックコントローラ１２１６、及びディスプレイデバイス１２１８を含み、これらはホストコントローラ１２１０によって相互に接続される。コンピュータ１２００はまた、通信インターフェース１２２２、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６、及びＩＣカードドライブのような入出力ユニットを含み、これらは入出力コントローラ１２２０を介してホストコントローラ１２１０に接続される。コンピュータはまた、ＲＯＭ１２３０及びキーボード１２４２のようなレガシの入出力ユニットを含み、これらは入出力チップ１２４０を介して入出力コントローラ１２２０に接続される。

【0078】

ＣＰＵ１２１２は、ＲＯＭ１２３０及びＲＡＭ１２１４内に格納されたプログラムに従い動作し、これにより各ユニットを制御する。グラフィックコントローラ１２１６は、ＲＡＭ１２１４内に提供されるフレームバッファ等又は当該グラフィックコントローラ１２１６自体の中に、ＣＰＵ１２１２によって生成されるイメージデータを取得し、イメージデータがディスプレイデバイス１２１８上に表示させる。

【0079】

通信インターフェース１２２２は、ネットワークを介して他の電子デバイスと通信する。ハードディスクドライブ１２２４は、コンピュータ１２００内のＣＰＵ１２１２によって使用されるプログラム及びデータを格納する。ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６は、プログラム又はデータをＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１から読み取り、ハードディスクドライブ１２２４にＲＡＭ１２１４を介してプログラム又はデータを提供する。ＩＣカードドライブは、プログラム及びデータをＩＣカードから読み取り、及び／又はプログラム及びデータをＩＣカードに書き込む。

【0080】

ＲＯＭ１２３０は、内部に、アクティブ化時にコンピュータ１２００によって実行されるブートプログラム等、及び／又はコンピュータ１２００のハードウェアに依存するプログラムを格納する。入出力チップ１２４０はまた、様々な入出力ユニットをパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して、入出力コントローラ１２２０に接続してよい。

【0081】

プログラムが、ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１又はＩＣカードのようなコンピュータ可読記憶媒体によって提供される。プログラムは、コンピュータ可読記憶媒体から読み取られ、コンピュータ可読記憶媒体の例でもあるハードディスクドライブ１２２４、ＲＡＭ１２１４、又はＲＯＭ１２３０にインストールされ、ＣＰＵ１２１２によって実行される。これらのプログラム内に記述される情報処理は、コンピュータ１２００に読み取られ、プログラムと、上記様々なタイプのハードウェアリソースとの間の連携をもたらす。装置又は方法が、コンピュータ１２００の使用に従い情報のオペレーション又は処理を実現することによって構成されてよい。

【0082】

例えば、通信がコンピュータ１２００及び外部デバイス間で実行される場合、ＣＰＵ１２１２は、ＲＡＭ１２１４にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理に基づいて、通信インターフェース１２２２に対し、通信処理を命令してよい。通信インターフェース１２２２は、ＣＰＵ１２１２の制御の下、ＲＡＭ１２１４、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１、又はＩＣカードのような記録媒体内に提供される送信バッファ領域に格納された送信データを読み取り、読み取られた送信データをネットワークに送信し、又はネットワークから受信した受信データを記録媒体上に提供される受信バッファ領域等に書き込む。

【0083】

また、ＣＰＵ１２１２は、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６（ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１）、ＩＣカード等のような外部記録媒体に格納されたファイル又はデータベースの全部又は必要な部分がＲＡＭ１２１４に読み取られるようにし、ＲＡＭ１２１４上のデータに対し様々なタイプの処理を実行してよい。ＣＰＵ１２１２は次に、処理されたデータを外部記録媒体にライトバックしてよい。

【0084】

様々なタイプのプログラム、データ、テーブル、及びデータベースのような、様々なタイプの情報が、情報処理されるべく、記録媒体に格納されてよい。ＣＰＵ１２１２は、ＲＡＭ１２１４から読み取られたデータに対し、本開示の随所に記載され、プログラムの命令シーケンスによって指定される様々なタイプのオペレーション、情報処理、条件判断、条件分岐、無条件分岐、情報の検索／置換等を含む、様々なタイプの処理を実行してよく、結果をＲＡＭ１２１４に対しライトバックする。また、ＣＰＵ１２１２は、記録媒体内のファイル、データベース等における情報を検索してよい。例えば、各々が第２の属性の属性値に関連付けられた第１の属性の属性値を有する複数のエントリが記録媒体内に格納される場合、ＣＰＵ１２１２は、当該複数のエントリの中から、第１の属性の属性値が指定されている条件に一致するエントリを検索し、当該エントリ内に格納された第２の属性の属性値を読み取り、これにより予め定められた条件を満たす第１の属性に関連付けられた第２の属性の属性値を取得してよい。

【0085】

以上の説明によるプログラム又はソフトウェアモジュールは、コンピュータ１２００上又はコンピュータ１２００近傍のコンピュータ可読記憶媒体に格納されてよい。また、専用通信ネットワーク又はインターネットに接続されたサーバシステム内に提供されるハードディスク又はＲＡＭのような記録媒体が、コンピュータ可読記憶媒体として使用可能であり、これにより、プログラムをコンピュータ１２００にネットワークを介して提供する。

【0086】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。また、技術的に矛盾しない範囲において、特定の実施形態について説明した事項を、他の実施形態に適用することができる。また、各構成要素は、名称が同一で、参照符号が異なる他の構成要素と同様の特徴を有してもよい。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【0087】

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

【符号の説明】

【0088】

１０、２０、３０ ＬＥＤ、１１、２１、３１ 端子、１５、２５、３５ ウェハ、１００、２００、３００ 試験装置、１１０、２１０ 電気接続部、１１１、２１１ 基板、１１２ 開口、１１３、２１３ プローブ、１２０ 光源部、１２１ 光源、１２２ 平行光、１２３ レンズユニット、１２４ フィルタ切替部、１２５ カラーフィルタ、１３０ 測定部、１４０ 制御部、１４５ 格納部、１５０ 載置部、１６０ 遮蔽部、１２００ コンピュータ、１２０１ ＤＶＤ－ＲＯＭ、１２１０ ホストコントローラ、１２１２ ＣＰＵ、１２１４ ＲＡＭ、１２１６ グラフィックコントローラ、１２１８ ディスプレイデバイス、１２２０ 入出力コントローラ、１２２２ 通信インターフェース、１２２４ ハードディスクドライブ、１２２６ ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ、１２３０ ＲＯＭ、１２４０ 入出力チップ、１２４２ キーボード

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】