(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-03-20
(45)【発行日】2023-03-29
(54)【発明の名称】ブレード交換装置、切断装置、及び、切断品の製造方法
(51)【国際特許分類】
B26D 7/26 20060101AFI20230322BHJP
B26D 1/14 20060101ALI20230322BHJP
B28D 1/24 20060101ALI20230322BHJP
B23Q 11/08 20060101ALI20230322BHJP
B23Q 3/155 20060101ALI20230322BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20230322BHJP
【ＦＩ】
B26D7/26
B26D1/14 A
B26D1/14 Z
B28D1/24
B23Q11/08 Z
B23Q3/155 K
H01L21/78 F
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2019193762
(22)【出願日】2019-10-24
(65)【公開番号】P2021065981
(43)【公開日】2021-04-30
【審査請求日】2021-10-26
(73)【特許権者】
【識別番号】390002473
【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100115255
【弁理士】
【氏名又は名称】辻丸 光一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100154081
【弁理士】
【氏名又は名称】伊佐治 創
(72)【発明者】
【氏名】宇澤 秀俊
【審査官】永井 友子
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－１０５８２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－２０２５４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０７７６７１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１４８９００（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－２１７４９２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２６Ｄ ７／２６
Ｂ２６Ｄ １／１４
Ｂ２８Ｄ １／２４
Ｂ２３Ｑ １１／０８
Ｂ２３Ｑ ３／１５５
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ブレード交換機構と、防水カバーとを有し、前記ブレード交換機構は、ブレードを吸着する吸着ユニットを含み、かつ、前記防水カバー内に出し入れ可能であり、
前記防水カバーが、前記ブレード交換機構の少なくとも一部を覆うカバー本体と、前記カバー本体内への前記ブレード交換機構の出し入れの際に開閉する開閉扉とを含み、
前記ブレード交換機構は、前記吸着ユニットが前記開閉扉と反対方向に向くように前記防水カバー内に収容され、その状態で前記開閉扉を閉めることが可能であることを特徴とするブレード交換装置。
【請求項2】
さらに、前記カバー本体内に気体を供給する気体供給部を含む請求項１記載のブレード交換装置。
【請求項3】
さらに、前記カバー本体内の気体を排気する排気口を有する請求項１又は２に記載のブレード交換装置。
【請求項4】
前記防水カバーの側面及び底面の少なくとも一方において、ブレードにより切断される切断対象物と対向する側の少なくとも一部が、下方に向かって前記切断対象物と反対側に傾斜している請求項１から３のいずれか一項に記載のブレード交換装置。
【請求項5】
前記防水カバーが、前記ブレード交換機構とともに移動可能な移動部を含む請求項１から４のいずれか一項に記載のブレード交換装置。
【請求項6】
前記ブレード交換機構が、前記移動部を移動させる移動機構を含む、請求項５記載のブレード交換装置。
【請求項7】
さらに、交換用ブレードを収納可能な収納部を含む請求項１から６のいずれか一項に記載のブレード交換装置。
【請求項8】
請求項１から７のいずれか一項に記載のブレード交換装置と、スピンドル部とを含み、前記スピンドル部は、切断対象物を切断するブレードを回転させ、
前記ブレードを前記ブレード交換装置によって交換可能であることを特徴とする切断装置。
【請求項9】
切断対象物を切断して製造される切断品の製造方法であって、請求項８記載の切断装置により前記切断対象物を切断する工程を含むことを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ブレード交換装置、切断装置、及び、切断品の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
切断対象物を切断するための切断装置において、切断対象物を切断するブレード（刃）を交換するためのブレード交換機構が設けられることがある。例えば、特許文献１には、ブレード２２を吸着するように構成される第１吸着部４と、前記第１吸着部の内側に位置し、前記第１吸着部による吸着とは独立してフランジまたはハブを吸着するように構成される第２吸着部５と、前記第２吸着部の内側に位置し、前記ブレード２２をスピンドル２１に脱着可能とする脱着部材２４を回転可能に構成される脱着部材回転部６とを備えるブレード交換機構が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１９－００５８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
切断装置においては、特許文献１にも記載されているように、高速で回転するブレードによって発生する摩擦熱を抑えるために、切断対象物及びブレードに水（切削水、又は、冷却水ともいう場合がある。）をかけながら切断が行われる場合がある。また、切断屑などを洗浄するための洗浄水を噴射する場合がある。このとき、切削水又は洗浄水等の水から、水滴、ミスト（微細な水滴）等が発生することがある。そして、ブレード交換機構に水、水滴、ミスト等が付着すると、ブレード交換機構の動作不良等が起こるおそれがある。
【0005】
そこで、本発明は、ブレード交換機構への水、水滴、ミスト等の付着を抑制又は防止可能なブレード交換装置、切断装置、及び、切断品の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
この目的を達成するために、本発明のブレード交換装置は、ブレード交換機構と、防水カバーとを有し、前記防水カバーが、前記ブレード交換機構の少なくとも一部を覆うカバー本体を含むことを特徴とする。
【0007】
本発明の切断装置は、
本発明のブレード交換装置と、スピンドル部とを含み、
前記スピンドル部は、切断対象物を切断するブレードを回転させ、
前記ブレードを前記ブレード交換装置によって交換可能であることを特徴とする。
本発明のブレード交換装置と、スピンドル部とを含み、
前記スピンドル部は、切断対象物を切断するブレードを回転させ、
前記ブレードを前記ブレード交換装置によって交換可能であることを特徴とする。
【0008】
本発明の切断品の製造方法は、
切断対象物を切断して製造される切断品の製造方法であって、
本発明の切断装置により前記切断対象物を切断する工程を含むことを特徴とする。
切断対象物を切断して製造される切断品の製造方法であって、
本発明の切断装置により前記切断対象物を切断する工程を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、ブレード交換機構への水、水滴、ミスト等の付着を抑制又は防止可能なブレード交換装置、切断装置、及び、切断品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
つぎに、本発明について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の説明により限定されない。
【0012】
本発明のブレード交換装置における前記防水カバー（以下「本発明の防水カバー」ということがある。）は、例えば、さらに、開閉扉を含んでいてもよい。
【0013】
本発明のブレード交換装置は、例えば、さらに、前記カバー本体内に気体を供給する気体供給部を含んでいてもよい。
【0014】
本発明のブレード交換装置は、例えば、さらに、前記カバー本体内の気体を排気する排気口を有していてもよい。
【0015】
本発明の防水カバーは、例えば、その側面及び底面の少なくとも一方において、ブレードによる切断対象物と対向する側の少なくとも一部が、下方に向かって前記切断対象物と反対側に傾斜していてもよい。
【0016】
本発明の防水カバーは、例えば、前記ブレード交換機構とともに移動可能な移動部を含んでいてもよい。この場合において、本発明の防水カバーは、例えば、前記移動部に加え、移動しない固定部を含んでいてもよいし、含んでいなくてもよい。例えば、本発明の防水カバーの一部が前記移動部で、一部が前記固定部であってもよいし、本発明の防水カバーの全体が、前記移動部であってもよい。
【0017】
本発明のブレード交換装置は、例えば、
前記防水カバーが、前記移動部を含む防水カバーであり、
前記ブレード交換機構が、前記移動部を移動させる移動機構を含んでいてもよい。
前記防水カバーが、前記移動部を含む防水カバーであり、
前記ブレード交換機構が、前記移動部を移動させる移動機構を含んでいてもよい。
【0018】
本発明のブレード交換装置は、例えば、さらに、交換用ブレードを収納可能な収納部を含んでいてもよい。
【0019】
本発明の切断装置は、例えば、さらに、ブレードを含んでいてもよい。
【0020】
本発明の切断品の製造方法は、例えば、さらに、前記切断対象物を切断するブレードを交換する工程を含んでいてもよい。
【0021】
本発明のブレード交換装置において用いる前記ブレード交換機構（以下「本発明のブレード交換機構」という場合がある。）は、例えば、ブレードを吸着するように構成される第１吸着部と、前記第１吸着部の内側に位置し、前記第１吸着部による吸着とは独立してフランジまたはハブを吸着するように構成される第２吸着部と、前記第２吸着部の内側に位置し、前記ブレードをスピンドル部に脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部と、を備える、ブレード交換機構であってもよい。
【0022】
本発明のブレード交換機構において、例えば、前記脱着部材は、ナットであってもよい。
【0023】
本発明のブレード交換機構は、例えば、アーム部をさらに備え、前記アーム部は、前記第１吸着部と前記第２吸着部と前記脱着部材回転部とを含む吸着ユニットに取り付けられている、という形態であってもよい。
【0024】
本発明のブレード交換機構は、例えば、交換用ブレードを収納可能な収納部をさらに備えていてもよい。
【0025】
本発明のブレード交換機構は、例えば、移動機構をさらに備え、前記移動機構は、前記ブレードを脱着可能な第１動作位置と、前記交換用ブレードを前記収納部から取り出し可能な第２動作位置との間で前記吸着ユニットを移動可能に構成されていてもよい。
【0026】
本発明のブレード交換機構において、例えば、前記移動機構は、前記吸着ユニットを第１方向に移動可能に構成される第１スライド機構と、前記吸着ユニットを前記第１方向と交差する第２方向に移動可能に構成される第２スライド機構と、前記吸着ユニットを回転可能に構成される回転機構と、を備えていてもよい。
【0027】
本発明のブレード交換機構において、例えば、前記回転機構は、前記吸着ユニットを第１仮想面において回転可能に構成される第１回転機構と、前記吸着ユニットを前記第１仮想面とは異なる第２仮想面において回転可能に構成される第２回転機構と、を備えていてもよい。
【0028】
本発明のブレード交換機構は、例えば、前記ブレードの摩耗および破損の少なくとも一方が検出可能に構成される検出部をさらに備えていてもよい。
【0029】
本発明の切断装置は、例えば、本発明のブレード交換機構と、前記スピンドル部とを備える、切断装置であってもよい。また、本発明の切断装置は、例えば、さらに、前記ブレードを備えていてもよい。
【0030】
本発明の切断装置において、ブレードを交換する方法（以下「本発明のブレード交換方法」ということがある。）は、例えば、ブレードを吸着するように構成される第１吸着部と、前記第１吸着部の内側に位置して前記第１吸着部による吸着とは独立してフランジまたはハブを吸着するように構成される第２吸着部と、前記第２吸着部の内側に位置して前記ブレードをスピンドル部に脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部とを備えるブレード交換機構を用いるブレード交換方法であって、前記ブレードを前記第１吸着部により吸着するとともに前記第１吸着部による吸着とは独立して前記第２吸着部により前記フランジまたは前記ハブを吸着した状態で前記脱着部材回転部により前記脱着部材を回転させて前記脱着部材を前記スピンドル部から取り外す工程と、前記第１吸着部と前記第２吸着部と前記脱着部材回転部とを含む吸着ユニットを収納部に移動させる工程と、前記第１吸着部による吸着を解除して前記ブレードを前記収納部に収納する工程と、前記収納部に収納されている交換用ブレードを前記第１吸着部により吸着する工程と、前記吸着ユニットを移動させて前記交換用ブレードを前記スピンドル部に嵌め込む工程と、前記脱着部材回転部により前記脱着部材を回転させて前記交換用ブレードを前記スピンドル部に固定する工程と、を備える、ブレード交換方法であってもよい。
【0031】
本発明のブレード交換方法は、例えば、前記ブレードの摩耗および破損の少なくとも一方を検出する工程をさらに備えていてもよい。
【0032】
本発明において、切断対象物は、特に限定されないが、例えば、樹脂成形品、電子部品等の基板であってもよい。前記基板（インターポーザともいう。）としては、特に限定されないが、例えば、リードフレーム、プリント配線基板、シリコンウェハー等の半導体基板、ガラスエポキシ製基板、セラミック製基板、樹脂製基板、金属製基板等であっても良い。前記基板は、例えば、その一方の面又は両面にチップが実装された実装基板であっても良い。前記チップの実装方法は、特に限定されないが、例えば、ワイヤーボンディング、フリップチップボンディング等が挙げられる。本発明では、例えば、前記実装基板を樹脂封止することにより、前記チップが樹脂封止された電子部品を製造しても良い。また、前記基板の用途は、特に限定されないが、例えば、携帯通信端末用の高周波モジュール基板、電力制御用モジュール基板、機器制御用基板等が挙げられる。
【0033】
以下、本発明の具体的な実施例を図面に基づいて説明する。各図は、説明の便宜のため、適宜省略、誇張等をして模式的に描いている。
【実施例1】
【0034】
本実施例では、本発明の防水カバーの一例と、それを用いたブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法の一例について説明する。
【0035】
図１～４に、本発明の防水カバーの一例を示す。図１（ａ）～（ｅ）は、この防水カバーを各方向から見た図である。図１（ａ）は上面図である。図１（ｂ）は正面図である。図１（ｃ）は底面図である。図１（ｄ）は左側面図である。図１（ｄ２）は、図１（ｄ）において防水カバー本体の一部を取り外した状態の図である。図１（ｅ）は右側面図である。図２は、図１と同じ防水カバーの斜視図である。図３は、図１（ｂ）と同様に、図１の防水カバーの正面図である。図４において、図４（ｄ）及び図４（ｄ２）は、それぞれ、図１（ｄ）及び図１（ｄ２）と同様に、図１の防水カバーの左側面図である。図示のとおり、この防水カバー１０００は、ブレードホルダ１００１、カバー本体１００２、カバー本体１００２の開閉扉１００３、排気筒１００４、上部上板１００５、下部上板１００６、底板１００２Ｂ及び気体供給部１００７を含む。カバー本体１００２は、後述するように、その内部にブレード交換機構の一部又は全部を収容して覆うことができる。開閉扉１００３は、カバー本体１００２の一側面に取り付けられ、開閉可能である。例えば、カバー本体１００２内へのブレード交換機構の出し入れ等の際に、開閉扉１００３を開閉することができる。開閉扉１００３は、例えば、開閉機構（図示せず）により開閉可能である。前記開閉機構としては、特に限定されないが、例えば、エアシリンダ等が挙げられる。下部上板１００６は、カバー本体１００２の上端に取り付けられ、上部上板１００５は、下部上板１００６の上面に取り付けられている。上部上板１００５及び下部上板１００６は、それぞれ、カバー本体１００２の開閉扉１００３側に突出している。気体供給部１００７は、カバー本体１００２内に設けられ、カバー本体１００２内に気体（例えば空気）を供給することができる。排気筒１００４は、上部上板１００５の上方に突出するように設けられている。排気筒１００４は、上部上板１００５の孔部（図示せず）を介してカバー本体１００２内部と連通している。排気筒１００４は、その上端に、カバー本体１００２内の気体を排気する排気口を有する。ブレードホルダ１００１は、下部上板１００６の、カバー本体１００２から突出した端部の下面において、下方に突出するように取り付けられている。ブレードホルダ１００１の下端には、後述するように、ブレードマガジン（ブレードの収納部）を取り付け可能である。なお、本実施例では、防水カバー１０００にブレードホルダ１００１が取り付けられているが、本発明はこれに限定されない。例えば、ブレードホルダが防水カバーに取り付けられておらず、防水カバーと別部材であってもよい。また、開閉扉１００３及び排気筒１００４は、それぞれ、あっても無くてもよいが、ある方が利便性の観点から好ましい。上部上板１００５及び下部上板１００６は、あっても無くてもよい。また、排気筒１００４、上部上板１００５及び下部上板１００６は、それぞれ、図１のように防水カバー１０００の一部を構成していてもよいし。防水カバーと別部材であってもよい。例えば、防水カバー１０００が、カバー本体１００２のみからなっていてもよいし、カバー本体１００２及び開閉扉１００３のみからなっていてもよい。
【0036】
切断対象物の切断時は、後述するようにブレード交換機構をカバー本体１００２内に収納し、開閉扉１００３を閉めた状態で、気体供給部１００７によりカバー内に気体を供給可能である。そして、排気筒１００４の排気口から、気体と共に水滴やミスト等を外部に排出可能である。
【0037】
また、図４に示すとおり、防水カバー１０００のカバー本体１００２における底面（底板１００２Ｂの下面）の同図左側には、斜面１００２ａが設けられている。また、カバー本体１００２において、図４左側の側面の一部には、図示のとおり、斜面１００２ｂが設けられている。斜面１００２ａ及び斜面１００２ｂは、いずれも、下方に向かって図右側に傾斜している。図４において、同図左側に切断対象物が配置され、ブレードにより切断されることになる。そして、斜面１００２ａ及び斜面１００２ｂは、いずれも、下方に向かって図右側、すなわち前記切断対象物と反対側に傾斜している。この傾斜について言い換えれば、側面視でカバー本体１００２の幅が下方に向かって狭くなるように傾斜していると表現することもできる。ブレードにより切断対象物が切断されて出来た製品にならない部分である端材等が防水カバーに衝突して跳ね返ると、跳ね返った前記端材等が、製造目的とする切断品に衝突し、傷等の不良が生じるおそれがある。これに対し、斜面１００２ａ又は斜面１００２ｂのように、下方に向かって前記切断対象物と反対側に傾斜している斜面を設けることで、前記端材等が真っ直ぐ跳ね返って切断品に衝突する現象を抑制又は防止できる。これにより、前述した傷等の不良の問題を抑制又は防止できる。
【0038】
さらに、図５に示すとおり、カバー本体１００２底面の底板１００２Ｂには、水抜き用の穴１００２Ｂａが設けられており、水がカバー本体１００２内部に流入しても排出できる構成となっている。なお、図５左側の図は、底板１００２Ｂの斜視図であり、その図中の領域αは、水抜き用の穴１００２Ｂａが設けられた領域である。図５右側の図は、左側の図の領域αの拡大図である。
【0039】
図６の側面図に、ブレード交換機構の一例を示す。図示のとおり、このブレード交換機構は、吸着ユニット２とアーム部３と、収納部５１とを有し、さらに、第１スライド機構４１と、第２スライド機構４２とを備える移動機構４０を備えている。第１スライド機構４１は、例えば、後述する実施例２で示すように、吸着ユニット２をＹ方向へのスライドによる移動を可能にしている。吸着ユニット２のＹ方向への移動は、たとえば、吸着ユニット２の第１動作位置への移動および第２動作位置への移動などに利用することができる。収納部５１は、ブレードマガジンを備えており、切断対象物を切断するブレードを収納可能である。また、第１スライド機構４１の上面の一端には、第１スライド機構取付部２０１が設けられ、他端には、第１スライド機構取付部２０２が設けられている。第１スライド機構取付部２０１及び２０２は、それぞれ円筒形状である。第１スライド機構取付け部２０１及び２０２の上部には、上部上板１００５が取り付けられる。防水カバー１０００は、第１スライド機構４１に取り付けられる。また、このブレード交換機構は、移動機構（図示せず）を含み、その移動機構により、ブレード交換機構を防水カバーとともに移動させることができる。なお、ブレード交換機構の構成及び動作等について、より詳しくは、後述する実施例２で説明する。
【0040】
図７の側面図に、本実施例のブレード交換装置を示す。図示のとおり、このブレード交換装置は、図６のブレード交換機構に図１～４の防水カバー１０００が装着された装置である。図示のとおり、第１スライド機構取付部２０１及び２０２により、第１スライド機構４１が防水カバー１０００の上部上板１００５に取付けられ、第１スライド機構４１に防水カバー１０００が取り付けられることで、ブレード交換機構に防水カバー１０００が装着されている。ブレード交換機構の吸着ユニット２及びアーム部３は、カバー本体１００２により覆われている。図７は、開閉扉１００３を開けた状態であるが、使用時（切断対象物の切断時）には、開閉扉１００３を閉めることができる。これにより、吸着ユニット２及びアーム部３への切削水、水滴、ミスト等の付着を抑制又は防止可能である。また、図６に示すように、切断対象物の切断時は、ブレード交換機構の吸着ユニット２が開閉扉１００３とは反対方向に向くように防水カバー１００１に収納される。このように収納することで、ブレードを吸着する部分である吸着ユニット２に切削水、水滴、ミスト等が付着するのを低減することができる。吸着ユニット２及びアーム部３への切削水、水滴、ミスト等の付着を低減することで、ブレード交換機構の動作不良等が起こるのを低減することができる。ブレードホルダ１００１には、収納部５１が取り付けられている。また、前述のとおり、ブレード交換機構の移動機構（図示せず）により、ブレード交換機構を防水カバー１０００とともに移動させることができる。同図の防水カバー１０００は、全体が、移動可能な「移動部」であるが、前述のとおり、本発明の防水カバーは、これに限定されない。例えば、前述のとおり、本発明の防水カバーの一部が移動可能な移動部で、一部が移動しない固定部であってもよい。
【実施例2】
【0041】
本実施例では、本発明のブレード交換機構、ブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法の別の一例について説明する。なお、本実施例では、特に、ブレード交換機構について、実施例１よりも具体的かつ詳細に説明する。本実施例では、説明の簡略化のために、防水カバーと、ブレード交換機構の第１スライド機構取付部とについては、図示及び説明を省略している。しかし、実際には、防水カバーを用い、ブレード交換機構の少なくとも一部を覆うようにする。本実施例で用いる防水カバーは、特に限定されないが、例えば、実施例１で説明した防水カバー１０００と同様でもよい。また、本実施例で用いるブレード交換装置は、防水カバーと、ブレード交換機構とを含む。本実施例で用いるブレード交換装置の構成は、特に限定されないが、例えば、実施例１の図７と同様に、ブレード交換機構の一部を防水カバー１０００で覆った構成でもよい。
【0042】
図８に、本実施例の切断装置の模式的な平面図を示す。本実施例の切断装置は、本発明の切断装置の一例である。図８に示されるように、本実施例の切断装置は、切断対象物を切断することによって複数の製品に個片化する装置である。本実施例の切断装置１１１は、基板供給モジュールＡと基板切断モジュールＢと検査モジュールＣとを、それぞれ構成要素として備えている。各構成要素（各モジュールＡ～Ｃ）は、それぞれ他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
【0043】
基板供給モジュールＡは、たとえば、切断対象物の一例に相当する封止済基板１１２を供給するように構成されている基板供給機構１１３と、切断装置１１１の動作や制御などを行なうように構成されている制御部ＣＴＬとを備えている。封止済基板１１２は、たとえば、プリント配線基板やリードフレームなどからなる基板（図示せず）と、基板が有する複数の領域に装着された複数の機能素子（半導体素子などのチップ）（図示せず）と、複数の領域が一括して覆われるようにして形成された封止樹脂（図示せず）とを備えている。より具体的には、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ ｇｒｉｄ ａｒｒａｙ）パッケージ基板、ＬＧＡ（Ｌａｎｄ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）パッケージ基板、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ ｓｉｚｅ ｐａｃｋａｇｅ）パッケージ基板、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ）パッケージ基板等が挙げられる。封止済基板１１２は、最終的に切断されて個片化される切断対象物である。封止済基板１１２は、たとえば搬送機構（図示せず）などによって基板切断モジュールＢに搬送され得る。
【0044】
基板切断モジュールＢは、たとえば、封止済基板１１２を設置するように構成されている切断用テーブル１１４と、切断用テーブル１１４をＹ方向に移動させるように構成されている移動機構１１５と、切断用テーブル１１４をθ方向に回転させるように構成されている回転機構１１６と、後述するスピンドル部２１と、後述する本実施例のブレード交換機構１２０とを備えることができる。切断用テーブル１１４はたとえば切断用治具（図示せず）を備えていてもよく、切断用テーブル１１４が切断用治具を備える場合には切断用治具の上に封止済基板１１２が設置され得る。
【0045】
図８において、本実施例の切断装置１１１は、説明の便宜の観点から、１個のスピンドル部２１を有するシングルスピンドル構成の切断装置として示されている。しかしながら、本実施例の切断装置１１１はシングルスピンドル構成の切断装置には限定されず、たとえば後述するようにスピンドル部を２個有するツインスピンドル構成の切断装置としてもよいことは言うまでもない。
【0046】
スピンドル部２１は、たとえば、独立してＸ方向とＺ方向とに移動可能であるように構成されることができる。スピンドル部２１の回転軸の先端部には、たとえば円板状のブレード２２が取り付けられ得る。ブレード２２は、たとえば、回転軸の軸方向（Ｘ方向）に対して直交する面（Ｙ軸とＺ軸とを含む面）に平行に固定されることができる。また、スピンドル部２１は、たとえば、高速で回転するブレード２２によって発生する摩擦熱を抑えるために、切削水を噴射する切削水用ノズル（図示せず）を備えていてもよい。また、スピンドル部２１に対して切断用テーブル１１４を相対的に移動させながら封止済基板１１２を切断することができる。ブレード２２は、たとえば、Ｙ軸とＺ軸とを含む面内において回転することによって封止済基板１１２を切断するように構成することができる。
【0047】
検査モジュールＣは、たとえば、検査用テーブル１１０と、トレイ１２２とを備えることができる。検査用テーブル１１０は、たとえば、封止済基板１１２を切断して個片化された複数の製品Ｐからなる集合体である切断済基板１２１を設置可能なように構成することができる。複数の製品Ｐは、たとえば、検査用のカメラ（図示せず）によって検査されて、良品と不良品とに選別されることができる。トレイ１２２は、たとえば、良品に選別された製品Ｐを収容可能なように構成することができる。
【0048】
図９に、本実施例のブレード交換機構に用いられる吸着アームの一例の模式的な斜視図を示す。吸着アーム１は、吸着ユニット２と、吸着ユニット２に取り付けられたアーム部３とを備えている。吸着ユニット２は、アーム部３の一端に取り付けられている。
【0049】
図１０に、図９に示す吸着アーム１を別の角度から見たときの模式的な斜視図を示す。吸着ユニット２は、円筒状の第１吸着部４と、円筒状の第２吸着部５と、環状の脱着部材回転部６とを備えている。図９において、脱着部材回転部６、第２吸着部５および第１吸着部４は、吸着ユニット２の吸着側（遠位側）から吸着ユニット２のアーム部３側（近位側）にかけて、第１吸着部４、第２吸着部５および脱着部材回転部６の順にそれぞれの遠位側の表面が見えるように示されている。なお、吸着ユニット２の説明において、近位側はアーム部３側を意味し、遠位側は吸着ユニット２の吸着側を意味する。
【0050】
図１１に、図９および図１０に示される吸着ユニット２の模式的な平面図を示す。第１吸着部４の内側に第２吸着部５が位置しており、第２吸着部５の内側に脱着部材回転部６が位置している。第１吸着部４は、後述のブレードを吸着するように構成されている複数の第１吸着口４ｘと、複数の第１吸着口４ｘに通じる環状の第１吸着溝４ｙとを備えている。第２吸着部５は、後述のフランジまたはハブを吸着するように構成されている複数の第２吸着口５ｘと、複数の第２吸着口５ｘに通じる環状の第２吸着溝５ｙとを備えている。脱着部材回転部６は、互いに間隔を空けて環状に配置された複数の突出部６ａを備えている。脱着部材回転部６は回転可能に構成されており、たとえば図１１の矢印の方向に回転可能であるが、脱着部材回転部６の回転方向は特に限定されないことは言うまでもない。
【0051】
図１２に、図９～図１１に示される吸着ユニット２の模式的な断面図を示す。第１吸着部４は中空であり、第１吸着部４の中空の内側に中空の第２吸着部５が位置している。第１吸着部４の中空を取り囲む外壁には、第１吸着口４ｘを介して第１吸着溝４ｙに通じて、後述のブレードを吸引するように構成されているガス流路１４が設けられている。ガス流路１４は、第１吸着口４ｘに通じるガス流路４ｚに接続されている。第１吸着部４は、第１吸着部４の近位側の外壁の一部から内側に突出する突出部４ａを備えている。突出部４ａは、突出部４ａの近位側に、突出部近位面４ｂを備えている。第１吸着部４は、第１吸着部４の遠位側の表面として、第１吸着部遠位面４ｃを備えている。
【0052】
第２吸着部５の中空を取り囲む外壁には、第２吸着口５ｘを介して第２吸着溝５ｙに通じて、フランジまたはハブを吸着するように構成されているガス流路１３が設けられている。ガス流路１３の一端には、ガス流路１３中のガスを吸引するように構成されているガス吸引口１２が取り付けられている。ガス流路１３の他端には、第２吸着口５ｘに通じるガス流路５ｚが接続されている。第２吸着部５は、第２吸着部５の近位側の端部に、内側に張り出した鉤状部５ａを備えている。鉤状部５ａは、遠位側の表面として鉤状部遠位面５ｂを備えるとともに、近位側の表面として鉤状部近位面５ｃを備えている。第２吸着部５は、第２吸着部５の遠位側の表面として、第２吸着部遠位面５ｄを備えている。
【0053】
第２吸着部５も中空であり、第２吸着部５の中空の内側に脱着部材回転部６が位置している。脱着部材回転部６の突出部６ａは、脱着部材回転部６が遠位側に向かって部分的に突出した部材となっている。脱着部材回転部６の近位側には、回転可能な回転駆動部材９が取り付けられている。回転駆動部材９が軸１０を中心として回転することにより、脱着部材回転部６も回転することが可能となる。脱着部材回転部６の遠位側の一部は回転駆動部材９よりも外側に張り出している。脱着部材回転部６の外側に張り出した部分は、近位側の表面として回転部近位面６ｂを備えている。回転駆動部材９の近位側も部分的に外側に張り出している。回転駆動部材９の外側に張り出した部分は、遠位側の表面として近位側張出部遠位面９ａを備えている。
【0054】
脱着部材回転部６、回転駆動部材９および軸１０の周りを取り囲むように筒状のスリーブ１５が位置している。スリーブ１５は、脱着部材回転部６を収容できるように構成されている収容部１５ａと、収容部１５ａを支持するように構成されている支持部１５ｂとを備えている。収容部１５ａは支持部１５ｂよりも外側に張り出している。収容部１５ａは、近位側の表面として、収容部近位面１５ｃを備えている。収容部近位面１５ｃは、鉤状部遠位面５ｂと向かい合っている。支持部１５ｂは、遠位側の表面として、支持部遠位面１５ｄを備えている。
【0055】
スリーブ１５の近位側には、吸着ユニット２とアーム部３とを連結可能なように構成されている連結部１１が取り付けられている。連結部１１は、連結部１１の遠位側の突出部１１ａがスリーブ１５の近位側の中空に嵌め込まれることによって、スリーブ１５に取り付けられている。連結部１１は、鉤状部近位面５ｃと向かい合う連結部内側近位面１１ｂと、突出部近位面４ｂに向かい合う連結部外側近位面１１ｃとを備えている。連結部外側近位面１１ｃは、連結部内側近位面１１ｂよりも近位かつ外側に位置している。
【0056】
回転部近位面６ｂと近位側張出部遠位面９ａとの間で回転駆動部材９の周囲を取り囲むように第１バネ１６が位置している。第１バネ１６は、回転部近位面６ｂと近位側張出部遠位面９ａとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。
【0057】
鉤状部近位面５ｃと連結部内側近位面１１ｂとの間で支持部１５ｂの周囲を取り囲むように第２バネ８が位置している。第２バネ８は、鉤状部近位面５ｃと連結部内側近位面１１ｂとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。
【0058】
突出部近位面４ｂと連結部外側近位面１１ｃとの間で第２バネ８の周囲を取り囲むように第３バネ７が位置している。第３バネ７は、突出部近位面４ｂと連結部外側近位面１１ｃとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。
【0059】
以下、上述の吸着アームを備えた本実施例のブレード交換機構を用いた本実施例のブレード交換方法について説明する。本実施例では、ブレード２２がハブを有しないハブレスブレードである場合について説明するが、本実施例はハブレスブレードに限定されるものではなく、ブレード２２がハブを有するハブ付きブレードにも適用できることは言うまでもない。
【0060】
まず、図１３の模式的断面図に示すように、吸着ユニット２を使用済みのブレード２２に近づける。ここで、交換の対象となる使用済みのブレード２２は、スピンドル部２１の近位側フランジ２０と遠位側フランジ２３との間に挟み込まれている。そして、たとえばナットなどの脱着部材２４によって遠位側フランジ２３が近位側フランジ２０に締め付けられ、これによりブレード２２は、スピンドル部２１の近位側フランジ２０と遠位側フランジ２３との間で固定されている。なお、近位側フランジ２０の近位側とはスピンドル部２１に対する近位側を意味し、遠位側フランジ２３の遠位側とはスピンドル部２１に対する遠位側を意味する。
【0061】
次に、図１４の模式的断面図に示すように、第１吸着部４の第１吸着部遠位面４ｃがブレード２２の近位側（アーム部３側）の表面に接触するまで、吸着ユニット２をさらに遠位側（スピンドル部２１側）に移動させる。
【0062】
次に、図１５の模式的断面図に示すように、吸着ユニット２をさらに遠位側（スピンドル部２１側）に移動させるように、アーム部３を遠位側（スピンドル部２１側）に移動させる。このとき、ブレード２２によって第１吸着部４は遠位側（スピンドル部２１側）から近位側（アーム部３側）に力を受けるが、第３バネ７が突出部近位面４ｂに接触して縮むため、第１吸着部４の移動は抑制され、ブレード２２に対する過度の荷重が抑制される。そして、第１吸着部４の移動が抑制された状態で第２吸着部５が遠位側（スピンドル部２１側）に移動し、第２吸着部５の遠位側の第２吸着部遠位面５ｄが遠位側フランジ２３と接触する。
【0063】
第２吸着部５の第２吸着部遠位面５ｄが遠位側フランジ２３と接触した後に、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａに嵌っていない場合には、第１バネ１６が縮んで、矢印３１の方向に脱着部材回転部６が近位側（アーム部３側）に移動する。このとき、遠位側フランジ２３によって第２吸着部５は遠位側（スピンドル部２１側）から近位側（アーム部３側）に力を受けるが、第２バネ８が鉤状部近位面５ｃに接触して縮むため、第２吸着部５の移動は抑制される。
【0064】
次に、図１６の模式的断面図に示すように、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａに嵌っていない場合には、脱着部材回転部６をたとえば矢印３２の方向に回転させる。脱着部材回転部６の回転により、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａの位置に到達したときに第１バネ１６が伸びて、突出部６ａが貫通孔２４ａに嵌まる。
【0065】
次に、脱着部材回転部６が回転することによって脱着部材２４を回転させる。これによ
り、近位側フランジ２０に対する脱着部材２４による遠位側フランジ２３の締め付けが解除される。その後、第１吸着部４がブレード２２を吸着し、第２吸着部５が遠位側フランジ２３を吸着する。その後、吸着ユニット２を近位側（アーム部３側）に移動させることによって、たとえば図１７の模式的断面図に示すように、スピンドル部２１から、脱着部材２４とともにブレード２２および遠位側フランジ２３が取り外される。
り、近位側フランジ２０に対する脱着部材２４による遠位側フランジ２３の締め付けが解除される。その後、第１吸着部４がブレード２２を吸着し、第２吸着部５が遠位側フランジ２３を吸着する。その後、吸着ユニット２を近位側（アーム部３側）に移動させることによって、たとえば図１７の模式的断面図に示すように、スピンドル部２１から、脱着部材２４とともにブレード２２および遠位側フランジ２３が取り外される。
【0066】
その後、吸着ユニット２は、図１８および図１９の模式的斜視図に示されるブレード２２を脱着可能な第１動作位置から図２０の模式的斜視図に示される収納部５１から交換用ブレードを取り出しおよび収納可能な第２動作位置に移動させられる。なお、図１８および図１９は、吸着ユニット２が第１動作位置に位置している状態の一例の本実施例の切断装置の模式的な斜視図を示しており、図２０は吸着ユニット２が第２動作位置に位置している状態の一例の本実施例の切断装置の模式的な斜視図を示している。
【0067】
図１８～図２０に示される本実施例の切断装置は、スピンドル部２１と向かい合う位置に第２のスピンドル部２５を備えている。たとえば図２１および図２２の模式的斜視図に示されるように、本実施例のブレード交換機構の吸着ユニット２は、スピンドル部２１におけるブレード２２の脱着を可能とするだけでなく、第２のスピンドル部２５におけるブレード２２の脱着も可能とする。なお、図２１および図２２は、吸着ユニット２が第１動作位置に位置しているときの他の一例の本実施例の切断装置の模式的な斜視図を示している。
【0068】
図１８～図２２の模式的斜視図に示されるように、本実施例のブレード交換機構は、第１スライド機構４１と、第２スライド機構４２とを備える移動機構４０を備えている。第１スライド機構４１は、たとえば図２３および図２４の模式的斜視図に示すように、吸着ユニット２を矢印６１、６２で示されるＹ方向へのスライドによる移動を可能にしている。吸着ユニット２のＹ方向への移動は、たとえば、吸着ユニット２の第１動作位置への移動および第２動作位置への移動などに利用することができる。
【0069】
第２スライド機構４２は、たとえば図２５および図２６の模式的斜視図に示すように、吸着ユニット２を矢印７１、７２で示されるＺ方向へのスライドによる移動を可能にしている。吸着ユニット２のＺ方向への移動は、たとえば、第１動作位置から第２動作位置への移動のための１つのステップおよび第２動作位置から第１動作位置への移動のための１つのステップなどに利用することができる。なお、図２５および図２６の矢印７１、７２で示されるＺ方向は図２３および図２４の矢印６１、６２で示されるＹ方向と交差している。
【0070】
【0071】
第１回転機構４３は、たとえば図２７および図２８に示されるように、吸着ユニット２を第１仮想面８２内において矢印８１で示されるＸ－θ方向に回転可能に構成されている。吸着ユニット２のＸ－θ方向における回転は、たとえば、第１動作位置から第２動作位置への移動のための１つのステップおよび第２動作位置から第１動作位置への移動のための１つのステップなどに利用することができる。
【0072】
第２回転機構４４は、たとえば図２９および図３０に示されるように、吸着ユニット２を第２仮想面９３内において矢印９１、９２で示されるＹ－θ方向に回転可能に構成されている。吸着ユニット２のＹ－θ方向における回転は、たとえば、吸着ユニット２のスピンドル部２１から第２のスピンドル部２５への移動および吸着ユニット２の第２のスピンドル部２５からスピンドル部２１への移動などに利用することができる。なお、第２仮想面９３は、第１仮想面８２とは異なる仮想面であり、第１仮想面８２と第２仮想面９３とは互いに交差する。
【0073】
図３１に、本実施例のブレード交換機構の収納部５１の模式的な斜視図を示す。収納部５１は、最上段から最下段にかけて順に、第１のブレードマガジン５３ａ、第２のブレードマガジン５３ｂ、および第３のブレードマガジン５３ｃを備えている。収納部５１は、また、第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂ、および第３のブレード押さえ部材５４ｃを備えている。第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂ、および第３のブレード押さえ部材５４ｃは、それぞれ、第１のブレードマガジン５３ａ、第２のブレードマガジン５３ｂ、および第３のブレードマガジン５３ｃに収納されるブレードをそれぞれのブレードマガジンの周りで押さえるように構成されている。これにより、ブレードマガジンからのブレードの落下を抑制することができる。なお、本実施例では、収納部５１に備えられているブレードマガジンが３つであるが、本発明はこれに限定されない。例えば、収納部５１に備えられているブレードマガジンの数は、１つでも、２つでも、４つ以上の任意の数でもよい。ただし、ブレードマガジンの数の数が複数であることが、利便性の観点から好ましい。
【0074】
本実施例のブレード交換機構の吸着ユニット２は、スピンドル部２１または第２のスピンドル部２５から使用済みのブレードを上述のようにして取り外した後、吸着ユニット２に吸着された使用済みのブレードとともに図２０に示される第２動作位置に移動させられる。このとき、たとえば図３２の模式的斜視図に示すように、第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂおよび第３のブレード押さえ部材５４ｃの少なくとも１つが上に起き上がってブレードの押さえを解除する。
【0075】
そして、使用済みのブレードを吸着した吸着ユニット２が、ブレードが収容されていない空のブレードマガジンに接近し、使用済みのブレードの中央の開口部を空のブレードマガジンに嵌め込む。その後、吸着ユニット２は、第１吸着部４による使用済みのブレードの吸着のみを停止し、当該ブレードマガジンから離れる。これにより、使用済みのブレードを空のブレードマガジンに収納することができる。
【0076】
その後、吸着ユニット２は、交換用のブレードが収納されている別のブレードマガジンに移動する。そして、交換用のブレードを押さえているブレード押さえ部材が上に起き上がって交換用のブレードの押さえを解除する。その後、吸着ユニット２を交換用のブレードに接近させて、交換用のブレードの表面に吸着ユニット２の第１吸着部４の第１吸着部遠位面４ｃを接触させる。そして、第１吸着部４のガス流路１３を通じてガス吸引口１２から吸引することにより、第１吸着部遠位面４ｃに交換用のブレードを吸着させる。
【0077】
交換用のブレードを吸着した吸着ユニット２は、図２０に示される第２動作位置から、図１８および図１９に示される第１動作位置に移動させられる。そして、図１７に示されるように、吸着ユニット２の遠位側への移動により、吸着ユニット２をスピンドル部２１に接近させる。
【0078】
次に、図１６に示すように、吸着ユニット２をさらに遠位側（スピンドル部２１側）に移動させる。これにより、遠位側フランジ２３がスピンドル部２１の近位側フランジ２０に接触し、近位側フランジ２０と遠位側フランジ２３との間に交換用のブレード２２を挟み込む。次に、脱着部材回転部６を矢印３２の方向とは逆方向に回転させることによって脱着部材２４を回転させ、脱着部材２４により遠位側フランジ２３を近位側フランジ２０に締め付ける。これにより、近位側フランジ２０と遠位側フランジ２３との間に交換用のブレード２２を固定することができる。その後、第１吸着部４による交換用のブレード２２の吸着を停止するとともに、第２吸着部５による遠位側フランジ２３の吸着を停止する。
【0079】
次に、図１３に示すように、吸着ユニット２を近位側（アーム部３側）に移動させ、吸着ユニット２をスピンドル部２１から引き離す。これにより、交換用のブレード２２のスピンドル２１への取り付けが完了する。
【0080】
以上のように、本実施例においては、ブレード２２の自動交換を実現することができる。
【0081】
図３３に、本実施例のブレード交換機構に用いられる検出部１００の模式的な平面図を示す。本実施例において、検出部１００は、レーザセンサ１０１と、モータ１０３とを備えている。検出部１００は、モータ１０３の駆動によって、レーザセンサ１０１の矢印１０２方向への移動が可能となるように構成されている。
【0082】
図３４に、検出部１００によるブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方の検出方法の一例のフローチャートを示す。まず、ステップ１（Ｓ１）において、位置調整レーザ光遮光率Ａの測定が行なわれる。Ｓ１は、たとえば以下のように行なうことができる。
【0083】
まず、レーザセンサ１０１の位置調整を行なう。ここで、レーザセンサ１０１は、たとえば、レーザ光の出射部（図示せず）とレーザ光の検知部（図示せず）との間に切断開始前のブレード２２の刃先が位置するように位置調整が行われる。次に、レーザセンサ１０１が位置調整された状態でレーザセンサ１０１の出射部からレーザ光を出射して検知部で検知する。その後、その状態でのレーザ光の遮光率（位置調整レーザ光遮光率Ａ）を測定する。位置調整レーザ光遮光率Ａは、上記のレーザセンサ１０１の位置調整後かつ切断開始前の状態でのレーザ光の出射量に対するレーザ光の検知部で検知されるレーザ光の検知量の割合である。切断開始前のブレード２２の刃先によってレーザ光の検知部への入射が遮られる傾向にあるため、位置調整レーザ光遮光率Ａは高くなり得る。
【0084】
次に、ステップ２（Ｓ２）において、摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’の測定が行なわれる。Ｓ２は、たとえば以下のように行なうことができる。
【0085】
まず、スピンドル部２１を回転させることによってブレード２２を回転させる。次に、回転したブレード２２によって切断対象物が切断される。次に、回転したブレード２２によって切断対象物を切断している状態でレーザセンサ１０１の出射部からレーザ光を出射して検知部で検知する。その後、その状態でのレーザ光の遮光率（摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’）を測定する。切断によってブレード２２が摩耗または破損した場合には切断開始前と比べてブレード２２の刃先によってレーザ光の検知部への入射が遮られにくくなるため、摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’は位置調整レーザ光遮光率Ａよりも低くなり得る。
【0086】
次に、ステップ３（Ｓ３）において、Ｓ１で測定されたレーザ光の遮光率Ａと、Ｓ２で測定されたレーザ光の遮光率Ａ’との対比が行われる。このとき、レーザ光の遮光率Ａとレーザ光の遮光率Ａ’とが等しい場合には、ブレード２２の回転による切断対象物の切断は停止せず、再度Ｓ２に戻って摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’の測定が行なわれる。
【0087】
一方、Ｓ３においてレーザ光の遮光率Ａとレーザ光の遮光率Ａ’とが等しくないと判断されると、ステップ４（Ｓ４）において、ブレード２２の回転を停止されて上述したブレード２２の自動交換が実施される。
【0088】
上述のように、本実施例のブレード交換機構がブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方が検出可能なように構成される検出部１００を備えている場合には、ブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方を検出した後にブレード２２の回転による切断が自動停止して、本実施例におけるブレード２２の自動交換を行なうことできる。これにより
ブレード２２の交換のさらなる自動化の実現が可能となる。
ブレード２２の交換のさらなる自動化の実現が可能となる。
【0089】
以上のように各実施例について説明を行なったが、上述の各実施例の構成を適宜組み合わせることも可能である。
【0090】
さらに、本発明は、上述の実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
【符号の説明】
【0091】
１ 吸着アーム
２ 吸着ユニット
３ アーム部
４ 第１吸着部
４ａ 突出部
４ｂ 突出部近位面
４ｃ 第１吸着部遠位面
４ｘ 第１吸着口
４ｙ 第１吸着溝
４ｚ ガス流路
５ 第２吸着部
５ａ 鉤状部
５ｂ 鉤状部遠位面
５ｃ 鉤状部近位面
５ｄ 第２吸着部遠位面
５ｘ 第２吸着口
５ｙ 第２吸着溝
５ｚ ガス流路
６ 脱着部材回転部
６ａ 突出部
６ｂ 回転部近位面
７ 第３バネ
８ 第２バネ
９ 回転駆動部材
９ａ 近位側張出部遠位面
１０ 軸
１１ 連結部
１１ａ 突出部
１１ｂ 連結部内側近位面
１１ｃ 連結部外側近位面
１２ ガス吸引口
１３ ガス流路
１５ スリーブ
１５ａ 収容部
１５ｂ 支持部
１５ｃ 収容部近位面
１５ｄ 支持部遠位面
１６ 第１バネ
２０ 近位側フランジ
２１ スピンドル部
２２ ブレード
２３ 遠位側フランジ
２４ 脱着部材
２４ａ 貫通孔
２５ 第２のスピンドル部
３１、３２ 矢印
４０ 移動機構
４１ 第１スライド機構
４２ 第２スライド機構
４３ 第１回転機構
４４ 第２回転機構
５１ 収納部
５３ａ 第１のブレードマガジン
５３ｂ 第２のブレードマガジン
５３ｃ 第３のブレードマガジン
５４ａ 第１のブレード押さえ部材
５４ｂ 第２のブレード押さえ部材
５４ｃ 第３のブレード押さえ部材
６１、６２、７１、７２ 矢印
８１ 矢印
８２ 第１仮想面
９１、９２ 矢印
９３ 第２仮想面
１００ 検出部
１０１ レーザセンサ
１０２ 矢印
１０３ モータ
１１０ 検査用テーブル
１１１ 切断装置
１１２ 封止済基板
１１３ 基板供給機構
１１４ 切断用テーブル
１１５ 移動機構
１１６ 回転機構
１２０ ブレード交換機構
１２１ 切断済基板
１２２ トレイ
２０１、２０２ 第１スライド機構取付部
１０００ 防水カバー
１００１ ブレードホルダ
１００２ カバー本体
１００２ａ、１００２ｂ 斜面
１００２Ｂ 底板
１００２Ｂａ 水抜き用の穴
１００３ 開閉扉
１００４ 排気筒
１００５ 上部上板
１００６ 下部上板
１００７ 気体供給部
α 水抜き用の穴１００２Ｂａが設けられた領域
２ 吸着ユニット
３ アーム部
４ 第１吸着部
４ａ 突出部
４ｂ 突出部近位面
４ｃ 第１吸着部遠位面
４ｘ 第１吸着口
４ｙ 第１吸着溝
４ｚ ガス流路
５ 第２吸着部
５ａ 鉤状部
５ｂ 鉤状部遠位面
５ｃ 鉤状部近位面
５ｄ 第２吸着部遠位面
５ｘ 第２吸着口
５ｙ 第２吸着溝
５ｚ ガス流路
６ 脱着部材回転部
６ａ 突出部
６ｂ 回転部近位面
７ 第３バネ
８ 第２バネ
９ 回転駆動部材
９ａ 近位側張出部遠位面
１０ 軸
１１ 連結部
１１ａ 突出部
１１ｂ 連結部内側近位面
１１ｃ 連結部外側近位面
１２ ガス吸引口
１３ ガス流路
１５ スリーブ
１５ａ 収容部
１５ｂ 支持部
１５ｃ 収容部近位面
１５ｄ 支持部遠位面
１６ 第１バネ
２０ 近位側フランジ
２１ スピンドル部
２２ ブレード
２３ 遠位側フランジ
２４ 脱着部材
２４ａ 貫通孔
２５ 第２のスピンドル部
３１、３２ 矢印
４０ 移動機構
４１ 第１スライド機構
４２ 第２スライド機構
４３ 第１回転機構
４４ 第２回転機構
５１ 収納部
５３ａ 第１のブレードマガジン
５３ｂ 第２のブレードマガジン
５３ｃ 第３のブレードマガジン
５４ａ 第１のブレード押さえ部材
５４ｂ 第２のブレード押さえ部材
５４ｃ 第３のブレード押さえ部材
６１、６２、７１、７２ 矢印
８１ 矢印
８２ 第１仮想面
９１、９２ 矢印
９３ 第２仮想面
１００ 検出部
１０１ レーザセンサ
１０２ 矢印
１０３ モータ
１１０ 検査用テーブル
１１１ 切断装置
１１２ 封止済基板
１１３ 基板供給機構
１１４ 切断用テーブル
１１５ 移動機構
１１６ 回転機構
１２０ ブレード交換機構
１２１ 切断済基板
１２２ トレイ
２０１、２０２ 第１スライド機構取付部
１０００ 防水カバー
１００１ ブレードホルダ
１００２ カバー本体
１００２ａ、１００２ｂ 斜面
１００２Ｂ 底板
１００２Ｂａ 水抜き用の穴
１００３ 開閉扉
１００４ 排気筒
１００５ 上部上板
１００６ 下部上板
１００７ 気体供給部
α 水抜き用の穴１００２Ｂａが設けられた領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】