特許7252887 | 知財ポータル「IP Force」

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

青山学院大学 (神奈川県相模原市中央区淵野辺)

▶ 株式会社アドバンテストの特許一覧

特許7252887光音響波測定装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

目に優しい文字サイズ小中大 PDF Top

< >

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-03-28

(45)【発行日】2023-04-05

(54)【発明の名称】光音響波測定装置

(51)【国際特許分類】

A61B 8/13 20060101AFI20230329BHJP

G01N 29/24 20060101ALI20230329BHJP

【ＦＩ】

A61B8/13

G01N29/24

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2019239391

(22)【出願日】2019-12-27

(65)【公開番号】P2020163107

(43)【公開日】2020-10-08

【審査請求日】2022-01-06

(31)【優先権主張番号】P 2019064195

(32)【優先日】2019-03-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】100097490

【弁理士】

【氏名又は名称】細田益稔

(72)【発明者】

【氏名】桜井孝夫

(72)【発明者】

【氏名】増田伸

(72)【発明者】

【氏名】城市知輝

(72)【発明者】

【氏名】藤野昌男

【審査官】下村一石

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－０２７４８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－２８４２６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００７／０２０１１２３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／００２３８４３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１３／０３１４７６６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】国際公開第０３／０５８３３７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００２－２５８３４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１０１３９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１６１０２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－０３５９７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－００８０４０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ａ６１Ｂ８／００－８／１５

Ｇ０１Ｎ２９／００－２９／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

レーザ光を出力するレーザ光出力装置と、
前記レーザ光により測定対象において発生した光音響波に基づき前記測定対象を測定する測定部と、
を備え、
前記レーザ光出力装置が、
所定の波長のレーザ光を第一パルスとして出力するパルスレーザ出力部と、
前記第一パルスを受け、前記第一パルスの一つずつについて複数の光路のいずれか一つに光路を決定して出力する光路決定部と、
前記複数の光路の各々を進行した進行光を受け、それぞれ異なった波長に変化させて出力する波長変化部と、
前記波長変化部の出力を合波する合波器と、
を有する光音響波測定装置。

【請求項2】

請求項１に記載の光音響波測定装置であって、
超音波パルスを出力する超音波パルス出力部を備え、
前記測定部が、さらに前記超音波パルスが測定対象において反射された反射波を測定する、
光音響波測定装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の光音響波測定装置であって、
前記第一パルスが、所定の周波数を有し、
前記光路決定部が、前記複数の光路の各々から、前記所定の周波数を前記複数の光路の個数で割った値の周波数を有し、かつそれぞれ位相が異なるパルスである第二パルスを出力する、
光音響波測定装置。

【請求項4】

請求項３に記載の光音響波測定装置であって、
前記合波器が、前記所定の周波数を有する第三パルスを出力する、
光音響波測定装置。

【請求項5】

請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光音響波測定装置であって、
前記パルスレーザ出力部が、励起レーザである、
光音響波測定装置。

【請求項6】

請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光音響波測定装置であって、
前記光路決定部が、音響光学変調器または音響光学偏向器である、
光音響波測定装置。

【請求項7】

請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光音響波測定装置であって、
前記波長変化部が、
前記進行光が伝播し、所定の間隔をあけて配置された分極反転部を有し、
前記所定の間隔が、前記進行光ごとに異なる、
光音響波測定装置。

【請求項8】

請求項７に記載の光音響波測定装置であって、
前記波長変化部が、
前記分極反転部が形成された非線形光学結晶基板を有し、
前記分極反転部の図心が、前記非線形光学結晶基板のｘ軸に平行な直線上に配置されている、
光音響波測定装置。

【請求項9】

請求項７に記載の光音響波測定装置であって、
前記波長変化部が、前記分極反転部が形成された非線形光学結晶基板を有し、
前記分極反転部の図心が、前記進行光の進行方向に平行な直線上に配置されており、
前記進行光の進行方向が、前記非線形光学結晶基板のｘ軸と平行ではない、
光音響波測定装置。

【請求項10】

請求項７に記載の光音響波測定装置であって、
前記波長変化部が、前記分極反転部の全てが形成された一つの非線形光学結晶基板を有する光音響波測定装置。

【請求項11】

請求項７に記載の光音響波測定装置であって、
前記波長変化部が、
前記分極反転部が形成された非線形光学結晶基板を有し、
前記非線形光学結晶基板は、伝播する前記進行光ごとに設けられている、
光音響波測定装置。

【請求項12】

請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光音響波測定装置であって、
前記波長変化部が、前記進行光が伝播する非線形光学結晶を有する、
光音響波測定装置。

【請求項13】

請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光音響波測定装置であって、
前記合波器の出力を一端で受け、他端から出力する光ファイバを備えた光音響波測定装置。

【請求項14】

請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光音響波測定装置であって、
前記光路決定部の出力を、前記第一パルスの出力のタイミングに合わせるタイミング制御部を備えた光音響波測定装置。

【請求項15】

請求項１ないし１４のいずれか一項に記載の光音響波測定装置であって、
前記光路決定部が、
前記第一パルスを受け、前記第一パルスの一つずつについて複数の光路のいずれか一つに光路を決定して出力する第一音響光学変調器と、
前記第一音響光学変調器の出力を受け、前記第一音響光学変調器の出力のパルス一つずつについて一つ以上の光路のいずれか一つに光路を決定して出力する第二音響光学変調器と、
を有する光音響波測定装置。

【請求項16】

請求項１５に記載の光音響波測定装置であって、
前記第一音響光学変調器が、前記第一パルスの一つずつを、回折または直進させて出力し、
前記第二音響光学変調器が、前記第一パルスが直進したものを受けて回折または直進させて出力し、前記第一パルスが回折したものを受けて直進させて出力する、
光音響波測定装置。

【請求項17】

請求項１５に記載の光音響波測定装置であって、
前記第一音響光学変調器が、前記第一パルスの一つずつを、回折または直進させて出力し、
前記第二音響光学変調器が、前記第一パルスが回折したものを受けて回折または直進させて出力し、前記第一パルスが直進したものを受けて直進させて出力する、
光音響波測定装置。

【請求項18】

請求項１５に記載の光音響波測定装置であって、
前記第一音響光学変調器が、前記第一パルスの一つずつを、回折または直進させて出力し、
前記第二音響光学変調器が、前記第一音響光学変調器の出力のパルス一つずつを、回折または直進させて出力する、
光音響波測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数種類の波長のレーザ光をパルスとして出力する装置を用いた測定に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、パルス光を被測定物（例えば、生体）に照射して得られた応答（例えば、吸収係数）により測定（例えば、血液中の酸素飽和度の測定）を行うことが知られている。また、パルス光の波長により、被測定物から得られる応答が異なることも知られている。そこで、複数種類の波長のパルス光を被測定物に照射することが、測定精度向上の点から望まれている。その際、ある波長のパルス光を被測定物のある一点Ｐに照射してから、別の波長のパルス光をその一点Ｐに照射するまでの時間が長くなると、被測定物の移動（例えば、体動）により、測定精度の劣化を招く。

【0003】

しかし、ある波長のパルス光を照射してから、すぐに別の波長のパルス光を照射するための技術は知られていない。例えば、特許文献１、特許文献２および特許文献３においては、波長の異なるレーザ光を合波する旨の記載はあるものの、ある波長のパルス光を照射してから、すぐに別の波長のパルス光を照射するというものではない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１１－１０７０９４号公報

【文献】国際公開第２０１７／１３８６１９号

【文献】特開２０１６－１０１３９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

そこで、本発明は、測定対象に、ある波長のパルス光を照射してから、すぐに別の波長のパルス光を照射することで光音響波測定を行うことを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明にかかる光音響波測定装置は、レーザ光を出力するレーザ光出力装置と、前記レーザ光により前記測定対象において発生した光音響波に基づき前記測定対象を測定する測定部とを備え、前記レーザ光出力装置が、所定の波長のレーザ光を第一パルスとして出力するパルスレーザ出力部と、前記第一パルスを受け、前記第一パルスの一つずつについて複数の光路のいずれか一つに光路を決定して出力する光路決定部と、前記複数の光路の各々を進行した進行光を受け、それぞれ異なった波長に変化させて出力する波長変化部と、前記波長変化部の出力を合波する合波器とを有するように構成される。

【0007】

上記のように構成された光音響波測定装置によれば、レーザ光出力装置が、レーザ光を出力する。測定部が、前記レーザ光により前記測定対象において発生した光音響波に基づき前記測定対象を測定する。前記レーザ光出力装置によれば、パルスレーザ出力部が、所定の波長のレーザ光を第一パルスとして出力する。光路決定部が、前記第一パルスを受け、前記第一パルスの一つずつについて複数の光路のいずれか一つに光路を決定して出力する。波長変化部が、前記複数の光路の各々を進行した進行光を受け、それぞれ異なった波長に変化させて出力する。合波器が、前記波長変化部の出力を合波する。

【0008】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、超音波パルスを出力する超音波パルス出力部を備え、前記測定部が、さらに前記超音波パルスが測定対象において反射された反射波を測定するようにしてもよい。

【0009】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記第一パルスが、所定の周波数を有し、前記光路決定部が、前記複数の光路の各々から、前記所定の周波数を前記複数の光路の個数で割った値の周波数を有し、かつそれぞれ位相が異なるパルスである第二パルスを出力するようにしてもよい。

【0010】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記合波器が、前記所定の周波数を有する第三パルスを出力するようにしてもよい。

【0011】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記パルスレーザ出力部が、励起レーザであるようにしてもよい。

【0012】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記光路決定部が、音響光学変調器または音響光学偏向器であるようにしてもよい。

【0013】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記波長変化部が、前記進行光が伝播し、所定の間隔をあけて配置された分極反転部を有し、前記所定の間隔が、前記進行光ごとに異なるようにしてもよい。

【0014】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記波長変化部が、前記分極反転部が形成された非線形光学結晶基板を有し、前記分極反転部の図心が、前記非線形光学結晶基板のｘ軸に平行な直線上に配置されているようにしてもよい。

【0015】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記分極反転部の図心が、前記進行光の進行方向に平行な直線上に配置されているようにしてもよい。

【0016】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記波長変化部が、前記分極反転部の全てが形成された一つの非線形光学結晶基板を有するようにしてもよい。

【0017】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記波長変化部が、前記分極反転部が形成された非線形光学結晶基板を有し、前記非線形光学結晶基板は、伝播する前記進行光ごとに設けられているようにしてもよい。

【0018】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記波長変化部が、前記進行光が伝播する非線形光学結晶を有するようにしてもよい。

【0019】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記合波器の出力を一端で受け、他端から出力する光ファイバを備えるようにしてもよい。

【0020】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記光路決定部の出力を、前記第一パルスの出力のタイミングに合わせるタイミング制御部を備えるようにしてもよい。

【0021】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記光路決定部が、前記第一パルスを受け、前記第一パルスの一つずつについて複数の光路のいずれか一つに光路を決定して出力する第一音響光学変調器と、前記第一音響光学変調器の出力を受け、前記第一音響光学変調器の出力のパルス一つずつについて一つ以上の光路のいずれか一つに光路を決定して出力する第二音響光学変調器とを有するようにしてもよい。

【0022】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記第一音響光学変調器が、前記第一パルスの一つずつを、回折または直進させて出力し、前記第二音響光学変調器が、前記第一パルスが直進したものを受けて回折または直進させて出力し、前記第一パルスが回折したものを受けて直進させて出力するようにしてもよい。

【0023】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記第一音響光学変調器が、前記第一パルスの一つずつを、回折または直進させて出力し、前記第二音響光学変調器が、前記第一パルスが回折したものを受けて回折または直進させて出力し、前記第一パルスが直進したものを受けて直進させて出力するようにしてもよい。

【0024】

なお、本発明にかかる光音響波測定装置は、前記第一音響光学変調器が、前記第一パルスの一つずつを、回折または直進させて出力し、前記第二音響光学変調器が、前記第一音響光学変調器の出力のパルス一つずつを、回折または直進させて出力するようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】第一の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。

【図2】第一の実施形態にかかる波長変化部１４の平面図である。

【図3】第一の実施形態にかかる第一パルスＰ１、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂ、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂのタイミングチャートである。

【図4】第一の実施形態の変形例にかかる波長変化部１４の平面図である。

【図5】第二の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。

【図6】第三の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。

【図7】第三の実施形態にかかる第一パルスＰ１、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂ、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂのタイミングチャートである。

【図8】第四の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。

【図9】第四の実施形態にかかるレーザ光出力装置１における光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）の近傍の拡大図である。

【図10】第五の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。

【図11】第五の実施形態にかかるレーザ光出力装置１における光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）の近傍の拡大図である。

【図12】第四の実施形態の変形例にかかるレーザ光出力装置１における光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）の近傍の拡大図である。

【図13】本発明の第六の実施形態にかかる光音響波測定装置１００の構成を示す機能ブロック図である。

【図14】本発明の第七の実施形態にかかる光音響波測定装置１００の構成を示す機能ブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。

【0027】

第一の実施形態
図１は、第一の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。図２は、第一の実施形態にかかる波長変化部１４の平面図である。図３は、第一の実施形態にかかる第一パルスＰ１、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂ、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂのタイミングチャートである。なお、図３においては、波長に応じて、パルスを示す線の太さおよび線の種類（実線または破線）を変えて図示している。

【0028】

第一の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、光減衰器（ATT）１１、音響光学変調器（光路決定部）（AOM）１２、波長変化部（PPLN）１４、ミラー１５、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６、フィルタ（F）１７、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９を備える。

【0029】

励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０は、所定の波長W1[nm]のレーザ光を、所定の周波数（例えば、2kHz）の第一パルスＰ１（図３参照）として出力する。励起レーザ１０は、例えば、Yb:YAGレーザである。

【0030】

光減衰器（ATT）１１は、第一パルスＰ１を減衰させて、音響光学変調器１２に与える。

【0031】

音響光学変調器（光路決定部）（AOM）１２は、第一パルスＰ１を受け、第一パルスＰ１の一つずつについて複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２のいずれか一つに光路を決定して出力する。

【0032】

例えば、図１および図３を参照して、音響光学変調器１２が第一パルスＰ１の奇数番目（１、３、５、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学変調器１２に音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の奇数番目のパルスは、そのまま、まっすぐ音響光学変調器１２を透過する（光路ＯＰ１）。

【0033】

また、音響光学変調器１２が第一パルスＰ１の偶数番目（２、４、６、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学変調器１２に音響波（角周波数ω２）を与える。すると、第一パルスＰ１の偶数番目のパルスは、ある程度、回折しながら音響光学変調器１２を透過する（光路ＯＰ２）。

【0034】

ただし、音響光学変調器１２が第一パルスＰ１の奇数番目のパルスを受けた時点で、音響光学変調器１２に音響波（角周波数ω１）（ただし、ω１はω２と異なる）に与えてもよい。

【0035】

これにより、音響光学変調器１２は、複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２の各々から、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（２個）で割った値の周波数（1kHz）を有し、かつそれぞれ位相が１８０度異なるパルスである第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａを出力する。

【0036】

タイミング制御回路（タイミング制御部）１９は、音響光学変調器（光路決定部）１２の出力を、第一パルスＰ１の出力のタイミングに合わせる。タイミングを合わせた結果は、図３を参照して上述したとおりである。なお、タイミング制御回路１９は、励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０から、第一パルスＰ１の出力のタイミングに同期した信号を受け、この信号に基づき、音響光学変調器１２の出力タイミングを制御する。

【0037】

波長変化部（PPLN）１４は、複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２の各々を進行した進行光（である第二パルスＰ２ａ）を受け、それぞれ異なった波長に変化させて出力する。波長変化部１４の出力が、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂである。

【0038】

図３を参照して、波長変化部１４は、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ１を進行したもの（波長W1[nm]）を受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W2[nm]）に変換する。また、波長変化部１４は、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ２を進行したもの（波長W1[nm]）を受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W3[nm]）に変換する。

【0039】

図２を参照して、波長変化部１４は、ＬＮ結晶基板１４２、分極反転部１４４を有する。なお、図２においては、図示の便宜上、図１とは異なり、ＬＮ結晶基板１４２のｘ軸方向を紙面の横方向とを平行に図示している。

【0040】

分極反転部１４４は、進行光（である第二パルスＰ２ａ）が伝播するものである。分極反転部１４４は、光路ＯＰ１を進行する第二パルスＰ２ａが伝播するものと、光路ＯＰ２を進行する第二パルスＰ２ａが伝播するものとがある。なお、分極反転部１４４は、図２おいては、ＰＰＬＮ（周期分極反転ニオブ酸リチウム）であるが、これに限らず、例えば、ＰＰＬＴ（リチウムタンタレート）またはＰＰＫＴＰでもよい。

【0041】

光路ＯＰ１を進行する第二パルスＰ２ａが伝播する分極反転部１４４は、所定の間隔Ｄ１をあけて配置されている。光路ＯＰ２を進行する第二パルスＰ２ａが伝播する分極反転部１４４は、所定の間隔Ｄ２をあけて配置されている。所定の間隔は進行光ごとに異なる。すなわち、所定の間隔Ｄ１と、所定の間隔Ｄ２とは異なる。

【0042】

ＬＮ結晶基板１４２には、分極反転部１４４が形成されている。ＬＮ結晶基板１４２は、ただ一つであり、分極反転部１４４の全てが形成されている。なお、第一の実施形態においては、ＬＮ結晶基板１４２は、ＬＮ結晶基板でなくとも、非線形光学結晶基板であればよい。他の実施形態においても同様に、ＬＮ結晶基板にかえて、非線形光学結晶基板を使用できる。

【0043】

光路ＯＰ１を進行する第二パルスＰ２ａが伝播する分極反転部１４４の図心１４４ｃは、ＬＮ結晶基板１４２のｘ軸に平行な直線上に配置されている。光路ＯＰ２を進行する第二パルスＰ２ａが伝播する分極反転部１４４の図心１４４ｃも、ＬＮ結晶基板１４２のｘ軸に平行な直線上に配置されている。なお、分極反転部１４４の図心１４４ｃは、分極反転部１４４に均一に重力が作用しているとした場合の重心と一致する。

【0044】

ミラー１５は、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ２を進行したものを受け、ダイクロイックミラー１６に向けて反射する。

【0045】

ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６は、波長変化部１４の出力する第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ１を進行したものを、波長変化部１４から受ける。ダイクロイックミラー１６は、さらに、波長変化部１４の出力する第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ２を進行したものを、ミラー１５から受ける。さらに、ダイクロイックミラー１６は、波長変化部１４の出力する第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ１を進行したものと、光路ＯＰ２を進行したものとを合波し、所定の周波数（2kHz）を有する第三パルス（フィルタリング前）Ｐ３ａを出力する。

【0046】

ただし、ダイクロイックミラー１６の出力には、第三パルス（フィルタリング前）Ｐ３ａの他にも、励起レーザ１０の出力する波長W1[nm]のレーザ光（ポンプ光）と、波長変化部１４によって生じる赤外域のアイドラ光とが混入している。なお、レーザ光（ポンプ光）を波長変化部１４に与えると、光パラメトリック発生により、シグナル光と上述のアイドラ光とが生じる。シグナル光が、波長変化部１４の出力（第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂ）である（他の実施形態の波長変化部においても同様）。

【0047】

フィルタ（F）１７は、第三パルス（フィルタリング前）Ｐ３ａから、ポンプ光およびアイドラ光を除去し、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂを出力する。

【0048】

光ファイバ（MMF）１８は、ダイクロイックミラー１６の出力する第三パルスＰ３ａを、フィルタ１７を介して、その一端で受け、他端から出力する。

【0049】

次に、第一の実施形態の動作を説明する。

【0050】

まず、励起レーザ１０が、所定の波長W1[nm]のレーザ光を、所定の周波数（例えば、2kHz）の第一パルスＰ１（図３参照）として出力する。第一パルスＰ１は、光減衰器１１により減衰されてから、音響光学変調器１２に与えられる。タイミング制御回路１９が、音響光学変調器１２の出力タイミング（図３参照）を制御する。

【0051】

音響光学変調器１２が、第一パルスＰ１の奇数番目（１、３、５、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学変調器１２に音響波を与えない。これにより、第一パルスＰ１の奇数番目のパルスは、そのまま、まっすぐ音響光学変調器１２を透過する（光路ＯＰ１）。よって、光路ＯＰ１を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（２個）で割った値の周波数（1kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0052】

音響光学変調器１２が、第一パルスＰ１の偶数番目（２、４、６、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学変調器１２に音響波（角周波数ω２）を与える。これにより、第二パルスＰ１の偶数番目のパルスは、ある程度、回折しながら音響光学変調器１２を透過する（光路ＯＰ２）。よって、光路ＯＰ２を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（２個）で割った値の周波数（1kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0053】

しかも、光路ＯＰ１を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相と、光路ＯＰ２を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相とは１８０度異なる。

【0054】

光路ＯＰ１を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、波長変化部１４において所定の間隔Ｄ１をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW2[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、ダイクロイックミラー１６に与えられる。

【0055】

光路ＯＰ２を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、波長変化部１４において所定の間隔Ｄ２をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW3[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、ミラー１５により反射されてから、ダイクロイックミラー１６に与えられる。

【0056】

波長変化部１４の出力する第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、波長W2[nm]のものと、波長W3[nm]のものとがダイクロイックミラー１６により合波され、所定の周波数（2kHz）を有する第三パルス（フィルタリング前）Ｐ３ａとなる。

【0057】

第三パルス（フィルタリング前）Ｐ３ａは、フィルタ１７により、ポンプ光およびアイドラ光が除去され、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂとなる。第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂは、光ファイバ１８の一端に与えられ、他端から出力される。

【0058】

第一の実施形態によれば、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂを、光ファイバ１８から出力することができる。第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂは、波長W2[nm]のパルス光が照射されてから、すぐに（例えば、500マイクロ秒）別の波長W3[nm]のパルス光を照射されるものである。すなわち、第一の実施形態によれば、ある波長のパルス光を照射してから、すぐに別の波長のパルス光を照射することができる。

【0059】

なお、第一の実施形態においては、分極反転部１４４の図心１４４ｃが、ＬＮ結晶基板１４２のｘ軸に平行な直線上に配置されているが（図２参照）、分極反転部１４４の図心１４４ｃの配置については、以下のような変形例が考えられる。

【0060】

図４は、第一の実施形態の変形例にかかる波長変化部１４の平面図である。なお、図４においては、図示の便宜上、図１とは異なり、図２と同様に、ＬＮ結晶基板１４２のｘ軸方向を紙面の横方向とを平行に図示している。

【0061】

図４を参照して、第一の実施形態の変形例にかかる波長変化部１４においては、進行光（光路ＯＰ１を進行する第二パルスＰ２ａ）が伝播する分極反転部１４４が、所定の間隔Ｄ１をあけて配置されおり、その図心１４４ｃが進行光（光路ＯＰ１を進行する第二パルスＰ２ａ）の進行方向に平行な直線上（例えば、進行方向上）に配置されている。また、進行光（光路ＯＰ２を進行する第二パルスＰ２ａ）が伝播する分極反転部１４４が、所定の間隔Ｄ２をあけて配置されおり、その図心１４４ｃが進行光（光路ＯＰ２を進行する第二パルスＰ２ａ）の進行方向に平行な直線上（例えば、進行方向上）に配置されている。

【0062】

上記のような第一の実施形態の変形例によれば、分極反転部１４４の縦の長さ（Ｙ軸方向の長さ）を、第一の実施形態の場合に比べて、短くすることができる。

【0063】

また、第一の実施形態においては、波長変化部１４に分極反転部１４４を設けることとされているが（図２および図４参照）、分極反転部１４４を設けないで、進行光が伝播する非線形光学結晶を有する変形例も考えられる。例えば、波長変化部１４を、BPM（複屈折位相整合）によるOPO（光パラメトリック発振）、SHG（第2高調波発生）またはTHG（第3高調波発生）などとすることができる。

【0064】

第二の実施形態
第二の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、ＬＮ結晶基板が、伝播する進行光ごとに設けられている点が、ＬＮ結晶基板１４２が一つしかない第一の実施形態にかかるレーザ光出力装置１と異なる。

【0065】

図５は、第二の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。第二の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、光減衰器（ATT）１１、音響光学変調器（光路決定部）（AOM）１２、ロンボイドプリズム１３、波長変化部（PPLN）１４ａ、１４ｂ、ミラー１５、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６、フィルタ（F）１７、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の符号を付して説明を省略する。

【0066】

励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、光減衰器（ATT）１１、音響光学変調器（光路決定部）（AOM）１２、ミラー１５、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６、フィルタ（F）１７、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

【0067】

ロンボイドプリズム１３は、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａのうち、光路ＯＰ２を進行したものを受け、光路を平行に、かつ光路ＯＰ１から離れるように変更する。

【0068】

波長変化部（PPLN）１４ａは、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ１を進行したもの（波長W1[nm]）を音響光学変調器１２から受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W2[nm]）に変換する。波長変化部１４ａの構成は、図２または図４のうち、所定の間隔Ｄ１をあけて配置されている分極反転部１４４と、それが形成されているＬＮ結晶基板１４２とに相当する。

【0069】

波長変化部（PPLN）１４ｂは、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ２を進行したもの（波長W1[nm]）をロンボイドプリズム１３から受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W3[nm]）に変換する。波長変化部１４ｂの構成は、図２または図４のうち、所定の間隔Ｄ２をあけて配置されている分極反転部１４４と、それが形成されているＬＮ結晶基板１４２とに相当する。

【0070】

なお、波長変化部１４ａの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｂの有するＬＮ結晶基板とは別のものである。すなわち、波長変化部１４ａの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｂの有するＬＮ結晶基板とは、伝播する進行光（光路ＯＰ１を進行したものと、光路ＯＰ２を進行したもの）ごとに設けられている。

【0071】

第二の実施形態の動作は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

【0072】

第二の実施形態によれば、ＬＮ結晶基板が、伝播する進行光（光路ＯＰ１を進行したものと、光路ＯＰ２を進行したもの）ごとに設けられているので、所定の間隔Ｄ１およびＤ２に応じた分極反転部１４４の製造条件を設定でき、波長変化部１４ａ、１４ｂの製造が容易となる。

【0073】

第三の実施形態
第三の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、音響光学変調器（AOM）（光路決定部）１２に変えて、音響光学偏向器（AOD）（光路決定部）１２０を用いる点が第一の実施形態にかかるレーザ光出力装置１と異なる。

【0074】

図６は、第三の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。図７は、第三の実施形態にかかる第一パルスＰ１、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂ、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂのタイミングチャートである。なお、図７においては、波長に応じて、パルスを示す線の太さおよび線の種類（実線、破線または一点鎖線）を変えて図示している。

【0075】

第三の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、光減衰器（ATT）１１、音響光学偏向器（AOD）（光路決定部）１２０、波長変化部（PPLN）１４、ミラー１５４、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６２、１６４、フィルタ（F）１７、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の符号を付して説明を省略する。

【0076】

励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、光減衰器（ATT）１１、フィルタ（F）１７、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、タイミング制御回路１９は、音響光学偏向器１２０の出力タイミング（図７参照）を制御する。

【0077】

音響光学偏向器（AOD）（光路決定部）１２０は、第一パルスＰ１を受け、第一パルスＰ１の一つずつについて複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３のいずれか一つに光路を決定して出力する。

【0078】

例えば、図６および図７を参照して、音響光学偏向器１２０が第一パルスＰ１の１＋３N番目（１、４、７、…番目）（ただし、Nは0以上の整数）のパルスを受けた時点では、音響光学偏向器１２０に音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の１＋３N番目のパルスは、そのまま、まっすぐ音響光学偏向器１２０を透過する（光路ＯＰ１）。

【0079】

また、音響光学偏向器１２０が第一パルスＰ１の２＋３N番目（２、５、８、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学偏向器１２０に音響波（角周波数ω２）を与える。すると、第一パルスＰ１の２＋３N番目のパルスは、ある程度、回折しながら音響光学偏向器１２０を透過する（光路ＯＰ２）。

【0080】

また、音響光学偏向器１２０が第一パルスＰ１の３＋３N番目（３、６、９、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学偏向器１２０に音響波（角周波数ω３）（ただし、ω３はω２と異なる）を与える。すると、第一パルスＰ１の３＋３N番目のパルスは、ある程度、回折しながら音響光学偏向器１２０を透過する（光路ＯＰ３）。ただし、光路ＯＰ３が光路ＯＰ１となす角度（ただし、９０度未満）が、光路ＯＰ２が光路ＯＰ１となす角度（ただし、９０度未満）よりも大きい。

【0081】

なお、音響光学偏向器１２０が第一パルスＰ１の１＋３N番目のパルスを受けた時点で、音響光学偏向器１２０に音響波（角周波数ω１）（ただし、ω１は、ω２ともω３とも異なる）に与えてもよい。

【0082】

これにより、音響光学偏向器１２０は、複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３の各々から、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（３個）で割った値の周波数（2/3kHz）を有し、かつそれぞれ位相が１２０度異なるパルスである第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａを出力する。

【0083】

波長変化部（PPLN）１４は、複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３の各々を進行した進行光（である第二パルスＰ２ａ）を受け、それぞれ異なった波長に変化させて出力する。波長変化部１４の出力が、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂである。

【0084】

図７を参照して、波長変化部１４は、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ１を進行したもの（波長W1[nm]）を受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W2[nm]）に変換する。また、波長変化部１４は、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ２を進行したもの（波長W1[nm]）を受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W3[nm]）に変換する。さらに、波長変化部１４は、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ３を進行したもの（波長W1[nm]）を受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W4[nm]）に変換する。

【0085】

波長変化部１４の構成は、第一の実施形態およびその変形例と同様である（図２および図４参照）。ただし、さらに、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ３を進行したものが伝播する分極反転部１４４が、所定の間隔Ｄ３をあけて配置される（ただし、Ｄ３はＤ１ともＤ２とも異なる）。

【0086】

ミラー１５４は、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ３を進行したものを受け、ダイクロイックミラー１６２に向けて反射する。

【0087】

ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６２は、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ２を進行したものと、ミラー１５４からの反射光（第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ３を進行したもの）とを合波し、ダイクロイックミラー１６４に向けて反射する。

【0088】

ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６４は、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ１を進行したものと、ダイクロイックミラー１６２からの光（第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ２を進行したものと、光路ＯＰ３を進行したものとを合波したもの）とを合波し、所定の周波数（2kHz）を有する第三パルス（フィルタリング前）Ｐ３ａを出力する。

【0089】

次に、第三の実施形態の動作を説明する。

【0090】

まず、励起レーザ１０が、所定の波長W1[nm]のレーザ光を、所定の周波数（例えば、2kHz）の第一パルスＰ１（図７参照）として出力する。第一パルスＰ１は、光減衰器１１により減衰されてから、音響光学偏向器１２０に与えられる。タイミング制御回路１９が、音響光学偏向器１２０の出力タイミング（図７参照）を制御する。

【0091】

音響光学偏向器１２０が、第一パルスＰ１の１＋３N番目（１、４、７、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学偏向器１２０に音響波を与えない。これにより、第一パルスＰ１の１＋３N番目のパルスは、そのまま、まっすぐ音響光学偏向器１２０を透過する（光路ＯＰ１）。よって、光路ＯＰ１を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（３個）で割った値の周波数（2/3kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0092】

音響光学偏向器１２０が、第一パルスＰ１の２＋３N番目（２、５、８、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学偏向器１２０に音響波（角周波数ω２）を与える。これにより、第二パルスＰ１の２＋３N番目のパルスは、ある程度、回折しながら音響光学偏向器１２０を透過する（光路ＯＰ２）。よって、光路ＯＰ２を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（３個）で割った値の周波数（2/3kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0093】

音響光学偏向器１２０が、第一パルスＰ１の３＋３N番目（３、６、９、…番目）のパルスを受けた時点では、音響光学偏向器１２０に音響波（角周波数ω３）を与える。これにより、第二パルスＰ１の３＋３N番目のパルスは、ある程度、回折しながら音響光学偏向器１２０を透過する（光路ＯＰ３）。よって、光路ＯＰ３を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（３個）で割った値の周波数（2/3kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0094】

しかも、光路ＯＰ１を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相と、光路ＯＰ２を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相とは１２０度異なる。光路ＯＰ２を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相と、光路ＯＰ３を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相とは１２０度異なる。光路ＯＰ１を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相と、光路ＯＰ３を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相とは２４０度異なる。

【0095】

光路ＯＰ１を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、波長変化部１４において所定の間隔Ｄ１をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW2[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0096】

光路ＯＰ２を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、波長変化部１４において所定の間隔Ｄ２をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW3[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、ダイクロイックミラー１６２により反射されてから、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0097】

光路ＯＰ３を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、波長変化部１４において所定の間隔Ｄ２をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW4[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、ミラー１５４により反射されてから、ダイクロイックミラー１６２を介して、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0098】

波長変化部１４の出力する第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、波長W2[nm]のものと、波長W3[nm]のものと、波長W4[nm]のものとがダイクロイックミラー１６４により合波され、所定の周波数（2kHz）を有する第三パルス（フィルタリング前）Ｐ３ａとなる。

【0099】

【0100】

第三の実施形態によれば、音響光学変調器１２にかえて、音響光学偏向器１２０を用いたため、複数の光路を３個（光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３）に増やすことができる。これにより、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂは、波長W2[nm]のパルス光が照射されてから、すぐに（例えば、500マイクロ秒）別の波長W3[nm]のパルス光を照射される。しかも、波長W3[nm]のパルス光が照射されてから、すぐに（例えば、500マイクロ秒）さらに別の波長W4[nm]のパルス光を照射される。すなわち、第三の実施形態によれば、ある波長のパルス光を照射してから、すぐに別の波長のパルス光を照射し、すぐにさらに別の波長のパルス光を照射することができる。このように、第三の実施形態によれば、３種類の波長のパルス光を照射することが可能となる。

【0101】

なお、第三の実施形態においては、複数の光路を３個と説明したが、４個以上にしてもかまわない。これにより、４種類以上の波長のパルス光を照射することが可能となる。

【0102】

また、第三の実施形態においては、第一の実施形態と同じく、ＬＮ結晶基板１４２は、ただ一つであり、分極反転部１４４の全てが形成されている。しかし、第二の実施形態のように、ＬＮ結晶基板を、伝播する進行光（光路ＯＰ１を進行したものと、光路ＯＰ２を進行したものと、光路ＯＰ３を進行したもの）ごとに設けてもよい。

【0103】

第四の実施形態
第四の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、音響光学偏向器（AOD）（光路決定部）１２０に替えて、光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）を用いる点が第三の実施形態にかかるレーザ光出力装置１と主に異なる。

【0104】

図８は、第四の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。図９は、第四の実施形態にかかるレーザ光出力装置１における光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）の近傍の拡大図である。

【0105】

第四の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、光減衰器（ATT）１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａ、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ、ロンボイドプリズム１３ａ、１３ｂ、波長変化部（PPLN）１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、ミラー１５４、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６２、１６４、フィルタ（F）１７２、１７４、１７６、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９、レンズ（L）１９２を備える。以下、第三の実施形態と同様な部分は同一の符号を付して説明を省略する。

【0106】

励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、ミラー１５４、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６２、１６４、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９は、第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、光ファイバ（MMF）１８は、ダイクロイックミラー１６４の出力する第三パルスＰ３を、レンズ（L）１９２を介して、その一端で受け、他端から出力する。また、タイミング制御回路１９は、光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）の出力タイミング（図７のＰ２ａを参照）を制御する。

【0107】

光路決定部は、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂを有する。第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂの平面形状は、双方ともに、長方形である。

【0108】

第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａの長い方の辺は、第一パルスＰ１を受ける。第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａの短い方の辺は、光路ＯＰ２に対し、左回りにθB（ブラッグ角）だけ傾いている。

【0109】

第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂの長い方の辺は、第一音響光学変調器１２ａの出力を受ける。第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂの短い方の辺は、光路ＯＰ２に対し、右回りにθB（ブラッグ角）だけ傾いている。

【0110】

第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａは、第一パルスＰ１を受け、第一パルスＰ１の一つずつについて複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２のいずれか一つに光路を決定して出力する。第四の実施形態においては、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａは、第一パルスＰ１の一つずつを、回折（光路ＯＰ１）または直進（光路ＯＰ２）させて出力する。

【0111】

第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂは、第一音響光学変調器１２ａの出力を受け、第一音響光学変調器１２ａの出力のパルス一つずつについて一つ以上の光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３のいずれか一つに光路を決定して出力する。第四の実施形態においては、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂは、第一パルスが直進（光路ＯＰ２）したものを受けて回折（光路ＯＰ３）または直進（光路ＯＰ２）させて出力し、第一パルスが回折（光路ＯＰ１）したものを受けて直進（光路ＯＰ１）させて出力する。

【0112】

なお、第四の実施形態にかかる第一パルスＰ１、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂ、第三パルスＰ３（光ファイバ（MMF）１８への入力）のタイミングチャートは、図７と同様である（ただし、図７のＰ３ｂはＰ３に読み替えるものとする）。

【0113】

例えば、図９および図７を参照して、光路決定部が第一パルスＰ１の１＋３N番目（１、４、７、…番目）（ただし、Nは0以上の整数）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに音響波を与え、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂには音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の１＋３N番目のパルスは、光路ＯＰ１（図９参照）を進行する。

【0114】

また、光路決定部が第一パルスＰ１の２＋３N番目（２、５、８、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａにも、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂにも音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の２＋３N番目のパルスは、光路ＯＰ２（図９参照）を進行する。

【0115】

また、光路決定部が第一パルスＰ１の３＋３N番目（３、６、９、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａには音響波を与えず、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂには音響波を与える。すると、第一パルスＰ１の３＋３N番目のパルスは、光路ＯＰ３（図９参照）を進行する。

【0116】

これにより、光路決定部は、複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３の各々から、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（３個）で割った値の周波数（2/3kHz）を有し、かつそれぞれ位相が１２０度異なるパルスである第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａを出力する。

【0117】

ロンボイドプリズム１３ａは、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａのうち、光路ＯＰ１を進行したものを受け、光路を平行に、かつ光路ＯＰ１から離れるように変更する。ロンボイドプリズム１３ｂは、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａのうち、光路ＯＰ３を進行したものを受け、光路を平行に、かつ光路ＯＰ３から離れるように変更する。

【0118】

光減衰器（ATT）１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、光路ＯＰ１を進行した光（ロンボイドプリズム１３ａの出力）、光路ＯＰ２を進行した光、光路ＯＰ３を進行した光（ロンボイドプリズム１３ｂの出力）を減衰させて、波長変化部（PPLN）１４ａ、１４ｂ、１４ｃに与える。

【0119】

波長変化部（PPLN）１４ａ、１４ｂは、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。波長変化部（PPLN）１４ｃは、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ３を進行したもの（波長W1[nm]）をロンボイドプリズム１３ｂから受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W4[nm]）に変換する。波長変化部１４ｂの構成は、図２または図４のうち、所定の間隔Ｄ２（ただし、所定の間隔Ｄ２をＤ３に変更する）をあけて配置されている分極反転部１４４と、それが形成されているＬＮ結晶基板１４２とに相当する。

【0120】

なお、波長変化部１４ａの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｂの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｃの有するＬＮ結晶基板とは別のものである。すなわち、波長変化部１４ａの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｂの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｃの有するＬＮ結晶基板とは、伝播する進行光（光路ＯＰ１を進行したものと、光路ＯＰ２を進行したものと、光路ＯＰ３を進行したもの）ごとに設けられている。

【0121】

フィルタ（F）１７２、１７４、１７６は、波長変化部（PPLN）１４ａ、１４ｂ、１４ｃの出力から、ポンプ光およびアイドラ光を除去して、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６４、１６２、ミラー１５４に出力する。

【0122】

レンズ（L）１９２は、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６４の出力を受け、光ファイバ（MMF）１８に与える。

【0123】

次に、第四の実施形態の動作を説明する。

【0124】

まず、励起レーザ１０が、所定の波長W1[nm]のレーザ光を、所定の周波数（例えば、2kHz）の第一パルスＰ１（図７参照）として出力する。第一パルスＰ１は、光路決定部の第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに与えられる。タイミング制御回路１９が、光路決定部の出力タイミング（図７のＰ２ａ参照）を制御する。

【0125】

光路決定部が第一パルスＰ１の１＋３N番目（１、４、７、…番目）（ただし、Nは0以上の整数）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに音響波を与え、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂには音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の１＋３N番目のパルスは、光路ＯＰ１（図９参照）を進行する。よって、光路ＯＰ１を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（３個）で割った値の周波数（2/3kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる（図７参照）。

【0126】

光路決定部が第一パルスＰ１の２＋３N番目（２、５、８、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａにも、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂにも音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の２＋３N番目のパルスは、光路ＯＰ２（図９参照）を進行する。よって、光路ＯＰ２を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（３個）で割った値の周波数（2/3kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる（図７参照）。

【0127】

光路決定部が第一パルスＰ１の３＋３N番目（３、６、９、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａには音響波を与えず、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂには音響波を与える。すると、第一パルスＰ１の３＋３N番目のパルスは、光路ＯＰ３（図９参照）を進行する。よって、光路ＯＰ３を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（３個）で割った値の周波数（2/3kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる（図７参照）。

【0128】

【0129】

光路ＯＰ１を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、ロンボイドプリズム１３ａにより光路が変化させられ、光減衰器（ATT）１１ａにより減衰されて、波長変化部（PPLN）１４ａに与えられる。さらに、波長変化部（PPLN）１４ａに与えられた光は、波長変化部１４ａにおいて所定の間隔Ｄ１をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW2[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、フィルタ（F）１７２によりポンプ光およびアイドラ光が除去されてから、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0130】

光路ＯＰ２を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、光減衰器（ATT）１１ｂにより減衰されて、波長変化部（PPLN）１４ｂに与えられる。さらに、波長変化部（PPLN）１４ｂに与えられた光は、波長変化部１４ｂにおいて所定の間隔Ｄ２をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW3[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、フィルタ（F）１７４によりポンプ光およびアイドラ光が除去され、ダイクロイックミラー１６２により反射されてから、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0131】

光路ＯＰ３を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、ロンボイドプリズム１３ｂにより光路が変化させられ、光減衰器（ATT）１１ｃにより減衰されて、波長変化部（PPLN）１４ｃに与えられる。さらに、波長変化部（PPLN）１４ｃに与えられた光は、波長変化部１４ａにおいて所定の間隔Ｄ３をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW4[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、フィルタ（F）１７６によりポンプ光およびアイドラ光が除去され、ミラー１５４により反射されてから、ダイクロイックミラー１６２を介して、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0132】

波長変化部１４ａ、１４ｂ、１４ｃの出力する第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、波長W2[nm]のものと、波長W3[nm]のものと、波長W4[nm]のものとがダイクロイックミラー１６４により合波され、所定の周波数（2kHz）を有する第三パルスＰ３となる。

【0133】

第三パルスＰ３は、レンズ（L）１９２を透過して、光ファイバ（MMF）１８に与えられる。

【0134】

第四の実施形態によれば、第三の実施形態における音響光学偏向器１２０にかえて、音響光学変調器を２個（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）用いることで、第三の実施形態と同様に３種類の波長のパルス光を照射することが可能となる。なお、音響光学偏向器よりも音響光学変調器（２個）の方が、レーザ光出力装置１への実装が容易で、低コストといった利点がある。

【0135】

また、第四の実施形態においては、第三の実施形態と同じく、ＬＮ結晶基板１４２は、ただ一つであり、分極反転部１４４の全てが形成されているようにしてもよい。

【0136】

なお、第四の実施形態においては、光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）の動作について、以下のような変形例が考えられる。

【0137】

図１２は、第四の実施形態の変形例にかかるレーザ光出力装置１における光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）の近傍の拡大図である。

【0138】

第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａは、第一パルスＰ１を受け、第一パルスＰ１の一つずつについて複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２のいずれか一つに光路を決定して出力する。例えば、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａは、第一パルスＰ１の一つずつを、回折（光路ＯＰ１）または直進（光路ＯＰ２）させて出力する。ここまでは、第四の実施形態と同じである。

【0139】

ここで、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂは、第一音響光学変調器１２ａの出力を受け、第一音響光学変調器１２ａの出力のパルス一つずつについて一つ以上の光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３のいずれか一つに光路を決定して出力する。第四の実施形態の変形例においては、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂは、第一パルスが直進（光路ＯＰ２）したものを受けて直進させ（光路ＯＰ２）（回折させない点が第四の実施形態と異なる）、第一パルスが回折（光路ＯＰ１）したものを受けて回折（光路ＯＰ３）または直進（光路ＯＰ１）させて（回折させることがある点が第四の実施形態と異なる）出力する。

【0140】

なお、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂの短い方の辺は、光路ＯＰ１に対し、左回りにθB（ブラッグ角）だけ傾いている。

【0141】

第五の実施形態
第五の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、第四の実施形態と同じく２個の音響光学変調器（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）を用いながら、４種類の波長のパルス光を照射する点が第四の実施形態にかかるレーザ光出力装置１と主に異なる。

【0142】

図１０は、第五の実施形態にかかるレーザ光出力装置１の構成を示す図である。図１１は、第五の実施形態にかかるレーザ光出力装置１における光路決定部（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）の近傍の拡大図である。

【0143】

第五の実施形態にかかるレーザ光出力装置１は、励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、光減衰器（ATT）１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａ、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ、ロンボイドプリズム１３ｃ、１３ｄ、１３ｅ、１３ｆ、波長変化部（PPLN）１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、ミラー１５４、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６１、１６２、１６４、フィルタ（F）１７２、１７４、１７６、１７８、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９、レンズ（L）１９２を備える。以下、第四の実施形態と同様な部分は同一の符号を付して説明を省略する。

【0144】

励起レーザ（パルスレーザ出力部）１０、光減衰器（ATT）１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、波長変化部（PPLN）１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、ミラー１５４、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６２、１６４、フィルタ（F）１７２、１７４、１７６、光ファイバ（MMF）１８、タイミング制御回路（タイミング制御部）１９、レンズ（L）１９２は、第四の実施形態と同様であり、説明を省略する。

【0145】

ただし、ミラー１５４は、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ４を進行したものを受け、ダイクロイックミラー１６１に向けて反射する。ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６２は、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、光路ＯＰ２を進行したものと、ダイクロイックミラー１６１からの反射光とを合波し、ダイクロイックミラー１６４に向けて反射する。フィルタ（F）１７６は、波長変化部（PPLN）１４ｃの出力から、ポンプ光およびアイドラ光を除去して、ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）１６１に出力する。

【0146】

フィルタ（F）１７８は、波長変化部（PPLN）１４ｄの出力から、ポンプ光およびアイドラ光を除去して、ミラー１５４に出力する。

【0147】

【0148】

第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａの長い方の辺と、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂの長い方の辺とは、互いに平行である。なお、光路ＯＰ４は、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａの短い方の辺に対し、右回りにθB（ブラッグ角）だけ傾いている。第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａの長い方の辺は第一パルスＰ１を受け、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂの長い方の辺は第一音響光学変調器１２ａの出力を受ける。

【0149】

第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａは、第一パルスＰ１を受け、第一パルスＰ１の一つずつについて複数の光路ＯＰ１、ＯＰ４のいずれか一つに光路を決定して出力する。第五の実施形態においては、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａは、第一パルスＰ１の一つずつを、回折（光路ＯＰ１）または直進（光路ＯＰ４）させて出力する。

【0150】

第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂは、第一音響光学変調器１２ａの出力を受け、第一音響光学変調器１２ａの出力のパルス一つずつについて一つ以上の光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３、ＯＰ４のいずれか一つに光路を決定して出力する。第五の実施形態においては、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂが、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａの出力のパルス一つずつを、回折（光路ＯＰ２、ＯＰ３）または直進（光路ＯＰ１、ＯＰ４）させて出力する。より詳細には、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂは、第一パルスが直進（光路ＯＰ４）したものを受けて回折（光路ＯＰ２）または直進（光路ＯＰ４）させて出力し、第一パルスが回折（光路ＯＰ１）したものを受けて回折（光路ＯＰ３）または直進（光路ＯＰ１）させて出力する。

【0151】

【0152】

また、光路決定部が第一パルスＰ１の２＋４N番目（２、６、１０、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに音響波を与えず、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂには音響波を与える。すると、第一パルスＰ１の２＋４N番目のパルスは、光路ＯＰ２（図１１参照）を進行する。

【0153】

また、光路決定部が第一パルスＰ１の３＋４N番目（３、７、１１、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに音響波を与え、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂにも音響波を与える。すると、第一パルスＰ１の３＋４N番目のパルスは、光路ＯＰ３（図１１参照）を進行する。

【0154】

また、光路決定部が第一パルスＰ１の４＋４N番目（４、８、１２、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａには音響波を与えず、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂにも音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の４＋４N番目のパルスは、光路ＯＰ４（図１１参照）を進行する。

【0155】

これにより、光路決定部は、複数の光路ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３、ＯＰ４の各々から、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（４個）で割った値の周波数（1/2kHz）を有し、かつそれぞれ位相が９０度異なるパルスである第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａを出力する。

【0156】

ロンボイドプリズム１３ｃは、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａのうち、光路ＯＰ１を進行したものを受け、光路を平行に、かつ光路ＯＰ１から離れるように変更する。ロンボイドプリズム１３ｅは、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａのうち、光路ＯＰ２を進行したものを受け、光路を平行に、かつ光路ＯＰ２から離れるように変更する。ロンボイドプリズム１３ｆは、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａのうち、光路ＯＰ３を進行したものを受け、光路を平行に、かつ光路ＯＰ３から離れるように変更する。ロンボイドプリズム１３ｄは、第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａのうち、光路ＯＰ４を進行したものを受け、光路を平行に、かつ光路ＯＰ４から離れるように変更する。

【0157】

光減衰器（ATT）１１ｄは、光路ＯＰ４を進行した光（ロンボイドプリズム１３ｄの出力）を減衰させて、波長変化部（PPLN）１４ｄに与える。

【0158】

波長変化部（PPLN）１４ｄは、第二パルスＰ２ａのうち光路ＯＰ４を進行したもの（波長W1[nm]）をロンボイドプリズム１３ｄから受けて、第二パルスＰ２ｂ（波長W5[nm]）に変換する。波長変化部１４ｂの構成は、図２または図４のうち、所定の間隔Ｄ２（ただし、所定の間隔Ｄ２を、Ｄ１、Ｄ２およびＤ３のいずれとも異なるＤ４に変更する）をあけて配置されている分極反転部１４４と、それが形成されているＬＮ結晶基板１４２とに相当する。

【0159】

なお、波長変化部１４ａの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｂの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｃの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｄの有するＬＮ結晶基板とは別のものである。すなわち、波長変化部１４ａの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｂの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｃの有するＬＮ結晶基板と、波長変化部１４ｄの有するＬＮ結晶基板とは、伝播する進行光（光路ＯＰ１を進行したものと、光路ＯＰ２を進行したものと、光路ＯＰ３を進行したものと、光路ＯＰ４を進行したもの）ごとに設けられている。

【0160】

次に、第五の実施形態の動作を説明する。

【0161】

まず、励起レーザ１０が、所定の波長W1[nm]のレーザ光を、所定の周波数（例えば、2kHz）の第一パルスＰ１として出力する。第一パルスＰ１は、光路決定部の第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに与えられる。タイミング制御回路１９が、光路決定部の出力タイミングを制御する。

【0162】

光路決定部が第一パルスＰ１の１＋４N番目（１、５、９、…番目）（ただし、Nは0以上の整数）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに音響波を与え、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂには音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の１＋４N番目のパルスは、光路ＯＰ１（図１１参照）を進行する。よって、光路ＯＰ１を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（４個）で割った値の周波数（1/2kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0163】

光路決定部が第一パルスＰ１の２＋４N番目（２、６、１０、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに音響波を与えず、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂには音響波を与える。すると、第一パルスＰ１の２＋４N番目のパルスは、光路ＯＰ２（図１１参照）を進行する。よって、光路ＯＰ２を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（４個）で割った値の周波数（1/2kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0164】

光路決定部が第一パルスＰ１の３＋４N番目（３、７、１１、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａに音響波を与え、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂにも音響波を与える。すると、第一パルスＰ１の３＋４N番目のパルスは、光路ＯＰ３（図１１参照）を進行する。よって、光路ＯＰ３を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（４個）で割った値の周波数（1/2kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0165】

光路決定部が第一パルスＰ１の４＋４N番目（４、８、１２、…番目）のパルスを受けた時点では、第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａには音響波を与えず、第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂにも音響波を与えない。すると、第一パルスＰ１の４＋４N番目のパルスは、光路ＯＰ４（図１１参照）を進行する。よって、光路ＯＰ４を進行する進行光は、所定の周波数（例えば、2kHz）を複数の光路の個数（４個）で割った値の周波数（1/2kHz）を有する第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａとなる。

【0166】

しかも、光路ＯＰ１を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相と、光路ＯＰ２を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相と、光路ＯＰ３を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相と、光路ＯＰ４を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ）の位相とは９０度ずつ異なる。

【0167】

光路ＯＰ１を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、ロンボイドプリズム１３ｃにより光路が変化させられ、光減衰器（ATT）１１ａにより減衰されて、波長変化部（PPLN）１４ａに与えられる。さらに、波長変化部（PPLN）１４ａに与えられた光は、波長変化部１４ａにおいて所定の間隔Ｄ１をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW2[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、フィルタ（F）１７２によりポンプ光およびアイドラ光が除去されてから、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0168】

光路ＯＰ２を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、ロンボイドプリズム１３ｅにより光路が変化させられ、光減衰器（ATT）１１ｂにより減衰されて、波長変化部（PPLN）１４ｂに与えられる。さらに、波長変化部（PPLN）１４ｂに与えられた光は、波長変化部１４ｂにおいて所定の間隔Ｄ２をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW3[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、フィルタ（F）１７４によりポンプ光およびアイドラ光が除去され、ダイクロイックミラー１６２により反射されてから、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0169】

光路ＯＰ３を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、ロンボイドプリズム１３ｆにより光路が変化させられ、光減衰器（ATT）１１ｃにより減衰されて、波長変化部（PPLN）１４ｃに与えられる。さらに、波長変化部（PPLN）１４ｃに与えられた光は、波長変化部１４ｃにおいて所定の間隔Ｄ３をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW4[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、フィルタ（F）１７６によりポンプ光およびアイドラ光が除去され、ダイクロイックミラー１６１により反射されてから、ダイクロイックミラー１６２を介して、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0170】

光路ＯＰ４を進行する進行光（第二パルス（波長変換前）Ｐ２ａ：波長W1[nm]）は、ロンボイドプリズム１３ｄにより光路が変化させられ、光減衰器（ATT）１１ｄにより減衰されて、波長変化部（PPLN）１４ｄに与えられる。さらに、波長変化部（PPLN）１４ｄに与えられた光は、波長変化部１４ｄにおいて所定の間隔Ｄ４をあけて配置されている分極反転部１４４を伝播し、波長がW5[nm]に変換され、第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂとなり、フィルタ（F）１７８によりポンプ光およびアイドラ光が除去され、ミラー１５４により反射されてから、ダイクロイックミラー１６１、１６２を介して、ダイクロイックミラー１６４に与えられる。

【0171】

波長変化部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの出力する第二パルス（波長変換後）Ｐ２ｂのうち、波長W2[nm]のものと、波長W3[nm]のものと、波長W4[nm]のものと、波長W5[nm]のものとがダイクロイックミラー１６４により合波され、所定の周波数（2kHz）を有する第三パルスＰ３となる。

【0172】

第三パルスＰ３は、レンズ（L）１９２を透過して、光ファイバ（MMF）１８に与えられる。

【0173】

第五の実施形態によれば、第四の実施形態と同じく、２個の音響光学変調器（第一音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ａおよび第二音響光学変調器（ＡＯＭ）１２ｂ）を用いながら、第四の実施形態よりも多い４種類の波長のパルス光を照射することが可能となる。

【0174】

また、第五の実施形態においては、第三の実施形態と同じく、ＬＮ結晶基板１４２は、ただ一つであり、分極反転部１４４の全てが形成されているようにしてもよい。

【0175】

第六の実施形態
第六の実施形態は、第一、第二、第三、第四および第五の実施形態（変形例を含む）にかかるレーザ光出力装置１を用いた光音響波測定装置１００に関するものである。

【0176】

図１３は、本発明の第六の実施形態にかかる光音響波測定装置１００の構成を示す機能ブロック図である。

【0177】

第六の実施形態にかかる光音響波測定装置１００は、測定対象２００（例えば、人体における3mm程度の深さまでの基底細胞がん近傍の新生血管であるが、それに限定されない）を測定するためのものであり、レーザ光出力装置１、測定部４を備える。

【0178】

レーザ光出力装置１は、第一、第二、第三、第四および第五の実施形態（変形例を含む）にかかるレーザ光出力装置１と同じものである。ただし、レーザ光出力装置１の出力するレーザ光ＰＬは、第一、第二、第三、第四および第五の実施形態（変形例を含む）における第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂが光ファイバ１８を通過したものである。なお、レーザ光出力装置１は、レーザ光ＰＬにおけるパルスが出力された時点に同期したトリガ信号を測定部４に与える。

【0179】

測定部４は、レーザ光ＰＬにより測定対象２００において発生した光音響波ＡＷに基づき測定対象２００を測定する。なお、測定部４は、レーザ光出力装置１から与えられたトリガ信号に同期した測定を行う。

【0180】

次に、第六の実施形態の動作を説明する。

【0181】

レーザ光出力装置１がレーザ光ＰＬを出力する。レーザ光ＰＬは、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂと同様なものである。

【0182】

レーザ光ＰＬは、測定対象２００に与えられる。レーザ光ＰＬが測定対象２００に与えられることにより、光音響波ＡＷが発生する。

【0183】

光音響波ＡＷに基づき、測定部４によって測定対象２００が測定される。

【0184】

第六の実施形態によれば、レーザ光ＰＬを測定対象２００に与えることにより、測定対象２００を光音響波測定することができる。しかも、測定対象２００に、ある波長のパルス光を照射してから、すぐに別の波長のパルス光を照射することは、第一、第二、第三、第四および第五の実施形態と同様に可能である。

【0185】

第七の実施形態
第七の実施形態は、第一、第二、第三、第四および第五の実施形態（変形例を含む）にかかるレーザ光出力装置１および超音波パルス出力部２を用いた光音響波測定装置１００に関するものである。

【0186】

図１４は、本発明の第七の実施形態にかかる光音響波測定装置１００の構成を示す機能ブロック図である。

【0187】

第七の実施形態にかかる光音響波測定装置１００は、測定対象２００（例えば、人体における3mm程度の深さまでの基底細胞がん近傍の新生血管であるが、それに限定されない）を測定するためのものであり、レーザ光出力装置１、超音波パルス出力部２、測定部４を備える。

【0188】

【0189】

超音波パルス出力部２は、超音波パルスＰＵを出力する。なお、超音波パルス出力部２は、超音波パルスＰＵにおけるパルスが出力された時点に同期したトリガ信号を測定部４に与える。

【0190】

測定部４は、超音波パルスＰＵが測定対象２００において反射された反射波ＵＳおよびレーザ光ＰＬにより測定対象２００において発生した光音響波ＡＷに基づき測定対象２００を測定する。なお、測定部４は、レーザ光出力装置１および超音波パルス出力部２から与えられたトリガ信号に同期した測定を行う。

【0191】

次に、第七の実施形態の動作を説明する。

【0192】

レーザ光出力装置１がレーザ光ＰＬを出力する。レーザ光ＰＬは、第三パルス（フィルタリング後）Ｐ３ｂと同様なものである。超音波パルス出力部３２は、超音波パルスＰＵを出力する。

【0193】

レーザ光ＰＬおよび超音波パルスＰＵは、測定対象２００に与えられる。レーザ光ＰＬが測定対象２００に与えられることにより、光音響波ＡＷが発生する。超音波パルスＰＵが測定対象２００に与えられると、反射される。この反射波が反射波ＵＳである。

【0194】

反射波ＵＳおよび光音響波ＡＷに基づき、測定部４によって測定対象２００が測定される。

【0195】

第七の実施形態によれば、レーザ光ＰＬおよび超音波パルスＰＵを測定対象２００に与えることにより、測定対象２００を光超音波測定することができる。しかも、測定対象２００に、ある波長のパルス光を照射してから、すぐに別の波長のパルス光を照射することは、第一、第二、第三、第四および第五の実施形態と同様に可能である。

【符号の説明】

【0196】

Ｐ１第一パルス
Ｐ２ａ第二パルス（波長変換前）
Ｐ２ｂ第二パルス（波長変換後）
Ｐ３ａ第三パルス（フィルタリング前）
Ｐ３ｂ第三パルス（フィルタリング後）
ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３光路
１レーザ光出力装置
１０励起レーザ（パルスレーザ出力部）
１１光減衰器（ATT）
１２音響光学変調器（光路決定部）（AOM）
１２０音響光学偏向器（AOD）（光路決定部）
１３ロンボイドプリズム
１４、１４ａ、１４ｂ波長変化部（PPLN）
１４２ＬＮ結晶基板
１４４分極反転部
１５、１５４ミラー
１６、１６２、１６４ダイクロイックミラー（合波器）（DCM）
１７フィルタ（F）
１８光ファイバ（MMF）
２超音波パルス出力部
４測定部
１００光音響波測定装置
２００測定対象

【図1】