特許 7253798 ランプ保持用カセット、およびそれを用いた露光装置用光源

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-03-30

(45)【発行日】2023-04-07

(54)【発明の名称】ランプ保持用カセット、およびそれを用いた露光装置用光源

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20230331BHJP

【ＦＩ】

G03F7/20 501

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2019208327

(22)【出願日】2019-11-18

(65)【公開番号】P2021081560

(43)【公開日】2021-05-27

【審査請求日】2022-05-16

(73)【特許権者】

【識別番号】510138741

【氏名又は名称】フェニックス電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100147706

【弁理士】

【氏名又は名称】多田 裕司

(72)【発明者】

【氏名】松本 弘

【審査官】田中 秀直

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－２５６５３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１４／１０４０１３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－２０６７３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０３７３３６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｆ ７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも第１本体部および第２本体部を備えており、
前記第１本体部および前記第２本体部には、それぞれ複数のランプが取り付けられる複数のランプ取付凹所が形成されており、
前記第１本体部における第１側面は、前記第２本体部における第２側面と組み合わせて互いに接合できるようになっており、
前記第１本体部における前記第１側面の一方端部は、前記第２本体部における前記第２側面の一方端部に対して円柱状のピンで取り付けられており、
前記第１本体部は、前記第２本体部に対して、前記ピンを中心として回動可能となっている
ランプ保持用カセット。

【請求項2】

前記ランプ取付凹所の内側面には、前記内側面から突設された突部が形成されており、
前記突部は、前記ランプ取付凹所に取り付けられる前記ランプが正しい位置にない場合において前記ランプに当たるようになっている
請求項１に記載のランプ保持用カセット。

【請求項3】

請求項１または２に記載のランプ保持用カセットを備える
露光装置用光源。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば露光装置用光源として使用される、複数のランプをひとまとめにして保持するランプ保持用カセットに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば露光装置に使用される光源など大きな光量が必要な光源に対して、従来は大型の放電灯等のランプをひとつ設けるのが主流であったが、当該ランプが故障すると光源が失光してしまい露光装置全体を停止しなければならなくなることや、メンテナンスの困難性等の問題から、近年では、小型の放電灯等のランプを複数並べて配置することにより、必要な光量を放射できる光源を構成する技術が開発されている。

【0003】

例えば特許文献１には、複数のランプを並べて所望の位置に容易に配置できるように、これらランプを個々に保持する複数の凹所を備えるカセットを用いる技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１６－２００７５１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に開示されたランプ保持用カセットにも改善すべき点があった。

【0006】

複数のランプを使用する露光装置用光源では、例えば図９および図１０に示すように、各ランプＬからの光の利用効率を向上させるために、各ランプＬが互いに密に配置される。このため、ひとつのランプＬをカセットＣに取り付けようとする際、近傍のランプＬやそのランプＬへの配線Ｘが邪魔になってしまい、ランプＬの取り付け作業が困難になり、悪くすると、適切な位置にランプＬが取り付けられないことが考えられた。

【0007】

ランプＬの取り付け作業が困難になると、ひとつの露光装置用光源に複数のランプＬを取り付ける作業時間が長くなり、露光装置全体のメンテナンスコストを押し上げる要因となる。また、適切な位置にランプＬが取り付けられない場合は、露光面における照度が低下して露光品質の低下を招くおそれがあった。

【0008】

本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のランプが互いに密に配置される場合であっても、近傍のランプやそのランプへの配線が邪魔になり難く、ランプの取り付け作業を容易にして、適切な位置にランプが取り付けられないおそれを低減できるランプ保持用カセットおよびそれを用いた露光装置用光源を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一局面によれば、
少なくとも第１本体部および第２本体部を備えており、
前記第１本体部および前記第２本体部には、それぞれ複数のランプが取り付けられる複数のランプ取付凹所が形成されており、
前記第１本体部における第１側面は、前記第２本体部における第２側面と組み合わせて互いに接合できるようになっており、
前記第１本体部における前記第１側面の一方端部は、前記第２本体部における前記第２側面の一方端部に対して円柱状のピンで取り付けられており、
前記第１本体部は、前記第２本体部に対して、前記ピンを中心として回動可能となっている
ランプ保持用カセットが提供される。

【0012】

好適には、
前記ランプ取付凹所の内側面には、前記内側面から突設された突部が形成されており、
前記突部は、前記ランプ取付凹所に取り付けられる前記ランプが正しい位置にない場合において前記ランプに当たるようになっている。

【0013】

本発明の他の局面によれば、
上述したランプ保持用カセットを備える
露光装置用光源が提供される。

【発明の効果】

【0014】

本発明に係るランプ保持用カセットによれば、当該ランプ保持用カセットは少なくとも第１本体部と第２本体部とに分けて構成されており、第１本体部における第１側面は、第２本体部における第２側面と組み合わせて互いに接合できるようになっている。

【0015】

これにより、第１本体部のランプ取付凹所における所定の位置にランプを取り付けるとともに当該ランプに対する配線を済ませておき、第２本体部についても同様に済ませておいた後、第１本体部および第２本体部を互いに組み合わせてランプ保持用カセットを完成させることができるので、複数のランプが互いに密に配置される場合であっても、近傍のランプやそのランプへの配線が邪魔になり難くなり、ランプの取り付け作業が容易になるとともに、適切な位置にランプが取り付けられなくなるおそれを低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明が適用された、実施形態に係るランプ保持用カセット１０（開いた状態）を示す正面図である。

【図2】本発明が適用された、実施形態に係るランプ保持用カセット１０（ランプＬを取り付けて開いた状態）を示す斜視図である。

【図3】本発明が適用された、実施形態に係るランプ保持用カセット１０（ランプＬおよび配線Ｘを取り付けて開いた状態）を示す正面図である。

【図4】本発明が適用された、実施形態に係るランプ保持用カセット１０（閉じた状態）を示す正面図である。

【図5】Ｖ－Ｖ矢視による断面図である。

【図6】ＶＩ－ＶＩ部分の拡大図である。

【図7】変形例１に係るランプ保持用カセット１０（ランプＬを取り付けて開いた状態）を示す斜視図である。

【図8】変形例２に係るランプ保持用カセット１０（ランプＬを取り付けて開いた状態）を示す斜視図である。

【図9】従来技術を示す図である。

【図10】従来技術を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

（ランプ保持用カセット１０の構成）
以下、図面を用いて、本発明に係るランプ保持用カセット１０の構成について説明する。

【0018】

図１から図３に示すように、ランプ保持用カセット１０は、大略、第１本体部１２と、第２本体部１４と、ピン１６とで構成されている。

【0019】

第１本体部１２は、複数のランプＬが取り付けられる部材であり、これらランプＬを取り付けるためのランプ取付凹所２０が複数形成されている。

【0020】

なお、本実施形態では、ランプＬとしてリフレクター付きの放電灯が使用されているが、ランプＬの種類はこれに限定されるものではなく例えば白熱灯やＬＥＤであってもよいし、リフレクターの有無についても限定されない。

【0021】

また、本実施形態では、第１本体部１２にはランプ取付凹所２０が２列に形成されており、１列当り５箇所のランプ取付凹所２０が形成されていることから、合計で１０箇所のランプ取付凹所２０が形成されている。ランプ取付凹所２０の列数は特に限定されるものではないが、ランプＬに対する配線作業のしやすさに鑑みると２列に形成するのが好適である。また、１列当りのランプ取付凹所２０の個数も特に限定されない。

【0022】

図４から図６に示すように、各ランプ取付凹所２０には、１つのランプＬにおけるリフレクターＲの開口Ｏ側が嵌め込まれるようになっている。また、各ランプ取付凹所２０の内側面Ｓにおける底端部からは、リフレクターＲにおける開口Ｏ側の開口端部Ｔにおける端縁面Ｈが当接するランプ当接部２２が形成されており、リフレクターＲの端縁面Ｈを当該ランプ当接部２２に当接させることにより、ランプ保持用カセット１０に対するランプＬの位置決めが正しくできるようになっている。

【0023】

さらに、各ランプ取付凹所２０の内側面Ｓには、当該内側面Ｓから突設された突部２４が形成されている。この突部２４は、上述したようにランプＬにおけるリフレクターＲの端縁面Ｈをランプ当接部２２に当接させることによって当該ランプＬを正しく位置決めした状態で、リフレクターＲの開口端部Ｔにおける端縁面Ｈとは反対側の端縁背面Ｆに当接するか、あるいは、当該端縁背面Ｆの近傍に位置するように設定されている。これにより、ランプＬがランプ取付凹所２０に対してずれたとき、つまり、ランプＬがランプ取付凹所２０に対して正しい位置にない場合において、突部２４がリフレクターＲの端縁背面Ｆに当たるようになり、ランプＬがランプ取付凹所２０の正しい位置から不所望にずれるのを回避できるようになっている。

【0024】

なお、この突部２４は本件発明の必須構成要素ではないので、突部２４を設けることなくランプ保持用カセット１０を構成してもよい。

【0025】

図１から図３に戻り、第２本体部１４も、基本的に第１本体部１２と同じ構成であり、ここまでの第１本体部１２に関する説明を第２本体部１４の説明として援用する。

【0026】

本実施形態に係るランプ保持用カセット１０において、第１本体部１２における第１側面２６の一方端部は、第２本体部１４における第２側面２８の一方端部に対して円柱状のピン１６で取り付けられており、第１本体部１２が第２本体部１４に対してピン１６を中心として回動可能となっている。

【0027】

これにより、第１本体部１２における第１側面２６は、第２本体部１４における第２側面２８に対して近接離間可能になっており、当該第２側面２８と組み合わせて互いに接合できるようになっている。また、本実施形態では、第１本体部１２における第１側面２６の他方端部にラッチ金具２７が取り付けられている。第１本体部１２と第２本体部１４とが組み合わされて互いに接合した状態で当該ラッチ金具２７を第２本体部１４における第２側面２８の他方端部に形成された係合部２９と係合させることにより、第１本体部１２と第２本体部１４とが互いに接合された状態を維持できる。

【0028】

なお、本実施形態において、ピン１６は第１本体部１２および第２本体部１４から独立した別個の部材となっているが、当該ピン１６を第１本体部１２あるいは第２本体部１４と一体に形成してもよい。

【0029】

また、本実施形態に係るランプ保持用カセット１０には、第２本体部１４における第２側面２８からガイドピン４０が突設されており、第１本体部１２における第１側面２６の対応する位置には、当該ガイドピン４０が挿入されるガイドピン挿入穴４２が形成されている。第１側面２６と第２側面２８とを組み合わせ互いに接合する際、ガイドピン４０をガイドピン挿入穴４２に挿入することにより、ずれが生じることなく正しい位置で第１本体部１２と第２本体部１４とを接合することができる。

【0030】

（ランプ保持用カセット１０の特徴）
本実施形態に係るランプ保持用カセット１０によれば、当該ランプ保持用カセット１０が第１本体部１２と第２本体部１４とに分けて構成されており、第１本体部１２が第２本体部１４に対してピン１６を中心として回動可能となっていることにより、第１本体部１２における第１側面２６は、第２本体部１４における第２側面２８と組み合わせて互いに接合させたり、互いに離間させたりできるようになっている。

【0031】

これにより、第１本体部１２のランプ取付凹所２０における所定の位置にランプＬを取り付けるとともに当該ランプＬに対する配線Ｘを済ませておき、第２本体部１４についても同様に済ませておいた後、第１本体部１２および第２本体部１４を互いに組み合わせてランプ保持用カセット１０を完成させることができるので、複数のランプＬが互いに密に配置される場合であっても、近傍のランプＬやそのランプＬへの配線Ｘが邪魔になり難くなり、ランプＬの取り付け作業が容易になるとともに、適切な位置にランプＬが取り付けられなくなるおそれを低減できる。

【0032】

（変形例１）
上述した実施形態では、ピン１６を中心として第１本体部１２を第２本体部１４に対して回動可能にしていたが、これに代えて、図７に示すように、第１本体部１２における第１側面２６と第２本体部１４における第２側面２８とが互いに対向した状態で、第１本体部１２と第２本体部１４との間隔を平行に広げたり狭めたりできるガイド部材３０を設けてもよい。

【0033】

ランプ保持用カセット１０には、このガイド部材３０が２本一組で使用されている。各ガイド部材３０は、それぞれ、第１本体部１２における第１側面２６に直交するスライド面３２と、第２本体部１４における第２側面２８に直交するスライド面３４との間に架設されている。また、各スライド面３２，３４は、ガイド部材３０に対して摺動自在になっている。

【0034】

これにより、上述した実施形態に係るランプ保持用カセット１０と同じく、第１本体部１２における第１側面２６を、第２本体部１４における第２側面２８と組み合わせて互いに接合させたり、互いに離間させたりできるようになっている。

【0035】

（変形例２）
さらに言えば、図８に示すように、第１本体部１２と第２本体部１４とを完全に分離させて構成してもよい。この場合も第１本体部１２における第１側面２６と第２本体部１４における第２側面２８とが組み合わされて互いに接合した状態で、第１側面２６の両端に設けられたラッチ金具２７を第２本体部１４における第２側面２８の両端に形成された係合部２９と係合させることにより、第１本体部１２と第２本体部１４とが互いに接合された状態を維持できる。

【0036】

（変形例３）
また、第１本体部１２や第２本体部１４の面形状は、実施形態のような長方形状（矩形状）に限定されるものではなく、多角形状やＬ字状など、どのような形状であってもよい。

【0037】

（変形例４）
ここまでに説明した各実施形態では、ランプ保持用カセット１０は、第１本体部１２および第２本体部１４の大略２つの部材で構成されていたが、例えば、第２本体部１４における第２側面２８に対向する側面に組み合わされる第３本体部をさらに設けて、ランプ保持用カセット１０を大略３つの部材で構成してもよい。さらに、大略４つ以上の部材でランプ保持用カセット１０を構成してもよい。

【0038】

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0039】

１０…ランプ保持用カセット、１２…第１本体部、１４…第２本体部、１６…ピン
２０…ランプ取付凹所、２２…ランプ当接部、２４…突部、２６…（第１本体部１２の）第１側面、２７…ラッチ金具、２８…（第２本体部１４の）第２側面、２９…係合部
３０…ガイド部材、３２…スライド面、３４…スライド面
４０…ガイドピン、４２…ガイドピン挿入穴
Ｌ…ランプ、Ｘ…配線、Ｒ…リフレクター、Ｏ…（リフレクターＲの）開口、Ｔ…（リフレクターＲの）開口端部、Ｈ…（開口Ｏ側の）端縁面、Ｓ…内側面、Ｆ…端縁背面、Ｃ…（従来の）カセット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】