特許 7254195 ＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-03-30

(45)【発行日】2023-04-07

(54)【発明の名称】ＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   C04B 35/16 20060101AFI20230331BHJP

   C04B 35/495 20060101ALI20230331BHJP

   C03C 12/00 20060101ALI20230331BHJP

   C03C 14/00 20060101ALI20230331BHJP

【ＦＩ】

C04B35/16

C04B35/495

C03C12/00

C03C14/00

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2021544937

(86)(22)【出願日】2021-03-02

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-06-23

(86)【国際出願番号】 CN2021078758

(87)【国際公開番号】W WO2021185075

(87)【国際公開日】2021-09-23

【審査請求日】2021-08-02

(31)【優先権主張番号】202010188993.5

(32)【優先日】2020-03-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】519433698

【氏名又は名称】広東風華高新科技股▲フン▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＧＵＡＮＧＤＯＮＧ ＦＥＮＧＨＵＡ ＡＤＶＡＮＣＥＤ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＨＯＬＤＩＮＧ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】Ｆｅｎｇｈｕａ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｃｉｔｙ Ｎｏ．１８ Ｆｅｎｇｈｕａ Ｒｏａｄ Ｚｈａｏｑｉｎｇ，Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ ５２６０００（ＣＮ）

(74)【代理人】

【識別番号】110001139

【氏名又は名称】ＳＫ弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100130328

【弁理士】

【氏名又は名称】奥野 彰彦

(74)【代理人】

【識別番号】100130672

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 寛之

(72)【発明者】

【氏名】陳涛

(72)【発明者】

【氏名】程凱

(72)【発明者】

【氏名】曹秀華

(72)【発明者】

【氏名】沓世我

(72)【発明者】

【氏名】付振暁

【審査官】末松 佳記

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０９５３４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２０３６４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１０４２０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０５８０１１１９（ＣＮ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１０２２９００４（ＣＮ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０８４０９３２５（ＣＮ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０６６９９１５０（ＣＮ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０３５７０３４９（ＣＮ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第２００３－００５２４６１（ＫＲ，Ａ）

【文献】LEI, Wen et al.，Controllable τf value of barium silicate microwave dielectric ceramics with different Ba/Si ratios，Journal of the American Ceramic Society，米国，2018年，Vol.101, No.1，PP.25-30，ISSN:0002-7820, DOI:10.1111/jace.15205

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０４Ｂ ３５／００－３５／８４

Ｈ０１Ｂ ３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料であって、
前記ＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の組成は、ａＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１＋（１－ａ）（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４＋Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスであり、ただし、０．４≦ａ≦０．８、０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦１、１－ｘ－ｙ－ｚ＝０である
ことを特徴とするＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料。

【請求項2】

前記Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスの重量は、Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１と（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４との合計重量の２～１５％である
ことを特徴とする請求項１に記載のＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料。

【請求項3】

請求項１又は２に記載のＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法であって、
Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１の化学量論比に従って原料を秤量し、秤量した原料をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、ボールミルにより４～１２ｈ時間処理して、取り出し、乾燥し、篩を通過させ、篩を通過した粉末を１１００～１２５０℃で焼成し、１～５時間保温し、室温まで冷却し、Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１１粉体を得るステップ（１）と、
（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４の化学量論比に従って原料を秤量し、秤量した原料をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより４～１２時間処理し、取り出し、乾燥し、篩を通過させ、篩を通過した粉末を７００～１０００℃で焼成し、１～５時間保温し、室温まで冷却し、（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４粉体を得るステップ（２）と、
Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスをボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、ボールミルにより２～６時間処理して、取り出し、乾燥し、Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラス粉末を得るステップ（３）と、
ステップ（１）で得られたＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１粉体、ステップ（２）で得られた（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４粉体、ステップ（３）で得られたＢａ－Ｂ－Ｓｉガラス粉末をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、ボールミルにより２～６時間処理して、取り出し、乾燥し、粉砕し、ＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスを製造するためのセラミック粉末を得るステップ（４）と、
ステップ（４）で得られたセラミック粉末にＰＶＡ溶液を添加して造粒し、円柱状のブロックにプレス成形し、８５０～９００℃で焼結し、０．５～３時間保温し、ＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスを得るステップ（５）と、を含む
ことを特徴とするＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法。

【請求項4】

前記ステップ（３）におけるＢａ－Ｂ－Ｓｉガラスは、
原料であるＳｉＯ_２、Ｈ_３ＢＯ_３、ＢａＣＯ_３、Ｎａ_２ＣＯ_３、Ｌｉ_２ＣＯ_３、ＣａＣＯ_３、ＳｒＣＯ_３、Ｋ_２ＣＯ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、ＭｇＯ、ＴｉＯ_２を秤量してボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより１～４時間処理して、取り出し、乾燥し、乾燥した粉末を１２００～１５００℃で溶融し、１～３時間保温し、ガラス液を高温で取り出し、脱イオン水に入れて焼入れするという方法で調製される
ことを特徴とする請求項３に記載のＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法。

【請求項5】

前記ステップ（１）、ステップ（２）における篩は、２００メッシュの篩である
ことを特徴とする請求項３に記載のＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法。

【請求項6】

前記ステップ（５）において、ＰＶＡ溶液の重量は、セラミック粉末の重量の７～１０ｗｔ％である
ことを特徴とする請求項３に記載のＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法。

【請求項7】

前記ステップ（２）における原料は、ＭｇＯ、ＣａＣＯ_３、ＳｒＣＯ_３ 及びＷＯ_３である
ことを特徴とする請求項３に記載のＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法。

【請求項8】

前記ステップ（１）における原料は、ＢａＣＯ_３及びＳｉＯ_２である
ことを特徴とする請求項３に記載のＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マイクロ波誘電体材料の技術分野に属し、具体的には、共振周波数の温度係数（Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｏｆ ｒｅｓｏｎａｎｔ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）がゼロに近いＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料及びその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

５Ｇ通信及びモノのインターネットの時代の到来に伴い、高周波アプリケーションがトレンドになっている。小型化、高集積化及び高信頼性は、５Ｇ通信デバイスの代表的な特徴である。５Ｇ通信デバイス集積技術に用いられる主要な誘電体材料である低温同時焼結セラミック材料（ＬＴＣＣ）は、研究のホットスポットになる。信号伝送損失を低減させ、信号伝送速度を速くするために、ＬＴＣＣ材料はより低い誘電率及びより高いＱ値（すなわち低損失）を有することが求められ、また、信号伝送の安定性を向上させるために、材料はゼロに近い共振周波数の温度係数を有することが求められる。

【0003】

出願番号が「２００９１０１１３９８１．Ｘ」である中国発明特許では、Ｂａ_５－ｘＬａ_ｘＴｉ_ｘＮｂ_ｘＯ_１５をＢａＣｕＢ_２Ｏ_５及びＢａＷＯ_４と複合して、Ｑｆ値が１００００ＧＨｚよりも高い低温焼結マイクロ波誘電体セラミックが得られ、且つその共振周波数の温度係数はゼロに近い。しかしながら、Ｂａ_５－ｘＬａ_ｘＴｉ_ｘＮｂ_ｘＯ_１５の誘電率が高いため、全体の誘電率は高くなり（３５～４５）、低誘電率の要求に合致しない。そのため、低誘電率を有し、且つ共振周波数の温度係数がゼロに近いＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスの要求を満たすように、新しい複合材料組成を開発する必要がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

これに基づき、本発明の目的は、上記の従来技術の欠点を克服し、共振周波数の温度係数がゼロに近いＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記の目的を実現するために、本発明が採用した技術的解決手段はＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料であって、前記ＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の組成は、ａＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１＋（１－ａ）（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４＋Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスであり、ただし、０．４≦ａ≦０．８、０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦１である。

【0006】

本発明は、正の共振周波数の温度係数を有し、且つ誘電率が低いバリウムケイ酸塩であるＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１と負の共振周波数の温度係数を有するタングステン酸塩である（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４とを複合し、さらに低融点のＢａ－Ｂ－Ｓｉガラスを添加することで全体の焼結温度を低下させ、これにより、誘電率が低く、且つ共振周波数の温度係数がゼロに近いＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスが得られる。当該ＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスは、高周波通信及び無線周波数の分野に適用される。

【0007】

好ましくは、前記Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスの重量は、Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１と（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ} ）ＷＯ _４ との合計重量の２～１５％である。これにより、全体の焼結温度をさらに低下させることができる。

【0008】

同時に、本発明は、前記ＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法であって、
Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１の化学量論比に従って原料を秤量し、秤量した原料をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、ボールミルにより４～１２ｈ時間処理して、取り出し、乾燥し、篩を通過させ、篩を通過した粉末を１１００～１２５０℃で焼成し、１～５時間保温し、室温まで冷却し、Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１粉体を得るステップ（１）と、
（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４の化学量論比に従って原料を秤量し、秤量した原料をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより４～１２時間処理し、取り出し、乾燥し、篩を通過させ、篩を通過した粉末を７００～１０００℃で焼成し、１～５時間保温し、室温まで冷却し、（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４粉体を得るステップ（２）と、
Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスをボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、ボールミルにより２～６時間処理して、取り出し、乾燥し、Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラス粉末を得るステップ（３）と、
ステップ（１）で得られたＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１粉体、ステップ（２）で得られた（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４粉体、ステップ（３）で得られたＢａ－Ｂ－Ｓｉガラス粉末をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、ボールミルにより２～６時間処理して、取り出し、乾燥し、粉砕し、ＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスを製造するためのセラミック粉末を得るステップ（４）と、
ステップ（４）で得られたセラミック粉末にＰＶＡ溶液を添加して造粒し、円柱状のブロックにプレス成形し、８５０～９００℃で焼結し、０．５～３時間保温し、ＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスを得るステップ（５）と、を含む
ＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法をさらに提供する。

【0009】

好ましくは、前記ステップ（３）におけるＢａ－Ｂ－Ｓｉガラスは、
原料であるＳｉＯ_２、Ｈ_３ＢＯ_３、ＢａＣＯ_３、Ｎａ_２ＣＯ_３、Ｌｉ_２ＣＯ_３、ＣａＣＯ_３、ＳｒＣＯ_３、Ｋ_２ＣＯ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、ＭｇＯ、ＴｉＯ_２を秤量してボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより１～４時間処理して、取り出し、乾燥し、乾燥した粉末を１２００～１５００℃で溶融し、１～３時間保温し、ガラス液を高温で取り出し、脱イオン水に入れて焼入れするという方法で調製される。

【0010】

本願の製造方法では、固相法により共振周波数の温度係数（τｆ）が正値であるバリウムケイ酸塩Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１及びτｆが負値であるタングステン酸塩ＡＷＯ_４（Ａはアルカリ土類金属元素のいずれか１種又は２種以上の組み合わせであってもよい）を合成し、高温溶融法によりＢａ－Ｂ－Ｓｉ（ＢＢＳ）低融点ガラスを調製する。τｆがほぼゼロになるようにＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１及びＡＷＯ_４の含有量を制御し、さらに、ＢＢＳガラスを添加することにより焼結温度を９００℃以下に低下させ、これにより、τｆがゼロに近い低誘電率のＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスを得る。

【0011】

好ましくは、前記ステップ（１）、ステップ（２）における篩は、２００メッシュの篩である。

【0012】

好ましくは、前記ステップ（５）において、ＰＶＡ溶液の重量は、セラミック粉末の重量の７～１０ｗｔ％である。

【0013】

好ましくは、前記ステップ（２）における原料は、ＭｇＯ、ＣａＣＯ_３、ＳｒＣＯ_３、ＢａＣＯ_３及びＷＯ_３である。

【0014】

好ましくは、前記ステップ（１）における原料はＢａＣＯ_３及びＳｉＯ_２である。

【発明の効果】

【0015】

従来技術に対して、本発明の利点は以下の通りである。

【0016】

本願に使用される原料は、固相法により合成したものであり、プロセスが簡単で工業生産に適し、合成されたＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１、（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４及びＢａ－Ｂ－Ｓｉガラスの誘電率が低く、複合化されたＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスは低い誘電率を有し、Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１及び（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４の含有量を調整することにより、共振周波数の温度係数をほぼゼロに調整することができ、高周波通信及び無線周波数の分野に適用される。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明の目的、技術的解決手段及び利点をよりよく説明するために、以下、具体的な実施例に基づいて本発明をさらに説明する。

【0018】

本願の実施例におけるＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の組成は、ａＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１＋（１－ａ）（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４＋Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスであり、しかし、０．４≦ａ≦０．８、０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦１であり、前記Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスの重量は、Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１と（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ} ）ＷＯ _４ との合計重量の２～１５％（ｂ％）である。

【0019】

本願の実施例におけるＬＴＣＣマイクロ波誘電体材料の製造方法は以下の通りである。

【0020】

（１）Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１の化学量論比に従って、原料であるＢａＣＯ_３及びＳｉＯ_２を秤量し、秤量した原料をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより４～１２時間処理して、取り出し、乾燥し、２００メッシュの篩を通過させ、篩を通過した粉末をアルミナるつぼに入れ、マッフル炉において１１００～１２５０℃で焼成し、１～５時間保温し、室温まで冷却し、Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１粉体を得る。
（２）（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４（ただし、０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦１）の化学量論比に従って、原料であるＭｇＯ、ＢａＣＯ_３、ＳｒＣＯ_３、ＣａＣＯ_３及びＷＯ_３を秤量し、秤量した原料をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより４～１２時間処理して、取り出し、乾燥し、２００メッシュの篩を通過させ、篩を通過した粉末をアルミナるつぼに入れ、マッフル炉において７００～１０００℃で焼成し、１～５時間保温し、室温まで冷却し、（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４粉体を得る。
（３）ＳｉＯ_２（４５．８ｗｔ％）、Ｈ_３ＢＯ_３（３９．６ｗｔ％）、ＢａＣＯ_３（５．３ｗｔ％）、Ｎａ_２ＣＯ_３（１．６ｗｔ％）、Ｌｉ_２ＣＯ_３（０．７ｗｔ％）、ＣａＣＯ_３（１．５ｗｔ％）、ＳｒＣＯ_３（１．１ｗｔ％）、Ｋ_２ＣＯ_３（１．９ｗｔ％）、Ａｌ_２Ｏ_３（１．２ｗｔ％）、ＭｇＯ（０．８ｗｔ％）、ＴｉＯ_２（０．５ｗｔ％）という配合比に従って秤量された原料をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより１～４時間処理して、取り出し、乾燥し、乾燥した粉末をアルミナるつぼに入れて、高温炉において１２００～１５００℃で溶融し、１～３時間保温し、ガラス液を高温で取り出し、脱イオン水に入れて焼入れして、Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラスを得て、このＢａ－Ｂ－Ｓｉガラスをボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより２～６時間処理して、取り出し、乾燥し、Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラス粉末を得る。
（４）ａＢａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１＋（１－ａ）（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４＋ｂｗｔ％Ｂａ－Ｂ－Ｓｉガラス（ただし、０．４≦ａ≦０．８、２≦ｂ≦１５）の比率に従って、上記Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１、（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４及びＢａ－Ｂ－Ｓｉガラス粉体を秤量し、秤量した粉体をボールミルタンクに入れ、ジルコニアボール及び脱イオン水を添加し、遊星ボールミルにより２～６時間処理して、取り出し、乾燥し、粉砕し、ＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスを製造するためのセラミック粉末を得る。
（５）上記のセラミック粉末に７～１０ｗｔ％のＰＶＡ溶液を添加して造粒し、円柱状のブロックにプレス成形し、８５０～９００℃で焼結し、０．５～３時間保温し、ＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスを得る。

【0021】

【0022】

【0023】

表１から明らかなように、本願で得られたＬＴＣＣマイクロ波誘電体セラミックスは、低い誘電率を有し、Ｂａ_５Ｓｉ_８Ｏ_２１及び（Ｍｇ_ｘＣａ_ｙＳｒ_ｚＢａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}）ＷＯ_４の含有量を調整することにより、共振周波数の温度係数をほぼゼロに調整することができ、高周波通信及び無線周波数の分野に適用される。

【0024】

なお、以上の実施例は、本発明の技術的解決手段を説明するためのものであり、本発明の保護範囲を制限するものではない。好適な実施例を参照して本発明を詳細に説明したが、当業者であれば、本発明の技術的解決手段の趣旨及び範囲から逸脱せずに、本発明の技術的解決手段を修正又は変更することが可能であると理解できる。