特許7257079蒸発原料用容器及び固体気化供給システム

発明の名称　蒸発原料用容器及び固体気化供給システム

出願人　株式会社高純度化学研究所　（識別番号 143411）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3945 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7257079

公報発行日　2023年4月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7257079

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