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特許7257234ノズル保護板、ノズルプレート、液体噴出ヘッド、及びノズル保護板の製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-04-05
(45)【発行日】2023-04-13
(54)【発明の名称】ノズル保護板、ノズルプレート、液体噴出ヘッド、及びノズル保護板の製造方法
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20230406BHJP
B05C 5/00 20060101ALI20230406BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20230406BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 501
B05C5/00 101
B41J2/16 503
B41J2/14 613
B41J2/16 517
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2019079792
(22)【出願日】2019-04-19
(65)【公開番号】P2020175598
(43)【公開日】2020-10-29
【審査請求日】2022-02-04
(73)【特許権者】
【識別番号】000002325
【氏名又は名称】セイコーインスツル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100096655
【弁理士】
【氏名又は名称】川井 隆
(74)【代理人】
【識別番号】100091225
【弁理士】
【氏名又は名称】仲野 均
(72)【発明者】
【氏名】林 恵一郎
【審査官】井出 元晴
(56)【参考文献】
【文献】特開２００６－２５６０２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－１０５９４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－０８８４９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－００１４４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１１０９３７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－０６２０９０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－０４７２６１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－２４６７８９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２１０６１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－２５３４０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１０５０２６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５
Ｂ０５Ｃ ５／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂で形成された透光基板と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応して、前記透光基板に形成された貫通孔と、
前記透光基板の少なくとも一方の表面に形成された透光性を備えたセラミックコーティング層と、を有し、
前記貫通孔は、前記ノズル基板側から前記セラミックコーティング層側に向かって縮径している、
ことを特徴とするノズル保護板。
【請求項2】
前記透光基板の他方の表面に形成された接着剤と、前記接着剤の表面に貼付された接着面保護シートと、
を有することを特徴とする請求項１に記載のノズル保護板。
【請求項3】
ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂で形成された透光基板と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応して、前記透光基板に形成された貫通孔と、
前記透光基板の少なくとも一方の表面に形成された透光性を備えたセラミックコーティング層と、
前記透光基板の他方の表面に形成された接着剤と、
前記接着剤の表面に貼付された接着面保護シートと、
を有することを特徴とするノズル保護板。
【請求項4】
液体を吐出する吐出口が形成されたノズル基板と、前記吐出口位置に前記貫通孔が位置するように、ノズル基板に接着剤で貼付けられた、請求項１、又は請求項２に記載のノズル保護板と、
を有することを特徴とするノズルプレート。
【請求項5】
液体が収容される筐体と、前記筐体に配設された、請求項４に記載のノズルプレートと、
前記筐体内に収容された液体を加圧して、前記ノズルプレートの吐出口から液体を吐出させる加圧手段と、
を有することを特徴とする液体噴出ヘッド。
【請求項6】
ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂による透光基板を準備する基板準備工程と、前記準備した透光基板の少なくとも一方の面にセラミックコーティング層を形成するコーティング層形成工程と、
ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応する前記透光基板の位置に、前記ノズル基板側から前記セラミックコーティング層側に向かって縮径する貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
を有することを特徴とするノズル保護板の製造方法。
【請求項7】
ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂による透光基板を準備する基板準備工程と、前記準備した透光基板の少なくとも一方の面にセラミックコーティング層を形成するコーティング層形成工程と、
前記透光基板の他方の表面に接着剤を形成する接着剤形成工程と、
前記接着剤の表面に接着面保護シートを貼付する保護シート貼付工程と、
ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応する前記透光基板の位置に貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
を有することを特徴とするノズル保護板の製造方法。
【請求項8】
前記貫通孔形成工程は、前記コーティング層形成工程の後に行う、ことを特徴とする請求項６又は、請求項７に記載のノズル保護板の製造方法。
【請求項9】
前記コーティング層形成工程は、エアロゾルデポジション法により、前記セラミックコーティング層を形成する、ことを特徴とする請求項６、請求項７、又は請求項８に記載のノズル保護板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ノズル保護板、ノズルプレート、及び液体噴出ヘッド、及びノズル保護板の製造方法に係り、例えばジェットディスペンサー等の液体を噴出するヘッドに関する。
【背景技術】
【0002】
離れた位置から粘性液剤等の各種液体を飛ばして対象に着滴させる装置として、ジェットディスペンサーやインクジェット装置などが広く使用され、これら装置では液体を吐出するための液体噴出ヘッドが使用されている（特許文献）。
例えば、粘性液剤を吐出するジェットディスペンサーでは、液体噴出ヘッドにおける吐出口が形成されたノズル基板に、ノズル保護板が張り付けられている。
このノズル保護板は、粘性液剤を安定に吐出させ、吐出後のノズル孔周囲への残留粘性液剤の付着を防止し、さらに粘性液剤に対して化学的に安定であることが要求されている。また、粘性液剤による目詰まりを防止するためにノズル保護板の表面をゴム製のブレードでワイピングする機構が組み込まれる場合には、耐摩耗性に優れる機械的強度も要求されている。
このため従来のノズル保護板はニッケル等の金属により形成することが想定される。
例えば、粘性液剤を吐出するジェットディスペンサーでは、液体噴出ヘッドにおける吐出口が形成されたノズル基板に、ノズル保護板が張り付けられている。
このノズル保護板は、粘性液剤を安定に吐出させ、吐出後のノズル孔周囲への残留粘性液剤の付着を防止し、さらに粘性液剤に対して化学的に安定であることが要求されている。また、粘性液剤による目詰まりを防止するためにノズル保護板の表面をゴム製のブレードでワイピングする機構が組み込まれる場合には、耐摩耗性に優れる機械的強度も要求されている。
このため従来のノズル保護板はニッケル等の金属により形成することが想定される。
【0003】
しかし、平板状基板にノズル保護板を貼り付ける工程において気泡が残ることがある。この気泡が吐出孔近辺に残り、ノズル内に露出していると、粘性液剤吐出時に液滴が気泡内に進入することで偏向し、予め想定していた位置に粘性液剤が着滴しない不具合が発生するため、高価な超音波検査器で時間をかけて測定する必要があり、製造コストが上昇していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００９－１７２９０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明は、機械的強度、耐溶剤性を有すると共に、液滴を安定に吐出させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
（１）請求項１に記載の発明では、ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂で形成された透光基板と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応して、前記透光基板に形成された貫通孔と、前記透光基板の少なくとも一方の表面に形成された透光性を備えたセラミックコーティング層と、を有し、前記貫通孔は、前記ノズル基板側から前記セラミックコーティング層側に向かって縮径している、ことを特徴とするノズル保護板を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記透光基板の他方の表面に形成された接着剤と、前記接着剤の表面に貼付された接着面保護シートと、を有することを特徴とする請求項１に記載のノズル保護板を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂で形成された透光基板と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応して、前記透光基板に形成された貫通孔と、前記透光基板の少なくとも一方の表面に形成された透光性を備えたセラミックコーティング層と、前記透光基板の他方の表面に形成された接着剤と、前記接着剤の表面に貼付された接着面保護シートと、を有することを特徴とするノズル保護板を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、液体を吐出する吐出口が形成されたノズル基板と、前記吐出口位置に前記貫通孔が位置するように、ノズル基板に接着剤で貼付けられた、請求項１、又は請求項２に記載のノズル保護板と、を有することを特徴とするノズルプレートを提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、液体が収容される筐体と、前記筐体に配設された、請求項４に記載のノズルプレートと、前記筐体内に収容された液体を加圧して、前記ノズルプレートの吐出口から液体を吐出させる加圧手段と、を有することを特徴とする液体噴出ヘッドを提供する。
（６）請求項６に記載の発明では、ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂による透光基板を準備する基板準備工程と、前記準備した透光基板の少なくとも一方の面にセラミックコーティング層を形成するコーティング層形成工程と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応する前記透光基板の位置に、前記ノズル基板側から前記セラミックコーティング層側に向かって縮径する貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、を有することを特徴とするノズル保護板の製造方法を提供する。
（７）請求項７に記載の発明では、ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂による透光基板を準備する基板準備工程と、前記準備した透光基板の少なくとも一方の面にセラミックコーティング層を形成するコーティング層形成工程と、前記透光基板の他方の表面に接着剤を形成する接着剤形成工程と、前記接着剤の表面に接着面保護シートを貼付する保護シート貼付工程と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応する前記透光基板の位置に貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、を有することを特徴とするノズル保護板の製造方法を提供する。
（８）請求項８に記載の発明では、前記貫通孔形成工程は、前記コーティング層形成工程の後に行う、ことを特徴とする請求項６又は、請求項７に記載のノズル保護板の製造方法を提供する。
（９）請求項９に記載の発明では、前記コーティング層形成工程は、エアロゾルデポジション法により、前記セラミックコーティング層を形成する、ことを特徴とする請求項６、請求項７、又は請求項８に記載のノズル保護板の製造方法を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記透光基板の他方の表面に形成された接着剤と、前記接着剤の表面に貼付された接着面保護シートと、を有することを特徴とする請求項１に記載のノズル保護板を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂で形成された透光基板と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応して、前記透光基板に形成された貫通孔と、前記透光基板の少なくとも一方の表面に形成された透光性を備えたセラミックコーティング層と、前記透光基板の他方の表面に形成された接着剤と、前記接着剤の表面に貼付された接着面保護シートと、を有することを特徴とするノズル保護板を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、液体を吐出する吐出口が形成されたノズル基板と、前記吐出口位置に前記貫通孔が位置するように、ノズル基板に接着剤で貼付けられた、請求項１、又は請求項２に記載のノズル保護板と、を有することを特徴とするノズルプレートを提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、液体が収容される筐体と、前記筐体に配設された、請求項４に記載のノズルプレートと、前記筐体内に収容された液体を加圧して、前記ノズルプレートの吐出口から液体を吐出させる加圧手段と、を有することを特徴とする液体噴出ヘッドを提供する。
（６）請求項６に記載の発明では、ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂による透光基板を準備する基板準備工程と、前記準備した透光基板の少なくとも一方の面にセラミックコーティング層を形成するコーティング層形成工程と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応する前記透光基板の位置に、前記ノズル基板側から前記セラミックコーティング層側に向かって縮径する貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、を有することを特徴とするノズル保護板の製造方法を提供する。
（７）請求項７に記載の発明では、ノズル基板に貼付けられる、透光性樹脂による透光基板を準備する基板準備工程と、前記準備した透光基板の少なくとも一方の面にセラミックコーティング層を形成するコーティング層形成工程と、前記透光基板の他方の表面に接着剤を形成する接着剤形成工程と、前記接着剤の表面に接着面保護シートを貼付する保護シート貼付工程と、ノズル基板に形成された液体の吐出口の形成位置に対応する前記透光基板の位置に貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、を有することを特徴とするノズル保護板の製造方法を提供する。
（８）請求項８に記載の発明では、前記貫通孔形成工程は、前記コーティング層形成工程の後に行う、ことを特徴とする請求項６又は、請求項７に記載のノズル保護板の製造方法を提供する。
（９）請求項９に記載の発明では、前記コーティング層形成工程は、エアロゾルデポジション法により、前記セラミックコーティング層を形成する、ことを特徴とする請求項６、請求項７、又は請求項８に記載のノズル保護板の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、透光基板を透光性樹脂で形成し、その表面に透光性を備えたセラミックコーティング層を形成したので、機械的強度、耐溶剤性を有すると共に、接着剤による気泡を容易に発見し、取除くことで液滴を安定に吐出させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】液体噴出ヘッドの全体構成の断面を表した図面である。
【図2】ノズル保護板を貼付したノズルプレートの拡大図である。
【図3】ノズル保護板の製造方法についての説明図である。
【図4】ノズルプレートの製造方法についての説明図である。
【図5】変形例のノズル保護板を貼付したノズルプレートの拡大図である。
【図6】変形例のノズル保護板の製造方法についての説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明のノズル保護板、ノズルプレート、液体噴出ヘッド、及びノズル保護板の製造方法における好適な実施の形態について、ジェットディスペンサー用の液体噴出ヘッドを例に図１から図６を参照して詳細に説明する。なお、いずれの図面においても、各部分の比率について、特に薄い部分を明示するために、実際の比率ではなく適宜変更して表示している。
【0010】
（１）実施形態の概要
本実施形態では、ジェットディスペンサーに使用する液体噴出ヘッド４０は、吐出口６が形成されたノズル基板５の表面にノズル保護板１０が貼付けられている。
このノズル保護板１０は、半透明樹脂等の透光基板１の一方側の面に高純度アルミナ（α-Ａｌ２Ｏ３）によるセラミックコーティング層２が形成されている。
このノズル保護板１０の他方の側にノズル基板５に貼付けるための接着剤４を塗布した後ノズル基板５に接着し、又は、接着剤４を塗布した後に接着面保護シート９で保護することで別のタイミング（例えば、出荷後）にノズル基板５に貼付けるようにしてもよい。
ノズル保護板１０には、貼付け対象であるノズル基板５に形成されている吐出口６の形成位置にあわせて、貫通孔３が形成されている。
高純度アルミナによるセラミックコーティング層２は透光性を備えているため、セラミックコーティング層２及び透光基板１を介して保護板１０をノズル基板５に貼付けた場合の接着剤４とノズル基板５との界面に気泡が発生していないかを目視により観察することができる。
このようにノズル保護板１０を、透光基板１とセラミックコーティング層２で形成しているので、ノズル基板５に貼付けた際に、気泡が吐出口６の近傍に発生したとしても、目視により容易に確認することができる。発見した気泡は、吐出口６や外縁方向に押出すことで取除くことができる。
従って、ノズル保護板１０を貼付けたノズルプレート２０を、高い歩留まりで安定して製造することができ、かつ作業性の高い量産性に優れた製造方法を提供することができる。
本実施形態では、ジェットディスペンサーに使用する液体噴出ヘッド４０は、吐出口６が形成されたノズル基板５の表面にノズル保護板１０が貼付けられている。
このノズル保護板１０は、半透明樹脂等の透光基板１の一方側の面に高純度アルミナ（α-Ａｌ２Ｏ３）によるセラミックコーティング層２が形成されている。
このノズル保護板１０の他方の側にノズル基板５に貼付けるための接着剤４を塗布した後ノズル基板５に接着し、又は、接着剤４を塗布した後に接着面保護シート９で保護することで別のタイミング（例えば、出荷後）にノズル基板５に貼付けるようにしてもよい。
ノズル保護板１０には、貼付け対象であるノズル基板５に形成されている吐出口６の形成位置にあわせて、貫通孔３が形成されている。
高純度アルミナによるセラミックコーティング層２は透光性を備えているため、セラミックコーティング層２及び透光基板１を介して保護板１０をノズル基板５に貼付けた場合の接着剤４とノズル基板５との界面に気泡が発生していないかを目視により観察することができる。
このようにノズル保護板１０を、透光基板１とセラミックコーティング層２で形成しているので、ノズル基板５に貼付けた際に、気泡が吐出口６の近傍に発生したとしても、目視により容易に確認することができる。発見した気泡は、吐出口６や外縁方向に押出すことで取除くことができる。
従って、ノズル保護板１０を貼付けたノズルプレート２０を、高い歩留まりで安定して製造することができ、かつ作業性の高い量産性に優れた製造方法を提供することができる。
【0011】
（２）実施形態の詳細
図１は、ジェットディスペンサー（液体噴出装置）用の液体噴出ヘッド４０の断面構成を表したものである。
図１に示すように、液体噴出ヘッド４０は、隔壁５１により粘性液剤等の液体が収容される筐体５０を備えている。筐体５０は、後述する液体の吐出口６が形成される側（以下、吐出側といい、その反対側を押圧側という）の隔壁５１ａにはノズルプレート２０が接続される。また、筐体５０内部には仕切り壁５２が吐出側の隔壁５１ａから押圧側に向かって延在し、隔壁５１、仕切り壁５２及びノズルプレート２０により、液体タンク５３、液体流路５７、液体溜り５８が形成される。
液体タンク５３の押圧側の隔壁５１ｂには、液体供給口５４が形成されており、液体タンク５３内に液体を供給する液体シリンダ（図示しない）が接続可能に構成されている。エア圧によって液体シリンダから液体タンク５３内に液体が供給されるようになっている。
本実施形態の隔壁５１と仕切り壁５２は、樹脂により形成されているが、その一部又は全部をステンレス鋼で形成するようにしてもよい。
図１は、ジェットディスペンサー（液体噴出装置）用の液体噴出ヘッド４０の断面構成を表したものである。
図１に示すように、液体噴出ヘッド４０は、隔壁５１により粘性液剤等の液体が収容される筐体５０を備えている。筐体５０は、後述する液体の吐出口６が形成される側（以下、吐出側といい、その反対側を押圧側という）の隔壁５１ａにはノズルプレート２０が接続される。また、筐体５０内部には仕切り壁５２が吐出側の隔壁５１ａから押圧側に向かって延在し、隔壁５１、仕切り壁５２及びノズルプレート２０により、液体タンク５３、液体流路５７、液体溜り５８が形成される。
液体タンク５３の押圧側の隔壁５１ｂには、液体供給口５４が形成されており、液体タンク５３内に液体を供給する液体シリンダ（図示しない）が接続可能に構成されている。エア圧によって液体シリンダから液体タンク５３内に液体が供給されるようになっている。
本実施形態の隔壁５１と仕切り壁５２は、樹脂により形成されているが、その一部又は全部をステンレス鋼で形成するようにしてもよい。
【0012】
筐体５０における液体溜り５８の吐出側にはノズルプレート２０が配置されている。
ノズルプレート２０の詳細は後述するが、ノズル基板５と、ノズル基板５に貼付されたノズル保護板１０で構成されている。ノズルプレート２０には、液体溜り５８内の液体を吐出する吐出口６が形成されている。
吐出口６は、図に示すように、ノズル基板５の液体溜り５８側から外側（吐出側）に向かって狭くなるようにテーパ形状に形成されている。本実施形態の液体噴出ヘッド４０において、吐出口６は、液体溜り５８側の直径と外側の直径が、それぞれ１８０μｍ、６０μｍとなるようなテーパ形状を有しているが、これに限定されず、吐出する液体に応じて上記テーパ形状は適宜変更されうる。
本実施形態の液体噴出ヘッド４０は、ノズルプレート２０を筐体５０からの取外しと取付け可能に構成されているが、ノズル基板５が筐体５０に固定されていて、ノズル保護板１０を後から貼付ける構成とすることも可能である。
ノズルプレート２０の詳細は後述するが、ノズル基板５と、ノズル基板５に貼付されたノズル保護板１０で構成されている。ノズルプレート２０には、液体溜り５８内の液体を吐出する吐出口６が形成されている。
吐出口６は、図に示すように、ノズル基板５の液体溜り５８側から外側（吐出側）に向かって狭くなるようにテーパ形状に形成されている。本実施形態の液体噴出ヘッド４０において、吐出口６は、液体溜り５８側の直径と外側の直径が、それぞれ１８０μｍ、６０μｍとなるようなテーパ形状を有しているが、これに限定されず、吐出する液体に応じて上記テーパ形状は適宜変更されうる。
本実施形態の液体噴出ヘッド４０は、ノズルプレート２０を筐体５０からの取外しと取付け可能に構成されているが、ノズル基板５が筐体５０に固定されていて、ノズル保護板１０を後から貼付ける構成とすることも可能である。
【0013】
液体溜り５８内には、吐出口６から吐出する液体の粘度を下げるためのヒータ５５、５６が、吐出口６を挟んで配設されている。すなわち、仕切り壁５２とノズル基板５に接する状態にヒータ５５が配設され、隔壁５１とノズル基板５に接する状態にヒータ５６が配設されている。ヒータ５５とヒータ５６との間は、例えば、２００μｍである。
このヒータ５５、５６により、吐出口６から吐出する液体が、所定の温度になるように加熱される。所定の温度としては、例えば、３０℃～１００℃の範囲で、吐出する液体の特性（特に粘性）に応じて決められる。
なお、図示しないが、液体の温度を検出する温度センサが配設され、液体溜り５８内の検出温度に応じてヒータ５５、５６をオンオフ制御するようになっている。
このヒータ５５、５６により、吐出口６から吐出する液体が、所定の温度になるように加熱される。所定の温度としては、例えば、３０℃～１００℃の範囲で、吐出する液体の特性（特に粘性）に応じて決められる。
なお、図示しないが、液体の温度を検出する温度センサが配設され、液体溜り５８内の検出温度に応じてヒータ５５、５６をオンオフ制御するようになっている。
【0014】
筐体５０における液体溜り５８の押圧側には、ノズル基板５と対向して振動板６１が配置され、この振動板６１の外側に圧電素子６２が配設されている。
圧電素子６２に電圧を印加すると、圧電素子６２が取付けられた振動板６１が液体溜り５８内方向に湾曲するように押圧する。これにより、液体溜り５８内の圧力が増加して、液体溜り５８内の液体が吐出口６から吐出される。
すなわち、振動板６１と圧電素子６２は、筐体５０内に収容された液体を加圧して、ノズルプレート２０の吐出口６から液体を吐出させる加圧手段として機能している。
圧電素子６２に電圧を印加すると、圧電素子６２が取付けられた振動板６１が液体溜り５８内方向に湾曲するように押圧する。これにより、液体溜り５８内の圧力が増加して、液体溜り５８内の液体が吐出口６から吐出される。
すなわち、振動板６１と圧電素子６２は、筐体５０内に収容された液体を加圧して、ノズルプレート２０の吐出口６から液体を吐出させる加圧手段として機能している。
【0015】
次に、ノズルプレート２０の構造について説明する。
図２は、図１において点線の円で示した吐出口６周辺のノズルプレート２０を拡大した図である。
ノズルプレート２０を構成するノズル基板５は、ステンレス鋼（例えばＳＵＳ３１６）で形成され、外側に向かって狭くなる上述のテーパ形状の吐出口６が形成されている。
このノズル基板５の外側には、ノズル保護板１０が接着剤４により接着されている。ノズル保護板１０には、吐出口６から吐出される液体が通過する貫通孔３が形成されている。この貫通孔３は、吐出口６の外側の開口位置に合せて形成されている。貫通孔３の直径は、吐出口６の外側の直径よりも僅かに（例えば、１５％～３０％程度）小さく形成され、本実施形態の貫通孔３の直径は５０μｍである。
貫通孔３の直径が吐出口６の外側の直径よりも大きい場合、吐出口６の中心と貫通孔３の中心がずれることにより、液滴形状が球状にならなくなる恐れがあり、液滴偏向の要因となる場合がある。本実施形態においては、ノズル保護板１０のノズル基板５への貼ズレ、透光基板１の材質とノズル基板５の材質の線膨張係数の差分等、を考慮して貫通孔３の直径を吐出口６の外側の直径よりも小さく形成している。
ノズル保護板１０は、この貫通孔３の位置を吐出口６の位置に合せて接着剤４でノズル基板５に貼付けられている。ここで、ノズル保護板１０の貫通孔３の孔位置をノズル基板５に形成された吐出口６の孔位置内に収まるようにノズル保護板１０をノズル基板５対して位置調整するが、この段階で接着剤４とノズル基板５とが当接することで、接着剤４とノズル基板５との間に気泡が発生する場合がある。この気泡が貫通孔３の内側に露出している場合や、露出が懸念されるような場合、発見した気泡を吐出口６や吐出口６の外縁方向に押出すことで取除いたり、露出する懸念がなくなる程度まで移動させた後、ノズル保護板１０をノズル基板５に貼付ける。
図２は、図１において点線の円で示した吐出口６周辺のノズルプレート２０を拡大した図である。
ノズルプレート２０を構成するノズル基板５は、ステンレス鋼（例えばＳＵＳ３１６）で形成され、外側に向かって狭くなる上述のテーパ形状の吐出口６が形成されている。
このノズル基板５の外側には、ノズル保護板１０が接着剤４により接着されている。ノズル保護板１０には、吐出口６から吐出される液体が通過する貫通孔３が形成されている。この貫通孔３は、吐出口６の外側の開口位置に合せて形成されている。貫通孔３の直径は、吐出口６の外側の直径よりも僅かに（例えば、１５％～３０％程度）小さく形成され、本実施形態の貫通孔３の直径は５０μｍである。
貫通孔３の直径が吐出口６の外側の直径よりも大きい場合、吐出口６の中心と貫通孔３の中心がずれることにより、液滴形状が球状にならなくなる恐れがあり、液滴偏向の要因となる場合がある。本実施形態においては、ノズル保護板１０のノズル基板５への貼ズレ、透光基板１の材質とノズル基板５の材質の線膨張係数の差分等、を考慮して貫通孔３の直径を吐出口６の外側の直径よりも小さく形成している。
ノズル保護板１０は、この貫通孔３の位置を吐出口６の位置に合せて接着剤４でノズル基板５に貼付けられている。ここで、ノズル保護板１０の貫通孔３の孔位置をノズル基板５に形成された吐出口６の孔位置内に収まるようにノズル保護板１０をノズル基板５対して位置調整するが、この段階で接着剤４とノズル基板５とが当接することで、接着剤４とノズル基板５との間に気泡が発生する場合がある。この気泡が貫通孔３の内側に露出している場合や、露出が懸念されるような場合、発見した気泡を吐出口６や吐出口６の外縁方向に押出すことで取除いたり、露出する懸念がなくなる程度まで移動させた後、ノズル保護板１０をノズル基板５に貼付ける。
【0016】
ノズル保護板１０は、透光性のある樹脂シートで形成された透光基板１と、この透光基板１の一方の表面（接着剤４と反対側）に形成された透光性のあるセラミックコーティング層２を備えている。
透光基板１とセラミックコーティング層２は、透明、半透明であることが好ましいが、ノズル保護板１０をノズル基板５に接着剤４で接着した際に生じる気泡を目視により確認できる程度の透光性を有していればよい。
本実施形態の透光基板１は、半透明の樹脂シートとしてポリイミドフィルムを使用しているが、他の透明、又は半透明な無機材や有機材を使用するようにしてもよい。
本実施形態のポリイミドフィルムとしては、各種メーカのフィルムを使用可能であり、熱伝導率が０．２９Ｗ／（ｍ・Ｋ）で線膨張係数が１２ｐｐｍ／Ｋのフィルムや、熱伝導率が０．１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）で線膨張率が１６ｐｐｍ／Ｋのフィルムを使用する。
透光基板１とセラミックコーティング層２は、透明、半透明であることが好ましいが、ノズル保護板１０をノズル基板５に接着剤４で接着した際に生じる気泡を目視により確認できる程度の透光性を有していればよい。
本実施形態の透光基板１は、半透明の樹脂シートとしてポリイミドフィルムを使用しているが、他の透明、又は半透明な無機材や有機材を使用するようにしてもよい。
本実施形態のポリイミドフィルムとしては、各種メーカのフィルムを使用可能であり、熱伝導率が０．２９Ｗ／（ｍ・Ｋ）で線膨張係数が１２ｐｐｍ／Ｋのフィルムや、熱伝導率が０．１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）で線膨張率が１６ｐｐｍ／Ｋのフィルムを使用する。
【0017】
セラミックコーティング層２としては、アルミナの膜がガスデポジション法によって、透光基板１の表面に形成される。ガスデポジション法としては、常温でのセラミックコーティングが可能なエアロゾルデポジション（ＡＤ）法やコールドスプレー法などによる。この方法は、乾燥したセラミックや金属の微粉体を固相状態のままガスで搬送して基材（透光基板１）に衝突させることで、低温・高速の厚膜コーティングを実現する。特に、ＡＤ法は、ガスと混合してエアロゾル化した微粒子、超微粒子原料をノズルから基板（透光基板１）に噴射してセラミックコーティング層２を形成する。セラミックコーティング層２の膜厚としては、本実施形態では１０ｎｍ～２０ｎｍに形成される。
このように、セラミックコーティング層２を常温で形成するため、透光基板１として用いられるポリイミドフィルムが、熱膨張により伸びてしまい、その結果貫通孔３などの位置がズレることを防止できる。
このように、セラミックコーティング層２を常温で形成するため、透光基板１として用いられるポリイミドフィルムが、熱膨張により伸びてしまい、その結果貫通孔３などの位置がズレることを防止できる。
【0018】
本実施例では、ガスデポジション法によるアルミナ膜を使用したが、透光基板１をガラス等の無機材を使用する場合には、他の成膜方法、例えば、「熱」「光」「プラズマ」などを利用したＣＶＤ法などのドライプロセスによってアルミナ膜を形成してもよい。
また、本実施形態では、セラミックコーティング層２としては、金属酸化膜であるアルミナ膜を使用したが、無機酸化物のＳｉＯ２で形成するようにしてもよい。この場合、スプレーによる吹き付け、スピンコート、浸漬、塗布法などのウェットプロセスによってＳｉＯ２膜を形成してもよく、更に、透光基板１がガラス基板である場合には、真空蒸着法、プラズマ重合やスパッタリングなどのドライプロセスにより成膜してもよい。
また、本実施形態では、透光基板１に対し、一方の面にだけセラミックコーティング層２を形成したが、両面にセラミックコーティング層２を形成するようにしてもよい。この場合、両面に形成したセラミックコーティング層２の一方に接着剤４を塗布する。
また、本実施形態では、セラミックコーティング層２としては、金属酸化膜であるアルミナ膜を使用したが、無機酸化物のＳｉＯ２で形成するようにしてもよい。この場合、スプレーによる吹き付け、スピンコート、浸漬、塗布法などのウェットプロセスによってＳｉＯ２膜を形成してもよく、更に、透光基板１がガラス基板である場合には、真空蒸着法、プラズマ重合やスパッタリングなどのドライプロセスにより成膜してもよい。
また、本実施形態では、透光基板１に対し、一方の面にだけセラミックコーティング層２を形成したが、両面にセラミックコーティング層２を形成するようにしてもよい。この場合、両面に形成したセラミックコーティング層２の一方に接着剤４を塗布する。
【0019】
このように、本実施形態のノズル保護板１０は、透光性の透光基板１を使用することで、接着剤４によりノズルプレート２０とノズル基板５の間にできた気泡を、外部から容易に発見することができる。発見した気泡については、吐出口６や外縁方向に押出すことで取除くことができる。
また、透光基板１の表面に透光性のセラミックコーティング層２を形成することで、ノズル保護板１０表面の機械的強度、耐溶剤性、撥液性を確保することができる。
特に、機械的強度について、ノズル保護板１０を使用した液体噴出ヘッド４０から吐出試験を行った後、ゴムブレードによってノズル保護板１０の表面を１０～３０ｇ／ｃｍ２の接触圧で一方向に摺動させるワイピング試験を数千回行ったが、試験後も撥液性の低下はなく、ワイピングによる摩耗痕も観察されず、液体（インク）の安定な吐出は維持されていた。
なお、ノズル保護板１０表面による、撥液性を向上するため、セラミックコーティング層２の外表面に更にフッ素系樹脂をスピンコート法で形成するようにしてもよい。この場合、フッ素樹脂の膜厚は、６００ｎｍ～１０００ｎｍであることが好ましい。
また、透光基板１の表面に透光性のセラミックコーティング層２を形成することで、ノズル保護板１０表面の機械的強度、耐溶剤性、撥液性を確保することができる。
特に、機械的強度について、ノズル保護板１０を使用した液体噴出ヘッド４０から吐出試験を行った後、ゴムブレードによってノズル保護板１０の表面を１０～３０ｇ／ｃｍ２の接触圧で一方向に摺動させるワイピング試験を数千回行ったが、試験後も撥液性の低下はなく、ワイピングによる摩耗痕も観察されず、液体（インク）の安定な吐出は維持されていた。
なお、ノズル保護板１０表面による、撥液性を向上するため、セラミックコーティング層２の外表面に更にフッ素系樹脂をスピンコート法で形成するようにしてもよい。この場合、フッ素樹脂の膜厚は、６００ｎｍ～１０００ｎｍであることが好ましい。
【0020】
次に、本実施形態におけるノズル保護板１０、及びノズルプレート２０の製造方法について説明する。
図３は、ノズル保護板１０の製造方法についての説明図である。
図４は、ノズルプレート２０の製造方法についての説明図である。
最初に、図３（ａ）に示すように、ポリイミド樹脂による透光基板１を準備する（基板準備工程）。
次に図３（ｂ）に示すように、準備した透光基板１の一方の面に上述したＡＤ法により、１０ｎｍ～２０ｎｍの厚さのセラミックコーティング層２を形成する（コーティング工程）。本実施形態では、セラミックコーティング層２の厚さを１０ｎｍ以上としているので、透光基板１に対する充分な密着性を確保することができる。
図３は、ノズル保護板１０の製造方法についての説明図である。
図４は、ノズルプレート２０の製造方法についての説明図である。
最初に、図３（ａ）に示すように、ポリイミド樹脂による透光基板１を準備する（基板準備工程）。
次に図３（ｂ）に示すように、準備した透光基板１の一方の面に上述したＡＤ法により、１０ｎｍ～２０ｎｍの厚さのセラミックコーティング層２を形成する（コーティング工程）。本実施形態では、セラミックコーティング層２の厚さを１０ｎｍ以上としているので、透光基板１に対する充分な密着性を確保することができる。
【0021】
そして図３（ｃ）に示すように、吐出口６に対応する位置に、透光基板１側からレーザ光Ｌを照射することで貫通孔３を形成する（貫通孔形成工程）。
ここで、レーザ光Ｌによるレーザ加工としては、エキシマレーザ加工を用いる。なお、レーザＬはセラミックコーティング層２側から照射することも可能である。
本実施形態では、金属であるセラミックコーティング層２の厚さが２０ｎｍ以下であるので、レーザ加工による発熱が抑制され、樹脂で形性した透光基板１の変形、変質を防止することができる。
以上により、本実施形態のノズル保護板１０が形成される。
ここで、レーザ光Ｌによるレーザ加工としては、エキシマレーザ加工を用いる。なお、レーザＬはセラミックコーティング層２側から照射することも可能である。
本実施形態では、金属であるセラミックコーティング層２の厚さが２０ｎｍ以下であるので、レーザ加工による発熱が抑制され、樹脂で形性した透光基板１の変形、変質を防止することができる。
以上により、本実施形態のノズル保護板１０が形成される。
【0022】
次に、図４（ｄ）に示すように、透光基板１のセラミックコーティング層２を形成した側の面と反対側の面に接着剤４を塗布する（接着剤塗布工程）。塗布する接着剤４の厚さは、１μｍ程度である。
なお、接着剤４を透光基板１に塗布する前に、接着剤４を塗布する透光基板１の面を、酸素プラズマで粗すようにしてもよい。透光基板１の表面を粗すことで、接着剤４を付きやすくすることができる。なお、この表面粗し工程は、レーザ光Ｌにより貫通孔３を形成する前に行うようにしてもよい。
なお、接着剤４を透光基板１に塗布する前に、接着剤４を塗布する透光基板１の面を、酸素プラズマで粗すようにしてもよい。透光基板１の表面を粗すことで、接着剤４を付きやすくすることができる。なお、この表面粗し工程は、レーザ光Ｌにより貫通孔３を形成する前に行うようにしてもよい。
【0023】
そして、図４（ｅ）に示すように、接着剤４の表面に接着面保護シート９を貼付けたものが、接着剤付のノズル保護板１０ｂである。この接着剤付のノズル保護板１０ｂは、後述のノズル基板５にノズル保護板１０を直ちに貼付ける場合でなく、別途ノズル基板５に貼付ける場合に使用される。
【0024】
そして、図４（ｆ）に示す接着剤４を塗布したノズル保護板１０を、貫通孔３の位置を吐出口６の位置に合せてノズル基板５に貼付けることで、ノズルプレート２０が製造される。
なお、図４（ｅ）で説明した接着剤付のノズル保護板１０ｂを使用する場合には、接着面保護シート９を剥がしてノズル基板５に貼付ける。
一方、図４（ｄ）に示すように、透光基板１に接着剤４を塗布した後に続けてノズル基板５に貼付けることも可能である。この場合には、接着剤４として常温で固化するエポキシ樹脂を使用する。
なお、図４（ｅ）で説明した接着剤付のノズル保護板１０ｂを使用する場合には、接着面保護シート９を剥がしてノズル基板５に貼付ける。
一方、図４（ｄ）に示すように、透光基板１に接着剤４を塗布した後に続けてノズル基板５に貼付けることも可能である。この場合には、接着剤４として常温で固化するエポキシ樹脂を使用する。
【0025】
以上の方法により製造したノズルプレート２０を、図１に示すように、液体噴出ヘッド４０の筐体５０に取付けることで、液体噴出ヘッド４０が製造される。
但し、ノズル基板５が着脱可能ではなく筐体５０に固定されている場合には、図４（ｅ）で製造した接着剤付のノズル保護板１０ｂをノズル基板５に貼付けることで、液体噴出ヘッド４０が製造される。
但し、ノズル基板５が着脱可能ではなく筐体５０に固定されている場合には、図４（ｅ）で製造した接着剤付のノズル保護板１０ｂをノズル基板５に貼付けることで、液体噴出ヘッド４０が製造される。
【0026】
（３）本実施形態の変形例
説明した実施形態では、ノズル保護版１０に形成した貫通孔３を厚さ方向を全体にわたって同じ径に形成する場合について説明した。
これに対して本変形例のノズル１０ｃでは、透光基板１側からセラミックコーティング層２に向って狭くなるテーパ形状に貫通孔３ｃを形成するものである。
すなわち、本変形例のノズル保護板１０ｃでは、吐出口６に対応する位置に、ノズル基板５と接着される側の透光基板１からレーザ光Ｌを照射することで、透光基板１側からセラミックコーティング層２側（吐出側）に向かって狭くなるようにテーパ形状の貫通孔３ｃを形成する。
説明した実施形態では、ノズル保護版１０に形成した貫通孔３を厚さ方向を全体にわたって同じ径に形成する場合について説明した。
これに対して本変形例のノズル１０ｃでは、透光基板１側からセラミックコーティング層２に向って狭くなるテーパ形状に貫通孔３ｃを形成するものである。
すなわち、本変形例のノズル保護板１０ｃでは、吐出口６に対応する位置に、ノズル基板５と接着される側の透光基板１からレーザ光Ｌを照射することで、透光基板１側からセラミックコーティング層２側（吐出側）に向かって狭くなるようにテーパ形状の貫通孔３ｃを形成する。
【0027】
本変形例のノズルプレート２０ｃの構造について説明する。
図５は、本変形例のノズル保護板１０ｃを貼付したノズルプレート２０ｃの拡大図である。
ノズルプレート２０ｃを構成するノズル基板５は上述のテーパ形状の吐出口６が形成されており、このノズル基板５の外側に、本変形例のノズル保護板１０ｃが接着剤４により接着されている。ノズル保護板１０ｃには、吐出口６から吐出される液体が通過する貫通孔３ｃが形成されている。ここで、本変形例のノズル保護板１０ｃの貫通孔３ｃは、ノズル基板５側からセラミックコーティング層側に向かって狭くなるようにテーパ形状となっている。換言すれば、貫通孔３ｃは、ノズル基板５側からセラミックコーティング層２に向かって縮径している。
図５は、本変形例のノズル保護板１０ｃを貼付したノズルプレート２０ｃの拡大図である。
ノズルプレート２０ｃを構成するノズル基板５は上述のテーパ形状の吐出口６が形成されており、このノズル基板５の外側に、本変形例のノズル保護板１０ｃが接着剤４により接着されている。ノズル保護板１０ｃには、吐出口６から吐出される液体が通過する貫通孔３ｃが形成されている。ここで、本変形例のノズル保護板１０ｃの貫通孔３ｃは、ノズル基板５側からセラミックコーティング層側に向かって狭くなるようにテーパ形状となっている。換言すれば、貫通孔３ｃは、ノズル基板５側からセラミックコーティング層２に向かって縮径している。
【0028】
ここで、貫通孔３ｃのノズル基板５側の直径は、吐出側の直径よりも僅かに（例えば、１５％～３０％程度）小さく形成されている。本変形例において、貫通孔３ｃのノズル基板５側の直径は５０μｍであり、また、セラミックコーティング層の液滴吐出部における直径は３０μｍである。なお、貫通孔３ｃのテーパ形状はこれに限定されず、ノズル基板５に設けられたテーパ形状と同じ傾斜で形成するようにしてもよく、吐出する液体に応じてテーパの傾斜角を適宜変更することが可能である。
【0029】
このように、本変形例のノズル保護板１０ｃは、透光性の透光基板１を使用することで、接着剤４によりノズルプレート２０ｃとノズル基板５の間にできた気泡を、外部から容易に発見し、取除くことで液滴を安定に吐出させることができ、透光基板１の表面に透光性のセラミックコーティング層２を形成することで、ノズル保護板１０表面の機械的強度、耐溶剤性、撥液性を確保することができ、また、テーパ形状の貫通孔３ｃにより液滴の吐出方向を安定させることができる。
【0030】
次に、本変形例のノズル保護板１０ｃの製造方法について説明する。
図６は、本変形例のノズル保護板１０ｃの製造方法についての説明図である。
本変形例では、本実施形態と同様に、図３（ａ）に示すように、ポリイミド樹脂による透光基板１を準備（基板準備工程）した後、図３（ｂ）に示すように、準備した透光基板１の一方の面にＡＤ法により、１０ｎｍ～２０ｎｍの厚さのセラミックコーティング層２を形成する（コーティング工程）。
次に、本変形例においては、図６に示すように、吐出口６に対応する位置に、ノズル基板５と接着される側の透光基板１からレーザ光Ｌを照射することで、ノズル基板５側から吐出側に向かって狭くなるようなテーパ形状の貫通孔３ｃを形成する（貫通孔形成工程）。具体的には、ノズル基板５側からセラミックコーティング層２側に向かって焦点が合うように調整した状態で加工を行う。このように調整することにより、セラミックコーティングコーティング層２の位置でレーザ光Ｌの径は最も小さくなり、ノズル基板５側に向かうにしたがってレーザ光Ｌの径は大きくなるので、ノズル基板５側からセラミックコーティング２側に向かって径が狭くなるようテーパ形状の貫通孔３を形成することができる。
以上により、本変形例のノズル保護板１０ｃが形成される。
尚、ノズルプレート２０ｃの製造方法は、本実施形態のノズルプレート２０の製造方法と同様である。
図６は、本変形例のノズル保護板１０ｃの製造方法についての説明図である。
本変形例では、本実施形態と同様に、図３（ａ）に示すように、ポリイミド樹脂による透光基板１を準備（基板準備工程）した後、図３（ｂ）に示すように、準備した透光基板１の一方の面にＡＤ法により、１０ｎｍ～２０ｎｍの厚さのセラミックコーティング層２を形成する（コーティング工程）。
次に、本変形例においては、図６に示すように、吐出口６に対応する位置に、ノズル基板５と接着される側の透光基板１からレーザ光Ｌを照射することで、ノズル基板５側から吐出側に向かって狭くなるようなテーパ形状の貫通孔３ｃを形成する（貫通孔形成工程）。具体的には、ノズル基板５側からセラミックコーティング層２側に向かって焦点が合うように調整した状態で加工を行う。このように調整することにより、セラミックコーティングコーティング層２の位置でレーザ光Ｌの径は最も小さくなり、ノズル基板５側に向かうにしたがってレーザ光Ｌの径は大きくなるので、ノズル基板５側からセラミックコーティング２側に向かって径が狭くなるようテーパ形状の貫通孔３を形成することができる。
以上により、本変形例のノズル保護板１０ｃが形成される。
尚、ノズルプレート２０ｃの製造方法は、本実施形態のノズルプレート２０の製造方法と同様である。
【0031】
本変形例のノズル保護板１０ｃ及びノズルプレート２０は、テーパ形状の貫通孔３ｃにより液滴の吐出速度の向上や、吐出時の噴射圧力向上により液滴の吐出距離を伸ばすことができる。本変形例においては、テーパ形状の貫通孔３ｃにより、ストレート形状の貫通孔３を用いた場合の液滴飛距離１～２ｍｍの約２倍の液滴飛距離を達成することができる。
また、液滴の吐出方向をさらに安定させることが可能で正確に着滴位置に液滴を飛ばすことができる。
また、液滴の吐出方向をさらに安定させることが可能で正確に着滴位置に液滴を飛ばすことができる。
【0032】
以上説明したように、本実施形態のノズル保護板１０によれば、透光性のある透光基板１及び透光性のあるセラミックコーティング層２を使用してノズル保護板１０を形成したので、接着剤４でノズル基板５に貼付けた際に生じる気泡を容易に発見し、吐出口６や外縁方向に押出して取除くことができる。これにより、ノズル保護板１０を貼付けたノズルプレート２０を、高い歩留まりで安定して製造することができ、かつ作業性の高い量産性に優れた製造方法を提供することができる。
また、説明したノズル保護板１０、液体噴出ヘッド４０によれば、セラミックコーティング層２によりノズル保護板１０の撥液性を向上させ、撥液性を安定に保持することが可能であり、また、ノズル保護板１０の表面への液体（粘性液剤）の付着を防止することができる。その結果、安定した液体の吐出を可能にすることができる。
さらに、セラミックコーティング層２により、耐溶剤性にも優れるため、長時間の粘性液剤吐出による腐食が低減され、液体噴出ヘッド４０や、液体噴出ヘッド４０を装着したジェットディスペンサーの信頼性を向上させることができる。
また、説明したノズル保護板１０、液体噴出ヘッド４０によれば、セラミックコーティング層２によりノズル保護板１０の撥液性を向上させ、撥液性を安定に保持することが可能であり、また、ノズル保護板１０の表面への液体（粘性液剤）の付着を防止することができる。その結果、安定した液体の吐出を可能にすることができる。
さらに、セラミックコーティング層２により、耐溶剤性にも優れるため、長時間の粘性液剤吐出による腐食が低減され、液体噴出ヘッド４０や、液体噴出ヘッド４０を装着したジェットディスペンサーの信頼性を向上させることができる。
【0033】
さらに、ノズル保護板１０ｃに設けたテーパ形状の貫通孔３ｃにより液滴の吐出速度の向上や、吐出時の噴射圧力向上により液滴の吐出距離を伸ばすことができる。また、液滴の吐出方向をさらに安定させることができる。
【0034】
以上、本実施形態のノズル保護板１０、ノズルプレート２０、液体噴出ヘッド４０として、ジェットディスペンサーに適用する場合を例に説明したが、半導体等のパターン形成のために液滴を吐出するパターン形成装置等に使用される他の液体噴出ヘッドや、インクジェット印刷に用いられるノズルプレート（液体噴出ヘッド）などにも適用することができる。
【符号の説明】
【0035】
１ 透光基板
２ セラミックコーティング層
３ 貫通孔
４ 接着剤
５ ノズル基板
６ 吐出口
９ 接着面保護シート
１０ ノズル保護板
１０ｂ 接着剤付きノズル保護板
２０ ノズルプレート
４０ 液体噴出ヘッド
５０ 筐体
５１ 隔壁
５２ 仕切り壁
５３ 液体タンク
５４ 液体供給口
５５、５６ ヒータ
５７ 液体流路
５８ 液体溜り
６１ 振動板
６２ 圧電素子
Ｌ レーザ光
２ セラミックコーティング層
３ 貫通孔
４ 接着剤
５ ノズル基板
６ 吐出口
９ 接着面保護シート
１０ ノズル保護板
１０ｂ 接着剤付きノズル保護板
２０ ノズルプレート
４０ 液体噴出ヘッド
５０ 筐体
５１ 隔壁
５２ 仕切り壁
５３ 液体タンク
５４ 液体供給口
５５、５６ ヒータ
５７ 液体流路
５８ 液体溜り
６１ 振動板
６２ 圧電素子
Ｌ レーザ光
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】