(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-04-05
(45)【発行日】2023-04-13
(54)【発明の名称】導電装置およびローラコンベア装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20230406BHJP
B65G 13/11 20060101ALI20230406BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B65G13/11
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2020156267
(22)【出願日】2020-09-17
(65)【公開番号】P2022049952
(43)【公開日】2022-03-30
【審査請求日】2021-11-25
(73)【特許権者】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100105935
【弁理士】
【氏名又は名称】振角 正一
(74)【代理人】
【識別番号】100136836
【弁理士】
【氏名又は名称】大西 一正
(72)【発明者】
【氏名】廣田 雅治
(72)【発明者】
【氏名】羽方 満之
(72)【発明者】
【氏名】中村 隼士
(72)【発明者】
【氏名】山本 ひかり
【審査官】杢 哲次
(56)【参考文献】
【文献】韓国登録特許第１０－１９７０２７４（ＫＲ，Ｂ１）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１８－０１３１８３８（ＫＲ，Ａ）
【文献】韓国登録特許第１０－１４０１０２５（ＫＲ，Ｂ１）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１５－００５３２２０（ＫＲ，Ａ）
【文献】特開２００４－１０７０１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開平５－７０５８９（ＪＰ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｂ６５Ｇ １３／１１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ローラコンベア装置のローラシャフトを接地線に電気的に接続するための導電装置であって、前記ローラシャフトの端部に係合する係合部位を有するハウジングと、
導電性材料により形成され、前記ハウジングに設けられた開口を介して前記ハウジングの内部から外部へ突出するシャフト部材と、
前記ハウジング内で、前記シャフト部材を前記ハウジングに対して回転自在に支持する軸受と、
前記シャフト部材と弾性的に当接し、前記シャフト部材と前記ハウジングとの間を電気的に接続して導電経路を形成する導電部と
を備え、
前記ハウジングは、
導電性を有する材料により形成され、前記軸受および前記導電部を収容可能な内部空間を有する本体部と、
前記開口となる貫通孔が設けられるとともに、前記本体部と係合して前記内部空間を塞ぐことで前記軸受および前記導電部を前記内部空間に封止する蓋部と
を有し、
前記本体部と前記蓋部とのうち一方側に、前記内部空間の周囲を取り巻く連続した環状の突起部位が設けられ、前記本体部と前記蓋部とのうち前記一方側とは異なる他方側に設けられ前記突起部位の外周形状に対応する形状の嵌合部位に前記突起部位が嵌合することで、前記本体部と前記蓋部とが一体化されて前記ハウジングをなし、
前記本体部の外周面には、前記内部空間を挟んで互いに平行な１対の本体側平坦面が設けられ、前記蓋部の外周面には、前記本体部と係合した状態で前記本体側平坦面の各々と同一平面をなす１対の蓋側平坦面が設けられる、導電装置。
【請求項2】
前記突起部位が前記嵌合部位に圧入されて前記本体部と前記蓋部とが一体化される請求項１に記載の導電装置。
【請求項3】
前記導電部は、導電性を有する材料により形成され、前記シャフト部材に当接するとともに前記ハウジングと電気的に接続された当接部材と、
前記シャフト部材と前記当接部材との間を接近方向に付勢し押圧力を付与する付勢部材と
を有する請求項１または２に記載の導電装置。
【請求項4】
前記付勢部材は、導電性を有する材料により形成され、前記当接部材と前記ハウジングとの間に介挿された弾性体である請求項３に記載の導電装置。
【請求項5】
前記軸受は、内輪と外輪とが相対的に一の回転軸回りに回転自在のラジアル軸受であり、前記外輪が前記ハウジングに当接し、前記シャフト部材は、前記内輪の内径以下の直径を有する棒状部材の一端部を前記内輪の内径よりも拡径した形状を有し、前記一端部を前記ハウジング内に、前記一端部と反対の他端部を前記ハウジング外に位置させた状態で前記内輪に挿通されている請求項１ないし４のいずれかに記載の導電装置。
【請求項6】
前記シャフト部材のうち前記ハウジング外に露出する部分に、前記接地線を接続するための接続部位を有する請求項１ないし５のいずれかに記載の導電装置。
【請求項7】
中心軸回りに回転するローラシャフトと、前記ローラシャフトに取り付けられて前記ローラシャフトと一体的に回転して被搬送物を所定の搬送方向に搬送するローラと、
前記ローラシャフトの端部に装着された請求項１ないし６のいずれかの記載の導電装置と、
前記導電装置に接続された接地線と
を備えるローラコンベア装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、ローラコンベア装置のローラシャフトを電気的に接地するための導電装置およびそれを備えたローラコンベア装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
例えばディスプレイ装置用のガラス基板や電子回路基板等の各種基板を処理してデバイス製造を行う処理プロセスにおいては、基板をローラコンベア装置で搬送することが一般に行われる。ローラコンベア装置のローラシャフトの回転や、ローラと基板との摩擦に起因して静電気が発生し、これにより基板や基板上に形成されたデバイスを劣化または破壊させるおそれがある。この問題への対応策としては、基板の搬送経路に除電のためのイオナイザを設ける、または、ローラシャフトを例えば電気的に接地しておくことが考えられる。
【0003】
例えば特許文献１に記載の技術は、ローラシャフトの端部に装着されて、接地線を介してローラシャフトを接地するための接地装置に関するものである。この装置においては、ローラシャフトの端部に装着可能なハウジングに対して導電シャフトが回転自在に設けられており、導電シャフトに接地線が接続される。このような構造により、ローラシャフトの回転に伴ってハウジングは回転するが、接地線のねじれの原因となる導電シャフトの回転は抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】韓国特許第１０－１４０１０２５号公報（例えば、図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に記載の接地装置は、部品点数が多く構造が複雑であり、組み立てに大きな手間を要するという問題を有している。特に、付勢用のばねを含む各部品をハウジング内に組み付けてねじにより固定する際、ばねの復元力によって飛び出そうとする部品を押さえつつ工具を用いてねじ止めするという作業が大変に困難であり、かつ長い時間を要する。
【0006】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、電気的な接地を目的としてローラシャフトに取り付けられる装置において、組み立て容易な構造を提案することを第１の目的とする。また、ローラシャフトを接地することによって静電気による基板へのダメージを防止することのできるローラコンベア装置を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
この発明の一の態様は、ローラコンベア装置のローラシャフトを接地線に電気的に接続するための導電装置であって、上記第１の目的を達成するため、前記ローラシャフトの端部に係合する係合部位を有するハウジングと、導電性材料により形成され、前記ハウジングに設けられた開口を介して前記ハウジングの内部から外部へ突出するシャフト部材と、前記ハウジング内で、前記シャフト部材を前記ハウジングに対して回転自在に支持する軸受と、前記シャフト部材と弾性的に当接し、前記シャフト部材と前記ハウジングとの間を電気的に接続して導電経路を形成する導電部とを備えている。
【0008】
そして、前記ハウジングは、導電性を有する材料により形成され、前記軸受および前記導電部を収容可能な内部空間を有する本体部と、前記開口となる貫通孔が設けられるとともに、前記本体部と係合して前記内部空間を塞ぐことで前記軸受および前記導電部を前記内部空間に封止する蓋部とを有し、前記本体部と前記蓋部とのうち一方側に、前記内部空間の周囲を取り巻く連続した環状の突起部位が設けられ、前記本体部と前記蓋部とのうち前記一方側とは異なる他方側に設けられ前記突起部位の外周形状に対応する形状の嵌合部位に前記突起部位が嵌合することで、前記本体部と前記蓋部とが一体化されて前記ハウジングを構成する。さらに、前記本体部の外周面には、前記内部空間を挟んで互いに平行な１対の本体側平坦面が設けられ、前記蓋部の外周面には、前記本体部と係合した状態で前記本体側平坦面の各々と同一平面をなす１対の蓋側平坦面が設けられる。
【0009】
このように構成された発明では、ハウジングを構成する本体部の内部空間にシャフト部材を支持する軸受および導電部を収容した状態で、本体部に蓋部をかぶせ突起部位と嵌合部位とを嵌合させて留め付けることにより、部品の組み付けが完了する。このため、上記従来技術よりも格段に組立が容易である。また、シャフト部材はハウジングに対し回転自在であるため、シャフト部材に接地線を接続することにより、ハウジングがローラシャフトと一体回転する際にも接地線のねじれを抑制することができる。
【0010】
また、この発明の他の一の態様は、ローラコンベア装置であって、上記第２の目的を達成するため、中心軸回りに回転するローラシャフトと、前記ローラシャフトに取り付けられて前記ローラシャフトと一体的に回転して被搬送物を所定の搬送方向に搬送するローラと、前記ローラシャフトの端部に装着された上記構造の導電装置と、前記導電装置に接続された接地線とを備えている。
【0011】
このように構成された発明では、ローラシャフトが電気的に接地された状態で基板を搬送することができるので、静電気による基板へのダメージを未然に防止することが可能である。
【発明の効果】
【0012】
上記のように、本発明によれば、簡単に組み立てが可能でローラシャフトを確実に接地することのできる導電装置を構成することができる。また、このような導電装置をローラコンベア装置に装着することで、搬送される基板へのダメージを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本発明の一実施形態を示す図である。
【図2】導電装置を構成する各部品の内部構造を示す分解断面図である。
【図3】導電装置の組み立て断面図である。
【図4】ハウジングの分解斜視図である
【図5】導電装置の組み立て工程を示すフローチャートである。
【図6】ハウジング外周面の形状が奏する効果を説明する図である。
【図7】本発明に係る導電装置の他の実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
図１は本発明の一実施形態を示す図である。より具体的には、図１（ａ）は本発明に係る導電装置の第１実施形態の外観を示す図である。また、図１（ｂ）はこの導電装置を装備したローラコンベア装置の一部の外観を示す図である。図１（ａ）に示すように、導電装置１は、略円柱状のハウジング１００の中心軸上に突出してシャフト部材４０が設けられた構造を有している。
【0015】
シャフト部材４０はハウジング１００に対し、ハウジング１００の中心軸と略一致する回転軸回りに回転自在となっている。ハウジング１００から外部へ突出したシャフト部材４０の先端には、端子金具７１を介してアース線７０が接続される。シャフト部材４０が設けられた側とは反対側のハウジング１００の端部には、ハウジング１００の中心軸と同軸に雄ねじ１１が形成されている。
【0016】
以下の各図において方向を統一的に示すために、図１（ａ）に示すようにＸＹＺ直交座標系を設定する。ここで、Ｚ軸はハウジング１００の中心軸と平行な方向であり、ＸＹ平面はこれに垂直な座標平面である。
【0017】
図１（ｂ）に示すように、導電装置１はローラコンベア装置９に装着される。より具体的には、ローラコンベア装置９は、平行に配置された１対のフレーム９１０，９１０と、これらのフレーム９１０，９１０により両端を回転自在に軸支された複数のローラシャフト９２０と、各ローラシャフト９２０にそれぞれ複数設けられた搬送ローラ９３０とを備えている。ローラシャフト９２０が回転することにより、搬送ローラ９３０により下面を支持された図示しない基板が所定の搬送方向に搬送される。ローラシャフト９１０は導電性を有する例えば金属製であり、搬送ローラ９３０は導電性を有する例えば樹脂製である。
【0018】
導電装置１は、各ローラシャフト９２０の一方端部９２１に、ハウジング１００の中心軸がローラ回転軸と一致するようにしてそれぞれ取り付けられる。すなわち、各ローラシャフト９２０の一方端部９２１には図示しない雌ねじが形成されており、この雌ねじに導電装置１の雄ねじ１１が螺合されることにより、導電装置１がローラシャフト９２０の端部に装着されるとともにローラシャフト９２０と電気的に接続される。複数のローラシャフト９２０のそれぞれに取り付けられた導電装置１はアース線７０を介して互いに電気的に接続され、最終的には所定の接地電極に接続されて接地される。
【0019】
これにより、基板搬送の過程でローラシャフト９２０に静電気が発生し基板にダメージを与えることが防止される。搬送ローラ９３０で例えばガラス基板を搬送するとき、ガラス基板と搬送ローラ９３０との摩擦により、ガラス基板、ローラシャフト９２０および搬送ローラ９３０に静電気が帯電する。本実施形態のような導電装置がないと、搬送ローラ９３０やローラシャフト９２０から帯電した静電気が基板に向けて放電する、いわゆるスパークが生じることがある。導電装置１によりローラシャフト９２０の電位を管理する、例えば電気的に接地することにより、このようなスパークを防止することができる。
【0020】
ローラシャフト９２０が回転することにより、導電装置１のハウジング１００はローラシャフト９２０と一体的に回転する。一方、アース線７０はシャフト部材４０に取り付けられており、シャフト部材４０はハウジング１００に対し、ハウジング１００の中心軸と同軸の回転軸回りに回転自在である。このため、アース線７０が取り付けられた状態ではシャフト部材４０は回転せず、ローラシャフト９２０の回転に伴ってアース線７０にねじれが発生することは回避される。
【0021】
以下、図２ないし図５を参照して、導電装置１のより詳細な構造について説明する。図２は導電装置を構成する各部品の内部構造を示す分解断面図であり、図３はその組み立て断面図である。また、図４はハウジングの分解斜視図であるまた、図５は導電装置の組み立て工程を示すフローチャートである。
【0022】
図２に示すように、導電装置１は、ハウジング本体１０と、ばね２０と、導電ブロック３０と、シャフト部材４０と、ベアリング５０と、蓋部６０と、アース線７０と、固定ねじ８０と、ワッシャ９０とを備えている。アース線７０以外の各部材の形状は概ね軸対称性を有しており、図１および図２に示すように、これらが同軸状に組み立てられることで導電装置１が構成される。
【0023】
ハウジング本体１０は、導電性を有する材料、例えばステンレス鋼、しんちゅう、アルミニウム等の金属材料により一体的に構成された部品であり、略円柱状の部材の上端中央部から所定の深さまでがくり抜かれて、上端が開口し下端が閉じた筒型形状を有している。これにより、ハウジング本体１０内には、後述の各部品を収容するための内部空間ＳＰが形成されている。図２および図４（ａ）に示すように、ハウジング本体１０の上端には、内部空間ＳＰの周囲を取り巻く環状（円柱状）に形成され、ハウジング本体１０から上向きに突出した突起部位１２が設けられている。
【0024】
ばね２０は、導電性および弾性を有する材料、例えば金属線により形成されたコイルばねである。ばね２０の外径は、ハウジング本体１０の内部空間ＳＰに収まるサイズとなっている。
【0025】
導電ブロック３０は、導電性を有する材料、例えば金属、カーボン（黒鉛）により形成された部品であり、ばね２０の内径より大きな直径を有する円板状部位３１の下部に、ばね２０の内径より小さな直径を有する円柱状部位３２が接続された構造を有している。また、円板状部位３１の上面中央部には窪み３３が設けられている。導電ブロック３０は、円柱状部位３２を下向きにして、ハウジング本体１０内に収容されたばね２０の上に置かれる。そうすると、円柱状部位３２がばね２０の内部に挿通される形で導電ブロック３０がばね２０により弾性的に支持される。
【0026】
シャフト部材４０は、導電性を有する材料、例えばステンレス鋼、しんちゅう、アルミニウム等の金属材料により構成された棒状の部品であり、その下部４１が部分的に拡径されるとともに、下端面４２が逆円錐形状に形成されている。また、上端部４３には雌ねじ４４が形成されている。
【0027】
ベアリング５０はラジアル転がり軸受であり、例えば市販されているボールベアリングを用いることができる。シャフト部材４０の外径は、ベアリング５０の内径に対して適宜のはめあい公差を適用して両者の間がすきまばめの状態となるように設定されている。これにより、例えばベアリング５０の内輪に対し、シャフト部材４０を軽い力で挿通することを可能とすることができる。
【0028】
蓋部６０は、内面６２が円筒面となった概ね筒状の部品である。蓋部６０の内面６２は、ハウジング本体１０の突起部位１２の外周形状に対応したものとなっている。より具体的には、円筒面である内面６２の内径は、同じく円筒面である突起部位１２の外周部の外径とほぼ等しい。突起部位１２が内面６２に嵌合しハウジング本体１０と蓋部６０とが一体化されることでハウジング１００が構成される。突起部位１２の外径は、内面６２の内径以上であることが望ましい。特に、突起部位１２の外径が内面６２の内径よりも僅かに大きければ、突起部位１２が内面６２に圧入されることでハウジング本体１０と蓋部６０とが強固に固結されることになる。
【0029】
蓋部６０の材料は特に限定されないが、例えばハウジング本体１０と同一の材料を用いることが可能である。また、蓋部６０の内面６２の内径は、ベアリング５０の外径に対して適宜のはめあい公差を適用して両者の間がすきまばめの状態となるように設定されている。これにより、例えば蓋部６０に対し、ベアリング５０を軽い力で挿通することを可能とすることができる。
【0030】
一方、蓋部６０の上端６３における開口径は、ベアリング５０の外径よりも少し小さくなっている。つまり、内面６２はその上端において内側（中心軸側）にせり出した構造となっている。これにより、蓋部６０の内部に収容されたベアリング５０が蓋部６０よりも上方に飛び出すことが防止されている。つまり、蓋部６０は、ばね２０、導電ブロック３０、シャフト部材４０およびベアリング５０をハウジング１００内に封止する機能を有する。そして、その上端６３に設けられた開口から、ハウジング１０に対し回転自在のシャフト部材４０の上端が突出している。
【0031】
このシャフト部材４０上端にアース線７０が接続される。具体的には、シャフト部材４０の上端４３に形成された雌ねじ４４に対して固定ねじ８０が螺合する。アース線７０の一端に取り付けられた端子金具７１およびワッシャ９０を挟んで固定ねじ８０が雌ねじ４４に螺合されることで、端子金具７１が機械的にシャフト部材４０に結合され、これによりアース線７０がシャフト部材４０に電気的に接続されることとなる。なお、ワッシャ９０は予め固定ねじ８０に取り付けられていてもよい。すなわち、固定ねじ８０がワッシャ付きのものであってもよい。このようにすることで、組み立て時の作業性を向上させることができる。
【0032】
これらの部材を組み付けて導電装置１を製造する際の工程の一例は図５に示すとおりである。最初に、好ましくはハウジング本体１０の開口部を上向きにした状態で、ばね２０および導電ブロック３０が、この順番でハウジング本体１０の内部空間ＳＰに収容される（ステップＳ１０１、Ｓ１０２）。なお、ばね２０と導電ブロック３０とが組み合わされた状態でハウジング本体１０に収容されてもよい。
【0033】
次に、ベアリング５０にシャフト部材４０が挿通された状態で、これらが一体的にハウジング本体１０に収容される（ステップＳ１０３）。そして、ベアリング５０に蓋部６０をかぶせ、ばね２０による付勢力に抗しつつ蓋部６０を押し込むことで、蓋部６０をハウジング本体１０に嵌合させる（ステップＳ１０４）。
【0034】
ベアリング５０に蓋部６０をかぶせた時点で、ハウジング本体１０内に収容された各部品が外部へ飛び出すことは抑制されている。特に、シャフト部材４０の下端がとがっており、これを受ける導電ブロック３０の上部に窪み３３が設けられていることから、シャフト部材４０が導電ブロック３０上で横方向に滑って位置がずれることも回避されている。したがって、蓋部６０とハウジング本体１０とを螺合する作業自体が、各部品を正規の位置に据え付ける作業を兼ねていることになる。また、ここまでの組み立て作業には特に治工具を必要としない。このように、この導電装置１では、各部品を一体化するための組み立て作業が極めて簡単である。
【0035】
こうして組み立てられた導電装置１にアース線が接続されるが（ステップＳ１０６）、それに先立って、導電装置１がローラシャフト９２０に係合されてもよい（ステップＳ１０５）。すなわち、導電装置１本体をローラシャフト９２０に係合してからアース線９０を接続する方法と、アース線７０まで取り付けが完了した状態の導電装置１にアース線９０を接続する方法（この場合、ステップＳ１０５がステップＳ１０６の後に実行される）とがあり得る。これらは現場での作業性の良否に応じて適宜選択可能である。
【0036】
アース線７０の接続（ステップＳ１０６）は次のようにして行うことができる。固定ねじ８０にワッシャ９０を挿通しまたはワッシャ９０付きの固定ねじ８０を用意し、アース線７０の端部に取り付けられた端子金具７１の取り付け穴に固定ねじ８０を通してシャフト部材４０の雌ねじ４４に止め付けることで、アース線７０が導電装置１に接続される。このとき、固定ねじ８０の締結に例えばドライバのような工具が使用されることになるが、取り付け対象物であるシャフト部材４０はより大きな導電装置１またはローラシャフト９２０に固定された状態であるため、その支持は比較的容易である。
【0037】
図３（ａ）はこのときの状態を示している。この状態では、ハウジング１００の内部空間ＳＰにおいて、導電ブロック３０は、ばね２０を介してハウジング本体１０と電気的に接続されるとともに、押し込まれたばね２０の復元力によって上向きに付勢されている。導電ブロック３０の上面にはシャフト部材４０が押し当てられており、したがってシャフト部材４０も上向きに付勢されている。
【0038】
シャフト部材４０はベアリング５０に挿通されている。シャフト部材４０の拡径部位４１はベアリング５０の下面に突き当てられており、これにより、ベアリング５０に対するシャフト部材４０の上方向への移動が規制される。言い換えれば、シャフト部材４０が上向きに変位しようとするとき、ベアリング５０も一体的に変位する。
【0039】
結果として、ばね２０は、導電ブロック３０、シャフト部材４０およびベアリング５０に対して上向きの付勢力を与える。ベアリング５０の上端は蓋部材６０の上端６３により変位が規制されているため、ベアリング５０が蓋部材６０に押し付けられた状態となる。これにより、各部品の上下方向における位置が固定され、ハウジング１００内で各部品が大きくガタつくことは防止される。
【0040】
図３（ｂ）はシャフト部材４０、ベアリング５０および蓋部６０の当接状態をより詳細に示す部分断面図である。ベアリング５０は例えばボールベアリングであり、外輪５１、内輪５２および転動体５３をその主要構成として備えている。外輪５１と内輪５２との間で転動体５３が転動することで、外輪５１と内輪５２との間で相対的な回転運動が実現される。
【0041】
ここで、シャフト部材４０の拡径部位４１はベアリング５０の内輪５２に当接し、外輪５１には当接していない。言い換えれば、拡径部位４１の外径が、上記関係を満たすように設定されている。一方、蓋部６０の上端６３はベアリング５０の外輪５１に当接し、内輪５２には当接していない。言い換えれば、蓋部６０の上端６３における開口径が、上記関係を満たすように設定されている。
【0042】
そのため、白抜き矢印で示すばね２０の上向きの付勢力Ｆは、シャフト部材４０をベアリング５０の内輪５２に押し付けることでシャフト部材４０と内輪５２との間では変位を生じさせず、蓋部６０をベアリング５０の外輪５１に押し付けることで蓋部６０と外輪５１との間では変位を生じさせないという作用を有する。その一方で、外輪５１と内輪５２との間はスムーズに回転する。その結果、ハウジング１００に対するシャフト部材４０の自由な回転が実現される。
【0043】
ハウジング１００に対してシャフト部材４０が回転することで、シャフト部材４０の先端が導電ブロック３０に突き当てられた状態で滑り運動することになる。このため、導電ブロック３０には、電気伝導性が良好で摩擦係数が低く、かつ耐熱性が高いという性質が求められる。本実施形態では、このような目的に好適なものとしてカーボン（黒鉛）ブロックが使用されている。
【0044】
蓋部６０の内面６２にハウジング本体１０の突起部位１２が嵌め込まれていることで、ベアリング５０の下方への変位は規制されている。しかしながら、上記のようにばね２０の付勢力によって実質的にベアリング５０の変位が規制されているため、ハウジング本体１０による規制作用は必須のものではない。
【0045】
次に、ハウジング１００の側部外周面の形状について説明する。ハウジング１００の外周面は、単純な円筒面であっても機能面で特に問題ないが、図１（ａ）に示すように、この実施形態ではその一部が平坦面となっている。より具体的には、図４（ａ）の斜視図および図４（ｂ）の三面図に示すように、ハウジング本体１０の（－Ｙ）側側面と（＋Ｙ）側側面には、それぞれＸＺ平面と平行な、したがって互いに平行な平坦面（本体側平坦面）１５，１６が設けられている。同様に、蓋部６０の下端部の（－Ｙ）側側面と（＋Ｙ）側側面には、それぞれＸＺ平面と平行な平坦面（蓋側平坦面）６５，６６が設けられている。
【0046】
ハウジング本体１０と蓋部６０とが嵌合されたとき、ハウジング本体１０の平坦面１５と蓋部６０の平坦面６５とが同一平面をなす一方、ハウジング本体１０の平坦面１６と蓋部６０の平坦面６６とが同一平面をなすように、これらの平坦面は形成されている。言い換えれば、組み立て時には互いの平坦面が一致するようにハウジング本体１０と蓋部６０とが組み合わされる。以下では、平坦面１５，６５が一体となった平面に符号１０５を、また平坦面１６，６６が一体となった平面に符号１０６を付すこととする。
【0047】
図６はハウジング外周面の形状が奏する効果を説明する図である。導電装置１がコンベア装置のローラシャフトに取り付けられる際、例えばスパナのような工具Ｔが使用されると想定される。このとき、ハウジング１００の側面に互いに平行な平面１０５，１０６が設けられていれば、図５（ａ）に破線で示すように、両平面１０５，１０６の距離に応じた開口サイズを有する工具Ｔを用いて、空回りを防止しつつ効率よく取り付け作業を行うことが可能である。
【0048】
また、平面１０５が本体側平坦面１５と蓋側平坦面６５とで構成される一方、平面１０６が本体側平坦面１６と蓋側平坦面６６とで構成されることで、次のような効果が得られる。
【0049】
まず、ハウジング１００を小型にする、特にＺ方向における長さを小さく抑える効果がある。その理由は以下のとおりである。平面１０５，１０６のＺ方向長さＬｚは、同方向における工具Ｔの厚さＴｔよりも大きくなければならない。ここで、平面１０５，１０６をハウジング本体１０および蓋部６０の一方のみに設けるとすると、本体側平坦面１５（１６）または蓋側平坦面６５（６６）のＺ方向長さが単独で工具の厚さＴｔよりも大きくなければならず、結果としてハウジング１００全体の長さが大きくなってしまう。平面１０５，１０６の配置をハウジング本体１０と蓋部６０とに振り分けることで、ハウジング１００を小型に構成することができる。
【0050】
また、工具Ｔによってハウジング１００を回転させる際に、ハウジング本体１０と蓋部６０とが一体的に回転し、両者の間にねじり方向の力がかかることが回避される。このような力はハウジング本体１０と蓋部６０との結合を弱めるように作用するが、本実施形態ではこのような力が作用しないので、ハウジング本体１０と蓋部６０との間で緩みが生じることを回避することができる。
【0051】
この効果を確実なものとするためには、本体側平坦面１５（１６）のＺ方向長さＬａ、蓋側平坦面６５（６６）のＺ方向長さＬｂのそれぞれが工具厚さＴｔよりも小さく、かつ長さＬａ，Ｌｂの合計が工具厚さＴｔ以上（より好ましくはこれより大きい）であることが好ましい。こうすることで、平面１０５，１０６に工具Ｔを確実に係合させることができ、しかもハウジング本体１０と蓋部６０との一方のみに回転力が加わってねじれが生じることが回避される。
【0052】
なお、このような平坦面の振り分けにより得られる効果は、本実施形態のようにハウジング本体１０と蓋部６０とが嵌合により結合される場合に限定されるものではない。例えば、ハウジング本体と蓋部とがそれぞれに設けられたねじ部により螺合される場合においても有効である。このような構造では、ハウジング本体と蓋部との間にねじり方向の力が加わることは、両者の間の緩みや離脱などの重大な問題を引き起こす。上記のようにハウジング本体と蓋部とのそれぞれに平坦面を設けそれらが揃うように組み立てることにより、この問題を解消することが可能である。
【0053】
以上のように、この実施形態に係る導電装置１は、ローラコンベア装置９のローラシャフト９２０を電気的に接地する機能を有する。具体的には、それぞれ導電性材料で構成されたハウジング本体１０、ばね２０、導電ブロック３０、シャフト部材４０およびアース線７０を経由して図示しない接地電極に至る導電経路が形成され、ローラシャフト９２０に発生する静電気を除去する。これにより、搬送される基板やその表面に形成されたデバイスを静電気により破壊したり特性を劣化させたりするという問題が回避される。
【0054】
導電装置１は、主要部品をハウジング本体１０に収容した後、蓋部６０を嵌め込むまたは圧入するという簡単な作業で組み立てることができる。このため、特別な治工具を使わず、また少ない工数で組み立てを行うことが可能である。
【0055】
また、ハウジング１００は、ハウジング本体１０と蓋部６０とが、ハウジング本体１０から内部空間ＳＰを囲むように環状に突出した突起部１２を介して嵌合している。このため、使用に伴って内部空間ＳＰで発生する粉塵が外部へ漏れ出すのを抑える効果もある。導電装置１では、導電ブロック３０に対し摺動しつつシャフト部材４０が回転する。このため、特にカーボン製の導電ブロック３０が削られて生じる微粉が内部空間ＳＰに徐々に蓄積することになる。本実施形態ではハウジング本体１０と蓋部６０との間に隙間が生じるのを防止することができ、この隙間から粉塵が漏出するのを防止することが可能である。
【0056】
また、ハウジング本体１０と蓋部６０とが圧入により組み立てられている場合、両者を容易に分離することができない。このことも粉塵防止の観点からは有効である。本実施形態の導電装置は、クリーンルーム環境下で使用される場合がある。ハウジングが分解可能に構成されている場合、クリーンルーム内で偶発的にハウジングが分解され内部の粉塵が漏れ出してしまうと大きな問題となる。容易に分解できない構造としておくことで、このような問題を未然に回避することが可能となる。
【0057】
以下、本発明に係る導電装置の他の実施形態を説明する。これらの実施形態では、上記した第１実施形態と比較して一部の構造が異なっているが、多くの構成は同じである。このため、第１実施形態と同じ構造、機能を有する部材については同一符号を付して詳しい説明を省略することがある。また、上記実施形態との差異は主としてハウジング構造にあるので、ハウジングのみを図示することとする。
【0058】
図７は本発明に係る導電装置の他の実施形態を示す図である。図７（ａ）に示す第２実施形態のハウジング１００ａでは、ハウジング本体１０ａに設けられた突起部１２ａの内面が、蓋部６０ａの内面６２ａと滑らかに連続する円筒面となっている。すなわち、突起部１２ａの内径と、蓋部６０ａの内径とが等しい。このような構造であっても、上記実施形態と同様の効果が得られる。このような構成では上記実施形態のようにハウジング本体と蓋部とでベアリングを挟み込んで支持する機能はないが、前記したとおりベアリングはばねにより付勢されることで変位が規制されているため問題はない。
【0059】
図７（ｂ）に示す第３実施形態のハウジング１００ｂは、上記実施形態とは逆に、蓋部６０ｂに（－Ｚ）方向に延びる環状の突起部位６７ｂが設けられ、これがハウジング本体１０ｂに圧入された構造を有している。このように、「突起部位」はハウジング本体および蓋部のいずれに形成されていてもよい。なお、図７（ｂ）に示す構造では、組み立ての際、上下を逆方向に入れ替えることで作業性が向上する場合がある。すなわち、上下を逆にした蓋部６０ｂ内にベアリング５０等の各部品を収容してからハウジング本体１０ｂを蓋部６０ｂにかぶせる、という手順である。
【0060】
また、図７（ｃ）に示す第４実施形態のハウジング１００ｃでは、ハウジング本体１０ｃの上端に環状の突起部位１２ｃが形成される一方、蓋部６０ｃの下端に突起部位１２ｃに対応する凹部６８ｃが形成されている。突起部位１２ｃが凹部６８ｃに嵌合されることで、ハウジング本体１０ｃと蓋部６０ｃとが一体化される。このような構造によっても上記実施形態と同様の効果が得られる。なお、これとは逆に、蓋部の下端に突起部位が設けられ、ハウジング本体の上端に突起部位に対応する凹部が形成された構造であってもよい。
【0061】
以上説明したように、上記した第１実施形態においては、ハウジング本体１０および蓋部６０がそれぞれ本発明の「本体部」および「蓋部」として機能しており、これらが一体として本発明の「ハウジング」として機能する。
【0062】
また、シャフト部材４０およびベアリング５０がそれぞれ本発明の「シャフト部材」および「軸受」としてそれぞれ機能している。また、ばね２０が本発明の「付勢部材」として機能する一方、導電ブロック３０が本発明の「当接部材」として機能し、これらが一体として本発明の「導電部」として機能している。また、ハウジング本体１０に設けられた突起部位１２が本発明の「突起部位」として機能し、これに対応する蓋部６０の内面６２が本発明の「嵌合部位」として機能している。また、シャフト部材４０に設けられた雌ねじ４４が本発明の「接続部位」に相当し、アース線７０が本発明の「接地線」に相当している。
【0063】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、ハウジング本体１０に設けられた雄ねじ１１を介して導電装置１がローラシャフト９２０に接続される。しかしながら、導電装置をローラシャフトに係合するための構造はこれに限定されず、他のものを適宜用いることが可能である。
【0064】
また例えば、上記実施形態では付勢力の発生源としてコイルばねを用いているが、これに代えて、例えば板ばねや、導電性樹脂材料を用いて付勢力を発生させてもよい。板ばねの材料としては導電性を有するものが好ましく、例えばリン青銅板を好適に適用可能である。
【0065】
また例えば、上記第１実施形態では、付勢力を発生させるばね２０によって導電ブロック３０とハウジング本体１０との導通が確保されているが、付勢力を発生させるための構成と、導通を確保するための構成が同一のものである必要はなく、これらが異なる部材によって実現されるものでもよい。
【0066】
また例えば、上記第１実施形態では、部品間の着脱を容易にするため、シャフト部材４０とベアリング５０の内輪５２との間、および蓋部材６０とベアリング５０の外輪５１との間がいずれもすきまばめの状態とされている。これに代え、いずれか一方が中間ばめあるいはしまりばめの状態とされてもよい。例えばシャフト部材とベアリングとの間がしまりばめとされるとき、シャフト部材と内輪との間が組み立て時に固定されるため、シャフト部材に拡径部位を設けることは必須でない。
【0067】
また、上記実施形態のハウジング本体１０等はその全体が導電性材料（例えば金属）により形成されているが、これに限定されない。すなわち、ローラシャフトと導電部（ばねおよび導電ブロック）とを接続する導電経路が確保されていれば足り、これに関与しない部分については導電性を有していなくてもよい。
【0068】
また、上記実施形態ではアース線７０、固定ねじ８０およびワッシャ９０までを導電装置の構成の一部に含めているが、この導電装置を製品として流通させる場合、これら（特にアース線）については導電装置には含まれない外部部品として扱われてもよい。
【0069】
以上、具体的な実施形態を例示して説明してきたように、本発明に係る導電装置においては、突起部位が嵌合部位に圧入されて本体部と蓋部とが一体化されてもよい。このような構成によれば、本体部と蓋部とが容易に離脱することがないため、導電装置が設置される現場でこれを分解することにより生じ得る粉塵の発生を未然に回避することができる。
【0070】
また例えば、導電部は、導電性を有する材料により形成され、シャフト部材に当接するとともにハウジングと電気的に接続された当接部材と、シャフト部材と当接部材との間を接近方向に付勢し押圧力を付与する付勢部材とを有する構成であってよい。このような構成によれば、シャフト部材の回転に伴って当接部材との間で生じる摺動においても安定的に電気的導通を確保することができる。
【0071】
この場合、例えば、付勢部材は、導電性を有する材料により形成され、当接部材とハウジングとの間に介挿された弾性体であってよい。このような構成によれば、付勢部材は当接部材に付勢力を付与する機能と導通を確保する機能とを兼備することになり、部品点数を低減することが可能である。
【0072】
また例えば、導電部は、導電性を有する材料により形成され、シャフト部材とハウジングとの間に介挿された弾性体であってよい。このような構成によれば、シャフト部材とハウジングとの間が導電部により電気的に、かつ弾性的に接続されることとなり、上記と同様、導電部に付勢力を付与する機能と導通を確保する機能とを兼備させることが可能である。
【0073】
また例えば、軸受は、内輪と外輪とが相対的に一の回転軸回りに回転自在のラジアル軸受であり、外輪がハウジングに当接し、シャフト部材は、内輪の内径以下の直径を有する棒状部材の一端部を内輪の内径よりも拡径した形状を有し、一端部をハウジング内に、一端部と反対の他端部をハウジング外に位置させた状態で内輪に挿通されていてよい。このような構成によれば、ハウジングおよびシャフト部材が軸受に当接することで各部品の位置関係が規定され、しかもハウジングに対してシャフト部材をスムーズに回転させることが可能である。
【0074】
また例えば、本体部の外周面には内部空間を挟んで互いに平行な１対の本体側平坦面が設けられ、蓋部の外周面には本体部と係合した状態で本体側平坦面の各々と同一平面をなす１対の蓋側平坦面が設けられてもよい。このような構成によれば、導電装置をローラシャフトに取り付ける際にスパナ等の工具により付与される回転力が、ハウジング本体と蓋部との両方に加えられる。このため、ハウジング本体と蓋部との間にねじり方向の力が加わり両者の結合が緩むことが防止される。
【0075】
また例えば、シャフト部材のうちハウジング外に露出する部分に、接地線を接続するための接続部位が設けられていてよい。このような構成によれば、ローラシャフトの回転に伴ってハウジングが回転しても、接地線が接続されたシャフト部材の回転は回避することができるので、接地線がねじれたり、接地線の接続によってローラシャフトの回転が阻害されたりすることはない。
【産業上の利用可能性】
【0076】
この発明は、ガラス基板、電子回路基板等、各種の基板を搬送するローラコンベア装置を構成する用途に好適に適用することが可能である。
【符号の説明】
【0077】
１ 導電装置
９ ローラコンベア装置
１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ ハウジング本体（本体部、ハウジング）
１２ 突起部位
２０ ばね（付勢部材）
３０ 導電ブロック（当接部材）
４０ シャフト部材
４４ 雌ねじ（接続部位）
５０ ベアリング（軸受）
６０，６０ａ，６０ｂ，６０ｃ 蓋部（ハウジング）
６２ （蓋部の）内面（嵌合部位）
７０ アース線（接地線）
１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ ハウジング
９ ローラコンベア装置
１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ ハウジング本体（本体部、ハウジング）
１２ 突起部位
２０ ばね（付勢部材）
３０ 導電ブロック（当接部材）
４０ シャフト部材
４４ 雌ねじ（接続部位）
５０ ベアリング（軸受）
６０，６０ａ，６０ｂ，６０ｃ 蓋部（ハウジング）
６２ （蓋部の）内面（嵌合部位）
７０ アース線（接地線）
１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ ハウジング
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】