特許 7257620 部品実装装置、部品実装方法、エアシリンダの制御方法、および、プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-06

(45)【発行日】2023-04-14

(54)【発明の名称】部品実装装置、部品実装方法、エアシリンダの制御方法、および、プログラム

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20230407BHJP

   H05K 13/02 20060101ALI20230407BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20230407BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 B

H05K13/02 U

H01L21/68 A

【請求項の数】 16

(21)【出願番号】P 2019034778

(22)【出願日】2019-02-27

(65)【公開番号】P2020141028

(43)【公開日】2020-09-03

【審査請求日】2021-12-07

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(74)【代理人】

【識別番号】100137235

【弁理士】

【氏名又は名称】寺谷 英作

(74)【代理人】

【識別番号】100131417

【弁理士】

【氏名又は名称】道坂 伸一

(72)【発明者】

【氏名】坪井 保孝

(72)【発明者】

【氏名】齊藤 広能

【審査官】山▲崎▼ 歩美

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－２８６０４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第３２７５７４３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】実開昭５９－０８３２０１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】実開平０２－０９２１０４（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／０４

Ｈ０５Ｋ １３／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｆ１５Ｂ １１／００－１１／２２

Ｆ１５Ｂ ２１／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサと、
前記ピストンが前記第１方向と反対側の第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサと、
前記エアシリンダへのエアの供給を制御することで、前記搬送アームの駆動を制御する制御部と、
エア源に接続された第１エア配管と、
前記第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管、および、前記ピストンを前記第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管と、
前記第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を備え、
前記制御部は、
前記ピストンが単位時間あたり所定の移動量動くように前記エアシリンダへのエアの供給を行うことが可能であり、
前記第１電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止させ、
停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第１センサおよび前記第２センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行い、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁を制御して前記第１電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記ピストンが前記第１方向の限界位置及び前記第２方向の限界位置のいずれにも移動しないように、前記第２電磁弁と前記第３電磁弁との開閉を交互に切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装装置。

【請求項2】

さらに、前記第１エア配管に設けられた第４電磁弁を備え、
前記制御部は、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させる、
請求項１に記載の部品実装装置。

【請求項3】

搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサと、
前記ピストンが前記第１方向と反対側の第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサと、
前記エアシリンダへのエアの供給を制御することで、前記搬送アームの駆動を制御する制御部と、
エア源に接続された第１エア配管と、
前記第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁および第４電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管、および、前記ピストンを前記第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管と、
前記第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を備え、
前記制御部は、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記ピストンが単位時間あたり所定の移動量動くように前記エアシリンダへのエアの供給を行うことが可能であり、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止させ、
停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第１センサおよび前記第２センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行い、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第２電磁弁または前記第３電磁弁の一方の開閉を繰り返し切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装装置。

【請求項4】

搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサと、
前記ピストンが前記第１方向と反対側の第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサと、
前記エアシリンダへのエアの供給を制御することで、前記搬送アームの駆動を制御する制御部と、
エア源に接続された第１エア配管と、
前記第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁および第４電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管、および、前記ピストンを前記第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管と、
前記第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を備え、
前記制御部は、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記ピストンが単位時間あたり所定の移動量動くように前記エアシリンダへのエアの供給を行うことが可能であり、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止させ、
停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第１センサおよび前記第２センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行い、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第２電磁弁および前記第３電磁弁の両方を開放させることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装装置。

【請求項5】

前記制御部は、停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第１センサおよび前記第２センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれかの限界位置に位置する場合には、前記ピストンが位置する一方の限界位置から他方の限界位置に動かないように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させる第２復帰処理を行う、
請求項１から４のいずれか１項に記載の部品実装装置。

【請求項6】

搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサと、
前記ピストンが前記第１方向と反対側の第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサと、
エア源に接続された第１エア配管と、
前記第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管、および、前記ピストンを前記第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管と、
前記第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を備える部品実装装置を用いた部品実装方法であって、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、前記搬送アームを駆動する駆動ステップと、
前記第１電磁弁を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記第１センサおよび前記第２センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁を制御して前記第１電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記ピストンが前記第１方向の限界位置及び前記第２方向の限界位置のいずれにも移動しないように、前記第２電磁弁と前記第３電磁弁との開閉を交互に切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装方法。

【請求項7】

前記部品実装装置は、さらに、前記第１エア配管に設けられた第４電磁弁を備え、
前記部品実装方法では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させる、
請求項６に記載の部品実装方法。

【請求項8】

搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサと、
前記ピストンが前記第１方向と反対側の第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサと、
エア源に接続された第１エア配管と、
前記第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁および第４電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管、および、前記ピストンを前記第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管と、
前記第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を備える部品実装装置を用いた部品実装方法であって、
前記部品実装方法では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を解放させることで、前記エア源からのエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記部品実装方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、前記搬送アームを駆動する駆動ステップと、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記第１センサおよび前記第２センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第２電磁弁または前記第３電磁弁の一方の開閉を繰り返し切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装方法。

【請求項9】

搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、
前記ピストンが第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサと、
前記ピストンが前記第１方向と反対側の第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサと、
エア源に接続された第１エア配管と、
前記第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁および第４電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを前記第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管、および、前記ピストンを前記第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管と、
前記第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を備える部品実装装置を用いた部品実装方法であって、
前記部品実装方法では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を解放させることで、前記エア源からのエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記部品実装方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、前記搬送アームを駆動する駆動ステップと、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記第１センサおよび前記第２センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第２電磁弁および前記第３電磁弁の両方を開放させることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
部品実装方法。

【請求項10】

前記制御ステップにおいて、前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれかの限界位置に位置すると判定した場合には、前記ピストンが位置する一方の限界位置から他方の限界位置に動かないように前記エアシリンダへのエアの供給を再開する第２復帰処理を行う、
請求項６から９のいずれか１項に記載の部品実装方法。

【請求項11】

ピストンを備えるエアシリンダの制御方法であって、
前記エアシリンダの制御方法では、
エア源に接続された第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記ピストンを前記第１方向とは反対側の第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を制御し、
前記エアシリンダの制御方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、
前記第１電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記ピストンの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記ピストンが前記第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサ、および、前記ピストンが前記第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁を制御して前記第１電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記ピストンが前記第１方向の限界位置及び前記第２方向の限界位置のいずれにも移動しないように、前記第２電磁弁と前記第３電磁弁との開閉を交互に切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
エアシリンダの制御方法。

【請求項12】

前記エアシリンダの制御方法では、さらに、前記第１エア配管に設けられた第４電磁弁を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を制御し、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させる、
請求項１１に記載のエアシリンダの制御方法。

【請求項13】

ピストンを備えるエアシリンダの制御方法であって、
前記エアシリンダの制御方法では、
エア源に接続された第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁および第４電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記ピストンを前記第１方向とは反対側の第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を制御し、
前記エアシリンダの制御方法では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記エアシリンダの制御方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記ピストンの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記ピストンが前記第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサ、および、前記ピストンが前記第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第２電磁弁または前記第３電磁弁の一方の開閉を繰り返し切り替えることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
エアシリンダの制御方法。

【請求項14】

ピストンを備えるエアシリンダの制御方法であって、
前記エアシリンダの制御方法では、
エア源に接続された第１エア配管に設けられ、前記エア源からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁および第４電磁弁と、
前記第１エア配管における前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の下流側で分岐され、前記ピストンを第１方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第２エア配管に設けられる第２電磁弁と、
前記ピストンを前記第１方向とは反対側の第２方向に動かすためのエアを前記エアシリンダに供給するための第３エア配管に設けられる第３電磁弁と、を制御することで前記エアシリンダへのエアの供給を制御し、
前記エアシリンダの制御方法では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の両方を開放させることで、前記エア源からエアを前記エアシリンダに供給させ、
前記エアシリンダの制御方法は、
前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、
前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記ピストンの駆動を停止する停止ステップと、
前記停止ステップの後に、前記ピストンが前記第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサ、および、前記ピストンが前記第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含み、
前記第１復帰処理では、前記第１電磁弁および前記第４電磁弁を制御して前記第１電磁弁および前記第４電磁弁の前記下流側へのエアの供給を開始してから、前記第２電磁弁および前記第３電磁弁の両方を開放させることにより、前記エアシリンダへのエアの供給が再開される、
エアシリンダの制御方法。

【請求項15】

前記制御ステップにおいて、前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれかの限界位置に位置すると判定した場合には、前記ピストンが位置する一方の限界位置から他方の限界位置に動かないように前記エアシリンダへのエアの供給を再開する第２復帰処理を行う、
請求項１１から１４のいずれか１項に記載のエアシリンダの制御方法。

【請求項16】

請求項１１から１５のいずれか１項に記載のエアシリンダの制御方法をコンピュータに実行させるための
プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、部品実装装置、部品実装方法、エアシリンダの制御方法、および、プログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、表示基板、回路基板等に部品を実装する部品実装装置が広く用いられている。特許文献１には、基板を搬送するための搬送アームを、エアシリンダを用いて駆動させる部品実装装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第３２７５７４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来のエアシリンダを備える部品実装装置は、エアシリンダにエアを供給することで、所定の第１方向と当該第１方向とは反対側の方向である第２方向とに、エアシリンダが有するピストンを駆動させる。通常、ピストンは、所定の第１方向と当該第１方向とは反対側の方向である第２方向とのそれぞれの端まで駆動される。

【0005】

ここで、例えば、部品実装装置が動作不良等により緊急にピストンの駆動を停止させた場合、ピストンは、所定の第１方向と当該第１方向とは反対側の方向である第２方向とのそれぞれの端まで駆動されず、それぞれの端の間の中間地点で止まる場合がある。また、この場合に、部品実装装置は、安全性の観点から、エアシリンダ内のエア（圧縮空気）を全て抜く、つまり、エアシリンダ内を大気圧に戻す場合がある。このような場合に、ピストンの駆動が再開されると、エアシリンダ内に急激に圧縮された空気が供給されるため、ピストンが異常な速度で駆動されることとなり、搬送アームが保持している基板の破損、エアシリンダの故障等が発生する。そのため、部品実装装置には、エアシリンダを安全に復旧して駆動させることが求められている。

【0006】

本発明は、エアシリンダを安全に復旧して駆動させることが可能な部品実装装置等を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係る部品実装装置は、搬送アームと、前記搬送アームを駆動するピストンを備えるエアシリンダと、前記ピストンが第１方向の限界位置に位置することを検知する第１センサと、前記ピストンが前記第１方向と反対側の第２方向の限界位置に位置することを検知する第２センサと、前記エアシリンダへのエアの供給を制御することで、前記搬送アームの駆動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記ピストンが単位時間あたり所定の移動量動くように前記エアシリンダへのエアの供給を行うことが可能であり、前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止させ、停止している前記搬送アームの駆動を再開させる際に、前記第１センサおよび前記第２センサの検知結果に基づき、前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う。

【0008】

また、本発明の一態様に係る部品実装方法は、エアシリンダにエアを供給して前記エアシリンダが備えるピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、前記ピストンと接続された搬送アームを駆動する駆動ステップと、前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記搬送アームの駆動を停止する停止ステップと、前記停止ステップの後に、第１センサおよび第２センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが第１方向の限界位置または第２方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含む。

【0009】

また、本発明に一態様に係るエアシリンダの制御方法は、ピストンを備えるエアシリンダの制御方法であって、前記エアシリンダにエアを供給して前記ピストンを単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、前記エアシリンダへのエアの供給を遮断することにより、前記エアシリンダ内を大気圧にして前記ピストンの駆動を停止する停止ステップと、前記停止ステップの後に、第１センサおよび第２センサの検知結果に基づいて、前記ピストンが第１方向の限界位置または第２方向の限界位置に位置するか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップで前記ピストンが前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置のいずれにも位置しないと判定した場合には、前記ピストンの単位時間あたりの移動量が前記所定の移動量よりも小さくなるように前記エアシリンダへのエアの供給を再開させてから、前記ピストンを前記第１方向の限界位置または前記第２方向の限界位置に動かす復帰処理を行う制御ステップと、を含む。

【0010】

また、本発明の一態様に係るプログラムは、上記エアシリンダの制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムである。

【0011】

なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭ等の記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。

【発明の効果】

【0012】

本発明の一態様に係る部品実装装置等によれば、エアシリンダを安全に復旧して駆動させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、実施の形態に係る部品実装装置を示す概略構成図である。

【図2】図２は、実施の形態に係る部品実装装置の動作の第１例を示す概略構成図である。

【図3】図３は、実施の形態に係る部品実装装置の動作の第２例を示す概略構成図である。

【図4】図４は、実施の形態に係る部品実装装置の動作の第３例を示す概略構成図である。

【図5】図５は、実施の形態に係る部品実装装置の動作の第４例を示す概略構成図である。

【図6】図６は、実施の形態に係る部品実装装置が備えるエアシリンダを駆動するための構成の詳細を説明するための概略構成図である。

【図7】図７は、実施の形態に係る部品実装装置が備える電磁弁の動作状態を説明するための表である。

【図8】図８は、実施の形態に係る部品実装装置の動作を非常停止する際の動作手順を説明するためのフローチャートである。

【図9】図９は、実施の形態に係る部品実装装置の動作を復旧する際の動作手順を説明するためのフローチャートである。

【図10A】図１０Ａは、実施の形態に係る部品実装装置が実行する復帰処理の第１例を説明するためのグラフである。

【図10B】図１０Ｂは、実施の形態に係る部品実装装置が実行する復帰処理の第２例を説明するためのグラフである。

【図10C】図１０Ｃは、実施の形態に係る部品実装装置が実行する復帰処理の第３例を説明するためのグラフである。

【図11】図１１は、実施の形態の変形例に係る部品実装装置が備えるエアシリンダを駆動するための構成の詳細を説明するための概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下では、本発明の実施の形態に係る部品実装装置等について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態、ステップ及びステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

【0015】

また、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。図面は、本発明を示すために適宜強調や省略、比率の調整を行った模式的な図となっており、実際の形状、位置関係、および、比率とは異なる場合がある。

【0016】

また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。

【0017】

（実施の形態）
［構成］
まず、図１～図７を参照して、本発明の一実施の形態における部品実装装置の構成について説明する。

【0018】

図１は、実施の形態に係る部品実装装置１を示す概略構成図である。なお、図１では、図６に示すエアシリンダ７０を駆動するための構成の図示を省略して示している。

【0019】

部品実装装置１は、液晶パネル等の基板５００に複数の処理を施す装置を複数備える部品実装ラインの１つの装置である。部品実装ラインは、インラインで複数の作業を実施する部分である。

【0020】

部品実装装置１を含む部品実装ラインは、基板５００等にフレキシブル部品（フレキシブル基板／ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）等の部品を実装する実装システムである。具体的には、部品実装ラインは、電極により構成された電極部が形成された基板５００にＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）等の異方性導電部材（ＡＣＦ）を貼着し、ＡＣＦを介して基板５００と部品とを熱圧着させる装置である。

【0021】

部品実装装置１は、上流から搬送された基板５００が載置されるローダ部１０と、基板５００にＡＣＦを貼り付けるＡＣＦ貼り付け部２０と、ＡＣＦに部品を仮圧着する仮圧着部３０と、ＡＣＦと共に部品を熱圧着（本圧着）して基板５００と部品との電気的な導通を確保する本圧着部４０と、部品が熱圧着された基板５００を下流に搬出するアンローダ部５０と、を備える。

【0022】

また、基板５００は、搬送部６００により、ローダ部１０、ＡＣＦ貼り付け部２０、仮圧着部３０、本圧着部４０、および、アンローダ部５０の順に順次各部に移載される。

【0023】

ローダ部１０は、部品実装装置１よりも上流側に配置された上流側設備で所定の作業を終えた基板５００が搬入される装置である。ローダ部１０は、例えば、基板５００が載置されるステージを備える。ステージでは、上流側設備から搬入された基板５００を保持される。

【0024】

ＡＣＦ貼り付け部２０は、接着テープの一種であって、異方性導電フィルムをテープ状にしたＡＣＦを基板５００に貼り付ける装置である。

【0025】

仮圧着部３０は、ＡＣＦ貼り付け部２０で基板５００に貼り付けられたＡＣＦ上に、部品を仮圧着する装置である。

【0026】

本圧着部４０は、仮圧着部３０で基板５００に仮圧着された部品を熱圧着（本圧着）する装置である。本圧着は、基板５００へのＡＣＦの貼り付け、基板５００への部品の仮圧着と比較して、長い時間を要する。そのため、部品実装装置１は、本圧着部４０を複数有する場合がある。本実施の形態では、部品実装装置１は、いずれも仮圧着部３０で基板５００に仮圧着された部品を熱圧着（本圧着）する装置である、第１本圧着部４１および第２本圧着部４２を備える。なお、第１本圧着部４１および第２本圧着部４２の動作を区別しない場合は、第１本圧着部４１と第２本圧着部４２とをまとめて本圧着部４０と呼称する場合がある。

【0027】

アンローダ部５０は、本圧着部４０によって部品が圧着された基板５００を部品実装装置１の下流に配置された下流側設備へ搬出する際に基板５００が載置される装置である。例えば、アンローダ部５０は基板５００が載置されるステージを備える。ステージに保持された基板５００は、基板５００を取り出して下流側へ搬出可能な図示しない搬出装置によって下流側設備に搬出される。

【0028】

ローダ部１０、ＡＣＦ貼り付け部２０、仮圧着部３０、第１本圧着部４１、第２本圧着部４２、および、アンローダ部５０は、この順に第１方向に並んで配置されている。

【0029】

また、部品実装装置１は、搬送部６００を備える。

【0030】

搬送部６００は、ローダ部１０、ＡＣＦ貼り付け部２０、仮圧着部３０、第１本圧着部４１、第２本圧着部４２、および、アンローダ部５０に、基板５００を搬送する装置である。

【0031】

搬送部６００は、搬送アーム６１～６４と、エアシリンダ７１、７２と、基台８０と、電動シリンダ９０と、を備える。

【0032】

搬送アーム６１～６４は、基板５００を保持して、第１方向に基板５００を搬送するためのアームである。搬送アーム６１～６４は、基板５００をつかむ（保持）又は離す機能を有する。搬送アーム６１～６４は、例えば、基板５００を吸着してつかむための吸着パッドと、基台８０、又はエアシリンダ７１、７２と接続している接続部と、を備える。

【0033】

搬送アーム６１、６２は、例えば、基台８０と接続されている。搬送アーム６１、６２は、基台８０の動きに応じて駆動（つまり、移動）される。

【0034】

また、搬送アーム６３は、例えば、エアシリンダ７１と接続されている。搬送アーム６１、６２は、エアシリンダ７１の動きに応じて駆動される。

【0035】

また、搬送アーム６４は、例えば、エアシリンダ７２と接続されている。搬送アーム６１、６２は、エアシリンダ７２の動きに応じて駆動される。

【0036】

エアシリンダ７１、７２は、エア（圧縮空気）が供給されることで、第１方向又は第１方向と反対側の方向である第２方向に駆動するエアシリンダである。エアシリンダ７１、７２は、搬送アーム６１、６２を駆動するピストン７６（図６参照）を備える。また、エアシリンダ７１、７２（具体的には、後述するシリンダ７５（図６参照））は、基台８０に固定されている。

【0037】

なお、第１方向とは、エアシリンダ７１、７２が駆動される方向であって、搬送アーム６１～６４によって基板５００が搬送される方向である。また、第２方向とは、エアシリンダ７１、７２が駆動される方向であって、第１方向とは反対方向である。

【0038】

基台８０は、搬送アーム６１、６２が接続され、且つ、エアシリンダ７１、７２が載置されている台である。基台８０は、電動シリンダ９０と接続されており、電動シリンダ９０が駆動されることで、第１方向又は第２方向に駆動される。そのため、搬送アーム６１、６２および、エアシリンダ７１、７２は、電動シリンダ９０の駆動に応じて、第１方向又は第２方向に駆動される。

【0039】

電動シリンダ９０は、基台８０と接続され、基台８０を駆動させるためのシリンダである。電動シリンダ９０は、例えば、電動モータを備え、当該電動モータによって電気的に駆動される。

【0040】

このように、搬送アーム６１～６４は、エアシリンダ７１、７２、および、電動シリンダ９０が駆動されることで、第１方向又は第２方向に駆動される。

【0041】

また、部品実装装置１は、制御部１００と、記憶部１１０と、通知部１２０と、取得部１３０と、を備える。

【0042】

制御部１００は、部品実装装置１が備える各構成要素の動作を制御する制御装置である。制御部１００は、部品実装装置１が備える各構成要素と制御線等により通信可能に接続されており、各構成要素の動作、当該動作のタイミング等を制御する。

【0043】

例えば、制御部１００は、搬送部６００を制御することで、搬送部６００に、ローダ部１０、ＡＣＦ貼り付け部２０、仮圧着部３０、第１本圧着部４１、第２本圧着部４２、および、アンローダ部５０間で、基板５００を搬送させる。具体的には、制御部１００は、エアシリンダ７１、７２へのエアの供給を制御することで、搬送アーム６３、６４の駆動を制御する。

【0044】

続いて、図２～図５を参照して、搬送部６００による基板５００の搬送動作の具体例について説明する。なお、図２～図５には、記憶部１１０等の部品実装装置１が備える構成要素の一部を省略して示している。

【0045】

図２は、実施の形態に係る部品実装装置１の動作の第１例を示す概略構成図である。

【0046】

例えば、仮圧着部３０に位置する基板５００を第１本圧着部４１に搬送するとする。この場合、図２の（ａ）に示すように、制御部１００は、仮圧着部３０に位置する基板５００を搬送アーム６３によって保持させる。

【0047】

次に、図２の（ｂ）に示すように、制御部１００は、電動シリンダ９０を制御して基台８０を第１方向に駆動させることで、搬送アーム６３によって基板５００を第１本圧着部４１まで移動させる。

【0048】

図３は、実施の形態に係る部品実装装置１の動作の第２例を示す概略構成図である。

【0049】

例えば、仮圧着部３０に位置する基板５００を第２本圧着部４２に搬送するとする。この場合、図３の（ａ）に示すように、制御部１００は、仮圧着部３０に位置する基板５００を搬送アーム６３によって保持させる。

【0050】

次に、図３の（ｂ）に示すように、制御部１００は、電動シリンダ９０を制御して基台８０を第１方向に駆動させ、且つ、エアシリンダ７１を制御して第１方向に駆動させることで、搬送アーム６３によって基板５００を第２本圧着部４２まで移動させる。また、制御部１００は、エアシリンダ７１を駆動させる場合、エアシリンダ７２も駆動させる。エアシリンダ７１とエアシリンダ７２とが同じ高さに位置している場合、エアシリンダ７１のみを第１方向に駆動させたとき、エアシリンダ７２に干渉（接触）する。このような干渉を防ぐために、制御部１００は、エアシリンダ７１を第１方向に駆動させる場合、エアシリンダもまた第１方向に駆動させる。

【0051】

図４は、実施の形態に係る部品実装装置１の動作の第３例を示す概略構成図である。

【0052】

例えば、第１本圧着部４１に位置する基板５００をアンローダ部５０に搬送するとする。この場合、図４の（ａ）に示すように、制御部１００は、第１本圧着部４１に位置する基板５００を搬送アーム６４によって保持させる。

【0053】

次に、図４の（ｂ）に示すように、制御部１００は、電動シリンダ９０を制御して基台８０を第１方向に駆動させ、且つ、エアシリンダ７２を制御して第１方向に駆動させることで、搬送アーム６４によって基板５００をアンローダ部５０まで移動させる。

【0054】

図５は、実施の形態に係る部品実装装置１の動作の第４例を示す概略構成図である。

【0055】

例えば、第２本圧着部４２に位置する基板５００をアンローダ部５０に搬送するとする。この場合、図５の（ａ）に示すように、制御部１００は、まず、エアシリンダ７２を制御して第１方向へ駆動させることで、第２本圧着部４２に位置する基板５００を搬送アーム６４によって保持させる。

【0056】

次に、図５の（ｂ）に示すように、制御部１００は、電動シリンダ９０を制御して基台８０を第１方向に駆動させることで、搬送アーム６４によって基板５００をアンローダ部５０まで移動させる。

【0057】

以上のように、制御部１００は、エアシリンダ７１、７２、および、電動シリンダ９０を制御して駆動させることで、基板５００を保持させた搬送アーム６１～６４を第１方向に駆動させて基板５００を搬送させる。また、制御部１００は、エアシリンダ７１、７２が備えるピストン７６が単位時間あたり所定の移動量（言い換えると、距離）動くようにエアシリンダ７１、７２へのエアの供給を行うことが可能である。

【0058】

また、制御部１００は、例えば、非常停止信号を受信した場合には、エアシリンダ７１、７２へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ７１、７２内を大気圧にして搬送アーム６３、６４の駆動を停止させる。

【0059】

ここで、非常停止信号とは、部品実装装置１の動作を停止させる指示を含む信号である。制御部１００は、例えば、取得部１３０によってオペレータから部品実装装置１の動作を停止させるための信号を受信する。

【0060】

また、制御部１００は、第１センサ４００（図６参照）および第２センサ４１０（図６参照）の検知結果に基づき、ピストン７６（図６参照）が第１方向の限界位置または第２方向の限界位置のいずれかの限界位置に位置する場合には、ピストン７６がその位置する一方の限界位置から他方の限界位置に動かないように、エアシリンダ７１、７２へのエアの供給を再開させる第２復帰処理を行う。

【0061】

一方、制御部１００は、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づき、ピストン７６が第１方向の限界位置または第２方向の限界位置のいずれにも位置しない場合には、ピストン７６の単位時間あたりの移動量が所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダ７０へのエアの供給を再開させてからピストン７６を第１方向の限界位置または第２方向の限界位置に動かす第１復帰処理を行う。

【0062】

なお、所定の移動量は、エアシリンダ７１、７２のサイズ、エアシリンダ７０に供給されるエアの供給量等により決定される距離（長さ）である。所定の移動量は、任意に決定されてよい。制御部１００は、例えば、単位時間あたりにエアシリンダ７０に供給されるエアの供給量を、搬送アーム６０によって基板５００を搬送させる場合と、復帰処理とでは、変更させない。制御部１００は、例えば、後述する第２電磁弁２２０（図６参照）および後述する第３電磁弁２３０（図６参照）の開閉の制御を変更することで、ピストン７６の単位時間あたりの移動量を所定の移動量を、搬送アーム６０によって基板５００を搬送させる場合と、復帰処理とで、変更させる。

【0063】

制御部１００は、例えば、図１に示す記憶部１１０に記憶されている制御プログラムと、当該制御プログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等のプロセッサと、によって実現される。

【0064】

再び図１を参照し、記憶部１１０は、制御部１００が実行する制御プログラムを記憶する記憶装置である。記憶部１１０は、例えば、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等のメモリにより実現される。

【0065】

通知部１２０は、部品実装装置１を利用するオペレータ（ユーザ）等に部品実装装置１の動作状態を通知するための装置である。通知部１２０は、部品実装装置１の動作状態を通知することができればよく、例えば、画像を表示するディスプレイでもよいし、音を発するスピーカでもよい。

【0066】

取得部１３０は、部品実装装置１の動作を停止させる指示を含む信号である非常停止信号、又は、非常停止させた部品実装装置１の動作を再開させる指示を含むリセット信号等を取得する。

【0067】

取得部１３０は、オペレータが操作することで、非常停止信号、又は、リセット信号等を制御部１００に送信するためのボタンでもよい。また、例えば、ローダ部１０、ＡＣＦ貼り付け部２０、仮圧着部３０、第１本圧着部４１、第２本圧着部４２、および、アンローダ部５０のそれぞれが、開閉可能な扉部および当該扉部が開放されたか否かを検知して非常停止信号、又は、リセット信号等を送信するセンサ部を備える場合、取得部１３０は、当該センサ部から非常停止信号、又は、リセット信号等を受信するための通信インターフェースでもよい。

【0068】

制御部１００は、例えば、取得部１３０を介して非常停止信号を受信した場合、駆動させている搬送部６００等の部品実装装置１が備える各装置の動作を停止させる。また、制御部１００は、例えば、取得部１３０を介してリセット信号を受信した場合、停止させている搬送部６００等の部品実装装置１が備える各装置の動作を再開させる。

【0069】

続いて、エアシリンダ７１、７２を駆動させるための構成の詳細について説明する。

【0070】

図６は、実施の形態に係る部品実装装置１が備えるエアシリンダ７０を駆動するための構成の詳細を説明するための概略構成図である。なお、図６には、図１に示す部品実装装置１が備えるローダ部１０、ＡＣＦ貼り付け部２０等の構成要素の一部を省略して示している。また、図６には、図１に示すエアシリンダ７１、７２をまとめてエアシリンダ７０と呼称して示している。また、図６には、図１に示す搬送アーム６３、６４をまとめて搬送アーム６０と呼称して示している。

【0071】

図６に示すように、部品実装装置１は、搬送アーム６０と、エアシリンダ７０と、エア源２００と、第１電磁弁２１０と、第２電磁弁２２０と、第３電磁弁２３０と、速度制御弁２５０と、速度制御弁２５１と、第１エア配管３００と、第２エア配管３１０と、第３エア配管３２０と、第１センサ４００と、第２センサ４１０と、を備える。

【0072】

エアシリンダ７０は、基板５００を搬送するための搬送アーム６０を駆動する。エアシリンダ７０は、シリンダ７５と、ピストン７６と、を備える。

【0073】

シリンダ７５は、第１方向に長尺な筒体である。シリンダ７５は、密閉されており、内部に供給されたエアが外部に放出されない。

【0074】

ピストン７６は、搬送アーム６０と接続されており、第１方向又は第２方向に駆動する。具体的には、ピストン７６は、シリンダ７５内の空間をエアが移動不可能なように分割する端部７７を有する。シリンダ７５の行き限７３側にエアが供給された場合、端部７７がエアの圧力によって、戻り限７４側、つまり、第２方向に駆動されることで、ピストン７６全体が第２方向に駆動される。また、シリンダ７５の戻り限７４側にエアが供給された場合、端部７７がエアの圧力によって、行き限７３側、つまり、第１方向に駆動されることで、ピストン７６全体が第１方向に駆動される。

【0075】

端部７７は、シリンダ７５内に位置し、シリンダ７５内にエアが供給された場合、エアの圧力によって行き限７３または戻り限７４に駆動されるピストン７６の一部である。

【0076】

行き限７３は、ピストン７６（具体的には、ピストン７６の端部７７）がシリンダ７５内で第１方向に移動できる限界位置である。

【0077】

戻り限７４は、ピストン７６（具体的には、ピストン７６の端部７７）がシリンダ７５内で第２方向に移動できる限界位置である。

【0078】

エア源２００は、エアシリンダ７０にエアを供給するためのエアの供給源である。エア源２００は、例えば、エアシリンダ７０に供給されるエアが充填されたエアタンクである。

【0079】

第１電磁弁２１０は、第１エア配管３００の途中に設けられ、エア源２００からのエアを供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。具体的には、第１電磁弁２１０は、第１エア配管３００における、エア源２００とエアシリンダ７０との間に設けられ、エア源２００からのエアのエアシリンダ７０への供給と停止（エアの供給の遮断）とを制御するための電磁弁である。

【0080】

第１電磁弁２１０は、第１供給弁２１１と第１排気弁２１２とを備える。

【0081】

第１供給弁２１１は、第１エア配管３００における、エア源２００とエアシリンダ７０との間に設けられ、エア源２００からのエアのエアシリンダ７０への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。

【0082】

第１排気弁２１２は、第１エア配管３００、および、エアシリンダ７０内のエアを抜く、つまり、第１エア配管３００、および、エアシリンダ７０内を大気圧に戻すための電磁弁である。

【0083】

第２電磁弁２２０は、第２エア配管３１０の途中に設けられ、エア源２００からのエアを供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。具体的には、第２電磁弁２２０は、第２エア配管３１０における、エア源２００（具体的には、第１エア配管３００）とエアシリンダ７０との間に設けられ、第１エア配管３００からのエアのエアシリンダ７０への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。

【0084】

第２電磁弁２２０は、第２供給弁２２１と第２排気弁２２２とを備える。

【0085】

第２供給弁２２１は、第２エア配管３１０における、第１エア配管３００とエアシリンダ７０との間に設けられ、第１エア配管３００からのエアのエアシリンダ７０への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。

【0086】

第２排気弁２２２は、第２エア配管３１０、および、エアシリンダ７０内のエアを抜く、つまり、第２エア配管３１０、および、エアシリンダ７０内を大気圧に戻すための電磁弁である。

【0087】

第３電磁弁２３０は、第３エア配管３２０の途中に設けられ、エア源２００からのエアの供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。具体的には、第３電磁弁２３０は、第３エア配管３２０における、エア源２００（具体的には、第１エア配管３００）とエアシリンダ７０との間に設けられ、第１エア配管３００からのエアのエアシリンダ７０への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。

【0088】

第３電磁弁２３０は、第３供給弁２３１と第３排気弁２３２とを備える。

【0089】

第３供給弁２３１は、第３エア配管３２０における、第１エア配管３００とエアシリンダ７０との間に設けられ、第１エア配管３００からのエアのエアシリンダ７０への供給と停止とを切り替えるための電磁弁である。

【0090】

第３排気弁２３２は、第３エア配管３２０、および、エアシリンダ７０内のエアを抜く、つまり、第３エア配管３２０、および、エアシリンダ７０内を大気圧に戻すための電磁弁である。

【0091】

制御部１００は、第２電磁弁２２０（より具体的には、第２供給弁２２１）または第３電磁弁２３０（より具体的には、第３供給弁２３１）の一方を開放し、且つ、他方を閉塞させることで、ピストン７６を第１方向または第２方向に駆動（つまり、移動）させる。

【0092】

速度制御弁２５０は、第２エア配管３１０の途中に設けられ、ピストン７６の移動速度を制御するための弁である。具体的には、速度制御弁２５０は、第２電磁弁２２０およびエアシリンダ７０の間に設けられ、逆止め弁と絞り弁とを並列に組み合わせた構造を備える。速度制御弁２５０は、エアシリンダ７０内の戻り限７４側の空間である第１空間７８からのエアの排出量を絞り弁で制御することによりピストン７６の移動速度を制御する。なお、速度制御弁２５０は、エアシリンダ７０内の戻り限７４側の空間である第１空間７８へのエアの供給量を絞り弁で制御することによりピストン７６の移動速度を制御するようにしてもよい。

【0093】

速度制御弁２５１は、第３エア配管３２０の途中に設けられ、ピストン７６の移動速度を制御するための弁である。具体的には、速度制御弁２５１は、第３電磁弁２３０およびエアシリンダ７０の間に設けられ、逆止め弁と絞り弁とを並列に組み合わせた構造を備える。速度制御弁２５１は、エアシリンダ７０内の行き限７３側の空間である第２空間７９からのエアの排出量を絞り弁で制御することによりピストン７６の移動速度を制御する。なお、速度制御弁２５１は、エアシリンダ７０内の行き限７３側の空間である第２空間７９へのエアの供給量を絞り弁で制御することによりピストン７６の移動速度を制御するようにしてもよい。

【0094】

第１エア配管３００、第２エア配管３１０、および、第３エア配管３２０は、エア源２００から供給されたエアが通過する配管である。第１エア配管３００は、エア源２００に接続されている。具体的には、第１エア配管３００は、一端がエア源２００と接続されており、他端が分岐して第２エア配管３１０および第３エア配管３２０と接続されている。

【0095】

第２エア配管３１０は、一端が第１エア配管３００を介してエア源２００と接続されており、他端がエアシリンダ７０（具体的には、第１空間７８）と接続されている。第２エア配管３１０は、第１エア配管３００の第１電磁弁２１０の下流側で分岐され、ピストン７６を第１方向に動かすためのエアをエアシリンダ７０に供給するための配管である。

【0096】

第３エア配管３２０は、一端が第１エア配管３００を介してエア源２００と接続されており、他端がエアシリンダ７０（具体的には、第２空間７９）と接続されている。第３エア配管３２０は、第１エア配管３００の第１電磁弁２１０の下流側で分岐され、ピストン７６を第２方向に動かすためのエアをエアシリンダ７０に供給するための配管である。

【0097】

第１センサ４００および第２センサ４１０は、それぞれエアシリンダ７０におけるピストン７６の位置を検知するためのセンサである。

【0098】

具体的には、第１センサ４００は、ピストン７６が第１方向の限界位置に位置することを検知するためのセンサである。より具体的には、第１センサ４００は、ピストン７６における端部７７が行き限７３に位置しているか否かを検知するためのセンサである。第１センサ４００に採用されるセンサの種類は、ピストン７６における端部７７が行き限７３に位置しているか否かを検知することができればよく、特に限定されない。例えば、第１センサ４００に採用されるセンサの種類は、磁気センサである。

【0099】

第２センサ４１０は、ピストン７６の第１方向と反対側の第２方向の限界位置に位置することを検知するためのセンサである。より具体的には、第２センサ４１０は、ピストン７６における端部７７が戻り限７４に位置しているか否かを検知するためのセンサである。第２センサ４１０に採用されるセンサの種類は、ピストン７６における端部７７が戻り限７４に位置しているか否かを検知することができればよく、特に限定されない。例えば、第２センサ４１０に採用されるセンサの種類は、磁気センサである。

【0100】

制御部１００は、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づいて、第１電磁弁２１０、第２電磁弁２２０、第３電磁弁２３０、および、速度制御弁２５０、２５１の開閉を制御することで、エアシリンダ７０へのエア源２００からのエアの供給を制御することで、ピストン７６に接続された搬送アーム６０の駆動を制御する。

【0101】

例えば、制御部１００は、非常停止信号を受信した場合には、第１電磁弁２１０を制御してエアシリンダ７０へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ７０内を大気圧にして搬送アーム６０の駆動を停止させる。また、例えば、制御部１００は、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づき、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４に位置する場合に、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０の状態をピストン７６の位置に対応するように制御する。

【0102】

ここで、「ピストン７６の位置に対応するように制御する」とは、例えば、制御部１００が、搬送アーム６０の駆動を再開させる場合に、ピストン７６が行き限７３にあるとき、第２電磁弁２２０を、エアをエアシリンダ７０に供給可能な状態であるＯＮ状態にし、且つ、第３電磁弁２３０を、エアをエアシリンダ７０に供給不可能な状態であるＯＦＦ状態にする制御である。また、「ピストン７６の位置に対応するように制御する」とは、例えば、制御部１００が、搬送アーム６０の駆動を再開させる場合に、ピストン７６が戻り限７４にあるとき、第２電磁弁２２０を、エアをエアシリンダ７０に供給不可能な状態であるＯＦＦ状態にし、且つ、第３電磁弁２３０を、エアをエアシリンダ７０に供給可能な状態であるＯＮ状態にする制御である。こうすることで、制御部１００は、エアシリンダ７０へのエアの供給を開始させた場合に、行き限７３または戻り限７４に位置するピストン７６を、ピストン７６が位置する方向に駆動させるように制御する。そのため、ピストン７６は、エアシリンダ７０にエアの供給が開始された直後は、駆動されない。そのため、ピストン７６を駆動させずに、エアシリンダ７０内をエア（圧縮空気）で満たすことができる。

【0103】

また、例えば、制御部１００は、エアシリンダ７０内を大気圧にして停止させた後の第１復帰処理では、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれにも移動しないように、第２電磁弁２２０と第３電磁弁２３０との開閉を交互に切り替える。制御部１００は、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれにも移動しないように、第２電磁弁２２０と第３電磁弁２３０との開閉を交互に切り替えた後で、さらに、第２電磁弁２２０または第３電磁弁２３０を開放させて、行き限７３または戻り限７４のいずれかにピストン７６を移動させる。

【0104】

なお、制御部１００は、復帰処理後に行き限７３または戻り限７４のいずれにピストン７６を移動させてもよい。例えば、制御部１００は、ピストン７６を非常停止させる際に、最後にピストン７６を第１方向に移動させたか（つまり、第２電磁弁２２０を開放させたか）、第２方向に移動させたか（つまり、第３電磁弁２３０を開放させたか）、を記憶部１１０に記憶させてもよい。制御部１００は、復帰処理後に、ピストン７６を非常停止させる際に最後にピストン７６を駆動させた方向へ駆動させるように、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０を制御してもよい。

【0105】

図７は、実施の形態に係る部品実装装置１が備える第１電磁弁２１０、第２電磁弁２２０、および、第３電磁弁２３０の動作状態を説明するための表である。

【0106】

図７に示すように、制御部１００は、搬送アーム６０を第１方向に駆動させる場合、第１電磁弁２１０における第１供給弁２１１を開状態（開放状態）にし、且つ、第１排気弁２１２を閉状態（閉塞状態）にすることで、第１電磁弁２１０を、エアをエア源２００からエアシリンダ７０へ供給可能な状態であるＯＮ状態とする。こうすることで、エアは、エア源２００から第１エア配管３００へ供給されて、第１エア配管３００内を通過する。また、例えば、制御部１００は、第２電磁弁２２０における第２供給弁２２１を開状態にし、且つ、第２排気弁２２２を閉状態にすることで、第２電磁弁２２０を、エアをエア源２００からエアシリンダ７０へ供給可能な状態であるＯＮ状態とする。こうすることで、エアは、第１エア配管３００から第２エア配管３１０に供給されて、第２エア配管３１０内を通過し、さらに、エアシリンダ７０内の第１空間７８に供給される。一方、例えば、制御部１００は、第３電磁弁２３０における第３供給弁２３１を閉状態にし、且つ、第３排気弁２３２を開状態にすることで、第３電磁弁２３０を、エアをエア源２００からエアシリンダ７０へ供給不可能な状態であるＯＦＦ状態とする。こうすることで、エアは、エアシリンダ７０の第２空間７９には供給されない。そのため、ピストン７６は、第１方向に駆動される。これにより、搬送アーム６０は、第１方向に駆動される。

【0107】

また、制御部１００は、搬送アーム６０を第２方向に駆動させる場合、第１供給弁２１１を開状態にし、第１排気弁２１２を閉状態し、第２供給弁２２１を閉状態にし、第２排気弁２２２を開状態にし、第３供給弁２３１を開状態にし、且つ、第３排気弁２３２を閉状態にする。こうすることで、エアは、エアシリンダ７０の第２空間７９には供給され、且つ、第１空間７８には供給されない。そのため、ピストン７６は、第２方向に駆動される。これにより、搬送アーム６０は、第２方向に駆動される。

【0108】

また、制御部１００は、搬送アーム６０を第１方向に駆動中に停止させる場合、第１供給弁２１１を閉状態にし、第１排気弁２１２を開状態にする。こうすることで、制御部１００は、エアシリンダ７０にエア源２００からエアが供給されない状態とする。また、制御部１００は、第２供給弁２２１を開状態にし、第２排気弁２２２を閉状態にし、第３供給弁２３１を閉状態にし、且つ、第３排気弁２３２を開状態にする。こうすることで、エアシリンダ７０の駆動を再開させる場合に、制御部１００は、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０を制御することなく、第１電磁弁２１０の制御だけで、すぐに、停止時と同様に、搬送アーム６０を第１方向に駆動させることができる。

【0109】

また、制御部１００は、搬送アーム６０を第２方向に駆動中に停止させる場合、第１供給弁２１１を閉状態にし、第１排気弁２１２を開状態にすることで、第１電磁弁２１０を、エアをエア源２００からエアシリンダ７０へ供給不可能な状態であるＯＦＦ状態とする。こうすることで、制御部１００は、エアシリンダ７０にエア源２００からエアが供給されない状態とする。また、制御部１００は、第２供給弁２２１を閉状態にし、第２排気弁２２２を開状態にし、第３供給弁２３１を開状態にし、且つ、第３排気弁２３２を閉状態にする。こうすることで、エアシリンダ７０の駆動を再開させる場合に、制御部１００は、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０を制御することなく、第１電磁弁２１０の制御だけで、すぐに、エアシリンダ７０へのエアの供給を停止する前と同様の第２方向に、搬送アーム６０を駆動させることができる。

【0110】

以上のように、制御部１００は、第１供給弁２１１と第１排気弁２１２とを反対の開閉状態となるように制御する。また、制御部１００は、第２供給弁２２１と第２排気弁２２２とを反対の開閉状態となるように制御する。また、制御部１００は、第２供給弁２２１と第３供給弁２３１とを反対の開閉状態となるように制御する。また、制御部１００は、第２排気弁２２２と第３排気弁２３２とを反対の開閉状態となるように制御する。また、制御部１００は、第３供給弁２３１と第３排気弁２３２とを反対の開閉状態となるように制御する。

【0111】

［処理手順］
続いて、図８および図９を参照して、実施の形態に係る部品実装装置１の動作手順について詳細に説明する。

【0112】

＜非常停止動作＞
図８は、実施の形態に係る部品実装装置１の動作を非常停止する際の動作手順を説明するためのフローチャートである。

【0113】

まず、制御部１００は、エアシリンダ７０を用いて搬送アーム６０を駆動させることで、基板５００の搬送を搬送アーム６０に実行させる（ステップＳ１０１）。

【0114】

次に、制御部１００は、非常停止信号を受信したか否かを判定する（ステップＳ１０２）。ステップＳ１０２では、例えば、制御部１００は、取得部１３０が非常停止信号を取得したか否かを判定する。

【0115】

制御部１００は、非常停止信号を受信していない場合（ステップＳ１０２でＮｏ）、処理をステップＳ１０１に戻し、エアシリンダ７０を用いて搬送アーム６０を駆動させることで、基板５００の搬送を搬送アーム６０に実行させ続ける。

【0116】

一方、制御部１００は、非常停止信号を受信した場合（ステップＳ１０２でＹｅｓ）、第１電磁弁２１０をＯＦＦ状態（つまり、第１供給弁２１１を閉状態とし、第１排気弁２１２を開状態とした状態）とすることで、エアシリンダ７０へのエアの供給を停止させ、且つ、エアシリンダ７０内からエアを抜いて大気圧にして、搬送アーム６０を停止させる（ステップＳ１０３）。

【0117】

＜復旧動作＞
図９は、実施の形態に係る部品実装装置１の動作を復旧する際の動作手順を説明するためのフローチャートである。

【0118】

なお、図９のフローチャートは、例えば、図８に示すステップＳ１０３の後に実行される動作手順である。

【0119】

図９に示すように、まず、制御部１００は、リセット信号を受信したとする（ステップＳ２０１）。具体的には、ステップＳ２０１では、制御部１００は、取得部１３０を介してリセット信号を受信したとする。

【0120】

次に、制御部１００は、非常停止信号が未だ有り続けるか否か判定する（ステップＳ２０２）。具体的に例えば、ステップＳ２０２では、制御部１００は、非常停止信号を未だに受信し続けているか否か判定する。例えば、制御部１００は、取得部１３０がオペレータに押下されることで非常停止信号を制御部１００に送信するボタンである場合、ボタンが押下されたままの状態であるか否かを判定する。

【0121】

制御部１００は、非常停止信号が未だ有り続けると判定した場合（ステップＳ２０２でＹｅｓ）、エアシリンダ７０へのエアの供給を再開せず、通知部１２０に第１エラー通知を通知させる（ステップＳ２０３）。例えば、ステップＳ２０３では、制御部１００は、通知部１２０がディスプレイ等の表示装置である場合、「非常停止信号が消えていないため、起動できません」等の文字を含む画像を第１エラー表示として通知部１２０に表示させる。

【0122】

一方、制御部１００は、非常停止信号が無いと判定した場合（ステップＳ２０２でＮｏ）、第１センサ４００がＯＮとなっている、つまり、第１センサ４００がピストン７６の端部７７を検知しているか否かを判定する（ステップＳ２０４）。具体的には、ステップＳ２０４では、制御部１００は、第１センサ４００の検知結果に基づいて、ピストン７６の端部７７が行き限７３に位置しているか否かを判定する。

【0123】

制御部１００は、第１センサ４００がＯＮとなっていない場合（ステップＳ２０４でＮｏ）、第２センサ４１０がＯＮとなっている、つまり、第２センサ４１０がピストン７６の端部７７を検知しているか否かを判定する（ステップＳ２０５）。具体的には、ステップＳ２０５では、制御部１００は、第２センサ４１０の検知結果に基づいて、ピストン７６の端部７７が戻り限７４に位置しているか否かを判定する。

【0124】

制御部１００は、第２センサ４１０がＯＮとなっていない場合（ステップＳ２０５でＮｏ）、ピストン７６の単位時間あたりの移動量が所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダへのエアの供給を再開させてからピストン７６を行き限７３または戻り限７４に動かす第１復帰処理を行う（ステップＳ２０６）。

【0125】

図１０Ａは、実施の形態に係る部品実装装置１が実行する復帰処理の第１例を説明するためのグラフである。なお、図１０Ａの（ａ）～（ｆ）に示す各グラフは、制御部１００が、エアシリンダ７０へのエアの供給を遮断することで、ピストン７６の駆動を停止させた状態からの時間変化を示す。また、図１０Ａは、ピストン７６を行き限７３に位置させる場合の復帰処理を示すグラフである。

【0126】

具体的には、図１０Ａの（ａ）は、第１電磁弁２１０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ａの（ｂ）は、第２電磁弁２２０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ａの（ｃ）は、第３電磁弁２３０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ａの（ｄ）は、第１センサ４００のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ａの（ｅ）は、第２センサ４１０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ａの（ｆ）は、ピストン７６の位置を示すグラフである。

【0127】

図１０Ａの（ｄ）、（ｅ）に示すように、ピストン７６は、制御部１００がピストン７６の動きを停止させた時刻０において、行き限７３にも戻り限７４にも位置していないとする。この場合、第１センサ４００および第２センサ４１０は、いずれもＯＦＦ状態となる。制御部１００は、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づいて、ピストン７６の位置、本例ではピストン７６が行き限７３にも戻り限７４にも位置していないことを判定する。

【0128】

制御部１００は、ピストン７６が行き限７３にも戻り限７４にも位置していないと判定した場合、第１復帰処理を行う。例えば、制御部１００は、時刻ｔ１において、図１０Ａの（ａ）に示すように、第１電磁弁２１０をＯＮ状態にする。時刻ｔ１において、図１０Ａの（ｂ）に示すように、第２電磁弁２２０はＯＮ状態となっており、且つ、図１０Ａの（ｃ）に示すように、第３電磁弁２３０はＯＦＦ状態となっているため、エアシリンダ７０には、第１空間７８にエアが供給される。これにより、ピストン７６は、行き限７３側に移動する。

【0129】

次に、制御部１００は、時刻ｔ２において、図１０Ａの（ｆ）に示すように、ピストン７６が行き限７３に到達する前に、図１０Ａの（ｂ）に示すように、第２電磁弁２２０をＯＦＦ状態にし、図１０Ａの（ｃ）に示すように、第３電磁弁２３０をＯＮ状態にする。こうすることで、ピストン７６は、行き限７３に到達する前に、戻り限７４側に移動する。

【0130】

次に、制御部１００は、時刻ｔ３において、図１０Ａの（ｆ）に示すように、ピストン７６が戻り限７４に到達する前に、図１０Ａの（ｂ）に示すように、第２電磁弁２２０をＯＮ状態にし、図１０のＡ（ｃ）に示すように、第３電磁弁２３０をＯＦＦ状態にする。こうすることで、ピストン７６は、戻り限７４に到達する前に、行き限７３側に移動する。

【0131】

時刻ｔ１から時刻ｔ３までのように、制御部１００は、時刻ｔ４まで、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０をＯＮ状態とＯＦＦ状態とで繰り返し切り替えさせる第１復帰処理を実行する。

【0132】

制御部１００が第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０をＯＮ状態とＯＦＦ状態とで繰り返し切り替えさせることで、エアシリンダ７０内の第１空間７８および第２空間７９には、エアが充填されていく。エアシリンダ７０内の第１空間７８および第２空間７９に充填されたエアは、ピストン７６の移動速度を抑制する効果を備える。

【0133】

例えば、エアシリンダ７０内にエアが充填された時刻ｔ４において、制御部１００は、図１０の（ｂ）に示すように、第２電磁弁２２０をＯＮ状態にし、図１０Ａの（ｃ）に示すように、第３電磁弁２３０をＯＦＦ状態にする。こうすることで、ピストン７６は、エアシリンダ７０内に充填されたエアによって移動速度が抑制された状態で、例えば、時刻ｔ５に行き限７３に到達する。このとき、第１センサ４００がＯＮ状態となるため、制御部１００は、ピストン７６が行き限７３に位置していると判定できる。

【0134】

このように、制御部１００は、復帰処理では、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれにも移動しないように、第２電磁弁２２０と第３電磁弁２３０との開閉を交互に切り替えさせてから、最終的に、行き限７３または戻り限７４のいずれかにピストン７６を移動させる。

【0135】

なお、制御部１００が時刻ｔ１から時刻ｔ４まで実行した第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０をＯＮ状態とＯＦＦ状態とで繰り返し切り替えさせる回数は、特に限定されない。本実施の形態では、７回であるが、６回以下でもよいし、８回以上でもよい。また、復帰処理において、制御部１００は、ピストン７６を最終的に、行き限７３に移動させてもよいし、戻り限７４に移動させてもよい。

【0136】

また、図１０Ａに示す制御部１００の第１復帰処理の制御方法は、あくまで一例である。

【0137】

図１０Ｂは、実施の形態に係る部品実装装置１が実行する復帰処理の第２例を説明するためのグラフである。

【0138】

具体的には、図１０Ｂの（ａ）は、第１電磁弁２１０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｂの（ｂ）は、第２電磁弁２２０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｂの（ｃ）は、第３電磁弁２３０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｂの（ｄ）は、第１センサ４００のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｂの（ｅ）は、第２センサ４１０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｂの（ｆ）は、ピストン７６の位置を示すグラフである。

【0139】

図１０Ｂの（ｄ）、（ｅ）に示すように、ピストン７６は、制御部１００がピストン７６の動きを停止させた時刻０において、行き限７３にも戻り限７４にも位置していないとする。

【0140】

制御部１００は、ピストン７６が行き限７３にも戻り限７４にも位置していないと判定した場合、第１復帰処理を行う。例えば、制御部１００は、第１例と同様に、図１０Ｂの（ａ）に示すように、第１電磁弁２１０をＯＮ状態にし、図１０Ｂの（ｂ）に示すように、第２電磁弁２２０をＯＮ状態とＯＦＦ状態とを繰り返させる。

【0141】

ここで、第２例においては、図１０Ｂの（ｃ）に示すように、第３電磁弁２３０をＯＦＦ状態にさせ続ける。

【0142】

このように、例えば、第２電磁弁２２０と第３電磁弁２３０とを互いに独立して開閉できるように構成されている場合、制御部１００は、第１復帰処理では、第２電磁弁２２０または第３電磁弁２３０の一方の開閉を繰り返し切り替えてもよい。制御部１００は、第２電磁弁２２０または第３電磁弁２３０の一方の開閉を繰り返し切り替えた後で、行き限７３または戻り限７４のいずれかにピストン７６を移動させてもよい。このように、制御部１００は、エアシリンダ７０内の第１空間７８と第２空間７９の一方に、間欠的にエアを供給させることで、ピストン７６を徐々に、すなわち、ピストン７６の移動速度が抑制された状態で、行き限７３または戻り限７４まで移動させてもよい。

【0143】

なお、図１０Ｂに示す第２例においては、制御部１００は、第２電磁弁２２０及び第３電磁弁２３０のうちの第２電磁弁２２０のみの開閉を繰り返し切り替えた。もちろん、制御部１００は、第２電磁弁２２０及び第３電磁弁２３０のうちの第３電磁弁２３０のみの開閉を繰り返し切り替えてもよい。

【0144】

図１０Ｃは、実施の形態に係る部品実装装置１が実行する復帰処理の第３例を説明するためのグラフである。

【0145】

具体的には、図１０Ｃの（ａ）は、第１電磁弁２１０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｃの（ｂ）は、第２電磁弁２２０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｃの（ｃ）は、第３電磁弁２３０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｃの（ｄ）は、第１センサ４００のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｃの（ｅ）は、第２センサ４１０のＯＮ状態またはＯＦＦ状態を示すグラフである。また、図１０Ｃの（ｆ）は、ピストン７６の位置を示すグラフである。

【0146】

図１０Ｃの（ｄ）、（ｅ）に示すように、ピストン７６は、制御部１００がピストン７６の動きを停止させた時刻０において、行き限７３にも戻り限７４にも位置していないとする。

【0147】

制御部１００は、ピストン７６が行き限７３にも戻り限７４にも位置していないと判定した場合、第１復帰処理を行う。例えば、制御部１００は、第１例と同様に、図１０Ｃの（ａ）に示すように、第１電磁弁２１０をＯＮ状態にさせる。

【0148】

ここで、第３例においては、図１０Ｃの（ｂ）に示すように、第２電磁弁２２０をＯＮ状態にさせ続け、図１０Ｃの（ｃ）に示すように、第３電磁弁２３０を所定の期間（本実施の形態では、時刻ｔ１から時刻ｔ４までの期間）だけＯＮ状態にさせる。

【0149】

このように、第２電磁弁２２０と第３電磁弁２３０とを互いに独立して開閉できるように構成されている場合、制御部１００は、例えば、第１復帰処理では、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０の両方を開放させてもよい。また、制御部１００は、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０の両方を開放させた後で、行き限７３または戻り限７４のいずれかにピストン７６を移動させてもよい。

【0150】

ピストン７６は、エアシリンダ７０内の第１空間７８および第２空間７９にエアが充填されている状態では、行き限７３または戻り限７４に移動する際に、エアシリンダ７０内に残留しているエアによって移動がある程度妨げられる。つまり、エアシリンダ７０内の第１空間７８と第２空間７９の両方にエアを充填すれば、ピストン７６が異常な速度で移動されることは、抑制できる。そのため、制御部１００は、例えば、第１復帰処理では、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０の両方を開放、つまり、ＯＮ状態とすることで、エアシリンダ７０内の第１空間７８と第２空間７９の両方にエアを充填してから、エアシリンダ７０内に充填されたエアによってピストン７６の移動速度が抑制された状態で、ピストン７６を異常な速度で動かすことなく、行き限７３または戻り限７４のいずれかにピストン７６を移動させてもよい。

【0151】

再び図９を参照し、制御部１００は、第２センサ４１０がＯＮとなっている場合（ステップＳ２０５でＹｅｓ）、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０を戻り限制御状態に設定する（ステップＳ２０７）。ここで、戻り限制御状態とは、第２電磁弁２２０をＯＦＦ状態にし、第３電磁弁２３０をＯＮ状態としている状態である。つまり、ステップＳ２０７では、制御部１００は、第２電磁弁２２０をＯＦＦ状態にし、第３電磁弁２３０をＯＮ状態にする制御を行う。

【0152】

次に、制御部１００は、第１電磁弁２１０をＯＮ状態とする（ステップＳ２０９）ことで、エアシリンダ７０へのエアの供給を開始させる。

【0153】

また、制御部１００は、第１センサ４００がＯＮとなっている場合（ステップＳ２０４でＹｅｓ）、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０を行き限制御状態に設定する（ステップＳ２０８）。ここで、行き限制御状態とは、第２電磁弁２２０をＯＮ状態にし、第３電磁弁２３０をＯＦＦ状態としている状態である。つまり、ステップＳ２０８では、制御部１００は、第２電磁弁２２０をＯＮ状態にし、第３電磁弁２３０をＯＦＦ状態にする制御を行う。

【0154】

次に、制御部１００は、第１電磁弁２１０をＯＮ状態とする（ステップＳ２０９）ことで、エアシリンダ７０へのエアの供給を開始させる。

【0155】

ステップＳ２０７及びステップＳ２０８に示すように、制御部１００は、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づき、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれかの限界位置に位置する場合には、ピストン７６が位置する一方から他方に動かないように、エアシリンダ７１、７２へのエアの供給を再開させる第２復帰処理を行う。つまり、制御部１００は、第２復帰処理では、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づき、第２電磁弁２２０及び第３電磁弁２３０を行き限制御状態又は戻り限制御状態にすることで、ピストン７６を動かさずに、エアシリンダ７０内にエアを供給させる。その後で、制御部１００は、エアシリンダ７０へのエアの供給を開始させ、ピストン７６を動かし始める。

【0156】

［効果等］
以上説明したように、本実施の形態に係る部品実装装置１は、搬送アーム６０と、搬送アーム６０を駆動するピストン７６を備えるエアシリンダ７０と、ピストン７６が行き限７３に位置することを検知する第１センサ４００と、ピストン７６が戻り限７４に位置することを検知する第２センサ４１０と、エアシリンダ７０へのエアの供給を制御することで、搬送アーム６０の駆動を制御する制御部１００と、を備える。制御部１００は、ピストン７６が単位時間あたり所定の移動量動くようにエアシリンダ７０へのエアの供給を行う事が可能となっている。また、制御部１００は、エアシリンダ７０へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ７０内を大気圧にして搬送アーム６０の駆動を停止させる。また、制御部１００は、停止している搬送アーム６０の駆動を再開させる際に、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づき、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれにも位置しない場合には、ピストン７６の単位時間あたりの移動量が所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダへのエアの供給を再開させてからピストン７６を行き限７３または戻り限７４に動かす第１復帰処理を行う。

【0157】

このような構成によれば、制御部１００は、ピストン７６（具体的には、端部７７）が行き限７３または戻り限７４に位置しない場合には、徐々に行き限７３または戻り限７４にピストン７６を移動させる制御をする。そのため、エアシリンダ７０へのエアの供給が再開された場合に、ピストン７６が異常な速度で駆動されることによる、搬送アーム６０が保持している基板５００の破損、エアシリンダ７０の故障等の発生は、抑制される。これにより、部品実装装置１によれば、エアシリンダ７０を安全に復旧して駆動させることができる。

【0158】

また、例えば、制御部１００は、停止している搬送アーム６０の駆動を再開させる際に、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づき、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれかに位置する場合には、ピストン７６が位置する行き限７３または戻り限７４の一方から他方に動かないようにエアシリンダ７０へのエアの供給を再開させる第２復帰処理を行う。

【0159】

このような構成によれば、制御部１００は、ピストン７６を動かさずに、エアシリンダ７０内にエアを供給させる。そのため、エアシリンダ７０へのエアの供給が再開された場合に、ピストン７６が異常な速度で駆動されることによる、搬送アーム６０が保持している基板５００の破損、エアシリンダ７０の故障等の発生は、抑制される。これにより、部品実装装置１によれば、エアシリンダ７０を安全に復旧して駆動させることができる。

【0160】

また、例えば、部品実装装置１は、エア源２００に接続された第１エア配管３００と、第１エア配管３００に設けられ、エア源２００からのエアの供給と停止とを切り替えるための第１電磁弁２１０と、第１エア配管３００における第１電磁弁２１０の下流側で分岐され、ピストン７６を第１方向に動かすためのエアをエアシリンダ７０に供給するための第２エア配管３１０、および、ピストン７６を第２方向に動かすためのエアをエアシリンダ７０に供給するための第３エア配管３２０と、第２エア配管３１０に設けられる第２電磁弁２２０と、第３エア配管３２０に設けられる第３電磁弁２３０と、をさらに備える。この場合、制御部１００は、例えば、第１電磁弁２１０を制御してエアシリンダ７０へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ７０内を大気圧にして搬送アーム６０の駆動を停止させる。また、制御部１００は、例えば、第１復帰処理では、第１電磁弁２１０を制御して第１電磁弁２１０の下流側へのエアの供給を開始してから、第２電磁弁２２０と第３電磁弁２３０との開閉を交互に切り替えることにより、エアシリンダ７０へのエアの供給が再開される。

【0161】

このような構成によれば、制御部１００は、ピストン７６を、行き限７３または戻り限７４に到達させる前に行き限７３または戻り限７４に繰り返し移動させてから、行き限７３または戻り限７４に位置させる。こうすることで、制御部１００は、ピストン７６を徐々に行き限７３または戻り限７４に移動させることができる。

【0162】

また、例えば、制御部１００は、第１復帰処理では、第２電磁弁２２０または第３電磁弁２３０の一方の開閉を繰り返し切り替えることにより、エアシリンダ７０へのエアの供給が再開される。

【0163】

このような構成によれば、制御部１００は、第２電磁弁２２０または第３電磁弁２３０のみの開閉を制御するだけで、ピストン７６を徐々に行き限７３または戻り限７４に移動させることができる。そのため、制御部１００が実行する制御内容が簡便化され得る。

【0164】

また、例えば、制御部１００は、復帰処理では、第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０の両方を開放させることにより、エアシリンダ７０へのエアの供給が再開される。

【0165】

このような構成によれば、制御部１００は、ピストン７６を異常な速度で移動させずにエアシリンダ７０にエアを供給することで、エアシリンダ７０内をエアで充填できる。

【0166】

また、本実施の形態に係る部品実装方法は、エアシリンダ７０にエアを供給してエアシリンダ７０が備えるピストン７６を単位時間あたり所定の移動量動くように駆動することで、ピストン７６と接続された搬送アーム６０を駆動する駆動ステップと、エアシリンダ７０へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ７０内を大気圧にして搬送アーム６０の駆動を停止する停止ステップと、停止ステップの後に、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づいて、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４に位置するか否かを判定する判定ステップと、判定ステップでピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれにも位置しないと判定した場合には、ピストン７６の単位時間あたりの移動量が所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダ７０へのエアの供給を再開させてからピストン７６を行き限７３または戻り限７４に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含む。

【0167】

また、例えば、上記制御ステップにおいて上記判定ステップでピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれかに位置すると判定した場合には、ピストン７６が位置する行き限７３または戻り限７４のうちの一方から他方に動かないようにエアシリンダ７０へのエアの供給を再開する第２復帰処理を行う。

【0168】

これらのような方法によれば、部品実装装置１と同様の効果を奏する。

【0169】

また、本実施の形態に係るエアシリンダ７０の制御方法は、ピストン７６を備えるエアシリンダ７０の制御方法であって、エアシリンダ７０にエアを供給してピストン７６を単位時間あたり所定の移動量動くように駆動する駆動ステップと、エアシリンダ７０へのエアの供給を遮断することにより、エアシリンダ７０内を大気圧にしてピストン７６の駆動を停止する停止ステップと、停止ステップの後に、第１センサ４００および第２センサ４１０の検知結果に基づいて、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４に位置するか否かを判定する判定ステップと、判定ステップでピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれにも位置しないと判定した場合には、ピストン７６の単位時間あたりの移動量が当該所定の移動量よりも小さくなるようにエアシリンダ７０へのエアの供給を再開させてからピストン７６を行き限７３または戻り限７４に動かす第１復帰処理を行う制御ステップと、を含む。

【0170】

このような方法によれば、ピストン７６が行き限７３または戻り限７４に位置しない場合には、徐々に行き限７３または戻り限７４にピストン７６を移動させることができる。そのため、エアシリンダ７０へのエアの供給が再開された場合に、ピストン７６が異常な速度で駆動されることによる、エアシリンダ７０の故障等の発生は、抑制される。これにより、実施の形態に係るエアシリンダ７０の制御方法によれば、エアシリンダ７０を安全に復旧して駆動させることができる。

【0171】

また、例えば、上記制御ステップにおいて、上記判定ステップでピストン７６が行き限７３または戻り限７４のいずれかに位置すると判定した場合には、ピストン７６が位置する行き限７３または戻り限７４のうちの一方から他方に動かないようにエアシリンダ７０へのエアの供給を再開する第２復帰処理を行う。

【0172】

このような方法によれば、上記制御ステップでは、ピストン７６を動かさずに、エアシリンダ７０内にエアを供給させる。そのため、エアシリンダ７０へのエアの供給が再開された場合に、ピストン７６が異常な速度で駆動されることによるエアシリンダ７０の故障等の発生は、抑制される。これにより、実施の形態に係るエアシリンダ７０の制御方法によれば、エアシリンダ７０を安全に復旧して駆動させることができる。

【0173】

なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭ等の記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。

【0174】

例えば、本発明の一態様に係るプログラムは、エアシリンダ７０の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムである。

【0175】

［変形例］
続いて、実施の形態の変形例に係る部品実装装置について説明する。

【0176】

なお、以下で説明する実施の形態の変形例に係る部品実装装置の説明においては、実施の形態に係る部品実装装置１との差異点を中心に説明する。そのため、実施の形態の変形例に係る部品実装装置の説明においては、実施の形態に係る部品実装装置１と同様の構成については、同様の符号を付し、説明を省略または簡略化する場合がある。

【0177】

図１１は、実施の形態の変形例に係る部品実装装置２が備えるエアシリンダ７０を駆動するための構成の詳細を説明するための概略構成図である。なお、図１１は、図６に示す部品実装装置１に対応する図である。

【0178】

部品実装装置２は、部品実装装置１とは、制御部１０１の制御内容と、搬送部６００ａとが異なる。

【0179】

制御部１０１は、部品実装装置２が備える各装置の動作を制御する制御装置である。

【0180】

搬送部６００ａは、搬送アーム６０と、エアシリンダ７０と、エア源２００と、第１電磁弁２１０ａと、第４電磁弁２４０と、第５電磁弁２４１と、速度制御弁２５０と、速度制御弁２５１と、第１エア配管３００ａと、第２エア配管３１０ａと、第３エア配管３２０ａと、第１センサ４００と、第２センサ４１０と、を備える。

【0181】

第１電磁弁２１０ａは、第１電磁弁２１０における第１供給弁２１１および第２排気弁２２２が一体となっているソレノイドバルブである。このように、本発明に係る部品実装装置が備える電磁弁の種類は、特に限定されない。

【0182】

また、第４電磁弁２４０は、第１エア配管３００ａの途中に設けられ、エア源２００からのエアを供給、または、遮断するための電磁弁である。具体的には、第４電磁弁２４０は、第１エア配管３００ａにおける、第１電磁弁２１０ａとエアシリンダ７０との間に設けられ、エア源２００からのエアのエアシリンダ７０への供給、または、遮断を制御するための電磁弁である。

【0183】

ここで、制御部１０１は、第１電磁弁２１０ａおよび第４電磁弁２４０の両方を開放させることで、エア源２００からエアをエアシリンダ７０に供給させる。例えば、第１電磁弁２１０ａおよび第４電磁弁２４０の少なくとも一方が閉状態となっている場合、エア源２００からエアがエアシリンダ７０に供給させない。

【0184】

このような構成によれば、エアシリンダ７０の駆動を停止させた場合に、例えば、第１電磁弁２１０ａの故障等により、誤動作でエアシリンダ７０へエアが供給されることを抑制できる。

【0185】

特に、複数のエアシリンダ７０を備える部品実装装置２では、エアシリンダ７０の第１空間７８および第２空間７９へのエアの供給を制御するための第５電磁弁２４１を複数備えることとなるが、本変形例の場合、比較的低コストで、搬送部６００ａを構成するエアをエアシリンダ７０へ供給及び排出することでエアシリンダ７０のピストン７６を駆動するための回路（エア駆動回路）の信頼性を高めることが可能となる。エア駆動回路の信頼性を高める方法として、例えば、複数のエアシリンダ７０のそれぞれを駆動するための複数の第５電磁弁２４１のそれぞれを多重化することが考えられるが、この場合、部品実装装置２が備えるエアシリンダ７０の数に多重化の度合い（例えば２重化の場合は２）を乗じた数の第５電磁弁２４１が必要となり、コストが高くなる。これに対し、本変形例の場合、第５電磁弁２４１の上流側に設けられる、エア源２００から第５電磁弁２４１へのエアの供給を制御する電磁弁が複数（具体的には、第１電磁弁２１０ａおよび第４電磁弁２４０）設けられ、多重化される。したがって、第５電磁弁２４１を多重化しなくても、信頼性の高いエア駆動回路を低コストで実現できる。

【0186】

また、第１エア配管は、第５電磁弁２４１を介して分岐して第２エア配管３１０ａおよび第３エア配管３２０ａと接続されている。

【0187】

第５電磁弁２４１は、第２エア配管３１０ａおよび第３エア配管３２０ａの途中に設けられ、エア源２００からのエアを供給、または、遮断するためのソレノイドバルブである。具体的には、第５電磁弁２４１は、第２エア配管３１０ａにおける、エア源２００、具体的には、第１エア配管３００ａとエアシリンダ７０との間に設けられ、且つ、第３エア配管３２０ａにおける、エア源２００、具体的には、第１エア配管３００ａとエアシリンダ７０との間に設けられており、第１エア配管３００からのエアのエアシリンダ７０への供給、または、遮断を制御するための電磁弁である。つまり、第５電磁弁２４１は、図６に示す第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０の両方の機能を有する。

【0188】

このように、図６に示す第２電磁弁２２０および第３電磁弁２３０は、図６に示すように別体でもよいし、図１１に示す第５電磁弁２４１のように一体的に形成されていてもよい。

【0189】

制御部１０１は、第５電磁弁２４１を制御することで、エアシリンダ７０における第１空間７８および第２空間７９それぞれへのエアの供給を制御する。

【0190】

（その他の実施の形態）
以上、本実施の形態に係る部品実装装置等について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。

【0191】

例えば、上記実施の形態では、制御部等の処理部の構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。処理部の各構成要素は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

【0192】

また、処理部の構成要素は、１つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。１つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。

【0193】

１つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）又はＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等が含まれてもよい。ＩＣ又はＬＳＩは、１つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、ＩＣ又はＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Ｖｅｒｙ Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）、又は、ＵＬＳＩ（Ｕｌｔｒａ Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）と呼ばれるかもしれない。また、ＬＳＩの製造後にプログラムされるＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）も同じ目的で使うことができる。

【0194】

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。

【産業上の利用可能性】

【0195】

本発明に係る部品実装装置によれば、エアシリンダを安全に復旧して動作させることが可能であり、本発明に係る部品実装方法は、当該エアシリンダを用いて部品を実装する部品実装装置において有用である。

【符号の説明】

【0196】

１、２ 部品実装装置
１０ ローダ部
２０ ＡＣＦ貼り付け部
３０ 仮圧着部
４０ 本圧着部
４１ 第１本圧着部
４２ 第２本圧着部
５０ アンローダ部
６０、６１、６２、６３、６４ 搬送アーム
７０、７１、７２ エアシリンダ
７３ 行き限
７４ 戻り限
７５ シリンダ
７６ ピストン
７７ 端部
７８ 第１空間
７９ 第２空間
８０ 基台
９０ 電動シリンダ
１００、１０１ 制御部
１１０ 記憶部
１２０ 通知部
１３０ 取得部
２００ エア源
２１０、２１０ａ 第１電磁弁
２１１ 第１供給弁
２１２ 第１排気弁
２２０ 第２電磁弁
２２１ 第２供給弁
２２２ 第２排気弁
２３０ 第３電磁弁
２３１ 第３供給弁
２３２ 第３排気弁
２４０ 第４電磁弁
２４１ 第５電磁弁
２５０、２５１ 速度制御弁
３００、３００ａ 第１エア配管
３１０、３１０ａ 第２エア配管
３２０、３２０ａ 第３エア配管
４００ 第１センサ
４１０ 第２センサ
５００ 基板
６００、６００ａ 搬送部
ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４、ｔ５ 時刻

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10A】

【図10B】

【図10C】

【図11】