特許 7257719 光照射装置、およびこれを備える露光装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-06

(45)【発行日】2023-04-14

(54)【発明の名称】光照射装置、およびこれを備える露光装置

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/1337 20060101AFI20230407BHJP

   G02F 1/13 20060101ALI20230407BHJP

【ＦＩ】

G02F1/1337

G02F1/13 101

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2022141322

(22)【出願日】2022-09-06

(62)【分割の表示】P 2021041003の分割

【原出願日】2021-03-15

(65)【公開番号】P2022184872

(43)【公開日】2022-12-13

【審査請求日】2022-09-06

(31)【優先権主張番号】P 2020089242

(32)【優先日】2020-05-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】510138741

【氏名又は名称】フェニックス電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100147706

【弁理士】

【氏名又は名称】多田 裕司

(72)【発明者】

【氏名】松本 弘

(72)【発明者】

【氏名】井上 智彦

(72)【発明者】

【氏名】山下 健一

【審査官】岩村 貴

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－０１７９５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－０８４０００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０６３８３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１０１０４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国実用新案第２０５２２９６６８（ＣＮ，Ｕ）

【文献】中国実用新案第２０９０１４８７１（ＣＮ，Ｕ）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／０２０４７５１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－２２８５３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３２３０６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１５３９２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０７２７６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０７６０３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０８８０３１５０（ＣＮ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／０４０６６４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００５－１０９０２５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｆ １／１３３７

Ｇ０２Ｆ １／１３

Ｇ０２Ｆ １／１３３９

Ｇ０３Ｆ ７／２０－７／２４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のＬＥＤを有する光源と、
前記光源からの光を受け、透過させた前記光をワークに照射する偏光素子と備えており、
前記ＬＥＤに入力する電力を変化させることによって前記ワークまたは露光面への光の照度や積算光量が調整され、
前記光源は、複数の前記ＬＥＤが配置された複数のＬＥＤモジュールを備えており、
複数の前記光源が前記ワークの移動方向に沿って並べられており、
前記ワークの移動方向に沿って一直線上に並んだ、互いに異なる前記光源に配置されている複数の前記ＬＥＤモジュールで構成されたグループが複数形成されており、
前記各グループに配置された複数の前記ＬＥＤに入力する電力は、前記グループごとに互いに異なる駆動電源によって調整されることを特徴とする
光照射装置。

【請求項2】

前記ワークまたは前記露光面の照度を測定する計測器をさらに備えており、
前記計測器で測定された前記ワークまたは前記露光面の照度や積算光量の値から前記ワークまたは前記露光面における光のムラを算出し、前記ムラに対応する位置にある前記ＬＥＤに入力する電力を変化させて前記ムラが解消されることを特徴とする
請求項１に記載の光照射装置。

【請求項3】

前記偏光素子は、前記光源から照射される光の照射方向に長い形状であることを特徴とする
請求項１または２に記載の光照射装置。

【請求項4】

前記偏光素子は、複数のワイヤーグリッドで構成されており、
前記各ワイヤーグリッドは、台形状に形成されており、
前記光源から照射される光の照射方向に直交する方向に一つの台形の下辺と隣り合う台形の上辺が直線状に並ぶことを特徴とする
請求項１または２に記載の光照射装置。

【請求項5】

前記偏光素子の数は、前記光源の数よりも少ないことを特徴とする
請求項１から４のいずれか１項に記載の光照射装置。

【請求項6】

請求項１から５のいずれか１項に記載の光照射装置を備える露光装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、主に液晶パネルを製造する際の露光用に用いられる光照射装置、およびこれを備える露光装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶をＴＮ方式の表示パネルとして使用する際、２枚のガラス基板の間に液晶を封入してこれらガラス板の内面に形成された透明電極に電圧を印加しただけでは正常も動作しない。これは液晶分子がバラバラの状態にあるからである。

【0003】

液晶に正常なＴＮ方式の動作をさせるためには、液晶分子を一定方向に配向させるとともに、液晶分子の立ち上がり方向を一定にする必要がある。具体的には、ガラス基板に対して３°程度傾く方向に液晶分子を配向させており、この傾きの角度はプレチルト角と呼ばれている。

【0004】

そして、液晶の配向性能をもつ一対のガラス基板のうち、一方のガラス基板をＸ方向に配向するように配置し、対面する他方のガラス基板をＸ方向と直交するＹ方向に配置する。（ＴＮ方式）

【0005】

このように、液晶パネルの製造には液晶配向処理が必要であり、従前より、ガラス基板の表面を物理的に擦るラビング処理が行われてきた（例えば、特許文献１）。このラビング処理とは、ガラス基板上に形成された有機高分子膜を毛足の長い布等で所定の方向に擦ることにより、液晶分子を一定方向に配向させることのできる膜を形成する処理方法である。

【0006】

ラビング処理が普及して、応答速度が速いＴＮ方式が一般的になったことにより、液晶パネルが安定した性能で安価に量産できるようになってパソコン等のＯＡ機器用の表示モニターやゲーム機用のモニターとして液晶モニターが普及した経緯がある。

【0007】

しかし、ラビング方式には、均一性に乏しいこと、ＴＦＴの静電破壊が生じる可能性があること、さらに、ラビング時に生じる粉末ごみが付着するといった信頼性に係わる問題があった。

【0008】

加えて、ラビング方式で達成できるプレチルト角は、上述のように水平配向液晶モードを代表するＴＮ方式においては３°程度であり、低電圧駆動で、高速応答に対応した液晶モードの表示パネルを構成するためには難があった。

【0009】

このようなラビング方式の問題に対応するため、現在では、光配向処理を実施できる露光機が提案されており、この露光機には、光源としてロングアークの水銀灯での使用が試みられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【文献】特開２００７－１７４７５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

しかしながら、ロングアークの水銀灯を用いた露光機にも問題があると考えられる。一般に、露光材料には特定の波長帯域の光に反応するように感光特性が設定されているところ、水銀灯からの光の分光特性を見ると、当該光は多くの水銀線の輝線で構成されていることがわかる。

【0012】

このため、水銀灯を露光用の光源とした場合、露光材料の感光特性から外れた波長の光が多くなることから、当該感光波長帯域を外れた波長の光によって露光材料を過露光させてしまうおそれがあると考えられる。

【0013】

もちろん、感光特性から外れた波長の光線（短波側および長波側）を選択波長反射膜によってカットすることも可能であるが、狭帯域のカットフィルター（バンドパスフィルタ）が必要となり、かつ、高い精度が要求されることから、結果として装置のコストアップにつながってしまう。

【0014】

また、ロングアークの水銀灯から放射される光は広範囲に拡散するので、光配向処理を実施するために重要な水銀灯からの光の照射角の制御が難しく、例えばルーバー等で余分な光を遮る手法も検討されているが、この場合、水銀灯から放射される光の利用効率が低下するという別の問題がある。

【0015】

さらに、コリメートされた（平行化された）光をガラス基板に対して斜めに照射する方法もあるが、この手法は光学系が複雑になることから装置が大型で高価になるという問題があると考えられる。

【0016】

本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡便な構成で光配向処理を実施できる露光装置用の光照射装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0017】

本発明の一局面によれば、
複数のＬＥＤを有する光源と、
前記光源からの光を受け、透過させた前記光をワークに照射する偏光素子と備えており、
前記ＬＥＤに入力する電力を変化させることによって前記ワークまたは露光面への光の照度や積算光量が調整され、
前記光源は、複数の前記ＬＥＤが配置された複数のＬＥＤモジュールを備えており、
複数の前記光源が前記ワークの移動方向に沿って並べられており、
前記ワークの移動方向に沿って一直線上に並んだ、互いに異なる前記光源に配置されている複数の前記ＬＥＤモジュールで構成されたグループが複数形成されており、
前記各グループに配置された複数の前記ＬＥＤに入力する電力は、前記グループごとに互いに異なる駆動電源によって調整されることを特徴とする
光照射装置が提供される。

【0018】

好適には、
前記ワークまたは前記露光面の照度を測定する計測器をさらに備えており、
前記計測器で測定された前記ワークまたは前記露光面の照度や積算光量の値から前記ワークまたは前記露光面における光のムラを算出し、前記ムラに対応する位置にある前記ＬＥＤに入力する電力を変化させて前記ムラが解消される。

【0019】

好適には、
前記偏光素子は、前記光源から照射される光の照射方向に長い形状である。

【0020】

好適には、
前記偏光素子は、複数のワイヤーグリッドで構成されており、
前記各ワイヤーグリッドは、台形状に形成されており、
前記光源から照射される光の照射方向に直交する方向に一つの台形の下辺と隣り合う台形の上辺が直線状に並んでいる。

【0021】

好適には、
前記偏光素子の数は、前記光源の数よりも少ない。

【0022】

本発明の他の局面によれば、
上述した光照射装置を備える露光装置が提供される。

【発明の効果】

【0023】

本発明に係る光照射装置によれば、複数のＬＥＤの光軸をワークに対して第１の角度だけ傾け、各ＬＥＤから放射される光の配向角の半分に相当する第２の角度をこの第１の角度よりも小さく設定することにより、各ＬＥＤから放射された光のすべてがＬＥＤからワークに向かう垂線よりもＬＥＤの光軸側に向かう。

【0024】

これにより、簡便な構成で実効的な照射角を有する光の量が多い光配向処理を実施できる露光装置用の光照射装置を提供することができた。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本発明が適用された光照射装置１０を示す図である。

【図2】複数のＬＥＤモジュール１００で構成された光源１２を備える光照射装置１０示す正面図である。

【図3】角度調節機構１１０を備える光照射装置１０を示す斜視図である。

【図4】角度調節機構１１０を備える光照射装置１０を示す側面図である。

【図5】幅方向位置調節機構１２０を備える光照射装置１０示す正面図である。

【図6】鋸歯状のＬＥＤベース１３０を備える光源１２を示す斜視図である。

【図7】鋸歯状のＬＥＤベース１３０を備える光源１２を示す側面図である。

【図8】全体角度調節機構１５２を備える光照射装置１０を示す斜視図である。

【図9】全体角度調節機構１５２を備える光照射装置１０を示す側面図である。

【図10】変形例１に係る光照射装置１０を示す正面図である。

【図11】変形例１に係る光照射装置１０を示す側面図である。

【図12】変形例２に係る光照射装置１０を示す正面図である。

【図13】変形例２に係る光照射装置１０を示す側面図である。

【図14】変形例３に係る光照射装置１０を示す斜視図である。

【図15】変形例３に係る別の光照射装置１０を示す側面図である。

【図16】変形例８に係る光照射装置１０を示す側面図である。

【図17】変形例９に係る偏光素子１４を示す平面図である。

【図18】変形例１０に係る偏光素子１４を示す平面図である。

【図19】変形例１１に係る光照射装置１０を示す平面図である。

【図20】変形例１１に係る光照射装置１０を示す斜視図である。

【図21】変形例１１に係る光照射装置１０を示す平面図である。

【図22】変形例１１に係る駆動電源１８０の例を示す図である。

【図23】ＬＥＤモジュール１００を示す図である。

【図24】変形例１１に係る、ＬＥＤ群Ｙ，Ｚと露光面Ａにおける計測器１９０との位置関係を示す図である。

【図25】変形例１１に関し、ＬＥＤ群Ｙ，Ｚからの光が露光面Ａを照射する範囲を示す図である。

【図26】変形例１１に関し、ＬＥＤ群Ｙ，Ｚ，Ｖからの光が露光面Ａを照射する範囲を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

（光照射装置１０の構成）
本発明が適用された実施形態に係る光照射装置１０について以下に説明する。光照射装置１０は、主に液晶パネルを製造する際の露光の為に露光装置に組み込まれて用いられる。この光照射装置１０は、図１に示すように、大略、光源１２と、偏光素子１４とを備えている。

【0027】

光源１２は、ワーク（露光対象物）Ｘが載置される露光面Ａに向けて露光用光Ｌを照射する部材であり、本実施形態では複数のＬＥＤ１６が使用されている。これらＬＥＤ１６は露光面Ａ上を一定方向に移動していくワークＸに対して走査するように露光用光Ｌを照射していくので、当該光源１２はワークＸの移動方向に直交する方向に複数のＬＥＤ１６を略直列に配置することによって形成されている。もちろん、ワークＸに対して光照射装置１０が移動して露光用光Ｌを照射してもよし、ワークＸおよび光照射装置１０の両方が移動してもよい。

【0028】

また、光源１２を構成する各ＬＥＤ１６は、これらＬＥＤ１６の光軸ＣＬがワークＸに対して第１の角度θ１（つまり、入射角θ１）を有するように、ワークＸに対して（つまり、露光面Ａに対して）傾けて配置されている。角度成分のバラツキが少ない光を斜めから照射して作成した配向膜を液晶パネルに使用することにより、安定したプレチルト角と配向状態とを出現させることが可能となり、任意の配向モードの液晶パネルが実現できる。

【0029】

なお、図２に示すように、複数のＬＥＤ１６をひとつのＬＥＤモジュール１００にまとめて、複数のＬＥＤモジュール１００を例えば一方向に並べて配置することにより、光源１２を構成してもよい。

【0030】

また、図３および図４に示すように、偏光素子１４に対する光源１２全体の照射角度を調節することのできる角度調節機構１１０を設けてもよい。例示された角度調節機構１１０は、光源１２を構成する複数のＬＥＤモジュール１００が並べられた方向に沿って延びる回動軸１１２を有しており、この回動軸１１２を回動させることによって、偏光素子１４に対する光源１２全体の照射角度を調節できるようになっている。

【0031】

また、図５に示すように、複数のＬＥＤモジュール１００が並べられた方向に光源１２の偏光素子１４に対する位置を調節できる幅方向位置調節機構１２０を設けてもよい。これにより、各ＬＥＤモジュール１００から放射される光の照度ムラが低減するように調節することができる。

【0032】

また、個々のＬＥＤモジュール１００を偏光素子１４に対して所定の角度で配置するのではなく、図６および図７に示すように、断面が鋸歯状のＬＥＤベース１３０を用意し、偏光素子１４に対して所定の角度を有している、各歯に対応する傾斜面１３２にそれぞれＬＥＤ１６を配置してもよい。

【0033】

図１に戻り、各ＬＥＤ１６から放射される光Ｌの配光角の半分である第２の角度θ２は、上述した第１の角度θ１よりも小さくなるように設定されている。

【0034】

偏光素子１４は、光源１２から照射された光のうち一方向に振動する光成分のみを透過して偏光する素子であり、本実施形態では、ワイヤーグリッド偏光素子が使用されている。ワイヤーグリッド偏光素子は、透明基板（ガラス基板）の一方の表面にワイヤーグリッドを形成したものである。本実施形態では、ワイヤーグリッドの形成面１８は、偏光素子１４における光源１２側の面であってもよいし、光源１２とは反対側の面であってもよい。また、偏光素子１４はワークＸ（露光面Ａ）に対して平行となるように配設されるのが好適である。

【0035】

この偏光素子１４の変形例としては、図４に示したように、光源１２に近い側から順に、光学フィルター３０、偏光素子１４、カバー部材４０を配置して、これら光学フィルター３０、偏光素子１４、およびカバー部材４０で偏光素子群１５０を構成してもよい。

【0036】

光学フィルター３０は、光源１２と偏光素子１４との間に配設されており、光源１２から放射された光Ｌのうち所定の波長以上の光Ｌを選択的に透過する部材であって、表面に波長選択膜が形成されている。また、光学フィルター３０は、偏光素子１４と同様、ワークＸ（露光面Ａ）に対して平行となるように配設されるのが好適である。なお、光学フィルター３０としては、以下に説明する条件を満たすものであれば、所定の波長以上の光を透過するロングパスフィルタや、所定の波長範囲の光を透過し、それよりも長波長および短波長の光を遮断するバンドパスフィルタを使用することができる。さらに、光学フィルター３０は、偏光素子１４の光源１２側とは反対側に配設してもよい。

【0037】

カバー部材４０は、光源１２からの光Ｌを透過する例えばガラス製の板材であり、偏光素子１４におけるワイヤーグリッドの形成面１８に対向する位置において、ワークＸと略平行に配設されている。つまり、図示するように偏光素子１４におけるワイヤーグリッドの形成面１８が光源１２側とは反対側に形成されている場合、カバー部材４０も偏光素子１４における光源１２側とは反対側に配設される。逆に、偏光素子１４におけるワイヤーグリッドの形成面１８が光源１２側に形成されている場合（図示せず）、カバー部材４０も偏光素子１４における光源１２側に配設される。

【0038】

なお、カバー部材４０の表面（両面とも）には、反射防止膜等の反射防止処理をしなくてもよいが、一方または両方の表面に反射防止膜等の反射防止処理を行うのが好適である。

【0039】

また、カバー部材４０と偏光素子１４におけるワイヤーグリッドの形成面１８との間の空間Ｓは密閉するのが好適である。例えば、カバー部材４０および偏光素子１４の周縁を保持する保持枠４２を設け、当該保持枠４２でカバー部材４０と偏光素子１４におけるワイヤーグリッドの形成面１８との間の空間Ｓを密閉することが考えられる。

【0040】

なお、上述した「密閉」とは、当該空間Ｓにシロキサン化合物等の微小固形物が侵入しない程度の意味であり、完全な意味での「密閉」は必要ない。

【0041】

また、偏光素子１４にはいわゆる「反射タイプ」のワイヤーグリッドを用いるのが好適である。「反射タイプ」であれば、光源１２からの光Ｌによってワイヤーグリッドが加熱され、密閉された空間の温度が不所望に上昇することによってワイヤーグリッドの形成面１８等を損傷させる可能性が低いからである。

【0042】

さらに、密閉された空間Ｓを冷却することを目的として、カバー部材４０、偏光素子１４、あるいは保持枠４２といった当該空間Ｓを構成する部材を強制空冷または水冷といった方法によって冷却してもよい。

【0043】

なお、ワークＸ（露光面Ａ）や光源１２に対する偏光素子群１５０全体の照射角度を調節することのできる偏光素子群角度調節機構を設けてもよい。この偏光素子群角度調節機構は、光学フィルター３０、偏光素子１４、およびカバー部材４０をひとまとめにして角度調節するものであってもよいし、光学フィルター３０、偏光素子１４、およびカバー部材４０をそれぞれ個別に角度調節するものであってもよい。

【0044】

さらに言えば、図８および図９に示すように、上述した光源１２の角度調節機構１１０と、偏光素子群角度調節機構とをひとまとめにして、ワークＸ（露光面Ａ）に対して光源１２および偏光素子群１５０をまとめて角度調節できる全体角度調節機構１５２としてもよい。例示された全体角度調節機構１５２は、光源１２を構成する複数のＬＥＤモジュール１００が並べられた方向およびこれと同じく偏光素子群１５０が延びる方向に沿って延びる全体回動軸１５４を有しており、この全体回動軸１５４を回動させることによって、ワークＸ（露光面Ａ）に対する光源１２および偏光素子群１５０全体の照射角度を調節できるようになっている。

【0045】

また、偏光素子群１５０が延びる方向（複数のＬＥＤモジュール１００が並べられた方向）に当該偏光素子群１５０の位置を調節する偏光素子群幅方向位置調節機構を設けてもよい。

【0046】

また、光源１２の幅方向位置調節機構１２０と、上述した偏光素子群幅方向位置調節機構とをひとまとめにして、偏光素子群１５０が延びる方向（複数のＬＥＤモジュール１００が並べられた方向）に光源１２および偏光素子群１５０の位置を調節する全体幅方向位置調節機構を設けてもよい。

【0047】

（本実施形態に係る光照射装置１０の効果）
本実施形態に係る光照射装置１０によれば、複数のＬＥＤ１６の光軸ＣＬをワークＸに対して第１の角度θ１だけ傾け、各ＬＥＤ１６から放射される光Ｌの配向角の半分に相当する第２の角度θ２をこの第１の角度θ１よりも小さく設定することにより、各ＬＥＤ１６から放射された光ＬのすべてがＬＥＤ１６からワークＸに向かう垂線よりもＬＥＤ１６の光軸ＣＬ側に向かうようになる。

【0048】

これにより、簡便な構成で実効的な照射角を有する光の量が多い光配向処理を実施できる露光装置用の光照射装置１０を提供することができる。

【0049】

（変形例１）
図１０および図１１に示すように、光源１２および偏光素子群１５０の幅方向両端に反射鏡１６０を配設してもよい。これにより、ワークＸ（露光面Ａ）における、光照射装置１０の幅方向両端部の照度低下を防止することができる。

【0050】

（変形例２）
また、図１２および図１３に示すように、光源１２が延びる方向（幅方向）に対して略直交する方向に照射される光Ｌの一部であって偏光素子群１５０に入らない光Ｌを反射させる、光源１２および偏光素子群１５０の幅方向に延びる幅方向反射鏡１６４を配設してもよい。

【0051】

さらに、変形例１に係る反射鏡１６０と、変形例２に係る幅方向反射鏡１６４とを両方とも備える光照射装置１０としてもよい。

【0052】

（変形例３）
図１４に示すように、上述した光照射装置１０を複数セット配置することにより、光源ユニット１７０を構成してもよい。

【0053】

また、光源ユニット１７０を構成した際、各光照射装置１０の角度調節をそれぞれ単独で行うことができるようにするのが好適である。さらに言えば、各光照射装置１０に含まれる各ＬＥＤモジュール１００や各偏光素子群１５０についても、それぞれ単独で角度調節を行うことができるようにするのが好適である。

【0054】

また、複数のＬＥＤモジュール１００で構成された光源１２の数よりも少ない数の偏光素子群１５０で光源ユニット１７０を構成してもよい。例えば、図１５に示す光源ユニット１７０では、光源１２が５つ用いられているのに対して、偏光素子群１５０は１つだけ用いられている。このように光源１２の数よりも少ない数の偏光素子群１５０で光源ユニット１７０を構成することで、光源１２と偏光素子群１５０とが一対一（光源１２の数と偏光素子群１５０の数とが同じ）である場合に生じるおそれのある、光源１２から照射された光Ｌのケラレを回避できる点で好適である。

【0055】

（変形例４）
ワークＸ（露光面Ａ）の照度を測定する計測器で測定された当該ワークＸ（露光面Ａ）の照度や積算光量が所定の規定値から外れた場合に、各ＬＥＤ１６に入力する電力を変化させることによって、当該照度や積算光量を調整するのが好適である。

【0056】

（変形例５）
ワークＸ（露光面Ａ）の照度を測定する計測器で測定された当該ワークＸ（露光面Ａ）の照度や積算光量の値からワークＸ（露光面Ａ）における光Ｌのムラを算出し、発生した当該ムラに対応する位置にあるＬＥＤ１６に入力する電力を変化させることによって、当該ムラを解消するのが好適である。

【0057】

また、ワークＸ（露光面Ａ）における照度のムラや積算光量のムラが、偏光素子群１５０同士の境目、または、偏光素子群１５０の各構成要素（偏光素子１４、光学フィルター３０、カバー部材４０）の境目で発生した場合、その境目に対応する位置にあるＬＥＤ１６に入力する電力を変化させることによって、当該ムラを解消するのが好適である。

【0058】

（変形例６）
ワークＸあるいは少なくとも光源１２を一定方向に移動させて当該ワークＸを露光する場合において、積算光量のムラが当該移動方向において発生する場合、移動中において対応するＬＥＤ１６に入力する電力を変化させることによって当該光量ムラを解消するのが好適である。

【0059】

（変形例７）
上述した照度や積算光量を、各ＬＥＤ１６を連続点灯あるいは連続消灯することによって調整してもよい。

【0060】

あるいは、上述した照度や積算光量を、各ＬＥＤ１６の点灯および消灯を繰り返し行うことによって調整してもよい。

【0061】

（変形例８）
偏光素子群１５０を構成する（ワイヤーグリッド）偏光素子１４の形状を、図１６に示すように、各光源１２から照射される光Ｌの照射方向に長い形状とするのが好適である。

【0062】

（変形例９）
また、偏光素子１４を構成するワイヤーグリッドの形状として、図１７に示すように、円盤状のウエハー上にワイヤーグリッドを形成し、長方形に切断し、各光源１２から照射される光Ｌの照射方向に直交する方向（各ＬＥＤモジュール１００が並ぶ方向）にこれら長方形が３つ並ぶようにしてもよい。

【0063】

（変形例１０）
また、偏光素子１４を構成するワイヤーグリッドの形状として、図１８に示すように、ワイヤーグリッドを略台形に形成し、各光源１２から照射される光Ｌの照射方向に直交する方向（各ＬＥＤモジュール１００が並ぶ方向）に一つの略台形の下辺と隣り合う略台形の上辺が略直線状に並ぶように配置してもよい。このほうに、ワイヤーグリッドを略台形に形成して配置することにより、変形例９の場合に比べて、各光源１２から照射される光Ｌの照射方向の照度ムラあるいは積算光量ムラの範囲が広くなるものの、その分、ムラの程度が小さくなることから調整がしやすくなり好適である。

【0064】

（変形例１１）
また、図２に示した光源１２を、図１９および図２０に示すように、ワークＸの移動方向に沿って複数（変形例１１では３つ）並べるようにしてもよい。この場合、各光源１２におけるそれぞれひとつのＬＥＤモジュール１００がワークＸの移動方向に沿った一直線上に並ぶように配置されている（図１９中の一点鎖線で囲まれたＬＥＤモジュール１００）。以下、このように一直線上に並んだ、互いに異なる光源１２に配置されている複数のＬＥＤモジュール１００を「同一グループのＬＥＤモジュール１００」という。なお、同一グループの各ＬＥＤモジュール１００は 、同一平面上にあってもよいし、同一平面上になくてもよい。

【0065】

さらに、図２１に示すように、同一グループのＬＥＤモジュール１００にそれぞれ供給される電力をひとつの駆動電源１８０から供給する。これにより、ひとつの駆動電源１８０によって、同一グループのＬＥＤモジュール１００から放射される光量を調整することができる。なお、図２１では、同一グループの各ＬＥＤモジュール１００に対してひとつの駆動電源１８０から並列に電力が供給される例を示しているが、これに変えて、同一グループの各ＬＥＤモジュール１００に対してひとつの駆動電源１８０から直列に電力を供給してもよい。

【0066】

ここで駆動電源１８０の変形例について説明すると、図２２（ａ）に示すように、ひとつの駆動電源１８０に対してひとつの調光信号を入力して、ひとつのグループのＬＥＤモジュール１００に電力を出力するようにしてもよいし、図２２（ｂ）に示すように、ひとつの調光信号を入力して、複数のグループ（この例では２つ）のＬＥＤモジュール１００に対してそれぞれ電力を出力するようにしてもよい。さらに言えば、図２２（ｃ）に示すように、駆動電源１８０に対して、複数（この例では２つ）の調光信号を入力して、複数のグループ（この例では２つ）のＬＥＤモジュール１００に対してそれぞれ電力を出力するようにしてもよい。

【0067】

さらに、この変形例に係る各ＬＥＤモジュール１００では、図２３に示すように、一直線上に並べて配置された５つのＬＥＤ１６を１セットのＬＥＤ群として、２セットのＬＥＤ群が互いに平行に並ぶように配置されている。

【0068】

このように２セットのＬＥＤ群Ｙ，Ｚが配置されたＬＥＤモジュール１００を使用する場合に駆動電源１８０を介して各ＬＥＤ１６から放射される光量を調整する方法について説明する。

【0069】

図２４に示すように、露光面Ａにおける、一方のＬＥＤ群Ｙと他方のＬＥＤ群Ｚとの中間位置に対応する位置に照度を計測する計測器１９０をセットする。これにより、一方のＬＥＤ群Ｙから放射された光および他方のＬＥＤ群Ｚから放射された光の量が計測器１９０で測定される。

【0070】

具体的には、露光面Ａにセットされた計測器１９０がワークＸの移動方向に移動しながら、同一グループのＬＥＤモジュール１００ごとに積算光量を測定する（スキャン測定）。ひとつのグループに係るＬＥＤモジュール１００からの光量の測定が完了すると、露光面Ａにおける計測器１９０の位置を光源１２の幅方向にずらして、隣のグループのＬＥＤモジュール１００からの光の積算光量を測定する。これを順に進めていくことで、すべてのグループの積算光量を測定する。もちろん、計測器１９０を移動させるのではなく、光照射装置１０を計測器１９０に対して移動させてもよいし、双方を移動させてもよい。

【0071】

計測器１９０によって測定された光量に基づき、図示しない制御装置から、最適な光量となるように対応する駆動電源１８０に調光信号を入力する。この調光信号を受けた駆動電源１８０から対応するＬＥＤモジュール１００に出力される電力が調整され、最終的にＬＥＤ群ＹおよびＬＥＤ群Ｚから放射される光量が調整される。

【0072】

このように、駆動電源１８０による光量の調整は、ＬＥＤモジュール１００単位で行われる。もちろん、これに限定するものではなく、ＬＥＤモジュール１００単位ではなく、各ＬＥＤ群単位、さらには、各ＬＥＤ１６単位で駆動電源１８０による光量の調整を行ってもよい。

【0073】

なお、図２５に示すように、異なるＬＥＤ群Ｙ，Ｚに属しており、互いに隣り合う位置にあるＬＥＤ１６のそれぞれ外端位置から露光面Ａに対して鉛直下向きに延ばした仮想線（図中の一点鎖線）が露光面Ａと交わる位置Ｐ１，Ｐ２間が両ＬＥＤ１６からの光を受けることができるように、各ＬＥＤ１６からの光の配光角や露光面ＡとＬＥＤ１６との距離を設定するのが好ましい。

【0074】

この例に従うと、図２６に示すように、１つのＬＥＤモジュール１００に３つのＬＥＤ群Ｙ，Ｚ，Ｖを用いる場合は、両端に位置しているＬＥＤ群ＹおよびＬＥＤ群Ｖに属しているＬＥＤ１６のそれぞれ外端位置から露光面Ａに対して鉛直下向きに延ばした仮想線（図中の一点鎖線）が露光面Ａと交わる位置Ｐ１，Ｐ２間がすべての（この例であれば３つの）ＬＥＤ１６からの光を受けることができるようにすることになる。ＬＥＤ群の数が１つ、あるいは４つ以上でも同様である。

【0075】

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0076】

１０…光照射装置、１２…光源、１４…偏光素子、１６…ＬＥＤ、１８…ワイヤーグリッドの形成面
３０…光学フィルター
４０…カバー部材、４２…保持枠
１００…ＬＥＤモジュール
１１０…角度調節機構、１１２…回動軸
１２０…幅方向位置調節機構、１３０…ＬＥＤベース、１３２…傾斜面
１５０…偏光素子群、１５２…全体角度調節機構、１５４…全体回動軸
１６０…反射鏡、１６４…幅方向反射鏡
１７０…光源ユニット
１８０…駆動電源
１９０…計測器
Ｘ…ワーク（露光対象物）、Ａ…露光面、Ｌ…露光用光、ＣＬ…（ＬＥＤ１６の）光軸、θ１…第１の角度、θ２…第２の角度、Ｓ…（カバー部材４０とワイヤーグリッドの形成面１８との間の）空間、Ｙ…一方のＬＥＤ群、Ｚ…他方のＬＥＤ群、Ｖ…別のＬＥＤ群

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】