特許 7258975 光電子用途の高速データ伝送用のトランジスタアウトラインヘッダ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-07

(45)【発行日】2023-04-17

(54)【発明の名称】光電子用途の高速データ伝送用のトランジスタアウトラインヘッダ

(51)【国際特許分類】

   H01S 5/02212 20210101AFI20230410BHJP

   H01S 5/042 20060101ALI20230410BHJP

【ＦＩ】

H01S5/02212

H01S5/042 612

【請求項の数】 16

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2021143427

(22)【出願日】2021-09-02

(65)【公開番号】P2022043009

(43)【公開日】2022-03-15

【審査請求日】2021-09-02

(31)【優先権主張番号】20194344

(32)【優先日】2020-09-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(73)【特許権者】

【識別番号】504299782

【氏名又は名称】ショット アクチエンゲゼルシャフト

【氏名又は名称原語表記】ＳＣＨＯＴＴ ＡＧ

【住所又は居所原語表記】Ｈａｔｔｅｎｂｅｒｇｓｔｒ． １０， ５５１２２ Ｍａｉｎｚ， Ｇｅｒｍａｎｙ

(74)【代理人】

【識別番号】100114890

【弁理士】

【氏名又は名称】アインゼル・フェリックス＝ラインハルト

(74)【代理人】

【識別番号】100098501

【弁理士】

【氏名又は名称】森田 拓

(74)【代理人】

【識別番号】100116403

【弁理士】

【氏名又は名称】前川 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100134315

【弁理士】

【氏名又は名称】永島 秀郎

(74)【代理人】

【識別番号】100162880

【弁理士】

【氏名又は名称】上島 類

(72)【発明者】

【氏名】オン ワイ リー

(72)【発明者】

【氏名】ジャン ディーン タン

(72)【発明者】

【氏名】アミー スン リー ピン

(72)【発明者】

【氏名】アンドレアス クラウゼ

(72)【発明者】

【氏名】アーティト アオウドムスク

(72)【発明者】

【氏名】カーステン ドレーゲミュラー

【審査官】右田 昌士

(56)【参考文献】

【文献】特開２００８－１２４３５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３５３８４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－０６３８５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／１１１２５７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０２０－０５３５６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２０３４５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０２９３９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０９８８３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０３６００８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－１５３１００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１６３５１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０５０３７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０２０／０２０３９２２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｓ ５／００ － ５／５０

Ｈ０１Ｌ ３３／００ － ３３／６４

Ｈ０１Ｌ ２３／００ － ２３／２６

Ｈ０１Ｌ ３１／００ － ３１／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光電子用途のためのヘッダ（１）であって、
前記ヘッダ（１）は、ヘッダベース（３）を備え、前記ヘッダベース（３）は、高さ方向（Ｚ）、幅方向（Ｘ）および長手方向（Ｙ）に延びていて、ベース背面（５９）およびベース前面（５８）と、少なくとも１つの開口（８）と、を備え、前記開口（８）は、前記ベース背面（５９）から前記ヘッダベース（３）の体積を通って前記幅方向（Ｘ）に沿って前記ベース前面（５８）まで延びていて、前記開口（８）を通して差し込まれる少なくとも１つの電気的に絶縁されたピン（６）を前記開口（８）ごとに収容するようになっており、少なくとも第１のペデスタル（７ａ）は、前記ベース前面（５８）に配置されており、前記第１のペデスタル（７ａ）は、前記高さ方向（Ｚ）において前記開口（８）の中心の下方に配置されていて、少なくともペデスタル取り付け面（４０）と、前記ペデスタル取り付け面（４０）とは反対側のペデスタル自由面（４１）と、ペデスタルサブマウント（９）を取り付けかつ支持するための少なくとも１つの上面（４２）と、を備え、前記第１のペデスタル（７ａ）の前記ペデスタル取り付け面（４０）は、少なくとも部分的に前記ベース前面（５８）と前記ペデスタル取り付け面（４０）との間に配置された導電性材料によって、前記ベース前面（５８）に固定して取り付けられており、
前記第１のペデスタル（７ａ）は、第１のバー（５１）を備え、前記第１のバー（５１）は、前記第１のバー（５１）の側面（５２）が前記第１のペデスタル（７ａ）の第１の側面（４３）を延長させることにより、前記上面（４２）に隣接した側壁（５５）を形成するように、前記上面（４２）に配置されており、前記第１のペデスタル（７ａ）のＬ字形は、前記第１のバー（５１）および前記上面（４２）によって形成されている、
ヘッダ（１）。

【請求項2】

光電子用途のためのヘッダ（１）であって、
前記ヘッダ（１）は、ヘッダベース（３）を備え、前記ヘッダベース（３）は、高さ方向（Ｚ）、幅方向（Ｘ）および長手方向（Ｙ）に延びていて、ベース背面（５９）およびベース前面（５８）と、少なくとも１つの開口（８）と、を備え、前記開口（８）は、前記ベース背面（５９）から前記ヘッダベース（３）の体積を通って前記幅方向（Ｘ）に沿って前記ベース前面（５８）まで延びていて、前記開口（８）を通して差し込まれる少なくとも１つの電気的に絶縁されたピン（６）を前記開口（８）ごとに収容するようになっており、少なくとも第１のペデスタル（７ａ）は、前記ベース前面（５８）に配置されており、前記第１のペデスタル（７ａ）は、前記高さ方向（Ｚ）において前記開口（８）の中心の下方に配置されていて、少なくともペデスタル取り付け面（４０）と、前記ペデスタル取り付け面（４０）とは反対側のペデスタル自由面（４１）と、ペデスタルサブマウント（９）を取り付けかつ支持するための少なくとも１つの上面（４２）と、を備え、前記第１のペデスタル（７ａ）の前記ペデスタル取り付け面（４０）は、少なくとも部分的に前記ベース前面（５８）と前記ペデスタル取り付け面（４０）との間に配置された導電性材料によって、前記ベース前面（５８）に固定して取り付けられており、
前記第１のペデスタル（７ａ）は、第１のバー（５１）および第２のバー（５３）を備え、
前記第１のバー（５１）は、前記第１のバー（５１）の側面が前記第１のペデスタル（７ａ）の第１の側面（４３）を延長させるように前記上面（４２）に配置されており、
前記第２のバー（５３）は、前記第２のバー（５３）の側面（５２）が前記第１のペデスタル（７ａ）の第２の側面（４４）を延長させるように前記上面（４２）に配置されており、
これにより、前記上面（４２）に隣接した２つの側壁（５５）が形成されており、
前記第１のペデスタル（７ａ）のＵ字形は、前記第１のバー（５１）と前記第２のバー（５３）との間に位置決めされた前記上面（４２）によって形成されている、
ヘッダ（１）。

【請求項3】

光電子用途のためのヘッダ（１）であって、
前記ヘッダ（１）は、ヘッダベース（３）を備え、前記ヘッダベース（３）は、高さ方向（Ｚ）、幅方向（Ｘ）および長手方向（Ｙ）に延びていて、ベース背面（５９）およびベース前面（５８）と、少なくとも１つの開口（８）と、を備え、前記開口（８）は、前記ベース背面（５９）から前記ヘッダベース（３）の体積を通って前記幅方向（Ｘ）に沿って前記ベース前面（５８）まで延びていて、前記開口（８）を通して差し込まれる少なくとも１つの電気的に絶縁されたピン（６）を前記開口（８）ごとに収容するようになっており、少なくとも第１のペデスタル（７ａ）は、前記ベース前面（５８）に配置されており、前記第１のペデスタル（７ａ）は、前記高さ方向（Ｚ）において前記開口（８）の中心の下方に配置されていて、少なくともペデスタル取り付け面（４０）と、前記ペデスタル取り付け面（４０）とは反対側のペデスタル自由面（４１）と、ペデスタルサブマウント（９）を取り付けかつ支持するための少なくとも１つの上面（４２）と、を備え、前記第１のペデスタル（７ａ）の前記ペデスタル取り付け面（４０）は、少なくとも部分的に前記ベース前面（５８）と前記ペデスタル取り付け面（４０）との間に配置された導電性材料によって、前記ベース前面（５８）に固定して取り付けられており、
前記第１のペデスタル（７ａ）は、第１のバー（５１）および第２のバー（５３）を備え、
前記第１のバー（５１）は、前記第１のバー（５１）の側面が前記第１のペデスタル（７ａ）の第１の側面（４３）を延長させるように前記上面（４２）に配置されており、
前記第２のバー（５３）は、前記第２のバー（５３）の側面（５２）が前記第１のペデスタル（７ａ）の第２の側面（４４）を延長させるように前記上面（４２）に配置されており、
これにより、前記上面（４２）に隣接した２つの側壁（５５）が形成されており、
前記第１のペデスタル（７ａ）の一方のバー（５１，５３）は、他方のバーよりも小さい長さを有し、これにより、前記第１のペデスタル（７ａ）の部分的なＵ字形が形成されており、前記上面（４２）は、前記第１のバー（５１）と前記第２のバー（５３）との間に位置決めされている、
ヘッダ（１）。

【請求項4】

前記ヘッダは、第２のペデスタル（７ｂ）を備え、前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）は、前記高さ方向（Ｚ）および前記幅方向（Ｘ）に対して平行な仮想平面に関して鏡面対称に配置されていることを特徴とする、
請求項１から３までのいずれか１項記載のヘッダ（１）。

【請求項5】

前記ヘッダは、第２のペデスタル（７ｂ）を備え、
－前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）は、２つの端面を有する等しい形状であり、反対側の端面によって前記ヘッダベース（３）に取り付けられている、かつ／または
－前記第１のペデスタル（７ａ）および／または前記第２のペデスタル（７ｂ）は、少なくとも前記長手方向（Ｙ）および前記高さ方向（Ｚ）に対して平行な鏡面に関して鏡面対称に成形されている、
請求項１から４までのいずれか１項記載のヘッダ（１）。

【請求項6】

各ペデスタル（７）の前記上面（４２）は、縁部（４９）によって前記ペデスタル自由面（４１）および／または取り付け面（４０）に接続されており、前記縁部（４９）は、前記上面（４２）と、前記取り付け面（４０）および／または前記ペデスタル自由面（４１）と、の間に、これらに隣接して配置されており、
－前記縁部（４９）は、面取り縁部として形成されているか、または
－前記縁部（４９）は、調和縁部として形成されている、
請求項１から５までのいずれか１項記載のヘッダ（１）。

【請求項7】

前記ヘッダは、第２のペデスタル（７ｂ）を備え、
前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）は、第１のバー（５１）を備え、前記第１のバー（５１）は、前記第１のバー（５１）の側面（５２）が前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の第１の側面（４３）を延長させることにより、前記上面（４２）に隣接した側壁（５５）を形成するように、前記上面（４２）に配置されており、前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）のＬ字形は、前記第１のバー（５１）および前記上面（４２）によって形成されている、
請求項１記載のヘッダ（１）。

【請求項8】

前記ヘッダは、第２のペデスタル（７ｂ）を備え、
前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）は、第１のバー（５１）および第２のバー（５３）を備え、
前記第１のバー（５１）は、前記第１のバー（５１）の側面が前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の第１の側面（４３）を延長させるように前記上面（４２）に配置されており、
前記第２のバー（５３）は、前記第２のバー（５３）の側面（５２）が前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の第２の側面（４４）を延長させるように前記上面（４２）に配置されており、
これにより、前記上面（４２）に隣接した２つの側壁（５５）が形成されており、
前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）のＵ字形は、前記第１のバーと前記第２のバーとの間に位置決めされた前記上面（４２）によって形成されている、
請求項２記載のヘッダ（１）。

【請求項9】

前記ヘッダは、第２のペデスタル（７ｂ）を備え、
前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）は、第１のバー（５１）および第２のバー（５３）を備え、
前記第１のバー（５１）は、前記第１のバー（５１）の側面が前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の第１の側面（４３）を延長させるように前記上面（４２）に配置されており、
前記第２のバー（５３）は、前記第２のバー（５３）の側面（５２）が前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の第２の側面（４４）を延長させるように前記上面（４２）に配置されており、
これにより、前記上面（４２）に隣接した２つの側壁（５５）が形成されており、
各ペデスタル（７）の一方のバー（５１，５３）は、他方のバーよりも小さい長さを有し、これにより、前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の部分的なＵ字形が形成されており、前記上面（４２）は、前記第１のバー（５１）と前記第２のバー（５３）との間に位置決めされている、
請求項３記載のヘッダ（１）。

【請求項10】

前記ヘッダ（１）は、前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の前記上面（４２）に取り付けられた少なくとも２つのペデスタルサブマウント（９）を備え、各ペデスタルの少なくとも一方の側壁（５５）、特に２つの側壁（５５）の高さ（Ｈ１）は、前記ペデスタルサブマウント（９）の高さ（Ｈ２）に対応する、
請求項４、５、７から９までのいずれか１項記載のヘッダ（１）。

【請求項11】

前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の長さ（Ｌ１）は、前記ペデスタルサブマウント（９）の長さ（Ｌ２）より大きい、
請求項１０記載のヘッダ（１）。

【請求項12】

少なくとも１つの側壁（５５）の高さ（Ｈ１）は、０．１ｍｍより大きいかつ／または０．６ｍｍより小さい、
請求項１から１１までのいずれか１項記載のヘッダ（１）。

【請求項13】

前記第１のバー（５１）の幅（Ｗ１）は、０．０５ｍｍより大きいかつ／または０．３ｍｍより小さい、
請求項１から１０までのいずれか１項記載のヘッダ（１）。

【請求項14】

少なくとも１つのバー（５１，５３）の幅（Ｗ１）は、０．０５ｍｍより大きいかつ／または０．３ｍｍより小さい、
請求項２、３、８、９のいずれか１項記載のヘッダ（１）。

【請求項15】

前記ヘッダ（１）は、少なくとも２つのピン（６）を備え、各ピン（６）は、前記第１のペデスタル（７ａ）および前記第２のペデスタル（７ｂ）の上方に配置された２つの開口（８）のうちの１つに配置されており、前記ピン（６）の少なくとも１つは、
－前記ピン（６）のヘッド面が、前記ベース前面（５８）と平坦に配置されているという特徴と、
－前記ピン（６）は、ネイルヘッドを備えるという特徴と、
のうちの少なくとも一方を備える、
請求項４、５、７から１１のいずれか１項記載のヘッダ（１）。

【請求項16】

前記上面（４２）に取り付けられた前記ペデスタルサブマウント（９）の導体トレース（１３２）は、特に導電性材料（１９）によって、同一平面導波路の一部である少なくとも１つのバー（５１，５３）に電気的に接続されている、
請求項３または１０記載のヘッダ（１）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、概して、電子部品のパッケージングに関する。詳細には、本発明は、ヘッダ、好ましくは、電子デバイスを取り付けるためのトランジスタアウトラインヘッダ（ＴＯ－ヘッダ）の設計に関する。本発明は、電子デバイスとしてのレーザダイオードに特に適している。

【背景技術】

【0002】

一部の光電子用途では、レーザチップによって放射されるビームの波長が正確に制御されなければならない。レーザの波長は温度に依存する。したがって、レーザの温度は狭い温度範囲内で安定させられるべきである。これを達成するために、熱電クーラ（ＴＥＣ）を使用することが知られている。ＴＥＣは、トランジスタアウトライン（ＴＯ）パッケージなどの、レーザダイオード用のハウジング内に含まれてよい。ＴＥＣは、中距離の場合、直接変調レーザ（ＤＭＬ）と連携して使用されてよい。ＤＭＬは、外部変調レーザ（ＥＭＬ）よりも廉価である。しかしながら、多くのレーザドライバＩＣは、差動信号を用いてＤＭＬを駆動している。この場合、ヘッダは、２つのＲＦ信号ラインを必要とする。これらの２つの信号ラインは、ＤＭＬ以外からの反射による信号劣化を回避するために、好ましくは、特性インピーダンスＺ_０＝２５オームを有するべきである。

【0003】

さらに、ＴＥＣは、高温側および低温側を有する。高温側は、放熱のためにヘッダに接続されている。ＤＭＬは、低温側に取り付けられている。低温側は、熱フィードバックおよび自己発熱効果を防止するために、高温側から断熱されるべきである。他方、２つのＲＦラインがＤＭＬに接続されなければならない。よく知られている概念の１つは、２つの別個のＲＦラインを使用することである。各ＲＦラインは、信号をヘッダ内のＤＭＬに送るための小さなプリント配線板を含む。各プリント配線板は、別個のペデスタルに取り付けられてよい。ヘッダのアイレットまたはベースは、例えば、プリント配線板をそれぞれのペデスタルに電気的に接続するために、ピンを収容するための複数の開口を含む。つまり、各ペデスタルは、それぞれの開口に対応する。通常、ペデスタルとヘッダのアイレットまたはベースとは、１回のスタンピングプロセスで１つの部品として形成される。しかしながら、スタンピングにより、ヘッダとペデスタルとの間の接続領域に縁部が生じる。このような縁部は、プリント配線板が取り付けられたペデスタルの上面に対して角張っており、このことは、ヘッダとプリント配線板との間の小さなオフセットにつながる。これらのオフセットは、ＲＦ性能に重大な悪影響を及ぼし、特にｄＢの大幅な損失を生じる。

【0004】

さらに、現在の設計では、ＲＦラインは、接地に電気的に接続されたペデスタル上に配置されたプリント配線板の上側における信号ラインおよび下側における接地を備える接地基準マイクロストリップラインであってよい。ＴＥＣの低温側でキャリアに取り付けられたＤＭＬを接続するために、ボンドワイヤが使用される。なぜならば、ボンドワイヤの熱伝導率が極めて低いからである。ボンドワイヤ相互接続のための接地にアクセスするために、各プリント配線板に２つのスルーホールビアが使用されてよい。これらのビアは、プリント配線板の下側から上側への相互接続を提供する。２つのビアを使用することにより、単純な接地－信号構成よりもはるかに優れたＲＦ性能を有する接地－信号－接地（ＧＳＧ）のボンドワイヤ構成が可能になる。しかしながら、ビアは、追加の製造ステップを必要とし、全体的な設計を複雑にする。なぜならば、プリント配線板およびペデスタルは、互換性のある設計を有するべきであるからである。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

したがって、本発明の目的は、例えば、オフセットおよびビアを回避することによって組み立てを容易にし、それにもかかわらず、改善されたＲＦ性能を提供するヘッダの設計を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この目的は、特許請求の範囲の主題によって達成される。したがって、光電子用途のためのヘッダは、高さ方向、幅方向および長手方向に延びるヘッダベースを備える。ベースは、ベース背面およびベース前面と、少なくとも１つ、好ましくは少なくとも２つの開口と、を備え、開口は、ベース背面からベースの体積を通って幅方向に沿ってベース前面まで延びていて、少なくとも１つの電気的に絶縁されたピンを開口ごとに収容する。ピンは、それぞれ開口を通して差し込まれているかまたは開口を通って延びている。少なくとも第１のペデスタルが、ベース前面に配置されており、ペデスタルは、高さ方向において開口の中心の下方に配置されていて、少なくともペデスタル取り付け面と、ペデスタル取り付け面とは反対側のペデスタル自由面と、を備える。ペデスタルは、ペデスタルサブマウントを取り付けかつ支持するための少なくとも１つの面をさらに備える。この面は、以下では上面と呼ばれる。ペデスタルのペデスタル取り付け面は、少なくとも部分的にベース前面とペデスタル取り付け面との間に配置された導電性材料によって、ベース前面に固定して取り付けられている。ピンがベースから電気的に絶縁されていることを保証するために、開口内に、特にベースとピンとの間に、電気絶縁材料、例えばガラスが配置されている。

【0007】

一体型で形成されたベースおよびペデスタルとは対照的に、ベースに取り付けられたペデスタルを備えることにより、ペデスタルの位置をベース上で所望の位置に調節することができる。有利には、その場所は、ペデスタルがベースから打ち抜かれる従来の設計において可能であるよりも、ベースのアイレットまたは開口に近くてよい。理想的には、少なくとも１つのペデスタル、特に２つ以上のペデスタルが、少なくとも部分的に開口に重なるように配置されてよく、これにより、上面に、特にピンに直接接触して、サブマウントを配置することができる。それにより、ピンとサブマウントとの間のオフセットを回避でき、したがって、ＲＦ性能が高められる。さらに、ペデスタルは打ち抜かれていないので、ペデスタルとベースとの間の縁部は存在しない。したがって、ペデスタルの上面は、ベース前面に接触して配置されてよく、これにより、サブマウントは、オフセットなしでかつ／または特にベース前面に直接接触して取り付け可能である。

【0008】

改良された電気的接触を提供しかつペデスタルとベースとの間の電気的相互接続を可能にするために、ベースおよび／またはペデスタルは、導電性材料、特に金属材料から形成されている。好ましくは、ペデスタルの取り付け面は、ベース前面に面しており、特に、Ａｕを含んでよい導電性材料、特に、Ａｕおよびその他の金属、例えばＳｎまたはＧｅを含む金属合金を用いてベース前面に固定して取り付けられている。理想的には、導電性材料は、ベースおよびペデスタルの改良された固定および電気的伝導を保証するためのはんだまたはろう付け材料である。したがって、取り付け面は、ろう付け領域またははんだ接合部においてベース前面に好ましくは固定して取り付けられ、特に、はんだによってベース前面に固定される。

【0009】

ペデスタルまたはペデスタルの１つまたは複数の面は、少なくとも部分的に導電性材料、特に金属材料、好ましくはＡｕおよび／またははんだまたはろう材料の成分に類似した１つまたは複数の成分を含む金属材料によってコーティングまたはめっきされている。これにより、めっきまたはコーティングされたペデスタルは、ベースおよびペデスタルの固定プロセスに補助を提供してよい。

【0010】

一態様では、ペデスタルのうちの少なくとも１つは、３つ、５つまたは例えば６つの面を備える直方体または角柱形状を有する。好ましくは、ペデスタルは、上面を取り囲む、少なくとも２つの側面と、取り付け面と、自由面と、を備える直方体に成形されている。直方体または角柱形状は製造が容易であり、サブマウントを配置することができる少なくとも１つの面を提供する。したがって、上面は平坦であってよく、特に、ペデスタル上における確実な定着を保証するように平面であってよい。理想的には、自由面は、取り付け面と対向し、取り付け面も、ベース前面におけるギャップのない取り付け、特に良好な導電性能を実現するように平坦に製造されてよい。さらに、取り付け面および自由面および／または２つの側面は、平行に配置されている。ペデスタルが角柱状である場合、側面は、ある角度で、例えば鋭角または鈍角で配置されてよい。ペデスタルの全ての縁部または単一の縁部は、鋭くまたは丸みを帯びて形成されてよい。また、ペデスタルは、少なくとも１つの側面、取り付け面および／または自由面に隣接して配置されてよい底面を備えてよい。

【0011】

本発明の一態様によれば、ヘッダは、第２のペデスタルを備え、第１および第２のペデスタルは、高さ方向および幅方向に対して平行な仮想平面に関して鏡面対称に配置されている。好ましくは、ペデスタルは、側面が互いに面するように、特に上面が同一平面上に配置されるように、鏡面対称に配置される。これにより、ＴＥＣおよびＤＭＬまたはＥＭＬは、ペデスタルの間、好ましくは、ペデスタルと、その上に取り付けられたサブマウントによって提供されるＲＦラインと、の間に配置することができると最善である。さらに、ＲＦラインの同一平面上の配置により、信号劣化が低減される。

【0012】

好ましい実施形態では、第１および第２のペデスタルは、２つの端面を有する等しい形状であり、反対側の端面によってベースに取り付けられている。この実施形態では、各ペデスタルの端面は、取り付け面および自由面を表す。最善には、第１および第２のペデスタルの形状は互いに対応している。さらに、第１および／または第２のペデスタルは、少なくとも長手方向および高さ方向に対して平行な鏡面に関して鏡面対称的に成形されていてよい。さらに、第１および／または第２のペデスタルは、幅方向および高さ方向に対して平行または長手方向および幅方向に対して平行な鏡面のうちの少なくとも１つに関して鏡面対称に成形されることが可能である。換言すれば、各ペデスタルの少なくとも１つの断面形状は、鏡面対称に形成されている。例えば、ペデスタルの対称的な構造などの単純な構造は、複雑な構造よりもはるかに製造が容易であり、多くの異なるベースに対して互換性がある可能性が最も高く、ペデスタルの広い適用範囲を可能にする。

【0013】

別の実施形態では、各ペデスタルの上面は、縁部によって自由面および／または取り付け面に接続されており、縁部は、上面と、取り付け面および／または自由面と、の間に、これらに隣接して配置されており、
－縁部は、面取り縁部として形成されているか、または
－縁部は、調和縁部として形成されている。

【0014】

ペデスタルの対称的な形状を維持するために、調和縁部または面取り縁部が、ペデスタルの両端部に配置されている。しかしながら、調和縁部または面取り縁部が、ペデスタルの一方の端部に、例えば取り付け面に隣接して配置されることが可能であってよい。ペデスタルは、はんだを使用してベース前面に固定されることが意図されている。通常、余分なはんだは、ペデスタルの輪郭の周囲に膨らみを形成する。調和縁部または面取り縁部は、余分なはんだのための貯留部を提供し、これにより、サブマウントを上面に平坦に取り付けることができ、特に、サブマウントをオフセットなしでベース前面に直接接触させて配置することができる。好ましくは、調和縁部または面取り縁部の縁面は、上面、取り付け面および／または自由面に対して鈍角で、理想的には１００°～１６０°の角度で配置される。調和縁部または面取り縁部によって形成されかつベース前面と、上面と、縁面との間に配置された貯留部は、余分なはんだの全質量を収容するように十分な大きさであってよい。ピンおよび／またはベース前面へのサブマウントの最小のスペースでサブマウントの正確な調整を提供するために、貯留部および／または調和縁部または面取り縁部がアイレット／開口の少なくとも一部に重なって配置されるように、ペデスタルがベース前面に位置決めされることもさらに可能である。ペデスタルのうちの１つが面取り縁部を備える一方、別のペデスタルが調和縁部を備えることが可能であってよい。

【0015】

本発明の別の態様では、第１および第２のペデスタルは、第１のバーを備え、第１のバーは、第１のバーの側面が第１および第２のペデスタルの第１の側面を延長させることにより、上面に隣接した側壁を形成するように、上面に配置されている。第１のバーおよび上面は、第１および第２のペデスタルのＬ字形を形成する。したがって、高さ方向および長手方向に沿った断面輪郭は、Ｌ字形を有する。バーは、好ましくは、上面とペデスタルの側面との間に配置されており、理想的には、ペデスタルの幅方向において全幅にわたって、特に上面の全幅にわたって延びている。換言すれば、バーの長さは、上面の幅に似ており、バーの長さは、長手方向に対して垂直かつ幅方向に対して平行に配置されている。特に、バーの長さが上面の幅および少なくとも１つの調和縁部または面取り縁部の幅に似ている場合、バーの長さが上面の幅よりも短いまたは大きいことが可能であってよい。側壁は、特にバーの側面に対向するバーの内面として定義されてよく、より好ましくは、バーの側面に対して平行に配置されている。バーは、さらに、理想的にはバーの上部に、バーの側壁および側面に隣接して配置された上面を備えてよく、上面と、側壁および／または側面と、の間の縁部は、丸み付けられていてよいまたは鋭くてよい。好ましくは、バーは、さらに、長方形の断面を有する。

【0016】

理想的には、バーおよびペデスタルは、一体型に形成されている、かつ／または同じ材料を含む。このように、バーは、ペデスタルの上面に取り付けられたサブマウントのための側壁を提供してよいバーの上面から極めて容易にアクセス可能な接地を提供する。したがって、バーは、低インダクタンスの接地領域を提供するために、ペデスタルサブマウントおよび／または上面と同じ長さであってよい。さらに、バーまたはむしろ側壁は、電磁シールドとして機能する。したがって、ペデスタルサブマウント内の電磁界は、側壁／バーがなければ可能となるように、負の幅方向においてペデスタルを越えて広がることができない。それにより、トランジスタアウトラインの金属キャップを、キャップと電磁結合することなく、ペデスタルのより近くに配置することができるという効果が得られる。言い換えると、バーは、ペデスタル上のサブマウントをキャップとの電磁結合から保護する。改善された電磁シールドを達成するために、バーおよび／またはペデスタルは、固体金属材料から形成されている。したがって、バーは、サブマウントＲＦ信号経路の性能を向上させる。さらに、バーは、ペデスタルサブマウント組み立てプロセスにおいて整列ツールとして機能してよく、これにより、ペデスタルサブマウントをより正確に、特にＴＥＣ、ＤＭＬおよび／またはキャップまでの最小距離で組み立てることができる。

【0017】

好ましい実施形態では、第１および第２のペデスタルは、第１のバーであって、第１のバーの側面が第１および第２のペデスタルの第１の側面を延長させるように上面に配置された第１のバーを備える。さらに、第１および第２のペデスタルは、第２のバーであって、第２のバーの側面が第１および第２のペデスタルの第２の側面を延長させるように上面に配置され第２のバーを備え、これにより、上面に隣接した２つの側壁が形成されている。第１および第２のペデスタルのＵ字形は、第１および第２のバーの間に位置決めされた上面によって形成されている。したがって、高さ方向および長手方向に沿った断面輪郭は、Ｕ字形を有する。この実施形態では、ペデスタルは、２つのバーまたはむしろ２つの側壁を提供し、各側壁は、好ましくは、ペデスタルの反対側に位置決めされており、これにより、サブマウントを側壁の間に配置することができる。有利には、バーおよびペデスタルの両方が、一体型に、特に固体の金属材料から形成されてよい。それにより、サブマウントまたはむしろサブマウントのＲＦラインは、曲げによって生じることがある反射を低減させるために、直線的に形成することができる。さらに、２つの側壁は、ＲＦラインの両側に電磁シールドを提供し、これにより、ＲＦラインの性能はさらに向上させられる。さらに、サブマウントの中央における余分な接地パッドは不要である。なぜならば、サブマウントを、サブマウントの各側におけるバーによって提供された２つの接地の間に取り付けることができるからである。

【0018】

本発明の有利な態様では、第１および第２のペデスタルは、第１のバーであって、第１のバーの側面が第１および第２のペデスタルの第１の側面を延長させるように上面に配置された第１のバーを備える。第１および第２のペデスタルは、第２のバーであって、第２のバーの側面が第１および第２のペデスタルの第２の側面を延長させるように上面に配置された第２のバーを備え、これにより、上面に隣接した２つの側壁が形成されている。各ペデスタルの一方のバーは、他方のバーよりも小さい長さを有し、これにより、第１および第２のペデスタルの部分的なＵ字形が形成されており、上面は、第１と第２のバーとの間に位置決めされている。側壁またはバーの長さは、長手方向および高さ方向に対して垂直に向けられている。側壁／バーの第１の端部は、ペデスタルの端面、特に自由面に対して所定の距離を置いて配置されてよい。しかしながら、側壁／バーの端部が取り付け面に対して距離を置いて配置されることが可能である。この実施形態では、ペデスタルは、高さ方向および長手方向に沿って２つの異なる断面輪郭、すなわちＵ字形の断面輪郭と、Ｌ字形の断面輪郭と、を含む。さらに、バーの端部とペデスタルの端面との間の距離が、バーの他方の端部とペデスタルの他方の端面との間の距離よりも大きい、例えば、バーの第２の端部と取り付け面との間の距離が、バーの第１の端部とペデスタルの自由面との間の距離よりも小さいことが可能である。

【0019】

部分的なＵ字形を有することにより、サブマウントのＲＦ信号ラインを、ペデスタルとサブマウントとの間に配置されてよいＤＭＬのより近くに配置することができる。特に、部分的なＵ字形は、バー／側壁の端部とペデスタルの端面との間に自由領域を生じる。好ましくは、その自由領域は、自由面とバーの第１の端部との間に配置され、これにより、サブマウントの信号ラインの一方の端部をペデスタルの自由縁部の近くに配置することができ、そこでは、それはＤＭＬのより近くに配置されてよい。ペデスタルの一方または両方が部分的なＵ字形である場合、ヘッダは、それぞれが部分的なＵ字形を有する２つの異なるペデスタルを備え、各ペデスタルは、幅方向および高さ方向に対して平行な鏡面および／または長手方向および高さ方向に対して平行な鏡面に沿って他方のペデスタルの鏡像となっている。このように、２つのＬ字形のサブマウントを上面に鏡面対称に配置することができ、これにより、ＤＭＬは、サブマウントの２つのＲＦ信号ラインの近くにかつこれらの間に配置され、ＲＦ信号ラインおよびＤＭＬの全体的な接続性を向上させる。他方、部分的なＵ字形ペデスタルにより、サブマウントのＲＦ信号ラインは、ＴＥＣに近い領域においてＴＥＣとの相互作用から保護されてよい。

【0020】

部分的なＵ字形ペデスタルの別の態様では、バーは、ペデスタルの両端面から距離を置いて配置されてよく、第１の端部は、自由面から距離を置いて配置されてよく、第２の端部は、取り付け面から距離を置いて配置されてよい。好ましくは、バーは、ペデスタルの取り付け面と自由面との間の中央に配置され、特に、これにより、ペデスタルは、少なくとも長手方向および高さ方向に対して平行な鏡面に関して鏡面対称に成形されている。言い換えれば、ペデスタルは、２つの自由領域、すなわちバーのそれぞれの反対側の端部において、特にバーの各端部とペデスタルの端面との間に１つの自由領域を備える。このように、Ｕ字形サブマウントを、上面に、特に接地として機能する２つのバーとその側壁との間に配置することができるが、同時に、上面またはむしろ上面の自由領域は、サブマウントのＲＦ信号ラインをＤＭＬの極めて近くに配置する可能性を提供する。

【0021】

更なる実施形態によれば、ヘッダは、第１および第２のペデスタルの上面に取り付けられた少なくとも２つのペデスタルサブマウントを備える。各ペデスタルの少なくとも１つの側壁、特に２つの側壁の高さは、ペデスタルサブマウントの高さに対応し、これは特に、少なくとも１つの側壁の高さがサブマウントの高さに類似していることを意味する。各ペデスタルの両側壁の高さが、ペデスタル上に取り付けられたサブマウントの高さに対応するまたはそれと類似であることが可能であってよい。このように、サブマウントのＲＦラインは、良好な性能を保証するために、電磁結合またはその他の相互作用から最善に保護される。しかしながら、電気的および／または磁気的相互作用を回避するために、少なくとも１つの側壁の高さは、サブマウントの高さよりも僅かに大きくてよく、例えば、０．５％～１０％大きくてよい。さらに、第１の側壁の高さは、第２の側壁の高さよりも大きくてもまたは小さくてよい。

【0022】

本発明の更なる態様では、第１および第２のペデスタルの長さは、ペデスタルサブマウントの長さよりも大きい。このように、サブマウントに加えて上面に１つまたは２つのバーを配置するのに十分なスペースが設けられている。さらに、ペデスタルの長さがサブマウントの長さよりも長い場合、ペデスタル上にサブマウントを配置するためのより大きなスペースが提供されてよく、これにより、サブマウントのより正確な調整を可能にする。好ましくは、ペデスタルの長さは、上面の長さと、少なくとも一方または両方のバーの幅と、の合計によって規定され、その結果、理想的には上面の長さに対応するサブマウントの長さは、第１および第２のバーの側壁の間または１つのバーの側壁と、上面およびペデスタルの側面の縁部と、の間に適合する。

【0023】

好ましい実施形態では、少なくとも１つの側壁の高さは、０．１ｍｍよりも大きく、好ましくは０．２ｍｍよりも大きく、好ましくは０．３ｍｍよりも大きくかつ／または０．６ｍｍよりも小さく、好ましくは０．５ｍｍよりも小さく、好ましくは０．４ｍｍより小さい。サブマウントなどの他の電気部品は通常、省スペース設計であるため、０．１ｍｍ～０．６ｍｍの側壁の高さは、サブマウントの良好な配置およびまたペデスタルおよびそのバーの省スペース設計を保証するための最適な高さであり、これにより、その他の部品をヘッダおよび／またはＴＯのキャップに配置することができる。

【0024】

好ましい態様によれば、少なくとも１つのバーの幅は、０．０５ｍｍよりも大きく、好ましくは０．１ｍｍよりも大きく、好ましくは０．１５ｍｍよりも大きくかつ／または０．３ｍｍよりも小さく、好ましくは０．２５ｍｍよりも小さく、好ましくは０．２ｍｍよりも小さい。０．１ｍｍ～０．３ｍｍの小さな幅を有することにより、バーは、ペデスタルおよびサブマウントをキャップの非常に近くに配置することを可能にし、同時に、サブマウントのＲＦ信号ラインがキャップとの電磁結合から保護されることを保証する。バーの幅が小さいことにより、さらに、２つのペデスタルおよびその上に取り付けられたサブマウントを互いに離れた距離に配置することができ、これにより、例えば、ペデスタルの間に配置された電子、光学および／または光電子部品の寸法はより大きな寸法を有することができる。したがって、光電子性能は、互いに大きな距離を置いて配置されたペデスタルを備えたＴＯ設計において改善されてよい。

【0025】

「電子部品」という用語は、とりわけ、光電子部品を包含する。電子または特に光電子用途における適切な電子部品は、電界吸収変調レーザダイオード（ＥＭＬ）、分布帰還型レーザ（ＤＦＢ）、ファブリ・ペローレーザ（ＦＰ）、光変調器、フォトダイオード（ＰＤ）および光通信のために使用されるその他の電子部品などの、レーザダイオード（ＬＤ）であり得るが、これらに限定されない。

【0026】

有利な実施形態では、ヘッダは、少なくとも２つのピンを含み、各ピンは、第１および第２のペデスタルの上方に配置された２つの開口のうちの１つに配置されており、ピンの少なくとも１つは、
－ピンのヘッド面が、ベースの前面と平坦に配置されているという特徴、
－ピンは、ネイルヘッドを備えるという特徴
のうちの少なくとも一方を含む。両機能は、ピンおよびサブマウントのＲＦ信号ラインの電子結合、特にＲＦ結合を向上させることができる。ピンのヘッド面がベース前面と平坦に配置されていることにより、特に、ペデスタルおよび／またはサブマウントが開口と少なくとも部分的に重なるように配置されているとき、ペデスタルおよび／またはペデスタル上のサブマウントをピンのより近くに配置することができる。さらに、サブマウントをピンのより正確に近くに配置することができる。さもなければ、ペデスタルと、ベース前面から突出したピンと、の間にサブマウントを配置することが技術的に非常に困難になるからである。このような場合、製造コストが上昇する。サブマウントのＲＦラインは、ピンの突出したセグメント、またはむしろピンのヘッドに電子的、音響的またはその他の方法で接続されているので、ネイルヘッドピンは、一般に、サブマウントとの電子的または音響的接続のためのより大きな表面を提供し、これにより、ネイルヘッドピンの使用は、全体的な構造、特にピンとサブマウントとの結合を改善する。さらに、標準的なピンと比較してネイルヘッドピンの直径が大きいため、アイレットにおいてより良好なインピーダンス整合が達成される。

【0027】

一般に、少なくとも１つのピン、好ましくは、各ピンは、好ましくは開口の中央に配置されており、かつ／または開口の中心は、高さ方向において各ペデスタルの長さの中心の上方に配置されている。このような構成は、ピンと、ペデスタルに取り付けられた、特にペデスタルの、長手方向に延びる長さに関して中心に取り付けられたサブマウントのＲＦ信号ラインとの、良好な電子結合を可能にする。Ｌ字形またはＵ字形のペデスタルの構成では、サブマウントは、理想的には、ペデスタルの長さの中心から長手方向に、特にペデスタルの両側にサブマウントに隣接して配置された１つまたは２つのバーへシフトされて配置されている。サブマウントのＲＦ信号ラインとピンとの効率的な結合を維持するために、ペデスタルは、サブマウントの長さの中心がピンの中心の下に配置されるように、ピンに対してシフトして配置されている。言い換えれば、ペデスタルの形状に関係なく、ピンの中心は、高さ方向においてサブマウントの長さの中心の下に配置されており、これにより、ピンとサブマウントのＲＦ信号ラインとの有効な電子結合またはＲＦ結合を保証する。したがって、ピンはまた、ベース前面から０．１ｍｍ～１ｍｍ、理想的には０．２ｍｍ～０．６ｍｍの距離だけ突出してよく、かつ／または０．１ｍｍ～０．４ｍｍ、理想的には０．２ｍｍ～０．３ｍｍの直径を有してよい。

【0028】

好ましい実施形態では、サブマウントの導体トレースは、上面に取り付けられ、特に導電性材料によって、同一平面導波路の一部である少なくとも１つのバーに電気的に接続されている。サブマウントの導体トレースは、サブマウントが、少なくとも１つのＲＦ信号ラインパッドおよび／または少なくとも１つ以上の接地パッドを備えることを意味する。この構成では、側壁、特にバーの上面およびサブマウント上側は、同様の高さを有し、これにより、バーの上面とサブマウントの接地パッドの上側とは、同一平面に配置されている。バー、特にペデスタルは、好ましくは導波材料から形成されているので、サブマウントまたはむしろサブマウントの接地パッドを電子的に接続することができるように最適な接地を形成する。このような接続は、サブマウントを接地するためのボンドワイヤなどの導電性材料の適用によって実現されてよい。サブマウントおよびバーの上面が同じ高さに、特に互いに隣接して配置されているので、接続される距離が極めて小さく、材料コストを節約することができ、さらに、接地性能が向上させられるという効果を生じる。さらに、そのようなボンドワイヤ接続はビアホールの代替として機能し、したがって、複雑でコストのかかるビアホールの生成および構成要素の調整を避けることができる。

【0029】

以下に、添付の図面を参照して、本発明をより詳細に説明する。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】２つのペデスタルを備えたヘッダの斜視図である。

【図2】ヘッダのベースに取り付けられたペデスタルの断面の概略図である。

【図3a】ペデスタルの調和縁部の斜視図である。

【図3b】ペデスタルの面取り縁部の斜視図である。

【図4】Ｕ字形ペデスタルの斜視図である。

【図5】長いバーを備えた部分的なＵ字形のペデスタルの斜視図である。

【図6】短いバーを備えた部分的なＵ字形のペデスタルの斜視図である。

【図7】ネイルヘッドピンでヘッダのベースに取り付けられたペデスタルの断面の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

図１および図２は、それぞれ、斜視図または断面の概略図でヘッダ１を示している。図１および図２の両方において、ヘッダ１は、幅方向Ｘ、長手方向Ｙおよび高さ方向Ｚに沿って向けられている。ヘッダ１は、ベース前面５８およびベース背面５９と、２つ以上の電気フィードスルー５と、を有するベース３を備える。フィードスルーは、ヘッダ１の内外に電気信号を送信するように機能する。各フィードスルー５は、ベース３を貫通して延びかつベース３に対して電気的に絶縁されたフィードスルーピン６を備える。この目的のために、ベース３は、アイレット（または開口）８を備え、アイレット８は、絶縁材料６０、好ましくはガラスが充填されており、この絶縁材料６０にフィードスルーピン６が固定されている。図３～図６により詳細に説明される２つのペデスタル７ａ，７ｂは、ベース３に接続されかつベース３から突出している。示された特定の例に限定されることなく、好ましい実施形態では、ペデスタル７ａ，７ｂは、それらの間にギャップ２を有するように所定の距離を置いて配置されている。ギャップ２は、直接変調レーザ（ＤＭＬ）などの電子部品、特に電子部品を支持するためのアセンブリを収容するのに役立つ。各ペデスタル７ａ，７ｂには、サブマウント９が取り付けられている。

【0032】

さらに、ベース３の例示的なろう付け領域７０が示されている。一般的に、ろう付け領域は、少なくともそのサブポーションにおいて更なる構成要素または部品に接合されることが意図されたまたは少なくとも接合されるのに適した構成要素または部品の一部を指すと理解される。例えば、構成要素の表面、すなわち、ヘッダ１のベース３のベース前面５８である。さらに、接合される構成要素の表面を少なくとも部分的にニッケルおよび／金などの金属でコーティングまたはめっきすることが公知である。ニッケルは、例えば銅のはんだ付け性を改善することが公知であるが、ニッケル層の酸化を回避するために薄い金の層が使用されてよい。ヘッダ１の場合、少なくとも、更なる構成要素がベース前面５８に接合されてよいろう付け領域７０において、ベース前面５８は、したがって、少なくとも部分的にＡｕめっき（または金めっき）されてよいことが理解されてよい。もちろん、一般的に、ベース３の表面全体が金めっきされることが可能である。さらに、ベース３、特にベース前面５８は、少なくとも部分的にニッケル化されてよい。

【0033】

ペデスタル７ａ，７ｂの少なくとも一方、好ましくは両方、またはヘッダ１が、例示的に描かれたペデスタル７ａ，７ｂよりも多くを備える場合、ヘッダ１の全てのペデスタル７は、ろう付け接合部２４を介してベース３に接合される。ここでは、ろう付け接合部２４は、ペデスタル７ａ，７ｂとベース３またはサブマウント９とピン６などの、隣接する部品（または構成要素）の間のオフセットの正確な制御による、緊密で密閉した結合において接合される部品、特に金属部品の間の接合を指すと理解される。説明のために、ここで図２が参照される。ここで、サブマウント９は、はんだ接合部２３を介してピン６に電気的に接続されている。例示的なヘッダ１では、ピン６は、フィードスルー５の開口８の中心にあるが、一般に、図２に示された例示的なヘッダ１に限定されることなく、開口８におけるピン６の位置は、製造公差により変化する。

【0034】

理想的には、ピン６とサブマウント９の表面との間のオフセット（ピンオフセットｄ１）は、少なくとも０．０５ｍｍ～最大０．２ｍｍに設定される。しかしながら、ピンオフセットｄ１を最小化することが信号帯域幅の観点から好ましい場合でも、取り付けプロセスが考慮されるべきであるため、ピンオフセットの最小値は、更なる好ましい実施形態によれば、少なくとも０．０５ｍｍである。これは、まず第１のろう付けプロセスにおいてペデスタル７ａ，７ｂをベース３に接合し、引き続きサブマウント９への損傷のリスクなしに更なる第２のろう付けプロセスにおいてサブマウント９をペデスタル７ａ，７ｂに接合する。理想的には、サブマウント９の側面または縁部と、ベース前面５８と、の間のオフセットｄ２（サブマウントオフセット）は、０．１ｍｍ～さらには０ｍｍに設定される。密閉して嵌合する（または一致する）部品であるペデスタル７およびベース３を接合するためにろう付けプロセスが使用されるので、溶融したろうは、毛細管現象によってこれらの部品の間の非常に小さなギャップに引き込まれる。これにより、非常に少量の余分なろう付け材料２５のみが生じてよく、その結果、小さなろう付け膨らみ２５のみが生じる。これはさらに、隣接する部品の間の最小のまたは少なくとも厳密に制御されたオフセットで非常に緊密でかつ密閉された接続を可能にする。

【0035】

ペデスタル７ａ，７ｂは、ベース前面５８と、ペデスタル７ａ，７ｂの取り付け面４０と、の間に配置されたろう付け接合部２４を介してベース３（またはベース３の表面）に接合される。さらに、サブマウント９は、ペデスタル７ａ，７ｂの上面４２とサブマウント９の裏側または下側との間に配置された更なるろう付け接合部（図示せず）を介してペデスタル７ａ，７ｂに接合される。ここでは、上面４２とは、ピン６に面したペデスタルの側に関し、サブマウント９の底側または裏側は、（サブマウント９の構成要素側とは対照的に）サブマウント９のキャリア側を指すと理解される。ピン６は、はんだ接合部２３を介してサブマウント９に電気的に接続されている。ろう付けを容易にするために、ベース前面５８および／またはペデスタル７ａ，７ｂの取り付け面４０および／またはペデスタル７ａ，７ｂの上面４２および／またはサブマウント９の裏側は、少なくとも部分的にそのろう付け領域においてＡｕめっきされている。好ましくは、ろう付け接合部および／またははんだ接合部のうちの少なくとも一方は、金（Ａｕ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）および／またはスズ（Ｓｎ）を含む。

【0036】

一般に、サブマウント９は等しく形成されており、ピン６に接続された導体トレース１３のそれぞれの端部が理想的には互いに向き合うように、それぞれがペデスタル７ａ，７ｂの１つに取り付けられる。好ましくは、サブマウント９の構造化された導体めっき１３のパターンは、鏡面対称性を有する。これにより、異なる端部がベース３の方を向くように取り付けられたサブマウントを使用することが可能になり、それにより、互いに面した導体トレース１３２の端部１３５を有することができる。これにより、例えば、ペデスタル７ａ，７ｂに取り付けられた２つのサブマウントは同じタイプであるが、単に、サブマウントの一方を１８０°回転させて取り付けられる。サブマウント９は、２つの反対側の端部を有してよく、一方の端部がベース３に面しかつ他方の端部が別のサブマウント９に面するように取り付けられており、端部の間には、鏡面対称導体めっき１３の対称平面が配置されてよい。

【0037】

少なくとも１つ、好ましくは２つ以上、例えば２つのペデスタル７ａ，７ｂは、例えば、スタンピング、金属引抜きまたは押出成形によって、ベースとは別の製造プロセスにおいて形成される。これにより、少なくとも１つのペデスタル７ａ，７ｂは、特別な、さらには複雑な形状、例えば、面取りされた縁部および／またはバックテーパおよび／またはＬ字形またはＵ字形などのペデスタル輪郭の複雑な形状を備えて形成されてよい。面取りおよび／または調和縁部は、ペデスタルのバックテーパを提供してよい。示された例示的なペデスタル７ａ，７ｂに限定されることなく、ペデスタル７ａ，７ｂは、両端部に配置された調和縁部および／または面取り縁部５０を有してよく、特に、上面４２および取り付け面４０に隣接した１つの縁面５０と、上面４２および自由面４１に隣接した１つの縁面５０（ここには図示されていない）と、を有してよい。これにより、ペデスタル７ａ，７ｂは、一方の端部における面取り縁部５０と、他方の端部における調和縁部５０と、の両方を備えることが可能である。ペデスタル７ａ，７ｂが両端部において調和縁部または面取り縁部のいずれかを含んでよいことも可能であってよい。典型的には、余分なろう付け材料２５は、ペデスタル７ａ，７ｂの輪郭の周囲に膨らみを形成し、これにより、縁部５０は、余分なろう付け材料２５を収容するための貯留部４８空間を形成してよい。これにより、サブマウント９を、上面４２に平坦にかつベース前面５８に直接に、特にベース前面５８に接触して配置することができる。図１において、ペデスタル７ａ，７ｂは、Ｌ字形の輪郭を有し、対称的なサブマウントがペデスタルの上面４２に取り付けられている。このような輪郭は有利である。なぜならば、このような輪郭は、サブマウント９のためのストッパを提供し、これは、サブマウント９の位置決めを容易にするからである。さらに、Ｌ字形またはＵ字形のペデスタルの突出部またはバーは、信号経路の更なる遮蔽を提供する。

【0038】

好ましくは、容易な製造のために、ペデスタルは、６つの面を備える直方体の形状を有する。したがって、ペデスタル７ａ，７ｂは、取り付け面４０をベース前面５８に取り付ける、またはむしろろう付けするための取り付け面４０と、第１の側面４３と、第２の側面４４と、取り付け面とは反対側の自由面４１と、サブマウント９をその上に収容するための上面４２と、下面（図示せず）と、を備える。このような実施形態は、好ましくは、特に少なくとも３つの鏡面に関して対称である長方形の輪郭を有する。この場合、取り付け面４０を備えるペデスタル７ａ，７ｂの側面は、平面である。したがって、導体めっき１３またはむしろサブマウント９を接地するためのボンドワイヤは、接地と接触するためにペデスタル７ａ，７ｂの上面４２まで下降しなければならない。これは、ボンドワイヤを長くする。これは、非常に高い周波数の用途には有利でないことがある。他方、この設計は単純であり、２つの等しいペデスタルを使用することを可能にする。この実施形態は、コストを節約するために、より低い信号速度を有する用途に特に適している。

【0039】

図１に示したように、ペデスタルは、理想的にはＬ字形であり、バー５１，５３は、上面４２に配置されており、側面４３，４４のうちの一方を延長させている。バーは、上面５４、側壁５５および側面５２（ここでは示されていない）を備えてよく、側壁５５は、理想的にはサブマウント９に面して配置され、特に、側壁５５の高さは、サブマウント９の高さと等しいまたは少なくとも類似であり、これにより、バー５１，５３の上面５４と導体めっき１３とは、同一平面上に配置されている。バー５１，５３の上面５４の幅Ｗ１は、好ましくは、バー５１，５３の幅Ｗ１を表す。理想的には、全ての面は、６０°～１３０°の角度で配置されており、特に、上面４２は、取り付け面４０に対して８０°～１００°、特に９０°の角度で配置されている。

【0040】

図３ａは、上面４２および取り付け面４０に隣接する調和縁面５０を備えたＬ字形ペデスタル７ａ，７ｂを示している。示された例示的なペデスタル７ａ，７ｂに限定されることなく、ペデスタルは、両端部に配置された調和縁部５０、特に、上面４２および取り付け面４０に隣接する１つの縁面５０と、上面４２および自由面４１（ここには示されていない）に隣接する１つの縁面と、を有してよい。理想的には、調和縁部の面はバー５１，５３まで延びており、これにより、上面４２およびバー５１，５３の上面に隣接して配置された側壁も、調和縁部を備えてよいまたは調和縁部として形成されている。図３ｂは、図３ａと同様であり、上面４２および取り付け面４０に隣接する面取り縁面５０を備えるＬ字形ペデスタル７ａ，７ｂを示している。示された例示的なペデスタル７ａ，７ｂに限定されることなく、ペデスタルは、両端部に配置された面取り縁部５０、特に、上面４２および取り付け面４０に隣接する１つの縁面５０と、上面４２および自由面４１（ここには示されていない）に隣接する１つの縁面５０と、を有してよい。

【0041】

したがって、図３ａ、図３ｂおよび図１は、図１の実施形態の一部としてのペデスタル７を示している。ペデスタル７ａ，７ｂは、２つの端面４０，４１を有する。ペデスタル７ａ，７ｂは、その端面４０，４１のうちの一方によってベース３に取り付けられている。ベース３へのペデスタル７の固定は、好ましくは、例えば、ＡｕＳｎ－はんだを使用して、ろう付けによって行われる。ペデスタル７ａ，７ｂの輪郭は、リブまたはバー５１，５３の形態の側方突出部４によりＬ字形である。突出部７５は、取り付け面４０に沿って横方向に延びている。ペデスタル７ａ，７ｂの輪郭は対称的ではないが、ペデスタル７ａ，７ｂは、２つの端面４０，４１の間にかつ幅方向Ｘおよび高さ方向Ｚに対して平行に延びる鏡面に関して鏡面対称性を有する。この対称性特徴は、サブマウント９のものと類似であってよい。したがって、図１、図３ａおよび図３ｂの実施形態の特定の輪郭に限定することなく、ヘッダ１の好ましい実施形態は、２つの等しいペデスタル７ａ，７ｂが設けられており、各ペデスタル７ａ，７ｂがサブマウント９のうちの１つを支持しており、ベース３上のペデスタル７ａ，７ｂが鏡面対称性を有するという特徴に基づく。さらに、サブマウント９の向きと同様に、ペデスタルのうちの一方７ａは、一方の端面４０によってベース３に取り付けられており、他方のペデスタル７ｂは、反対側の端面４１によってベース３に取り付けられている。両ペデスタル７ａ，７ｂならびにサブマウント９は、ベース３に面したそれぞれの反対側によって取り付けられてよいので、図１に示したように、等しいサブマウントアセンブリを得るようにサブマウント９およびペデスタル７ａ，７ｂを組み立て、サブマウント９アセンブリをそれぞれの反対側の端面によってベース３に固定することが可能である。

【0042】

好ましい実施形態では、バー５１，５３は、サブマウント９／Ｈ２と同じ高さＨ１を有してよいまたはサブマウント９の高さＨ２に対するバー５１，５３の高さＨ１の比は、０．５～１．５である。突出部の高さＨ１は、好ましくは０．１ｍｍ～０．５ｍｍである。通常の高さは約０．２ｍｍである。突出部の幅は、０．１ｍｍ～０．３ｍｍであってよい。通常の幅は０．１７５ｍｍである。Ｌ字形の輪郭は、複数の利点を有する。接地は、ペデスタルサブマウント９の上側から容易にアクセス可能である。バーは、固体金属から成り、ペデスタルサブマウント９自体と同じ長さであるため、この接地領域は低いインダクタンスを有し、したがって、ＲＦ用途にとって好ましい。さらに、バー５１，５３は、電磁シールドとして機能する。ペデスタルサブマウント９内の電磁場は、側壁５５がなければあり得るように、ペデスタル７ａ，７ｂを越えて負のＹ方向に広がることはできない。

【0043】

図４は、ペデスタル７ａ，７ｂの代替的な実施形態を示している。図１および図３ａ、図３ｂの実施形態とは異なり、この実施形態は、上面４２の反対側の面４３，４４に沿って延びるバー５１，５３を備えるＵ字形プロファイルを有する。Ｕ字形輪郭によっても実現される一実施形態によれば、ペデスタル７ａ，７ｂは、一般に、鏡面対称輪郭を有してよい。この場合、少なくとも１つの鏡面が、輪郭の中心を通ってバー５１，５３に対して平行にかつ幅方向Ｘおよび高さ方向Ｚに対して平行に延びている。別の鏡面は、長手方向Ｙおよび高さ方向Ｚに対して平行に延びている。この二重鏡面対称の場合、ペデスタル７ａ，７ｂは、設計を変更することなく、端面４０，４１のいずれかによってベース３に取り付けることができる。

【0044】

図１および図３ａ，図３ｂの例と同じく、これらのバー５１，５３は、同様に、接地－信号－接地構成を提供するのに役立ってよい。特に、ペデスタル７ａ，７ｂのＬ字形輪郭（図１、図３ａ、図３ｂ）を備える実施形態では、バー５１，５３は、Ｄ字形導体トレースに面した側と反対側の、Ｃ字形導体トレース１３２の側面に位置する接地導体である。図４の実施形態では、信号導体トレース１３２の両側には、電気的に接地されているバー５１，５３の側壁５５が位置していてよい。

【0045】

図５は、端部４１におけるＬ字形輪郭と、反対側の端部４０におけるＵ字形輪郭と、を有し、したがって部分的なＵ字形を有する、ペデスタル７ａ，７ｂの実施形態を示す。異なる輪郭は、バーのうちの一方５３がバー５１よりも短いことにより生じる。この設計により、上面４２もＬ字形であってよく、自由面４１と、バーの第１の端部５６と、の間に自由領域７４を有する。したがって、Ｌ字形サブマウント９が、ペデスタル７ａ，７ｂのＬ字形上面４２に合致する。これにより、左右のペデスタル７ａ，７ｂおよび左右のサブマウント９を等しい部品として製造することができる。具体的には、サブマウントのキャリアの両方の反対側の面に、構造化された導電性めっき１３が配置されてよく、導電性めっき１３は、それぞれサブマウント９またはキャリアの側面の間に中央で延びる対称面に関して鏡面対称性を有する。もちろん、この特徴は、特定のＬ字形設計に限定されない。むしろ、表側および裏側のめっきは、本明細書に開示されたサブマウント９の全ての実施形態に存在してよい。

【0046】

しかしながら、図６に示したように、少なくとも２つの鏡面、すなわち高さ方向Ｚおよび長手方向Ｙに対して平行な鏡面と、幅方向Ｘおよび高さ方向Ｚに対して平行な鏡面と、に沿って対称的なペデスタル７ａ，７ｂの対称的な部分的なＵ字形を実現するために、より短いバー５３が配置されてよく、第１の端部５６および第２の端部５７がペデスタル７ａ，７ｂの両端部４０，４１から距離を置かれる。有利には、より短いバー５３は、ペデスタル７ａ，７ｂの両端部４０，４１の間の中央に配置される。この場合、サブマウントもＵ字形輪郭を有して対称的に製造することができ、これにより、異なる構成要素のコストのかかる製造を回避する。

【0047】

図７は、図２に示したものと同様の、ヘッダ１、ピン６、ペデスタル７ａ，７ｂおよびサブマウント９の集合体の代替的な実施形態を示している。しかしながら、ピン６は、ベース前面５８と平坦または同一平面上に配置されたネイルヘッドを備える。ネイルヘッドピン６、特にネイルヘッドは、サブマウント９および／またははんだ接合部２３のはんだに対してはるかに大きな接触面積を提供する。この例では、ペデスタル７ａ，７ｂは、開口８に少なくとも部分的に重なって配置されており、開口８には、少なくとも部分的に絶縁材料６０が充填されている。余分なろう付け材料２５のための潜在的な貯留部４８が、開口、特にペデスタル取り付け面４０と絶縁材料６０との間の重なり合う領域において少なくとも部分的に形成されている。この構成では、サブマウント９は、非常に正確にかつピンの非常に近くに、特にピンにほぼ直接接触して配置することができ、これにより、ＲＦおよび／または電子的性能を最大化させることができる。さらに、ピンとサブマウント９との接続のために、よりコストの低いはんだ付け材料が必要とされる。

【符号の説明】

【0048】

１ ヘッダ
２ ギャップ
３ １のベース
５ 電気フィードスルー
６ フィードスルーピン
７ ペデスタル
７ａ 第１のペデスタル
７ｂ 第２のペデスタル
８ アイレット／開口
９ ペデスタルサブマウント
１３ 導体めっき
２１ ボンドワイヤ接続
２３ はんだ接合部
２４ ろう付け接合部
２５ 余分なろう付け材料
４０ 取り付け面
４１ 自由面
４２ 上面
４３ 第１の側面
４４ 第２の側面
４７ 自由領域
４８ 貯留部
４９ 縁部
５０ 縁面
５１ 第１のバー
５２ バーの側面
５３ 第２のバー
５４ バーの上面
５５ 側壁
５６ バーの第１の端部
５７ バーの第２の端部
５８ ベース前面
５９ ベース背面
６０ 絶縁材料
７０ ろう付け領域
１３２ 導体トレース
１３５ 導体トレースの端部
ｄ１ ピンオフセット
ｄ２ サブマウントオフセット
Ｈ１ 側壁の高さ
Ｈ２ ペデスタルサブマウントの高さ
Ｗ１ バーの幅
Ｘ 幅方向
Ｙ 長手方向
Ｚ 高さ方向

【図1】

【図2】

【図3a】

【図3b】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】